JP2018516371A - 半導体デバイスの少なくとも側面の検査装置、方法及びコンピュータプログラム製品 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は2015年6月5日日付米国暫定特許出願第62/171,906号に基づく優先権を主張するものであるので、この参照を以て同出願の全容を本願に繰り入れることにする。
イメージングビーム経路を定めるカメラと、
第1ミラー、第2ミラー、第3ミラー及び第4ミラーを有し、長方形の態をなし自由空間を囲うようそれらミラーが配列されており、且つ第1ミラー及びその逆側の第3ミラーが固定実装、第2ミラー及びその逆側の第4ミラーが可動実装されているミラーブロックと、
それら側面の像をミラーブロックからカメラへと差し向ける傾斜ミラーと、
を備える。
固定的な第1ミラー及び固定的な第3ミラー並びに可動な第2ミラー及び可動な第4ミラーを有するミラーブロックによって縁取られた自由空間の中央に半導体デバイスをプレースするステップと、
その半導体デバイスの種類についての情報を制御ユニットに提供するステップと、
その半導体デバイスの個別側面と第2ミラー及び第4ミラーそれぞれとの間の第1距離が、同半導体デバイスの個別側面と固定的な第1ミラー及び固定的な第3ミラーそれぞれとの間の第2距離と等しくなるよう、第2ミラー及び第4ミラーを動かすステップと、
イメージングビーム経路に沿いカメラの焦点位置を調整することで焦点距離の変化を補償するステップと、
を有する方法により達成される。
プレース機構で以てミラーブロックの自由空間内に半導体デバイスをプレースし、
その半導体デバイスの種類を判別し、
その半導体デバイスの種類に従いミラーブロックの第2ミラー及び第4ミラーを動かすことで、同半導体デバイスの個別側面と第2ミラー及び第4ミラーとの間の第1距離を、同半導体デバイスの個別側面とそのミラーブロックの固定的な第1ミラー及び固定的な第3ミラーとの間の第2距離と等しくし、
イメージングビーム経路に沿いカメラの焦点位置を調整することでその半導体デバイスの少なくとも4側面の合焦像を取得する、
よう、その実行によりコンピュータを制御することが可能なコンピュータ可実行処理ステップ群を有する製品により達成される。
Claims (24)
- 半導体デバイスの少なくとも側面を検査する装置であって、
イメージングビーム経路を定めるカメラと、
第1ミラー、第2ミラー、第3ミラー及び第4ミラーを有し、長方形の態をなす自由空間を囲むようそれらミラーが配列されており、且つ第1ミラー及びその逆側の第3ミラーが固定実装、第2ミラー及びその逆側の第4ミラーが可動実装されているミラーブロックと、
その半導体デバイスの少なくとも側面の像を上記ミラーブロックから上記カメラへと差し向ける傾斜ミラーと、
を備える装置。 - 請求項1記載の装置であって、上記カメラの焦点位置の調整用に第1モータが同カメラに割り当てられている装置。
- 請求項2記載の装置であって、上記カメラがオートフォーカス機構付ズームレンズを有し、第1モータがそのカメラの一部分である装置。
- 請求項2記載の装置であって、上記カメラの焦点の調整用に、第1モータが、上記イメージングビーム経路に沿い同カメラに直線運動を実行させるよう構成されている装置。
- 請求項4記載の装置であって、第1モータによってリードスクリューが駆動され、駆動されるそのリードスクリューが上記カメラのスライドに連結されている装置。
- 請求項1記載の装置であって、半導体デバイスの側面と固定的な第1及び第3ミラーそれぞれとの間の第1距離が、その半導体デバイスの側面と第2及び第4ミラーそれぞれとの間の第2距離と等しくなるよう、第2ミラー及び第4ミラーを位置決めすべく、第2モータが第2ミラー及びその逆側の第4ミラーに割り当てられている装置。
- 請求項6記載の装置であって、第2モータによってリードスクリューが駆動され、カム機構の働きで第2ミラー及び第4ミラーが同時に動かされる装置。
- 請求項1記載の装置であって、上記ミラーブロックの第1ミラー、第2ミラー、第3ミラー及び第4ミラーにより定まる鏡面が40〜48°傾斜している装置。
- 請求項1記載の装置であって、上記ミラーブロックの第1ミラー、第2ミラー、第3ミラー及び第4ミラーにより縁取られた自由空間内に検査のため配置された半導体デバイスを照明すべく、照明デバイスが設けられている装置。
- 請求項1記載の装置であって、タレットが複数本の保持アームを有し、検査対象半導体デバイスを保持するよう各保持アームが構成されており、更に、本装置のミラーブロックの自由空間内にその半導体デバイスをプレースしうるようその保持アームが構成されている装置。
- 請求項1記載の装置であって、上記カメラ、上記ミラーブロック、上記傾斜ミラー及び照明デバイスが単一モジュール内に配列されている装置。
- 半導体デバイスの少なくとも側面を検査する方法であって、
固定的な第1ミラー、固定的な第3ミラー、可動な第2ミラー及び可動な第4ミラーを有するミラーブロックによって縁取られた自由空間の中央に半導体デバイスをプレースするステップと、
その半導体デバイスの種類についての情報を制御ユニットに提供するステップと、
その半導体デバイスの個別側面と第2ミラー及び第4ミラーとの間の第2距離が、同半導体デバイスの個別側面と固定的な第1ミラー及び固定的な第3ミラーとの間の第1距離と等しくなるよう、第2ミラー及び第4ミラーを動かすステップと、
イメージングビーム経路に沿い上記カメラの焦点位置を調整することで焦点距離の変化を補償するステップと、
を有する方法。 - 請求項12記載の方法であって、上記カメラのオートフォーカス機構付ズームレンズを動かすことで第1モータが同カメラの焦点位置を調整する方法。
- 請求項12記載の方法であって、上記カメラのスライドに連結されているリードスクリューを駆動しそのカメラを直線運動させることで第1モータが同カメラの焦点位置を調整する方法。
- 請求項12記載の方法であって、カム機構に作用するリードスクリューを第2モータによって駆動することで第2ミラー及び第4ミラーを同時に動かす方法。
- 請求項12記載の方法であって、更に、
半導体デバイスの少なくとも4側面の像を傾斜ミラー経由で上記カメラのイメージングビーム経路上に差し向けるステップと、
上記カメラの焦点を調整するステップと、
を有する方法。 - 請求項16記載の方法であって、上記傾斜ミラーが、半導体デバイスの4側面の像に加えその半導体デバイスの底面の像を上記カメラのイメージングビーム経路上に差し向ける方法であり、そのカメラが、同半導体デバイスの側面及び底面が合焦状態に保たれる焦点深度を有する方法。
- 請求項12記載の方法であって、更に、
タレットの保持アームで以て上記ミラーブロックの自由空間内に半導体デバイスを挿入するステップと、
上記ミラーブロックの自由空間内での計測中、その半導体デバイスを保持するステップと、
上記タレットの保持アームで以て上記ミラーブロックの自由空間からその半導体デバイスを取り除くステップと、
を有する方法。 - 半導体デバイスの少なくとも側面を検査する方法であって、
複数本の保持アームを有し各保持アームが1個の半導体デバイスを保持するタレットを回動させるステップと、
固定的な第1ミラー、固定的な第3ミラー、可動な第2ミラー及び可動な第4ミラーを有するミラーブロックにより縁取られた自由空間の中央に個別の保持アームで以て個別の半導体デバイスをプレースするステップと、
その半導体デバイスの種類についての情報を制御ユニットに提供するステップと、
その半導体デバイスの個別側面と第2ミラー及び第4ミラーとの間の第2距離が、同半導体デバイスの個別側面と固定的な第1ミラー及び固定的な第3ミラーとの間の第1距離と等しくなるよう、第2ミラー及び第4ミラーを動かすステップと、
イメージングビーム経路に沿いカメラを動かすことで焦点距離の変化を補償するステップと、
上記タレットの保持アームで以て上記ミラーブロックの自由空間からその半導体デバイスを取り除くステップと、
を有する方法。 - 請求項19記載の方法であって、更に、
第1モータ及び第2モータを互いに独立に制御するステップを有し、第1モータが上記イメージングビーム経路の方向に沿い上記カメラをスライド上で直線的に動かし、第2モータが第2ミラー及び第4ミラーを同時に動かす方法。 - 半導体デバイスの少なくとも側面を検査する装置であって、
ハウジングと、
イメージングビーム経路を定めており、そのイメージングビーム経路に沿い上記ハウジング内で直線的に動かしうるカメラと、
上記ハウジングの第1端に配列され、第1ミラー、第2ミラー、第3ミラー及び第4ミラーを担持しているミラーブロックであり、長方形の態をなす自由空間を囲むようそれらミラーが配列されており、その自由空間が上記ハウジングの外部からアクセス可能であり、且つ第1ミラー及びその逆側の第3ミラーが固定実装、第2ミラー及びその逆側の第4ミラーが可動実装されているミラーブロックと、
上記ミラーブロック内にある半導体デバイスの少なくとも側面の像がカメラへと差し向けられるよう、上記カメラ及び上記ミラーブロックを基準にして上記ハウジング内に配列された傾斜ミラーと、
を備える装置。 - 請求項21記載の装置であって、第1モータが上記ハウジング内に配列され上記カメラに割り当てられている装置。
- 請求項21記載の装置であって、半導体デバイスの側面と固定的な第1及び第3ミラーそれぞれとの間の第1距離が、その半導体デバイスの側面と第2及び第4ミラーそれぞれとの間の第2距離と等しくなるよう、第2ミラー及び第4ミラーを位置決めすべく、第2モータが上記ハウジング内に配列され且つ第2ミラー及びその逆側の第4ミラーに割り当てられている装置。
- 半導体デバイスの少なくとも側面の検査用に非一時的コンピュータ可読媒体上に配されたコンピュータプログラム製品であって、
プレース機構で以てミラーブロックの自由空間内に半導体デバイスをプレースし、
その半導体デバイスの種類を判別し、
その半導体デバイスの種類に従い上記ミラーブロックの第2ミラー及び第4ミラーを動かすことで、同半導体デバイスの個別側面と第2ミラー及び第4ミラーとの間の第2距離を、同半導体デバイスの個別側面とそのミラーブロックの固定的な第1ミラー及び固定的な第3ミラーとの間の第1距離と等しくし、
イメージングビーム経路に沿いカメラの焦点位置を調整することでその半導体デバイスの少なくとも4側面の合焦像を取得する、
よう、その実行によりコンピュータを制御することが可能なコンピュータ可実行処理ステップ群を有するコンピュータプログラム製品。
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