JP6968221B2 - 半導体デバイスの側面の検査装置 - Google Patents
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Description
本願は2015年6月5日日付米国暫定特許出願第62/171,906号に基づく優先権を主張するものであるので、この参照を以て同出願の全容を本願に繰り入れることにする。
イメージングビーム経路を定めるカメラと、
第1ミラー、第2ミラー、第3ミラー及び第4ミラーを有し、長方形の態をなし自由空間を囲うようそれらミラーが配列されており、且つ第1ミラー及びその逆側の第3ミラーが固定実装、第2ミラー及びその逆側の第4ミラーが可動実装されているミラーブロックと、
それら側面の像をミラーブロックからカメラへと差し向ける傾斜ミラーと、
を備える。
固定的な第1ミラー及び固定的な第3ミラー並びに可動な第2ミラー及び可動な第4ミラーを有するミラーブロックによって縁取られた自由空間の中央に半導体デバイスをプレースするステップと、
その半導体デバイスの種類についての情報を制御ユニットに提供するステップと、
その半導体デバイスの個別側面と第2ミラー及び第4ミラーそれぞれとの間の第1距離が、同半導体デバイスの個別側面と固定的な第1ミラー及び固定的な第3ミラーそれぞれとの間の第2距離と等しくなるよう、第2ミラー及び第4ミラーを動かすステップと、
イメージングビーム経路に沿いカメラの焦点位置を調整することで焦点距離の変化を補償するステップと、
を有する方法により達成される。
プレース機構で以てミラーブロックの自由空間内に半導体デバイスをプレースし、
その半導体デバイスの種類を判別し、
その半導体デバイスの種類に従いミラーブロックの第2ミラー及び第4ミラーを動かすことで、同半導体デバイスの個別側面と第2ミラー及び第4ミラーとの間の第1距離を、同半導体デバイスの個別側面とそのミラーブロックの固定的な第1ミラー及び固定的な第3ミラーとの間の第2距離と等しくし、
イメージングビーム経路に沿いカメラの焦点位置を調整することでその半導体デバイスの少なくとも4側面の合焦像を取得する、
よう、その実行によりコンピュータを制御することが可能なコンピュータ可実行処理ステップ群を有する製品により達成される。
Claims (6)
- 半導体デバイスの少なくとも側面を検査する装置であって、
ハウジングと、
イメージングビーム経路を定めており、そのイメージングビーム経路に沿い上記ハウジング内で直線的に動かしうるカメラと、
上記ハウジングの第1端に配列され、第1ミラー、第2ミラー、第3ミラー及び第4ミラーを担持しているミラーブロックであり、長方形の態をなす自由空間を囲むようそれらミラーが配列されており、その自由空間が上記ハウジングの外部からアクセス可能であり、且つ第1ミラー及びその逆側の第3ミラーが固定実装、第2ミラー及びその逆側の第4ミラーが可動実装されているミラーブロックと、
上記ミラーブロック内にある半導体デバイスの少なくとも側面の像がカメラへと差し向けられるよう、上記カメラ及び上記ミラーブロックを基準にして上記ハウジング内に配列された傾斜ミラーと、
上記ハウジング内に配置され、上記カメラの焦点位置の調整用の第1モータと、
上記ハウジング内に配置され、上記半導体デバイスの側面と第1及び第3ミラーそれぞれとの間の第1距離が、上記半導体デバイスの側面と第2及び第4ミラーそれぞれとの間の第2距離と等しくなるよう、上記第2ミラー及び第4ミラーを位置決めする第2モータと、
上記ハウジング内に配置され、上記カメラ、上記ミラーブロック、及び上記傾斜ミラーを担持するフレーム構造と、
を備え、上記第1モータは上記カメラの第1の側に配置され、上記第2モータは上記第1の側と反対の第2の側に配置され、
全体形状が長尺状であって単一モジュールを構成し、前記ミラーブロックの自由空間内にサイズの異なる半導体デバイスを保持してプレースする複数本の保持アームを有するタレット式マシンの単一スロット内に実装される、
装置。 - 請求項1記載の装置であって、上記カメラがオートフォーカス機構付ズームレンズを有し、上記第1モータがそのカメラの一部分である装置。
- 請求項1記載の装置であって、上記第1モータによってリードスクリューが駆動され、駆動されるそのリードスクリューが上記カメラのスライドに連結されている装置。
- 請求項1記載の装置であって、上記第2モータによってリードスクリューが駆動され、カム機構の働きで第2ミラー及び第4ミラーが同時に動かされる装置。
- 請求項1記載の装置であって、上記ミラーブロックの第1ミラー、第2ミラー、第3ミラー及び第4ミラーにより定まる鏡面が40〜48°傾斜している装置。
- 請求項1記載の装置であって、上記ミラーブロックの第1ミラー、第2ミラー、第3ミラー及び第4ミラーにより縁取られた自由空間内に検査のため配置された半導体デバイスを照明すべく、照明デバイスが設けられている装置。
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