JP2009294011A - 光学式測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】軟質の被測定物に対してダメージを与えることを防止でき、かつセンサの検出能力の安定化を図ることができるとともに、作動距離の長い対物レンズを使用できる光学式測定装置を提供すること。
【解決手段】光学式測定装置1は、対物レンズ61を、被測定物が載置されたテーブル40に対して移動させて被測定物の画像を撮像し、被測定物の撮像画像から被測定物の寸法等を測定する。この光学式測定装置1は、対物レンズ61の周囲に設けられて対物レンズ61への物体の接近を検出する反射型光電センサ62と、反射型光電センサ62によって物体への接近を検出した場合に、対物レンズ61の物体への衝突を回避する衝突回避手段3とを備えている。
【選択図】図1
【解決手段】光学式測定装置1は、対物レンズ61を、被測定物が載置されたテーブル40に対して移動させて被測定物の画像を撮像し、被測定物の撮像画像から被測定物の寸法等を測定する。この光学式測定装置1は、対物レンズ61の周囲に設けられて対物レンズ61への物体の接近を検出する反射型光電センサ62と、反射型光電センサ62によって物体への接近を検出した場合に、対物レンズ61の物体への衝突を回避する衝突回避手段3とを備えている。
【選択図】図1
Description
本発明は、光学式測定装置に係り、特に、衝突回避用のセンサを備えた光学式測定装置に関する。
画像測定装置や顕微鏡などの光学式測定装置(以下、測定装置)では、測定の際に自動でまたは手動で対物レンズを被測定物に非常に接近させる必要がある。この際、測定装置では、プログラムのミスや操作ミスにより、対物レンズを被測定物に接近させ過ぎてしまい、対物レンズを被測定物に衝突させてしまうおそれがある。このような問題に対し、対物レンズの被測定物への接近を検出するセンサを備え、センサにより対物レンズの被測定物への接近が検出されると、対物レンズの移動を停止させ、対物レンズが被測定物に衝突してしまうことを回避する測定装置が知られている (例えば、特許文献1および特許文献2)。
具体的に、特許文献1に記載の測定装置には、対物レンズの位置より下方に延出する触角と、触角が弾性変形することにより抵抗値が変化する歪みゲージとからなるセンサが設けられている。この特許文献1に記載の測定装置では、対物レンズを被測定物に接近させる際に、触角が被測定物に当接し、歪みゲージの抵抗値が変化することにより対物レンズの被測定物への接近が検出されると、対物レンズの移動を停止させ、対物レンズが被測定物に衝突してしまうことを回避する。
一方、特許文献2に記載の測定装置には、電磁誘導センサとしてのコイルが設けられている。この特許文献2に記載の測定装置では、対物レンズを導体の被測定物に接近させる際に、コイルのインダクタンスが変化することにより対物レンズの被測定物への接近が検出されると、対物レンズの移動を停止させ、対物レンズが被測定物に衝突してしまうことを回避する。
しかしながら、特許文献1に記載の測定装置では、センサによって被測定物の接近を検出する際に、触角が被測定物に当接してしまうため、軟質の被測定物に対してダメージを与えるおそれがある。また、触角が被測定物への衝突により大きく変形した場合、触角を被測定物から離した後にも触角に歪みが残留するおそれがあり、センサの検出能力の安定性という点でも問題がある。
また、特許文献2に記載の測定装置では、対物レンズと被測定物との距離である作動距離が0.2mm以下の対物レンズを使用することを前提としているため、検出範囲長が非常に短い電磁誘導センサ(コイル)が用いられている。しかしながら、特許文献2に記載の測定装置では、このように検出範囲長が非常に短いセンサが用いられているので、作動距離が2〜10mm程度ある対物レンズを使用することができないという問題がある。
本発明の目的は、軟質の被測定物に対してダメージを与えることを防止でき、かつセンサの検出能力の安定化を図ることができるとともに、作動距離の長い対物レンズを使用できる光学式測定装置を提供することにある。
本発明の光学式測定装置は、対物レンズを、被測定物が載置されたテーブルに対して移動させて前記被測定物の画像を撮像し、前記被測定物の撮像画像から前記被測定物の寸法等を測定する光学式測定装置において、前記対物レンズの周囲に設けられ、前記対物レンズに対する物体の接近を検出する反射型光電センサと、前記反射型光電センサによって物体の接近を検出した場合に、前記対物レンズの前記物体への衝突を回避する衝突回避手段とを備えていることを特徴とする。
なお、反射型光電センサによって対物レンズに対する物体の接近を検出した場合、衝突回避手段は、例えば、使用者へ警告を報知したり、対物レンズを減速させたり、対物レンズの移動を停止させたり、対物レンズを物体から離れる方向へ移動させたりすることにより、対物レンズの物体への衝突を回避する。
なお、反射型光電センサによって対物レンズに対する物体の接近を検出した場合、衝突回避手段は、例えば、使用者へ警告を報知したり、対物レンズを減速させたり、対物レンズの移動を停止させたり、対物レンズを物体から離れる方向へ移動させたりすることにより、対物レンズの物体への衝突を回避する。
このような構成によれば、光学式測定装置は、対物レンズに対する物体の接近を検出するセンサ(反射型光電センサ)を備えているので、センサにより物体の対物レンズへの接近を検出した場合、衝突回避手段によって対物レンズの物体への衝突を回避できる。
また、非接触で被測定物の接近を検出できる反射型光電センサを用いるので、軟質の被測定物に対してダメージを与えることなく当該軟質の被測定物の接近を検出できる。また、検出に伴うセンサへのダメージもないので、センサの検出能力の安定化を図ることができる。
さらに、コイルからなる電磁誘導センサに比べて検出距離が長い反射型光電センサを用いるので、作動距離が長い対物レンズを用いる光学式測定装置にも本発明を適用できる。
センサが対物レンズの周囲に設けられているので、対物レンズを容易に交換することができる。
また、非接触で被測定物の接近を検出できる反射型光電センサを用いるので、軟質の被測定物に対してダメージを与えることなく当該軟質の被測定物の接近を検出できる。また、検出に伴うセンサへのダメージもないので、センサの検出能力の安定化を図ることができる。
さらに、コイルからなる電磁誘導センサに比べて検出距離が長い反射型光電センサを用いるので、作動距離が長い対物レンズを用いる光学式測定装置にも本発明を適用できる。
センサが対物レンズの周囲に設けられているので、対物レンズを容易に交換することができる。
本発明では、前記反射型光電センサは、前記対物レンズからの検出範囲長の異なるものが複数設けられ、前記衝突回避手段は、検出範囲長が長い前記反射型光電センサにより、前記対物レンズに対する物体の接近を検出した場合には、使用者へ警告を報知し、または前記対物レンズを減速させ、検出範囲長の短い前記反射型光電センサにより、前記対物レンズに対する物体の接近を検出した場合には、前記対物レンズの移動を停止または前記対物レンズを前記物体から離れる方向へ移動させることが好ましい。
このような構成によれば、光学式測定装置は、検出範囲長の異なるセンサを複数備え、検出範囲長が長いセンサにより対物レンズに対する物体の接近を検出した場合には、使用者へ警告を報知し、または対物レンズを減速させ、検出範囲長の短いセンサにより対物レンズへの物体の接近を検出した場合には、対物レンズの移動を停止または対物レンズを物体から離れる方向へ移動させるので、段階的に対物レンズの物体との衝突を回避することができ、確実に物体との衝突を回避できる。
〔第1実施形態〕
以下、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本実施形態に係る本発明の光学式測定装置としての画像測定装置1を示す全体図である。
画像測定装置1は、被測定物を撮像する本体2と、本体2を制御するとともに、本体2により撮像された画像を表示手段であるディスプレイ31に表示するPC3(Personal Computer)とを備えている。本体2は、被測定物が載置されるテーブル40が設けられたベース4と、ベース4の後部から上方に延びるコラム5と、コラム5に対して上下方向に移動可能に設けられ、被測定物を撮像するスライダー6とを備えている。
以下、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本実施形態に係る本発明の光学式測定装置としての画像測定装置1を示す全体図である。
画像測定装置1は、被測定物を撮像する本体2と、本体2を制御するとともに、本体2により撮像された画像を表示手段であるディスプレイ31に表示するPC3(Personal Computer)とを備えている。本体2は、被測定物が載置されるテーブル40が設けられたベース4と、ベース4の後部から上方に延びるコラム5と、コラム5に対して上下方向に移動可能に設けられ、被測定物を撮像するスライダー6とを備えている。
テーブル40は、ベース4に対して図1の紙面垂直方向(y方向)に移動可能に設けられた第1テーブル41と、第1テーブル41に対して図1の左右方向(y方向と直交するx方向)に移動可能に設けられるとともに被測定物が載置される第2テーブル42とを備えている。
スライダー6は、xy方向に移動可能に設けられたテーブル40に対し、上下方向(xy方向と直交するz方向)に移動可能、すなわち、テーブル40上に載置される被測定物に対して、相対的に三次元方向に移動可能に設けられ、後述する対物レンズ61を被測定物に対して駆動する駆動手段としての役割を果たす。このようなスライダー6は、図示しない照明装置と、照明装置から射出された照明光を被測定物に射出するとともに被測定物からの反射光を集光する対物レンズ61と、対物レンズ61により集光された光による被測定物の像が結像するとともに、当該結像する被測定物の像を撮像する撮像手段である図示しないCCD(Charge Coupled Device)カメラと、対物レンズ61の被測定物への接近を検出するセンサ62とを備えている。
図2は、対物レンズ61およびセンサ62を示す側面図である。
対物レンズ61は光軸Lを備えている。また、対物レンズ61は、対物レンズ61の下端面から焦点Fまでの距離である作動距離Dを有している。作動距離Dは、本実施形態では、10mmとなっている。
対物レンズ61は光軸Lを備えている。また、対物レンズ61は、対物レンズ61の下端面から焦点Fまでの距離である作動距離Dを有している。作動距離Dは、本実施形態では、10mmとなっている。
センサ62は、対物レンズ61を挟んで対物レンズ61の周囲に設けられた一対のセンサ621,622を備えている。これらのセンサ621,622は、被測定物を非接触で検出することができる反射型光電センサ(光ファイバセンサ)であり、射出部と、受光部と、回路部とを備えている。射出部は、光源であるLED(Light Emitting Diode)と、可撓性を有するとともにLEDから射出された光の方向を変えて被測定物に向けて射出する光ファイバとを備えている。受光部は、射出部から射出されて被測定物で反射した光を受光し、当該受光強度に応じた信号を回路部に出力する。回路部は、受光部から出力される信号に基づいて被測定物を検出する。すなわち回路部は、当該センサ621,622の検出範囲内に被測定物が入った場合には、被測定物の接近を示す信号をPC3に出力し、被測定物が検出範囲から離脱した場合には、被測定物の離脱を示す信号をPC3に出力する。
各センサ621,622は、当該センサ621,622の軸方向において等しい検出範囲長を有している。これらのセンサ621,622は、下端面の高さが対物レンズ61の下端面の高さと同一となる高さ位置に設置されるとともに対物レンズ61の光軸Lに対してそれぞれ異なる角度で設置されることにより、対物レンズ61の光軸L方向に沿った検出範囲S1,S2先端部の位置が、対物レンズ61の焦点Fよりも対物レンズ61側となるように、かつ、それぞれ異なる高さ位置となるように設置されている。なお、センサ622の検出範囲S2先端部の位置の方が、センサ621の検出範囲S1先端部の位置よりも対物レンズ61側となるように、各センサ621,622は設置されている。また、各センサ621,622は、検出範囲S1,S2先端部が対物レンズ61の光軸L近傍に位置するように設置されている。
PC3(図1参照)は、前述したように、テーブル40およびスライダー6を制御するとともに、スライダー6により撮像された画像をディスプレイ31に表示する。このPC3は、測定の際には、使用者に操作されることにより、テーブル40を移動させて被測定物を対物レンズ61の真下に位置させる。そして、PC3は、内部のプログラムにより自動で、または使用者に逐次操作されることにより、対物レンズ61(スライダー6)を降下させ、被測定物に接近させる。
この際、PC3内部のプログラムミスや使用者の操作ミスにより、PC3が対物レンズ61を降下させ過ぎた場合には、PC3は、対物レンズ61と被測定物との距離がS1となってセンサ621により被測定物が検出された際に、まず、対物レンズ61の降下速度を減速させ、対物レンズ61と被測定物との距離がS2となってセンサ622により被測定物が検出された際に、対物レンズ61の降下を停止させる。
なお、PC3は、対物レンズ61と被測定物との距離がS2となってセンサ622により被測定物が検出された際に、対物レンズ61を上方に移動させ、その後オートフォーカスを行うように構成されていてもよい。また、本発明の衝突回避手段は、本実施形態では、このPC3を含んで構成されている。
なお、PC3は、対物レンズ61と被測定物との距離がS2となってセンサ622により被測定物が検出された際に、対物レンズ61を上方に移動させ、その後オートフォーカスを行うように構成されていてもよい。また、本発明の衝突回避手段は、本実施形態では、このPC3を含んで構成されている。
以上のような本実施形態によれば、以下の効果を奏することができる。
PC3は、対物レンズ61を被測定物に向けて降下させる際に、センサ622により対物レンズ61の被測定物への接近が検出されると、対物レンズ61の降下を停止させるので、対物レンズ61が被測定物に衝突してしまうことを回避できる。
PC3は、対物レンズ61を被測定物に向けて降下させる際に、センサ622により対物レンズ61の被測定物への接近が検出されると、対物レンズ61の降下を停止させるので、対物レンズ61が被測定物に衝突してしまうことを回避できる。
画像測定装置1は、対物レンズ61からの検出範囲S1,S2の長さが異なる2つのセンサ621,622を備えている。そのため、画像測定装置1は、PC3により、検出範囲長の長いセンサ621によって被測定物が検出された際に、まず、対物レンズ61の降下速度を減速させ、検出範囲長の短いセンサ622によって被測定物が検出された際には、対物レンズ61の降下を停止させることができ、段階的に被測定物との衝突を回避することができるので、確実に被測定物との衝突を回避することができる。
非接触の反射型光電センサ621,622を用いて被測定物を検出するので、軟質の被測定物に対してダメージを与えることなく当該軟質の被測定物を検出できる。また、検出に伴うセンサ621,622へのダメージもないので、センサ621,622の検出能力の安定化を図ることができる。
検出距離が長い反射型光電センサ621,622を用いるので、作動距離が長い対物レンズ61を用いる場合にも使用することができる。また、反射型光電センサとして、光源が別体とされた光ファイバセンサ621,622を用いるので、市販されている非常にコンパクトなものを使用することができ、製造コストを抑制できるとともに省スペース化を図れる。
センサ621,622が対物レンズ61の周囲に設けられているので、対物レンズ61を容易に交換することができる。
センサ621,622が対物レンズ61の周囲に設けられているので、対物レンズ61を容易に交換することができる。
〔第2実施形態〕
図3は、本発明の第2実施形態に係る画像測定装置1Aを示す全体図である。
以下、既に説明した部分と同一機能部位については同一の符号を付してその説明を省略する。
本実施形態の画像測定装置1Aは、第1実施形態と同様の構成を備えるが、第1実施形態では、対物レンズ61は上下方向にのみ移動可能に設けられていたが、本実施形態では、対物レンズ61は、上下方向かつ左右方向に移動可能に設けられ、かつ、対物レンズ61の周囲に、対物レンズ61に対する側方からの物体の接近を検出するセンサ64(図4参照)が設けられている点が第1実施形態とは異なる点である。
図3は、本発明の第2実施形態に係る画像測定装置1Aを示す全体図である。
以下、既に説明した部分と同一機能部位については同一の符号を付してその説明を省略する。
本実施形態の画像測定装置1Aは、第1実施形態と同様の構成を備えるが、第1実施形態では、対物レンズ61は上下方向にのみ移動可能に設けられていたが、本実施形態では、対物レンズ61は、上下方向かつ左右方向に移動可能に設けられ、かつ、対物レンズ61の周囲に、対物レンズ61に対する側方からの物体の接近を検出するセンサ64(図4参照)が設けられている点が第1実施形態とは異なる点である。
画像測定装置1Aの本体2は、被測定物が載置されるテーブル40が上面に形成されたベース4と、ベース4の後部に設けられ、一対の柱部51および柱部51間に架橋された梁部52を有する門型のコラム5と、梁部52を図3中、左右方向にスライド移動可能に設けられたスライダー6とを備えている。スライダー6は、当該スライダー6内を上下動可能に設けられたZ軸スピンドル63と、このZ軸スピンドル63の下端に設けられた対物レンズ61およびセンサ62,64(センサ64については図4参照)とを備えている。
図4は、センサ62,64を示す斜視図である。
センサ62は、対物レンズ61を挟んで対物レンズ61の周囲に設けられた第1実施形態と同様の反射型光電センサ621,622を備えている。これらのセンサ621,622は、第1実施形態と同様、対物レンズ61の光軸Lに対してそれぞれ異なる角度で設置されることにより、対物レンズ61の光軸L方向に沿った検出範囲S1,S2(図示略)先端部の位置がそれぞれ異なる位置となるように設置されている。
センサ64は、反射型光電センサであり、光軸Lに対して直交するように、かつ、図4において1点鎖線で示す検出範囲が対物レンズ61および前述の各センサ621,622の周囲をカバーするように、対物レンズ61の周囲に等間隔に4つ設けられている。
センサ62は、対物レンズ61を挟んで対物レンズ61の周囲に設けられた第1実施形態と同様の反射型光電センサ621,622を備えている。これらのセンサ621,622は、第1実施形態と同様、対物レンズ61の光軸Lに対してそれぞれ異なる角度で設置されることにより、対物レンズ61の光軸L方向に沿った検出範囲S1,S2(図示略)先端部の位置がそれぞれ異なる位置となるように設置されている。
センサ64は、反射型光電センサであり、光軸Lに対して直交するように、かつ、図4において1点鎖線で示す検出範囲が対物レンズ61および前述の各センサ621,622の周囲をカバーするように、対物レンズ61の周囲に等間隔に4つ設けられている。
本実施形態では、PC3は、測定の際には、使用者に操作されることにより、被測定物の測定面が対物レンズ61の真下に来るようにスライダー6を左右方向に移動させる。この際、例えば被測定物が測定面を有する水平な水平部と、水平部から上方に突出する突出部とを有するL字状に形成されていることにより、対物レンズ61に、被測定物の突出部が側方から接近した場合、センサ64により突出部の接近が検出されると、PC3はスライダー6の移動を停止させる。
なお、PC3は、対物レンズ61に対する被測定物の側方からの接近が検出された場合、スライダー6を、対物レンズ61が被測定物から離れる側に移動させてもよい。
なお、PC3は、対物レンズ61に対する被測定物の側方からの接近が検出された場合、スライダー6を、対物レンズ61が被測定物から離れる側に移動させてもよい。
また、PC3は、スライダー6を対物レンズ61の真下に被測定物の測定面が来るように移動させた後は、対物レンズ61(Z軸スピンドル63)を降下させ、対物レンズ61を被測定物に接近させる。この際、PC3は、第1実施形態と同様、まず、対物レンズ61と被測定物との距離がS1となり、センサ621により被測定物が検出された際には、対物レンズ61の降下速度を減速させ、対物レンズ61と被測定物との距離がS2となり、センサ622により被測定物が検出された際には、対物レンズ61の降下を停止させ、被測定物との衝突を段階的に回避する。
このような本実施形態でも、第1実施形態と同様の構成により、同様の効果を奏することができる。そのうえ、本実施形態では、対物レンズ61の周囲に、対物レンズ61に対する物体の側方からの接近を検出するセンサ64が設けられているので、対物レンズ61を左右方向に移動させる際に、対物レンズ61に物体が接近した場合、当該物体の接近をセンサ64により検出することができ、対物レンズ61の移動を停止させるなどして対物レンズ61の被測定物との衝突を回避することができる。
〔第3実施形態〕
図5は、本発明の第3実施形態に係る画像測定装置1Bのセンサ62Aを示す側面図である。
本実施形態の画像測定装置1Bは、第1実施形態と同様の構成を備えるが、第1実施形態では、反射型光電センサ62が2つ設けられていたが、本実施形態では、反射型光電センサ62Aが3つ設けられ、PC3は、対物レンズ61と被測定物との衝突をより段階的に回避する点が第1実施形態と異なる点である。
図5は、本発明の第3実施形態に係る画像測定装置1Bのセンサ62Aを示す側面図である。
本実施形態の画像測定装置1Bは、第1実施形態と同様の構成を備えるが、第1実施形態では、反射型光電センサ62が2つ設けられていたが、本実施形態では、反射型光電センサ62Aが3つ設けられ、PC3は、対物レンズ61と被測定物との衝突をより段階的に回避する点が第1実施形態と異なる点である。
センサ62Aは、対物レンズ61の周囲に、かつ、対物レンズ61の光軸Lに沿って設置された3つのセンサ621A,622A,623Aを備えている。これらのセンサ621A,622A,623Aの検出範囲S1,S2,S3の長さは、それぞれ異なっている。各センサ621A,622A,623Aは、検出範囲S1,S2,S3先端部の位置が、検出範囲S1,S2,S3の順に対物レンズ61から離れた位置となるように設置されている。
本実施形態では、PC3内部のプログラムミスや使用者の操作ミスにより、PC3が対物レンズ61を降下させ過ぎた場合には、PC3は、センサ62Aにより検出される対物レンズ61と被測定物との距離がS1となった際に、まず、警告音を鳴らしたり警告をディスプレイ31に表示するなどして使用者に警告を報知する。次に、PC3は、対物レンズ61と被測定物との距離がS2となった際に、対物レンズ61の降下速度を減速させ、対物レンズ61と被測定物との距離がS3となった際に、対物レンズ61の降下を停止させる。なお、本実施形態でも、PC3は、対物レンズ61と被測定物との距離がS3となった際に、対物レンズ61を上方に移動させ、その後オートフォーカスを行うように構成されていてもよい。
このような本実施形態でも、第1実施形態と同様の構成により、同様の効果を奏することができるうえ、本実施形態では、センサ621A,622A,623Aを3つ用いたので、より段階的に被測定物との衝突を回避することができ、一層確実に被測定物との衝突を回避することができる。
〔実施形態の変形〕
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
前記各実施形態では、対物レンズ61への物体の接近を検出するためのセンサ62,62A,64が2〜4つ設けられていたが、センサ62,62A,64は、1つのみ設けられていてもよいし、5つ以上設けられていてもよい。
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
前記各実施形態では、対物レンズ61への物体の接近を検出するためのセンサ62,62A,64が2〜4つ設けられていたが、センサ62,62A,64は、1つのみ設けられていてもよいし、5つ以上設けられていてもよい。
前記各実施形態では、本発明を、被測定物の上方に設置される対物レンズ61から被測定物に光を当て、被測定物で反射した光を対物レンズ61で集光することにより被測定物を観察する反射型の画像測定装置に適用する例を示した。しかしながら、本発明は、対物レンズ61の下方に設置された光源から被測定物に光を射出し、被測定物を透過した光を対物レンズ61で集光することにより被測定物を観察する透過型の画像測定装置に適用されていてもよい。
また、本発明は、対物レンズを有する顕微鏡などの他の光学式測定装置にも適用することができる。
また、本発明は、対物レンズを有する顕微鏡などの他の光学式測定装置にも適用することができる。
本発明は、画像測定装置や顕微鏡などの光学式測定装置に好適に利用できる。
1,1A,1B…画像測定装置(光学式測定装置)、3…PC(衝突回避手段)、61…対物レンズ、62,62A,64…反射型光電センサ。
Claims (2)
- 対物レンズを、被測定物が載置されたテーブルに対して移動させて前記被測定物の画像を撮像し、前記被測定物の撮像画像から前記被測定物の寸法等を測定する光学式測定装置において、
前記対物レンズの周囲に設けられ、前記対物レンズに対する物体の接近を検出する反射型光電センサと、
前記反射型光電センサによって物体の接近を検出した場合に、前記対物レンズの前記物体への衝突を回避する衝突回避手段とを備えている
ことを特徴とする光学式測定装置。 - 請求項1に記載の光学式測定装置において、
前記反射型光電センサは、前記対物レンズからの検出範囲長の異なるものが複数設けられ、
前記衝突回避手段は、
検出範囲長が長い前記反射型光電センサにより、前記対物レンズに対する物体の接近を検出した場合には、使用者へ警告を報知し、または前記対物レンズを減速させ、
検出範囲長の短い前記反射型光電センサにより、前記対物レンズに対する物体の接近を検出した場合には、前記対物レンズの移動を停止または前記対物レンズを前記物体から離れる方向へ移動させる
ことを特徴とする光学式測定装置。
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