JPH08285531A - チップマッピング装置およびその方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 チップの画像データの取込みに際して、チッ
プの移動を行なわず、高速でコンパクトなチップマッピ
ング装置及びその方法を提供する 【構成】 ウエハ保持手段５１に保持されたウエハ２６
表面の映像をＦθレンズ２８を介して一対のガルバノミ
ラー２９および３０で受像し、このガルバノミラー２９
および３０を駆動することにより、受像を介してウエハ
２６表面を走査し、各チップの画像データを撮像する。 【効果】 チップの画像データの取り込みが高速で誤り
が少なく、ボールネジなどのＸＹテーブル移動機構が不
要となり、このＸＹテーブル移動機構の摩耗粉を防ぐこ
とができ、しかも装置の占有面積が小さい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明はチップマッピング装置
及びその方法に関するもので、特にチップマッピングを
高速に処理できる装置とその方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図３は従来のチップマッピング装置のシ
ステム構成図である。

【０００３】図３において１は機台、２はＸＹテーブ
ル、３及び４はアクチュエータでＸＹテーブル２をＸま
たはＹの方向に駆動する。５はホルダーでＸＹテーブル
上に固定されている。６はエキスパンドリング、７はウ
エハで、エキスパンドリング６に挟んで拡張されたシー
ト上にチップ７ａ形状に分割されて貼着されている。８
は固定ピンで、エキスパンドリング６をホルダー５上に
固定する。９は光源、１０はハーフミラー、１１は固体
撮像素子を使用したテレビカメラ、１２は画像メモリ、
１３はアクチュエータ３および４の駆動制御を行なうＸ
Ｙテーブル駆動制御装置、１４はマイクロコンピュー
タ、１５はフロッピーディスクである。

【０００４】次に、チップマッピング装置の動作を説明
する。ＸＹテーブル２上に固定されたホルダー５、およ
びホルダー５上に固定ピン８で固定されたエキスパンド
リング６を介して貼着シートに貼着されたウエハ７は、
ＸＹテーブル２上に仮位置決めされ、ハーフミラー１０
を介して光源９から投光された光によって照射される。
テレビカメラ１１は一つのチップ７ａ表面上に付けられ
た不良インクマーク、チップ表面形状の画像データを取
込み画像メモリ１２に記憶する。次にマイクロコンピュ
ータ１４の指令によりＸＹテーブル駆動制御装置１３を
介してアクチュエータ３および４を駆動し、次のチップ
７ａの画像データをテレビカメラ１１で取込み画像メモ
リ１２に記憶する。

【０００５】このようにして、全てのチップ７ａについ
て画像データの取込みを行なう。次いでエキスパンドリ
ング６上に設けられた基準座標に対するチップの正確な
位置座標と不良インクマークの有無を、マイクロコンピ
ュータ１４を用いてパターンマッチングにより演算し、
記憶装置に記憶する。この記憶された正確な位置座標と
不良インクマークの有無をさらに、フロッピーディスク
１５に出力する。

【０００６】ついで、隣接して配置されたダイボンダー
に、ウエハをエキスパンドリング６に貼着されたまま送
ると共にこのフロッピーディスク１５をも添付して送
り、フロッピーディスク１５に記憶されているチップの
正確な位置座標と不良インクマークの有無の情報をダイ
ボンダに読み出す。ダイボンダはこのチップの位置情報
と不良インクマークの有無の情報に基づき、不良チップ
をパスして良品のチップのみを選択し、ダイボンディン
グを行なう。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従来のチップマッピン
グ装置は上記の様に構成されているので、チップマッピ
ングの際に、テレビカメラの光軸上にチップを一個づつ
移動させなければならない。従ってチップマッピングに
要する時間を短縮しようとすると、ＸＹテーブルを高速
に移動させ、また急速に起動停止することが必要にな
り、起動停止の際のＸＹテーブルにかかる加速度は大き
くならざるを得ない。そしてＸＹテーブルにかかる加速
度が大きくなると、これを駆動する駆動系が大容量にな
り、チップマッピング装置が大形化し、高価にもなる。

【０００８】またＸＹテーブル上に固定されたエキスパ
ンドリングを固定する固定具も頑丈にし固定方法も加速
度を受けても移動しないように考慮されねばならず、さ
らには貼着シート上に貼着されたチップが大きな加速度
を受けて画像データの取込み後に移動し、画像データに
含まれた位置情報が基準座標に対して不正確になるとい
う懸念も生じる。このような不具合を防止するために、
ＸＹテーブルでは通常加速度で１Ｇ、速度では１ｍ／ｓ
ｅｃが限度である。

【０００９】さらにウエハは大径化する傾向にあり、ウ
エハの大径化に応じてＸＹテーブルの移動距離が大きく
なる。ＸＹテーブルの占有面積は、長さで動作範囲の２
倍、従って面積では動作範囲の４倍が必要になり、クリ
ーンルーム内でチップマッピング装置の占める占有面積
が大きくなり、クリーンルームの有効利用を阻害するこ
とにもなる。

【００１０】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、チップの画像データの取込みに
際して、チップの移動を行なわず、高速でコンパクトな
チップマッピング装置及びその方法を提供することを目
的としている。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この第１の発明に係るチ
ップマッピング装置は、チップの良否判定識別手段が付
与されかつチップ形状に分割されたウエハを、チップ相
互の位置を所定の関係に保って保持するとともに固定台
上に配設するウエハ保持手段と、このウエハ保持手段に
保持されたウエハ表面の映像を第１のレンズを介して受
像しこの映像を所定の方向に光軸変換する光回路要素と
この光回路要素を駆動する駆動部とウエハ表面を走査す
るように駆動部を制御する制御部とを有する映像走査手
段と、この映像走査手段の光回路要素により所定の方向
に変換された映像の光軸上に第２のレンズを介して配設
され、映像走査手段により走査されたウエハ表面の映像
を撮像する撮像手段と、この撮像手段からの画像情報を
記憶する記憶部及び、制御部へ制御信号を発するととも
に制御部から受けた制御情報と記憶部からの画像情報と
に基づきチップの位置座標をまた記憶手段からの画像情
報に基づきチップの良否をそれぞれ演算し各チップの良
否と上記位置座標とを関連付け、この演算結果を上記記
憶部に記憶させる中央処理装置を有する演算手段と、を
備えたものである。

【００１２】この第２の発明に係るチップマッピング装
置は、チップの良否判定識別手段が付与されかつチップ
形状に分割されたウエハを、チップ相互の位置を所定の
関係に保って保持するとともに固定台上に配設するウエ
ハ保持手段と、このウエハ保持手段に保持されたウエハ
表面の映像を第１のレンズを介して受像しこの映像を所
定の方向に光軸変換する光回路要素とこの光回路要素を
駆動する駆動部とウエハ表面を走査するように駆動部を
制御する制御部とを有する映像走査手段と、この映像走
査手段の光回路要素により所定の方向に変換された映像
の光軸上に第２のレンズを介して配設され、映像走査手
段により走査されたウエハ表面の映像を撮像する撮像手
段と、この撮像手段からの画像情報を記憶する記憶手段
と、制御部へ制御信号を発するとともに制御部から受け
た制御情報と記憶部からの画像情報とに基づき上記ウエ
ハ保持手段に設定された基準座標に対するチップの位置
座標をまた記憶手段からの画像情報に基づきチップの良
否をそれぞれ演算し各チップの良否と位置座標とを関連
付け、この演算結果を上記記憶手段に記憶させる演算手
段と、を備えたものである。

【００１３】この第３の発明に係るチップマッピング装
置は、第１の発明または第２の発明に係るチップマッピ
ング装置に、演算手段により演算されたデータを記憶す
る補助記憶装置をさらに備えたものである。

【００１４】この第４の発明に係るチップマッピング装
置は、第１乃至第３の発明のいずれかひとつに係るチッ
プマッピング装置に、映像走査手段を経由してウエハ表
面の走査位置に誘導される光を発生する光源とこの光源
からの光を映像走査手段に誘導する導光手段とをさらに
備えたものである。

【００１５】この第５の発明に係るチップマッピング装
置は、第１乃至第３の発明のいずれかひとつに係るチッ
プマッピング装置に、ウエハ表面に対向して配置され、
このウエハ表面を照明する照明手段をさらに備えたもの
である。

【００１６】この第６の発明に係るチップマッピング装
置は、チップの良否判定マ−クが付与されかつチップ形
状に分割されたウエハを貼着するウエハ保持シートを有
し、このウエハ保持シートをこの上に貼着されたウエハ
のチップ相互の位置を所定の関係に保つように固定台上
に保持するウエハ保持装置と、このウエハ保持装置のウ
エハ表面に対向して配設されたＦθレンズとこのＦθレ
ンズを介してウエハ表面の映像を受像しこの受像を所定
の方向に光軸変換する一対のガルバノミラーとこのガル
バノミラーをそれぞれ駆動するモータと上記ウエハ表面
を走査するようにモータを制御する制御回路装置とを有
する映像走査装置と、この映像走査装置からの映像の光
軸上に配設されたハーフミラーを介して映像走査装置の
ガルバノミラーへ映像と逆平行に入射され、映像走査装
置を経由してウエハ表面に案内される照明光を発光する
光源と、映像走査装置からの映像の光軸上に順次ハーフ
ミラーと収斂レンズとを介して配設され、映像走査装置
により走査されたウエハ表面の映像を撮像する固体撮像
装置と、この固体撮像装置からの画像情報を記憶する画
像記憶装置と、制御回路装置へ制御信号を発するととも
に制御回路装置から受けた制御情報と画像記憶装置から
の画像情報とに基づきウエハ保持装置に設定された基準
座標に対するチップの位置座標をまた画像記憶装置から
の画像情報に基づきチップの良否をそれぞれ演算し各チ
ップの良否と位置座標とを関連付け、この演算結果を上
記画像記憶装置に記憶させる中央演算処理装置と、を備
えたものである。

【００１７】この第７の発明に係るチップマッピング装
置は、チップの良否判定マ−クが付与されかつチップ形
状に分割されたウエハを貼着するウエハ保持シートを有
し、このウエハ保持シートをこの上に貼着されたウエハ
のチップ相互の位置を所定の関係に保つように固定台上
に保持するウエハ保持装置と、このウエハ保持装置のウ
エハ表面に対向して配設された対物レンズとこの対物レ
ンズを介してウエハ表面の映像を受像しこの受像を所定
の方向に光軸変換する一対のガルバノミラーとこのガル
バノミラーをそれぞれ駆動するモータとウエハ表面を走
査するようにモータを制御する制御回路装置とを有する
映像走査装置と、ウエハ表面に対向し対物レンズ近傍に
配設され、このウエハ表面を照明する照明装置と、映像
走査装置からの映像の光軸上にハーフミラーと収斂レン
ズとを順次介して配設され、映像走査装置により走査さ
れたウエハ表面の映像を撮像する固体撮像装置と、この
固体撮像装置からの画像情報を記憶する画像記憶装置
と、制御回路装置へ制御信号を発するとともに制御回路
装置から受けた制御情報と画像記憶装置からの画像情報
とに基づきウエハ保持装置に設定された基準座標に対す
るチップの位置座標をまた画像記憶装置からの画像情報
に基づきチップの良否をそれぞれ演算し各チップの良否
と位置座標とを関連付け、この演算結果を上記画像記憶
装置に記憶させる中央演算処理装置と、を備えたもので
ある。

【００１８】この第８の発明に係るチップマッピング方
法は、第６または第７の発明のいずれかひとつに係るチ
ップマッピング装置に、中央演算処理装置により演算さ
れたデータを記憶する外部記憶装置をさらに備えたもの
である。

【００１９】この第９の発明に係るチップマッピング方
法は、各チップの良否判定識別手段が付与されかつチッ
プ形状に分割されたウエハを、チップ相互の位置を所定
の関係に保ってウエハ保持手段に保持し、このウエハ保
持手段を固定台上に配設する工程と、ウエハ保持手段に
保持されたウエハ表面の映像を第１のレンズを介して受
像し、この受像を所定の方向に光軸変換する光回路要素
を、制御手段を介して駆動し、受像を介してウエハ表面
を走査する工程と、走査されたウエハ表面の映像を第２
のレンズを介して撮像する工程と、この撮像された画像
情報を記憶する工程と、制御手段から受けた制御情報と
記憶された画像情報とに基づきチップの位置座標を、ま
た記憶された画像情報に基づきチップの良否を、それぞ
れ演算し各チップの良否と位置座標とを関連付け、この
演算結果を記憶する演算工程と、を備えたとしたとした
ものである。

【００２０】この第１０の発明に係るチップマッピング
方法は、第９の発明に係るチップマッピング方法におい
て、ウエハ保持手段に保持されたウエハ表面の映像を第
１のレンズを介して受像し、この受像を所定の方向に光
軸変換する光回路要素を、制御手段を介して駆動し、受
像を介してウエハ表面を走査する工程に替えて、光源か
らの光を光回路要素に誘導し、この光回路要素と第１の
レンズを経由してウエハ保持手段に保持されたウエハ表
面に案内するとともに、このウエハ表面の映像を第１の
レンズを介して受像し、この受像を所定の方向に光軸変
換する光回路要素を、制御手段を介して駆動し受像を介
してウエハ表面を走査する工程を備えたものである。

【００２１】この第１１の発明に係るチップマッピング
方法は、第９の発明に係るチップマッピング方法におい
て、ウエハ表面の映像を撮像する工程の前に、ウエハ表
面に対向して配置された照明手段によりウエハ表面を照
明する工程をさらに備えた演算工程で演算されたデータ
を外部記憶装置に記憶させる工程をさらに備えたもので
ある。

【００２２】この第１２の発明に係るチップマッピング
方法は、第９の発明乃至第１１の発明のいずれか一つに
係るチップマッピング方法に、演算工程で演算されたデ
ータを補助記憶装置に記憶させる工程をさらに備えたも
のである。

【００２３】この第１３の発明に係るチップマッピング
方法は、各チップの良否判定マークが付与されかつチッ
プ形状に分割されたウエハをウエハ保持シートに貼着
し、このウエハ保持シートをチップ相互の位置を所定の
関係に保つように固定台上に着脱自在に保持する工程
と、光源からの光をハーフミラーを介して一対のガルバ
ノミラーに案内し、このガルバノミラーとＦθレンズを
経由してウエハ保持シートに保持されたウエハ表面に案
内するとともに、このウエハ表面の映像を上記Ｆθレン
ズを介して受像し、この受像を所定の方向に光軸変換す
るガルバノミラーを、このガルバノミラーを駆動するモ
ータの制御回路装置を介して駆動し受像を介してウエハ
表面を走査する工程と、走査されたウエハ表面の映像を
収斂レンズを介して固体撮像装置により撮像する工程
と、この固体撮像装置からの画像情報を画像記憶装置に
記憶する工程と、制御回路装置から受けた制御情報と画
像記憶装置に記憶された画像情報とに基づきウエハ保持
シートに設定された基準座標に対するチップの位置座標
を、また画像記憶装置に記憶された画像情報に基づきチ
ップの良否を、それぞれ演算し各チップの良否と位置座
標とを関連付け、この演算結果を画像記憶装置に記憶す
る演算工程と、を備えたものである。

【００２４】この第１４の発明に係るチップマッピング
方法は、各チップの良否判定マークが付与されかつチッ
プ形状に分割されたウエハをウエハ保持シートに貼着
し、このウエハ保持シートをチップ相互の位置を所定の
関係に保つように固定台上に着脱自在に保持する工程
と、ウエハ表面に対向して対物レンズ近傍に配設され、
ウエハ表面を照明する照明装置により、ウエハ表面を照
明する工程と、ウエハ保持シートに保持されたウエハ表
面の映像を対物レンズを介して受像し、この受像を所定
の方向に光軸変換する一対のガルバノミラーを、このガ
ルバノミラーを駆動するモータの制御回路装置を介して
駆動し受像を介してウエハ表面を走査する工程と、走査
されたウエハ表面の映像を収斂レンズを介して固体撮像
装置により撮像する工程と、この固体撮像装置からの画
像情報を画像記憶装置に記憶する工程と、制御回路装置
から受けた制御情報と画像記憶装置に記憶された画像情
報とに基づきウエハ保持シートに設定された基準座標に
対するチップの位置座標を、また画像記憶装置に記憶さ
れた画像情報に基づきチップの良否を、それぞれ演算し
各チップの良否と位置座標とを関連付ける演算工程と、
を備えたものである。

【００２５】この第１５の発明に係るチップマッピング
方法は、第１３または第１４のいずれかに係るチップマ
ッピング方法に、演算工程で演算されたデータを外部記
憶装置に記憶させる工程をさらに備えたものである。

【００２６】

【作用】第１の発明のように構成されたチップマッピン
グ装置は、ウエハ保持手段に保持されたウエハ表面の映
像を第１のレンズを介して光回路要素で受像し、この光
回路要素を駆動することにより、受像を介してウエハ表
面を走査し、各チップの画像データを第２のレンズを介
して撮像することができるので、チップの画像データの
取り込みが高速で誤りが少なく、大きな質量が急加減速
することがなく、しかも占有面積が小さい。

【００２７】第２の発明のように構成されたチップマッ
ピング装置は、画像情報を記憶する記憶手段が演算手段
と分散配置されており、画像の処理がさらに高速化され
る。

【００２８】第３の発明のように構成されたチップマッ
ピング装置は、補助記憶装置を備えているので、大量の
データを記憶でき１台のチップマッピング装置で複数の
次工程の装置と組み合せることが可能となる。また補助
記憶装置の記憶媒体を被加工物と一緒に付けて誤り無く
搬送できる。

【００２９】第４の発明のように構成されたチップマッ
ピング装置は、光源とこの光源からの光を映像走査手段
に案内する導光手段を備えているので、ウエハ表面の走
査位置が明るく、小容量の光源でウエハ表面の明瞭な映
像を取り込むことができる。

【００３０】第５の発明のように構成されたチップマッ
ピング装置は、ウエハ表面を一様に照明でき、複雑な照
明系を用いずに簡単な構成で、ウエハ表面の明瞭な映像
を取り込むことができる。

【００３１】第６の発明のように構成されたチップマッ
ピング装置は、光源とこの光源からの光を映像走査装置
に案内するハーフミラーを備えウエハ表面の走査位置を
照明するとともに、ウエハ保持装置に保持されたウエハ
表面の映像をＦθレンズを介して一対のガルバノミラー
で受像し、この一対のガルバノミラーを駆動することに
より、この受像を介してウエハ表面を走査し、各チップ
の画像データを撮像することができるので、単色光を使
用して色収差の少ない画像の取込みことができ、ボケが
少なく視野位置精度の高い像が得られる。

【００３２】第７の発明のように構成されたチップマッ
ピング装置は、通常の可視光で、また通常のレンズ照明
系を構成出来る。

【００３３】第８の発明のように構成されたチップマッ
ピング装置は、外部記憶装置を備えているので、外部記
憶媒体を使うことにより次工程へのデータ伝達の構成が
簡単になる。

【００３４】第９の発明のように構成されたチップマッ
ピング方法は、ウエハ保持手段に保持されたウエハ表面
の映像を第１のレンズを介して受像し、この受像を所定
の方向に光軸変換する光回路要素を制御手段を介して駆
動し受像を介してウエハ表面を走査する工程を備えてい
るので、チップマッピングの工程に要する時間を短縮で
きる。

【００３５】第１０の発明のように構成されたチップマ
ッピング方法は、光源からの光を光回路要素に案内し、
この光回路要素と第１のレンズを経由してウエハ保持手
段に保持されたウエハ表面の走査位置に案内しているの
で、明瞭な映像を得ることができ、正確な画像データが
取り込まれ、位置情報や不良認識の演算に要する時間が
短縮され、演算精度が高くなる。

【００３６】第１１の発明のように構成されたチップマ
ッピング方法は、ウエハ表面の映像を撮像する工程の前
に、ウエハ表面に対向して配置された照明手段によりウ
エハ表面を照明する工程を備えているので、安価に正確
な画像データを取り込むことができる。

【００３７】第１２の発明のように構成されたチップマ
ッピング方法は、演算工程で演算されたデータを補助記
憶装置に記憶させる工程を備えているので、大量のデー
タを記憶でき１台のチップマッピング装置に対し複数の
次工程の装置と組み合せることができる。

【００３８】第１３の発明のように構成されたチップマ
ッピング方法は、光源とこの光源からの光を映像走査装
置に案内するハーフミラーを備え、ウエハ表面の走査位
置を照明するとともにＦθレンズを介して受像し、この
受像を所定の方向に光軸変換する一対のガルバノミラー
を備えているので、光軸変換が簡単に行なうことがで
き、またガルバノミラーを駆動する制御が簡単になり、
ガルバノミラーを駆動するモータの制御回路装置の調整
が簡単である。

【００３９】第１４の発明のように構成されたチップマ
ッピング方法は、ウエハ表面に対向して対物レンズ近傍
に配設され、ウエハ表面を照明する照明装置により、ウ
エハ表面を照明するとともに、対物レンズを介して受像
し、この受像を所定の方向に光軸変換する一対のガルバ
ノミラーを備えているので、照明系の調整が簡単であ
る。

【００４０】第１５の発明のように構成されたチップマ
ッピング方法は、演算工程で演算されたデータを外部記
憶装置に記憶させる工程を備えているので、チップマッ
ピング装置と次工程の加工装置でデータの出入が簡単に
行なうことができ、ウエハに記憶媒体を添付して、搬送
できるので次工程で加工の際誤りがない。

【００４１】

【実施例】

実施例１ 図１はこの発明の一実施例であるチップマッピング装置
のシステム構成図である。図２は図１に示したウエハ保
持装置の断面図である。

【００４２】図１および図２において、２１は固定台、
２２はホルダー、２３はエキスパンドリング、２４はエ
キスパンドリング固定治具、２５は貼着シート、２６は
ウエハ、２６ａはチップ、２７は良否判定識別手段とし
ての不良インクマークで、５１はウエハ保持手段または
ウエハ保持装置で、例えばこれらホルダー２２、エキス
パンドリング２３、エキスパンドリング固定治具２４及
び貼着シート２５とから構成されている。

【００４３】２８は第１のレンズとしてのＦθレンズ、
２９及び３０は光回路要素としてのガルバノミラー、３
１及び３２は駆動部としてのパルスモータ、３３は制御
部、制御手段または制御回路装置としての、ガルバノミ
ラー２９及び３０のコントロールドライバー部で、５２
は映像走査手段または映像走査装置でＦθレンズ２８、
ガルバノミラー２９及び３０、パルスモータ３１及び３
２そしてコントロールドライバー部３３から構成されて
いる。

【００４４】３４は導光手段としてのハーフミラー、３
５は光源でレーザビーム光源、３６は撮像手段または固
体撮像装置としてのテレビカメラ、３７は記憶手段また
は画像記憶装置としての画像メモリ、３８は中央演算装
置と記憶部を含む演算手段としてのマイクロコンピュー
タ、３９は補助記憶装置または外部記憶装置としての例
えばフロッピーディスクドライブである。４０は第２の
レンズとしての収斂レンズである。

【００４５】図２において、チップ２６ａ状に分割され
たウエハ２６は貼着シート２５に貼着され、この貼着シ
ート２５は拡張してエキスパンドリング２３に固定され
る。貼着シート２５を介して固定されたチップ２６ａは
お互いに所定の間隔で、エキスパンドリング２３に保持
される。エキスパンドリング２３はエキスパンドリング
固定治具２４、例えば固定ピンにより、固定台２１上に
固定されたホルダー２２に保持される。チップマッピン
グが終了し、次工程にウエハ２６を搬送するときにはエ
キスパンドリング２３に固定されたまま、チップ２６ａ
相互の所定の間隔が変化しないように、搬送される。

【００４６】図１に戻って、チップマッピング装置のシ
ステムについて説明する。固定台２１にウエハ保持手段
２１で固定されたウエハ２６に対向して、Ｆθレンズ２
８の焦点距離だけ離れた位置にＦθレンズ２８が設置さ
れる。Ｆθレンズ２８は単一波長の光についてのみ位置
補正や収差補正がなされているのでレーザビームを使用
するのが良い。しかし必ずしもＦθレンズである必要は
無く、通常のレンズでもよい。このＦθレンズ２８を介
して、ウエハ２６の反対側に一対のガルバノミラー２９
及び３０が配置される。この一対のガルバノミラー２９
及び３０それぞれはパルスモータ３１及び３２の回転軸
に取り付けられており、このパルスモータ３１及び３２
を独立にコントロールドライバー部３３によりを独立に
回転角制御して駆動することにより、Ｆθレンズ２８を
経由したウエハ２６表面の映像を常に所定の方向に投射
しながら、ウエハ２６表面上を２次元的に走査すること
ができる。

【００４７】また逆に光源からのレーザビームをこの投
射方向と逆平行にガルバノミラー２９に入射し、Ｆθレ
ンズ２８を経由して収束させることにより、ウエハ２６
表面上で照明光を２次元的に走査することができる。そ
してこの照明光で照明された走査点の反射光を、Ｆθレ
ンズ２８、ガルバノミラー３０及び２９を経由させるこ
とにより所定方向に戻すことができる。ここでの光源の
光は、通常レーザ光を使用するが、可視光でもよい。

【００４８】すなわち光源３５で発生された光はハーフ
ミラー３４で反射されて、ガルバノミラー２９に入射さ
れ、ガルバノミラー３０、Ｆθレンズ２８を経由してウ
エハ２６表面上を照明し、この照明点からの映像はＦθ
レンズ２８を経由してガルバノミラー３０及び２９によ
り光軸変換されて、入射光と逆平行に戻される。この
時、ガルバノミラー３０及び２９を制御しながら振らせ
ることにより、照明点はウエハ２６表面上で２次元的に
走査され、ウエハ２６表面の走査像が得られる。この走
査像をハーフミラー３４を介して収斂レンズ４０で集束
され、テレビカメラ３６で受像すれば、ウエハ２６表面
の画像データが得られる。

【００４９】このテレビカメラ３６の出力側に画像メモ
リ３７が設けられ、テレビカメラ３６で得られた画像デ
ータを、この画像メモリ３７に記憶させる。この画像メ
モリ３７はマイクロコンピュータ３８とが接続されてい
て、マイクロコンピュータ３８に画像データが送られ、
演算することにより画像処理される。画像処理された画
像情報は画像メモリ３７に記憶される。ここでの画像処
理は、例えばパターン認識手法を用いることにより、各
チップの形状と不良インクマーク２７の有無が特定さ
れ、コントロールドライバー部３３のから受けた回転角
情報と合わせることにより、各チップの位置座標が正確
に特定され、同時にこの位置座標と不良インクマーク２
７の有無が関連付けられる。

【００５０】マイクロコンピュータ３８にはフロッピー
ディスクドライブ（以下ＦＤＤという。）３９が接続さ
れ、マイクロコンピュータ３８の演算結果がフロッピー
ディスク（以下ＦＤという。）に記憶され取り出せるよ
うになっている。チップマッピング装置は通常ダイボン
ダの前処理工程であり、チップマッピング装置とダイボ
ンダとは隣接している。このチップマッピング装置の処
理能力が飛躍的に改善されると、１台のチップマッピン
グ装置と複数台のダイボンダ並列に接続し、ダイボンデ
ィングを行なうことにより、それぞれの処理能力を高め
ることができる。

【００５１】このような場合には、チップマッピング装
置の画像記憶装置や中央処理装置に補助記憶装置を付加
することにより記憶容量を高めることができる。そして
大量のデータを記憶できると、１台のチップマッピング
装置で複数の次工程の加工装置と組み合せることが可能
となり、稼動率が高くなる。補助記憶装置としては、磁
気ディスク、光ディスク、磁気テープなどでもよい。

【００５２】また外部記憶装置を使用し、記憶媒体、例
えばＦＤに演算結果を記憶させ、チップマッピング終了
後のウエハに添付して次工程の加工装置に送ることがで
きる。このようにすることにより、ダイボンディングの
段階で、不良なチップをダイボンディングするといった
誤りを防止することが出来る。また補助記憶装置の記憶
媒体を被加工物と一緒に付けて誤り無く搬送できるの
で、チップマッピング装置と次工程の加工装置と別々の
装置として構成できる。チップマッピング装置と次工程
の加工装置とを分散配置でき、クリーンルームを有効に
利用することができる。

【００５３】次に、動作について説明する。光源３５か
らの光がハーフミラー３４で反射されてガルバノミラー
２９に入射され、ガルバノミラー２９及び３０により反
射され、Ｆθレンズ２８で収束されてウエハ２６表面上
に光のスポットを当てる。この光のスポットのウエハ２
６表面での反射光は、Ｆθレンズ２８を経由してガルバ
ノミラー３０及び２９により光軸変換されて、入射光と
逆向きの平行光線としてもどされる。

【００５４】ここで、ガルバノミラー２９及び３０を、
そのパルスモータ３１および３２でコントロールドライ
バー部３３の制御に基づいて振らせることにより、ウエ
ハ２６表面上で光のスポットをＸＹ２方向に、例えば２
００角の範囲を１ｍｍづつ光のスポットを移動させ、走
査する。この反射光を、テレビカメラ３６で撮像し、画
像データとして画像メモリ３７に記憶させる。

【００５５】この画像データには、不良インクマーク２
７による良否判定結果と、チップ形状によるチップの正
確な位置情報が含まれており、この画像データを画像メ
モリ３７からマイクロコンピュータ３８に送り、例えば
パターンマッチング等の手法を使って演算することによ
り、個々のチップ２６ａ、不良インクマーク２７を特定
し、個々のチップと良否判定結果とを関連付けると共
に、コントロールドライバー部３３からのガルバノミラ
ー２９及び３０の回転角に関する制御情報と個々のチッ
プの位置情報とを関連付けることにより、例えばウエハ
保持手段２１に設定された基準座標に対する個々のチッ
プの正確な位置座標を演算し、この位置座標と個々のチ
ップの良否判定結果とを関連付ける。この演算結果を画
像メモリ３７に記憶させる。また、この演算結果をＦＤ
Ｄ３９に送り、ＦＤに出力する。

【００５６】ダイボンダはチップマッピング装置に隣接
して設置されており、ウエハ保持手段２１に保持された
ウエハ２６は、その分割されたチップ２６ａ相互の位置
が変化しないように、良否判定結果とチップの正確な位
置座標とを関連付けた情報を記憶したＦＤとともにダイ
ボンダに送付され、このＦＤの情報に基づいて、不良な
チップをパスしてダイボンディングがおこなわれる。ま
たウエハ保持手段２１に保持されたウエハ２６を、良否
判定結果とチップの正確な位置座標とを関連付けた情報
を記憶したＦＤとともにダイボンダに送付することがで
きるので、必ずしもチップマッピング装置とダイボンダ
とを隣接して設置する必要がなく、クリーンルーム内の
装置の設置の自由度を高めることができる。

【００５７】この実施例のように一対のガルバノミラー
を駆動することにより、ウエハ表面を走査する場合は、
光軸変換が簡単に行なうことができ、それぞれのガルバ
ノミラーを独立に、関連をもたせて駆動制御することに
より出力方向を所定の方向にして、走査位置を振らせる
ことを簡単に行なうことができる。またＦθレンズを使
用しているので等角速度のビーム偏向に対する点像の移
動速度が等速になり、ガルバノミラーを駆動する制御が
簡単になる。

【００５８】この実施例に記載したチップマッピング装
置を使用する場合は、チップの映像の取込みには単にガ
ルバノミラーを振らせるだけであるので、加速度、速度
の許容値を大きく採ることができ、例えば、加速度は５
００〜８００Ｇ、速度は１０〜２０ｍ／ｓｅｃ程度まで
可能である。従ってチップマッピングに要する時間を大
幅に短縮することが可能となる。またこの実施例でのチ
ップマッピング装置の占有面積は、ウエハ保持手段２１
を固定できればよいので、ＸＹテーブル方式のチップマ
ッピング装置に比較して占有面積が小さくなり、クリー
ンルームを有効に利用することができる。

【００５９】上記の説明において、チップマッピング装
置がダイボンダと別装置として説明したが、チップマッ
ピング装置の占有面積が小さくなることによりダイボン
ダの一部にチップマッピング装置が組み込まれた構成に
してもよい。この場合、固定台２１はダイボンダの機台
の一部となり、外部記憶装置としてのＦＤＤ３９は不要
になり、マイクロコンピュータ３８の内部に設けられ
た、記憶装置に演算結果を記憶するだけで、ダイボンデ
ィングの際に、良否判定結果とチップの正確な位置座標
とを関連付けた情報を読み出せばよい。

【００６０】また、パルスモータ２９及び３０はコント
ロールドライバー部３３により制御されるが、このコン
トロールドライバー部３３はさらに上位のマイクロコン
ピュータ３８により制御される。このコントロールドラ
イバー部３３とマイクロコンピュータ３８とは、単にマ
イクロコンピュータ３８がコントロールドライバー部３
３を制御する構成であってもよいし、コントロールドラ
イバー部３３に中央演算処理装置（以下ＣＰＵとい
う。）を内蔵し、マイクロコンピュータ３８とコントロ
ールドライバー部３３とを双方向に情報通信を行なって
もよい。

【００６１】実施例２ 図３はこの発明の他の実施例であるチップマッピング装
置のシステム構成図である。図３において、４１は照明
手段としてのリング状の照明装置である。この照明装置
４１は通常の照明光の発光装置を備えるものである。こ
のような照明装置４１を使用する場合には、２８は対物
レンズとしての通常のレンズで、Ｆθレンズを使用せず
色収差補正された通常のレンズを使用する。この照明装
置４１でウエハ７表面を照明する。そして、照明系を除
いて実施例１と同じ構成になっている。この実施例のよ
うに通常のレンズを使用した場合、実施例１のようにＦ
θレンズを使用する場合に比べて大幅にコストが低くな
る。特にウエハ７が大形化する傾向にあり、これに合わ
せてＦθレンズも偏向補正を行う必要があり、Ｆθレン
ズは高額になる。

【００６２】

【発明の効果】この発明は以上説明したように構成され
ているので以下に示すような効果がある。第１の発明の
ように構成されたチップマッピング装置は、ウエハ保持
手段に保持されたウエハ表面の映像を第１のレンズを介
して光回路要素で受像し、この光回路要素を駆動するこ
とにより、受像を介してウエハ表面を走査し、各チップ
の画像データを第２のレンズを介して撮像することがで
きるので、チップの画像データの取り込みが高速で誤り
が少なく、大きな質量が急加減速することがなくボール
ネジなどのＸＹテーブル移動機構が不要となり、このＸ
Ｙテーブル移動機構の摩耗粉を防ぐことができ、しかも
占有面積が小さい。従って小形で、高性能な装置を安価
に提供でき、クリーンルームを有効に利用することがで
きる。

【００６３】第２の発明のように構成されたチップマッ
ピング装置は、画像情報を記憶する記憶手段が演算手段
と分散配置されており、画像の処理がさらに高速化され
る。従って、さらに高性能な装置を提供できる。

【００６４】第３の発明のように構成されたチップマッ
ピング装置は、補助記憶装置を備えているので、大量の
データを記憶でき１台のチップマッピング装置で複数の
次工程の加工装置と組み合せることが可能となり、稼動
率が高くなる。また補助記憶装置の記憶媒体を被加工物
と一緒に付けて誤り無く搬送できるので、チップマッピ
ング装置と次工程の加工装置と別々の装置として構成で
きる。チップマッピング装置と次工程の加工装置とを分
散配置でき、クリーンルームを有効に利用することがで
きる。

【００６５】第４の発明のように構成されたチップマッ
ピング装置は、光源とこの光源からの光を映像走査手段
に案内する導光手段を備えているので、ウエハ表面の走
査位置が明るく、小容量の光源でウエハ表面の明瞭な映
像を取り込むことができる。従って、明瞭な画像データ
を得ることができ、チップの位置座標や不良認識の演算
をする際の演算精度が高く、また速く演算できる。

【００６６】第５の発明のように構成されたチップマッ
ピング装置は、ウエハ表面を一様に照明でき、複雑な照
明系を用いずに簡単な構成で、ウエハ表面の明瞭な映像
を取り込むことができる。従って取扱が簡単な装置を提
供できる。

【００６７】第６の発明のように構成されたチップマッ
ピング装置は、光源とこの光源からの光を映像走査装置
に案内するハーフミラーを備えウエハ表面の走査位置を
照明するとともに、ウエハ保持手段に保持されたウエハ
表面の映像をＦθレンズを介して一対のガルバノミラー
で受像し、この一対のガルバノミラーを駆動することに
より、ウエハ表面を走査し、各チップの画像データを撮
像することができるので、単色光を使用して色収差の少
ない画像の取込みことができ、ボケが少なく視野位置精
度の高い像が得られる。従って、高性能な装置を提供す
ることができる。

【００６８】第７の発明のように構成されたチップマッ
ピング装置は、通常の可視光で、通常のレンズで、照明
系を構成出来る。従って安価で、取扱が容易な装置を提
供することができる。

【００６９】第８の発明のように構成されたチップマッ
ピング装置は、外部記憶装置を備えているので、外部記
憶媒体を使うことにより次工程へのデータ伝達の構成が
簡単になる。従ってチップマッピングが終了したウエハ
に外部記憶媒体を添付して搬送することにより、チップ
マッピング装置と次工程の加工装置を必ずしも併設する
必要はなく、クリーンルームを有効に使用することがで
きる。

【００７０】第９の発明のように構成されたチップマッ
ピング方法は、ウエハ保持手段に保持されたウエハ表面
の映像を第１のレンズを介して受像し、この映像を所定
の方向に光軸変換する光回路要素を制御手段を介して駆
動しウエハ表面を走査する工程を備えているので、チッ
プマッピングの工程に要する時間を短縮できる。また、
ＸＹテーブルを急加減速することがなくボールねじなど
からの摩耗粉の発生がなく、メンテナンスに要する時間
が短縮される。従って生産効率が向上する。第１０の発
明のように構成されたチップマッピング方法は、光源か
らの光を光回路要素に案内し、この光回路要素と第１の
レンズを経由してウエハ保持手段に保持されたウエハ表
面の走査位置に案内しているので、明瞭な映像を得るこ
とができ、正確な画像データが取り込まれ、位置情報や
不良認識の演算に要する時間が短縮され、演算精度が高
く、従って生産効率が向上する。

【００７１】第１１の発明のように構成されたチップマ
ッピング方法は、ウエハ表面の映像を撮像する工程の前
に、ウエハ表面に対向して配置された照明手段によりウ
エハ表面を照明する工程を備えているので、安価に正確
な画像データを取り込むことができ、製造コストを下げ
ることが出来る。従って安価な半導体装置を提供するこ
とが出来る。

【００７２】第１２の発明のように構成されたチップマ
ッピング方法は、演算工程で演算されたデータを補助記
憶装置に記憶させる工程を備えているので、大量のデー
タを記憶でき１台のチップマッピング装置に対し複数の
次工程の装置と組み合せることで、生産効率を高めるこ
とができる。

【００７３】第１３の発明のように構成されたチップマ
ッピング方法は、光源とこの光源からの光を映像走査装
置に案内するハーフミラーを備え、ウエハ表面の走査位
置を照明するとともにＦθレンズを介して受像し、この
受像を所定の方向に光軸変換する一対のガルバノミラー
を備えているので、光軸変換が簡単に行なうことがで
き、またガルバノミラーを駆動する制御が簡単になり、
ガルバノミラーを駆動するモータの制御回路装置の調整
が簡単になり、装置の調整が簡単になり生産効率が向上
する。

【００７４】第１４の発明のように構成されたチップマ
ッピング方法は、ウエハ表面に対向して対物レンズ近傍
に配設され、ウエハ表面を照明する照明装置により、ウ
エハ表面を照明するとともに、対物レンズを介して受像
し、この受像を所定の方向に光軸変換する一対のガルバ
ノミラーを備えているので、照明系の調整が簡単とな
り、生産効率が向上する。

【００７５】第１５の発明のように構成されたチップマ
ッピング方法は、演算工程で演算されたデータを外部記
憶装置に記憶させる工程を備えているので、チップマッ
ピング装置と次工程の加工装置でデータの出入が簡単に
行なうことができ、ウエハに記憶媒体を添付して、搬送
できるので次工程で加工の際誤りがない。従って検査工
程まで持ち越される不良品の発生が少なく、歩留りが向
上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の一実施例であるチップマッピング
装置のシステム構成図である。

【図２】 この発明の一実施例であるチップマッピング
装置のウエハ保持装置の断面図である。

【図３】 この発明の他の実施例であるチップマッピン
グ装置のシステム構成図である。

【図４】 従来のチップマッピング装置のシステム構成
図である。

【符号の説明】

５１ ウエハ保持手段、 ５２ 映像走査手段、
３６ 撮像手段 ３８ マイクロコンピュータ、３７ 記憶手段、
３９ 補助記憶装置、３５ 光源、 ３４ 導光手
段、 ４０ 照明手段。

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 チップの良否判定識別手段が付与されか
   つチップ形状に分割されたウエハを、前記チップ相互の
   位置を所定の関係に保って保持するとともに固定台上に
   配設するウエハ保持手段と、 このウエハ保持手段に保持されたウエハ表面の映像を第
   １のレンズを介して受像しこの映像を所定の方向に光軸
   変換する光回路要素とこの光回路要素を駆動する駆動部
   と上記ウエハ表面を走査するように前記駆動部を制御す
   る制御部とを有する映像走査手段と、 この映像走査手段の光回路要素により上記所定の方向に
   変換された映像の光軸上に第２のレンズを介して配設さ
   れ、上記映像走査手段により走査された上記ウエハ表面
   の映像を撮像する撮像手段と、 この撮像手段からの画像情報を記憶する記憶部及び、上
   記制御部へ制御信号を発するとともに上記制御部から受
   けた制御情報と上記記憶部からの画像情報とに基づき上
   記チップの位置座標をまた上記記憶手段からの画像情報
   に基づき上記チップの良否をそれぞれ演算し各チップの
   良否と上記位置座標とを関連付け、この演算結果を上記
   記憶部に記憶させる中央処理装置を有する演算手段と、
   を備えたチップマッピング装置。
2. 【請求項２】 チップの良否判定識別手段が付与されか
   つチップ形状に分割されたウエハを、前記チップ相互の
   位置を所定の関係に保って保持するとともに固定台上に
   配設するウエハ保持手段と、 このウエハ保持手段に保持されたウエハ表面の映像を第
   １のレンズを介して受像しこの映像を所定の方向に光軸
   変換する光回路要素とこの光回路要素を駆動する駆動部
   と上記ウエハ表面を走査するように前記駆動部を制御す
   る制御部とを有する映像走査手段と、 この映像走査手段の光回路要素により上記所定の方向に
   変換された映像の光軸上に第２のレンズを介して配設さ
   れ、上記映像走査手段により走査された上記ウエハ表面
   の映像を撮像する撮像手段と、 この撮像手段からの画像情報を記憶する記憶手段と、 上記制御部へ制御信号を発するとともに上記制御部から
   受けた制御情報と上記記憶部からの画像情報とに基づき
   上記ウエハ保持手段に設定された基準座標に対する上記
   チップの位置座標をまた上記記憶手段からの画像情報に
   基づき上記チップの良否をそれぞれ演算し各チップの良
   否と上記位置座標とを関連付け、この演算結果を上記記
   憶手段に記憶させる演算手段と、を備えたチップマッピ
   ング装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２のいずれかに記
   載のチップマッピング装置に、上記演算手段により演算
   されたデータを記憶する補助記憶装置をさらに備えたチ
   ップマッピング装置。
4. 【請求項４】 請求項１乃至請求項３のいずれかに記載
   のチップマッピング装置に、上記映像走査手段を経由し
   て上記ウエハ表面の走査位置に案内される光を発生する
   光源とこの光源からの光を上記映像走査手段に案内する
   導光手段とをさらに備えたチップマッピング装置。
5. 【請求項５】 請求項１乃至請求項３のいずれかに記載
   のチップマッピング装置に、上記ウエハ表面に対向して
   配置され、このウエハ表面を照明する照明手段をさらに
   備えたチップマッピング装置。
6. 【請求項６】 チップの良否判定マ−クが付与されかつ
   チップ形状に分割されたウエハを貼着するウエハ保持シ
   ートを有し、このウエハ保持シートをこの上に貼着され
   たウエハのチップ相互の位置を所定の関係に保つように
   固定台上に保持するウエハ保持装置と、 このウエハ保持装置の上記ウエハ表面に対向して配設さ
   れたＦθレンズとこのＦθレンズを介してウエハ表面の
   映像を受像しこの受像を所定の方向に光軸変換する一対
   のガルバノミラーとこのガルバノミラーをそれぞれ駆動
   するモータと上記ウエハ表面を走査するように上記モー
   タを制御する制御回路装置とを有する映像走査装置と、 この映像走査装置からの映像の光軸上に配設されたハー
   フミラーを介して前記映像走査装置のガルバノミラーへ
   上記映像と逆平行に入射され、上記映像走査装置を経由
   して上記ウエハ表面に案内される照明光を発光する光源
   と、 上記映像走査装置からの上記映像の光軸上に順次上記ハ
   ーフミラーと収斂レンズとを介して配設され、上記映像
   走査装置により走査された上記ウエハ表面の映像を撮像
   する固体撮像装置と、 この固体撮像装置からの画像情報を記憶する画像記憶装
   置と、 上記制御回路装置へ制御信号を発するとともに上記制御
   回路装置から受けた制御情報と上記画像記憶装置からの
   画像情報とに基づき上記ウエハ保持装置に設定された基
   準座標に対する上記チップの位置座標をまた上記画像記
   憶装置からの画像情報に基づき上記チップの良否をそれ
   ぞれ演算し各チップの良否と上記位置座標とを関連付
   け、この演算結果を上記画像記憶装置に記憶させる中央
   演算処理装置と、を備えたチップマッピング装置。
7. 【請求項７】 チップの良否判定マ−クが付与されかつ
   チップ形状に分割されたウエハを貼着するウエハ保持シ
   ートを有し、このウエハ保持シートをこの上に貼着され
   たウエハのチップ相互の位置を所定の関係に保つように
   固定台上に保持するウエハ保持装置と、 このウエハ保持装置の上記ウエハ表面に対向して配設さ
   れた対物レンズとこの対物レンズを介してウエハ表面の
   映像を受像しこの受像を所定の方向に光軸変換する一対
   のガルバノミラーとこのガルバノミラーをそれぞれ駆動
   するモータと上記ウエハ表面を走査するように上記モー
   タを制御する制御回路装置とを有する映像走査装置と、 上記ウエハ表面に対向し上記対物レンズ近傍に配設さ
   れ、このウエハ表面を照明する照明装置と、 上記映像走査装置からの上記映像の光軸上に上記ハーフ
   ミラーと収斂レンズとを順次介して配設され、上記映像
   走査装置により走査された上記ウエハ表面の映像を撮像
   する固体撮像装置と、 この固体撮像装置からの画像情報を記憶する画像記憶装
   置と、 上記制御回路装置へ制御信号を発するとともに上記制御
   回路装置から受けた制御情報と上記画像記憶装置からの
   画像情報とに基づき上記ウエハ保持装置に設定された基
   準座標に対する上記チップの位置座標をまた上記画像記
   憶装置からの画像情報に基づき上記チップの良否をそれ
   ぞれ演算し各チップの良否と上記位置座標とを関連付
   け、この演算結果を上記画像記憶装置に記憶させる中央
   演算処理装置と、を備えたチップマッピング装置。
8. 【請求項８】 請求項６または請求項７のいずかに記載
   のチップマッピング装置に、上記中央演算処理装置によ
   り演算されたデータを記憶する外部記憶装置をさらに備
   えたチップマッピング装置。
9. 【請求項９】 各チップの良否判定識別手段が付与され
   かつチップ形状に分割されたウエハを、上記チップ相互
   の位置を所定の関係に保ってウエハ保持手段に保持し、
   このウエハ保持手段を固定台上に配設する工程と、 ウエハ保持手段に保持されたウエハ表面の映像を第１の
   レンズを介して受像し、この受像を所定の方向に光軸変
   換する光回路要素を、制御手段を介して駆動し、上記受
   像を介してウエハ表面を走査する工程と、 走査された上記ウエハ表面の映像を第２のレンズを介し
   て撮像する工程と、 この撮像された画像情報を記憶する工程と、 上記制御手段から受けた制御情報と記憶された画像情報
   とに基づき上記チップの位置座標を、また記憶された画
   像情報に基づき上記チップの良否を、それぞれ演算し各
   チップの良否と上記位置座標とを関連付け、この演算結
   果を記憶する演算工程と、を備えたチップマッピング方
   法。
10. 【請求項１０】 請求項９記載のチップマッピング方法
    において、 ウエハ保持手段に保持されたウエハ表面の映像を第１の
    レンズを介して受像し、この受像を所定の方向に光軸変
    換する光回路要素を、制御手段を介して駆動し、上記受
    像を介してウエハ表面を走査する工程に替えて、 光源からの光を光回路要素に誘導し、この光回路要素と
    第１のレンズを経由してウエハ保持手段に保持されたウ
    エハ表面に案内するとともに、このウエハ表面の映像を
    上記第１レンズを介して受像し、この受像を所定の方向
    に光軸変換する上記光回路要素を、制御手段を介して駆
    動し上記受像を介してウエハ表面を走査する工程を備え
    たチップマッピング方法。
11. 【請求項１１】 請求項９記載のチップマッピング方法
    において、ウエハ表面の映像を撮像する工程の前に、 ウエハ表面に対向して配置された照明手段によりウエハ
    表面を照明する工程をさらに備えたチップマッピング方
    法。
12. 【請求項１２】 請求項９乃至請求項１１のいずれか１
    項に記載のチップマッピング方法に、演算工程で演算さ
    れたデータを補助記憶装置に記憶させる工程をさらに備
    えたチップマッピング方法。
13. 【請求項１３】 各チップの良否判定マークが付与され
    かつチップ形状に分割されたウエハをウエハ保持シート
    に貼着し、このウエハ保持シートを前記チップ相互の位
    置を所定の関係に保つように固定台上に着脱自在に保持
    する工程と、 光源からの光をハーフミラーを介して一対のガルバノミ
    ラーに案内し、このガルバノミラーとＦθレンズを経由
    してウエハ保持シートに保持されたウエハ表面に案内す
    るとともに、このウエハ表面の映像を上記Ｆθレンズを
    介して受像し、この受像を所定の方向に光軸変換する上
    記ガルバノミラーを、このガルバノミラーを駆動するモ
    ータの制御回路装置を介して駆動し上記受像を介してウ
    エハ表面を走査する工程と、 走査された上記ウエハ表面の映像を収斂レンズを介して
    固体撮像装置により撮像する工程と、 この固体撮像装置からの画像情報を画像記憶装置に記憶
    する工程と、 上記制御回路装置から受けた制御情報と上記画像記憶装
    置に記憶された画像情報とに基づき上記ウエハ保持シー
    トに設定された基準座標に対する上記チップの位置座標
    を、また上記画像記憶装置に記憶された画像情報に基づ
    き上記チップの良否を、それぞれ演算し各チップの良否
    と上記位置座標とを関連付け、この演算結果を画像記憶
    装置に記憶する演算工程と、を備えたチップマッピング
    方法。
14. 【請求項１４】 各チップの良否判定マークが付与され
    かつチップ形状に分割されたウエハをウエハ保持シート
    に貼着し、このウエハ保持シートを前記チップ相互の位
    置を所定の関係に保つように固定台上に着脱自在に保持
    する工程と、 ウエハ表面に対向して対物レンズ近傍に配設され、ウエ
    ハ表面を照明する照明装置により、ウエハ表面を照明す
    る工程と、 ウエハ保持シートに保持されたウエハ表面の映像を対物
    レンズを介して受像し、この受像を所定の方向に光軸変
    換する一対のガルバノミラーを、このガルバノミラーを
    駆動するモータの制御回路装置を介して駆動し上記受像
    を介してウエハ表面を走査する工程と、 走査された上記ウエハ表面の映像を収斂レンズを介して
    固体撮像装置により撮像する工程と、 この固体撮像装置からの画像情報を画像記憶装置に記憶
    する工程と、 上記制御回路装置から受けた制御情報と上記画像記憶装
    置に記憶された画像情報とに基づき上記ウエハ保持シー
    トに設定された基準座標に対する上記チップの位置座標
    を、また上記画像記憶装置に記憶された画像情報に基づ
    き上記チップの良否を、それぞれ演算し各チップの良否
    と上記位置座標とを関連付ける演算工程と、を備えたチ
    ップマッピング方法。
15. 【請求項１５】 請求項１３または請求項１４記載のチ
    ップマッピング方法に、上記演算工程で演算されたデー
    タを外部記憶装置に記憶させる工程をさらに備えたチッ
    プマッピング方法。