JP2001050862A - 光ピックアップ対物レンズの収差測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、ビームスポットの位置合わせとは
無関係にフォーカスを合わせることができ、ビームスポ
ットを撮像手段の視野内に入れることが容易な光ピック
アップ対物レンズの収差測定装置を提供する。 【解決手段】 光ピックアップを１保持する保持手段２
と、光ピックアップ１にレーザー光を照射するレーザー
照射手段３と、光ピックアップ１を透過した光を画像と
して検出する、少なくとも顕微鏡光学系５ａと画像入力
装置５ｂを有する画像検出手段５と、光ピックアップ１
を透過した光の透過及び反射を行う透過・反射光学素子
と、この透過・反射光学素子による反射光を基に、画像
検出手段４に対する光ピックアップ対物レンズ１０のフ
ォーカス状態を検出するフォーカス検出手段１１と、フ
ォーカス検出手段１１によるフォーカス状態の検出信号
に応じて、光ピックアップ対物レンズと画像検出手段５
との距離を変化させ、光ピックアップ対物レンズ１０の
フォーカスを合わせるフォーカス調整手段１７とを有す
るものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスク装置の
ビックアップの収差測定装置に関し、特に光ピックアッ
プ対物レンズの収差を効率よく測定するための収差測定
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、光ディスク装置では、光源部か
ら出射されたレーザ光を光ピックアップ対物レンズによ
り集光して光ディスクに照射している。

【０００３】光ピックアップ対物レンズは、光ディスク
のデータ記録面にレーザー光が到達した時にその収差が
最小になるように設計されている。また、この際、集光
されたレーザー光は小さなビームスポットを形成する。

【０００４】このため、光ピックアップ対物レンズの製
造時には、その収差が最小になっているか否か等の測定
又は測定のための調整がなされる。

【０００５】例えば、光ピックアップ対物レンズを透過
し集光されたビームスポットを、対物レンズを内蔵した
顕微鏡で拡大し、ＣＣＤカメラで捕らえてそのビームス
ポット像を画像処理して光ピックアップ対物レンズの収
差が測定される。

【０００６】このように、光ピックアップ対物レンズを
透過し形成されたビームスポット像をＣＣＤカメラで捕
えてその画像を処理して測定する場合、まず、ビームス
ポットが顕微鏡及びＣＣＤカメラの視野に入っている必
要がある。また、ビームスポットに対して、顕微鏡及び
ＣＣＤカメラのフォーカスが合っていることが必要であ
る。

【０００７】このような、測定や調整を行う装置とし
て、特開平１０−４９９１１号公報に開示された光ピッ
クアップの製造装置が知られている。

【０００８】この光ピックアップの製造装置は、顕微鏡
対物レンズで捕えたビームスポット画像をハーフミラー
で分割し、画像評価用のＣＣＤカメラとフォーカス検出
用のＣＣＤカメラにそれぞれ導いている。

【０００９】前記フォーカス検出用のＣＣＤカメラによ
って撮像された画像は、フォーカス検出器に送られ、こ
こで得られたフォーカス状態に基づきフォーカス制御器
がフォーカス調整部を制御して、顕微鏡の対物レンズを
Ｚ軸（光軸）方向に駆動してフォーカス調整を行うよう
にしている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】このように、ビームス
ポット像を測定するためには、顕微鏡光学系で捕えたビ
ームスポット像を画像検出用とフォーカス検出用に分割
し、それぞれに検出機構をつけなければならなかった。

【００１１】しかし、このような構造であると、光ディ
スク装置が本来備えているフォーカス検出機構を使用せ
ず、光ピックアップの製造装置にフォーカス検出用とし
て備えた手段によりフォーカスを検出する必要があるた
め、前記製造装置の開発期間や調整又は小型化等の面で
好ましくは無かった。

【００１２】また、上述した従来装置のように顕微鏡光
学系を透過した光からフォーカスを検出する方法を採用
した場合、顕微鏡の対物レンズをビームスポットが透過
していないとフォーカスの検出ができないことになる。
即ち、フォーカスを合わせる以前にビームスポットと顕
微鏡光学系の位置ずれをあらかじめ調整しておく必要が
ある。

【００１３】しかし、フォーカスが合っていないと、ビ
ームスポットの位置を探すのは難しく、特に位置センサ
でビームスポットの位置を探して自動で位置合わせを行
うような装置構成の場合には、ビームスポットの位置合
わせを行う以前にフォーカスが合っていることが必須条
件である。

【００１４】このように、ビームスポットのフォーカス
合わせと位置合わせとが互いに相互補完の関係になって
いる。

【００１５】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、フォーカス検出用の検出機構を顕微鏡に設ける
ことなく、光ディスク装置が本来備えているフォーカス
検出機構からフォーカス情報を得てフォーカスを合わせ
ることができ、ビームスポットの位置合わせとは無関係
にフォーカスを合わせることができ、ビームスポットを
撮像手段の視野内に入れることが容易な光ピックアップ
対物レンズの収差測定装置を提供するものである。

【００１６】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
光ピックアップ対物レンズの収差測定装置において、光
ピックアップを保持する保持手段と、前記光ピックアッ
プにレーザー光を照射するレーザー照射手段と、前記光
ピックアップを透過した光を画像として検出する、少な
くとも顕微鏡光学系と画像入力装置を有する画像検出手
段と、前記顕微鏡光学系の前記光ピックアップに対向す
る側に固定され、前記光ピックアップを透過した光の透
過及び反射を行う透過・反射光学素子と、この透過・反
射光学素子による反射光に基づいて、前記画像検出手段
に対する光ピックアップ対物レンズのフォーカス状態を
検出するフォーカス検出手段と、前記フォーカス検出手
段によるフォーカス状態の検出信号に応じて、前記光ピ
ックアップ対物レンズと前記画像検出手段との距離を変
化させ、光ピックアップ対物レンズのフォーカスを合わ
せるフォーカス調整手段とを具備することを特徴とする
ものである。

【００１７】この発明によれば、前記透過・反射光学素
子による光ピックアップを透過した光の反射光に基に、
フォーカス検出手段が光ピックアップ対物レンズのフォ
ーカス状態を検出し、フォーカス調整手段が、フォーカ
ス検出手段によるフォーカス状態の検出信号に応じて、
前記光ピックアップ対物レンズと前記画像検出手段との
距離を変化させ、光ピックアップ対物レンズのフォーカ
スを合わせるものであるから、ビームスポットの画像検
出手段に対する位置合わせとは無関係に光ピックアップ
対物レンズのフォーカスを合わせることができ、ビーム
スポットを画像入力手段の視野内に入れることが容易で
収差測定の作業効率を向上できる光ピックアップ対物レ
ンズの収差測定装置を提供できる。

【００１８】請求項２記載の発明は、光ピックアップ対
物レンズの収差測定装置において、光ピックアップを保
持する保持手段と、前記光ピックアップにレーザー光を
照射するレーザー照射手段と、前記光ピックアップを透
過した光を画像として検出する、少なくとも顕微鏡光学
系と画像入力装置を有する画像検出手段と、前記顕微鏡
光学系の前記光ピックアップに対向する側に固定され、
前記光ピックアップを透過した光の透過及び反射を行う
透過・反射光学素子と、この透過・反射光学素子による
反射光に基づいて、前記画像検出手段に対する光ピック
アップ対物レンズのフォーカス状態を検出するフォーカ
ス検出手段と、前記フォーカス検出手段によるフォーカ
ス状態の検出信号に応じて、前記光ピックアップ対物レ
ンズと前記画像検出手段との距離を変化させ、光ピック
アップ対物レンズのフォーカスを合わせるフォーカス調
整手段と、前記光ピックアップを透過した光と、前記画
像検出手段との相対位置を検出する前記画像入力装置よ
りも広い視野を有する位置検出手段と、前記位置検出手
段の検出結果を基に、前記保持手段を画像検出手段に対
して相対的に移動させる位置調整手段とを有することを
特徴とするものである。

【００１９】この発明によれば、請求項１記載の発明の
作用を発揮することに加えて、画像入力装置よりも広い
視野を有する位置検出手段により光ピックアップを透過
した光と、前記画像検出手段との相対位置を検出し、位
置調整手段により前記保持手段を画像検出手段に対して
相対的に移動させるものであるから、画像入力装置の視
野よりも広い範囲でビームスポットの位置を把握するこ
とができ、ビームスポットの位置が画像入力装置の視野
から外れてしまうような場合でも、容易にビームスポッ
トの位置を検出して画像入力装置の視野内に戻すことが
でき、このようなビームスポットを使用した前記光ピッ
クアップと画像検出手段との位置調整作業の自動化が容
易となる。

【００２０】請求項３記載の発明は、請求項１又は２記
載の発明の光ピックアップ対物レンズの収差測定装置に
おいて、前記透過・反射光学素子は、その光の反射面が
前記顕微鏡光学系の顕微鏡対物レンズの焦点位置となる
ように顕微鏡光学系に取り付けられていることを特徴と
するものである。

【００２１】この発明によれば、前記透過・反射光学素
子は、その光の反射面が前記顕微鏡光学系の顕微鏡対物
レンズの焦点位置となるように顕微鏡光学系に取り付た
ものであるから、前記顕微鏡光学系を介して前記画像入
力装置により焦点（フォーカス）の合ったビームスポッ
トを撮像することができ、光ピックアップ対物レンズの
収差測定の作業効率を向上できる光ピックアップ対物レ
ンズの収差測定装置を提供できる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を詳
細に説明する。

【００２３】（実施の形態１）図１は、本発明の実施の
形態１の光ピックアップ対物レンズの収差測定装置を概
念的に示す概略構成図である。

【００２４】この光ピックアップ対物レンズの収差測定
装置は、保持手段２上に、対物レンズを内蔵した光ピッ
クアップ１を搭載している。この保持手段２上の光ピッ
クアップ１と離れた位置に、光ピックアップ１に向けて
レーザ光を照射するレーザー照射手段３を固定してい
る。

【００２５】レーザー照射手段３から出射されたレーザ
光は、光ピックアップ１内の図示しない案内穴、立ち上
げミラー１ａ、光ピックアップ対物レンズ１０を順次通
過して行く。前記光ピックアップ対物レンズ１０を透過
した光は、集光され小さなビームスポットを形成する。

【００２６】このビームスポットは、さらに透過・反射
光学素子であるダミーディスク６を透過し、画像検出手
段５に到達する。前記ダミーディスク６は、図１に示す
ように、所定の距離Ｍ1 をもって画像検出手段５の一部
を構成する顕微鏡光学系５ａの下側に固定配置されてい
る。この顕微鏡光学系５ａは、前記ダミーディスク６側
に顕微鏡対物レンズ５ｃを具備している。また、顕微鏡
対物レンズ５ｃを通過した光を結像させる撮影用レンズ
５ｄを備えている。

【００２７】前記画像検出手段５は、顕微鏡光学系５ａ
と、ＣＣＤカメラのような画像入力装置５ｂと、ビーム
スプリッタのような光分割素子８ａとを有し、この顕微
鏡光学系５ａによって拡大されたビームスポット像が画
像入力装置５ｂにより撮像され画像処理されて表示され
る。

【００２８】また、前記ダミーディスク６の反射面（片
面）６ａには、例えばハーコート等の光の一部を反射す
る処理膜が施してあり、この処理膜の作用により前記光
ピックアップ１を通過した光の一部はレーザー照射手段
３に戻される。このレーザー照射手段３は光ディスク装
置に使用されるレーザー照射ユニットをそのまま利用す
るため、レーザー照射手段３にフォーカス情報出力機構
を有している。

【００２９】よって、レーザー照射手段３にダミーディ
スク６の反射面６ａによって反射されたレーザー光が戻
ることで、前記ダミーディスク６の反射面６ａにおいて
光ピックアップ対物レンズ１０によるビームスポットの
フォーカスが合っているかどうかのフォーカス情報が検
出されることになる。

【００３０】レーザー照射手段３で得られたフォーカス
情報は、レーザー照射手段３に接続したフォーカス検出
手段１１により処理され、前記保持手段２を搭載してい
るフォーカス調整手段７を駆動して光ピックアップ１を
垂直方向に、即ち、前記光ピックアップ対物レンズ１０
の光軸方向に駆動する。これにより、ダミーディスク６
の反射面６ａにフォーカスの合ったビームスポットが形
成される。

【００３１】一方、ダミーディスク６は、図示しない保
持部材により前記顕微鏡光学系５ａに固定され、しかも
顕微鏡光学系５ａの顕微鏡対物レンズ５ｃとダミーディ
スク６との距離Ｍ1 は、ダミーディスク６の反射面６ａ
に映し出されたビームスポットにフォーカスが合うよう
に配置されている。

【００３２】以上の構成により、画像検出手段５に設け
られた画像入力装置５ｂにより、フォーカスの合ったビ
ームスポット像が撮像され、映し出されることになる。

【００３３】次に、位置検出手段８について説明する。
位置検出手段８は、例えばビームスプリッタのような光
分割素子８ａからの光を取り込むポジションセンサ等に
より構成されている。

【００３４】前記画像検出手段５の顕微鏡光学系５ａ
と、画像入力装置５ｂの間の光路に配置した前記光分割
素子８ａにより取り出された光は、前記位置検出手段８
によって前記光ピックアップ１の光ピックアップ対物レ
ンズ１０及びダミーディスク６を通過し顕微鏡光学系５
ａによって拡大したビームスポット像として検出され、
光ピックアップ１の前記顕微鏡光学系５ａに対する水平
方向の位置情報が検出される。

【００３５】この位置情報が位置調整手段９に送られ、
前記光ピックアップ１と画像検出手段５との水平方向の
相対位置が調整される。

【００３６】即ち、光ピックアップ対物レンズ１０の光
軸に対し、この光軸と直交する方向（水平方向）に光ピ
ックアップ１を移動して両者の相対位置が調整され、前
記画像検出手段５の中心にビームスポットが位置づけら
れるようになる。

【００３７】この際、位置検出手段８で得られるビーム
スポットの位置情報と画像入力装置５ｂに映るビームス
ポットの位置が一致するように位置検出手段８の位置検
出素子８ｂの取り付け位置をあらかじめ調整しておく必
要がある。

【００３８】また、位置検出手段８が画像検出手段５の
数倍の視野を持つように位置検出手段８の位置検出素子
８ｂの面積又は光分割素子８ａからの光を位置検出素子
８ｂに集めるレンズ８ｃの光学倍率を選定しておくこと
で、前記画像入力装置５ｂの視野からビームスポット像
が外れてしまう程大きい位置がずれが生じても、前記位
置検出手段８ではビームスポット像の位置の検出が可能
となり、この結果、ビームスポット像を画像入力装置５
ｂの視野内に位置づけることが可能となる。

【００３９】尚、図１において、前記フォーカス調整手
段７と、位置調整手段９との配置は上下入れ替えた構成
ても良い。

【００４０】本実施の形態１によれば、ビームスポット
を利用したフォーカス検出の機構を簡略化することがで
きるので、装置の小型化が実現できる。

【００４１】また、ダミーディスク６の反射光を利用し
てフォーカス情報を得るという光ディスク装置に近い方
式を採用し、光ディスク装置に使用するレーザー照射手
段３とこれに内蔵されるフォーカス検出機能をそのまま
利用することができるため、装置の開発期間を著しく短
縮することができる。

【００４２】（実施の形態２）次に、図２に基づいて本
発明の実施の形態２について説明する。

【００４３】本実施の形態２の光ピックアップ対物レン
ズの収差測定装置は、ベース部２８に、ＸＹステージ２
４及びＸＹステージ駆動モータ２３が設置され、前記Ｘ
Ｙステージ２４上にＺステージ２７及びＺステージ駆動
モータ２６が設置されている。更に、このＺステージ２
７上には、光ピックアップ搭載テープル２２が置かれ、
図示しない位置決めピンにより光ピックアップ１を着脱
可能にしかも決められた姿勢で搭載することができるよ
うになっている。

【００４４】また、前記光ピックアップ搭載テーデル２
２上には、レーザー照射ユニット１３が固定されてい
る。このレーザー照射ユニット１３は、光ディスク装置
に内蔵されるレーザー照射ユニットを使用しているた
め、レーザー出射機能とフォーカス検出機能を併せて持
っている。

【００４５】また、前記ベース部２８から顕微鏡光学系
を保持するフレーム１９が立設されており、このフレー
ム１９に固定される状態で、顕微鏡光学系３０を構成す
る顕微鏡対物レンズ１７、顕微鏡対物レンズ１７を通過
した光を結像させる撮影用レンズ１８、位置検出手段３
１を構成するビームスプリッタ２９と２次元ポジション
センサ２１及び画像入力装置３２を構成するＣＣＤカメ
ラ２０が設置されている。

【００４６】また、顕微鏡対物レンズ１７の下方のダミ
ーディスク１６は、その片面（ここでは上面）１６ａに
ハーフコートが施されており、図３に点線で示す固定部
材３３によりあらかじめその片面１６ａ側が顕微鏡対物
レンズ１７の焦点距離と一致する位置となるように配置
されて、顕微鏡対物レンズ１７の鏡筒部に固定されてい
る。

【００４７】この他に、２次元ポジションセンサ２１か
らの信号を処理する位置情報処理回路３４とレーザー照
射ユニット１３からの信号を処理するフォーカス情報処
理回路２５とが前記ベース部２８上に配置されている。

【００４８】次に、本実施の形態２の光ピックアップ対
物レンズの収差測定装置の作用について説明する。

【００４９】まず、前記レーザー照射ユニット１３から
出射された光が、ビームスポットとなりＣＣＤカメラ２
０で捕えられるまでの作用を説明する。

【００５０】光ピックアップ搭載テーブル１２に、光ピ
ックアップ１を搭載する。次に、レーザー出射ユニット
１３に接続された図示しないレーザー電源を操作し、レ
ーザー出射ユニット１３に電源を供給し、レーザー光を
出射する。

【００５１】出射されたレーザー光は、光ピックアップ
１に設けられた図示しない案内穴を通って、立ち上げミ
ラー１４で方向を９０度曲げられた後、光ピックアップ
対物レンズ１５を透過する。光ピックアップ対物レンズ
１５を透過した光は集光され、小径のビームスポット像
となり、更に、ダミーディスク１６、顕微鏡対物レンズ
１７、撮影用レンズ１８、ビームスプリッタ２９を通過
し、拡大された像となってＣＣＤカメラ２０により映し
出される。

【００５２】次に、フォーカス調整の作用について説明
する。

【００５３】光ピックアップ対物レンズ１５を透過して
ダミーディスク１６に到達したレーザー光の半分は、ダ
ミーディスク１６を透過するが、残りの半分はダミーデ
ィスク１６に施された片面１６ａのハーフコートの作用
により反射され、レーザー光がたどってきた光路を逆行
し、前記レーザー出射手段１３に戻される。

【００５４】レーザー照射手段１３は、既述したように
フォーカス検出機能を備えているので、レーザスポット
のフォーカス情報を取り出すことができる。

【００５５】このフォーカス情報に基づきフォーカス情
報処理回路２５によりＺステージ２７を上下どちらにど
れだけ動かせば良いかを計算し、Ｚステージ駆動モータ
２６に指令を出す。Ｚステージ駆動モータ２６は、フォ
ーカス情報処理回路２５からの指令に基づき、Ｚステー
ジ２７を前記光ピックアップ対物レンズ１５の光軸方向
に駆動する。

【００５６】このような作用により、ダミーディスク１
６の片面１６ａにフォーカスが合ったビームスポットを
形成することができる。

【００５７】次にビームスポットの位置調整の作用を説
明する。

【００５８】レーザー光はＣＣＤカメラ２０に到達する
と同時に、ピームスプリッタ２９の作用により分光され
前記２次元ポジションセンサ２１へも到達する。

【００５９】２次元ポジションセンサ２１の光受面とし
て、前記ＣＣＤカメラ２０のＣＣＤ素子よりも面積の大
きいものを使用することにより、ビームスポット像がＣ
ＣＤカメラ２０の視野から外れてしまうような場合で
も、２次元ポジションセンサ２１によりビームスポット
像の位置を把握することができる。

【００６０】また、面積の大きい２次元ポジションセン
サ２１は非常に高価なため、２次元ポジションセンサ２
１の面積は小さなものを使用し、２次元ポジションセン
サ２１と、ビ−ムスプリッタ２９との間に光学倍率を落
とすための図示しない光学素子を入れ、２次元ポジショ
ンセンサ２１側の位置検出範囲をＣＣＤカメラ２０の視
野より大きくするように構成することも可能でる。

【００６１】このようにして２次元ポジションセンサ２
１により得られた位置情報を基に、前記位置情報処理回
路３４によりＸＹステージ２４をどれだけどちらの方
向、即ち、光ピックアップ対物レンズ１５の光軸と直交
する方向へどれだけ動かせば良いかの駆動量、駆動方向
を計算し、ＸＹステージ駆動モータ２３に駆動量、駆動
方向に応じた指令を出す。

【００６２】ＸＹステージ駆動モータ２３は位置情報処
理回路３４から指示された駆動量、駆動方向に応じて、
ＸＹステージ２７を移動させる。これにより、前記ＣＣ
Ｄカメラ２０の中心にビームスポット像が位置付けられ
るように調整される。

【００６３】このようにして、ビームスポット像のフォ
ーカス調整及び位置調整が実行されることになり、前記
ＣＣＤカメラ２０の表示部の画面の中央にフォーカスの
合った画像が映し出されるので図示しない画像処理装置
等を使用することで光ピックアップ対物レンズ１５の収
差が測定され評価されることになる。

【００６４】本実施の形態２によれば、レーザー光源と
して光ディスク装置に内蔵される光源を使用することに
よりダミーディスク１６の反射光を利用してフォーカス
情報を得ることができるので、フォーカス検出機構を簡
略化することができる。

【００６５】また、フォーカス情報検出のための光学系
や電気回路を新たに設計する必要がないため、測定装置
を短期間で開発することが可能となる。

【００６６】さらに、２次元ポジションセンサ２１がＣ
ＣＤカメラ２０より広い視野を捕えることができること
から、ビームスポットがＣＣＤカメラ２０の視野から大
きく外れてしまっていような場合においても、容易にＣ
ＣＤカメラ２０の視野内にビームスポットを導くことが
でき、光ピックアップ対物レンズ１５の収差を測定する
ための時間を短縮することができる。

【００６７】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、ビームス
ポットを画像入力手段の視野内に入れることが容易で、
収差測定の作業効率を向上できる光ピックアップ対物レ
ンズの収差測定装置を提供できる。

【００６８】請求項２記載の発明によれば、請求項１記
載の発明の効果に加えて、画像入力装置の視野よりも広
い範囲でビームスポットの位置を把握することができ、
容易にビームスポットの位置を検出して画像入力装置の
視野内に戻すことが可能で、ビームスポットを使用した
前記光ピックアップと画像検出手段との位置調整作業の
自動化が容易な光ピックアップ対物レンズの収差測定装
置を提供できる。

【００６９】請求項３記載の発明によれば、顕微鏡光学
系を介して前記画像入力装置により焦点（フォーカス）
の合ったビームスポットを撮像することができ、光ピッ
クアップ対物レンズの収差測定の作業効率を向上できる
光ピックアップ対物レンズの収差測定装置を提供でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１の光ピックアップ対物レ
ンズの収差測定装置の構成を概念的に示す概略図であ
る。

【図２】本発明の実施の形態２の光ピックアップ対物レ
ンズの収差測定装置の構成を示す概略図である。

【図３】本発明の実施の形態２の光ピックアップ対物レ
ンズの収差測定装置の構成を示す概略側面図である。

【符号の説明】

１ 光ピックアップ １ａ 立ち上げミラー ２ 保持手段 ３ レーザー照射手段 ５ 画像検出手段 ５ａ 顕微鏡光学系 ５ｂ 画像入力装置 ５ｃ 顕微鏡対物レンズ ５ｄ 撮影用レンズ ６ ダミーディスク ６ａ 反射面 ７ フォーカス調整手段 ８ 位置検出手段 ８ａ 光分割素子 ８ｂ 位置検出素子 ８ｃ レンズ ９ 位置調整手段 １０ 光ピックアップ対物レンズ １１ フォーカス検出手段 １２ 光ピックアップ搭載テーブル １３ レーザー出射ユニット １３ レーザー照射ユニット １４ 立ち上げミラー １５ 光ピックアップ対物レンズ １６ ダミーディスク １６ａ 片面 １７ 顕微鏡対物レンズ １８ 撮影用レンズ １９ フレーム ２０ ＣＣＤカメラ ２１ ２次元ポジションセンサ ２２ 光ピックアップ搭載テープル ２３ ステージ駆動モータ ２４ ＸＹステージ ２５ フォーカス情報処理回路 ２６ ステージ駆動モータ ２７ Ｚステージ ２８ ベース部 ２９ ビームスプリッタ ３０ 顕微鏡光学系 ３１ 位置検出手段 ３２ 画像入力装置 ３３ 固定部材

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光ピックアップ対物レンズの収差測定装
   置において、 光ピックアップを保持する保持手段と、 前記光ピックアップにレーザー光を照射するレーザー照
   射手段と、 前記光ピックアップを透過した光を画像として検出す
   る、少なくとも顕微鏡光学系と画像入力装置を有する画
   像検出手段と、 前記顕微鏡光学系の前記光ピックアップに対向する側に
   固定され、前記光ピックアップを透過した光の透過及び
   反射を行う透過・反射光学素子と、 この透過・反射光学素子による反射光に基づいて、前記
   画像検出手段に対する光ピックアップ対物レンズのフォ
   ーカス状態を検出するフォーカス検出手段と、 前記フォーカス検出手段によるフォーカス状態の検出信
   号に応じて、前記光ピックアップ対物レンズと前記画像
   検出手段との距離を変化させ、光ピックアップ対物レン
   ズのフォーカスを合わせるフォーカス調整手段と、 を具備することを特徴とする光ピックアップ対物レンズ
   の収差測定装置。
2. 【請求項２】 光ピックアップ対物レンズの収差測定装
   置において、 光ピックアップを保持する保持手段と、 前記光ピックアップにレーザー光を照射するレーザー照
   射手段と、 前記光ピックアップを透過した光を画像として検出す
   る、少なくとも顕微鏡光学系と画像入力装置を有する画
   像検出手段と、 前記顕微鏡光学系の前記光ピックアップに対向する側に
   固定され、前記光ピックアップを透過した光の透過及び
   反射を行う透過・反射光学素子と、 この透過・反射光学素子による反射光に基づいて、前記
   画像検出手段に対する光ピックアップ対物レンズのフォ
   ーカス状態を検出するフォーカス検出手段と、 前記フォーカス検出手段によるフォーカス状態の検出信
   号に応じて、前記光ピックアップ対物レンズと前記画像
   検出手段との距離を変化させ、光ピックアップ対物レン
   ズのフォーカスを合わせるフォーカス調整手段と、 前記光ピックアップを透過した光と、前記画像検出手段
   との相対位置を検出する前記画像入力装置よりも広い視
   野を有する位置検出手段と、 前記位置検出手段の検出結果を基に、前記保持手段を画
   像検出手段に対して相対的に移動させる位置調整手段
   と、 を有することを特徴とする光ピックアップ対物レンズの
   収差測定装置。
3. 【請求項３】 前記透過・反射光学素子は、その光の反
   射面が前記顕微鏡光学系の顕微鏡対物レンズの焦点位置
   となるように顕微鏡光学系に取り付けられていることを
   特徴とする請求項１又は２記載の光ピックアップ対物レ
   ンズの収差測定装置。