JP2012004306A - 部品実装機の吸着ノズル検査装置 - Google Patents
部品実装機の吸着ノズル検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012004306A JP2012004306A JP2010137441A JP2010137441A JP2012004306A JP 2012004306 A JP2012004306 A JP 2012004306A JP 2010137441 A JP2010137441 A JP 2010137441A JP 2010137441 A JP2010137441 A JP 2010137441A JP 2012004306 A JP2012004306 A JP 2012004306A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction nozzle
- tip surface
- component
- camera
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 15
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 title abstract description 13
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 41
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 22
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 11
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 10
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 abstract 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
【解決手段】照明装置13を、吸着ノズル11の先端面に斜め下方から照明光を照射するように配置し、吸着ノズル11の先端面を撮像するカメラ14を、照明装置13の照明光が吸着ノズル11の先端面で正反射する方向から該吸着ノズル11の先端面を撮像するように配置する。これにより、吸着ノズル11の先端面で正反射した光をカメラ14の視野内に入射させて、それ以外の背景部分12で乱反射した光がカメラ14の視野内に入射するのを少なくできるため、吸着ノズル11のリング状の先端面のみを明るくして撮像することができ、吸着ノズル11のリング状の先端面とその内外周の背景部分12とのコントラストを大きくして、吸着ノズル11の先端面の形状を明確に識別できる。
【選択図】図1
Description
吸着ノズル11は、部品実装機の装着ヘッド(図示せず)に交換可能に下向きに保持されている。吸着ノズル11とその周囲の背景部分12は、黒色に着色されている(又は黒色の材料で形成されている)。
Claims (5)
- 部品を吸着する吸着ノズルを備えた部品実装機において、
前記吸着ノズルの先端面に斜め下方から照明光を照射する照明装置と、
前記照明装置の照明光が前記吸着ノズルの先端面で正反射する方向から該吸着ノズルの先端面を撮像するように配置されたカメラと、
前記カメラの撮像画像を処理して前記吸着ノズルの先端面の状態を検査する検査手段と を備えていることを特徴とする部品実装機の吸着ノズル検査装置。 - 前記検査手段は、前記カメラの撮像画像の処理結果に基づいて前記吸着ノズルのノズル径を計測する手段を有することを特徴とする請求項1に記載の部品実装機の吸着ノズル検査装置。
- 前記検査手段は、部品実装動作後に前記吸着ノズルが部品吸着位置へ移動する経路の途中で前記カメラで撮像した画像の処理結果に基づいて該吸着ノズルに実装ミスした部品が付着したまま持ち帰えられる部品持ち帰りの有無を判定する手段を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の部品実装機の吸着ノズル検査装置。
- 前記カメラは、前記吸着ノズルに吸着した部品の吸着姿勢をその側方から第1の光路屈曲手段を介して撮像する部品撮像用カメラが用いられ、
前記照明装置の照明光が前記吸着ノズルの先端面で正反射する方向から該吸着ノズルの先端面を前記部品撮像用カメラで撮像するための第2の光路屈曲手段が設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の部品実装機の吸着ノズル検査装置。 - 前記検査手段は、前記吸着ノズルに部品を吸着する前に、前記部品撮像用カメラの視野内に前記吸着ノズルの先端面の画像と該吸着ノズルの側面の画像を並べて収めて同時に撮像することを特徴とする請求項4に記載の部品実装機の吸着ノズル検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010137441A JP5660810B2 (ja) | 2010-06-16 | 2010-06-16 | 部品実装機の吸着ノズル検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010137441A JP5660810B2 (ja) | 2010-06-16 | 2010-06-16 | 部品実装機の吸着ノズル検査装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014184705A Division JP5907628B2 (ja) | 2014-09-10 | 2014-09-10 | 部品実装機の吸着ノズル検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012004306A true JP2012004306A (ja) | 2012-01-05 |
JP5660810B2 JP5660810B2 (ja) | 2015-01-28 |
Family
ID=45535974
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010137441A Active JP5660810B2 (ja) | 2010-06-16 | 2010-06-16 | 部品実装機の吸着ノズル検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5660810B2 (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014068673A1 (ja) | 2012-10-30 | 2014-05-08 | 富士機械製造株式会社 | ノズル管理機 |
WO2014196002A1 (ja) | 2013-06-03 | 2014-12-11 | 富士機械製造株式会社 | ノズル管理システム |
WO2016001983A1 (ja) * | 2014-06-30 | 2016-01-07 | 富士機械製造株式会社 | 検出装置 |
WO2016135910A1 (ja) * | 2015-02-26 | 2016-09-01 | 富士機械製造株式会社 | 検査装置、および検査方法 |
JP2016162900A (ja) * | 2015-03-02 | 2016-09-05 | 富士機械製造株式会社 | 部品実装機 |
WO2016139753A1 (ja) * | 2015-03-03 | 2016-09-09 | 富士機械製造株式会社 | 部品実装機 |
JP2017112286A (ja) * | 2015-12-18 | 2017-06-22 | 富士機械製造株式会社 | 検出装置 |
JP2017147457A (ja) * | 2017-04-11 | 2017-08-24 | 富士機械製造株式会社 | ノズル管理機 |
JP2019071422A (ja) * | 2018-11-28 | 2019-05-09 | 株式会社Fuji | ノズル管理機 |
WO2023012912A1 (ja) * | 2021-08-03 | 2023-02-09 | ヤマハ発動機株式会社 | 部品実装用ノズル及び部品実装装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH088600A (ja) * | 1994-06-17 | 1996-01-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品実装装置 |
JPH11230717A (ja) * | 1998-02-18 | 1999-08-27 | Copal Co Ltd | 吸着ノズルの位置確認治具 |
JP2005340648A (ja) * | 2004-05-28 | 2005-12-08 | Yamaha Motor Co Ltd | 部品認識方法、部品認識装置、表面実装機および部品検査装置 |
JP2006041158A (ja) * | 2004-07-27 | 2006-02-09 | Yamaha Motor Co Ltd | 表面実装機 |
-
2010
- 2010-06-16 JP JP2010137441A patent/JP5660810B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH088600A (ja) * | 1994-06-17 | 1996-01-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品実装装置 |
JPH11230717A (ja) * | 1998-02-18 | 1999-08-27 | Copal Co Ltd | 吸着ノズルの位置確認治具 |
JP2005340648A (ja) * | 2004-05-28 | 2005-12-08 | Yamaha Motor Co Ltd | 部品認識方法、部品認識装置、表面実装機および部品検査装置 |
JP2006041158A (ja) * | 2004-07-27 | 2006-02-09 | Yamaha Motor Co Ltd | 表面実装機 |
Cited By (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2014068673A1 (ja) * | 2012-10-30 | 2016-09-08 | 富士機械製造株式会社 | ノズル管理機 |
CN107072138A (zh) * | 2012-10-30 | 2017-08-18 | 富士机械制造株式会社 | 吸嘴管理机 |
CN107072138B (zh) * | 2012-10-30 | 2019-09-27 | 株式会社富士 | 吸嘴管理机 |
CN104770078A (zh) * | 2012-10-30 | 2015-07-08 | 富士机械制造株式会社 | 吸嘴管理机 |
KR20150079639A (ko) | 2012-10-30 | 2015-07-08 | 후지 기카이 세이조 가부시키가이샤 | 노즐 관리기 |
CN104770078B (zh) * | 2012-10-30 | 2018-05-01 | 富士机械制造株式会社 | 吸嘴管理机 |
KR102033204B1 (ko) * | 2012-10-30 | 2019-10-16 | 가부시키가이샤 후지 | 노즐 관리기 |
KR20190116587A (ko) | 2012-10-30 | 2019-10-14 | 가부시키가이샤 후지 | 노즐 관리기 |
EP3684158A1 (en) | 2012-10-30 | 2020-07-22 | FUJI Corporation | Nozzle management machine |
KR102135007B1 (ko) * | 2012-10-30 | 2020-07-16 | 가부시키가이샤 후지 | 노즐 관리기 |
WO2014068673A1 (ja) | 2012-10-30 | 2014-05-08 | 富士機械製造株式会社 | ノズル管理機 |
WO2014069016A1 (ja) | 2012-10-30 | 2014-05-08 | 富士機械製造株式会社 | ノズル管理機 |
WO2014196002A1 (ja) | 2013-06-03 | 2014-12-11 | 富士機械製造株式会社 | ノズル管理システム |
US10143119B2 (en) | 2013-06-03 | 2018-11-27 | Fuji Corporation | Nozzle management system |
CN106471878B (zh) * | 2014-06-30 | 2019-09-03 | 株式会社富士 | 检测装置 |
CN106471878A (zh) * | 2014-06-30 | 2017-03-01 | 富士机械制造株式会社 | 检测装置 |
JPWO2016001983A1 (ja) * | 2014-06-30 | 2017-04-27 | 富士機械製造株式会社 | 検出装置 |
US10184898B2 (en) | 2014-06-30 | 2019-01-22 | Fuji Corporation | Detection device |
WO2016001983A1 (ja) * | 2014-06-30 | 2016-01-07 | 富士機械製造株式会社 | 検出装置 |
EP3264071A4 (en) * | 2015-02-26 | 2018-08-01 | Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. | Inspection device and inspection method |
JPWO2016135910A1 (ja) * | 2015-02-26 | 2017-11-30 | 富士機械製造株式会社 | 検査装置、および検査方法 |
WO2016135910A1 (ja) * | 2015-02-26 | 2016-09-01 | 富士機械製造株式会社 | 検査装置、および検査方法 |
JP2016162900A (ja) * | 2015-03-02 | 2016-09-05 | 富士機械製造株式会社 | 部品実装機 |
JPWO2016139753A1 (ja) * | 2015-03-03 | 2017-12-07 | 富士機械製造株式会社 | 部品実装機 |
WO2016139753A1 (ja) * | 2015-03-03 | 2016-09-09 | 富士機械製造株式会社 | 部品実装機 |
JP2017112286A (ja) * | 2015-12-18 | 2017-06-22 | 富士機械製造株式会社 | 検出装置 |
JP2017147457A (ja) * | 2017-04-11 | 2017-08-24 | 富士機械製造株式会社 | ノズル管理機 |
JP2019071422A (ja) * | 2018-11-28 | 2019-05-09 | 株式会社Fuji | ノズル管理機 |
WO2023012912A1 (ja) * | 2021-08-03 | 2023-02-09 | ヤマハ発動機株式会社 | 部品実装用ノズル及び部品実装装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5660810B2 (ja) | 2015-01-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5660810B2 (ja) | 部品実装機の吸着ノズル検査装置 | |
CN107796825B (zh) | 器件检测方法 | |
JP5583102B2 (ja) | ガラス基板の表面不良検査装置および検査方法 | |
JP5410092B2 (ja) | 複合構造に不整合がないか検査するための装置および方法 | |
JP5302858B2 (ja) | 被覆電線検査装置及びこれを備えた電線処理機 | |
JP4983591B2 (ja) | 光学的検査方法および光学的検査装置 | |
JP2015197361A (ja) | 表面検査装置および表面検査方法 | |
JP4228778B2 (ja) | パターン検査装置 | |
JP5272784B2 (ja) | 光学的検査方法および光学的検査装置 | |
JP2018195735A (ja) | 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 | |
JP5907628B2 (ja) | 部品実装機の吸着ノズル検査装置 | |
JP2015219085A (ja) | 基板検査装置 | |
KR20160121716A (ko) | 하이브리드 조명 기반 표면 검사 장치 | |
JP2000028320A (ja) | 画像認識装置および画像認識方法 | |
JP2011149814A (ja) | 塗装検査装置及び塗装検査方法 | |
KR101124567B1 (ko) | 하이브리드 조명부를 포함하는 웨이퍼 검사 장치 | |
JP2005308623A (ja) | 光学部材検査装置 | |
JP2012225716A (ja) | 基板の外観検査装置および外観検査方法 | |
JP2006317391A (ja) | スリット光照射装置 | |
JP2008139126A (ja) | 欠陥検出装置および欠陥検出方法 | |
JP5100371B2 (ja) | ウェハ周縁端の異物検査方法、及び異物検査装置 | |
JP7372173B2 (ja) | 基板エッジ検査装置 | |
JP2015206752A (ja) | 検査装置 | |
JP2015045554A (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
JP2019138696A (ja) | 外観検査方法及び外観検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130524 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140109 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140114 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140210 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140718 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140911 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20140922 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141202 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141202 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5660810 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |