JP2009276338A - 外観検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】撮像手段であるカメラ2と、照明手段3と、4つのミラー4とからなる。カメラ2は、ターンテーブルに設けられた吸着ノズルNの垂直方向(Z軸方向)に光軸を持つように、デバイスの底面に対向する位置に設けられている。ミラー4は、図2(b)に示すように、搬送されてくるデバイスDの停止位置において、そのデバイスの周囲を囲むように四方に設けられている。すなわち、デバイスDのリードが設けられた2面に対して平行に2つのミラー4a及び4bを設け、さらに、リードが設けられていない2面に対して平行に2つのミラー4c及び4dを設けている。
【選択図】図2
Description
以上の態様では、照明手段として、赤又は青色の2色のLEDを使用することにより、小型で安価な装置構成とすることができる。また、拡散板を設けることで、LEDの光を散乱及び拡散させ、これにより撮像手段は、ミラーからの透過照明を得やすくなる。
以上の態様では、デバイスの照明手段として、青色の発光ダイオードと、拡散板を設け、この青色発光ダイオードの光を拡散板により、拡散し、これをデバイスの底面に直接照射し、又はミラーを介して反射させることで、デバイスの底面側に照明を集中させ、底面のボイド部分を黒く強調させることができる。これにより、デバイスのボイドや傷の検知が容易な外観検査装置を提供することが可能となる。
[1−1.第1の実施形態の構成]
本発明の第1の実施形態(以下、本項において本実施形態とする)における外観検査装置101は、図1に示すように、テストハンドラ等のテスト装置における工程処理の一つとして構成されるものであり、デバイスの外観を撮像して、デバイスの電極形状、表面の欠陥、キズ、汚れ、異物等の有無を含め、図5に表されるような検査項目を検査するものである。
以上のような本実施形態によれば、ミラーを4つ用いることにより、一つの撮像手段で、デバイスの底面及び4側面のあわせて5面の外観検査を同時に行うことができる。また、このような5面からの測定結果に基づいて、3次元のコプラナリティ計測が可能となる。
[2−1.第2の実施形態の構成]
本発明の第2の実施形態(以下、本項において本実施形態とする)における外観検査装置20は、図6に示すように、第1の実施形態における外観検査装置10の構成をベースに、ミラー4a〜4bの配置角度、照明の配置、並びにそれに伴うカメラの配置位置に改良を加えたものである。なお、図6は、デバイスの側面撮像用の構成を(a)に、デバイスの底面撮像用の構成を(b)に表すように、局面を分解的に示すものであるが、外観検査装置20は、(a)と(b)に示されるすべての構成を用いて、実施することにより、デバイスの側面及び底面の撮像が可能となるものである。
まず、カメラ2は、その撮像面を、デバイスDの底面に対向する位置に設けるのではなく、デバイスの底面とは異なる面である、垂直方向に設け、デバイスDを反射した光軸と、カメラの光軸とが垂直になるように配置している。
デバイスDに対してビームスプリッタ8の奥側、図面では下側には、照明手段として、LED5bが設けられている。ここで、ビームスプリッタ8は、デバイスD方向及びカメラ2方向から入射する光を反射させ、デバイスDに対してビームスプリッタ8の奥側、図面では下側のLED5bからの光は透過するように構成されている。すなわち、LED5bからの光は、ビームスプリッタ8を透過して、デバイスDの底面に照射されるようになっている。
本実施形態においては、また、ミラー4a〜4dの構成に改良を施している。すなわち、図6に示すように、外観検査装置20において、デバイスDのリード側に配置した1対のミラー4a及び4bは、デバイスD底面又はカメラの光軸に対して、デバイスを斜め上方から撮像する45°よりも浅い角度、例えば40°とし、一方、デバイスDのリードが設けられていない側に配置した他の1対のミラー4c及び4dは、デバイスD底面又はカメラの光軸に対して45°としたものである。すなわち、本実施形態においては、デバイスDの側面に配置するミラー4の角度をリードが設けられた側面か否かによって変更し、組み合わせて用いている。
以上のような構成の本実施形態では、次のような作用効果を奏する。
(1)側面画像の撮像
本実施形態では、デバイスDに対してビームスプリッタ8の奥側、図面では下側にLED5bを設け、このLED5bによる光を、相対するミラー4により、反射させることとしている。すなわち、カメラ2の光軸と同じ軸上から照明を当てている。また、このとき、LED5bの光を遮らぬよう、ビームスプリッタ8を、LED5bとデバイスDとの間に配置し、このビームスプリッタ8によりカメラ2を垂直方向に変換することで、カメラ2をデバイスDと対向する位置以外に配置することを可能としている。
本実施形態では、デバイスDの側面近傍に、青色のLED5aと、拡散板6を設け、この青色LED5aの光を拡散板6により、拡散し、これをデバイスDの底面に直接照射し、さらには青色LED5bの光をビームスプリッタ8を通して、直接デバイスDの底面側に照明を集中させ、底面のボイド部分を黒く強調させるようにしている。このように、光源として、青色LEDを用いることにより、デバイスのボイドや傷等を、強調し、この反射光をカメラ2により撮像することで、ボイドや傷の検知が容易となる。
以上のような本実施形態の外観検査装置20によれば、カメラの光軸と同じ方向に照明を備えることで、簡易かつ正確なデバイスの形状(ガルウィングの角度(リードの曲がり角度))の計測が可能となる。また、本実施形態におけるミラーの配置構成により、コプラナリティ、スタンドオフ及びガルウィング角度を同時かつ容易に計測することが可能となる。さらに、ミラー近傍に照明を設け、デバイス底面に照明を集中させることで、デバイスのボイドや傷等を強調して、カメラによるボイドや傷の検知が容易となる。
なお、本実施形態において、デバイス側面画像を反射させる手段として、ミラーを用いているが、本発明においては、このような態様に限られず、プリズムを用いて構成することも可能である。また、図3及び図6に示すリード検査において、照明としてLEDを用いたが、青色と赤色の照明を発するものであれば、その種類は問わない。
2…カメラ
3…照明
4,4a,4b,4c,4d…ミラー
5,5a,5b…LED
6…拡散板
7…赤フィルタ
8…ビームスプリッタ
9…NDフィルタ
D…デバイス
N…吸着ノズル
Claims (10)
- デバイスの外観を撮像して、デバイスの電極形状、表面の欠陥、キズ、汚れ、異物等の有無を検査する外観検査装置において、
デバイスの底面に対向する位置に撮像面を向けた撮像手段と、
デバイスの4側面に対応して設けられたミラーと、を備え、
前記ミラーは、前記デバイスの4側面の像を、前記撮像手段の前記撮像面に向けて反射させ、
前記撮像手段は、前記底面画像に加え、前記4側面の像を撮像することを特徴とする外観検査装置。 - デバイスの外観を撮像して、デバイスの電極形状、表面の欠陥、キズ、汚れ、異物等の有無を検査する外観検査装置において、
デバイスの4側面に対応して設けられたミラーと、
デバイスの底面及びミラーによって反射するデバイスの側面を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段の光軸を、デバイスの底面及び前記デバイスの側面の像を撮像可能な方向へ変換する反射手段と、を備え、
前記撮像手段は、その撮像面を、前記デバイスの底面及び前記ミラーにより反射するデバイスの側面とは、異なる面に向けて設置され、前記反射手段による光軸変換によりデバイスの底面及び前記デバイスの側面の像を撮像することを特徴とする外観検査装置。 - 前記ミラーは、前記デバイスの底面に対する角度を、自在に調整可能に設けられたことを特徴とする請求項1又は2記載の外観検査装置。
- 前記撮像手段と、前記ミラーとの間に、前記ミラーに照明を与える照明手段を備え、
前記ミラーの前記デバイスの底面に対する角度を45°とし、
前記撮像手段は、前記ミラーからの反射照明により、デバイスの外観を撮像することを特徴とする請求項1記載の外観検査装置。 - 前記撮像手段と、前記ミラーとの間に、前記ミラーに照明を与える照明手段を備え、
前記ミラーの前記デバイスの底面に対する角度を、デバイスを斜め上方から撮像する45°よりも浅い角度とし、
前記撮像手段は、前記ミラーからの透過照明により、デバイスの外観を撮像することを特徴とする請求項1記載の外観検査装置。 - 前記照明手段は、赤色と青色の照明を発するものであり、
前記ミラーと前記撮像手段との間に、前記ミラーからの透過照明に対して、青色を遮断するフィルタを設けたことを特徴とする請求項5記載の外観検査装置。 - 前記照明手段は、赤色と青色の発光ダイオードからなり、
前記ミラーと前記照明手段との間に、拡散板を設けたことを特徴とする請求項6記載の外観検査装置。 - 前記撮像手段と、前記ミラーとの間に、前記ミラーに照明を与える照明手段を備え、
前記4つのミラーのうち、対向する1対のミラーの前記デバイスの底面に対する角度を45°とし、他の1対のミラーの前記デバイスの底面に対する角度を、デバイスを斜め上方から撮像する45°よりも浅い角度とし、
前記撮像手段は、前記1対のミラーからの反射照明と、前記他の1対のミラーからの透過照明により、デバイスの外観を撮像することを特徴とする請求項2記載の外観検査装置。 - 前記照明手段は、青色の発光ダイオードからなり、
前記ミラーと前記照明手段との間に、拡散板を設けたことを特徴とする請求項8記載の外観検査装置。 - 前記反射手段は、ビームスプリッタからなり、
前記ビームスプリッタを挟んで前記ミラーと反対側には、デバイスに対向する位置に配置され、デバイス底面を照射する第2の照明手段が設けられ、
この照明手段の照明は、前記ビームスプリッタを透過してデバイス底面を照射するものであることを特徴とする請求項2又は8記載の外観検査装置。
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