JPH11230717A

JPH11230717A - 吸着ノズルの位置確認治具

Info

Publication number: JPH11230717A
Application number: JP10036019A
Authority: JP
Inventors: Hidekuni Niiyama; 秀邦新山
Original assignee: Nidec Copal Corp
Current assignee: Nidec Precision Corp
Priority date: 1998-02-18
Filing date: 1998-02-18
Publication date: 1999-08-27
Anticipated expiration: 2018-02-18
Also published as: JP3939002B2

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、熟練を必要とせず、作業時間の短
縮化や作業の確実性を促進させるようにした吸着ノズル
の位置確認治具を提供することを目的とする。【解決手段】本発明による吸着ノズルの位置確認治具
１は、電子部品Ｈを吸着搬送する吸着ノズル３を、所定
の位置で停止させた状態で、上下方向に延在する吸着ノ
ズル３の先端部分の位置を確認する吸着ノズル３の位置
確認治具１において、吸着ノズル３の先端部分を照明す
る光源部Ａ１，Ｂ１と、吸着ノズル３の吸着面３ａから
下方に離間して位置し、吸着ノズル３の吸着面３ａを下
から撮像させる第１の撮像窓部Ａと、吸着ノズル３の吸
着面３ａから側方に離間して位置し、吸着ノズル３の吸
着面３ａを含む部分を横から撮像させる第２の撮像窓部
Ｂとを備えた構成である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、吸着ノズルの位置
確認治具に係り、特に、吸着ノズルで電子部品を吸着す
る際に、吸着ノズルの先端が、予定された位置にあるか
否かを認識させるための吸着ノズルの位置確認治具に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、このような分野の技術として、図
１０に示すような吸着ノズルの位置確認治具１００があ
る。この治具１００は、Ｚ軸ステージ１０２上に配置さ
せる部品供給装置Ｇ（図１１参照）と吸着ノズル１０１
とが、電子部品吸着時において正確に位置合わせされて
いるか否かを確認するためのものである。この治具１０
０は、Ｚ軸ステージ１０２上に配置させる部品供給装置
Ｇに代えて、ステージ１０２上の所定の場所に配置させ
るためのベース１０４を有し、このベース１０４上には
ピックテスター１０５を備えている。そこで、先ず、ベ
ース１０４上に置かれたゲージブロック（図示せず）に
基づき、ピックテスター１０５のピック部１０５ａの先
端を測定基準に設定する。その後、ゲージブロックを外
し、吸着ノズル１０１を下降させ、吸着ノズル１０１の
所定場所にピック部１０５ａが接触している状態で、目
盛り部１０５ｂを読む。そして、その読取り値に基づい
て、吸着ノズル１０１の高さ方向（Ｚ方向）の位置を求
め、その値に基づいて、Ｚ軸ステージ１０２側の高さを
調整しながら、吸着ノズル１０１とＺ軸ステージ１０２
との相対的な高さ関係を調整する。

【０００３】なお、前述した部品供給装置（「パーツカ
セット」ともいう）Ｇの一例として、特開平７−８６７
９２号公報に開示されたものがある。この装置Ｇは、図
１１及び図１２に示すように、バルクケース１０７から
１個ずつ送り出されたチップ状の電子部品Ｈを、搬送経
路１０９上のベルト１１０を介してシャッタ部１１１ま
で搬送させる構成を有している。また、このシャッタ部
１１１は、図１２に示すように、４５°のステップ回転
する回転体１１２と遮蔽円板１１３との協働により、電
子部品Ｈを１個ずつ所定場所（吸着位置）まで送り込む
構成を有している。そして、吸着ノズル１０１による電
子部品Ｈの吸着時において、遮蔽円板１１３の切欠き部
１１３ａが、吸着ノズル１０１の常に真下に位置するこ
とで、切欠き部１１３ａを介して露出させた電子部品Ｈ
を、常に一定の位置で吸着ノズル１０１に一個ずつ吸着
させることができる。更に、図１０に示すように、部品
供給装置Ｇに設けられた筺体１１４の底面１１４ａには
位置決めピン１１５が２本設けられ、各位置決めピン１
１５を、Ｚ軸ステージ１０２に設けられた位置決め穴１
１６内に差し込むことで、Ｚ軸ステージ１０２上での装
置Ｇの位置決めを達成させている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
吸着ノズルの位置確認治具は、上述したように構成され
ているため、次のような課題が存在していた。すなわ
ち、吸着ノズルの位置確認治具１００は、ゲージ式であ
るために、その取り扱いに熟練を要し、吸着ノズル１０
１の位置検査に時間と手間がかかるといった問題点を有
していた。

【０００５】本発明は、上述の課題を解決するためにな
されたもので、特に、熟練を必要とせず、作業時間の短
縮化や作業の確実性を促進させるようにした吸着ノズル
の位置確認治具を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る本発明の
吸着ノズルの位置確認治具は、電子部品を吸着搬送する
吸着ノズルを、所定の位置で停止させた状態で、上下方
向に延在する吸着ノズルの先端部分の位置を確認する吸
着ノズルの位置確認治具において、吸着ノズルの先端部
分を照明する光源部と、吸着ノズルの吸着面から下方に
離間して位置し、吸着ノズルの吸着面を下から撮像させ
る第１の撮像窓部と、吸着ノズルの吸着面から側方に離
間して位置し、吸着ノズルの吸着面を含む部分を横から
撮像させる第２の撮像窓部とを備えたことを特徴とす
る。

【０００７】この吸着ノズルの位置確認治具は、一旦停
止させた吸着ノズルの位置を視認するための治具であ
る。この位置認識治具に設けられた光源部により、吸着
ノズルの先端部分を照らし出し、吸着ノズルからの反射
光を積極的に作り出す。そして、位置認識治具は、上下
方向に延びる吸着ノズルの下端に形成した吸着面で反射
した光を受け入れる第１の撮像窓部を有し、更に、吸着
ノズルの先端部分の側面で反射した光を受け入れる第２
の撮像窓部を有している。したがって、第１の撮像窓部
から取り込まれる底面像によって、吸着面の状態を撮像
すると、その撮像結果に基づいて、吸着面の水平方向の
位置を映像として認識することができる。同様に、第２
の撮像窓部から取り込まれる側面像によって、吸着面の
高さ方向の位置を映像として認識することができる。こ
のように、吸着ノズルの吸着面の位置を非接触で検査す
ることが可能となり、吸着ノズルの位置確認作業の迅速
化と簡易化を図ることができる。

【０００８】請求項２記載の吸着ノズルの位置確認治具
において、電子部品を吸着ノズルに供給するパーツカセ
ットに代えてパーツカセット載置用のステージ上に配置
させるハウジングの先端部には、パーツカセットの電子
部品吸着位置に対応する吸着ノズル導入領域が設けら
れ、第１の撮像窓部は、ハウジングにおける吸着ノズル
導入領域の下部に設けられ、第２の撮像窓部は、ハウジ
ングにおける吸着ノズル導入領域の立上げ部に設けら
れ、光源部は、ハウジングにおける第１の撮像窓部と第
２の撮像窓部との少なくとも一方に設けられると好まし
い。

【０００９】このような構成を採用した場合、パーツカ
セット載置用のステージ上に設置させる電子部品供給用
のパーツカセットが既にもっている吸着ノズル導入領域
を、位置確認治具のハウジングの先端部に形成させるこ
とで、パーツカセットに代えて、位置確認治具をステー
ジ上に配置させても、吸着位置まで降ろされた吸着ノズ
ルと治具とが衝突する事態が起こらない。そして、パー
ツカセットの吸着ノズル導入領域では、吸着ノズルによ
る電子部品の吸着動作が行われる関係上、吸着ノズルの
吸着位置を正確に把握する必要がある。そこで、治具の
ハウジングにおいて、吸着ノズル導入領域の下部に第１
の撮像窓部を設け、その立ち上げ部に第２の撮像窓部を
設け、更に、吸着ノズルの照明を確実にするために、第
１の撮像窓部の少なくとも一方に光源部を設けている。
このように構成する結果、パーツカセットと位置認識治
具との間に互換性が生じ、必要に応じて交換することが
できる。そして、治具によって得られた像情報に基づ
き、吸着ノズルの吸着位置（ピックアップ位置）を正確
に把握することができる。

【００１０】請求項３記載の吸着ノズルの位置確認治具
において、ハウジングの内部には、第１の撮像窓部を通
る吸着ノズル底面像の第１光路と第２の撮像窓部を通る
吸着ノズル側面像の第２光路との合流位置に設けた光路
合成素子と、光路合成素子から延びる第３光路上に設け
た撮像素子と、が設けられると好ましい。

【００１１】このような構成を採用した場合、ハウジン
グ内に設けた光路合成素子（例えばハーフミラー）によ
り、第１光路と第２光路とを合流させて第３光路を作り
出すことができるので、各光路に対応させた撮像素子を
個別的に設ける必要がなく、一個の撮像素子で二種類の
像を撮像することができる。従って、ハウジング内の構
成が簡単になり、ハウジング内の部品点数を減らすこと
ができ、治具の軽量化や小型化が図られる。

【００１２】請求項４記載の吸着ノズルの位置確認治具
において、ハウジングの内部には、第１光路と第２光路
とを切り替えるシャッタが設けられると好ましい。この
ような構成を採用した場合、撮像素子で起こる二重映し
の状態を、シャッタの切替えにより簡単に回避させるこ
とができる。

【００１３】請求項５記載の吸着ノズルの位置確認治具
において、ハウジングには、パーツカセットの位置決め
手段に対応する構成の位置決め手段が設けられると好ま
しい。このような構成を採用した場合、パーツカセット
と位置確認治具との交換作業を、同一構成の位置決め手
段を介して簡単に行うことができる。この位置決め手段
としては、位置決めピンが代表的である。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明による吸
着ノズルの位置確認治具の好適な実施形態について詳細
に説明する。

【００１５】図１は、本発明に係る吸着ノズルの位置確
認治具の外観を示す斜視図である。同図に示す吸着ノズ
ルの位置確認治具１は、パーツカセット載置用のステー
ジ２上に並べられるようにして設置される部品供給装置
（「パーツカセット」ともいう）Ｇ（図１１参照）に代
えて利用されるものであり、パーツカセットＧと吸着ノ
ズル３との相対的な位置関係を把握する作業に利用され
る。

【００１６】このような作業を必要とする理由は、吸着
ノズル３によってパーツカセットＧから電子部品Ｈをピ
ックアップする際、吸着ノズル３の先端が所定のピック
アップ位置にあるか否かが電子部品Ｈの実装精度に大き
な影響を与えるからである。すなわち、吸着ノズル３の
ピックアップ位置（電子部品吸着位置）がずれると、電
子部品Ｈの中央を吸着ノズル３で吸着させることができ
なくなり、電子部品Ｈの吸着不良や吸着位置のばらつき
が発生するからである。よって、パーツカセットＧと吸
着ノズル３との相対的な位置関係を治具１により把握
し、撮像結果に基づいて、ステージ２を上下左右方向に
移動調整させながらステージ２側でピックアップ位置の
調整を行う。すなわち、治具１は、ステージ２に対して
相対的な位置ずれを起こしていた吸着ノズルＧの先端を
ピックアップ位置に正確に位置させようとするものであ
る。

【００１７】そこで、このような調整に利用される位置
確認治具１は、図１〜図３に示すように、金属製のハウ
ジング４を有し、このハウジング４は、ステージ２上に
密に並設させるパーツカセットＧの幅と同じ薄型になっ
ている。また、ハウジング４の中央及び後端には、治具
１の取り扱いを容易にするための取手５が設けられてい
る。更に、ハウジング４の底面には、ステージ２上に設
けた前後一対の位置決め穴６に合致させ得る位置決め手
段としての位置決めピン７が２本設けられ、これら位置
決めピン７は、パーツカセットＧに設けられた位置決め
ピンＰ（図１１参照）に対応させるものである。具体的
に、一対の位置決めピン７は、その形状や間隔をパーツ
カセットＧの位置決めピンＰと同じにし、パーツカセッ
トＧと治具１との差し替えを可能にする。

【００１８】なお、ステージ２上の位置決め穴６は、実
際上、テーブル２ａ上に平行に設置された二本の調整ブ
ロック２ｂに形成され、各調整ブロック２ｂには、等間
隔のピッチをもって位置決め穴６が設けられている。そ
して、ステージ２は、調整ブロック２ｂの摺動によって
前後方向（Ｘ方向）及び左右方向（Ｙ方向）の調整を可
能にし、テーブル２ａによって高さ方向（Ｚ方向）の調
整が可能になっている。従って、治具１による測定結果
に基づき、ステージ２は、任意の方向に調整移動させる
ことができる。

【００１９】図４及び図５に示すように、治具１におい
て、ハウジング４の先端部には、パーツカセットＧのピ
ックアップ位置（電子部品吸着位置）に対応する吸着ノ
ズル導入領域Ｓが設けられている。この吸着ノズル導入
領域ＳはＬ字状に切欠かれ、この吸着ノズル導入領域Ｓ
の下部には、吸着ノズル３の吸着面３ａから下方に離間
した位置で第１の撮像窓部Ａが設けられ、吸着ノズル導
入領域Ｓの立ち上げ部には、吸着ノズル３の吸着面３ａ
から側方に離間した位置で第２の撮像窓部Ｂが設けられ
ている。また、第１の撮像窓部Ａには、吸着ノズル３の
吸着面３ａを照らし出す第１の光源部Ａ１が設けられ、
第２の撮像窓部Ｂにもノズル３の先端部の側面を照らし
出す第２の光源部Ｂ１が設けられている。従って、第１
及び第２の光源部Ａ１，Ｂ１を同時点灯させた状態で、
第１の撮像窓部Ａを利用すると、吸着面３ａの状態を真
下から確実に視認することができ、第２の撮像窓部Ｂを
利用した場合には、吸着面３ａの状態を真横から確実に
視認することができる。

【００２０】この第１の撮像窓部Ａにおいて、ハウジン
グ４には、吸着ノズル３の吸着面３ａの真下に位置する
縦穴状の覗き窓１０が設けられ、この覗き窓１０を塞ぐ
ように、ハウジング４にはガラス製の防塵用窓板１１が
嵌め込まれている。また、覗き窓１０の周囲には、第１
の光源部Ａ１を構成する８個の発光体（例えばＬＥＤ）
１２が配置され（図６参照）、これら発光体１２は窓板
１１の内側に設置される。従って、吸着ノズル３は窓板
１１を介して確実に照明され、吸着ノズル３の吸着面３
ａで反射した光は、略鉛直に延びる第１光路Ｌ１に沿っ
て覗き窓１０内に確実に入射することになる。

【００２１】同様に、第２の撮像窓部Ｂにおいて、ハウ
ジング４には、吸着ノズル３の先端部の真横に位置する
横穴状の覗き窓２０が設けられ、この覗き窓２０を塞ぐ
ように、ハウジング４にはガラス製の防塵用窓板２１が
嵌め込まれている。また、覗き窓２０の周囲には、第２
の光源部Ｂ１を構成する４個の発光体（例えばＬＥＤ）
２２が配置され（図７参照）、これら発光体２２は窓板
２１の内側に設置される。従って、吸着ノズル３は窓板
２１を介して確実に照明され、吸着ノズル３の先端部で
反射した光は、水平方向に第２光路Ｌ２に沿って覗き窓
２０内に確実に入射することになる。

【００２２】このように、第１の撮像窓部Ａから取り込
まれた吸着ノズル底面像は、ハウジング４の後部に収容
した撮像ユニット２３の撮像素子（ＣＣＤ）２４まで導
かれ、撮像ユニット２３からは、映像信号がコネクタ端
子２５（図２参照）を介して外部に出力される。同様
に、第２の撮像窓部Ｂから取り込まれた吸着ノズル側面
像も撮像素子２４まで導かれている。

【００２３】そこで、覗き窓１０の真下には、第１光路
Ｌ１上に位置するようにしてハウジング４の内壁面に固
定させた反射ミラー２６が設置され、この反射ミラー２
６により、第１光路Ｌ１を、直角に曲げて、鉛直な光路
を水平な光路に変換している。同様に、覗き窓２０の真
横には、第２光路Ｌ２上に位置するようにしてハウジン
グ４の内壁面に固定させた反射ミラー２７が設置され、
この反射ミラー２７により、第２光路Ｌ２を、直角に曲
げて、水平な光路を鉛直な光路に変換している。

【００２４】そして、光路長の略等しい第１光路Ｌ１と
第２光路Ｌ２との合流位置には、光路合成素子（例えば
ハーフミラー内蔵形プリズム）２８がハウジング４に固
定され、この光路合成素子２８により、第１光路Ｌ１と
第２光路Ｌ２とを合流させて第３光路Ｌ３を作り出して
いる。その結果、第３の光路Ｌ３上に撮像素子２４を配
置させると、一個の撮像素子２４で二種類の像を撮像さ
せることが可能になる。従って、各光路Ｌ１，Ｌ２に対
応させた撮像素子２４を個別的に設ける必要がなく、撮
像素子２４の個数を減らすことができると同時に、撮像
系の構成も簡単になる。なお、光路合成素子２８と撮像
素子２４との間の第３光路Ｌ３上には、ユニット化した
結像レンズ２９がハウジング４の内壁面に固定され、こ
の結像レンズ２９を通過した光は、反射ミラー３０，３
１を介して撮像素子２４に入射させる構成を採用してい
る。

【００２５】さらに、ハウジング４内には、光路合成素
子２８に達する第１光路Ｌ１と第２光路Ｌ２とを、光路
合成素子２８の前方で適切に切り替えるための回動自在
なシャッタ３２が設けられている。このシャッタ３２の
回転軸３２ａは、図示しない傘歯車機構等を介して駆動
モータ３４に連結され、駆動モータ３４の動作に基づい
て、シャッタ３２による第１及び第２光路Ｌ１及びＬ２
の選択的な開閉を可能にしている。そして、駆動モータ
３４は、露出させることなく、ハウジング４の側面に固
定したギアボックス３３内に収容させている。このよう
に、シャッタ３２で、第１光路Ｌ１と第２光路Ｌ２とを
選択的に切り替えることにより、撮像素子２４で起こる
二重映しの状態を適切に回避させることができる。

【００２６】そこで、このような構成の位置確認治具１
から出力された映像信号に基づき、吸着ノズル３の吸着
面３ａの像を、外部モニターの画面４０に映し出すと、
図８に示すように、吸着面３ａの中心点Ｄが、画面４０
の中心点Ｅからどの程度位置ずれを起こしているが測定
され、この測定結果に基づいて、前述した調整ブロック
２ｂを、その摺動によって前後方向（Ｘ方向）及び左右
方向（Ｙ方向）に移動させ、吸着ノズル３に対するステ
ージ２の相対的なＸ−Ｙ方向の位置調整を行う。なお、
画面４０を見ながら、吸着面３ａの中心点Ｄを画面４０
の中心点Ｅに合わせる調整方法も可能である。

【００２７】同様に、シャッタ３２の切替えにより、吸
着ノズル３の先端部の像を外部モニターの画面４０に映
し出すと、図９に示すように、吸着面３ａの輪郭線が、
画面４０の水平基準線Ｆからどの程度位置ずれを起こし
ているが測定され、この測定結果に基づいて、テーブル
２ａを高さ方向（Ｚ方向）に移動させ、吸着ノズル３に
対するステージ２の相対的なＺ方向の位置調整を行う。
なお、画面４０を見ながら、吸着面３ａの輪郭線と水平
基準線Ｆとの位置合わせる調整方法も可能である。

【００２８】また、このような調整作業は、ステージ２
の長手方向すなわちパーツカセットＧの並設方向に沿っ
て所定間隔毎に行うこともでき、ステージ２全体の傾き
具合や高さレベルの測定をも可能にする。このように、
吸着ノズル３の吸着面３ａとステージ２との相対的な位
置関係を、非接触で検査することが可能となり、吸着ノ
ズル３の位置確認作業の迅速化と簡易化が図られること
になる。

【００２９】本発明は、前述した実施形態に限定される
ものではなく、例えば、本発明に係る位置確認治具１
は、パーツカセットＧを載置させるステージ２と吸着ノ
ズル３の吸着面３ａとの位置関係を調べる場合に限ら
ず、実装用の回路基板を載置させるステージと吸着ノズ
ル３の吸着面３ａとの位置関係を調べる場合にも適用で
きる。また、位置決め手段７としては、凹凸嵌合用の位
置決め穴であってもよい。

【００３０】

【発明の効果】本発明による吸着ノズルの位置確認治具
は、以上のように構成されているため、次のような効果
を得る。すなわち、電子部品を吸着搬送する吸着ノズル
を、所定の位置で停止させた状態で、上下方向に延在す
る吸着ノズルの先端部分の位置を確認する吸着ノズルの
位置確認治具において、吸着ノズルの先端部分を照明す
る光源部と、吸着ノズルの吸着面から下方に離間して位
置し、吸着ノズルの吸着面を下から撮像させる第１の撮
像窓部と、吸着ノズルの吸着面から側方に離間して位置
し、吸着ノズルの吸着面を含む部分を横から撮像させる
第２の撮像窓部とを備えたことにより、位置確認治具の
取り扱いに熟練を必要とせず、作業時間の短縮化や作業
の確実性を促進させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る吸着ノズルの位置確認治具の一実
施形態を示す斜視図である。

【図２】図１に示した位置確認治具の側面図である。

【図３】図２に示した位置確認治具の底面図である。

【図４】図１に示した位置確認治具の要部拡大斜視図で
ある。

【図５】図１に示した位置確認治具の要部拡大断面図で
ある。

【図６】第１の撮像窓部を示す平面図である。

【図７】第２の撮像窓部を示す平面図である。

【図８】第１の撮像窓部によって得られた画像を示す図
である。

【図９】第２の撮像窓部によって得られた画像を示す図
である。

【図１０】従来の位置確認治具を示す側面図である。

【図１１】代表的なパーツカセットを示す側面図であ
る。

【図１２】パーツカセットのシャッタ部分を示す平面図
である。

【符号の説明】

１…位置確認治具、２…ステージ、３…吸着ノズル、３
ａ…吸着面、４…ハウジング、７…位置決めピン（位置
決め手段）、２４…撮像素子、２８…光路合成素子、３
２…シャッタ、Ａ…第１の撮像窓部、Ｂ…第２の撮像窓
部、Ａ１，Ｂ１…光源部、Ｇ…パーツカセット、Ｈ…電
子部品、Ｓ…吸着ノズル導入領域、Ｌ１…第１光路、Ｌ
２…第２光路、Ｌ３…第３光路。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】電子部品を吸着搬送する吸着ノズルを、
所定の位置で停止させた状態で、上下方向に延在する前
記吸着ノズルの先端部分の位置を確認する吸着ノズルの
位置確認治具において、前記吸着ノズルの先端部分を照明する光源部と、前記吸着ノズルの吸着面から下方に離間して位置し、前
記吸着ノズルの前記吸着面を下から撮像させる第１の撮
像窓部と、前記吸着ノズルの前記吸着面から側方に離間して位置
し、前記吸着ノズルの前記吸着面を含む部分を横から撮
像させる第２の撮像窓部とを備えたことを特徴とする吸
着ノズルの位置確認治具。
【請求項２】前記電子部品を前記吸着ノズルに供給す
るパーツカセットに代えてパーツカセット載置用のステ
ージ上に配置させるハウジングの先端部には、前記パー
ツカセットの電子部品吸着位置に対応する吸着ノズル導
入領域が設けられ、前記第１の撮像窓部は、前記ハウジングにおける前記吸
着ノズル導入領域の下部に設けられ、前記第２の撮像窓部は、前記ハウジングにおける前記吸
着ノズル導入領域の立上げ部に設けられ、前記光源部は、前記ハウジングにおける前記第１の撮像
窓部と前記第２の撮像窓部との少なくとも一方に設けら
れたことを特徴とする請求項１記載の吸着ノズルの位置
確認治具。
【請求項３】前記ハウジングの内部には、前記第１の
撮像窓部を通る吸着ノズル底面像の第１光路と前記第２
の撮像窓部を通る吸着ノズル側面像の第２光路との合流
位置に設けた光路合成素子と、前記光路合成素子から延
びる第３光路上に設けた撮像素子と、が設けられたこと
を特徴とする請求項１又は２記載の吸着ノズルの位置確
認治具。
【請求項４】前記ハウジングの内部には、前記第１光
路と前記第２光路とを切り替えるシャッタが設けられた
ことを特徴とする請求項３記載の吸着ノズルの位置確認
治具。
【請求項５】前記ハウジングには、前記パーツカセッ
トの位置決め手段に対応する構成の位置決め手段が設け
られたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項記
載の吸着ノズルの位置確認治具。