JP2006140391A - 部品認識装置及び部品実装装置 - Google Patents

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義明 櫛山
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Abstract

【課題】ポリゴンミラーや半導体レーザー等を用いることなく、簡潔で且つ小型の構成により、部品の三次元位置や形状の認識を可能とする部品認識装置とこの部品認識装置を備えた部品実装装置を提供する。
【解決手段】吸着ノズルで吸着保持した部品2の側面と底面を同じ方向から観測可能とするためのミラー58a〜58d又はハーフミラーと、これらを介して、部品側面の画像と底面の画像を一括して撮像する部品撮像カメラ52を備える。
【選択図】図3

Description

本発明は、部品の三次元位置や形状及び状態を認識するための部品認識装置及び部品実装装置に係り、特に、電子部品を電子基板等に実装する電子部品実装装置に用いるのに好適な、電子部品等の部品の三次元位置や形状及び状態を認識するための部品認識装置、及び、該部品認識装置を用いて部品認識を行なって搭載作業をする電子部品実装装置等の部品実装装置に関するものである。
図11乃至図13は、従来技術である特許文献1に、第1図乃至第3図として記載されている電子部品実装装置及びその部品認識装置の一構成例である。
図11に示されるように、電子部品実装装置における従来技術による部品認識装置は、電子部品(以下、単に部品と称する)2の底面全体の輝度画像データを得るためのCCDカメラ3と、部品2の底面全体の高さデータを得るための高さセンサー8とを備え、前記CCDカメラ3による二次元の位置検出と高さセンサー8による三次元の位置検出をそれぞれ独立に使い分けて、部品2の位置検出を行なうようにしている。図11において、1は基台、4aは、部品2が載っているトレー、4は、該トレー4aに載った部品を自動供給する部品供給部、7は、例えば実装時に部品2を吸装着するノズル、5は、該ノズル7をX軸方向に移動させるためのX軸フレーム、6a及び6bは、前記ノズル7をX軸フレーム5と共にY軸方向に移動させるためのY軸フレーム、9は、部品2が実装される電子基板(以下、単に基板と称する)である。
又、図12は、高さセンサー8のY軸に垂直な断面図であり、図13は、高さセンサー8のX軸に垂直な断面図である。図12及び図13において、10は、レーザー光を発光する半導体レーザー、11は、このレーザー光を集光整形する集光整形レンズ、12は、ミラー面に当たったレーザー光を機械的回転によって走査させるポリゴンミラー、13は、レーザー光の一部を通過させ、一部を反射させるハーフミラー、14は、光を反射させるミラー、15は、ポリゴンミラー12で機械的に振られたレーザー光を、被写体である部品2に垂直に投射されるように光路変換させるF−θレンズ、16a及び16bは、部品2に当たったレーザー光の反射(散乱光)を結像させる結像レンズ、17a及び17bは、部品2に当たったレーザー光の反射光が結像レンズ16a及び16bを通して結像される位置検出素子としての半導体位置検出素子(以下、PSD)であり、結像した光の位置と相関のある電気信号を発生する機能を有する。更に、18a及び18bは、PSD17a及び17bの出力信号、19は、レーザー光がポリゴンミラー12の各ミラー面の所定位置に来た時に受光する光センサー、20は、該光センサー19により出力されるポリゴンミラー12の各ミラー面の原点信号である。
以上の構成により、特許文献1に示される先行技術では、次のような動作によって部品2の三次元情報を得ている。
(1)ノズル7で部品供給部4の部品2を吸着する。
(2)部品2の三次元情報を得る場合、即ち高さセンサー8による撮像を行なう場合と、そうでない場合、即ちCCDカメラ3による撮像を行なう場合を判断する。
(3)この判断のための情報は、設備の操作者が部品2の幾何情報を示す形状情報記憶部(図示省略)内に事前に設定しておけば、設備を自動運転することができる。以下は三次元情報を得る場合について記載する。
(4)部品2を吸着したノズル7が高さセンサー8上に移動し、高さセンサー8で部品2の高さ形状、即ち、三次元の位置データを取り込む。
(5)輝度画像、或いは高さ形状を、共通の画像処理手段(画像処理部…図示省略)で処理して、部品の二次元位置情報、即ち部品2のX軸方向位置、Y軸方向位置及び回転角θを検出する。
又、特許文献2の図3には、半田ボールが配置された半導体チップ等のワーク上に、互いに交差する2方向から光を照射し、且つ、同じ2方向で、それぞれ画像を得て、半田ボールの高さを検出することが記載されている。
特開平11−251791号公報 特開平11−23239号公報
しかしながら、特許文献1に記載されたような従来の電子部品三次元認識装置、即ち高さセンサー8は、前記のとおり、ポリゴンミラー12や半導体レーザー10等の構成部品と複雑な構造が必要であり、従って、高さセンサー8が非常に高価になるだけでなく、高さセンサー8が大型になり、電子部品実装装置への組み込みにより、電子部品実装装置自体が大型化する等の問題点を有していた。
又、特許文献2に記載された検査装置は、ワークの平面と側面の画像を同時に取得するものではなかった。
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、ポリゴンミラーや半導体レーザー等を用いることなく、簡潔で且つ小型の構成により、部品の三次元位置や形状の認識を可能とすることを課題とする。
本発明は、部品の三次元位置や形状及び状態を認識するための部品認識装置において、部品の側面と底面を同じ方向から観測可能とする撮像手段を有することにより、前期課題を解決したものである。
又、前記部品の側面と底面を同じ方向から観測可能とするための光学系を更に備えるようにしたものである。
又、前記部品の側面を観察可能とするための光学系が、部品を挟むように配設された少なくとも一対の反射手段と、部品の寸法に合わせて、該反射手段の間隔を調整するための駆動手段とを備えることにより、部品の寸法に応じて、側面を観測する光軸の撮像手段から部品側面までの光路長を一定に保つことができるようにしたものである。
又、前記光学系を部品の片側に配設し、部品を挟んで前記光学系の反対側から、部品に対して照明光を照射する透過照明手段を備えることにより、コントラストの良好な透過照明像が得られるようにしたものである。
本発明は、又、前記の部品認識装置を備えたことを特徴とする部品実装装置を提供するものである。
本発明によれば、ポリゴンミラーや半導体レーザー等を用いることなく、簡潔な構成により、部品の三次元位置や形状及び状態の認識が可能となる。又、三次元形状を認識する手段と部品の位置検出を行なう手段が同一であるので、部品実装装置本体における、これらの占有領域が小さく、部品実装装置の寸法を小さく抑えることができる。更に、部品の三次元形状を得るのに、ポリゴンミラーでレーザー光を走査する必要がなく、カメラで一度シャッタ撮像するだけでよいので、高速に認識が可能であり、引いては、部品実装装置の搭載タクトが向上する。
以下図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。
初めに、図1を用いて、本発明の実施形態が適用される電子部品実装装置について説明する。図1は、電子部品実装装置の一例を示す斜視図である。
図1において、基台1の中央部には、X方向に搬送路30が配設されている。該搬送路30は、基板9を搬送すると共に、搬送路30上で基板9を保持し位置決めする。従って搬送路30は基板保持部を兼ねている。搬送路30の両側には、部品の供給部4が配置され、それぞれの供給部4には多数台のパーツフィーダ32が並設されている。パーツフィーダ32は、例えばテープに保持された部品を収納し、このテープをテープ長方向に送ることにより部品を順次供給する。
X軸フレーム5には、部品の移載ヘッド34がX軸方向に移動自在に装着されている。X軸フレーム5は、その両端をY軸フレーム6a及び6bにY軸方向移動自在に支持されて架設されている。又、移載ヘッド34及びX軸フレーム5は、それぞれ特に図示しないX軸モータ及びY軸モータにより駆動され、それぞれX軸及びY軸方向に移動自在となっている。これによって移載ヘッド34はXY方向に任意に移動可能であり、下端部に装着された吸着ノズル7(図2参照)により、パーツフィーダ32のピックアップ位置から部品をピックアップし、基板9上に移載する。
搬送路30と供給部4との間の移載ヘッド34の移動経路には、本発明に係る部品認識ユニット50が配設されており、該部品認識ユニット50は、移載ヘッド34ひいては吸着ノズル7、及び、それが吸着する部品の撮像を行なう。移載ヘッド34が部品を保持した状態で認識ユニット50で撮像することにより、部品の識別、位置ずれ検出が行なわれる。
次に、図2を用いて移載ヘッドまわりについて説明する。図2は、同電子部品実装装置の移載ヘッド34及び周辺部の斜視図である。
図2において、移載ヘッド34には、Z軸モータ36及びボールねじ37、更にθ軸モータ38が設けられ、これらによりノズルシャフト39はZ軸及びθ軸方向に自在に駆動される。又、特に図示しない真空発生装置が接続されることで、ノズルシャフト39の先端に着脱自在に係合される吸着ノズル7には部品が吸着保持される。
合わせて、基板に設けられる位置基準マークを認識するための基板認識カメラ40及び基板照明装置42が、移載ヘッド34と一体的に設けられる。
続いて、図3及び図4を用いて、本発明に係る三次元部品認識装置の第1実施形態について説明する。該三次元部品認識装置は、部品認識ユニット50として電子部品実装装置に設けられている。図3は、前記三次元部品認識装置の主要な構成を示す外観図であり、図3(a)はZX平面における外観図、図3(b)はYZ平面における外観図を示す。又、図4は、前記三次元部品認識装置において撮像された部品の画像の一例を示す。
本実施形態は、吸着ノズル7が吸着保持した部品2の底面と側面の画像を一括して撮像する部品撮像手段である部品撮像カメラ52と、該部品撮像カメラ52に光学的に連結され、対物側にテレセントリック特性を持つ部品結像手段である対物側テレセントリックレンズ54と、前記部品2を照明する照明手段である部品照明装置56と、前記移載ヘッド34のノズルシャフト39の周囲を取り囲むように前後左右に設けられた、前記対物側テレセントリックレンズ54の視野の一部に存在して、撮像光軸を部品側方へと折り返す反射手段を構成する4枚のミラー58a〜58dとを有し、部品の底面画像と側面画像を1つの部品撮像カメラ52で一括して撮像することを特徴とする。
なお、自然光により十分な光量が得られる場合は、部品照明装置56は省略可能である。又、ミラー58a〜58dの代わりにプリズムや光ファイバーを用いることもできる。
以上の構成による三次元部品認識装置を用いた電子部品実装装置の動作を実際の基板搭載作業に沿って説明する。
図1に矢印Aで示されるように、基板9は図1における装置左側から搬送路30によりX軸方向に搬送されると共に、基台1内に予め定められる搭載位置へと搬送され固定される。移載ヘッド34は、図示されないX軸モータ及びY軸モータの駆動により基板9上に移動し、基板照明装置42によって基板9上の位置基準マークを照射しつつ、基板認識カメラ40により位置基準マークを撮影する(複数の位置基準マークがあれば順次同様に撮像する)。これらの撮像データを、例えば電子部品実装装置筐体内に格納されている画像認識部(図示省略)が演算し、基板9の基台1における位置決めされた位置と角度のデータを得、それを元に部品の搭載位置データの補正を行なう。
続いて移載ヘッド34は部品の供給部4へと移動し、パーツフィーダ32から基板9上に実装すべき部品を取り出す。部品を取り出した移載ヘッド34は、X軸及びY軸方向に駆動されて、基板9上の搭載すべき位置へと移動を行なう。この途中で移載ヘッド34は、X軸及びY軸の駆動により部品認識ユニット50上に移動する。この際に移載ヘッド34のX軸方向の位置を検出するX軸エンコーダ(図示省略)と、X軸フレーム5のY軸方向の位置を検出するY軸エンコーダ(図示省略)からの出力信号を検出し、撮像すべき部品2を吸着保持したノズル7が部品認識ユニット50の直上に位置したことを検知して、部品認識ユニット50の部品照明装置56に例えばパルス電流を与えて瞬時に点灯させ、これと同時に部品撮像カメラ52にトリガを与えてシャッタをきり、ノズル7が吸着保持した部品2を、図4に示されるような、底面画像2o、左側面画像2a、右側面画像2b、前側面画像2c、後側面画像2dを全て含む一枚の画像にて一括して撮像し、部品2の吸着保持している姿勢を、底面画像2oを基に前記画像認識部にて演算して算出すると共に、部品2の底面画像2oと一括して得られた部品2の側面画像2a〜2dを元に部品の三次元形状を前記画像認識部にて演算して検出する。図において、7a〜7dは、吸着ノズル7の画像である。
このとき、複数(図2では2つ)の移載ヘッド34が夫々吸着保持する部品2を順次撮像するにあたっては、各吸着ノズル7を部品認識ユニット50上に停止させて撮像してもよく、又、前述のとおり高速でシャッタ撮像している場合には、移動させながら撮像しても構わない。
本実施形態では、十分に絞りを絞った対物側テレセントリックレンズ54を用いているので、部品底面を観察する光軸の光路長と、部品側面を観察する光軸の光路長が多少異なっても、撮像した部品画像の大きさ、ひいては視野のピクセルレートが底面画像と側面画像とで異なることはなく、又、対物側焦点からの距離の相違によるボケもレンズの絞りを十分に絞ることで極めて小さく留められるので問題とはならない。
その後、前記底面画像2oから得た値と、既に求めた基板9の基台1における位置及び角度情報から、それらを補正するようにX軸モータ、Y軸モータ、及び、Z軸モータ36、θ軸モータ38を駆動して、基板9上の所定の位置に精度良く部品2の実装を行なう。
以上の動作を繰り返し、図3における概略上側に架装されたパーツフィーダ32から装着すべき部品2の装着が全て完了すると、基板9は再び搬送路30によりX軸方向に搬送され、装置外へと搬出されて搭載作業が完了となる。
本実施形態においては、部品照明装置56をパルス点灯すると共に、部品撮像カメラ52をシャッタ撮像しているので、移載ヘッド34が移動中でもブレの無い画像を得ることができる。なお、パルス点灯又はシャッタ撮像のいずれか一方を省略することが可能である。又、撮像時に部品が停止するものであれば、両方を省略することもできる。
更に、本実施形態においては、ミラー58a〜58dを移載ヘッド34に設けているので、ノズルシャフト39とミラー58a〜58dの関係を常に一定に維持することができる。
なお、第2の実施形態として、ミラー58a〜58dを、移載ヘッド34側ではなく、部品認識ユニット50側に設け、各ノズル7を、その都度、部品認識ユニット50のミラー58a〜58d内に進退させて、撮像を行なっても構わない。
本実施形態によれば、移載ヘッド34を軽量化することが可能となる。
又、第3の実施形態として、図5に示すように、ミラーを例えば左側面ミラー58aと右側面ミラー58bの対向する2辺のみとして部品認識ユニット50に設け、各ノズル7の認識の度に移載ヘッド34を停止させてノズルを進退させるのではなく、ノンストップで移載ヘッド34を移動しながら撮像可能にしてもよい。
本実施形態によれば、電子部品実装装置の搭載タクトを向上できる。
なお、本実施形態では、部品2の側面の像は、移載ヘッド34の移動方向と垂直な方向の面しか撮像できないが、一度移載ヘッド34を部品認識ユニット50上で移動しながら撮像した後、撮像を完了したらノズルからθ回転させて90°部品を旋回させ、再度移載ヘッド34を部品認識ユニット50上で移動しながら撮像すれば、一度目の撮像で認識できなかった部品の側面の撮像も可能となる。
更に第4の実施形態として、図6に示すように、撮像光軸を部品側方へと折り返す反射手段をハーフミラー60a、60bとし、該ハーフミラー60a、60bを介して部品側面を照明する第2の部品照明装置62a及び62bを設けて、これにより吸着保持した部品2の側面を照射するようにしてもよい。
本実施形態によれば、部品照明装置56と異なる波長の照明光源を第2の部品照明装置62a、62bに用いることにより、部品底面の色と側面(例えば端子部)の色の相違に対して、夫々最適な照明色を選択でき、明瞭な観測が可能になる。
更に、本実施形態においては、ハーフミラー60a、60bの表面にコーティング処理を施して、その光学特性により、部品照明装置56の光の波長の透過率を高め、部品照明装置56からの照明光が、ハーフミラー60a、60bに反射されて部品側面に到達するのを抑止することも可能である。
又、第5の実施形態として、図6に示す構成において、例えば光学フィルタを用いて、互いに対向する第2の部品照明装置62a、62bの照明光の波長を異なるものとし、それらに対応するハーフミラー60a及び60bについて、ハーフミラー60aは、コーティング等により部品照明装置62bの波長に対する透過率を高くし、一方、ハーフミラー60bは、コーティング等により部品照明装置62aの波長に対する透過率を高くすることができる。
本実施形態によれば、部品側面を観測する画像において、部品表面の反射光に対して、その背景が明るくなって、部品と背景のコントラストが低くなるのを防止することが可能となり、部品側面の画像の反射像を、背景に対して高いコントラストで得ることができるようになる。
又、第6の実施形態として、図6に示す構成において、例えばハーフミラー60a、60bの表面にコーティング処理を施してバンドパスフィルタとし、対向し合う部品照明装置62a及び62bについて、照明光の波長を夫々異なるものとし、それらに対応するバンドパスフィルタ60a及び60bについて、図の左側のバンドパスフィルタ60aは、その透過反射特性により、右側の部品照明装置62bの波長に対する反射率を高くすると共に、左側の部品照明装置62aの波長に対する透過率を高くし、一方、図の右側のバンドパスフィルタ60bは、その透過反射特性により、左側の部品照明装置62aの波長に対する反射率を高くすると共に、右側の部品照明装置62bの波長に対する透過率を高くし、これにより、部品側面については、左側の部品照明装置62aの光を右側のバンドパスフィルタ60bが部品撮像カメラ52へと反射させ、同様に、右側の部品照明装置62bの光を左側のバンドパスフィルタ60aが部品撮像カメラ52へと反射させ、これらの透過照明により、部品2の側面の映像を観測するようにしてもよい。
本実施形態によれば、部品側面の反射特性が悪い場合や、表面形状によって反射画像ではなく透過画像の方が認識処理が容易な場合等に、良好な画像処理結果を得ることができる。更に、左右の照明光の波長が異なるので、反射光と透過光の識別も可能である。
次に、図7を参照して、本発明の第7実施形態を詳細に説明する。
本実施形態は、部品2の底面の画像を撮像する部品底面撮像手段である第1の部品撮像カメラ52と、部品2の側面を撮像する部品側面撮像手段である第2の部品撮像カメラ72と、部品結像手段であるレンズ54、74と、前記第2の部品撮像カメラ72の視野の一部に存在して、撮影光軸を部品側方へと折り返す反射手段であるハーフミラー60a、60bと、部品底面からの光を第1の部品撮像カメラ52に入射させる一方、前記ハーフミラー60a、60bを介して入射される部品側面からの光を第2の部品撮像カメラ72へ入射させることを同時に行なう光軸分岐手段としてのハーフミラー76と、部品側面を撮像する前記第2の部品撮像カメラ72を、その撮像光軸方向(矢印B方向)に移動自在とするための駆動手段である、該第2の部品撮像カメラ72を自身の光軸方向に駆動するカメラモータ78、前記カメラ72を光軸方向に直動自在に支持するリニアガイド80、及び、前記カメラモータ78の回転出力を直線動に変換するボールねじ82とを有し、撮像する部品2の大きさの変動によらず、側面を撮像する光軸の光路長を一定に保つことを特徴とする。
本実施形態によれば、部品底面の画像を第1の部品撮像カメラ52で撮像し、部品側面の画像を第2の部品撮像カメラ72で撮像することにより、部品のサイズによって部品側面までの光路長の差が大きい場合でも、夫々の画像でのボケを生じずに撮像することが可能となる。又、本実施形態の場合には、使用するレンズ54、74は、テレセントリックレンズではなく、通常のレンズであっても構わない。又、第1の実施形態と同様に、ハーフミラー60a、60bの代わりにミラー58a、58bを用いて、第2の部品照明装置62a、62bを省略することも可能である。
又、第8の実施形態として、図8(a)(正面図)、図8(b)(側面図)に示すように、撮像光軸を部品側方へと折り返す反射手段であるミラー58a、58bを、部品側面に対して垂直な夫々相反する方向の任意の位置へ移動自在に駆動する駆動手段である、ミラーモータ90と、ミラー58a、58bを直動自在に支持するリニアガイド92と、前記ミラーモータ90と結合され、ミラー58a、58bに対して相反する傾きのリードを持つボールねじ94とを設け、撮像する部品のサイズに応じてミラーモータ90を駆動してミラー58a及び58bを移動させ、対物側テレセントリックレンズ54と部品側面までの光路長を一定に維持することが可能な構造としてもよい。
本実施形態によれば、撮像対象とする部品のサイズが大きく異なっても、部品側面までの光路長さが一定に保たれるので、対物側テレセントリックレンズ54の絞りを極めて絞る必要がなく、従って、少ない照明光でも十分な明るさの画像を得ることが可能となる。
なお、ミラー58a、58bの代わりに、図6に示したようにハーフミラー60a、60b及び第2の部品照明装置62a、62bを用いて、部品側面を底面とは独立して照明するようにしてもよい。
なお、前記実施形態においては、いずれも、部品側面を撮像するためのミラー58又はハーフミラー62が、部品2の対向する2つの側面又は4つの側面に設けられていたが、簡易的に部品の三次元的特長を認識するものの場合は、ミラー58若しくはハーフミラー60は、部品側面の一辺分のみであっても構わない。
この場合には、図9に示す第9実施形態のように、設けられたミラー若しくはハーフミラー(図ではハーフミラー60a)と認識対象である部品2を挟んで対向する位置に、部品2の背景となる背景形成手段である背景板96を設け、この背景板96を、部品2の側面に照射される反射照明用の部品照明装置62aの照射光の波長について吸収率が高いものとすることで、部品側面と背景とのコントラストが良好な反射照明像を得るようにすることができる。
更に、図10に示す第10実施形態の如く、第9実施形態の背景板96の代わりに、前記部品2に対して照明光を照射する透過照明手段である第3の部品照明装置98及び拡散板99を設け、コントラストの良好な透過照明像が得られるようにしてもよい。
なお、前記部品照明装置98として、ELのような面発光体を用いることで、拡散板99を省略することも可能である。
更に、前記拡散板99を、部品の反対側(図の左側)側面に照射される反射照明用の部品照明装置62aの照明光の波長について良好な吸収性を有する素材とすることで、コントラストの良好な反射照明像と透過照明像が得られるようにすることができる。
あるいは、第9実施形態と第10実施形態を併用し、且つ、図10に示される拡散板99の、反射照明用の部品照明装置62aの色に対する吸収率を良好として、部品の種類や表面状態に応じて、反射照明と透過照明を選択的に使用したり、併用できるようにすることも可能である。
更に、対象となる部品2を部品認識ユニット50上でθ軸に旋回させ、連続的に複数枚の画像を撮像して、多数の角度からの部品側面画像を観察しても構わない。
なお、前記実施形態においては、いずれも、本発明が、電子基板に搭載される電子部品の実装装置に適用されていたが、本発明の適用対象は、これに限定されない。
本発明に係る部品認識装置の実施形態が適用される電子部品実装装置の一例の全体構成を示す斜視図 同じく移載ヘッド周辺を示す斜視図 同じく部品認識ユニットの第1実施携帯の要部構成を示す(a)正面図及び(b)側面図 前記第1実施形態で得られる画像の例を示す正面図 本発明に係る部品認識ユニットの第3実施形態の要部構成を示す斜視図 同じく第4実施形態の要部構成を示す正面図 同じく第7実施形態の要部構成を示す正面図 同じく第8実施形態の要部構成を示す(a)正面図及び(b)側面図 同じく第9実施形態の要部構成を示す正面図 同じく第10実施形態の要部構成を示す正面図 特許文献1に記載された電子部品実装装置の全体構成を示す斜視図 同じく高さセンサーの構成を示す断面図 同じく図12のXIII−XIII線に沿う横断面図
符号の説明
1…基台
2…電子部品
4…部品供給部
5…X軸フレーム
6a、6b…Y軸フレーム
7…吸着ノズル
9…電子基板
30…搬送路
32…パーツフィーダ
50…部品認識ユニット
52、72…部品撮像カメラ
54、74…レンズ
56、62a、62b、98…部品照明装置
58a〜58d…ミラー
60a、60b…ハーフミラー
76…ハーフミラー
78…カメラモータ
80、92…リニアガイド
82、94…ボールねじ
90…ミラーモータ
96…背景板
99…拡散板

Claims (5)

  1. 部品の三次元位置や形状及び状態を認識するための部品認識装置において、
    部品の側面と底面を同じ方向から観測可能とする撮像手段を有することを特徴とする部品認識装置。
  2. 前記部品の側面と底面を同じ方向から観測可能とするための光学系を更に備えたことを特徴とする請求項1に記載の部品認識装置。
  3. 前記部品の側面を観察可能とするための光学系が、
    部品を挟むように配設された少なくとも一対の反射手段と、
    部品の寸法に合わせて、該反射手段の間隔を調整するための駆動手段と、
    を備えたことを特徴とする請求項2に記載の部品認識装置。
  4. 前記光学系が部品の片側に配設され、部品を挟んで前記光学系の反対側から、部品に対して照明光を照射する透過照明手段を備えたことを特徴とする請求項2に記載の部品認識装置。
  5. 請求項1乃至4のいずれかに記載の部品認識装置を備えたことを特徴とする部品実装装置。
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