JP7462095B2 - 半導体デバイスの側面の検査装置 - Google Patents
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Description
本願は2015年6月5日日付米国暫定特許出願第62/171,906号に基づく優先権を主張するものであるので、この参照を以て同出願の全容を本願に繰り入れることにする。
イメージングビーム経路を定めるカメラと、
第1ミラー、第2ミラー、第3ミラー及び第4ミラーを有し、長方形の態をなし自由空間を囲うようそれらミラーが配列されており、且つ第1ミラー及びその逆側の第3ミラーが固定実装、第2ミラー及びその逆側の第4ミラーが可動実装されているミラーブロックと、
それら側面の像をミラーブロックからカメラへと差し向ける傾斜ミラーと、
を備える。
固定的な第1ミラー及び固定的な第3ミラー並びに可動な第2ミラー及び可動な第4ミラーを有するミラーブロックによって縁取られた自由空間の中央に半導体デバイスをプレースするステップと、
その半導体デバイスの種類についての情報を制御ユニットに提供するステップと、
その半導体デバイスの個別側面と第2ミラー及び第4ミラーそれぞれとの間の第1距離が、同半導体デバイスの個別側面と固定的な第1ミラー及び固定的な第3ミラーそれぞれとの間の第2距離と等しくなるよう、第2ミラー及び第4ミラーを動かすステップと、
イメージングビーム経路に沿いカメラの焦点位置を調整することで焦点距離の変化を補償するステップと、
を有する方法により達成される。
プレース機構で以てミラーブロックの自由空間内に半導体デバイスをプレースし、
その半導体デバイスの種類を判別し、
その半導体デバイスの種類に従いミラーブロックの第2ミラー及び第4ミラーを動かすことで、同半導体デバイスの個別側面と第2ミラー及び第4ミラーとの間の第1距離を、同半導体デバイスの個別側面とそのミラーブロックの固定的な第1ミラー及び固定的な第3ミラーとの間の第2距離と等しくし、
イメージングビーム経路に沿いカメラの焦点位置を調整することでその半導体デバイスの少なくとも4側面の合焦像を取得する、
よう、その実行によりコンピュータを制御することが可能なコンピュータ可実行処理ステップ群を有する製品により達成される。
Claims (15)
- 半導体デバイスの少なくとも側面を検査する装置であって、
フレーム構造と、
前記フレーム構造に取り付けられ、イメージングビーム経路を定めるカメラと、
前記フレーム構造の第1の端部に配置されたミラーブロックであって、長方形の自由空間を囲むように配置された、第1ミラー、第2ミラー、第3ミラー及び第4ミラーを支持し、前記自由空間が前記フレーム構造の外部からアクセス可能であり、対向する第1ミラーと第3ミラーとが固定実装され、対向する第2ミラーと第4ミラーとが可動実装されている、ミラーブロックと、
前記ミラーブロック内の前記半導体デバイスの少なくとも側面の像を前記カメラへと方向づけるように、前記カメラと前記ミラーブロックに対して、前記フレーム構造に取り付けられた傾斜ミラーと、
前記カメラの焦点位置を調整するために、前記フレーム構造に取付けられた第1モータと、
前記半導体デバイスの側面と前記第1及び第3ミラーそれぞれとの間の第1距離が、前記半導体デバイスの側面と前記第2及び第4ミラーそれぞれとの間の第2距離と等しくなるよう、前記第2ミラーと前記第4ミラーを位置決めするために、前記フレーム構造に取付けられた第2モータと、
前記ミラーブロックの下方に配置され、前記ミラーブロックの前記第1ミラー、前記第2ミラー、前記第3ミラー及び前記第4ミラーにより形成された前記自由空間内に検査のため配置された半導体デバイスを照明する照明デバイスと、
前記半導体デバイスの種類に関する情報に基づき、前記半導体デバイスの側面と前記第1及び第3ミラーそれぞれとの間の第1距離が、前記半導体デバイスの側面と前記第2及び第4ミラーそれぞれとの間の第2距離と等しくなるよう、前記第2モータを駆動して前記第2ミラーと前記第4ミラーを位置決めするとともに、これと連動して前記第1モータを駆動して前記カメラの焦点位置を調整する制御ユニットと、
を備え、
前記フレーム構造、前記カメラ、前記ミラーブロック、前記傾斜ミラー、前記第1モータ、前記第2モータ、及び前記照明デバイスが単一モジュール内に配列されており、
前記単一モジュールは長尺形状をなし、前記ミラーブロックは前記単一モジュールの長手方向の前記第1の端部に配列され、さらに、
検査対象の半導体デバイスを保持するようそれぞれが構成された複数の保持アームを有し、前記複数の保持アームの各保持アームは前記ミラーブロックの前記自由空間内にその半導体デバイスを配置する、装置。 - 請求項1記載の装置であって、前記第1モータが、オートフォーカス機構付ズームレンズを有する前記カメラの一部分である装置。
- 請求項1記載の装置であって、前記第1モータによってリードスクリューが駆動され、駆動されるそのリードスクリューが前記カメラのスライドに連結されている装置。
- 請求項1記載の装置であって、前記第2モータによってリードスクリューが駆動され、カム機構の働きで前記第2ミラーと前記第4ミラーとが同時に動かされる装置。
- 請求項1記載の装置であって、前記ミラーブロックの前記第1ミラー、前記第2ミラー、前記第3ミラー及び前記第4ミラーにより定まる鏡面が前記半導体デバイスの前記側面に対して40~48°傾斜している装置。
- 請求項1記載の装置であって、前記カメラが、前記イメージングビーム経路に沿って直線運動可能である装置。
- 請求項1記載の装置であって、前記第1モータと前記第2モータとが前記カメラに関して異なる側に向けて配置されている装置。
- 請求項1記載の装置であって、前記第1モータが前記カメラに関して第1の側に向けて配置され、前記第2モータが前記カメラに関して前記第1の側と逆の第2の側に向けて配置される装置。
- 半導体デバイスの少なくとも側面を検査する装置であって、
フレーム構造と、
前記フレーム構造に取り付けられ、イメージングビーム経路を定めるカメラと、
前記フレーム構造の第1の端部に配置されたミラーブロックであって、長方形の自由空間を囲むように配置された、第1ミラー、第2ミラー、第3ミラー及び第4ミラーを支持し、前記自由空間が前記フレーム構造の外部からアクセス可能であり、対向する第1ミラーと第3ミラーとが固定実装され、対向する第2ミラーと第4ミラーとが可動実装されている、ミラーブロックと、
前記ミラーブロック内の前記半導体デバイスの少なくとも側面の像を前記カメラへと方向づけるように、前記カメラと前記ミラーブロックに対して、前記フレーム構造に取り付けられた傾斜ミラーと、
検査対象の半導体デバイスを保持するようそれぞれが構成された複数の保持アームを有するタレットであって、前記複数の保持アームの各保持アームはさらに、本装置の前記ミラーブロックの前記自由空間内にその半導体デバイスを配置するように構成されている、タレットと、
前記カメラの焦点位置を調整するために前記フレーム構造に取付けられた第1モータであって、オートフォーカス機構付ズームレンズを有する前記カメラの一部分である第1モータと、
前記半導体デバイスの側面と前記第1及び第3ミラーそれぞれとの間の第1距離が、前記半導体デバイスの側面と前記第2及び第4ミラーそれぞれとの間の第2距離と等しくなるよう、前記第2ミラーと前記第4ミラーを位置決めするために、前記フレーム構造に取付けられた第2モータと、
前記半導体デバイスの種類に関する情報に基づき、前記半導体デバイスの側面と前記第1及び第3ミラーそれぞれとの間の第1距離が、前記半導体デバイスの側面と前記第2及び第4ミラーそれぞれとの間の第2距離と等しくなるよう、前記第2モータを駆動して前記第2ミラーと前記第4ミラーを位置決めするとともに、これと連動して前記第1モータを駆動して前記カメラの焦点位置を調整する制御ユニットと、
を備え、
前記フレーム構造、前記カメラ、前記ミラーブロック、前記傾斜ミラーが単一モジュール内に配列されており、
前記単一モジュールは長尺形状をなし、前記ミラーブロックは前記単一モジュールの長手方向の前記第1の端部に配列される装置。 - 請求項9記載の装置であって、前記第1モータによってリードスクリューが駆動され、駆動されるそのリードスクリューが前記カメラのスライドに連結されている装置。
- 請求項9記載の装置であって、前記ミラーブロックの前記第1ミラー、前記第2ミラー、前記第3ミラー及び前記第4ミラーにより定まる鏡面が前記半導体デバイスの前記側面に対して40~48°傾斜している装置。
- 請求項9記載の装置であって、さらに、
前記ミラーブロックの下方に配置され、前記ミラーブロックの前記第1ミラー、前記第2ミラー、前記第3ミラー及び前記第4ミラーにより形成された前記自由空間内に検査のため配置された半導体デバイスを照明する照明デバイス、
を備える装置。 - 請求項9記載の装置であって、前記カメラが、前記イメージングビーム経路に沿って直線運動可能である装置。
- 請求項9記載の装置であって、前記第1モータと前記第2モータとが前記カメラに関して異なる側に向けて配置されている装置。
- 請求項9記載の装置であって、前記第1モータが前記カメラに関して第1の側に向けて配置され、前記第2モータが前記カメラに関して前記第1の側と逆の第2の側に向けて配置される装置。
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