KR20190116587A - 노즐 관리기 - Google Patents

Abstract

<과제> 실용성이 높은 노즐 관리기를 제공한다.
<해결 수단> 전기 부품 장착기에 있어서 전기 부품을 보유하기 위해서 사용되는 흡착 노즐을 관리하기 위한 노즐 관리기(80)를, 복수의 흡착 노즐을 수용 가능한 노즐 수용 장치(100)와, 이 노즐 수용 장치에 수용되어 있는 혹은 지금부터 수용될 흡착 노즐에 대해 검사를 행하는 노즐 검사 장치(106)를 구비하고, 이 노즐 검사 장치가, (a) 흡착 노즐의 선단부의 상태에 관한 검사인 선단부 상태 검사와, (b) 흡착 노즐의 선단부가 부세력에 저항하여 후퇴 가능하게 되어 있는 경우에 있어서의 이 흡착 노즐의 선단부의 후퇴에 필요로 하는 힘에 관한 검사인 후퇴 필요력 검사의 양방을 행하도록 구성된다.

Description

노즐 관리기{NOZZLE MANAGING APPARATUS}

본 발명은 전기 부품 장착기에 있어서 전기 부품을 보유하기 위해서 사용되는 흡착 노즐을 관리하기 위한 노즐 관리기에 관한 것이다.

많은 전기 부품 장착기에서는 전기 부품을 회로 기판에 장착할 때에, 이 전기 부품은 흡착 노즐에 의해 보유된다. 그러한 전기 부품 장착기에 있어서 적절한 흡착 노즐을 이용하는 것은 전기 부품의 장착 정밀도를 높게 유지하기 위해서 중요한 것이다. 지금까지, 예를 들면, 흡착 노즐의 세정에 관해서는 하기 특허 문헌 1에 기재된 기술이 존재하고, 흡착 노즐의 검사에 관해서는 하기 특허 문헌 2, 특허 문헌 3에 기재된 기술이 존재하고 있다.

일본국 특허공개 2012－114237호 공보 일본국 특허공개 2012－004306호 공보 일본국 특허공개 2010－258185호 공보

상기와 같은 특허 문헌이 존재하는 사실로부터도 알 수가 있듯이, 적절한 흡착 노즐을 사용하기 위해서는 흡착 노즐을 적절하게 관리할 필요가 있다. 이 때문에 흡착 노즐의 적절한 관리를 행할 수 있는 노즐 관리기, 특히 실용성이 높은 노즐 관리기가 요망되고 있다. 본 발명은 이러한 실정을 감안하여 이루어진 것으로 실용성이 높은 노즐 관리기를 제공하는 것을 과제로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 노즐 관리기는, 전기 부품 장착기에 있어서 전기 부품을 보유하기 위해서 사용되는 흡착 노즐을 관리하기 위한 노즐 관리기로서, 복수의 흡착 노즐을 수용 가능한 노즐 수용 장치와, 이 노즐 수용 장치에 수용되어 있는 혹은 지금부터 수용될 흡착 노즐에 대해 검사를 행하는 노즐 검사 장치와, 이 노즐 검사 장치에 의한 검사 결과에 기초하여 불량이라고 판단된 흡착 노즐인 불량 노즐을 유치하는 불량 노즐 유치기를 구비하고, 상기 노즐 검사 장치가, (a) 흡착 노즐의 선단부의 상태에 관한 검사인 선단부 상태 검사 후에, (b) 흡착 노즐의 선단부가 부세력에 저항하여 후퇴 가능하게 되어 있는 경우에 있어서의 이 흡착 노즐의 선단부의 후퇴에 필요로 하는 힘에 관한 검사인 후퇴 필요력 검사를 행하도록 구성되고, 상기 불량 노즐 유치기가, 하나의 검사 항목에 대해 불량이라고 판단된 복수의 불량 노즐을 유치하기 위한 유치부를 검사 항목에 대응하여 복수 가지도록 구성된다.

또, 본 발명의 또 하나의 노즐 관리기는, 전기 부품 장착기에 있어서 전기 부품을 보유하기 위해서 사용되는 흡착 노즐을 관리하기 위한 노즐 관리기로서, 복수의 흡착 노즐을 수용 가능한 노즐 수용 장치와, 이 노즐 수용 장치에 수용되어 있는 혹은 지금부터 수용될 흡착 노즐에 대해 검사를 행하는 노즐 검사 장치를 구비하고, 이 노즐 검사 장치가, (a) 흡착 노즐의 선단부의 상태에 관한 선단부 상태 검사를 선단부 상태 검사 위치에서 바로 밑으로부터 행하는 선단부 상태 검사 장치와, (b) 흡착 노즐의 선단부가 부세력에 저항하여 후퇴 가능하게 되어 있는 경우에 있어서의 이 흡착 노즐의 선단부의 후퇴에 필요로 하는 힘에 관한 후퇴 필요력 검사를 후퇴 필요력 검사 위치에서 바로 밑으로부터 행하는 후퇴 필요력 검사 장치와, (c) 흡착 노즐을, 상기 선단부 상태 검사 위치와 상기 후퇴 필요력 검사 위치로 이동 가능한 이동 장치를 구비하고, 상기 선단부 상태 검사와 상기 후퇴 필요력 검사의 양방을 행하도록 구성된다.

〔발명의 태양〕

이하에, 본원에 있어서 특허 청구가 가능하다고 인식되어 있는 발명(이하, 「청구 가능 발명」이라고 하는 경우가 있음)의 태양을 몇 개인가 예시하고 이들에 대해 설명한다. 각 태양은 청구의 범위와 마찬가지로 항으로 구분하고, 각 항에 번호를 붙이고 필요에 따라서 다른 항의 번호를 인용하는 형식으로 기재한다. 이것은 어디까지나 청구 가능 발명의 이해를 용이하게 하기 위한 것으로, 이들 발명을 구성하는 구성 요소의 조합을 이하의 각 항에 기재된 것에 한정하는 취지는 아니다. 즉, 청구 가능 발명은 이하의 각 항에 부수하는 기재, 실시 형태의 기재 등을 참작하여 해석되어야 하고, 이 해석에 따르는 한에 있어서 각 항의 태양에 다른 구성 요소를 더 부가한 태양도, 또 각 항의 태양으로부터 무엇인가의 구성 요소를 삭제한 태양도 청구 가능 발명의 한 태양이 될 수 있는 것이다. 그리고, 청구 가능 발명의 몇개의 태양이 청구항에 관련된 발명으로 될 수 있다.

≪기본적 구성≫

(1) 전기 부품 장착기에 있어서 전기 부품을 보유하기 위해서 사용되는 흡착 노즐을 관리하기 위한 노즐 관리기로서,

복수의 흡착 노즐을 수용 가능한 노즐 수용 장치를 구비한 노즐 관리기.

본 태양은 노즐 관리기(이하, 단지 「관리기」라고 하는 경우가 있음)의 기본적 구성에 관한 태양이다. 상기 노즐 수용 장치(이하, 단지 「수용 장치」라고 하는 경우가 있음) 자체에 궁리를 집중시키는 것, 수용 장치에 수용된 흡착 노즐(이하, 단지 「노즐」이라고 하는 경우가 있음)에 여러 가지의 처치를 행하는 수단을 설치하는 것 등에 의해 실용성이 높은 노즐 관리기가 실현된다.

≪노즐 수용 장치의 구조≫

이하의 몇 개의 태양은 노즐 수용 장치의 구조에 관한 태양이다. 덧붙여서 말하면, 이들 몇 개의 태양은 관리기를 카테고리로 하는 태양이 아니라, 단지 수용 장치를 카테고리로 하는 태양으로 변경했다고 해도, 즉 관리기의 다른 구성 요소로부터 독립한 수용 장치의 태양으로 되어도, 이 태양은 청구 가능 발명의 태양으로 될 수 있다.

(11) 상기 노즐 수용 장치가, 각각에 복수의 흡착 노즐이 재치 가능한 복수의 팔레트를 구비한 (1)항에 기재의 노즐 관리기.

본 태양에 있어서의 「팔레트(palette)」는 노즐 재치기 혹은 수용기(컨테이너(container))라고 부를 수 있는 것으로, 본 태양에서는 팔레트 단위로 복수의 노즐이 수용된다. 수용 장치로부터의 출납, 노즐에 대한 처치도 팔레트 단위로 행함으로써 편리성이 풍부한 관리기가 실현된다.

(12) 상기 복수의 팔레트의 각각이, 각각에 하나의 흡착 노즐이 재치되는 복수의 재치부를 가지는 (11)항에 기재의 노즐 관리기.

팔레트에 상기 재치부를 설치함으로써, 팔레트 내에 노즐을 제대로 보유하는 것이 가능하게 된다. 반대로 말하면, 상기 재치부는 노즐의 어긋남 움직임을 방지 가능한 구조로 하는 것이 바람직하다.

(13) 상기 복수의 팔레트의 하나 이상의 것이, 복수종의 흡착 노즐을 재치 가능하게 구성된 (11)항 또는 (12)항에 기재의 노즐 관리기.

하나의 팔레트에 한 종류의 노즐밖에 재치할 수 없다고 하면, 노즐의 종류에 따라 팔레트의 종류도 풍부화하지 않으면 안 되고, 이 풍부화에는 어느 의미에서의 번거로움이 수반된다. 복수종의 노즐을 재치 가능한 팔레트로 하면 팔레트의 종류를 줄이는 것이 가능하고, 이 번거로움을 회피 혹은 경감할 수 있게 된다. 즉, 본 태양에서는 팔레트의 범용화가 실현되어 있는 것이다. 또, 수용 장치 전체로 생각하면, 한 종류의 노즐밖에 재치할 수 없는 팔레트를 복수 종류 준비한 경우, 전체의 팔레트 수에는 제한이 있기 때문에, 노즐의 종류마다의 팔레트 수를 적게 하지 않을 수 없게 된다. 이에 반해 복수종의 노즐을 재치 가능한 팔레트를 채용함으로써, 노즐의 종류에 너무 좌우되는 일 없이 수용 장치를 간편하게 운용하는 것이 가능하게 된다. 또한, 상기 번거로움의 회피, 수용 장치의 간편한 운용이라고 하는 관점으로부터 하면, 당해 관리기가 대상으로 하는 모든 종류의 노즐이 재치 가능한 팔레트를 채용하는 것이 바람직하다.

일반적으로, 노즐은, 후에 설명하는 플랜지를 가지고 있고, 상방으로부터 보았을 경우, 둥근 형상을 하고 있다. 이 둥근 형상의 노즐을 팔레트에 늘어놓아 배치한 경우, 비교적 외경이 큰 노즐에서는 배치 효율이 나쁜 것으로 된다. 즉, 팔레트의 면적과 비교하여 노즐, 자세하게는 그것의 플랜지가 차지하는 면적이 비교적 작아지는 것이다. 이를 감안하여 보면, 비교적 외경이 큰 노즐과 비교적 외경이 작은 노즐을 혼재시켜 배치함으로써, 즉 이들을 어긋나게 배치함으로써, 재치할 수 있는 노즐의 수를 많게 하는 것이 가능하게 된다. 극단적으로 말하면, 큰 외경의 노즐의 간극에 작은 외경의 노즐을 배치함으로써 배치 효율을 크게 향상하는 것이다. 이 관점으로부터 하면, 본 태양에서는 서로 크기가 다른 복수종의 노즐, 특히 플랜지의 외경이 다른 복수종의 노즐을 재치 가능하게 구성하는 것이 바람직하다.

(14) 상기 복수의 팔레트의 각각이, 각각에 하나의 흡착 노즐이 재치되는 복수의 재치부를 가지고, 상기 복수의 팔레트 중의 상기 하나 이상의 것이 가지는 상기 복수의 재치부의 적어도 일부가, 서로 다른 복수종의 흡착 노즐을 재치 가능하게 구성된 (13)항에 기재의 노즐 관리기.

본 태양에 있어서의 팔레트에서는, 간단하게 말하면, 하나의 재치부에 있어서 복수종의 노즐이 재치 가능하게 되어 있다. 한 종류의 노즐밖에 재치할 수 없는 재치부로 하면, 하나의 팔레트에 복수종의 노즐을 재치하는 경우, 이 팔레트에는 많은 종류의 재치부를 설치하지 않으면 안 된다. 이 경우, 많은 재치부에 노즐이 재치되지 않는 사태도 일어날 수 있다. 즉, 비어 있는 재치부가 많이 존재할 가능성이 높아지는 것이다. 본 태양과 같이 복수종의 노즐로 공용되는 재치부를 설치하면, 팔레트를 범용화하면서 이 팔레트에 효율적으로 노즐을 재치하는 것이 가능하게 된다. 또한, 크기(size)에 있어서 서로 다른 복수종의 노즐도 하나의 재치부에 재치 가능하게 구성하면, 보다 효율적으로 노즐을 팔레트에 재치하는 것이 가능하게 된다.

(15) 흡착 노즐이, 플랜지를 가짐과 아울러, 상기 복수의 재치부의 각각이, 흡착 노즐의 직경 방향의 변위를 플랜지의 외주에 있어서 규제하도록 구성되어 있고,

상기 복수의 재치부의 상기 적어도 일부가, 서로 플랜지의 외경에 있어서 다른 복수종의 흡착 노즐을 재치 가능하게 구성된 (14)항에 기재의 노즐 관리기.

본 태양은 간단하게 말하면, 서로 크기가 다른 복수종의 노즐이 하나의 재치부에 재치 가능하게 된 태양이다. 일반적으로, 상기 플랜지는 노즐에 있어서 가장 외경이 큰 부분이며, 플랜지의 외주에 있어서 노즐의 직경 방향의 변위, 즉 노즐의 어긋남을 규제하면 효과적인 규제가 가능하게 된다.

(16) 상기 복수의 재치부의 상기 적어도 일부의 각각이, 흡착 노즐의 플랜지가 꼭 끼이고 내주벽에 있어서 이 플랜지의 외주를 규제하는 구멍을 가지고 있고, 이 구멍의 내주벽이 깊이 방향에 있어서 안쪽 치수가 다르고, 서로 플랜지의 외경에 있어서 다른 복수종의 흡착 노즐의 플랜지가, 서로 다른 깊이의 위치에서 상기 구멍에 꼭 끼이도록 구성된 (15)항에 기재의 노즐 관리기.

본 태양은 플랜지의 외경이 다른 복수종의 노즐을 플랜지의 외주를 규제하면서 재치 가능한 재치부의 구조에 관한 태양이다. 구체적으로는 재치부의 상기 구멍을, 예를 들면, 내주벽의 안쪽 치수가 서로 다른 복수의 계단을 가지는 계단식 구멍으로 해도 좋고, 또 축선 방향에 있어서 내주벽의 안쪽 치수가 점차적으로 감소하는 테이퍼 구멍으로 해도 좋다. 그러한 구조의 재치부로 하면, 서로 크기가 다른 복수종의 노즐의 각각을, 이 각각의 직경 방향의 변위를 제대로 규제하면서, 팔레트에 재치하는 것이 가능하게 된다.

(17) 상기 노즐 수용 장치가, 상기 복수의 팔레트를 당해 노즐 수용 장치 내에 있어서 이동시키는 팔레트 이동 장치를 구비한 (11)항 내지 (16)항의 어느 하나에 기재의 노즐 관리기.

본 태양에 의하면, 수용 장치 내에서 팔레트가 이동 가능하게 되어 있기 때문에, 특정의 위치에 있어서의 수용 장치로부터의 팔레트의 반출, 수용 장치로의 반입을 행하게 하는 것이 가능하게 된다. 본 태양에 있어서의 팔레트 이동 장치는, 복수의 팔레트의 각각을 단독으로 이동시키도록 구성되어 있어도 좋고, 또 복수의 팔레트를 동시에 즉 함께 이동시키도록 구성되어 있어도 좋다.

(18) 상기 팔레트 이동 장치가, 상기 복수의 팔레트를 동시에 순환 이동시키는 팔레트 순환 장치인 (17)항에 기재의 노즐 관리기.

본 태양에 있어서의 팔레트 이동 장치에서는, 이 장치의 구조를 비교적 간편한 구조로 하면서, 이 구조에 의거하여 복수의 팔레트를 함께 동일한 경로를 따라 이동시키는 것이 가능하다.

(19) 상기 복수의 팔레트의 각각이, 흡착 노즐이 재치되는 면이 상방을 향하는 자세로 배치되어 있고,

상기 팔레트 순환 장치가, 상기 복수의 팔레트를 이들 각각이 이 자세를 유지한 채로 연직한 일평면을 따라 순환시키도록 구성된 (18)항에 기재의 노즐 관리기.

본 태양에 있어서의 팔레트 이동 장치는, 비교적 작은 공간에 있어서, 복수의 팔레트를 순환시킬 수가 있기 때문에, 본 태양에 의하면, 비교적 콤팩트(compact)한 수용 장치를 실현하는 것이 가능하게 된다. 본 태양에 있어서의 팔레트 순환 장치는, 예를 들면, 타워식(tower type)의 입체 주차장과 동일한 구조의 장치라고 생각할 수도 있다.

≪대(對) 노즐 처치 실행 장치, 노즐 이송 장치≫

이하의 몇 개의 태양은 대 노즐 처치 실행 장치 및 노즐 이송 장치에 관한 태양이다.

(21) 당해 노즐 관리기가,

상기 노즐 수용 장치에 수용되어 있는 혹은 지금부터 수용될 흡착 노즐에 대해 어떠한 처치를 실행하는 대 노즐 처치 실행 장치를 구비한 (1)항 내지 (19)항의 어느 하나에 기재의 노즐 관리기.

본 태양에 있어서의 「대 노즐 처치 실행 장치」는 노즐에 대해 어떠한 처치를 실행하는 장치이며, 구체적으로는 예를 들면, 후에 설명하는 노즐 이재(移載) 장치, 노즐 검사 장치, 노즐 세정 장치 등이 포함된다. 대 노즐 처치 실행 장치(이하, 단지 「처치 실행 장치」라고 하는 경우가 있음)를 구비함으로써, 노즐 관리기에 노즐의 수용이라고 하는 기능 이외에, 구비되는 처치 실행 장치에 따른 여러 가지의 기능을 갖게 하는 것이 가능하다.

(22) 당해 노즐 관리기가,

하나 이상의 흡착 노즐을 상기 노즐 수용 장치로부터 상기 대 노즐 처치 실행 장치로 이송하는 노즐 이송 장치를 구비한 (21)항에 기재의 노즐 관리기.

본 태양에 있어서의 「노즐 이송 장치」는 수용 장치로부터의 하나 이상의 노즐(이하, 「노즐 그룹」이라고 부르는 경우도 있음)의 반출 및 처치 실행 장치로의 노즐 그룹의 반입을 행하는 기능을 가지는 장치라고 생각할 수가 있다. 이 노즐 이송 장치(이하, 단지 「이송 장치」라고 하는 경우가 있음)에 의해 수용 장치와 처치 실행 장치의 제휴가 가능하게 된다.

(23) 상기 노즐 이송 장치가, 하나 이상의 흡착 노즐을 상기 대 노즐 처치 실행 장치로부터 상기 노즐 수용 장치로 이송하도록 구성된 (22)항에 기재의 노즐 관리기.

본 태양에 있어서의 이송 장치는, 상술의 수용 장치로부터의 노즐 그룹의 반출 및 처치 실행 장치로의 노즐 그룹의 반입에 더하여, 처리 실행 장치로부터의 노즐 그룹의 반출 및 수용 장치로의 노즐 그룹의 반입을 행하는 기능도 가지고 있다. 즉, 본 태양에 있어서의 이송 장치는, 노즐 그룹을 반송하는 기능을 가지고 있다고 생각할 수도 있는 것이다.

(24) 상기 노즐 수용 장치가, 각각에 복수의 흡착 노즐이 재치 가능한 복수의 팔레트를 구비하고 있고,

상기 노즐 이송 장치가,

상기 복수의 팔레트 중의 하나를 상기 노즐 수용 장치로부터 상기 대 노즐 처치 실행 장치로 이송함으로써 복수의 흡착 노즐을 이송하는 팔레트 이송 장치인 (22)항 또는 (23)항에 기재의 노즐 관리기.

(25) 상기 팔레트 이송 장치가, 상기 복수의 팔레트 중의 하나를 상기 대 노즐 처치 실행 장치로부터 상기 노즐 수용 장치로 이송하도록 구성된 (24)항에 기재의 노즐 관리기.

상기 2개의 태양은 수용 장치 내에 있어서 노즐이 팔레트에 재치되어 수용되어 있는 경우에 유효한 태양이며, 이송 장치가, 이 팔레트마다 복수의 노즐로 이루어지는 노즐 그룹을 이송하도록 구성된 태양이다. 이들 2개의 태양에 의하면, 수용 장치와 처치 실행 장치 사이의 노즐 그룹의 운반을 비교적 용이하게 행하는 것이 가능하게 된다. 또한, 상기 2개의 태양에 있어서의 팔레트 이송 장치(이하, 단지 「이송 장치」라고 하는 경우가 있음)는, 수용 장치 내의 어느 위치에 위치하는지에 관계없이 임의의 팔레트를 이송하도록 구성되어 있어도 좋고, 또 후에 설명하듯이 특정의 위치에 위치하는 팔레트만을 이송하도록 구성되어 있어도 좋다. 전자의 구성은 수용 장치가 팔레트 이동 장치를 가지지 않은 경우에 있어서 유효하다.

(26) 상기 노즐 수용 장치가, 상기 복수의 팔레트의 각각을 당해 노즐 수용 장치 내에 있어서 이동시키는 팔레트 이동 장치를 구비하고 있고,

상기 팔레트 이송 장치가, 상기 팔레트 이동 장치에 의해 설정 위치로 이동시켜진 상기 복수의 팔레트 중의 하나를 상기 대 노즐 처치 실행 장치로 이송하도록 구성된 (24)항 또는 (25)항에 기재의 노즐 관리기.

(27) 상기 팔레트 이송 장치가, 상기 복수의 팔레트 중의 하나를 상기 대 노즐 처치 실행 장치로부터 상기 설정 위치로 이송하도록 구성된 (26)항에 기재의 노즐 관리기.

상기 2개의 태양에서는 이송 장치는, 수용 장치가 가지는 복수의 팔레트 중의 특정의 위치에 위치하는 하나의 팔레트를 이송하는 기능을 가지고, 후자의 태양에서는 이송 장치는, 또한 이 특정의 위치에 팔레트를 반송하는 기능을 가지고 있다. 바꾸어 말하면, 상기 2개의 태양에서는 수용 장치 내에 있어서 팔레트가 팔레트 이동 장치에 의해 특정의 스테이션으로 이동시켜진 경우에, 이 스테이션과 처치 실행 장치 사이에서 팔레트의 이송을 한다. 상기 2개의 태양에 의하면, 수용 장치 내의 특정의 위치와 처치 실행 장치 사이에서 팔레트를 이송하면 되기 때문에 이송 장치의 구조를 간편화하는 것이 가능하게 된다.

≪복수의 대 노즐 처치 실행 장치≫

이하의 몇 개의 태양은 상술의 처치 실행 장치를 복수 구비한 경우의 태양이다.

(31) 당해 노즐 관리기가,

각각이 상기 대 노즐 처치 실행 장치로서 기능하는 복수의 대 노즐 처치 실행 장치를 구비한 (21)항 내지 (27)항의 어느 하나에 기재의 노즐 관리기.

본 태양에는, 복수의 처치 실행 장치로서 동일한 처치를 실행하는 장치를 복수 구비하는 태양도 포함되고, 서로 다른 처치를 실행하는 장치를 복수 구비하는 태양도 포함된다. 전자의 태양에 의하면, 이 처치의 실행 능력이 큰 관리기를 실현할 수가 있고, 또 후자의 태양에 의하면, 다기능의 관리기를 실현할 수가 있다.

(32) 당해 노즐 관리기가, 상기 복수의 대 노즐 처치 실행 장치의 각각의 동작이, 다른 것의 동작에 대해 독립하여 행해지게 되도록 구성된 (31)항에 기재의 노즐 관리기.

관리기가, 서로 다른 처치를 실행하는 복수의 처치 실행 장치를 구비하는 경우, 예를 들면, 이들 복수의 처치 실행 장치를 노즐이 순차 건너서, 이들 복수의 처치 실행 장치의 각각에 의한 처치가 이 노즐에 대해 실행되도록 구성하는 것도 가능하다. 본 태양은 그러한 구성과는 다르고, 예를 들면, 복수의 처치 실행 장치가 각각, 다른 노즐에 대해 병행하여 처치를 실행 가능하게 구성된 태양이라고 생각할 수가 있다. 본 태양에 의하면, 복수의 처치를 실행하는 것이 가능한 관리기라도, 한 개의 노즐에 대해 비교적 짧은 시간에 이들 복수의 처치를 실행하는 것이 가능하다.

(33) 당해 노즐 관리기가,

상기 복수의 대 노즐 처치 실행 장치에 대응하여 설치되고, 각각이 하나 이상의 흡착 노즐을 상기 노즐 수용 장치로부터 상기 복수의 대 노즐 처치 실행 장치 중의 대응하는 것으로 이송하는 노즐 이송 장치로서 기능하는 복수의 노즐 이송 장치를 구비한 (31)항 또는 (32)항에 기재의 노즐 관리기.

본 태양은 간단하게 말하면, 처치 실행 장치마다 이송 장치를 구비한 태양이라고 생각할 수가 있다. 먼저 설명한 복수의 처치 실행 장치가 서로 독립하여 동작 가능한 태양에 있어서 특히 유효하다.

(34) 상기 노즐 수용 장치가, 각각에 복수의 흡착 노즐이 재치 가능한 복수의 팔레트와, 이들 복수의 팔레트를 당해 노즐 수용 장치 내에 있어서 이동시키는 팔레트 이동 장치를 구비하고 있고,

상기 복수의 노즐 이송 장치의 각각이,

상기 복수의 팔레트 중의 하나를 상기 노즐 수용 장치로부터 상기 대 노즐 처치 실행 장치로 이송함으로써 복수의 흡착 노즐을 이송하는 팔레트 이송 장치이고,

당해 노즐 관리기가,

상기 복수의 팔레트 이송 장치의 각각이, 이 각각에 대응하여 설정된 설정 위치에 상기 팔레트 이동 장치에 의해 이동시켜진 상기 복수의 팔레트 중의 하나를 상기 복수의 대 노즐 처치 실행 장치 중의 대응하는 것으로 이송하도록 구성된 (33)항에 기재의 노즐 관리기.

본 태양은 앞의 태양에 있어서 노즐을 팔레트마다 이송하도록 구성된 태양이다. 자세하게 말하면, 본 태양에서는 수용 장치 내에 복수의 스테이션이 설치되고, 특정의 스테이션에 위치하는 팔레트가 특정의 처치 실행 장치로 이송된다고 생각할 수가 있다.

≪노즐 이재 장치≫

전기 부품 장착기에서는 회로 기판에 몇 개의 전기 부품을 장착할 때, 전기 부품의 크기 등에 따라 사용하는 노즐을 교환하는 것이 있어, 많은 전기 부품 장착기에서는 교환 가능한 몇 개의 노즐이, 노즐 트레이(이하, 단지 「트레이」라고 하는 경우가 있음)에 재치된 상태로 당해 전기 부품 장착기에 설치된 노즐 스테이션에 배치된다. 이하의 몇 개의 태양은 이 트레이, 자세하게는 이 트레이로의 노즐의 이재, 이 트레이로부터의 노즐의 이재를 행하는 대 노즐 처치 실행 장치에 관련한 태양이다.

(41) 상기 전기 부품 장착기가, 이 전기 부품 장착기에 있어서 사용되는 하나 이상의 흡착 노즐이 이 전기 부품 장착기에 착탈 가능하게 배치된 노즐 트레이에 재치되도록 구성되어 있고,

당해 노즐 관리기가, 상기 대 노즐 처치 실행 장치로서,

상기 노즐 수용 장치에 수용되어 있는 흡착 노즐을, 설정 위치에 위치하는 노즐 트레이에 이재하는 세팅(setting) 이재와, 설정 위치에 위치하는 노즐 트레이에 재치되어 있는 흡착 노즐을 상기 노즐 수용 장치에 수용하기 위해서, 이 노즐 트레이로부터 이재하는 수용 이재의 적어도 일방을 실행하는 노즐 이재 장치를 구비한 (21)항 내지 (34)항의 어느 하나에 기재의 노즐 관리기.

상기 「세팅 이재」는 예를 들면, 전기 부품 장착기에 있어서 지금부터 사용될 노즐을 트레이에 세팅하기 위한 이재이고, 세팅 이재에 의해 수용 장치에 수용되어 있는 복수의 노즐 중의 몇 개의 것이 노즐 트레이에 배치된다. 한편, 상기 「수용 이재」는 예를 들면, 전기 부품 장착기에 있어서 사용되고 있던 노즐을 수용 장치에 수용하기 위한 이재이며, 수용 이재에 의해 트레이에 재치되어 있는 복수의 노즐 중의 적어도 일부가 트레이로부터 제거된다. 본 태양에 의하면, 전기 부품 장착기에 있어서의 노즐의 준비, 정리 등을 효과적으로 지원 가능한 관리기가 실현된다.

덧붙여서 말하면, 본 태양과 관련되는 세팅 이재는, 노즐 이재 장치(이하, 단지 「이재 장치」라고 하는 경우가 있음)가, 수용 장치에 수용되어 있는 노즐을 수용 장치로부터 직접적으로 트레이에 이재하는 것만을 의미하는 것은 아니고, 예를 들면, 후에 설명하는 이송 장치에 의해 수용 장치로부터 반출된 노즐을 트레이에 이재하는 것을 포함하는 개념이다. 마찬가지로 본 태양과 관련되는 수용 이재는, 트레이에 재치되어 있던 노즐을 수용 장치에 직접적으로 수용하는 것만을 의미하는 것은 아니고, 이송 장치에 의해 수용 장치에 수용하기 위하여, 이재 장치가 트레이로부터 이재하는 것도 포함하는 개념이다.

(42) 상기 노즐 이재 장치가, 상기 세팅 이재와 상기 수용 이재의 양방을 실행하도록 구성된 (41)항에 기재의 노즐 관리기.

본 태양에 의하면, 상기 세팅 이재와 상기 수용 이재의 양방이 가능하게 되어 있기 때문에, 보다 실용성이 높은 관리기가 실현된다.

(43) 당해 노즐 관리기가, 하나 이상의 흡착 노즐을 상기 노즐 수용 장치로부터 상기 대 노즐 처치 실행 장치로 이송하는 노즐 이송 장치를 구비하고 있고,

상기 노즐 이재 장치가,

상기 세팅 이재 시에는 상기 노즐 이송 장치에 의해 이송된 흡착 노즐에 대한 이재를 실행하도록 구성된 (41)항 또는 (42)항에 기재의 노즐 관리기.

(44) 상기 노즐 수용 장치가, 각각에 복수의 흡착 노즐이 재치 가능한 복수의 팔레트를 구비하고 있고, 또한 상기 노즐 이송 장치가, 상기 복수의 팔레트 중의 하나를 상기 노즐 수용 장치로부터 상기 대 노즐 처치 실행 장치로 이송함으로써 복수의 흡착 노즐을 이송하도록 구성된 팔레트 이송 장치이고,

상기 노즐 이재 장치가,

상기 세팅 이재 시에는 상기 팔레트 이송 장치에 의해 당해 노즐 이재 장치에 의한 이재가 가능한 위치까지 이송된 상기 복수의 팔레트 중의 하나에 재치되어 있는 흡착 노즐에 대한 이재를 실행하도록 구성된 (43)항에 기재의 노즐 관리기.

(45) 당해 노즐 관리기가, 하나 이상의 흡착 노즐을 상기 대 노즐 처치 실행 장치로부터 상기 노즐 수용 장치로 이송하는 노즐 이송 장치를 구비하고 있고,

상기 노즐 이재 장치가,

상기 수용 이재 시에는 상기 노즐 이송 장치를 통해 상기 노즐 수용 장치에 수용하기 위한 이재를 실행하도록 구성된 (41)항 내지 (44)항의 어느 하나에 기재의 노즐 관리기.

(46) 상기 노즐 수용 장치가, 각각에 복수의 흡착 노즐이 재치 가능한 복수의 팔레트를 구비하고 있고, 또한 상기 노즐 이송 장치가, 상기 복수의 팔레트 중의 하나를 상기 대 노즐 처치 실행 장치로부터 상기 노즐 수용 장치로 이송함으로써 복수의 흡착 노즐을 이송하도록 구성된 팔레트 이송 장치이고,

상기 노즐 이재 장치가,

상기 수용 이재 시에는 상기 팔레트 이송 장치에 의해 상기 노즐 수용 장치로부터 당해 노즐 이재 장치에 의한 이재가 가능한 위치에까지 이송된 상기 복수의 팔레트 중의 하나로의 이재를 실행하도록 구성된 (45)항에 기재의 노즐 관리기.

상기 4개의 태양은 상술의 이송 장치와 관련된 태양이며, 이들 4개의 태양에서는 이송 장치에 의해 수용 장치로부터 이송된 노즐의 트레이로의 이재와, 트레이로부터 이재된 노즐의 노즐 이송 장치에 의한 수용 장치로의 수용의 적어도 일방이 행해진다. 또한, 4개의 태양 중의 2개에서는, 이송 장치가 팔레트를 이송함으로써 노즐을 이송하는 팔레트 이송 장치로 되어 있고, 트레이와 팔레트 사이에서 이재를 한다.

(47) 흡착 노즐에는, 당해 흡착 노즐의 고유 정보를 인식하기 위한 식별자가 첨부되어 있고,

상기 노즐 이재 장치가, 이 식별자를 독취(讀取)하기 위한 식별자 독취기를 가지는 (41)항 내지 (46)항의 어느 하나에 기재의 노즐 관리기.

본 태양에 있어서의 「고유 정보」에는, 예를 들면, 전형적인 것으로서 ID가 포함되고, 이 외에 품질에 관한 양부 정보, 능력의 높음에 관한 정보 등이 널리 포함된다. 수용 장치에 수용되어 있는 복수의 노즐의 수용 위치의 파악, 즉 어느 위치에 어느 노즐이 수용되어 있는지의 파악에 있어서, ID는 극히 유용한 정보이다. 이 ID를 시작으로 하는 본 태양에 의하면, 고유 정보를 독취 가능하게 되어 있기 때문에, 이 고유 정보를 이용하여 수용되어 있는 노즐의 충분한 관리가 가능하게 된다. 이 의미에 있어서 식별자의 독취는 상술한 수용 이재 시에 행해지는 것이 바람직하다. 덧붙여서 말하면 「식별자」는 바코드, 2D 코드(QR 코드(등록상표) 등의 이차원 코드) 등을 채용할 수가 있고, 「식별자 독취기」는 바코드 리더, 카메라 등의 촬상 장치 등을 채용하는 것이 가능하다.

(48) 상기 노즐 이재 장치가, 흡착 노즐을 보유하는 노즐 보유 도구와, 이 노즐 보유 도구를 이동시키는 보유 도구 이동 장치를 가지는 (41)항 내지 (47)항의 어느 하나에 기재의 노즐 관리기.

본 태양은 노즐 이재 장치의 구체적인 구조에 관한 태양이다. 상기 「노즐 보유 도구」는 척(chuck), 클램프(clamp) 등의 이탈 가능하게 노즐을 보유하는 것을 채용할 수가 있다. 또, 「보유 도구 이동 장치」는 이른바 XYZ형 로봇을 비롯해서 다관절형 로봇 등 널리 여러 가지의 이동 장치를 채용 가능하다.

(49) 흡착 노즐에는, 당해 흡착 노즐의 고유 정보를 인식하기 위한 식별자가 첨부되어 있고,

상기 노즐 이재 장치가, 이 식별자를 독취하기 위한 식별자 독취기를 가지고, 이 식별자 독취기가 상기 노즐 보유 도구와 함께 상기 보유 도구 이동 장치에 의해 이동시켜지도록 구성된 (48)항에 기재의 노즐 관리기.

본 태양에 의하면, 노즐의 이재 시에, 이 노즐에 첨부된 식별자를 용이하게 독취하는 것이 가능하고, 편리성이 뛰어난 관리기가 실현되게 된다.

≪트레이 수용 장치≫

이하의 몇 개의 태양은 상술한 노즐 트레이의 수용에 관한 태양이다.

(51) 당해 노즐 관리기가,

각각이 상기 노즐 트레이인 복수의 노즐 트레이를 수용 가능한 트레이 수용 장치와, 상기 설정 위치와 상기 트레이 수용 장치 사이를, 하나의 노즐 트레이를 이송하는 트레이 이송 장치를 구비한 (41)항 내지 (49)항의 어느 하나에 기재의 노즐 관리기.

본 태양의 관리기는, 상기 트레이 수용 장치와 트레이 이송 장치를 구비함으로써, 트레이도 관리 가능한 관리기가 될 수 있다. 예를 들면, 상술의 재치 장치에 의한 노즐의 재치와 관련하여, 트레이 이송 장치에 의해 트레이를 트레이 수용 장치로 반입, 트레이 수용 장치로부터 반출함으로써, 편리성이 뛰어난 관리기가 실현되게 된다. 자세하게 말하면, 상술의 수용 이재 후, 재치되어 있던 노즐이 제거된 트레이를 트레이 수용 장치에 수용하거나 트레이 수용 장치에 수용되어 있던 트레이에 세팅 이재를 행하거나 하는 것이 가능하게 되는 것이다. 또, 예를 들면, 노즐이 재치되어 있는 트레이에 불편함이 발견된 경우에, 상기 수용 이재 및 상기 세팅 이재를 병용하여, 이 트레이를 불편함이 없는 트레이로 교환한다고 한 것도 가능하다.

(52) 상기 트레이 수용 장치가, 하나 이상의 흡착 노즐이 재치된 노즐 트레이를 수용 가능하게 구성된 (51)항에 기재의 노즐 관리기.

본 태양에 의하면, 미리 노즐이 세팅된 트레이를 트레이 수용 장치에 수용해 둘 수가 있기 때문에, 전기 부품 장착기에 있어서 필요하게 되었을 때, 신속하게 노즐이 세팅된 트레이를 전기 부품 장착기에 공급할 수 있다.

≪노즐 검사 장치≫

이하의 몇 개의 태양은 노즐의 검사를 행하는 대 노즐 처치 실행 장치와 관련된 태양이다. 또한, 이하의 몇 개의 태양은 관리기를 카테고리로 하는 태양이 아니라, 단지 검사 장치를 카테고리로 하는 태양으로 변경했다고 해도, 즉 관리기의 다른 구성 요소로부터 독립한 검사 장치의 태양이라도 청구 가능 발명의 태양으로 될 수 있다.

(61) 당해 노즐 관리기가, 상기 대 노즐 처치 실행 장치로서, 흡착 노즐의 검사를 행하는 노즐 검사 장치를 구비한 (21)항 내지 (52)항의 어느 하나에 기재의 노즐 관리기.

본 태양에 의하면, 예를 들면, 수용 장치에 수용된 혹은 수용되는 노즐에 대해 검사를 행할 수가 있기 때문에, 편리한 관리기가 실현되게 된다. 본 태양에서는 노즐 검사 장치(이하, 단지 「검사 장치」라고 하는 경우가 있음)가 행하는 검사의 항목에 대해서는 특히 한정되지 않지만, 후에 열거하는 각종 검사 항목의 검사를 시작해 여러 가지의 검사 항목의 검사를 검사 장치에 실시하게 하는 것이 가능하다.

(62) 상기 노즐 검사 장치가,

각각이 검사 항목에 있어서 서로 다른, (a) 흡착 노즐을 통과하는 에어의 유량에 관한 검사인 통과 유량 검사, (b) 흡착 노즐에 첨부되어 이 흡착 노즐의 고유 정보를 인식하기 위한 식별자의 독취에 관한 검사인 식별자 독취 검사, (c) 흡착 노즐의 선단부 상태에 관한 검사인 선단부 상태 검사, (d) 흡착 노즐의 선단부가 부세력(付勢力)에 저항하여 후퇴 가능하게 되어 있는 경우에 있어서의 이 흡착 노즐의 선단부의 후퇴에 필요로 하는 힘에 관한 검사인 후퇴 필요력(必要力) 검사의 적어도 하나를 행하도록 구성된 (61)항에 기재의 노즐 관리기.

본 태양에 있어서 열거된 4개의 검사 항목은, 노즐에 대한 기본적인 검사 항목이다. 개개에, 자세하게 설명하면, 「통과 유량 검사」는 노즐을 통과하는 공기의 유량이 어느 정도 확보되어 있는지를 조사하는 검사이며, 주로 노즐의 막힘을 확인하기 위한 검사이다. 예를 들면, 선단이 개방된 노즐에 기단측보다 압축 공기를 연속적으로 불어넣은 상태에 있어서 공기의 유량을 측정하고, 이 측정된 유량이 설정된 역치(値) 유량보다 작아져 있는 경우에, 노즐에 막힘이 발생하고 있다고 판단하면 좋다. 또, 그러한 수법에 대신하여, 예를 들면, 선단이 개방된 노즐에 기단측보다 압축 공기를 연속적으로 불어넣은 상태에 있어서 이 불어넣은 공기의 압력을 측정하고, 이 압력이 설정된 역치 압력보다 높아져 있는 경우에, 노즐에 막힘 등이 발생하고 있어 충분한 공기 유량이 확보되어 있지 않다고 판단해도 좋다.

「식별자 독취 검사」는 예를 들면, 먼저 설명한 노즐에 설치된 식별자, 자세하게 말하면, 플랜지의 상면에 설치된 식별자를 충분히 독취할 수 있는지 어떤지에 대해 확인하기 위한 검사이며, 이 검사에서는, 예를 들면, 카메라 등의 촬상 장치 등에 의해 실제로 식별자를 촬상하고, 이 촬상의 결과로부터 이 식별자가 나타내어야 할 고유 정보를 충분하게 취득할 수 없는 경우에 식별자 불량이라고 판단하면 좋다.

「선단부 상태 검사」는 간단하게 말하면, 예를 들면, 노즐의 선단부의 구부러짐, 선단의 이빠짐, 찌부러짐이라고 하는 형상적인 결함의 유무나, 선단부에의 이물질, 오물의 부착 등의 유무에 대해 확인하기 위한 검사이며, 이 검사에서는, 예를 들면, 선단부를 선단측으로부터 카메라 등의 촬상 장치에 의해 촬상하고, 이 촬상에서 얻어진 화상 데이터를 기본으로 이들 구부러짐, 이빠짐, 찌부러짐, 이물질 등의 부착 등의 유무를 판단하면 좋다.

「후퇴 필요력 검사」는 노즐의 동작에 관한 검사이다. 노즐은, 일반적으로, 전기 부품을 회로 기판에 재치할 때의 이 전기 부품에 가해지는 충격을 완화하기 위해서, 전기 부품이 흡착되는 선단부가 노즐 보유 장치에 보유되는 기단부에 대해 후퇴하도록 구성되어 있다. 즉, 노즐의 선단부가 스프링 등에 의한 부세력에 대항하여 끌어들이도록 되어 있다. 후퇴 필요력 검사는 예를 들면, 이 선단부의 후퇴에 필요로 하는 힘(이하, 「후퇴 필요력」이라고 하는 경우가 있음)이, 즉 후퇴 필요력이 과대한지 아닌지에 대해 확인하기 위한 검사이다. 간단하게 말하면, 노즐이 순조롭게 줄어드는 것을 확인하기 위한 검사라고 생각할 수가 있다. 이 검사에서는, 예를 들면, 기단부가 지지된 노즐의 선단부를 기단부측으로 밀어 넣고, 노즐의 후퇴가 개시되는 시점에서의 이 밀어 넣기에 필요로 하는 힘을, 로드 셀(load cell) 등의 하중 센서로 측정하고, 이 힘이 설정된 역력(力)을 넘은 경우에, 이 노즐의 동작에 이상이 있다고 판단하면 좋다.

후에 설명하듯이 검사 장치는, 당해 관리기에 하나밖에 설치되지 않아도 좋고, 또 복수 설치되어도 좋다. 검사 장치가 복수 설치되는 경우에, 이들 복수의 검사 장치는, 검사 항목이 같아도 좋고, 서로 검사 항목이 달라도 좋다. 또한, 상기 4개의 검사 항목에 대해서 더 언급하면, 검사 장치는, 이들 4개의 검사 항목 중의 하나만을 행하도록 구성되어 있어도 좋고. 또, 이들 4개의 검사 항목 중의 둘 이상을 행하도록 구성되어 있어도 좋다. 둘 이상의 검사 항목에 대한 검사를 행하도록 구성하면, 당해 관리기에 설치해야 할 검사 장치의 수를 줄일 수가 있다.

(63) 상기 노즐 검사 장치가, 적어도 상기 통과 유량 검사와 상기 식별자 독취 검사의 양방을 행하도록 구성된 (62)항에 기재의 노즐 관리기.

먼저 설명한 것처럼, 통과 유량 검사 및 식별자 독취 검사는 함께 노즐의 기단부측에서 행해진다. 바꾸어 말하면, 2개의 검사는 동일한 방향으로부터 행해지고, 어느 검사에 있어서도 검사를 행하기 위한 주요 구성 요소가 노즐의 기단부측에 존재하는 공간에 배치된다. 따라서, 본 태양에 있어서의 검사 장치는, 비교적 간단한 구성에 의해 상기 2개의 검사 항목의 검사를 행하는 것이 가능하다. 구체적으로 말하면, 예를 들면, 상기 2개의 검사에 각각 대응한 2개의 상기 주요 구성 요소를 하나의 이동 장치에 의해 이동시킴으로써, 구성이 간단하게 되는 것이다.

(64) 상기 노즐 검사 장치가, 적어도 상기 선단부 상태 검사와 상기 후퇴 필요력 검사의 양방을 행하도록 구성된 (62)항 또는 (63)항에 기재의 노즐 관리기.

앞의 태양과 달리 선단부 상태 검사 및 후퇴 필요력 검사는 검사가 노즐의 선단부측에서 행해진다. 바꾸어 말하면, 2개의 검사는 동일한 방향으로부터 행해지고, 어느 검사에 있어서도 검사를 행하기 위한 주요 구성 요소가 노즐의 선단부측에 존재하는 공간에 배치된다. 따라서, 본 태양에 있어서의 검사 장치는, 비교적 간단한 구성에 의해 상기 2개의 검사 항목의 검사를 행하는 것이 가능하다. 구체적으로 말하면, 예를 들면, 상기 2개의 검사에 각각 대응한 2개의 상기 주요 구성 요소를 하나의 이동 장치에 의해 이동시킴으로써, 구성이 간단하게 되는 것이다.

(65) 상기 노즐 수용 장치가, 각각에 복수의 흡착 노즐이 재치 가능한 복수의 팔레트를 구비하고,

당해 노즐 관리기가,

상기 복수의 팔레트 중의 하나를 상기 노즐 수용 장치로부터 상기 노즐 검사 장치로 이송함으로써 복수의 흡착 노즐을 이송하는 팔레트 이송 장치를 구비하고, 또한

상기 노즐 검사 장치가, 상기 복수의 팔레트 중의 하나에 재치된 복수의 흡착 노즐을 이 하나의 팔레트에 재치된 상태로 검사를 행하도록 구성된 (61)항 내지 (64)항의 어느 하나에 기재의 노즐 관리기.

본 태양에 의하면, 검사 장치에 의한 검사가 팔레트에 노즐을 재치한 채로 행해진다. 극단적으로 말하면, 노즐이 수용 장치 내에 있어서 수용되어 있는 것과 같은 상태에서 노즐의 검사를 한다. 따라서, 수용 장치에 수용되어 있는 노즐을 간편하게 검사하는 것이 가능하다.

(66) 당해 노즐 관리기가,

각각이 상기 노즐 검사 장치로서 기능하고, 서로 검사 항목이 다른 복수의 노즐 검사 장치를 구비한 (61)항 내지 (65)항의 어느 하나에 기재의 노즐 관리기.

본 항의 태양에 의하면, 많은 검사 항목의 검사를 실행 가능한 관리기, 즉 충분한 검사를 실행 가능한 관리기가 실현된다.

≪검사에 있어서의 기준 대상≫

이하의 몇 개의 태양은 검사의 방법에 관한 한정, 자세하게는 검사의 기준에 관한 한정을 가한 태양이다.

(71) 상기 노즐 검사 장치에 의한 검사에 있어서 참조되는 기준 대상이 설치된 (61)항 내지 (65)항의 어느 하나에 기재의 노즐 관리기.

본 태양에 의하면, 기준 대상을 참조하여 검사를 행할 수 있기 때문에, 이 검사의 적정화를 도모할 수 있게 된다. 또한, 기준 대상의 참조는, 예를 들면, 검사의 실시 때마다 행해져도 좋고, 정기적으로 행해져도 좋다. 검사의 실시 때마다 행해지는 경우, 실제의 노즐의 검사전에 행해져도 좋고, 후에 행해져도 좋다. 또, 어떠한 조건이 변화한 경우에만 행해져도 좋다. 또한, 실제의 노즐의 검사에 있어서 불편함이 있는 노즐(이하, 「불량 노즐」이라고 하는 경우가 있음)이라고 판단되었을 때에만 행해져도 좋다. 즉, 기준 대상의 이용 목적 등에 따라 참조의 타이밍은 적절하게 설정하면 좋은 것이다. 또한, 본 태양에서는 기준 대상의 설치 장소에 대해서도 한정되지 않는다. 후에 설명하듯이 팔레트에 부설되어도 좋고, 검사 장치의 영역 내에 있어서 관리기의 몸체 등에 고정적으로 혹은 착탈 가능하게 부설되어도 좋다.

(72) 상기 참조 대상물이, 상기 노즐 검사 장치에 의한 검사의 기준의 설정과, 상기 노즐 검사 장치의 교정 혹은 검정의 적어도 일방에 이용되는 것인 (71)항에 기재의 노즐 관리기.

본 태양은 상기 기준 대상의 이용 목적에 관한 한정을 가한 태양이다. 상기 「노즐 검사 장치에 의한 검사의 기준의 설정」에는, 예를 들면, 검사되는 노즐이 불량 노즐인지 아닌지의 판단의 기준을 설정하는 것이 포함된다. 구체적으로는 예를 들면, 상술한 통과 유량 검사에 있어서 불어넣는 압축 공기의 압력, 즉 압력의 출력압(이하, 「원압(元壓)」이라고 하는 경우가 있음)에 의해 측정하는 공기의 유량(노즐의 기단측의 압력을 측정하는 경우는 이 압력)이 변화한다. 불량 노즐인지 아닌지의 판단이 이 원압의 변화에 의존하지 않게, 미리 기준 대상에서 측정하는 공기의 유량에 대한 역치 유량(노즐의 기단측의 압력을 측정하는 경우에는, 이 압력에 대한 역치 압력)을 설정하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 이 역치 유량(역치 압력)의 설정이 상기 검사의 기준의 설정에 해당한다. 상기 「노즐 검사 장치의 교정」은, 예를 들면, 검사 장치에 의한 검사의 검사 조건, 검사 장치의 동작 등의 적정화가 포함된다. 구체적으로는 예를 들면, 상술한 식별자 독취 검사 혹은 선단부 상태 검사 등에 있어서는 카메라 등의 촬상 장치가 사용된다. 이 촬상 장치의 핀트 조정을 기준 대상으로 행하고, 이 핀트의 조정 후, 실제의 노즐의 촬상을 행하는 것이 가능하다. 이 핀트의 조정이 노즐 검사 장치의 교정에 해당한다. 상기 「노즐 검사 장치의 검정」에는, 예를 들면, 검사 장치 자체가 적정인지 아닌지를 확인하는 것이 포함된다. 구체적으로는 예를 들면, 상술한 후퇴 필요력 검사에 있어서, 적정한 힘이 측정되어야할 기준 대상을 검사 장치에 의해 검사하고, 이 측정한 힘이 적정한 힘이 아닌 경우에, 검사 장치 자체에 불편함이 있다고 판단하는 것이 가능하다. 이 판단이 검사 장치의 검정에 해당한다.

(73) 상기 기준 대상이, 그것을 상기 노즐 검사 장치에 의해 검사했을 때에 통상 양호한 검사 결과가 얻어지도록 구성된 (71)항 또는 (72)항에 기재된 노즐 관리기.

본 태양에 의하면, 기준 대상을, 상술한 노즐 검사 장치에 의한 검사의 기준의 설정, 노즐 검사 장치의 교정, 및 노즐 검사 장치의 검정에 매우 적합하게 이용하는 것이 가능하다.

(74) 상기 기준 대상이, 흡착 노즐의 일부분을 모방한 모의물인 (71)항 내지 (73)항의 어느 하나에 기재의 노즐 관리기.

본 태양에 있어서의 상기 「모의물」은, 구체적으로는 예를 들면, 노즐의 선단부만, 선단부 및 이 선단부가 후퇴하는 기구만, 플랜지에 첨부된 식별자만 등을 모방하여 작성된 것 등이 상당한다. 기준 대상으로서 검사 항목에 따라 적정한 부분의 모의물을 작성하면 좋고, 이 모의물의 작성은 비교적 간단하게 행할 수가 있다.

(75) 상기 기준 대상이, 실제의 흡착 노즐인 (71)항 내지 (73)항의 어느 하나에 기재의 노즐 관리기.

본 태양은 간단하게 말하면, 기준 노즐을 기준 대상으로서 이용하는 태양이다. 본 태양에 의하면, 일부러 하등의 기준 대상을 별도로 작성하지 않고, 간편하게 기준 대상을 설치하는 것이 가능하다.

(76) 상기 노즐 수용 장치가, 각각에 복수의 흡착 노즐이 재치 가능한 복수의 팔레트를 구비하고,

당해 노즐 관리기가,

상기 복수의 팔레트 중의 하나를 상기 노즐 수용 장치로부터 상기 노즐 검사 장치로 이송함으로써 복수의 흡착 노즐을 이송하는 팔레트 이송 장치를 구비하고,

상기 노즐 검사 장치가, 상기 복수의 팔레트 중의 하나에 재치된 복수의 흡착 노즐을 이 하나의 팔레트에 재치된 상태로 검사를 행하도록 구성되고, 또한

상기 복수의 팔레트 중의 적어도 하나에 상기 기준 대상이 설치된 (71)항 내지 (75)항의 어느 하나에 기재의 노즐 관리기.

본 태양에서는 기준 대상이 팔레트에 재치되어 있어도 좋고, 또 팔레트에 부설되어도 좋다. 전자는 특히 기준 대상이 실제의 노즐인 경우에 유효하고, 후자는 기준 대상이 상기 모의물인 경우에 유효하다. 본 태양에 의하면, 검사의 대상으로 되는 노즐의 근방에 기준 대상이 설치되어 있기 때문에, 이 기준 대상을 충분히 활용하는 것이 가능하게 된다.

≪불량 노즐에 대한 처치≫

이하의 몇 개의 태양은 상기 검사 장치에 의한 검사의 결과, 불량 노즐이라고 판단된 경우에 있어서의 이 불량 노즐의 처치에 관련된 태양이다.

(81) 당해 노즐 관리기가,

상기 노즐 검사 장치에 의한 검사 결과에 기초하여 불량이라고 판단된 흡착 노즐인 불량 노즐을 유치하는 불량 노즐 유치기를 구비한 (61)항 내지 (76)항의 어느 하나에 기재의 노즐 관리기.

검사에 의해 불량 노즐이라고 판단된 경우, 이 불량 노즐은, 폐기, 수리 등을 위해 당해 관리기로부터 취출되는 것이 바람직하다. 본 태양에서는 불량 노즐은, 상기 불량 노즐 유치기(이하, 단지 「유치기」라고 하는 경우가 있음)에 유치된다. 따라서, 본 태양에 의하면, 불량 노즐을 다른 양호한 노즐과 확실하게 구별할 수가 있기 때문에, 틀림없이 당해 관리기로부터의 취출을 할 수 있게 된다. 또한, 이 취출의 편리성을 고려하면, 유치기는 취출이 용이한 개소에 설치되는 것이 바람직하고, 또 유치기마다 불량 노즐을 취출할 수가 있도록 당해 관리기로부터 떼어내기 가능한 것으로 되어 있는 것이 바람직하다.

(82) 상기 불량 노즐 유치기가,

각각에, 불량이라고 판단된 검사 항목에 있어서 서로 다른 불량 노즐을 유치하기 위한 복수의 유치부를 가지는 (81)항에 기재의 노즐 관리기.

본 태양에 의하면, 복수의 유치부에 의해, 불량 노즐이, 불량으로 된 검사 항목마다 구분되기 때문에, 당해 관리기의 오퍼레이터(operator)가 불량 노즐의 불량 요인을 용이하게 인식할 수 있어 후의 수리 등의 편리성의 향상에 연결된다.

(83) 당해 노즐 관리기가,

불량 노즐을 상기 불량 노즐 유치기에까지 운반하는 불량 노즐 운반 장치를 가지는 (81)항 또는 (82)항에 기재의 노즐 관리기.

(84) 상기 전기 부품 장착기는, 이 전기 부품 장착기에 있어서 사용되는 하나 이상의 흡착 노즐이 이 전기 부품 장착기에 착탈 가능하게 배치된 노즐 트레이에 재치되도록 구성되어 있고,

당해 노즐 관리기가, 상기 대 노즐 처치 실행 장치로서,

상기 노즐 수용 장치에 수용되어 있는 흡착 노즐을, 설정 위치에 위치하는 노즐 트레이에 이재하는 세팅 이재를 실행하는 노즐 이재 장치를 구비하고,

이 노즐 이재 장치가, 상기 노즐 수용 장치에 수용되어 있는 상기 불량 노즐을 상기 불량 노즐 유치기에까지 운반하도록 구성되어 있기 때문에, 상기 불량 노즐 운반 장치로서 기능하는 (83)항에 기재의 노즐 관리기.

상기 2개의 태양은 불량 노즐을 운반하는 장치에 관한 태양이다. 후자의 태양은 이 불량 노즐을 상술한 이재 장치를 이용하여 불량 노즐을 유치기에까지 운반하는 태양이다. 후자의 태양에 의하면, 불량 노즐을 일단 수용 장치에 수용하고, 이 수용된 불량 노즐을 검사 장치의 작동과는 관계없이 유치기에 운반하는 것이 가능하게 된다. 또, 이재 장치에 의한 세팅 이재하는 김에, 불량 노즐의 유치기까지의 운반을 행하도록 하면, 일부러 당해 관리기에 대해 불량 노즐의 운반만을 위한 작업 시간을 마련할 필요가 없어진다. 또한, 이재 장치에 불량 노즐의 운반을 시키는 경우에는, 유치기가, 이 이재 장치의 동작의 범위 내에 있어서 설치되는 것이 바람직하다.

≪노즐 세정 장치, 노즐 건조 장치≫

이하의 몇 개의 태양은 노즐 세정 장치(이하, 단지 「세정 장치」라고 하는 경우가 있음)에 관한 태양이다. 또한, 이하의 몇 개의 태양은 관리기를 카테고리로 하는 태양이 아니라, 단지 세정 장치를 카테고리로 하는 태양으로 변경했다고 해도, 즉 관리기의 다른 구성 요소로부터 독립한 세정 장치의 태양이라도 청구 가능 발명의 태양으로 될 수 있다.

(91) 당해 노즐 관리기가, 상기 대 노즐 처치 실행 장치로서, 흡착 노즐의 세정을 행하는 노즐 세정 장치를 구비한 (21)항 내지 (84)항의 어느 하나에 기재의 노즐 관리기.

노즐은, 막힘의 해소, 오물의 제거 등의 목적으로 세정되는 것이 바람직하다. 본 태양에 의하면, 노즐의 세정까지도 행할 수가 있기 때문에, 상당히 실용성이 높은 관리기가 실현되게 된다. 또한, 본 태양에 있어서 세정 장치는, 그것에 의한 세정의 방법이 특히 한정되는 것은 아니고, 이미 공지의 여러 가지의 세정 방법을 채용하는 것이 가능하다.

(92) 상기 노즐 세정 장치가, 흡착 노즐의 선단측과 기단측의 양방으로부터, 이 흡착 노즐을 향해 물을 분사하여 세정을 행하도록 구성된 (91)항에 기재의 노즐 관리기.

전기 부품 장착기에 사용되는 노즐에 관해서 말하면, 종래의 세정 장치의 상당수는, 노즐 혹은 그것의 일부분을 물에 침지함으로써 행하고 있었다. 본 태양에 의하면, 세정 장치는, 노즐을 물에 침지하는 것이 아니라, 물을 분사시켜 세정을 행하도록 되어 있고, 또 세정 장치는, 노즐의 주요한 부분의 대부분에 물을 분사하도록 구성되어 있기 때문에 노즐의 세정을 충분히 행할 수 있게 된다.

(93) 상기 노즐 세정 장치가, 고압의 물을 흡착 노즐을 향해 분사하여 세정을 행하도록 구성된 (91)항 또는 (92)항에 기재의 노즐 관리기.

종래의 물을 분사하는 방법에 따르는 노즐의 세정 장치에서는, 이른바 두 유체 노즐을 사용하여 물을 분사하도록 구성되어 있었다. 즉, 압축 공기의 힘에 의해 물을 세립화해 분사하도록 구성되어 있었던 것이다. 본 태양에 있어서의 세정 장치에서는, 물을 직접적으로 노즐에 맞히기 때문에, 본 태양에 의하면, 세정 능력이 높은 세정 장치가 실현된다. 본 태양의 세정 장치는, 예를 들면, 물을 펌프 등에 의해 직접 가압하고, 이 가압된 물을 노즐을 향해 분사하도록 구성하면 좋다.

(94) 상기 노즐 수용 장치가, 각각에 복수의 흡착 노즐이 재치 가능한 복수의 팔레트를 구비하고,

당해 노즐 관리기가,

상기 복수의 팔레트 중의 하나를 상기 노즐 수용 장치로부터 상기 노즐 세정 장치로 이송함으로써 복수의 흡착 노즐을 이송하는 팔레트 이송 장치를 구비하고, 또한, 상기 노즐 세정 장치가, 상기 복수의 팔레트 중의 하나에 재치된 복수의 흡착 노즐을 이 하나의 팔레트에 재치된 상태로 세정을 행하도록 구성된 (91)항 내지 (93)항의 어느 하나에 기재의 노즐 관리기.

(95) 당해 노즐 관리기가, 상기 노즐 세정 장치에 의해 세정된 흡착 노즐의 건조를 행하는 노즐 건조 장치를 구비한 (91)항 내지 (94)항의 어느 하나에 기재의 노즐 관리기.

본 태양에 의하면, 세정 장치에 의해 세정된 노즐이 노즐 건조 장치(이하, 단지 「건조 장치」라고 하는 경우가 있음)에 의해 건조되기 때문에, 예를 들면, 건조의 직후에 노즐이 수용 장치 내에 수용되었다고 해도, 이 노즐을 어느 정도 충분히 건조한 상태로 수용하는 것이 가능하게 된다. 또, 세정 후, 그만큼 사이를 두지 않고 사용하는 것도 가능하게 된다. 또한, 본 태양에 있어서의 건조 장치는, 그것이 채용하는 건조 수단이 특히 한정되는 것은 아니고, 이미 공지의 여러 가지의 건조 수단을 채용하는 것이 가능하다.

(96) 상기 노즐 건조 장치가, 에어 블로우(air blow)에 의해 흡착 노즐의 건조를 행하도록 구성된 (95)항에 기재의 노즐 관리기.

본 태양과 같이 건조 장치가 건조 수단으로서 에어 블로우를 채용하면, 노즐에 부착한 물을 공기의 압력에 의해 날려 버릴 수가 있기 때문에, 상당히 짧은 시간에 노즐을 건조시키는 것이 가능하게 된다. 또한, 블로우(blow)되는 공기는 찬 바람이라도 온풍이라도 좋지만, 건조 시간을 짧게 한다고 하는 관점으로부터는 어느 정도 온도가 높은 공기인 것이 바람직하다.

(97) 당해 노즐 관리기가,

하나 이상의 흡착 노즐을 상기 노즐 수용 장치로부터 상기 노즐 세정 장치로 이송함과 아울러, 이 노즐 세정 장치로 이송한 하나 이상의 흡착 노즐을 상기 노즐 수용 장치로 이송하는 노즐 이송 장치를 구비하고 있고,

상기 노즐 건조 장치가, 상기 노즐 이송 장치에 의해 노즐 세정 장치로부터 노즐 수용 장치로 이송되는 도중의 하나 이상의 흡착 노즐에 대해 건조를 행하도록 구성된 (95)항 또는 (96)항에 기재의 노즐 관리기.

본 태양에 의하면, 세정 장치에 의한 세정이 종료하여 수용 장치로 반송되는 노즐에 대해 건조가 행해지게 된다. 따라서, 세정 장치에 의한 세정 후, 빠른 시점에 있어서, 충분히 건조시켜진 노즐이 수용 장치에 수용되게 된다. 이송하는 시간에 건조를 행할 수 있기 때문에, 당해 관리기의 시간적인 손실을 줄일 수가 있는 것이다. 또한, 본 태양에 있어서의 건조 장치는, 이송 장치에 의한 이송의 도중에만 노즐을 건조하는 구성의 것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 세정 장치 내(內)에 있어서도 세정 후에 건조를 행하고, 세정 장치 외(外)에 있어서 이송 장치에 의한 이송의 한중간에도 건조를 행하는 건조 장치라도 좋다.

≪제어 장치에 의한 제어≫

이하의 몇 개의 태양은 당해 관리기의 제어에 관한 태양이다. 바꾸어 말하면, 당해 관리기의 운용 방법에 관한 태양이다.

(101) 당해 노즐 관리기가 자신의 제어를 맡는 제어 장치를 구비한 (1)항 내지 (97)항의 어느 하나에 기재의 노즐 관리기.

본 태양은 제어에 관한 기본적 태양이며, 제어 장치는, 관리기의 운용을 주체적으로 실행하는 구성 요소이다. 제어 장치는, 예를 들면, 컴퓨터를 주요 구성 요소로 하여 구성되는 것이라도 좋다.

(102) 상기 제어 장치가,

상기 노즐 수용 장치에 수용되어 있는 복수의 흡착 노즐의 각각의 고유 정보가, 이 각각의 상기 노즐 수용 장치에 있어서의 수용 위치에 관련지어 기억되는 노즐 정보 기억부를 가지는 (101)항에 기재의 노즐 관리기.

본 태양에 의하면, 수용 장치 내의 어느 수용 위치에 어떠한 노즐이 수용되어 있는지를 파악할 수 있기 때문에, 수용되어 있는 노즐을 적절하게 관리하는 것이 가능하게 된다. 또한, 고유 정보는 먼저 설명한 것처럼, ID 정보를 포함하고, 이 노즐의 ID 정보를 기억함으로써, 개개의 노즐에 대한 충분한 관리를 행하는 것이 가능하다.

(103) 흡착 노즐에는, 당해 흡착 노즐의 고유 정보를 인식하기 위한 식별자가 첨부되어 있고,

당해 노즐 관리기가, 이 식별자를 독취하기 위한 식별자 독취기를 가지고,

상기 노즐 정보 기억부가, 이 식별자 독취기에 의한 독취에 의해 취득된 흡착 노즐의 고유 정보를 기억하도록 구성된 (102)항에 기재의 노즐 관리기.

먼저 설명한 것처럼, 식별자 독취기에 의하면, 개개의 노즐의 고유 정보를 용이하게 취득하는 것이 가능하다. 따라서, 본 태양에 의하면, 수용되어 있는 노즐의 관리를 취득된 고유 정보에 기초하여 용이하게 행하는 것이 가능하다. 또한, 식별자 독취기는, 먼저 설명한 것처럼, 이재 장치에 설치되어 있어도 좋다. 이 경우, 상술의 세팅 이재와 수용 이재의 적어도 일방을 실행할 때에, 이재되는 노즐의 고유 정보를 취득하는 것이 가능하게 된다.

(104) 상기 노즐 수용 장치가, 각각에 복수의 흡착 노즐이 재치 가능한 복수의 팔레트를 구비함과 아울러, 이들 복수의 팔레트의 각각이, 각각에 하나의 흡착 노즐이 재치되는 복수의 재치부를 가지고 있고,

상기 노즐 정보 기억부가, 상기 복수의 팔레트 중의 어느 것의 상기 복수의 재치부의 어느 것에 재치되어 있는지를 상기 수용 위치로서 취급하도록 구성된 (102)항 또는 (103)항에 기재의 노즐 관리기.

본 태양은 수용 장치가 상술의 팔레트를 가지는 경우에 매우 적합한 태양이다. 본 태양에 의하면, 어느 팔레트의 어느 위치에 어떤 노즐이 수용되어 있는지를 파악할 수 있어 수용되어 있는 노즐의 관리를 보다 적절하게 행하는 것이 가능하게 된다.

(105) 상기 전기 부품 장착기는, 이 전기 부품 장착기에 있어서 사용되는 하나 이상의 흡착 노즐이 이 전기 부품 장착기에 착탈 가능하게 배치된 노즐 트레이에 재치되도록 구성되어 있고,

당해 노즐 관리기가,

설정 위치에 위치하는 노즐 트레이에 재치되어 있는 흡착 노즐을 상기 노즐 수용 장치에 수용하기 위해서, 이 노즐 트레이로부터 이재하는 수용 이재를 실행하는 노즐 이재 장치를 가지고,

상기 제어 장치가,

상기 노즐 이재 장치를 제어함으로써, 상기 설정 위치에 위치하는 노즐 트레이에 재치되어 있는 흡착 노즐을 이 노즐 트레이로부터 이재시킴과 아울러, 상기 노즐 정보 기억부에, 이 이재된 흡착 노즐의 고유 정보를 이 흡착 노즐의 수용 위치에 관련지어 기억시키는 노즐 수용 제어부를 가지는 (102)항 내지 (104)항의 어느 하나에 기재의 노즐 관리기.

본 태양에 의하면, 상술한 수용 이재 시에, 즉 노즐을 트레이로부터 이재하여 수용 장치에 노즐을 수용할 때에, 이 노즐의 고유 정보가 이 노즐의 수용 장치 내에 있어서의 수용 위치에 관련지어 기억된다. 이 때문에 본 태양에 의하면, 수용 장치에 수용되어 있는 노즐의 관리를 적절하게 행할 수가 있다.

(106) 상기 전기 부품 장착기는, 이 전기 부품 장착기에 있어서 사용되는 하나 이상의 흡착 노즐이 이 전기 부품 장착기에 착탈 가능하게 배치된 노즐 트레이에 재치되도록 구성되어 있고,

당해 노즐 관리기가,

상기 노즐 수용 장치에 수용되어 있는 흡착 노즐을, 설정 위치에 위치하는 노즐 트레이에 이재하는 세팅 이재를 실행하는 노즐 이재 장치를 구비하고,

상기 제어 장치가,

상기 노즐 이재 장치를 제어함으로써, 상기 노즐 정보 기억부에 기억된 상기 복수의 흡착 노즐의 고유 정보에 기초하여, 상기 설정 위치에 위치하는 노즐 트레이에, 이 노즐 트레이에 재치해야 할 흡착 노즐을 이재시키는 노즐 세팅 제어부를 가지는 (102)항 내지 (105)항의 어느 하나에 기재의 노즐 관리기.

본 태양에 의하면, 상술한 세팅 이재 시에, 즉 수용 장치에 수용되어 있던 노즐을 트레이에 세팅할 때에, 기억되어 있는 고유 정보를 이용하여, 이 노즐이 트레이에 배치된다. 따라서, 본 태양에 의하면, 트레이에 재치해야 할 노즐에 대한 정보에 기초함으로써, 확실하게 적정한 노즐을 이 트레이에 배치할 수가 있다.

(107) 상기 노즐 이재 장치가,

설정 위치에 위치하는 노즐 트레이에 재치되어 있는 흡착 노즐을 상기 노즐 수용 장치에 수용하기 위해서, 이 노즐 트레이로부터 이재하는 수용 이재와, 상기 노즐 수용 장치에 수용되어 있는 흡착 노즐을, 설정 위치에 위치하는 노즐 트레이에 이재하는 세팅 이재를 실행하도록 구성되어 있고,

상기 제어 장치가,

상기 노즐 이재 장치를 제어함으로써, 상기 설정 위치에 위치하는 노즐 트레이에 재치되어 있는 흡착 노즐을 이 노즐 트레이로부터 이재시킴과 아울러, 상기 노즐 정보 기억부에 기억된 상기 복수의 흡착 노즐의 고유 정보에 기초하여, 이 이재시켜진 흡착 노즐과 동일한 형식의 상기 노즐 수용 장치에 수용되어 있는 흡착 노즐을 상기 설정 위치에 위치하는 노즐 트레이에 이재시키는 노즐 재세팅(再 setting) 제어부를 가지는 (102)항 내지 (106)항의 어느 하나에 기재의 노즐 관리기.

본 태양은 간단하게 말하면, 고유 정보를 이용하여, 상기 수용 이재와 상기 세팅 이재를 행하는 것이 가능한 태양이다. 본 태양에 있어서 수용 이재에 있어서 노즐이 재치되어 있던 트레이와, 세팅 이재에 있어서 노즐이 재치되는 트레이는 동일한 것이라도 좋고, 동일한 형식의 다른 것이라도 좋다. 또, 수용 이재에 있어서 이재되는 노즐과, 세팅 이재에 있어서 이재되는 노즐은 동일한 것이라도 좋고, 동일한 형식의 다른 것이라도 좋다. 예를 들면, 동일한 트레이에 다른 노즐을 재치하도록 되어 있는 태양은 노즐의 교환에 매우 적합하다. 그리고 고유 정보에 기초함으로써, 노즐이 재치된 트레이를 상기 설정 위치에 위치시키는 것만으로, 이 트레이 대해, 재치되어 있던 노즐을 동일한 형식의 노즐로 자동적으로 교환하는 것이 가능하게 된다. 또, 예를 들면, 다른 트레이에 동일한 노즐을 재치하도록 되어 있는 태양에서는 트레이의 교환에 매우 적합하다. 그리고 트레이의 고유 정보에 기초함으로써, 노즐이 재치된 트레이를 상기 설정 위치에 위치시키는 것만으로, 이 트레이와는 동일한 형식의 다른 트레이에, 자동적으로, 재치되어 있던 노즐을 다시 재치하는 것이 가능하게 된다. 후자의 태양은 먼저 설명한 트레이 수용 장치 및 트레이 이송 장치를 구비한 관리기에 특히 매우 적합하다.

(108) 상기 노즐 재세팅 제어부가,

상기 이재시켜진 흡착 노즐에 대신하여, 다른 흡착 노즐을 상기 설정 위치에 위치하는 노즐 트레이에 이재시키도록 구성된 (107)항에 기재의 노즐 관리기.

본 태양은 먼저 설명한 노즐의 교환에 매우 적합한 태양이다. 먼저 설명한 것처럼, 수용 이재 및 세팅 이재를 동일한 트레이에 대해 행함으로써 노즐만이 교환되게 된다.

(109) 당해 노즐 관리기가,

각각이 상기 노즐 트레이인 복수의 노즐 트레이를 수용 가능한 트레이 수용 장치와, 설정 위치와 상기 트레이 수용 장치 사이를, 하나의 노즐 트레이를 이송하는 트레이 이송 장치를 구비하고 있고,

상기 제어 장치가,

노즐 트레이에 불편함이 발생하고 있다고 판단된 경우에, 상기 트레이 이송 장치를 제어함으로써, 이 노즐 트레이를 상기 트레이 수용 장치에 수용되어 있는 노즐 트레이와 교환시키는 트레이 교환 제어부를 가지는 (105)항 내지 (108)항의 어느 하나에 기재의 노즐 관리기.

트레이는, 예를 들면, 노즐의 트레이로부터의 이탈을 방지하기 위해, 이른바 셔터 기구로 불리는 이탈 방지 기구가 설치된다. 또, 트레이를 개별적으로 관리하기 위해 트레이에는 고유 정보를 인식하기 위한 식별자가 설치되는 경우가 있다. 어느 트레이에 있어서 이탈 방지 기구의 동작에 관한 불편함이 발생하고 있거나, 식별자의 독취가 곤란하게 되어 있는 경우에는, 이 트레이는 불량 트레이라고 인정된다. 본 태양은 이 불량 트레이를 양호한 트레이로 교환하는 경우에 매우 적합한 태양이다. 또한, 본 태양에 먼저 설명한 이재 장치에 의한 수용 이재 및 세팅 이재를 조합함으로서, 노즐이 재치되어 있는 트레이를 같거나 혹은 다른 노즐이 재치된 다른 트레이로 변경하는 것이 가능하다.

(110) 당해 노즐 관리기가,

흡착 노즐의 검사를 행하는 노즐 검사 장치와, 이 노즐 검사 장치에 의한 검사 결과에 기초하여 불량이라고 판단된 흡착 노즐인 불량 노즐을 유치하는 불량 노즐 유치기와, 불량 노즐을, 이 불량 노즐 유치기에까지 운반하는 불량 노즐 운반 장치를 구비하고,

상기 불량 노즐 유치기가 각각에, 불량이라고 판단된 검사 항목에 있어서 서로 다른 불량 노즐을 유치하기 위한 복수의 유치부를 가지고,

상기 제어 장치가,

상기 불량 노즐 운반 장치를 제어함으로써, 불량 노즐을, 이 불량 노즐에 대해 불량이라고 판단된 검사 항목에 대응하는 상기 복수의 유치부 중의 하나에까지 운반시키는 불량 노즐 운반 제어부를 가지는 (101)항 내지 (109)항의 어느 하나에 기재의 노즐 관리기.

본 태양에 의하면, 먼저 설명한 것처럼, 당해 관리기에, 불량 노즐을 그것이 불량이라고 판단된 검사 항목마다 다른 개소에 유치하기 위한 동작을 행하게 할 수가 있다.

(111) 당해 노즐 관리기가, 흡착 노즐의 검사를 행하는 노즐 검사 장치를 구비하고, 또한 당해 노즐 관리기에, 이 노즐 검사 장치에 의한 검사에 있어서 참조됨과 아울러 통상 양호한 검사 결과가 얻어지도록 구성된 기준 대상이 설치되어 있고,

상기 제어 장치가,

상기 노즐 검사 장치에 의한 흡착 노즐의 검사 결과가 불량으로 되고, 또한 상기 기준 대상의 검사 결과가 양호한 것을 조건으로 하여, 이 흡착 노즐을 불량 노즐이라고 판단하는 기준 대상 참조 불량 노즐 판단부를 가지는 (101)항 내지 (110)항의 어느 하나에 기재의 노즐 관리기.

본 태양은 먼저 설명한 기준 대상을 이용한 검사를 행하기 위한 제어에 관한 한 태양이다. 본 태양에서는 먼저 설명한 검사 장치의 검정이 행해진다고 생각해도 좋다. 즉, 본 태양에서는 기준 대상의 검사가 양호한 경우에 검사 장치의 기능에 문제가 없다고 인정하고, 이 인정을 전제로 하여 노즐의 검사를 행하거나 혹은 행한 노즐의 검사의 결과를 채용하는 것이다. 따라서, 본 태양에 의하면, 검사 장치에 의한 검사의 신뢰성이 높은 것으로 된다. 예를 들면, 본 태양은 어느 노즐에 대한 검사 결과가 양호하지 않은 경우, 상기 기준 대상의 검사를 행하고, 이 기준 대상의 검사에 있어서 양호한 결과가 얻어졌을 때에, 당해 검사 장치는 양호하게 동작하고 있다고 인정하고, 이 인정에 기초하여, 이 노즐이 불량 노즐이라고 판단하는 태양이라도 좋다. 또한, 본 태양에서는 기준 대상의 검사에 있어서 양호한 결과가 얻어지지 않은 때에는, 검사 장치 자체에 이상이 있다고 판단하고, 이 노즐에 대한 검사 결과를 채용하지 않거나, 혹은 이 후의 노즐의 검사를 행하지 않게 하는 것도 가능하다.

(112) 당해 노즐 관리기가, 흡착 노즐의 검사를 행하는 노즐 검사 장치를 구비하고, 또한 당해 노즐 관리기에, 이 노즐 검사 장치에 의한 검사에 있어서 참조되는 기준 대상이 설치되어 있고,

상기 제어 장치가,

흡착 노즐의 검사에 앞서 상기 기준 대상을 이용하여, 상기 노즐 검사 장치에 의한 검사의 기준의 설정과, 상기 노즐 검사 장치의 교정의 적어도 일방을 준비 처리로서 행하는 기준 대상 의거 검사 준비 처리부를 가지는 (101)항 내지 (111)항의 어느 하나에 기재의 노즐 관리기.

본 태양은 먼저 설명한 기준 대상을 이용한 검사를 행하기 위한 제어에 관한 다른 한 태양이다. 본 태양에 의하면, 검사 장치에 의해 신뢰성이 높은 검사가 실행되게 된다.

본 발명에 의하면, 노즐 수용 장치에 수용되어 있는 혹은 지금부터 수용될 흡착 노즐에 대해, 상기 선단부 상태 검사와 상기 후퇴 필요력 검사의 양방을 행하는 노즐 검사 장치가 설치된 노즐 관리기가 실현되기 때문에, 이 노즐 관리기는 실용성이 높은 것으로 된다.

도 1은 실시예의 노즐 관리기의 관리 대상으로 되는 흡착 노즐이 사용되는 전기 부품 장착기를 나타내는 사시도이다.
도 2는 대표적인 흡착 노즐을 나타내는 사시도이다.
도 3은 전기 부품 장착기에 있어서 흡착 노즐이 재치되는 노즐 트레이(tray)를 나타내는 도이다.
도 4는 실시예의 노즐 관리기의 외관을 나타내는 사시도이다.
도 5는 노즐 관리기의 내부 구조를 나타내는 사시도이다.
도 6은 노즐 관리기의 내부 구조를 다른 시점에서 나타내는 사시도이다.
도 7은 노즐 관리기가 구비하는 노즐 이재(移載) 장치를 설명하기 위한 사시도이다.
도 8은 노즐 관리기가 구비하는 제1 노즐 검사 장치를 설명하기 위한 사시도이다.
도 9는 노즐 관리기가 구비하는 제2 노즐 검사 장치를 설명하기 위한 사시도이다.
도 10은 노즐 관리기가 구비하는 노즐 세정 장치 및 노즐 건조 장치를 설명하기 위한 사시도이다.
도 11은 도 10에 나타내는 노즐 세정 장치 및 노즐 건조 장치를 하우징을 제거한 상태로 나타내는 사시도이다.
도 12는 노즐 관리기가 구비하는 노즐 수용 장치에 있어서 흡착 노즐이 재치되는 노즐 팔레트를 나타내는 도이다.
도 13은 노즐 관리기가 관리하는 몇 개의 흡착 노즐을 나타내는 도이다.
도 14는 재치 구멍에 흡착 노즐이 재치된 상태, 및 채용 가능한 다른 재치 구멍을 나타내는 노즐 팔레트의 일부의 단면도이다.
도 15는 노즐 관리기가 구비하는 제1 노즐 검사 장치에 의한 선단부 상태 검사를 설명하기 위한 모식도이다.
도 16은 노즐 관리기가 구비하는 제1 노즐 검사 장치에 의한 후퇴 필요력(必要力) 검사를 설명하기 위한 모식도이다.
도 17은 노즐 관리기가 구비하는 제2 노즐 검사 장치에 의한 통과 유량 검사 및 식별자 독취(讀取) 검사를 설명하기 위한 모식도이다.
도 18은 노즐 관리기가 구비하는 노즐 세정 장치 및 노즐 건조 장치에 의한 흡착 노즐의 세정 및 건조를 설명하기 위한 모식도이다.
도 19는 노즐 관리기의 제어 장치가 기억하고 있는 수용 노즐 정보를 모식적으로 나타내는 테이블이다.
도 20은 노즐 관리기의 제어 장치가 기억하고 있는 수용 트레이 정보를 모식적으로 나타내는 테이블이다.
도 21은 노즐 관리기의 제어 장치가 흡착 노즐의 노즐 트레이에의 세팅 시에 이용하는 노즐 세팅 정보를 모식적으로 나타내는 테이블이다.
도 22는 노즐 관리기가 노즐 수용 오퍼레이션(operation)을 행하기 위해서 실행되는 노즐 수용 프로그램을 나타내는 흐름도이다.
도 23은 노즐 관리기가 노즐 세팅 오퍼레이션을 행하기 위해서 실행되는 노즐 세팅 프로그램을 나타내는 흐름도이다.
도 24는 노즐 관리기가 노즐 재세팅(再 setting) 오퍼레이션을 행하기 위해서 실행되는 노즐 재세팅 프로그램의 전반 부분을 나타내는 흐름도이다.
도 25는 노즐 관리기가 노즐 재세팅 오퍼레이션을 행하기 위해서 실행되는 노즐 재세팅 프로그램의 후반 부분을 나타내는 흐름도이다.
도 26은 노즐 관리기가 노즐 세정 오퍼레이션을 행하기 위해서 실행되는 노즐 세정 프로그램을 나타내는 흐름도이다.
도 27은 노즐 관리기가 제1 노즐 검사 오퍼레이션을 행하기 위해서 실행되는 제1 노즐 검사 프로그램을 나타내는 흐름도이다.
도 28은 노즐 관리기가 제2 노즐 검사 오퍼레이션을 행하기 위해서 실행되는 제2 노즐 검사 프로그램을 나타내는 흐름도이다.
도 29는 노즐 관리기가 구비하는 제어 장치의 기능 구성을 나타내는 블록도이다.

이하, 청구 가능 발명의 대표적인 실시 형태를 실시예로서 도를 참조하면서 자세하게 설명한다. 또한, 청구 가능 발명은, 하기 실시예 외에 상기〔발명의 태양〕의 항에 기재된 태양을 비롯해서 당업자의 지식에 기초하여 여러 가지의 변경, 개량을 행한 여러 가지의 태양으로 실시할 수가 있다. 또, 〔발명의 태양〕의 각 항의 설명에 기재되어 있는 기술적 사항을 이용하여 하기의 실시예의 변형예를 구성하는 것도 가능하다.

〔실시예〕

실시예의 노즐 관리기는, 전기 부품 장착기에 사용되고 있는 흡착 노즐을 관리의 대상으로 한다. 이 흡착 노즐은, 회로 기판에의 전기 부품의 장착에 있어서, 자신에게 공급되는 부압(負壓)에 의해 전기 부품을 흡착 보유하는 부품 보유 도구이다. 실시예의 노즐 관리기의 설명을 행하기 전에, 전기 부품 장착기 및 흡착 노즐에 대해 간단하게 설명하고, 이 후에 실시예의 노즐 관리기에 대해 설명하고, 노즐 관리기의 전체 구성, 노즐 관리기를 구성하는 각 장치, 노즐 관리기가 행하는 몇 개의 오퍼레이션, 이들 오퍼레이션에 관련한 제어 장치의 기능 구성을 차례차례 설명한다. 또한, 이하의 설명에 있어서 「노즐 관리기」, 「전기 부품 장착기」, 「흡착 노즐」, 「회로 기판」, 「전기 부품」은, 각각, 단지 「관리기」, 「장착기」, 「노즐」, 「기판」, 「부품」이라고 부르는 경우가 있는 것으로 한다.

［A］ 전기 부품 장착기 및 흡착 노즐

관리기에 의한 관리의 대상으로 되는 흡착 노즐이 사용되고 있는 전자 부품 장착기를 도 1에 일례로서 나타낸다. 도에서는 동일한 구조의 2대의 장착기(10)가, 베이스(12)에 병설되어 있다(도에서는 앞쪽 것의 외장 패널이 제거되어 있다). 장착기(10)는 기판 S를 반송함과 아울러 설정 위치에 고정하는 컨베이어형의 기판 반송 장치(14)와, 각각이 부품 P를 공급하는 복수의 피더형(feeder type)의 부품 공급 장치(16)와, 이들 부품 공급 장치(16)로부터 공급되는 부품 P를 고정된 기판 S에 장착하기 위한 장착 헤드(18)와, 이 장착 헤드(18)를 부품 공급 장치(16)와 고정된 기판 S 사이에서 이동시키는 헤드 이동 장치(20)를 포함하여 구성되어 있다. 장착 헤드(18)는 하단부에 흡착 노즐 N이 장착된 동작축(22)과, 이 동작축(22)을 승강 및 회전시키는 동작축 승강 회전 장치(도시를 생략)를 포함하여 구성되어 있다. 덧붙여서 말하면, 도에 나타내는 장착 헤드(18)는 인덱스형의 장착 헤드이며, 동작축(22)은 복수의 노즐 N을 설치 가능하게 되어 있다. 부품 공급 장치(16)로부터 공급되는 부품 P는 노즐 N의 선단(하단)에 있어서 흡착 보유되고, 보유된 부품 P는 장착 헤드(18)가 기판 S의 상방으로 이동시켜진 후, 노즐 N에 의한 흡착 보유가 해제됨으로써 기판 S 상에 장착된다. 덧붙여서 말하면, 부품 P를 기판 S 상의 적정 위치에 적정한 자세로 장착하기 위해, 이 부품 P는 노즐 N에 흡착 보유된 상태로 당해 장착기(10)에 설치된 부품 카메라(22)에 의해 하방으로부터 촬상되고, 촬상에 의해 얻어진 보유 위치 및 보유 자세의 데이터가 장착 시에 이용된다.

상기 노즐 N이 관리기의 관리 대상이며, 이 노즐 N은 도 2에 나타내는 것이다. 도 2(a)는 노즐 N을 비스듬한 상방으로부터 본 도이며, 도 2(b)는 비스듬한 하방으로부터 본 도이다. 이들 도로부터 알 수가 있듯이, 노즐 N은 통상(筒狀)을 이루어 당해 노즐 N의 본체부로서 기능하는 동체통(胴體筒)(30)과, 동체통(30)으로부터 하방으로 연출(延出)하는 흡착관(32)과, 동체통(30)의 주위로 장출(張出)하도록 하여 동체통(30)에 고정된 플랜지(34)를 가진다. 동체통(30)의 상단부가 당해 노즐 N의 기단부로서 기능하고, 그 상단부에 있어서 상기 동작축에 보유된다. 흡착관(32)은 당해 노즐의 선단부로서 기능하고, 비교적 가는 파이프 모양의 것으로 이루어져 있다. 동체통(30)에는 2개의 걸림 핀(36)이 뻗어 설치되어 있고, 이들 걸림 핀(36)을 이용하여 노즐 N은 동작축(22)에 장착된다. 걸림 핀(36)을 이용한 노즐 N의 설치는 일반적인 수법이며, 여기서의 설명은 생략함과 아울러 다른 도에 있어서도 생략한다.

흡착관(32)에는 장착 헤드(18)로부터 동체통(30)을 통해 정압 및 부압이 선택적으로 공급된다. 부압의 공급에 의해 흡착관(32)의 선단(하단)에 부품 P가 흡착 보유되고, 정압의 공급에 의해 흡착 보유된 부품 P가 흡착관(32)으로부터 이탈시켜진다. 도에서는 내부 구조를 생략하지만, 흡착관(32)은 동체통(30)에 대해 진퇴 가능하게 되어 있다. 자세하게 말하면, 부품 P의 기판 S에의 장착 시에 부품 P에 가해지는 충격을 완화하기 위해, 노즐 N의 선단부는 동체통(30)으로부터 진출하는 방향으로 스프링의 힘에 의해 부세(付勢)되어 있고, 이 부세력(付勢力)을 넘은 힘이 가해진 경우에, 후퇴 가능하게, 즉 동체통(30)에 대해 끌어넣기 가능하게 되어 있다. 또한, 플랜지(34)는 상술한 부품 카메라(22)에 의한 부품 P의 촬상 시에, 이 촬상이 선명히 행해지기 위한 배면 형성 부재로서 기능하는 것이고, 노즐 N의 가장 외경이 큰 부분으로 되어 있다. 플랜지(34)의 상면에는 당해 노즐 N의 고유 정보를 인식하기 위한 식별자로서의 2D 코드(38)가 첨부되어 있다. 이 2D 코드(38)는 고유 정보의 일종으로서의 당해 노즐 N의 ID를 나타내는 것으로 되어 있고, 이 ID는 노즐 N의 개별 관리를 위해서 사용된다.

도에서는 한 종류의 것밖에 나타나 않지만, 노즐 N은 크기 및 형상에 있어서 서로 다른 복수종의 것이 존재하고, 본 장착기(10)에서도 크기에 있어서 다른 몇 개의 종류의 노즐 N을 동작축(16)에 부착 가능하게 되어 있고, 본 장착기(10)에서는 흡착 보유하는 부품 P에 따라 이들 몇 개의 종류의 노즐을 자동으로 교환 가능하게 되어 있다. 덧붙여서 말하면, 제조하는 전기 회로(기판 S에 부품 P가 장착된 것)에 따라 사용되는 노즐 N은 다르다. 또, 장착기(10)에 있어서 사용되는 복수의 노즐 N은 부품 공급 장치(16)의 근방에 있어서 장착기(10)에 설치된 노즐 스테이션(50)에 노즐 트레이 NT에 재치된 상태로 배치되어 있다.

노즐 트레이(이하, 단지 「트레이(tray)」라고 하는 경우가 있음) NT는 노즐 N을 재치시키기 위한 노즐 재치기로서 기능하는 것이고, 도 3에 나타내듯이, 대체로 판 모양을 이루고 있다. 자세하게 말하면, 트레이 NT는 베이스 플레이트(60)와, 베이스 플레이트(60)의 상면을 덮는 커버 플레이트(62)를 포함하여 구성되어 있고, 커버 플레이트(62)는 베이스 플레이트(60)에 대해 어느 정도의 범위에서 슬라이딩(sliding) 가능하게 되어 있다. 도 3(a)는 커버 플레이트(62)가 베이스 플레이트(60)에 대해 어긋난 상태를 나타내고 있고, 도 3(b)는 커버 플레이트(62)가 베이스 플레이트(60)에 딱 겹친 상태를 나타내고 있다. 커버 플레이트(62)는 이들 2개의 상태의 각각에 있어서의 위치 사이에서 슬라이딩 가능하게 되어 있다.

단면도인 도 3(c) 및 노즐 N이 재치(載置)된 상태를 나타내는 부분 단면도인 도 3(d)도 참조하여 설명하면, 베이스 플레이트(60)에는 각각이 재치부를 구성하는 12개의 재치 구멍(64)이 설치되어 있다. 자세하게 말하면, 본 트레이 NT에는 서로 크기가 다른 2종의 노즐 N을 재치할 수가 있고, 큰 크기의 노즐 N을 재치하기 위한 4개의 재치 구멍(64)과, 작은 크기의 노즐 N을 재치하기 위한 4개의 재치 구멍(64)이 설치되어 있다. 재치 구멍(64)은 내주벽의 치수가 깊이에 있어서 다른 계단식 구멍으로 되어 있고, 단차면(66)이 노즐 N의 플랜지(34)가 재치되는 면으로 되어 있다. 베이스 플레이트(60)의 상면에 있어서의 재치 구멍(64)의 내경, 즉 최대 내경은 플랜지(34)의 외경보다 약간 크게 되어 있고, 재치 구멍(64)은 노즐 N의 직경 방향의 변위(어긋남)를 플랜지(34)의 외주에 있어서 규제하도록 구성되어 있다. 또, 단차면까지의 깊이는 재치 구멍(64)에 재치된 노즐 N의 플랜지(34)가 커버 플레이트(62)에 간섭하지 않는 깊이로 되어 있다. 덧붙여서 말하면, 도에 나타내는 노즐 N은 단차면까지의 깊이보다 얇은 플랜지(34)를 가지고 있고, 이 노즐 N은 재치 구멍(64)에 재치된 상태에 있어서 플랜지(34)의 상면이 트레이 NT의 베이스 플레이트(60)의 상면으로부터 돌출하는 일은 없다. 도 2로부터 알 수가 있듯이, 플랜지(34)에는 외주에 노치(notch)(68)가 설치되어 있고, 이 노치(notch)(68)는 단차면(66)에 입설(立設)된 짧은 핀(69)과 계합한다. 이들 노치(68) 및 핀(69)에 의해 노즐 N은 특정의 방향밖에 재치할 수 없게 되어 있고, 또 트레이 NT에 재치된 상태에 있어서의 노즐 N의 회전이 방지되어 있다.

한편, 커버 플레이트(62)에도 베이스 플레이트(60)의 재치 구멍(64)에 대응하여 빠져나감 구멍(70)이 설치되어 있다. 이 빠져나감 구멍(70)은 원형을 한 원(圓)구멍부(72)와, 이 원구멍부(72)의 일방측으로부터 연출하는 슬롯부(74)로 이루어져 있다. 각 원구멍부(72)의 내경은 대응하는 재치 구멍(64)의 최대 내경과 대략 같게 되어 있다. 슬롯부(74)의 폭은 대응하는 재치 구멍(64)에 재치되는 노즐 N의 동체통(30)의 외경보다 어느 정도 크게 되어 있다. 도 3(b)에 나타내는 상태에서는, 각 재치 구멍(64)의 중심과 대응하는 빠져나감 구멍(70)의 원구멍부(72)의 중심이 일치하고 있고, 재치 구멍(64)의 전체가 상방으로부터 들여다보인다. 한편, 도 3(a)에 나타내는 상태에서는, 각 재치 구멍(64)의 중심과 대응하는 빠져나감 구멍(70)의 슬롯부(74)의 선단에 존재하는 원호의 중심이 대략 일치하고 있고, 재치 구멍(64)은 상방으로부터는 일부밖에 들여다보이지 않는다. 2개의 상태는 그러한 상태이기 때문에, 이하, 편의적으로, 도 3(b) 상태를 「재치 구멍 열린 상태」, 도 3(a) 상태를 「재치 구멍 닫힌 상태」라고 말하는 것으로 한다.

재치 구멍 열린 상태에서는, 노즐 N의 재치 구멍(64)에의 재치, 재치 구멍(64)으로부터의 이탈을 행할 수가 있다. 한편, 노즐 N이 재치 구멍(64)에 재치되어 있는 경우에 재치 구멍 닫힌 상태로 함으로써, 노즐 N의 동체통(30)이 빠져나감 구멍(70)의 슬롯부(74)를 삽통(揷通)하면서, 플랜지(34)의 상면의 많은 부분이 커버 플레이트(62)에 의해 덮이는 상태로 된다. 이 상태에 있어서 노즐 N은 재치 구멍(64)으로부터의 이탈이 방지된다. 이 노즐 N의 이탈 방지에 관해서 말하면, 트레이 NT에는 커버 플레이트(62)를 포함하여 구성되는 기구, 즉 이른바 셔터 기구로 불리는 노즐 이탈 방지 기구가 설치되어 있는 것이다.

커버 플레이트(62)는 도시를 생략하는 스프링에 의해 재치 구멍 닫힌 상태로 되도록 부세되어 있고, 이 스프링의 부세력을 넘는 힘으로 커버 플레이트(62)를 슬라이딩시킴으로써 재치 구멍 열린 상태로 된다. 이 슬라이딩은 도시를 생략하지만 노즐 스테이션(50)에 설치된 커버 슬라이딩 기구에 의해 행해진다. 장착 헤드(18)의 동작축에의 노즐 N의 설치, 동작축으로부터의 노즐 N을 떼어내고, 부착되어 있는 노즐 N의 다른 노즐 N으로의 교환은 장착기(10)의 제어 장치에 의한 커버 슬라이딩(sliding) 기구의 제어에 의해 재치 구멍 열린 상태가 실현되어 행해진다.

트레이 NT는 노즐 스테이션(50)에 착탈 가능하게 되어 있고, 예를 들면, 어느 전기 회로의 제조를 개시하는데 즈음하여, 미리 노즐 N이 재치된 트레이 NT를 노즐 스테이션(50)에 세팅(setting)할 수가 있고, 또 예를 들면, 어느 전기 회로의 제조를 종료하는데 즈음하여, 사용하고 있던 노즐 N을 트레이 NT마다 노즐 스테이션(50)으로부터 떼어낼 수가 있다. 따라서, 트레이 NT는 장착기(10)의 순서 바꿈 등의 신속화에 크게 공헌하고 있다. 또한, 본 트레이 NT에서는 베이스 플레이트(60)의 하나의 코너에 당해 트레이 NT의 고유 정보를 인식하기 위한 식별자로서의 2D 코드(76)가 첨부되어 있다. 이 2D 코드(76)는 고유 정보의 일종으로서의 당해 트레이 NT의 ID를 나타내는 것으로 되어 있고, 이 ID는 트레이 NT의 개별 관리에 이용된다.

또한, 이상 설명한 흡착 노즐 N 및 트레이 NT는 상기 장착기(10)에 사용되는 것이다. 이하에 나타내는 실시예의 관리기는 상기 장착기(10)에 사용되는 노즐 N만을 대상으로 하는 것은 아니고, 다른 장착기에 사용되는 노즐 N도 대상으로 한다. 또, 상기 트레이 NT는 장착기(10)에서 사용되는 트레이 NT의 일례이며, 장착기(10)는 종류에 있어서 다른 이외의 트레이 NT도 사용 가능하다. 또한, 장착기에 따라 사용되는 트레이 NT도 다르다. 후에 설명하지만, 실시예의 관리기는 다른 트레이 NT에 재치되었거나 혹은 재치되는 노즐 N도 관리의 대상으로 한다.

［B］ 노즐 관리기의 전체 구성

도 4에 외관을 나타내듯이, 실시예의 관리기(80)는 대체로 직방체 형상을 이루고, 비교적 콤팩트(compact)한 크기의 것으로 되어 있다. 당해 관리기(80)의 정면(도에 있어서의 좌측의 면)에는, 후에 자세하게 설명하는 인출(引出)(82)이 설치되어 있다. 또, 정면 상부에는 당해 관리기(80)의 제어 장치로서의 콘트롤러(84)가 부설되어 있다. 콘트롤러(84)는 컴퓨터를 주요 구성 요소로 하여 구성되는 것이고, 디스플레이(86), 조작 키(88), 스위치(90) 등의 입출력 디바이스를 가지고 있다. 외장 패널을 제외한 상태의 관리기(80)를 도 5에 나타내고, 역방향의 시점으로부터 본 이 관리기(80)를 도 6에 나타낸다. 이하에 이들 도를 참조하면서, 본 관리기(80)의 내부 구조에 대해 설명한다. 덧붙여서 말하면, 도 5에 있어서의 좌방이 당해 관리기(80)의 전방이며, 우방이 당해 관리기(80)의 후방이다.

관리기(80)는 몇 개의 장치가 조합되어 구성되어 있다. 구체적으로 열거하면, 후방측에 노즐 팔레트(이하, 단지 「팔레트」라고 하는 경우가 있음)에 재치시킨 상태로 노즐 N을 수용하는 노즐 수용 장치(100)가 설치되어 있고, 노즐 수용 장치(100)의 전방 좌측에 트레이 NT를 수용하는 트레이 수용 장치(102)가 설치되어 있다. 한편, 당해 관리기(80)의 전방 측에는 각각이 노즐 수용 장치(102)에 수용되어 있는 혹은 수용되는 노즐 N에 대한 어떠한 처치(이하, 「대 노즐 처치」라고 하는 경우가 있음)를 실행하는 대 노즐 처치 실행 장치로서 위로부터 차례로 노즐 이재 장치(104), 제1 노즐 검사 장치(106), 제2 노즐 검사 장치(108), 노즐 세정 장치(110)가 설치되어 있다.

여기서의 설명은 간단하게 행하지만, 노즐 이재 장치(104)는 트레이 NT와 상기 팔레트 사이에서 노즐 N을 이재하는 장치이며, 제1 노즐 검사 장치(106)는 2개의 검사 항목의 검사, 구체적으로는 노즐 N의 선단부 상태에 관한 검사(선단부 상태 검사), 및 노즐 N의 선단부의 후퇴에 필요한 힘에 관한 검사(후퇴 필요력 검사)를 실행하고, 제2 노즐 검사 장치(108)는 2개의 검사 항목의 검사, 구체적으로는 노즐 N을 통과하는 에어의 유량에 관한 검사(통과 유량 검사), 및 노즐 N의 플랜지(34)에 첨부된 식별자로서의 2D 코드(38)의 독취에 관한 검사(식별자 독취 검사)를 실행한다. 노즐 세정 장치(110)는 노즐 N을 고압수로 세정하는 장치이다. 또, 노즐 수용 장치(100)와 노즐 세정 장치(110)의 사이에는 노즐 세정 장치(110)에 의해 세정된 노즐 N을 건조시키는 노즐 건조 장치(112)가 설치되어 있다.

상기 각 대 노즐 처치 실행 장치와 노즐 수용 장치(100) 사이의 노즐 N의 이송은 각 대 노즐 처치 실행 장치에 대응한 각 노즐 이송 장치에 의해 행해진다. 노즐 N의 이송은 상술한 팔레트에 재치한 상태로 행해지기 때문에, 각 노즐 이송 장치는 팔레트 이송 장치로 되어 있다. 구체적으로는 노즐 이재 장치(104)와 노즐 수용 장치(100) 사이에서 팔레트를 이송하는 제1 팔레트 이송 장치(114), 제1 노즐 검사 장치(106)와 노즐 수용 장치(100) 사이에서 팔레트를 이송하는 제2 팔레트 이송 장치, 제2 노즐 검사 장치(108)와 노즐 수용 장치(100) 사이에서 팔레트의 이송을 행하는 제3 팔레트 이송 장치(118), 노즐 세정 장치(110)와 노즐 수용 장치(100) 사이에서 팔레트의 이송을 행하는 제4 팔레트 이송 장치(120)가 각각 설치되어 있다. 한편, 노즐 이재 장치(104)와 트레이 수용 장치(102) 사이에는, 이들 사이에서 트레이 NT를 이송하는 트레이 이송 장치(122)가 설치되어 있다. 또, 상술한 각 장치를 위한 전원, 구동 회로, 에어 콤프레서(air compressor), 고압 펌프 등을 내장한 구동원 유닛(124)이 당해 관리기(80)의 전방측 하부에 설치되어 있다.

또한, 이하의 설명에 있어서 노즐 수용 장치, 트레이 수용 장치, 노즐 이재 장치, 노즐 검사 장치, 노즐 세정 장치, 노즐 건조 장치, 팔레트 이송 장치, 트레이 이송 장치는, 각각, 단지, 「수용 장치」, 「수용 장치」, 「이재 장치」, 「검사 장치」, 「세정 장치」, 「건조 장치」, 「이송 장치」, 「이송 장치」라고 하는 경우가 있는 것으로 한다. 또, 이하의 설명은 이재 장치(104)를 중심으로 나타내는 도 7, 제1 검사 장치(106)를 중심으로 나타내는 도 8, 제2 검사 장치(108)를 중심으로 나타내는 도 9, 세정 장치(110) 및 건조 장치(112)를 중심으로서 나타내는 도 10 및 도 11도 참조하여 행하는 것으로 한다.

［C］ 노즐 수용 장치

노즐 수용 장치(100)는 각각에 상술의 팔레트가 수용되는 복수의 팔레트 캐리어(이하, 단지 「캐리어」라고 하는 경우가 있음)(130)와, 이들 캐리어(130)를 순환시키는 캐리어 순환 기구(이하, 단지 「순환 기구」라고 하는 경우가 있음)(132)를 가지고 있고, 이들 복수의 캐리어(130)와 순환 기구(132)에 의해 복수의 팔레트를 당해 수용 장치(100) 내에 있어서 이동시키는 팔레트 이동 장치(이하, 단지 「이동 장치」라고 하는 경우가 있음)(134)가 구성되어 있다. 이하에 수용 장치(100)를 팔레트와 이동 장치(134)로 나누어 설명한다.

i) 노즐 팔레트

팔레트 NP는 노즐 N을 재치시키기 위한 노즐 재치기로서 기능하는 것이고, 도 12에 나타내듯이, 먼저 설명한 트레이 NT와 마찬가지로 베이스 플레이트(140)와 베이스 플레이트(140)의 상면을 덮는 커버 플레이트(142)를 포함하여 구성되어 있다. 도 12(a)는 커버 플레이트(142)가 베이스 플레이트(140)에 대해 어긋난 상태를 나타내고 있고, 도 12(b)는 커버 플레이트(142)가 베이스 플레이트(140)에 딱 겹친 상태를 나타내고 있다. 커버 플레이트(142)는 이들 2개의 상태에 있어서의 위치 사이에서 슬라이딩 가능하게 되어 있다.

당해 관리기(80)는 편의적으로, 도 13에 나타내는 5종류의 노즐 N을 관리의 대상으로 하는 것으로서 취급하는 것으로 하면, 팔레트 NP에는 이들 5종류의 노즐 N의 모든 것이 재치 가능하게 되어 있다. 5종류의 노즐 N은 형상에 있어서 서로 다르고, 플랜지(34)의 외경에 따라 3개로 분류할 수가 있다. 도 13은 이들 노즐 N을 상방으로부터 본 도이며, 구체적으로는 도 13(a)에 나타내는 작은 크기의 노즐 Na, 도 13(b), (c)에 각각 나타내는 중간의 크기의 노즐 Nb, Nc, 도 13(d), (e)에 각각 나타내는 크기의 큰 노즐 Nd, Ne로 분류할 수가 있다. 베이스 플레이트(140)에는 트레이 NT의 경우와 마찬가지로 각각이 재치부를 구성하는 재치 구멍(144)이 설치되어 있다. 구체적으로는 작은 크기의 노즐 N이 재치되는 24개의 재치 구멍(144a)과, 큰 크기의 노즐 N이 재치되는 15개의 재치 구멍(144b)이 설치되어 있고, 재치 구멍(144a)에는 상기 노즐 Na가 재치되고, 재치 구멍(144b)에는 상기 노즐 Nb, Nc, Nd, Ne가 재치된다.

재치 구멍(144a)에 관해서는 먼저 설명한 트레이 NT의 재치 구멍(64)과 마찬가지이고, 하나의 단차면(146)을 가지는 것이기 때문에 여기서의 설명을 생략한다. 노즐 N이 재치된 상태를 나타내는 도 14를 참조하면서, 재치 구멍(144b)에 대해 설명하면, 재치 구멍(144b)은 내주벽의 치수가 깊이에 있어서 다른 계단식 구멍으로 되어 있고, 자세하게는 2개의 단차면(146a, 146b)을 가지는 계단식 구멍으로 되어 있다. 도 14(a)에 나타내듯이, 큰 크기의 노즐 Nd, Ne는 상방에 위치하는 단차면(146a)에 재치되고, 또한 도 14(b)에 나타내듯이, 중간 크기의 노즐 Nb, Nc는 하방에 위치하는 단차면(146b)에 재치된다. 즉, 어느 단차면(146a, 146b)도 노즐 N이 재치되는 면으로 되어 있고, 재치 구멍(144b)은 내주벽이 깊이 방향에 있어서 안쪽 치수가 다르고, 서로 플랜지(34)의 외경에 있어서 다른 복수종의 노즐 N의 플랜지(34)가 서로 다른 깊이의 위치에 있어서 꼭 끼이도록 구성되어 있는 것이다. 또, 재치 구멍(144b)은 어느 노즐 N에 대해서도 이들 노즐 N의 직경 방향의 변위(어긋남)를 플랜지(34)의 외주에 있어서 규제하도록 구성되어 있고, 어느 단차면(146a, 146b)에도 노즐 N의 회전 방지를 위해 플랜지(flange)(34)의 노치(notch)(68)가 계합하는 핀(148)이 입설(立設)되어 있다.

또한, 상술한 복수의 단차면(146)을 가지는 형상의 재치 구멍(144b)에 대신하여, 예를 들면, 도 14(c)에 나타내듯이, 축선 방향, 즉 깊이 방향에 있어서 내주벽의 안쪽 치수가 점차적으로 감소하는 테이퍼 구멍의 재치 구멍(144c)을 채용하는 것도 가능하다. 그러한 재치 구멍(144c)이라도 서로 플랜지(34)의 외경에 있어서 다른 복수종의 노즐 N의 플랜지(34)가 서로 다른 깊이의 부분에서 꼭 끼이도록 구성되게 된다. 덧붙여서 말하면, 도는 중간 크기의 노즐 Nb, Nc가 재치된 상태를 나타내고 있고, 큰 크기의 노즐 Nd, Ne가 재치되는 경우는 노즐 Nb, Nc보다 상방의 위치에 재치(載置)되게 된다.

한편, 커버 플레이트(142)에는 트레이 NT와 마찬가지로 베이스 플레이트(140)의 재치 구멍(144a, 144b)에 각각 대응하여 각각이 원구멍부(150) 및 슬롯부(152)를 가지는 빠져나감 구멍(154a, 154b)이 설치되어 있다. 도 13(b)에 나타내는 상태에서는, 각 재치 구멍(144)의 중심과 대응하는 빠져나감 구멍(154)의 원구멍부(150)의 중심이 일치하고 있고, 먼저 설명한 재치 구멍 열린 상태가 실현되고, 도 13(a)에 나타내는 상태에서는, 각 재치 구멍(144)의 중심과 대응하는 빠져나감 구멍(154)의 슬롯부(74)의 선단에 존재하는 원호의 중심이 대략 일치하고 있고, 재치 구멍 닫힌 상태가 실현된다. 그러한 구조이기 때문에 팔레트 NP에도 노즐 N의 이탈 방지에 관해서 커버 플레이트(142)를 포함하여 구성되는 기구, 즉 이른바 셔터 기구로 불리는 노즐 이탈 방지 기구가 설치되어 있는 것이다. 덧붙여서 말하면, 트레이 NT와 마찬가지로 커버 플레이트(142)는 도시를 생략하는 스프링에 의해 재치 구멍 닫힌 상태로 되도록 부세되어 있고, 이 스프링의 부세력을 넘는 힘으로 커버 플레이트(142)를 슬라이딩시킴으로써 재치 구멍 열린 상태로 된다.

팔레트 NP에는 트레이 NT와 마찬가지로 베이스 플레이트(140)의 하나의 코너에 당해 팔레트 NP의 고유 정보를 인식하기 위한 식별자로서의 2D 코드(156)가 첨부되어 있다. 이 2D 코드(156)는 고유 정보의 일종으로서의 당해 팔레트 NT의 ID를 나타내는 것으로 되어 있고, 이 ID는 트레이 NT의 개별 관리에 이용된다.

본 팔레트 NP에는 베이스 플레이트(140)의 하나의 코너에 기준 노즐(158)이, 이 기준 노즐(158)의 근방에 기준 파이프(160)가 모두 베이스 플레이트(140)를 관통하는 상태로 고정되어 있다. 기준 노즐(158)은 실제의 노즐 N, 구체적으로는 상술의 노즐 Nb이다. 한편, 기준 파이프(160)는 노즐 N의 일부, 자세하게는 동체통(30) 및 흡착관(32)을 모방한 모의물이다. 이들 기준 노즐(158) 및 기준 파이프(160)는 상술의 제1 검사 장치(106) 및 제2 검사 장치(108)에 의한 검사에 있어서 참조되는 기준 대상으로서 기능하고, 이들 검사 장치(106, 108)에 의한 검사의 기준의 설정과, 이들 검사 장치(106, 108)의 교정 혹은 검정의 적어도 일방에 이용된다. 구체적인 이용에 관해서는 후에 자세하게 설명하지만, 기준 노즐(158)은 제1 검사 장치(106)에 의한 후퇴 필요력(必要力) 검사, 및 제2 검사 장치에 의한 식별자 독취 검사에 있어서 참조되고, 한편 기준 파이프(160)는 제1 검사 장치(106)에 의한 선단부 상태 검사, 및 제2 검사 장치(108)에 의한 통과 유량 검사에 있어서 참조된다. 덧붙여서 말하면, 이들 기준 노즐(158), 기준 파이프(160)는 어느 것도 기준 대상으로서 참조되는 검사에 있어서 통상 양호한 검사 결과가 얻어지도록 구성되어 있다. 또한, 본 관리기(80)에서는 기준 대상이 팔레트 NP에 설치되어 있지만, 예를 들면, 제1 검사 장치(106) 혹은 제2 검사 장치(108)에 의해 검사 가능한 위치에 있어서 당해 관리기(80)의 몸체, 다른 장치 등에 설치되어도 좋다.

ii) 팔레트 이동 장치

먼저 설명한 것처럼, 팔레트 이동 장치(134)는 복수의 팔레트 캐리어(130)와 캐리어 순환 기구(132)를 포함하여 구성되어 있다. 캐리어(130)는 대체로 채널 형상, 즉 단면이 “コ”자 형상을 이루는 형상의 부재로 되어 있고, 당해 채널 형상에 있어서의 개구가 하방을 향하는 자세로 배치되어 있다. 캐리어(130)에는 하단부에, 자세하게는 채널 형상에 있어서의 2개의 플랜지의 하단부의 내측에 한 쌍의 레일(170)이 부설되어 있고, 상술한 팔레트 NP는 이 한 쌍의 레일(170)에 의해 전방을 향해 발출(拔出) 가능하게, 또 전방으로부터 삽입(揷入) 가능하게 보유된다.

캐리어 순환 기구(132)는, 도 5, 도 6으로부터 알 수가 있듯이, 상하에 각각 설치된 한 쌍의 스프로켓(sprocket) 축(172)을 가지고 있다. 이 스프로켓 축(172)은 전후 방향으로 뻗는 상태로 설치되어 있고, 전후의 단부의 각각에 스프로켓(174)을 가지고 있다. 한 쌍의 스프로켓 축(172) 각각의 전방측의 스프로켓(174)과의 사이, 및 후방측의 스프로켓(174)과의 사이에는 각각 체인(176)이 감겨져 있다. 전방측의 체인(176) 및 후방측의 체인(176)의 각각에는 복수의 브래킷(bracket)(178)이, 이 각각에 직각인 자세로 외측을 향해 연설(延設)되어 있고, 전방측의 브래킷(178)의 각각의 선단과 후방측의 브래킷(178)의 대응하는 각각의 선단에 의해 하나의 캐리어(130)가 요동 가능하게 지지되어 있다. 한 쌍의 스프로켓 축(172)의 일방이 구동축으로 되어 있고, 이 일방을 회전시킴으로써 각 브래킷(178)이 주회(周回)시켜진다. 이에 의해 각 브래킷(178)에 의해 지지된 각 캐리어(130)가 일제히 주회(周回)시켜진다. 덧붙여서 말하면, 팔레트 NP는 노즐 N이 재치되는 면이 위를 향하는 자세로, 즉 커버 플레이트(142)가 상방에 위치하는 자세로 캐리어(130)에 보유되어 있고, 브래킷(178)에 의한 캐리어(130)의 지지 구조는 캐리어(130)가 어느 주회 위치에 있는 경우라도 팔레트 NP가 이 자세를 유지하는 구조로 되어 있다.

캐리어 순환 기구(132)는 상술과 동일한 구조이기 때문에, 팔레트 이동 장치(134)는, 수용 장치(100) 내에 있어서, 복수의 팔레트 NP를 연직한 일평면(一平面)에 평행한 일정한 경로를 따라, 동시에, 즉 함께 순환 이동시키는 팔레트 순환 장치로 되어 있는 것이다. 또한, 이동 장치(134)에서는 각 팔레트 NP의 정지 위치로서 상술의 각 대 노즐 처치 실행 장치(104~108)에 대응하는 복수의 설정 위치, 즉 제1~제4 팔레트 이송 장치(114~120)에 대응하는 복수의 설정 위치가 설정되어 있다. 이 설정 위치는 팔레트 NP의 순환에 있어서의 스테이션이라고 생각할 수 있는 것이고, 본 관리기(80)는 특정의 스테이션으로 이동하여 정지시켜진 팔레트 NP가 이 스테이션에 대응하는 제1~제4 이송 장치(114~120)에 의해 대응하는 대 노즐 처치 실행 장치(104~108)로 이송되도록 구성되어 있다. 덧붙여서 말하면, 팔레트 NP를 보유하고 있지 않는 캐리어(130)가 특정의 스테이션에 위치하고 있는 경우에는, 이 스테이션에 대응하는 제1~제4 이송 장치(114~120)에 의해 대응하는 대 노즐 처치 실행 장치(104~108)로부터 이 캐리어(130)에까지 팔레트 NP를 이송하는 것이 가능하게 되어 있다.

상기 각 대 노즐 처치 실행 장치와 노즐 수용 장치(100) 사이의 노즐 N의 이송은 각 대 노즐 처치 실행 장치에 대응한 노즐 이송 장치에 의해 행해진다. 노즐 N의 이송은 상술한 팔레트 NP에 재치한 상태로 행해지기 때문에, 노즐 이송 장치는 팔레트 이송 장치로 되어 있고, 구체적으로는 노즐 이재 장치(104)와 노즐 수용 장치(100) 사이에서 팔레트를 이송하는 제1 팔레트 이송 장치(114), 제1 노즐 검사 장치(106)와 노즐 수용 장치(100) 사이에서 팔레트를 이송하는 제2 팔레트 이송 장치, 제2 노즐 검사 장치(108)와 노즐 수용 장치(100) 사이에서 팔레트의 이송을 행하는 제3 팔레트 이송 장치(118), 노즐 세정 장치(110)와 노즐 수용 장치(100) 사이에서 팔레트의 이송을 행하는 제4 팔레트 이송 장치(120)가 각각 설치되어 있다. 또한, 노즐 이재 장치는 하나 이상의 노즐 N을 하나의 노즐 그룹으로서 이송하는 기능을 가지고 있다고 생각할 수가 있고, 각각이 대 노즐 처치 실행 장치인 노즐 이재 장치(104), 제1 노즐 검사 장치(106), 제2 노즐 검사 장치(108), 노즐 세정 장치(110)는 후에 자세하게 설명하듯이 노즐 이송 장치에 의해 이송된 하나의 노즐 그룹에 포함되는 노즐 N에 대해 처치를 행하도록 되어 있는 것이다.

［D］ 트레이 수용 장치

트레이 수용 장치(102)는 먼저 설명한 노즐 트레이 NT를 수용하는 장치이고, 노즐 수용 장치(100)의 팔레트 이동 장치(134)와 마찬가지의 트레이 이동 장치(이하, 단지, 「이동 장치」라고 하는 경우가 있음)(190)를 구비하고 있고, 이 이동 장치(190)를 주요 구성 요소로 하여 구성되어 있다. 이동 장치(190)는 팔레트 이동 장치(134)와 마찬가지로 각각 트레이 NT가 수용되는 복수의 트레이 캐리어(이하, 단지 「캐리어」라고 하는 경우가 있음)(192)와, 이들 캐리어(192) 순환시키는 캐리어 순환 기구(이하, 단지 「순환 기구」라고 하는 경우가 있음)(194)를 구비하고 있다.

캐리어(192)는 먼저 설명한 팔레트 캐리어(130)와 마찬가지로, 대체로 채널 형상, 즉 단면이 “コ”자 형상을 이루는 형상의 부재로 되어 있고, 당해 채널 형상에 있어서의 개구가 하방을 향하는 자세로 배치되어 있다. 팔레트 캐리어(130)와 마찬가지로, 캐리어(192)에는 하단부에, 자세하게는 채널 형상에 있어서의 2개의 플랜지의 하단부의 내측에 한 쌍의 레일(196)이 부설되어 있고, 트레이 NT는 이 한 쌍의 레일(196)에 의해 노즐 N이 재치되는 면이 상방을 향한 자세로 전방을 향해 발출(拔出) 가능하게, 또 전방으로부터 삽입(揷入) 가능하게 보유된다.

순환 기구(194)는 팔레트 이동 장치(134)의 순환 기구(132)와 마찬가지로, 도 5, 도 6에 나타내듯이, 각각 2개의 스프로켓을 전후에 가지는 한 쌍의 스프로켓 축, 한 쌍의 체인, 각 체인에 연설된 복수의 브래킷을 가지고 있고, 각 브래킷에 의해 지지된 각 캐리어(192)를 일제히 주회시키도록 구성되어 있다. 그러한 구조의 순환 기구(194)를 가지는 트레이 이동 장치(190)는 먼저 설명한 팔레트 이동 장치(134)와 마찬가지로, 수용 장치(102) 내에 있어서, 복수의 팔레트 NP를 연직한 일평면에 평행한 일정한 경로를 따라, 동시에, 즉 함께 순환 이동시키는 트레이 순환 장치로 되어 있는 것이다. 또한, 트레이 이동 장치(190)에서는 각 트레이 NT의 정지 위치로서 상술의 노즐 이재 장치(104)에 대응하는 하나의 설정 위치, 즉 트레이 이송 장치(122)에 대응하는 하나의 설정 위치가 설정되어 있다. 이 설정 위치, 즉 이 스테이션으로 이동하여 정지시켜진 트레이 NT가 트레이 이송 장치(122)에 의해 이재 장치(104)로 이송되고, 트레이 NT를 보유하고 있지 않는 캐리어(192)가 이 스테이션에 위치하고 있는 경우에는, 트레이 이송 장치(122)에 의해 이재 장치(104)로부터 이 캐리어(192)까지 트레이 NT를 이송하는 것이 가능하게 되어 있다.

［E］ 노즐 이재 장치

관리기(80)에서는 수용 장치(100)에 수용되어 있는 노즐 N을 트레이 NT에 세팅하기 위해서, 팔레트 NP로부터 이 트레이 NT로의 이 노즐 N이 이재되고, 또 수용 장치(100)에 노즐 N을 수용하기 위해서 이 노즐 N이 트레이 NT로부터 팔레트 NP에 이재된다. 전자를 「세팅 이재」라고 부르고, 후자를 「수용 이재」라고 부르면, 이들 세팅 이재 및 수용 이재는 당해 관리기(80)의 전방측 상부에 위치하는 상술의 노즐 이재 장치(104)에 의해 행해진다.

도 7에 나타내듯이, 관리기(80)가 구비하는 인출(82)(도에서는 약간 인출된 상태임)은 테이블(200)을 가지고 있고, 상기 이재에 제공되는 트레이 NT는 테이블(200)에 설치된 고정 스테이지(202)와 가동 스테이지(204)의 일방에 세팅된다. 고정 스테이지(202)는 테이블(200)에 고정되어 있고, 가동 스테이지(204)는 테이블(200)에 설치된 스테이지 슬라이드 기구(206)에 의해, 전후 방향으로 슬라이드 가능하게 테이블(200)에 지지되어 있다. 덧붙여서 말하면, 도에서는 고정 스테이지(202)는 트레이 NT가 세팅되어 있는 상태를 나타내고 있고, 가동 스테이지(204)는 트레이 NT는 세트되어 있지 않은 상태를 나타내고 있다. 또, 도에서는 가동 스테이지(204)가 이동 범위에 있어서의 전방단(前方端)인 설정 위치, 즉 이재 위치에 위치하고 있는 상태를 나타내고 있다. 또한, 각각의 스테이지(202, 204)의 트레이 NT의 보유에 관한 구조, 및 트레이 NT에 재치되어 있는 노즐 N은 간소화를 위해 도시를 생략하고 있다. 또한, 세팅된 트레이 NT를 상술의 재치 구멍 열린 상태로 하기 위한 기구로서 커버 플레이트(62)를 슬라이딩시키는 커버 슬라이딩 기구(도시를 생략)가, 고정 스테이지(202) 및 가동 스테이지(204)의 각각에 설치되어 있다.

고정 스테이지(202) 및 가동 스테이지(204)의 어느 것에 대해서도, 인출(82)이 인출된 상태에 있어서 오퍼레이터는 트레이 NT를 세팅할 수가 있고, 또 세팅되어 있던 트레이 NT를 떼어낼 수가 있다. 또한, 가동 스테이지(204)가 이동 범위에 있어서의 후단 위치에 위치시켜진 상태에 있어서 트레이 수용 장치(102)와의 사이에서 트레이 NT의 이재가 가능하게 되어 있다. 자세하게 말하면, 수용 장치(102) 내에 있어서, 상술한 설정 위치, 즉 이재 장치 대응 스테이션에 위치시켜져 있는 캐리어(192)와 가동 스테이지(204) 사이에서 트레이 NT의 이재를 한다. 덧붙여서 말하면, 이 트레이 NT의 이재를 위한 기구인 트레이 이재 기구에 대해서는 기재를 생략하고 있다. 또한, 가동 스테이지(204), 스테이지 슬라이드 기구(206), 트레이 이재 기구를 포함하고, 테이블(200) 상의 설정 위치와 수용 장치(102) 사이에서, 단적으로 말하면, 이재 장치(104)와 수용 장치(102) 사이에서 트레이 NT를 이송하는 전술의 트레이 이송 장치(122)가 구성되어 있는 것이다.

이상의 설명으로부터 알 수가 있듯이, 본 관리기(80)에서는 외부로부터 가지고 들어와 고정 스테이지(202) 혹은 가동 스테이지(204)에 세팅된 트레이 NT에 있어서의 세팅 이재가 가능하게 되어 있을 뿐만이 아니라, 수용 장치(102)에 수용되어 있는 트레이 NT에의 세팅 이재도 가능하게 되어 있다. 더 말하면, 노즐 N의 세팅이 완료한 트레이 NT나, 노즐 N이 재치된 상태로 외부로부터 가지고 들어온 트레이 NT를 수용 장치(102)에 수용하는 것도 가능하게 되어 있다.

한편, 세팅 이재 및 수용 이재에 제공되는 팔레트 NP는 노즐 수용 장치(100) 내에 있어서 이재 장치(104)에 대응하는 설정 위치, 즉 이재 장치 대응 스테이션에 위치시켜져 있는 캐리어(130)로부터, 제1 팔레트 이송 장치(114)(구조에 대해서는 후술함)에 의해 이재 장치(104)에 의한 노즐 N의 이재가 가능한 설정 위치, 즉 이재 위치에까지 이송된다. 도에 있어서 팔레트 NP가 위치하고 있는 위치가 이재 위치이다. 세팅 이재 및 수용 이재에 제공되는 팔레트 NP는 이들 이재가 완료한 후에, 제1 이송 장치(114)에 의해 수용 장치(100) 내의 이재 장치 대응 스테이션에 위치시켜져 있는 캐리어(130)에까지 이송된다. 덧붙여서 말하면, 도에서는 팔레트 NP에 재치되어 있는 노즐 N에 대해서는 간소화를 위해 생략하고 있다. 또한, 이재 위치에 위치하는 팔레트 NP를 이 위치에 있어서 고정하는 팔레트 고정 기구(도시를 생략함)가 제1 이송 장치(114)에 설치되어 있고, 또 이재 위치에 위치하는 팔레트 NP를 상술의 재치 구멍 열린 상태로 하기 위한 기구로서 커버 플레이트(142)를 슬라이딩시키는 커버 슬라이딩 기구(도시를 생략)가 테이블(200) 상에 설치되어 있다.

이재 장치(104)는 테이블(200)의 상방에 배치되어 있고, 이재 헤드(210)와 이재 헤드(210)를 좌우 방향, 전후 방향, 상하 방향(이하, 각각, 「X방향」, 「Y방향」, 「Z방향」이라고 하는 경우가 있음)으로 이동시키는 3개의 헤드 이동 기구를 가지는 헤드 이동 장치(212)를 포함하여 구성되어 있다. 도 7에 더하여 도 5 및 도 6도 참조하여 알 수가 있듯이, 이들 도에서는 이재 헤드(210)를 X방향으로 이동시키는 X방향 이동 기구 및 Y방향으로 이동시키는 Y방향 이동 기구에 대해서는 생략하고 있고, Z방향 이동 기구(214)만이 나타나 있다. 덧붙여서 말하면, X방향 이동 기구 및 Y방향 이동 기구는 당해 관리기(80)의 몸체의 상부에 설치되어 슬라이드(216)를 Z방향에 직각인 일평면을 따라 이동시키는 XY형 이동 장치를 구성하는 것으로 되어 있고, Z방향 이동 기구(214)는 이 슬라이드(216)에 설치되어 있다.

이재 헤드(210)에는 하부에 있어서 이재되는 노즐 N을 보유하기 위한 노즐 보유 도구로서의 보유 척(chuck)(218)과, 노즐 N, 트레이 NT, 팔레트 NP의 각각 첨부된 2D 코드(38, 76, 156)를 독취하기 위한 식별자 독취기로서의 카메라(220)가 장착되어 있다. 또, 이재 헤드(210)는 보유 척(218)을 그것의 축선 둘레로 회전시키는 척 회전 기구를 가지고 있다. 덧붙여서 말하면, 상기 헤드 이동 장치(212)는 노즐 보유 도구인 보유 척(218)을 이동시키는 보유 도구 이동 장치로서 기능하는 것으로 되어 있다.

이재 장치(104)의 기본적인 동작에 대해 간단하게 설명하면, 상술의 세팅 이재와 수용 이재의 적어도 일방이 행해질 때에, 이재 헤드(210)가 헤드 이동 장치(212)에 의해 이동시켜지고, 카메라(220)에 의해 트레이 NT에 첨부된 2D 코드(76)와 팔레트 NP에 첨부된 2D 코드(156)의 적어도 일방이 촬상된다. 그리고, 이재 헤드(210)가 헤드 이동 장치(212)에 의해 이재원(移載元)으로 되는 팔레트 NP 또는 트레이 NT의 상방으로 이동시켜지고, 이재의 대상으로 되는 노즐 N의 2D 코드(38)가 카메라(220)에 의해 촬상되면서, 이 노즐 N이 보유 척(218)에 의해 보유되고, 그 다음에 이재 헤드(210)가 헤드 이동 장치(212)에 의해 이재처(移載處)로 되는 트레이 NT 또는 팔레트 NP의 상방으로 이동시켜지고, 보유된 노즐 N이 보유 척(218)으로부터 이탈시켜져 이 트레이 NT 또는 팔레트 NP의 특정의 혹은 임의의 재치 구멍(64, 144)에 재치된다.

또한, 테이블(200) 상에는 팔레트 NP의 베이스 플레이트(140)와 같은 재치 플레이트(220), 자세하게 말하면, 몇 개의 재치 구멍을 가지는 재치 플레이트(222)가 설치되어 있고, 이 재치 플레이트(222)는, 예를 들면, 노즐 N의 트레이 NT에의 세팅 혹은 수용 장치(100)로의 수용 시에, 노즐 N의 임시 놓음 등에 이용된다. 또, 테이블(200) 상에는 상기 각종 검사 항목의 검사의 결과에 기초하여 불량이라고 판단된 노즐 N, 즉 불량 노즐을 유치하는 불량 노즐 유치기로서 불량 박스(224)가 떼어내기 가능하게 설치되어 있다. 도로부터 알 수가 있듯이, 이 불량 박스(224)는 4개의 공간(226)으로 나누어져 있고, 이들 4개의 공간(226)의 각각은 각각에 불량 노즐을 구별하여 유치하기 위한 유치부로 되어 있다. 이 불량 박스(224)의 이용에 관해서는 후에 자세하게 설명하지만, 불량 박스(224)로의 불량 노즐의 운반은 노즐 N의 트레이 NT에의 세팅을 하는 김에, 혹은 세팅과는 관계없이 상기 노즐 이재 장치(104)에 의해 행해진다. 따라서, 이재 장치(104)는 불량 노즐 운반 장치로서 기능하는 것으로 되어 있다.

［F］ 제1 노즐 검사 장치

제1 노즐 검사 장치(106)는 노즐 이재 장치(104)의 하방에 위치하고, 먼저 설명한 것처럼, 2개의 검사 항목의 검사, 구체적으로는 선단부 상태 검사 및 후퇴 필요력 검사를 실행하는 장치이다. 도 8을 참조하면서 설명하면, 상술의 수용 장치(100) 내의 설정 위치, 즉 제1 검사 장치 대응 스테이션에 위치시켜진 팔레트 NP가 상술의 제2 팔레트 이송 장치(116)(구조에 대해서는 후술함)에 의해 검사 위치까지 이송된 후, 이 팔레트 NP에 재치되어 있는 노즐 N에 대한 선단부 상태 검사 및 후퇴 필요력 검사가 제1 검사 장치(106)에 의해 함께 노즐 N의 하방으로부터 행해진다. 또한, 도에 나타내는 팔레트 NP의 위치가 상기 검사 위치이며, 제2 이송 장치(116)에는 이 검사 위치에 있어서 팔레트 NP를 고정하는 팔레트 고정 기구(도시를 생략)가 설치되어 있다. 덧붙여서 말하면, 도에서는 팔레트 NP에 재치되어 있는 노즐 N은 간소화를 위해 생략되어 있다.

제1 검사 장치(106)는 기대(230)와, 이 기대(230) 상에 고정된 카메라 장치(232) 및 하중 측정 장치(234)를 포함하여 구성된 검사 유닛(235)과, 이 검사 유닛(235)을 이동시키는 유닛 이동 장치(236)를 포함하여 구성되어 있고, 검사 유닛(235)은 상기 검사 위치에 위치시켜져 있는 팔레트 NP의 하방의 공간을 이동한다. 카메라 장치(232)는 카메라 본체(238)와, 렌즈(239)와, 광원으로서 이 렌즈(239)를 둘러싸도록 배치된 링 라이트(ring light)(240)를 포함하여 구성된 것이고, 하중 측정 장치(234)는 로드 셀(load cell)(242)을 주요 구성 요소로 하여 구성된 것이다. 유닛 이동 장치(236)는 당해 관리기(80)의 몸체의 일부를 이루는 한 쌍의 빔(244)에 지지된 가동 빔(246)과, 이 가동 빔(246)을 Y방향으로 이동시키는 벨트 구동식의 Y방향 이동 기구(248)와, 가동 빔(246)에 지지된 슬라이드(250)를 X방향으로 이동시키는 X방향 이동 기구(252)와, 슬라이드(250)에 고정되어 검사 유닛(235)을 기대(230)에 있어서 지지함과 아울러 검사 유닛(235)을 Z방향으로 이동시키는 Z방향 이동 기구(254)를 포함하여 구성되어 있다. 정리하여 말하면, 제1 검사 장치(106)에 의하면 선단부 상태 검사, 후퇴 필요력 검사는 함께 노즐 N의 선단부측에서 행해지고, 각각의 검사를 행하기 위한 주요 구성 요소인 카메라 장치(232), 하중 측정 장치(234)는 노즐 N의 선단부측에 존재하는 공간에 배치되고, 이들을 하나의 이동 장치인 유닛 이동 장치(236)에 의해 이동시키도록 구성되어 있는 것이다.

제1 검사 장치(106)에 의한 선단부 상태 검사에서는, 도 15(a)에 나타내듯이, 검사 유닛(235)이 유닛 이동 장치(236)에 의해 카메라 장치(232)의 렌즈(239)가 검사하는 노즐 N의 바로 밑에 위치하는 위치로 이동시켜진다. 자세하게 말하면, 이 노즐 N의 흡착관(32)의 Z방향의 위치는 이 노즐 N의 고유 정보로부터 인식 가능하고, 렌즈(239)가 흡착관(32)의 선단으로부터 설정 거리만큼 떨어진 위치에 검사 유닛(235)이 위치시켜진다. 이 상태로 노즐 N의 선단부, 즉 흡착관(32)이 카메라 장치(232)에 의해 촬상된다.

도 15(a)에 나타내는 노즐 N은 흡착관(32)의 형상이 정상인 노즐 N이며, 이 노즐 N의 흡착관(32)의 카메라 장치(232)에 의한 촬영상은 도 15(b)에 나타내는 것으로 된다. 한편, 도 15(c)~(e)는, 각각 흡착관(32)의 “구부러짐”, “선단 이빠짐”, “선단 찌부러짐”이 있는 노즐 N을 나타내고 있고, 이들 노즐 N의 흡착관(32)의 촬영상은 도 5(f)~(g)에 나타내는 것으로 된다. 선단부 상태 검사에서는, 카메라 장치(232)에 의한 노즐 N의 촬상 데이터에 기초하여, 상기 “구부러짐”, “선단 이빠짐”, “선단 찌부러짐”이라고 하는 선단부 형상 이상이 노즐 N에 발생하고 있는지 아닌지가 확인되고, 또 도시는 생략하지만, 선단부에의 “이물질의 부착”, “오물의 부착”에 대해서도 확인된다. 선단부 형상 이상이 발생하고 있는 노즐 N, 및 선단부에 이물질이나 오물이 부착하고 있는 노즐 N은 불량 노즐이라고 판단된다. 또한, 후에 자세하게 설명하지만, 상술의 팔레트 NP에 고정되어 있는 기준 파이프(160)는 그것의 선단부가 몇 개의 노즐 N에 대해 선단부 상태에 대한 이상이 확인된 때마다 카메라 장치(232)에 의해 촬상되고, 이 기준 파이프(160)의 선단부의 촬상 데이터에 기초하여, 이 선단부 상태에 이상이 없는 것을 확인하고, 이 이상이 없는 것을 조건으로, 선단부 상태에 이상이 확인된 노즐 N이 불량 노즐로서 인정된다. 즉, 기준 대상으로 한 기준 파이프(160)는 제1 검사 장치(106)의 검정, 자세하게 말하면, 사후 검정에 이용되는 것이다.

한편, 제1 검사 장치(106)에 의한 후퇴 필요력 검사에서는, 도 16에 나타내듯이, 검사 유닛(235)이 유닛 이동 장치(236)에 의해 하중 측정 장치(234)의 로드 셀(242)의 중심이 검사하는 노즐 N의 바로 밑에 위치하는 위치로 이동시켜진다. 이 위치에 있어서 검사 유닛(235)이 이 노즐 N의 고유 정보에 기초한 설정 거리만큼 상승시켜진다. 자세하게 말하면, 노즐 N의 흡착관(32)이 동체통(30)에 대해 어느 정도의 거리만큼 후퇴하는 위치에까지 하중 측정 장치(234)가 상승시켜지는 것이다.

먼저 설명한 것처럼, 흡착관(32)은 스프링에 의해 동체통(30)으로부터 진출하는 방향으로 부세되어 있고, 하중 측정 장치(234)를 상승시킨 경우에, 흡착관(32)의 선단이 로드 셀(242)의 상면에 맞닿고, 이 상태에 있어서 로드 셀(242)은 스프링의 부세력에 상당하는 하중을 받게 된다. 로드 셀(242)은 이 하중을 측정한다. 스프링에 의한 부세력은 노즐 N의 고유 정보로부터 인식하는 것이 가능하고, 이 부세력을 넘은 하중을 로드 셀(242)이 검출한 경우, 흡착관(32)의 후퇴에 필요한 힘이 너무 크게 된다. 예를 들면, 이물질의 노즐 N 내의 혼입, 동체통(30)의 파손 등에 의해 흡착관(32)이 동체통(30)으로 끌어넣기 어려워지고, 이 경우에 후퇴 필요력이 과대하게 된다. 후퇴 필요력이 상기 고유 정보에 기초하여 설정된 역력(力)을 넘은 경우에, 후퇴 필요력이 과대하다고 인정되고, 이 노즐 N이 불량 노즐이라고 판단된다. 또한, 하나의 팔레트 NP에 재치되어 있는 노즐 N에 대해 후퇴 필요력 검사를 행하는 경우, 이 검사에 앞서 상술의 기준 노즐(158)에 대한 상기 하중을 측정하고, 이 측정된 하중에 기초하여, 로드 셀(242)의 교정, 즉 로드 셀(242)에 의해 측정되는 하중의 값이 실제의 값과 동일하게 되도록 하기 위한 조정을 하는 것이다. 즉, 기준 대상으로 한 기준 노즐(158)은 제1 검사 장치(106)에 의한 후퇴 필요력 검사의 준비 처리로서 행해지는 하중 측정 장치(234)의 교정, 바꾸어 말하면, 제1 검사 장치(106)의 교정에 이용되는 것이다.

또한, 제1 검사 장치(106)에 의한 상기 선단부 상태 검사 및 상기 후퇴 필요력 검사는 하나의 팔레트 NP에 재치되어 있는 모든 노즐 N에 대해 행해도 좋고, 일부의 노즐 N에 대해서만 행해도 좋다. 또, 이들 2개의 검사의 양방을 행해도 좋고, 어느 일방만을 행해도 좋다. 재치되어 있는 노즐 N의 검사가 종료한 후, 상기 검사 위치에 위치시켜져 있던 팔레트 NP는 제2 이송 장치(116)에 의해 수용 장치(100) 내에 있어서 상기 제1 검사 장치 대응 스테이션에 위치시켜진 캐리어(130)로 이송된다.

［G］ 제2 노즐 검사 장치

제2 노즐 검사 장치(108)는 제1 노즐 검사 장치(106)의 하방에 위치하고, 먼저 설명한 것처럼, 2개의 검사 항목의 검사, 구체적으로는 통과 유량 검사 및 식별자 독취 검사를 실행하는 장치이다. 도 9를 참조하면서 설명하면, 상술의 수용 장치(100) 내의 설정 위치, 즉 제2 검사 장치 대응 스테이션에 위치시켜진 팔레트 NP가 상술의 제3 팔레트 이송 장치(118)(구조에 대해서는 후술함)에 의해 검사 위치까지 이송된 후, 이 팔레트 NP에 재치되어 있는 노즐 N에 대한 통과 유량 검사 및 식별자 독취 검사가 제2 검사 장치(108)에 의해 함께 노즐 N의 상방으로부터 행해진다. 또한, 도에 나타내는 팔레트 NP의 위치가 상기 검사 위치이며, 제3 이송 장치(118)에는 이 검사 위치에 있어서 팔레트 NP를 고정하는 팔레트 고정 기구(도시를 생략)가 설치되어 있다. 덧붙여서 말하면, 도에서는 팔레트 NP에 재치되어 있는 노즐 N은 간소화를 위해 생략되어 있다.

제2 검사 장치(108)는 검사 헤드(270)와, 이 검사 헤드(270)를 팔레트 NP의 상방에 있어서 팔레트 NP의 상면에 평행한 일평면을 따라 이동시키는 헤드 이동 장치(272)를 포함하여 구성되어 있다. 검사 헤드(270)에는 에어(air) 송급(送給) 장치(274)와 식별자 독취기로서의 카메라(276)가 병설되어 있다. 에어 송급 장치(274)는 노즐 N의 기단부인 동체통(30)의 상단부에 접속되는 에어 조인트(air joint)(278)를 가지고, 이 에어 조인트(278)로부터 노즐 N에 압축 공기가 송급된다. 에어 조인트(278)의 상방에는 송급되는 압축 공기의 송급로의 공기압을 측정하는 공기압 센서(280)가 에어 조인트(278)와 일체적으로 설치되어 있다. 또, 에어 송급 장치(274)는 에어 조인트(278)를 승강시키는 조인트 승강 기구(282)를 가지고, 에어 조인트(278)는 이 조인트 승강 기구(282)에 의해 검사 헤드(270)에 대해 승강시켜진다. 헤드 이동 장치(272)는 제1 검사 장치(106)와 관련하여 설명한 한 쌍의 빔(244)에 지지된 가동 빔(284)과, 이 가동 빔(284)을 Y방향으로 이동시키는 벨트 구동식의 Y방향 이동 기구(286)와, 가동 빔(284)에 지지된 슬라이드(288)를 X방향으로 이동시키는 X방향 이동 기구(290)를 포함하여 구성되어 있다. 정리하여 말하면, 제2 검사 장치(108)에 의하면 통과 유량 검사, 식별자 독취 검사는 함께 노즐 N의 기단부측에서 행해지고, 각각의 검사를 행하기 위한 주요 구성 요소인 에어 송급 장치(274), 카메라(276)는 노즐 N의 기단부측에 존재하는 공간에 배치되고, 이들을 하나의 이동 장치인 헤드 이동 장치(272)에 의해 이동시키도록 구성되어 있는 것이다.

제2 검사 장치(108)에 의한 통과 유량 검사에서는, 검사 헤드(270)가 헤드 이동 장치(272)에 의해, 검사하는 노즐의 바로 위에 에어 조인트(278)가 위치하는 위치로 이동시켜진다. 이 상태로 에어 조인트(278)가 조인트 승강 기구(282)에 의해 이 노즐 N과 접속하도록 하강시켜진다. 도 17(a)에 나타내듯이, 에어 조인트(278)가 노즐 N에 접속된 상태로 에어 송급 장치(274)는 압축 공기를 노즐 N에 송급한다. 통상의 노즐 N은 그다지 저항이 없는 공기의 통과가 허용되어, 충분한 유량이 담보되어 있고, 공기압 센서(280)에 의해 측정되는 공기압은 비교적 낮은 값으로 된다. 한편, 예를 들면, 노즐 N에 “막힘”이 발생하고 있는 경우는, 노즐 N을 통과하는 공기에 대한 통과 저항이 커져 충분한 유량이 확보되지 않게 된다. 이 상황에서는 공기압 센서(280)에 의해 측정되는 공기압은 비교적 높은 값으로 된다. 이를 고려하여 통과 유량 검사에서는, 공기압 센서(280)에 의해 측정된 공기압이 역치(値) 압력보다 높아진 경우에, 이 노즐 N에 “막힘”이 발생하고 있다고 인정되고, 이 노즐 N이 불량 노즐이라고 판단된다. 즉, 이 통과 유량 검사에서는, 공기의 유량을 직접적으로 측정하는 대신에, 노즐 N의 기단부측의 압력을 측정함으로써 노즐 N의 “막힘”을 인정하고 있는 것이다. 또한, 공기압 센서(280)에 대신하여 유량계(유량 센서)를 설치하고, 통과하는 공기의 유량을 직접적으로 측정하고, 이 측정의 결과에 기초하여 “막힘”의 유무를 판단해도 좋다.

또한, 노즐 N에 송급되는 압축 공기는 상술의 구동원 유닛(124) 내에 설치되어 있는 압력(도시를 생략)으로부터 에어 송급 장치(274)에 공급되지만, 예를 들면, 이 압력의 출력압에 의존하여 공기압 센서(280)에 의해 측정되는 공기압이 변화한다. 즉, 제2 검사 장치(108)와 관련하는 환경 조건에 따라 이 공기압이 변화하게 되는 것이다. 이를 고려하면 이 환경 조건에 따라 상기 역치 압력을 설정하는 것이 바람직하다. 본 관리기(80)에서는 노즐 N의 통과 유량 검사에 앞서 팔레트 NP에 고정되어 있는 기준 파이프(160)에 에어 송급 장치(274)에 의해 압축 공기를 송급하고, 이 때에 공기압 센서(280)에 의해 측정되는 공기압을 기본으로 상기 역치 압력을 설정하도록 되어 있다. 즉, 기준 대상으로 한 기준 파이프(160)는 제2 검사 장치(108)에 의한 통과 유량 검사에 대한 준비 처리로서 행해지는 이 검사의 기준의 설정에 이용되어 있는 것이다.

제2 검사 장치(108)에 의한 식별자 독취 검사에서는, 검사 헤드(270)가 헤드 이동 장치(272)에 의해 검사하는 노즐 N의 플랜지(34)에 첨부된 식별자인 2D 코드(38)의 바로 위에 카메라(276)가 위치하는 위치로 이동시켜진다. 이 상태로 카메라(276)에 의해 이 2D 코드(38)가 촬상된다. 덧붙여서 말하면, 촬상에 의해 얻어진 화상은 도 17(b)와 같은 것이다. 식별자 독취 검사에서는, 이 촬상에 의해 얻어진 화상 데이터에 기초하여, 이 노즐 N의 ID가 인식되고, ID를 인식할 수 없는 경우에, 이 노즐 N이 불량 노즐이라고 판단된다. 카메라(276)의 부조(不調) 등에 의해서도 ID를 인식할 수 없는 경우가 있기 때문에, 본 관리기(80)에서는 노즐 N의 2D 코드(38)의 독취에 앞서 팔레트 NP에 고정되어 있는 기준 노즐(158)의 플랜지(34)에 첨부되어 있는 2D 코드(38)가 카메라(276)에 의해 촬상되고, 이 촬상에 의해 얻어진 화상 데이터에 기초하여, 제2 검사 장치(108)의 식별자 독취 기능이 충분한 것으로 확인되고, 이 기능이 충분한 것을 조건으로 노즐 N의 식별자 독취 검사를 한다. 즉, 기준 대상인 기준 노즐(158)은 제2 검사 장치(108)의 검정, 즉 사전 검정에 이용되는 것이다.

또한, 제2 검사 장치(108)에 의한 상기 통과 유량 검사 및 상기 식별자 독취 검사는 하나의 팔레트 NP에 재치되어 있는 모든 노즐 N에 대해 행해도 좋고, 일부의 노즐 N에 대해서만 행해도 좋다. 또, 이들 2개의 검사의 양방을 행해도 좋고, 어느 일방만을 행해도 좋다. 재치되어 있는 노즐 N의 검사가 종료한 후, 상기 검사 위치에 위치시켜져 있던 팔레트 NP는 제2 이송 장치(116)에 의해 수용 장치(100) 내에 있어서 상기 제2 검사 장치 대응 스테이션에 위치시켜진 캐리어(130)로 이송된다.

［H］ 노즐 세정 장치 및 노즐 건조 장치

노즐 세정 장치(110)는 제2 노즐 검사 장치(108)의 하방에 위치하고, 또 노즐 건조 장치(112)는 세정 장치(110)와 상술의 수용 장치(100) 사이에 위치하고 있다. 당해 관리기(80)에는 이들 세정 장치(110) 및 건조 장치(112)와 관련하여 하우징(300)이 설치되어 있다. 도 10은 하우징(300)의 존재하는 상태에 있어서 이들 세정 장치(110) 및 건조 장치(112)를 나타내고 있고, 도 11은 하우징(300)을 제거하여 이들 세정 장치(110) 및 건조 장치(112)를 나타내고 있다. 이들 도를 참조하면서 설명하면, 수용 장치(100) 내의 설정 위치, 즉 세정 장치 대응 스테이션에 위치시켜진 팔레트 NP가 상술의 제4 팔레트 이송 장치(120)(구조에 대해서는 후술함)에 의해 세정 위치까지 이송된 후, 이 위치에 있어서 이 팔레트 NP에 재치되어 있는 노즐 N에 대해 세정 장치(110)에 의한 세정이 행해진다. 그리고, 세정 후, 이 팔레트 NP가 제4 팔레트 이송 장치(120)에 의해 세정 장치 대응 스테이션에 이송되는 동안에, 이 팔레트 NP에 재치되어 세정이 종료한 노즐 N에 대해 건조 장치(112)에 의한 건조를 한다. 도에 나타내는 팔레트 NP의 위치가 상기 세정 위치이며, 제4 이송 장치(120)에는 이 검사 위치에 있어서 팔레트 NP를 고정하는 팔레트 고정 기구(도시를 생략)가 설치되어 있다. 덧붙여서 말하면, 도에서는 팔레트 NP에 재치되어 있는 노즐 N은 간소화를 위해 생략되어 있다.

세정 장치(110)는 노즐 N을 상방으로부터 세정하기 위한 상부 세정 유닛(302)과, 노즐 N을 하방으로부터 세정하기 위한 하부 세정 유닛(304)을 포함하여 구성되어 있고, 이들은 대략 동일한 구조의 것으로 되어 있다. 이들 유닛(302, 304)의 각각은 하우징(300)에 부설된 지지 프레임(306)과, 이 지지 프레임(306)에 지지된 분사 노즐(308)과, 이 분사 노즐(308)을 Y방향으로 이동시키는 Y방향 이동 기구(310)를 포함하여 구성되어 있다. 분사 노즐(308)은 팔레트 NP의 전체 폭에 걸쳐 X방향으로 뻗도록 배치된 가늘고 긴 직방체 형상의 것이며, 팔레트 NP와 서로 마주 보는 면에 다수의 분사 구멍(312)이 설치되어 있다. Y방향 이동 기구(310)는 이 분사 노즐(308)을 팔레트 NP의 전체 길이에 걸쳐 Y방향으로 이동시키도록 구성되어 있다. 이 분사 노즐(308)에는 상술의 구동원 유닛(124) 내에 설치된 고압 펌프(도시를 생략)에 의해 가압된 고압수가 공급되고, 이 고압수가 분사 구멍(312)으로부터 팔레트 NP에 재치된 노즐 N을 향해 분사된다.

건조 장치(112)는 하우징(300)의 상부 및 하부에 설치된 복수의 송풍관(314)을 포함하여 구성되어 있다. 이들 송풍관(314)에는 블로어(blower)(도시를 생략)로부터 구동원 유닛(124) 내에 설치된 가열기(도시를 생략)를 통해 온풍(열풍)이 이송된다. 복수의 송풍관(314)의 각각에는 복수의 방출 구멍이 설치되어 있고, 온풍은 이들 방출 구멍으로부터 팔레트 NP에 재치된 노즐 N을 향해 방출된다. 방출된 온풍에 의해 노즐 N이 건조시켜진다.

상술의 하우징(300)은 세정 장치(110)에 의해 분사되는 고압수 및 건조 장치(112)에 의해 방출되는 온풍이 다른 장치 등에 주는 악영향을 방지하기 위해서 설치된 것이다. 하우징(300)에는 전방측에 내부를 들여다보기 위한 투명한 창(316)이 설치되고, 또 후방측에 차폐판(318) 및 이 차폐판(318)을 팔레트 NP가 통과할 경우에만 열기 위한 차폐판 개폐 기구(320)가 설치되어 있다.

도 18에 나타내듯이, 상술의 세정 위치에 있어서 고정된 팔레트 NP에 재치되어 있는 노즐 N에 대해 세정 장치(110)에 의한 세정이 행해진다. 자세하게 말하면, 상부 세정 유닛(302)은 노즐 N의 상방으로부터, 즉 노즐 N의 기단측으로부터 고압의 물을 분사하여, 주로 동체통(30), 플랜지(34)의 상면 등을 세정한다. 한편, 하부 세정 유닛(304)은 노즐 N의 하방으로부터, 즉 노즐 N의 선단측으로부터 고압수를 분사하여, 주로 흡착관(32) 등을 세정한다. 높은 세정 효과를 얻기 위해 분사 노즐(308)은 바로 밑 혹은 바로 위에만이 아니라 여러 가지의 방향으로 고압수를 분사하도록 분사 구멍(312)의 방향이 조정되어 있다. 분사 노즐(308)은 비교적 폭이 좁은 것이고, 팔레트 NP 상에 X방향으로 늘어선 노즐 열 중의 일부밖에 고압수를 분사할 수가 없기 때문에, 분사 노즐(308)이 Y방향 이동 기구(310)에 의해 팔레트 NP의 Y방향에 있어서의 전체 길이에 걸쳐 이동시켜진다. 덧붙여서 말하면, 분사 노즐(308)은 두 유체의 노즐, 즉 압축 공기에 의해 물을 분산하여 분사하는 노즐은 아니고, 펌프에 의해 가압된 물을 이 물의 압력에 의해 직접 분사 구멍(312)으로부터 분사하도록 구성된 노즐이다. 이 때문에 세정 장치(110)는 세정 능력이 높은 것으로 되어 있다.

건조 장치(112)는 노즐 N의 세정이 종료해 검사 위치에 존재하는 팔레트 NP를 제4 이송 장치(120)가 세정 장치 대응 스테이션(130)으로 이송할 때에, 온풍을 이용한 에어 블로우(blow)에 의해 행해진다. 이 때문에 건조에 필요한 시간의 적어도 일부에 있어서 팔레트 NP를 수용 장치(100)로 반송할 수가 있어 세정, 건조라고 하는 일련의 작업에 있어서의 시간적 손실이 작은 것으로 되어 있다. 또한, 온풍은 비교적 빠른 속도의 바람이며, 이 온풍의 압력에 의해 노즐 N에 부착하고 있는 물방울이 날려 버려짐과 아울러, 이 온풍이 가지는 온도에 의해 노즐 N에 붙어 남아있는 수분이 건조시켜진다.

［I］ 팔레트 이송 장치

각각이 노즐 이송 장치인 제1~제4 팔레트 이송 장치(114~120)는, 먼저 설명한 것처럼, 수용 장치(100)와 대응하는 대 노즐 처치 실행 장치 사이에서 팔레트 NP를 이송하는 장치이다. 제1, 제2, 제3 이송 장치(114, 116, 118)는 대략 동일한 구조를 가지고 있고, 제4 이송 장치(120)는 약간 이들 제1, 제2, 제3 이송 장치(114, 116, 118)와는 다른 구조를 가지고 있다.

도 5~도 7을 참조하면서 설명하면, 제1, 제2, 제3 이송 장치(114, 116, 118)의 각각은 수용 장치(100)로부터 전방을 향해 연출하도록 설치된 한 쌍의 레일(330)을 가지고 있고, 팔레트 NP는 이 한 쌍의 레일(330)에 이들에 걸치도록 지지되고, 이들 한 쌍의 레일(330) 상을 슬라이딩한다. 또, 제1, 제2, 제3 이송 장치(114, 116, 118)의 각각은 수용 장치(100)의 캐리어(130)와 한 쌍의 레일(330)의 사이, 및 한 쌍의 레일(330) 상에 있어서 팔레트 NP를 이동시키는 이동 기구(332)를 구비하고 있다. 이동 기구(332)는 당해 관리기(80)의 우측에 전후로 뻗도록 하여 설치된 가이드(334)와, 이 가이드(334)에 지지된 반송 유닛(336)을 포함하여 구성되어 있다. 반송 유닛(336)은 가이드(334)에 지지된 상태에 있어서 이 가이드(334)를 따라 자주(自走)하는 구조의 것으로 되어 있다. 도시는 생략하지만, 반송 유닛(336)은 한 쌍의 레일(330)의 하방에 있어서 이들 한 쌍의 레일(330)의 중간까지 연출(延出)하는 연출부를 가지고 있고, 이 연출부의 선단에는 하방으로부터 팔레트 NP의 후단부를 파지하는 클램프가 설치되어 있다.

수용 장치(100)의 하나의 캐리어(130)가, 전술의 설정 위치, 즉 대 노즐 처치 실행 장치에 대응한 스테이션에 위치할 때에는, 한 쌍의 레일(330)과, 이 캐리어(130)의 한 쌍의 레일(170)이 서로 일치하고, 또 반송 유닛(336)은 그것의 연출부가 이 캐리어(130)의 하방을 통과하도록 하여, 가이드(334)의 후단에까지 이동하는 것이 가능하게 되어 있다. 반송 유닛(336)이 그 후단에 위치하는 상태로 상술의 클램프에 의해 캐리어(130)에 수용되어 있는 팔레트 NP의 후단부를 파지하고, 이 파지한 상태에 있어서 반송 유닛(336)이 가이드(334)의 전단까지 이동함으로써, 이 팔레트 NP는 상술한 설정 위치에까지 이송된다. 이송 후, 클램프에 의한 파지가 해제된다. 설정 위치에 위치하는 팔레트 NP를 캐리어(130)로 이송하는 경우는, 상기 동작의 역의 동작을 한다. 덧붙여서 말하면, 설정 위치는 먼저 설명한 이재 위치, 검사 위치, 세정 위치를 의미한다. 또한, 먼저 설명한 것처럼, 제1, 제2, 제3 이송 장치(114, 116, 118)의 각각은 설정 위치에 위치하는 팔레트 NP를 한 쌍의 레일에 고정하기 위한 상기 팔레트 고정 기구를 가지고 있다.

제4 이송 장치(120)는 가이드 및 반송 유닛의 구조에 있어서 제1, 제2, 제3 이송 장치(114, 116, 118)와 다르다. 자세한 설명은 생략하지만, 제4 이송 장치(120)는 먼저 설명한 것처럼, 하우징(300) 내에 있어서 팔레트 NP를 이송하기 위해 이 이송에 적절한 구조의 가이드(338) 및 반송 유닛(340)이 채용되어 있다. 당해 제4 이송 장치(120)의 이 외의 부분의 구조 및 동작에 대해서는, 제1, 제2, 제3 이송 장치(114, 116, 118)와 마찬가지이어서 설명을 생략한다. 또한, 도 5에 있어서 제1, 제2, 제3 이송 장치(114, 116, 118)의 각각은 반송 유닛(336)을 2개 가지고 있듯이 그려져 있지만, 반송 유닛(336)이 가이드의 전단에 위치하는 상태와 후단에 위치하는 상태의 양방을 편의적으로 나타내기 위한 것으로 실제로는 반송 유닛(336)은 하나밖에 가지고 있지 않다.

［J］ 노즐 관리기가 실시하는 오퍼레이션

상기 구성의 관리기(80)는 제어 장치인 콘트롤러(84)의 제어에 의해 여러 가지의 오퍼레이션을 행한다. 자세하게 말하면, 콘트롤러(84)가 여러 가지의 프로그램을 실행함으로써, 실행된 프로그램에 따른 오퍼레이션을 행한다. 또, 이들 오퍼레이션은 관리 정보, 즉 수용되어 있는 노즐 N 및 트레이 NT를 관리하는 중에서 작성 혹은 취득되는 이들 노즐 N 및 트레이 NT에 대한 정보에 기초하여 행해진다. 이하에 이 관리 정보를 예시하여 설명한 후, 관리기(80)가 행하는 몇 개의 오퍼레이션을 예시하고 이들을 순차 설명한다.

i) 관리 정보

콘트롤러(84)는 수용되어 있는 노즐 N에 대한 관리 정보로서 「수용 노즐 정보」를 기억하고 있다. 수용 노즐 정보는 도 19의 수용 노즐 정보 테이블로서 모식적으로 나타낼 수 있는 것이고, 간단하게 말하면, 어느 캐리어(130)에 수용되어 있는 어느 팔레트 NP의 어느 재치 구멍(144)에 어떤 노즐 N이 수용되어 있는지를 나타내는 정보이다. 바꾸어 말하면, 수용되어 있는 노즐 N의 고유 정보가 수용 장치(100)에 있어서의 수용 위치에 관련지어진 태양의 정보이다. 이하의 설명에서는 수용 노즐 정보는 상기 테이블의 형식에서 기억되어 있는 것으로서 취급하고, 이 테이블을 기본으로 수용 노즐 정보에 대해서 구체적으로 설명한다.

도에 나타내는 수용 노즐 정보 테이블에서는, 1행 1행이 하나의 팔레트 NP의 하나의 재치 구멍(144)에, 즉 수용되어 있는 노즐 N의 하나하나에 대응하고 있다. 또, 이 테이블의 각 열이 노즐 N에 관한 각종 정보에 대응하고 있다. 구체적으로 말하면, 〔캐리어 No〕는 노즐 N이 재치되어 있는 팔레트 NP가 수용되어 있는 캐리어(130)의 번호이며, “＃1”, “＃2”,··· 라고 하는 방식으로 수용 장치(100)가 가지는 캐리어(130)의 수까지의 번호가 기억된다. 〔팔레트 ID〕는 노즐 N이 재치되어 있는 팔레트 NP의 고유 정보로서의 이 팔레트 NP의 ID이다. 〔재치 구멍 No〕는 노즐 N이 재치되어 있는 재치부로서의 재치 구멍(144)의 번호이며, 도 12에 나타내는 작은 재치 구멍(144a)에 대응하여 “A01”~“A24”의 번호가 기억되고, 큰 재치 구멍(144b)에 대응하여 “B01”~“B15”의 번호가 기억된다. 덧붙여서 말하면, 〔캐리어 No〕, 〔팔레트 ID〕의 열에 있어서의 “↓”은 위의 행과 동일한 내용이 기억되어 있는 것을 편의적으로 나타내고 있다.

〔노즐 ID〕및 이보다 오른쪽의 열은 모두 노즐 N의 고유 정보이다. 하나씩 설명하면, 〔노즐 ID〕는 노즐 N의 ID이다. 〔노즐 ID〕가 “－”로 되어 있는 것은 노즐 N의 ID가 인식 불능인 것을 의미하고, “?”로 되어 있는 것은 노즐 N의 ID가 미인식인 것을 의미하고 있다. 〔노즐 형식〕은 노즐 N의 형식, 즉 종류를 나타내는 것이다. 구체적으로는 도 13에 나타내는 노즐 Na~Ne의 각각의 형식이 기억된다. “(····)”는, 노즐의 형식이 추정된 것을 의미한다. 〔세정〕은 노즐 N이 세정 장치(110)에 의한 세정이 이루어진 것인지 아닌지를 나타내고 있고, “◎”은 세정되어 있는 것을 나타내고, “●”은 아직도 세정되어 있지 않은 것을 나타내고 있다.

〔불량 요인〕은 노즐 N이 불량 노즐이라고 판단되어 있는 경우에 있어서, 이 불량의 요인, 즉 상술의 4개의 항목의 검사의 어느 것에 있어서 불량 노즐이라고 판단되었는지를 나타내고 있다. 4개의 항목의 검사의 어느 것에 있어서 불량 노즐이라고 판단된 경우, 〔식별자 독취〕, 〔통과 유량〕, 〔선단부 상태〕, 〔후퇴 필요력〕의 4개의 열 중의 불량 노즐이라고 판단된 항목의 것에 대응하는 열에 “×”가 기억된다. “○”은 각 항목의 검사에 있어서 불량 노즐이라고 판단되지 않았던 것을 의미하고, 각 열에 “○”도 “×”도 기억되어 있지 않은 경우에는 검사가 아직도 행해지지 않은 것을 의미한다.

또한, 〔노즐 ID〕~〔세정〕의 열에 아무런 기재도 되어 있지 않은 행은 이 행에 대응하는 재치 구멍(144), 즉 어느 캐리어(130)에 수용되어 있는 팔레트 NP의 이 재치 구멍(144)에 노즐 N이 재치되어 있지 않은 것을 나타내고 있다.

또, 콘트롤러(84)는 수용되어 있는 트레이 NT에 대한 관리 정보로서 「수용 트레이 정보」를 기억하고 있다. 수용 트레이 정보는 도 20의 수용 트레이 정보 테이블로서 모식적으로 나타낼 수 있는 것이고, 간단하게 말하면, 어느 캐리어(192)에 어떤 트레이 N이 수용되어 있는지를 나타내는 정보이다. 바꾸어 말하면, 수용 노즐 정보와 마찬가지로 수용되어 있는 트레이 NT의 고유 정보가 수용 장치(102)에 있어서의 수용 위치에 관련지어진 태양의 정보이다. 이하의 설명에서는 수용 노즐 정보와 마찬가지로 수용 트레이 정보는 상기 테이블의 형식에서 기억되어 있는 것으로서 취급하고, 이 테이블을 기본으로 수용 트레이 정보에 대해서 구체적으로 설명한다.

도에 나타내는 수용 트레이 정보 테이블에서는, 1행 1행이 수용 장치(102)의 하나의 캐리어(192), 즉 수용되어 있는 트레이 NT의 하나하나에 대응하고 있다. 또, 이 테이블의 각 열이 트레이 NT에 관한 각종 정보에 대응하고 있다. 구체적으로 말하면, 〔캐리어 No〕는 트레이 NT가 수용되어 있는 캐리어(192)의 번호이며, “＃1”, “＃2”,··· 라고 하는 방식으로 수용 장치(102)가 가지는 캐리어(192)의 수까지의 번호가 기억된다. 〔트레이 ID〕는 트레이 NT의 고유 정보의 하나로서의 이 트레이 NT의 ID이다. 〔트레이 형식〕은 트레이 NT의 형식, 즉 종류를 나타내는 것이다. 〔불량〕은 트레이 NT가 불량인지 아닌지를 나타내고 있고, “×”는 불량 트레이인 것을 의미한다. 〔SET 완료〕는 수용되어 있는 트레이 NT에 노즐 N이 세팅되어 있는지 아닌지를 나타내고 있고, “◎”은 트레이 NT에 노즐 N이 세팅되어 있는 것을 나타내고, 공백은 빈 트레이 NT인 것을 나타내고 있다. 덧붙여서 말하면, 〔트레이 ID〕, 〔트레이 형식〕의 열에 아무런 기재도 되어 있지 않은 행은 이 행에 대응하는 캐리어(192)에는 트레이 NT가 수용되어 있지 않은 것을 나타내고 있다.

또한, 콘트롤러(84)는 노즐 N의 트레이 NT에의 세팅에 관한 관리 정보로서 「노즐 세팅 정보」를 이용한다. 노즐 세팅 정보는 도 21의 노즐 세팅 정보 테이블로서 모식적으로 나타낼 수 있는 것이고, 간단하게 말하면, 어느 트레이 NT의 어느 재치 구멍(64)에 어떤 노즐 N이 재치되어 있는지를 나타내는 정보이다. 〔재치 구멍 No〕는 노즐 N이 재치되는 재치부로서의 재치 구멍(64)의 번호이며, 도에는 일례로서 도 3에 나타내는 트레이 NT에 관한 정보를 나타내고 있다. 구체적으로는 도 3에 나타내는 비교적 작은 재치 구멍(64)에 대응하여 “a1”~“a8”의 번호가 첨부되고, 비교적 큰 재치 구멍(64)에 대응하여 “b1”~“b4”의 번호가 첨부된다.

노즐 N의 팔레트 NT에의 세팅은 〔트레이 ID〕, 〔노즐 ID〕가 기재되지 않은, 즉〔트레이 형식〕 및 〔노즐 형식〕만이 나타나 있는 노즐 세팅 정보에 기초하여 개시되고, 세팅이 종료한 시점에서 〔트레이 ID〕, 〔노즐 ID〕가 첨부되게 된다.

상술한 관리 정보는 이하에 설명하는 당해 관리기(80)에 의한 몇 개의 오퍼레이션 중에서 갱신, 리셋 등이 이루어진다. 이하의 설명에서는 오퍼레이션에 관한 프로그램의 흐름도에 기초하여, 이들 오퍼레이션의 설명을 행하지만, 이 흐름도에서는 상기 갱신, 삭제, 추가 등에 관한 처리의 표기는 생략하고, 이들 처리의 설명은 흐름도의 각 스텝의 설명중에 행하는 것으로 한다.

ii) 노즐 수용 오퍼레이션

노즐 수용 오퍼레이션은 예를 들면 장착기에 있어서 사용된 노즐 N의 세정, 검사, 보관 등을 목적으로 하고, 트레이 NT에 재치된 노즐 N을 수용 장치(100)에 수용하기 위한 오퍼레이션이며, 이 오퍼레이션은 콘트롤러(84)가 도 22에 흐름도를 나타내는 노즐 수용 프로그램을 실행함으로써 행해진다. 당해 관리기(80)의 오퍼레이터가 노즐 N이 재치되어 있는 트레이 NT를 상술의 인출(82)을 열어 상술의 고정 스테이지(204) 또는 가동 스테이지(204)에 세팅한 후, 당해 오퍼레이션의 개시의 지령을 콘트롤러(84)의 조작 키(88)에 의해 입력함으로써, 당해 오퍼레이션이 개시된다. 또한, 고정 스테이지(202)에 트레이 NT가 세팅된 경우는, 노즐 N이 수용된 후에 트레이 NT를 남긴 채로 당해 오퍼레이션이 종료한다. 한편, 가동 스테이지(204)에 트레이 NT가 세팅된 경우는, 노즐 N이 수용된 후에 트레이 NT를 수용 장치(102)에 수용할지 안할지를 오퍼레이터의 조작 키(88)를 이용한 입력 조작에 기초하여 선택 가능하게 되어 있고, 이 선택에 따라 당해 오퍼레이션이 종료한다.

노즐 수용 프로그램에 따른 처리에서는, 스텝 1(이하, 스텝을 「S」라고 생략함)에 있어서, 트레이 NT가 고정되어 재치 구멍 열린 상태가 실현되어 있는 스테이지, 즉 트레이 NT가 세팅된 스테이지가 고정 스테이지(202)인지 가동 스테이지(204)인지가 특정된다. 이 다음에 S2에 있어서 특정된 스테이지의 상방으로 이재 헤드(210)가 이동시켜지고, 카메라(220)에 의해 트레이 NT에 첨부된 2D 코드(76)가 촬상되어 이 트레이 NT의 ID가 취득된다. 이어지는 S3에 있어서 취득된 트레이 NT의 ID에 기초하여, 이 트레이 NT의 형식이 특정된다. 덧붙여서 말하면, ID 정보 내에는 트레이 NT의 형식의 정보가 포함되어 있다. 콘트롤러(84)는 트레이 NT의 재치 구멍(64)의 수, 위치 등의 제원이 트레이의 형식에 관련지어진 데이터(이하, 「트레이 제원 데이터」라고 하는 경우가 있음)를 기억하고 있고, 형식의 특정 후, S4에 있어서 이 형식에 기초하여 파악된 트레이 NT의 제원에 따라, 트레이 NT에 재치되어 있는 각 노즐 N의 2D 코드(38)가 카메라(220)에 의해 촬상되어 각 노즐 N의 ID가 취득된다. 이어지는 S5에 있어서 취득된 ID에 기초하여, 각 노즐 N의 형식이 특정된다. 트레이 NT와 마찬가지로 노즐 N의 ID 정보 내에는 노즐 N의 형식의 정보가 포함되어 있다. 또한, 2D 마크(38)의 오물 등에 의해 노즐 NT의 ID를 취득할 수 없는 경우에는, 먼저 작성한 상술의 노즐 세팅 정보, 즉 이 ID의 트레이 NT에 노즐 N의 세팅을 행한 때의 노즐 세팅 정보가 이용되고, 이 정보에 기초하여 ID의 취득을 할 수 없는 노즐 N의 형식을 추정한다.

다음에, S6에 있어서 노즐 N의 수용 장치(100)에의 수용에 즈음하여 이들 노즐 N이 재치되는 하나의 팔레트 NP가 먼저 설명한 수용 노즐 정보에 기초하여, 수용 장치(100)가 가지는 복수의 팔레트 NP 중에서 선택된다. 이 선택에 대한 자세한 알고리즘의 설명은 생략하지만, S6에서는 빈 재치 구멍(144)이 존재하고 있는 것, 세정 종료한 노즐 N이 재치되어 있지 않은 것 등의 조건을 충족한 것 중에서 당해 관리기(80)에 의한 몇 개의 오퍼레이션을 가능한 한 효율적으로 행할 수 있다고 하는 관점에 기초하여, 하나의 팔레트 NP가 선택된다. 이어지는 S7에 있어서 팔레트 이동 장치(134) 및 제1 팔레트 이송 장치(114)가 작동시켜지고, 이 선택된 팔레트 NP가 상술의 이재 위치에 고정되어 재치 구멍 열린 상태가 실현된다. 즉, 이 팔레트 NP가 세팅되는 것이다.

팔레트 NP의 세팅 후, 노즐 N의 트레이 NT로부터 팔레트 NP에의 재치에 앞서, 불량 노즐에 대한 처치가 실행된다. 자세하게는 S8에 있어서 수용 노즐 정보에 기초하여, 세팅된 팔레트 NP에 불량 노즐이 존재하는지 아닌지가 확인되고, 불량 노즐이 존재하는 경우에는, S9에 있어서 수용 노즐 정보에 기초하여, 하나의 불량 노즐에 대한 상술의 불량 요인이 특정되고, S10에 있어서 이재 장치(104)에 의해 이 불량 노즐이 불량 박스(224)로 운반된다. 먼저 설명한 것처럼, 불량 박스(224)는 4개의 불량 요인에 대응하여 나누어진 4개의 공간(226)이 설치되어 있고, 불량 노즐의 운반 시에, 이 불량 노즐은 특정된 불량 요인에 대응하는 하나의 공간(226)에 유치된다. 그리고, 운반이 완료되었을 때에, 이 불량 노즐에 대한 정보가 수용 노즐 정보로부터 삭제된다. 또한, 하나의 불량 노즐에 대해 둘 이상의 불량 요인이 존재하는 경우도 생각할 수 있지만, 이 경우에는, 이 불량 노즐은 도 19에 나타내는 테이블에 있어서 가장 좌방의 열의 불량 요인에 대응하는 공간(226)에 유치된다. S8~S10의 처리는 세팅된 팔레트 NP에 불량 노즐이 존재하지 않을 때까지 반복 실행되고, 불량 노즐이 존재하지 않게 된 경우, 혹은 세팅된 당초부터 불량 노즐이 존재하지 않는 경우에, 다음의 S11이 실행된다.

S11에서는 세팅된 트레이 NT에 재치되어 있는 노즐 N 중에서 세팅된 팔레트 NP에 이재 가능한 하나의 노즐 N이 설정된 규칙에 따라 선택되고, S12에 있어서 이재 장치(104)에 의해, 이 선택된 노즐 N이 세팅된 팔레트 NP에 있어서 비어 있는 재치 구멍(144)의 하나에 이재된다. 즉, 상술의 수용 이재를 하는 것이다. 어느 재치 구멍(144)에 재치될지는 상술의 수용 노즐 정보, 재치되는 노즐 N의 크기 등에 기초하여, 설정된 규칙에 따라 결정된다. 이 하나의 노즐 N에 대한 수용 이재 시에, S4에 있어서 취득되어 있는 이 노즐 N에 대한 ID, 및 S5에 있어서 특정되어 있는 이 노즐에 대한 형식이 수용 노즐 정보로서 기억된다. 즉, 수용 노즐 정보의 갱신을 하는 것이다. 구체적으로는 도 19에 나타내는 테이블의 행 중의 하나, 즉 노즐 N이 재치된 재치 구멍(144)에 대응하는 행에 상기 ID, 상기 형식이 이 노즐 N이 미세정인 취지와 함께 기입되게 된다.

하나의 노즐 N에 대한 수용 이재 후, S13에 있어서 세팅된 트레이 NT에 재치되어 있던 모든 노즐 N의 수용 이재가 완료되었는지 아닌지가 판단된다. 모든 노즐 N의 수용 이재가 완료되어 있지 않는 경우는, S14에 있어서 세팅되어 있는 팔레트 NP에의 노즐 N의 이재를 계속할지 안할지가 판단된다. 노즐 N의 이 팔레트 NP에의 이재의 계속이 가능한 경우에는, S11로 되돌아와, 다음의 노즐 N의 이 팔레트 NP에의 이재를 한다. 예를 들면, 빈 재치 구멍(144)이 존재하지 않는 등의 이유로, S14에 있어서 이 팔레트 NP에의 이재의 계속을 할 수 없다고 판단된 경우에는, S15에 있어서 이 팔레트 NP가 제1 이송 장치(114)에 의해 수용 장치(100)로 반송되고, S6로 되돌아와 다음의 팔레트 NP가 선택된다. 이 팔레트 NP의 세팅, 이 팔레트 NP에 재치되어 있는 불량 노즐에 대한 처치가 실행된 후, 이 팔레트 NP에의 노즐 N의 수용 이재가 개시된다. S13에 있어서 세팅된 트레이 NT에 재치되어 있던 모든 노즐 N의 수용 이재가 완료되었다고 판단된 경우에는, S16에 있어서 세팅되어 있는 팔레트 NP가 제1 이송 장치(114)에 의해 수용 장치(100)로 반송된다.

모든 노즐 N의 수용 이재가 완료되고, 팔레트 NP가 반송된 후, S17에 있어서 비게 된 트레이 NT를 트레이 수용 장치(102)에 수용할지 안할지가 판단된다. 이 판단은 먼저 설명한 것처럼 트레이 NT가 고정 스테이지(202)와 가동 스테이지(204)의 어느 것에 세팅되어 있는지에 기초하여 행해진다. 트레이 NT가 수용 장치(102)에 수용된다고 판단된 경우에는, S18에 있어서 세팅되어 있는 빈 트레이 NT가 트레이 이송 장치(122)에 의해 수용 장치(102)에 수용되어 노즐 수용 오퍼레이션이 종료한다. 한편, S17에 있어서 빈 트레이 NT가 수용 장치(102)에 수용되지 않는다고 판단된 경우에는, 이 트레이 NT의 세팅의 해제가 행해지고, 노즐 수용 오퍼레이션이 종료한다. 또한, 노즐 NT의 수용 이재에 앞서, 트레이 NT에 첨부되어 있는 2D 코드(76)가 이재 장치(104)에 설치된 카메라(22)에 의해 촬상되고, 이 트레이 NT의 ID가 취득되어 있고, 트레이 NT의 수용 장치(102)에의 수용 시에는, 이 트레이 NT의 ID, 및 이 ID에 기초하여 특정된 이 트레이 NT의 형식이 수용되는 캐리어(192)에 관계지어져 상술의 수용 트레이 정보에 추가된다.

iii) 노즐 세팅 오퍼레이션

노즐 세팅 오퍼레이션은 장착기에 있어서의 노즐 N의 사용의 준비 등을 목적으로 하고, 필요한 노즐 N을 트레이 NT에 세팅하기 위한 오퍼레이션이며, 이 오퍼레이션은 도 23에 흐름도를 나타내는 노즐 세팅 프로그램을 콘트롤러(84)가 실행함으로써 행해진다. 또한, 노즐 세팅 오퍼레이션에서는, 노즐 N을 세팅하기 위한 스테이지를 고정 스테이지(202)와 가동 스테이지(204)의 어느 것으로 하는지, 수용 장치(102)에 수용되어 있는 트레이 NT와 당해 관리기(80)의 오퍼레이터가 세팅한 트레이 NT의 어느 것을 사용하는지, 세팅이 완료한 트레이 NT를 수용 장치(102)에 수용할지 안할지를 각각 선택할 수 있게 되어 있고, 이들 선택은 오퍼레이터에 의한 콘트롤러(84)의 조작 키(88)를 이용한 조작에 기초하여 행해진다.

노즐 세팅 프로그램에 따른 처리에서는, 우선, S21에 있어서 당해 관리기(80)에 송신 혹은 입력된 노즐 세팅 정보, 또는 이미 기억되어 있는 노즐 세팅 정보에 기초하여, 세팅에 제공되는 트레이 NT의 형식 및 각 노즐 N의 형식이 특정된다. 이 노즐 세팅 정보는 도 21에 나타내는 테이블에 있어서 〔트레이 ID〕 및 〔노즐 ID〕가 기입되어 있지 않은 정보라고 생각할 수가 있다.

다음에, S22에 있어서 세팅을 행하는 스테이지가 고정 스테이지(202)와 가동 스테이지(204)의 어느 것인지가 특정되고, S23에 있어서 이 특정된 스테이지가 가동 스테이지(204)라고 판단된 경우에는, S24에 있어서 수용 장치(102)에 수용되어 있는 트레이 NT를 사용할 것인지 아닌지가 판단된다. 수용 장치(102)에 수용되어 있는 트레이 NT를 사용한다고 판단된 경우에는, S25에 있어서 상기 노즐 세팅 정보 및 상술의 수용 트레이 정보에 기초하여, 하나의 트레이 NT가 선택되고, S26에 있어서 이 선택된 트레이 NT가 트레이 이송 장치(122)에 의해 재치 위치로 이송되고, 이 이재 위치에 있어서 세팅된다. 한편, S23에 있어서 오퍼레이터가 세팅한 트레이 NT를 사용한다고 판단된 경우, 혹은 S22에 있어서 가동 스테이지(202)로 세팅이 행해진다고 판단된 경우에는, 이미, 오퍼레이터에 의해 트레이 NT가 세팅되어 있으므로, 트레이 NT의 선택 및 세팅은 행해지지 않는다.

다음에, S27에 있어서 세팅된 트레이 NT가 양호한지 아닌지가 판단된다. 이재 장치(104)에 설치된 카메라(220)에 의해 세팅된 트레이 NT에 첨부되어 있는 2D 코드(76)가 촬상되어, 이 트레이 NT의 ID가 취득되지만, 이 때에 이 ID의 취득이 불가능한 경우에, 이 트레이 NT에 불편함이 있다고 판단된다. 또, 세팅된 트레이 NT는 재치 구멍 열린 상태를 실현하기 위하여 상술의 커버 슬라이딩 기구가 구동되지만, 이 때의 커버 슬라이딩 기구의 동작이 원활하지 않은 것 같은 경우에, 이 트레이 NT에 불편함이 있다고 판단된다.

당해 노즐 세팅 프로그램에 따르는 처리에서는, 세팅된 트레이 NT에 불편함이 발생하고 있는 경우에 이 트레이 NT를 양호한 트레이 NT로 교환하는 처리를 한다. 이 트레이 교환 처리에서는, 우선, 세팅된 트레이 NT에 불편함이 있다고 S27에 있어서 판단된 경우에는, S28에 있어서 이 트레이 NT가 고정 스테이지(202)와 가동 스테이지(204)의 어느 것에 세팅되어 있는지가 판단된다. 고정 스테이지(202)에 세팅되어 있다고 판단된 경우에는, 이 트레이 NT의 사용을 금지하기 위하여, 이 트레이 NT를 고정 스테이지(202)에 남긴 채로 S29에 있어서 스테이지의 변경 처리를 한다. 즉, 노즐 N의 세팅에 사용하는 스테이지를 고정 스테이지(202)로부터 가동 스테이지(204)로 변경하는 처리를 한다. 한편, 가동 스테이지(204)에 세팅되어 있다고 판단된 경우에는, S30에 있어서 이 트레이 NT가 이송 장치(122)에 의해 반송되어 수용 장치(102)에 수용된다. 이 때에 이 트레이 NT의 ID 및 형식이 이 트레이 NT가 불량 트레이인 사실과 아울러, 이 트레이 NT가 수용되는 캐리어(192)에 관계지어져 상술의 수용 트레이 정보에 추가, 혹은 이 수용 트레이 정보의 갱신을 한다. 스테이지의 변경 혹은 트레이 NT의 수용을 한 후, S25로 되돌아와, 다른 트레이 NT가 노즐 세팅 정보 및 수용 트레이 정보에 기초하여, 선택되고, S26에 있어서 이 선택된 다른 트레이 NT가 세팅된다. 세팅된 트레이 NT가 양호하다고 S27에 있어서 판단된 경우에는, 취득되어 있는 이 트레이 NT의 ID가 노즐 세팅 정보에 추가된다.

양호한 트레이 NT가 스테이지에 세팅되어 있는 상태에 있어서, S31에 있어서 세팅 정보 및 상술의 수용 노즐 정보에 기초하여, 세팅 이재에 제공되는 하나의 팔레트 NP가 노즐 세팅 정보 및 수용 노즐 정보에 기초하여, 수용 장치(100)가 가지는 복수의 팔레트 NP 중에서 하나 선택된다. 이 선택에 대한 자세한 알고리즘의 설명은 생략하지만, S31에서는 세팅 이재되는 노즐 N이 하나 이상 재치되어 있는 것, 재치되어 있는 모든 노즐 N에 대한 모든 항목의 검사가 종료하고 있는 것 등의 조건을 충족한 것 중에서 노즐 N의 세팅을 가능한 한 효율적으로 행할 수 있다고 하는 관점에 기초하여, 하나의 팔레트 NP가 선택된다. 그리고, 이어지는 S32에 있어서 이 선택된 팔레트 NP가 제1 이송 장치(114)에 의해 이송되어 상술의 이재 위치에 세팅된다.

팔레트 NP의 세팅 후, 노즐 N의 이 팔레트 NP로부터 트레이 NT에의 재치에 앞서, 먼저 설명한 노즐 수용 오퍼레이션과 같은 불량 노즐에 대한 처치가 S33~S35에 있어서 실행된다. 이 처치에 대한 상세에 대해서는 먼저 설명되어 있으므로 여기서의 설명은 생략한다. S34, S35가 실행되어 불량 노즐이 존재하지 않게 된 경우, 혹은 팔레트 NP가 세팅된 당초부터 이 팔레트에 불량 노즐이 존재하지 않는 경우에, 다음의 S36이 실행된다.

S36에서는 세팅된 팔레트 NP에 재치되어 있는 노즐 N 중에서 세팅된 트레이 NT에 재치 가능한 하나의 노즐이 수용 노즐 정보 및 노즐 세팅 정보에 기초하여 선택되고, 이어지는 S37에 있어서 이 선택된 노즐 N이 노즐 세팅 정보에 기초하여, 세팅된 트레이 NT의 특정의 재치 구멍(64)에 이재된다. 즉, 상술의 세팅 이재를 하는 것이다. 이 세팅 이재 시에, 이재되는 노즐 N에 대한 정보가 수용 노즐 정보로부터 삭제됨과 아울러, 이 노즐 N의 ID가 노즐 세팅 정보에 추가된다. 또한, 이 세팅 이재에 있어서, 이재 장치(104)에 설치된 카메라(220)에 의해 이재되는 노즐 N의 ID를 취득하고, 이 취득한 ID와 수용 노즐 정보로서 기억되어 있는 ID에 상위가 없는 것을 확인하는 처리를 행하여도 좋고, 또 이 확인하는 처리를 행하지 않고 취득된 ID를 그대로 노즐 세팅 정보에 추가하도록 해도 좋다.

하나의 노즐 N에 대한 세팅 이재 후, S38에 있어서 예정되어 있는 모든 노즐 N의 세팅 이재가 완료되었는지 아닌지가 판단된다. 모든 노즐 N의 세팅 이재가 완료되어 있지 않는 경우는, S39에 있어서 세팅되어 있는 팔레트 NP로부터의 노즐 N의 이재를 계속할지 안할지가 판단된다. 노즐 N의 이 팔레트 NP로부터의 이재의 계속이 가능한 경우에는, S36로 되돌아와, 다음의 노즐 N의 이 팔레트 NP로부터 다음의 트레이 NT에의 이재를 한다. 예를 들면, 이재할 수 있는 노즐 N이 이 팔레트 NP에 존재하지 않는 등의 이유로, S39에 있어서 이 팔레트 NP로부터의 이재의 계속을 할 수 없다고 판단된 경우에는, S40에 있어서 이 팔레트 NP가 제1 이송 장치(114)에 의해 수용 장치(100)로 반송되고, S31로 되돌아와 다음의 팔레트 NP가 선택된다. 이 팔레트 NP의 세팅, 이 팔레트 NP에 재치되어 있는 불량 노즐에 대한 처치가 실행된 후, 이 팔레트 NP로부터의 노즐 N의 세팅 이재가 개시된다. S39에 있어서 예정되고 있었던 모든 노즐 N의 세팅 이재가 완료되었다고 판단된 경우에는, S41에 있어서 세팅되어 있는 팔레트 NP가 제1 이송 장치(114)에 의해 수용 장치(100)로 반송된다.

모든 노즐 N의 세팅 이재가 완료되고, 팔레트 NP가 반송된 후, S42에 있어서 노즐 N이 세팅되어 있는 트레이 NT를 트레이 수용 장치(102)에 수용할지 안할지가 판단된다. 이 트레이 NT를 수용 장치(102)에 수용한다고 판단된 경우에는, S43에 있어서 세팅되어 있던 트레이 NT가 트레이 이송 장치(122)에 의해 수용 장치(102)에 수용되어 노즐 수용 오퍼레이션이 종료한다. 한편, S42에 있어서 이 트레이 NT가 수용 장치(102)에 수용되지 않는다고 판단된 경우에는, 이 트레이 NT의 세팅의 해제가 행해지고, 이 트레이 NT를 고정 스테이지(102) 혹은 가동 스테이지(204)에 남긴 채로 노즐 수용 오퍼레이션이 종료한다. 또한, 노즐 NT의 세팅 이재에 앞서, 트레이 NT에 첨부되어 있는 2D 코드(76)가 이재 장치(104)에 설치된 카메라(22)에 의해 촬상되고, 이 트레이 NT의 ID가 취득되어 있고, 트레이 NT의 수용 장치(102)에의 수용 시에는, 이 트레이 NT의 ID가 이 트레이 NT가 노즐 N의 세팅이 끝난 트레이 NT인 사실과 아울러, 수용되는 캐리어(192)에 관계지어져 상술의 수용 트레이 정보에 추가된다. 한편, 가동 스테이지(204)에 세팅의 완료한 트레이 NT를 남긴 채로 당해 오퍼레이션이 종료하는 경우에는, 수용 트레이 정보 내에 포함되는 이 트레이 NT에 대한 정보가 삭제된다.

iv) 노즐 재세팅 오퍼레이션

노즐 재세팅 오퍼레이션은 이미 노즐 N이 세팅되어 있는 트레이 NT를 스테이지에 세팅함으로써, 이들 노즐 N에 대신하여 이들 노즐 N과 형식을 같이 하는 다른 노즐 N을 재치시키는 오퍼레이션이다. 바꾸어 말하면, 세팅이 끝난 트레이 NT를 기본으로 노즐 세팅 정보를 작성하고, 이 정보에 기초하여, 노즐을 교환하는 오퍼레이션이다. 노즐 세팅 오퍼레이션은 콘트롤러(84)가 도 24 및 도 25에 흐름도를 나타내는 노즐 재세팅 프로그램을 실행함으로써 행해진다. 또한, 노즐 세팅 오퍼레이션에서는, 노즐 N을 세팅하기 위한 스테이지를 고정 스테이지(202)와 가동 스테이지(204)의 어느 것으로 하는지, 재세팅이 완료한 트레이 NT를 수용 장치(102)에 수용할지 안할지를 각각 선택할 수 있게 되어 있고, 이들 선택은 오퍼레이터에 의한 콘트롤러(84)의 조작 키(88)를 이용한 조작에 기초하여 행해진다.

노즐 재세팅 오퍼레이션에서는, 간단하게 말하면, 전반(前半)에 노즐 수용 오퍼레이션을 한다. 구체적으로는 도 24에 흐름도를 나타내는 노즐 재세팅 프로그램의 전반 부분에 따른 처리에 의해 세팅된 트레이 NT에 재치되어 있던 노즐 N이 수용 장치(100)에 수용된다. 당해 프로그램의 S51~S66에 있어서 행해지는 처리는 전술의 노즐 수용 프로그램의 S1~S16에 있어서 행해지는 처리와 대략 동일하므로, 이들 처리의 설명에 대해서는 생략하지만, S53, S55에 있어서 특정된 트레이 NT의 형식 및 노즐 N의 형식에 기초하여, 노즐 세팅 정보가 작성된다. 또한, 이 노즐 재세팅 오퍼레이션에서도, S58~S60에 있어서 불량 노즐에 대한 처치가 실행된다.

트레이 NT에 재치되어 있던 노즐 NT가 수용 장치(100)에 수용된 후, 도 25에 흐름도를 나타내는 노즐 재세팅 프로그램의 후반 부분에 따른 처리에 의해, 수용 장치(100)에 수용되어 있는 다른 노즐 N이 원칙적으로 지금까지 노즐 N이 재치되어 있던 트레이 NT에 세팅된다. 당해 프로그램의 S67로부터 개시되고 S85에 이르는 흐름에 있어서 행해지는 처리는 전술의 노즐 세팅 프로그램의 S27로부터 개시되고 S43에 이르는 흐름에 있어서 행해지는 처리와 대략 동일하므로, 이들 처리의 설명은 생략한다. 또한, 이 노즐 재세팅 오퍼레이션에서는, S75~S77에 있어서도 불량 노즐에 대한 처치가 실행되고, 또, 당해 오퍼레이션에서도, S67~S72에 있어서도 트레이 NT를 교환하기 위한 전술의 처리가 실행된다.

v) 노즐 세정 오퍼레이션

노즐 세정 오퍼레이션은 수용 장치(100) 내의 하나의 팔레트 NP에 재치되어 있는 노즐 N을 이 팔레트 NP마다 세정하고, 건조시키는 오퍼레이션이다. 노즐 N의 세정 및 건조의 상세에 대해서는 먼저 설명되어 있기 때문에, 여기에서는 당해 오퍼레이션의 흐름을 중심으로 설명한다. 덧붙여서 말하면, 이 오퍼레이션 및 후에 설명하는 제1, 제2 검사 오퍼레이션의 3개의 오퍼레이션은 모두 본 실시예에서 설명하는 다른 오퍼레이션의 어느 것에 대해서도 독립하여 실행된다. 즉, 다른 오퍼레이션이 실행 중인지 아닌지에 관계없이 다른 오퍼레이션의 대상으로 되어 있는 팔레트 NP 이외의 팔레트 NP에 재치되어 있는 노즐 N에 대해 설정된 조건을 만족하는 한 3개의 오퍼레이션의 어느 것도 실행할 수가 있는 것이다.

노즐 세정 오퍼레이션은 도 26에 흐름도를 나타내는 노즐 세정 프로그램이 실행됨으로써 행해진다. 이 프로그램에 따르는 처리에서는, 우선, S101에 있어서 당해 오퍼레이션의 대상으로 되는 팔레트 NP가 특정된다. 구체적으로는 세정되어 있지 않은 노즐 N이 설정수 이상 재치되어 있는 것 등의 조건을 만족하는 팔레트 NP 중의 하나가, 당해 오퍼레이션 및 다른 오퍼레이션의 효율이 고려되어, 대상 팔레트로서 결정된다. 이어지는 S102에 있어서 이 팔레트 NP가 제4 팔레트 이송 장치(118)에 의해 상술의 세정 위치까지 이송된다. 그리고, S103에 있어서 이 위치에 위치한 상태로 이 팔레트 NP에 재치된 노즐 N이 이 팔레트 NP마다 노즐 세정 장치(110)에 의해 세정된다.

세정 장치(110)에 의한 세정 종료 후, S104에 있어서 제4 팔레트 이송 장치(118)에 의한 이 팔레트 NP의 반송의 속도가 결정된다. 먼저 설명한 것처럼, 제4 이송 장치(118)에 의한 팔레트 NP의 반송의 한중간에 이 팔레트 NP에 재치된 노즐 N의 건조가 행해진다. 이 때문에 S104에서는 충분히 건조시키는데 필요한 시간을 확보하기 위하여, 환경 온도, 온풍의 온도 등에 기초하여, 반송의 속도가 결정된다. 이 결정 후, S105에 있어서 이 결정된 반송 속도에서의 팔레트 NP의 반송을 하면서, 이 팔레트 NP에 재치되어 있는 노즐 N이 팔레트 NP마다 노즐 건조 장치(112)에 의해 건조시켜진다. 또한, 건조가 종료한 후, 세정된 노즐 N에 대해 상술의 수용 노즐 정보가 갱신된다. 구체적으로는 도 19에 나타내는 테이블에 있어서, 이 팔레트 NP에 재치되어 있는 노즐 N의 모두에 관해서, 세정 종료인 것을 나타내는 기호인 “◎”이 첨부됨과 아울러, 모든 검사가 종료하고 있지 않는 상태로서 취급하는 취지의 갱신이 이루어진다.

vi) 제1 노즐 검사 오퍼레이션

제1 노즐 검사 오퍼레이션은 수용 장치(100) 내의 하나의 팔레트 NP에 재치되어 있는 노즐 N에 대해 제1 검사 장치(106)에 의한 선단부 상태 검사 및 후퇴 필요력 검사를 행하는 오퍼레이션이며, 도 27에 흐름도를 나타내는 제1 노즐 검사 프로그램이 실행됨으로써 행해진다. 또한 선단부 상태 검사 및 후퇴 필요력 검사에 대한 자세한 것은 먼저 설명되어 있으므로, 여기에서는 당해 오퍼레이션의 흐름을 중심으로 설명한다.

제1 노즐 검사 프로그램에 따르는 처리에서는, 우선, S111에 있어서 당해 오퍼레이션의 대상으로 되는 팔레트 NP가 특정된다. 구체적으로는 재치되어 있는 노즐 N의 모든 세정이 종료하고 있는 것 등의 조건을 만족하는 팔레트 NP 중의 하나가, 당해 오퍼레이션 및 다른 오퍼레이션의 효율이 고려되어, 대상 팔레트로서 결정된다. 대상 팔레트가 결정된 후, S112에 있어서 이 팔레트 NP가 제2 팔레트 이송 장치(116)에 의해 검사 위치로 이송된다.

검사 위치로 이송된 팔레트 NP에 재치된 노즐 N의 각각에 대해 선단부 상태 검사가 후퇴 필요력 검사에 우선하여 행해진다. 이 선단부 상태 검사는 노즐 N의 하나하나에 대해 순차적으로 행해진다. 우선, S113에 있어서 하나의 노즐 N에 대한 선단부 상태 검사가 행해진다. 자세하게 말하면, 먼저 설명한 것처럼, 유닛 이동 장치(236)에 의해 카메라 장치(232)의 렌즈(239)가 검사하는 하나의 노즐 N의 바로 밑에 위치하는 위치로 이동시켜지고, 이 노즐 N의 선단부가 카메라 장치(232)에 의해 촬상되고, 그리고 이 촬상에 의해 얻어진 촬상 데이터를 기본으로 선단부 상태가 이상인지 아닌지가 확인된다. 구체적으로는 “구부러짐”, “선단 이빠짐”, “선단 찌부러짐”이라고 하는 선단부 형상 이상이나, “이물질이나 오물의 부착”이 노즐 N에 발생하고 있는지 아닌지가 확인된다. 이 확인의 결과를 기본으로, S114에 있어서 판정을 행하고, 선단부 상태가 이상하다고 인식되어 있는 경우, S115에 있어서 팔레트 NP에 고정되어 있는 전술의 기준 파이프(160)에 대한 선단부 상태 검사가 행해진다. 자세하게 말하면, 카메라 장치(232)에 의해 기준 파이프(160)의 선단부가 촬상되고, 이 촬상에 의해 얻어진 선단부의 촬상 데이터에 따라, 기준 파이프(160)의 선단부 상태에 이상이 있는지 아닌지가 확인된다. 이 확인의 결과, S116에 있어서 판정을 행하고, 기준 파이프(160)의 선단부 상태가 정상인 경우에, S117에 있어서 이 노즐 N이 불량 노즐이라고 판단된다. 한편, 기준 파이프(160)의 선단부 상태가 이상인 경우에는, S118에 있어서 제1 검사 장치(106)의 당해 검사에 관한 기능에 이상이 있다고 인정되고, 이 취지가 디스플레이(86)에 표시됨과 아울러, 이 노즐 N에 대한 선단부 상태의 이상에 관한 판단을 행하지 않고, 또한 다른 노즐 N에 대한 이후의 선단부 상태 검사를 건너뛴다. S114에 있어서 선단부 상태가 정상이다고 확인된 경우, 혹은 S117에 있어서 불량 노즐이라고 판단된 경우에는, S119의 처리에 의해 팔레트 NP에 재치된 모든 노즐 N에 대한 선단부 상태 검사가 완료할 때까지, S113 이후의 처리가 반복된다.

상기 일련의 처리의 결과, 선단부 상태에 있어서 노즐 N이 정상이다고 판단된 경우에는, 도 19에 나타내는 수용 노즐 정보에 있어서의 이 노즐 N의 〔선단부 상태〕의 열에 “○”이 첨부되고, 선단부 상태에 관해서 불량 노즐이라고 판단된 경우에는, 이 열에 “×”이 첨부된다. 제1 검사 장치(106)의 당해 검사에 관한 기능에 이상이 있다고 인정된 경우에는, 당해 팔레트 P에 재치되어 있는 모든 노즐 N의 〔선단부 상태〕의 열이 공백으로 된다. 즉, 이 팔레트 NP에 재치되어 있는 노즐 N에 대한 선단부 상태 검사가 행해지지 않은 것으로서 다루어지는 것이다.

선단부 상태 검사의 후, 후퇴 필요력 검사가 팔레트 NP에 재치되어 있는 노즐 N의 하나하나에 대해 순차적으로 행해진다. 당해 프로그램에 따르는 처리에서는, 각 노즐 N의 후퇴 필요력 검사에 앞서, S120에 있어서 팔레트 NP에 고정되어 있는 상술의 기준 노즐(158)에 대한 후퇴 필요력이 측정된다. 즉, 기준 노즐(158)의 흡착관(32)을 후퇴시킬 때에, 하중 측정 장치(234)가 가지는 로드 셀(242)이 받는 하중을 측정한다. 이 다음에 S121에 있어서 이 측정 결과를 기본으로 로드 셀(242)에 의해 측정되는 하중의 값이 실제의 값과 동일하게 되도록 하기 위해서, 하중 측정 장치(234)의 조정(예를 들면, 유닛 이동 장치(236)에 의한 하중 측정 장치(234)의 상승 거리의 설정 등)을 한다.

하중 측정 장치(234)의 상기 조정 후, 우선, S122에 있어서 하나의 노즐 N에 대한 후퇴 필요력 검사가 행해진다. 자세하게 설명하면, 측정을 행하는 노즐 N의 하방에 로드 셀(242)을 위치시킨 후, 하중 측정 장치(234)를 설정 거리만큼 상승시키고, 이 때의 로드 셀(242)이 받는 하중을 측정한다. 그리고, 이 하중이 당해 노즐 N에 있어서 설정된 역력(力)을 넘은 경우에, 이 노즐 N의 후퇴 필요력이 과대하다고 인정된다. 이 인정의 결과를 기본으로, S123에 있어서 판정을 행하고, 후퇴 필요력이 과대한 경우에, S124에 있어서 이 노즐 N이 불량 노즐이라고 판단된다. 그리고, S125의 처리에 의해 팔레트 NP에 재치된 모든 노즐 N에 대한 후퇴 필요력 검사가 완료할 때까지, S122 이후의 처리가 반복된다.

상기 일련의 처리의 결과, 노즐 N의 후퇴 필요력이 정상이다고 판단된 경우에는, 도 19에 나타내는 수용 노즐 정보에 있어서의 이 노즐 N의 〔후퇴 필요력〕의 열에 “○”이 첨부되고, 후퇴 필요력에 관해서 불량 노즐이라고 판단된 경우에는, 이 열에 “×”이 첨부된다. 팔레트 NP에 재치되어 있는 모든 노즐 N의 후퇴 필요력 검사가 종료한 후, S126에 있어서 이 팔레트 NP가 제2 이송 장치(116)에 의해 수용 장치(100)로 반송된다.

vii) 제2 노즐 검사 오퍼레이션

제2 노즐 검사 오퍼레이션은 수용 장치(100) 내의 하나의 팔레트 NP에 재치되어 있는 노즐 N에 대해 제2 검사 장치(108)에 의한 식별자 독취 검사 및 통과 유량 검사를 행하는 오퍼레이션이며, 도 28에 흐름도를 나타내는 제2 노즐 검사 프로그램이 실행됨으로써 행해진다. 또한 식별자 독취 검사 및 통과 유량 검사에 대한 자세한 것은 먼저 설명되어 있으므로, 여기에서는 당해 오퍼레이션의 흐름을 중심으로 설명한다.

제2 노즐 검사 프로그램에 따르는 처리에서는, 우선, S131에 있어서 당해 오퍼레이션의 대상으로 되는 팔레트 NP가 특정된다. 구체적으로는 재치되어 있는 노즐 N의 모든 세정이 종료하고 있는 것 등의 조건을 만족하는 팔레트 NP 중의 하나가, 당해 오퍼레이션 및 다른 오퍼레이션의 효율이 고려되어, 대상 팔레트로서 결정된다. 대상 팔레트가 결정된 후, S132에 있어서 이 팔레트 NP가 제3 팔레트 이송 장치(118)에 의해 검사 위치로 이송된다.

검사 위치로 이송된 팔레트 NP에 재치된 노즐 N의 각각에 대해 식별자 독취 검사가 통과 유량 검사에 우선하여 행해진다. 이 식별자 독취 검사는 제2 검사 장치(108)가 구비하는 카메라(276)에 의해 노즐 N의 하나하나에 대해 순차적으로 행해지지만, 각 노즐 N의 검사에 앞서, S133에 있어서 우선, 팔레트 NP에 고정된 기준 노즐(158)의 플랜지(34)에 첨부되어 있는 2D 코드(38)가 카메라(276)에 의해 촬상되고, 이 촬상에 의해 얻어진 화상 데이터에 기초하여, 제2 검사 장치(100)의 식별자 독취 검사에 관한 기능이 충분한 것이 확인된다. 그리고 이 확인의 결과를 기본으로, S134에 있어서 판정을 행하고, 이 기능이 충분한 것을 조건으로, S135 이하에 있어서 각 노즐 N에 대한 당해 식별자 독취 검사가 실행된다. 덧붙여서 말하면, S134의 판정에 있어서 식별자 독취 검사에 관한 기능이 불충분하다고 하는 것이 확인된 경우에는, 이 취지가 디스플레이(86)에 표시됨과 아울러, 팔레트 NP에 재치된 노즐 N의 각각에 대한 식별자 독취 검사는 실행되지 않는다.

S135에 있어서의 하나의 노즐 N의 식별자 독취 검사는, 우선, 검사 헤드(270)가 헤드 이동 장치(272)에 의해 이 노즐 N의 플랜지(34)에 첨부된 2D 코드(38)의 바로 위에 카메라(276)가 위치하는 위치로 이동시켜지고, 이 상태로 카메라(276)에 의해 이 2D 코드(38)가 촬상된다. 그리고, 이 촬상에 의해 얻어진 화상 데이터에 기초하여, 이 노즐 N의 ID가 충분히 인식 가능한가 아닌가가 확인된다. 이 확인의 결과를 기본으로, S136에 있어서 판정을 행하고, 촬상된 2D 코드(38)로부터는 ID가 충분하게 독취할 수 없는 경우, 즉 2D 코드(38)의 독취가 곤란한 경우에는, S137에 있어서 이 노즐 N이 불량 노즐이라고 판단된다. 그리고, S138의 처리에 의해 팔레트 NP에 재치된 모든 노즐 N에 대한 식별자 독취 검사가 완료할 때까지, S135 이후의 처리가 반복된다.

상기 일련의 처리의 결과, 2D 코드(38)의 독취를 충분히 할 수 있는 경우, 즉 식별자 독취에 관해서 노즐 N이 정상인 경우에는, 도 19에 나타내는 수용 노즐 정보에 있어서의 이 노즐 N의 〔식별자 독취〕의 열에 “○”이 첨부되고, 식별자 독취에 관해서 불량 노즐이라고 판단된 경우에는, 이 열에 “×”이 첨부된다. 제2 검사 장치(108)의 당해 검사에 관한 기능이 불충분하다고 인정되어 각 노즐 N에 대한 식별자 독취 검사가 행해지지 않은 경우에는, 이 사실을 수용 노즐 정보에 반영시킬 수 있도록 당해 팔레트 P에 재치되어 있는 모든 노즐 N의 〔식별자 독취〕의 열이 공백으로 된다. 또한, 노즐 N의 수용 이재에 있어서 2D 코드(38)의 독취가 되지 않고, 〔노즐 ID〕의 열에 “?”가 첨부되고, 〔노즐 형식〕의 열에 “(····)”가 첨부되어 있는 노즐 N의 ID가 식별자 독취 검사에 의해 충분히 인식 가능하다고 판단된 경우에는, 이 검사에 있어서 독취된 ID가 〔노즐 ID〕의 열에 기입되고, 이 ID에 기초하여 특정되는 노즐 형식이 〔노즐 형식〕의 열에 기입된다.

식별자 독취 검사의 후, 통과 유량 검사가 팔레트 NP에 재치되어 있는 노즐 N의 하나하나에 대해 순차적으로 행해지지만, 당해 프로그램에 따르는 처리에서는, 각 노즐 N의 통과 유량 검사에 앞서, S139에 있어서 팔레트 NP에 고정되어 있는 상술의 기준 파이프(160)에 에어 송급 장치(274)에 의해 압축 공기를 공급하고, 이 상태에 있어서 공기압 센서(280)에 의한 공기압의 측정을 한다. 이 다음에 S140에 있어서 측정된 공기압에 기초하여, 노즐 N의 통과 유량 검사 시에 참조되는 상기 역치 압력이 설정된다.

역치 압력의 설정의 후, 우선, S141에 있어서 하나의 노즐 N에 대한 통과 유량 검사가 실행된다. 자세하게 설명하면, 검사를 행하는 노즐 N에 에어 송급 장치(274)에 의해 압축 공기를 공급하고, 이 상태에 있어서 공기압 센서(280)에 의한 공기압의 측정을 한다. 그리고, 이 측정된 공기압이 상기 설정된 역치 압력보다 높은 경우에, 이 노즐 N의 공기의 통과 유량이 불충분하다고 인정된다. 이 인정의 결과를 기본으로, S142에 있어서 판정을 행하고, 통과 유량이 불충분한 경우에, S143에 있어서 이 노즐 N이 불량 노즐이라고 판단된다. 그리고, S144의 처리에 의해 팔레트 NP에 재치된 모든 노즐 N에 대한 통과 유량 검사가 완료할 때까지, S141 이후의 처리가 반복된다.

상기 일련의 처리의 결과, 노즐 N의 통과 유량이 정상이다고 판단된 경우에는, 도 19에 나타내는 수용 노즐 정보에 있어서의 이 노즐 N의 〔통과 유량〕의 열에 “○”이 첨부되고, 통과 유량에 관해서 불량 노즐이라고 판단된 경우에는, 이 열에 “×”이 첨부된다. 팔레트 NP에 재치되어 있는 모든 노즐 N의 통과 유량 검사가 종료한 후, S145에 있어서 이 팔레트 NP가 제3 이송 장치(118)에 의해 수용 장치(100)로 반송된다.

［K］ 제어 장치의 기능 구성

먼저 말한 것처럼, 실시예의 관리기(80)의 제어는 제어 장치인 콘트롤러(84)가 담당하고 있다. 자세하게 말하면, 도 29에 나타내듯이, 노즐 수용 장치(100)~트레이 이송 장치(122)의 각각의 동작은 이들과의 사이에 신호, 정보를 교환하면서, 콘트롤러(84)에 의해 제어된다. 그리고, 콘트롤러(84)의 제어 하에서 관리기(80)는 상술한 각종의 오퍼레이션을 행한다. 이 오퍼레이션을 감안하여, 콘트롤러(84)는 도 29에 나타내는 복수의 기능부, 즉 각종의 프로그램의 실행에 의해 실현되는 복수의 기능부를 가지고 있다고 생각할 수가 있다.

복수의 기능부의 각각에 대해 자세하게 설명하면, 콘트롤러(84)는 각각이 노즐 N에 관계하는 관리 정보인 상술의 수용 노즐 정보, 노즐 세팅 정보, 수용 트레이 정보를 기억하는 기능부로서 노즐 정보 기억부(400)를 가지고 있다. 구체적으로는 콘트롤러(84)의 주요 구성 요소인 컴퓨터가 가지는 하드디스크 등의 기억 매체가 이 노즐 정보 기억부(400)의 역할을 담당하고 있다. 그리고, 관리기(80)는 이 기억되어 있는 관리 정보에 기초하여, 상술의 오퍼레이션을 행한다.

또, 콘트롤러(84)는 상술의 각 오퍼레이션을 제어하는 기능부로서 6개의 기능부를 가지고 있다. 구체적으로는 노즐 수용 오퍼레이션의 제어를 행하는 노즐 수용 제어부(402), 노즐 세팅 오퍼레이션의 제어를 행하는 노즐 세팅 제어부(404), 노즐 재세팅 오퍼레이션의 제어를 행하는 노즐 재세팅 제어부(406), 노즐 세정 오퍼레이션의 제어를 행하는 노즐 세정 제어부(408), 제1 노즐 검사 오퍼레이션의 제어를 행하는 제1 노즐 검사 제어부(410), 제2 노즐 검사 오퍼레이션의 제어를 행하는 제2 노즐 검사 제어부(412)를 각각 가지고 있다. 그리고, 이들 제어부(402)~412는, 각각, 상술의 노즐 수용 프로그램, 노즐 세팅 프로그램, 노즐 재세팅 프로그램, 노즐 세정 프로그램, 제1 노즐 검사 프로그램, 제2 노즐 검사 프로그램의 실행에 의해 실현되는 기능부이다.

또한, 노즐 수용 제어부(402), 노즐 세팅 제어부(404), 노즐 재세팅 제어부(406)에 관해서 자세하게 설명하면, 이들 제어부(404, 406, 408)의 각각은 팔레트 NP에 재치되어 있는 불량 노즐의 처치, 즉 불량 노즐을 그것이 불량이라고 판단된 검사 항목에 따라 불량 박스(224)에 있어서 나누어진 대응하는 공간(226)에 유치하기 위해서, 이 불량 노즐을 운반하는 처치를 제어하는 기능부로서 불량 노즐 운반 제어부(414)를 가지고 있다. 이 불량 노즐 운반 제어부(414)는 S8~S10, S33~S35, S58~S60, S75~S77의 어느 것인가의 실행에 의해 실현되는 기능부이다. 또, 노즐 세팅 제어부(404), 노즐 재세팅 제어부(406)의 각각은 트레이 NT에 불편함이 발생하고 있다고 판단된 경우에, 트레이 이송 장치(122)를 제어함으로써, 이 트레이 NT를 트레이 수용 장치(102)에 수용되어 있는 트레이 NT와 교환시키는 기능부로서 트레이 교환 제어부(416)를 가지고 있다. 이 트레이 교환 제어부(416)는 S27~S30 및 이에 이어지는 S25~S26, S67~S72의 어느 것인가의 실행에 의해 실현되는 기능부이다.

또한, 제1 노즐 검사 제어부(410), 제2 노즐 검사 제어부(412)에 관해서 자세하게 설명하면, 이들 제어부(410, 412)는 노즐 검사 장치(106, 108)에 의한 노즐 N의 검사 결과가 불량으로 되고, 또한 기준 대상인 기준 노즐(158) 혹은 기준 파이프(160)의 검사 결과가 양호한 것을 조건으로 하여, 이 노즐 N을 불량 노즐이라고 판단하는 기능부로서 기준 대상 참조 불량 노즐 판단부(418)를 가지고 있다. 이 기준 대상 참조 불량 노즐 판단부(418)는 S114~S117, S134~S138의 어느 것인가의 실행에 의해 실현되는 기능부이다. 또, 이들 제어부(410, 412)의 각각은 노즐 N의 검사에 앞서 기준 대상인 기준 노즐(158) 혹은 기준 파이프(160)를 이용하여, 노즐 검사 장치(106, 108)에 의한 검사의 기준의 설정, 혹은 노즐 검사 장치(106, 108)의 교정을 준비 처리로서 행하는 기능부로서 기준 대상 의거 검사 준비 처리부(420)를 가지고 있다. 이 기준 대상 의거 검사 준비 처리부(420)는 S120 및 S121, S139 및 S140의 어느 것인가의 실행에 의해 실현되는 기능부이다.

10 : 전기 부품 장착기　　 18 : 장착 헤드
N : 흡착 노즐(nozzle) 30 : 동체통〔후단부〕
32 : 흡착관〔선단부〕　　 34 : 플랜지(flange)
36 : 걸림 핀(pin) 38 : 2D 코드(code)〔식별자〕
50 : 노즐 스테이션(nozzle station)
NT : 노즐 트레이(nozzle tray)
60 : 베이스(base) 플레이트(plate)
62 : 커버(cover) 플레이트(plate)
64 : 재치 구멍〔재치부〕 66 : 단차면
76 : 2D 코드〔식별자〕 80 : 노즐 관리기
84 : 콘트롤러(controller)〔제어 장치〕
100 : 노즐 수용 장치 102 : 트레이 수용 장치
104 : 노즐 이재 장치〔대 노즐 처치 실행 장치〕〔불량 노즐 운반 장치〕
106 : 제1 노즐 검사 장치〔대 노즐 처치 실행 장치〕
108 : 제2 노즐 검사 장치〔대 노즐 처치 실행 장치〕
110 : 노즐 세정 장치〔대 노즐 처치 실행 장치〕
112 : 노즐 건조 장치
114 : 제1 팔레트 이송 장치〔노즐 이송 장치〕
116 : 제2 팔레트 이송 장치〔노즐 이송 장치〕
118 : 제3 팔레트 이송 장치〔노즐 이송 장치〕
120 : 제4 팔레트 이송 장치〔노즐 이송 장치〕
122 : 트레이(tray) 이송 장치
134 : 팔레트 이동 장치〔팔레트 순환 장치〕
NP : 노즐 팔레트(nozzle palette)
140 : 베이스 플레이트　　
142 : 커버 플레이트　　 144 : 재치 구멍〔재치부〕
146 : 단차면　　 156 : 2D 코드〔식별자〕
158 : 기준 노즐〔기준 대상〕
160 : 기준 파이프〔기준 대상〕〔모의물〕
190 : 트레이 이동 장치〔트레이 순환 장치〕
202 : 고정 스테이지(stage)　 204 : 가동 스테이지(stage)
210 : 이재 헤드(head)
212 : 헤드 이동 장치〔보유 도구 이동 장치〕
218 : 보유 척〔노즐 보유 도구〕
220 : 카메라〔식별자 독취기〕
224 : 불량 박스〔불량 노즐 유치기〕
226 : 공간〔유치부〕　　 232 : 카메라 장치
234 : 하중 측정 장치　　 235 : 검사 유닛
236 : 유닛 이동 장치　　 270 : 검사 헤드
272 : 헤드 이동 장치　　 274 : 에어 송급 장치
276 : 카메라　　 302 : 상부 세정 유닛
304 : 하부 세정 유닛　　 310 : Y방향 이동 기구
312 : 분사 구멍　　 314 : 송풍관
330 : 레일(rail) 332 : 이동 기구
334 : 가이드(guide) 336 : 반송 유닛(unit)
338 : 가이드(guide)　 340 : 반송 유닛(unit)
400 : 노즐 정보 기억부　　 402 : 노즐 수용 제어부
404 : 노즐 세팅 제어부　　 406 : 노즐 재세팅 제어부　
408 : 노즐 세정 제어부　　 410 : 제1 노즐 검사 제어부
412 : 제2 노즐 검사 제어부　　 414 : 불량 노즐 운반 제어부
416 : 트레이 교환 제어부
418 : 기준 대상 참조 불량 노즐 판단부
420 : 기준 대상 의거 준비 처리부

Claims (4)

1. 전기 부품 장착기에 있어서 전기 부품을 보유하기 위해서 사용되는 흡착 노즐을 관리하기 위한 노즐 관리기로서,
   복수의 흡착 노즐을 수용 가능한 노즐 수용 장치와,
   이 노즐 수용 장치에 수용되어 있는 혹은 지금부터 수용될 흡착 노즐에 대해 검사를 행하는 노즐 검사 장치와,
   이 노즐 검사 장치에 의한 검사 결과에 기초하여 불량이라고 판단된 흡착 노즐인 불량 노즐을 유치하는 불량 노즐 유치기를 구비하고,
   상기 노즐 검사 장치가, (a) 흡착 노즐의 선단부의 상태에 관한 검사인 선단부 상태 검사 후에, (b) 흡착 노즐의 선단부가 부세력에 저항하여 후퇴 가능하게 되어 있는 경우에 있어서의 이 흡착 노즐의 선단부의 후퇴에 필요로 하는 힘에 관한 검사인 후퇴 필요력 검사를 행하도록 구성되고,
   상기 불량 노즐 유치기가,
   하나의 검사 항목에 대해 불량이라고 판단된 복수의 불량 노즐을 유치하기 위한 유치부를 검사 항목에 대응하여 복수 가지는 노즐 관리기.
2. 제1항에 있어서,
   당해 노즐 관리기가, 또한 노즐 수용 장치에 수용되어 있는 혹은 지금부터 수용될 흡착 노즐에 대해 세정을 행하는 노즐 세정 장치를 구비한 노즐 관리기.
3. 제2항에 있어서,
   상기 노즐 세정 장치가, 고압의 물을 흡착 노즐을 향해 분사하여 세정을 행하도록 구성된 노즐 관리기.
4. 전기 부품 장착기에 있어서 전기 부품을 보유하기 위해서 사용되는 흡착 노즐을 관리하기 위한 노즐 관리기로서,
   복수의 흡착 노즐을 수용 가능한 노즐 수용 장치와,
   이 노즐 수용 장치에 수용되어 있는 혹은 지금부터 수용될 흡착 노즐에 대해 검사를 행하는 노즐 검사 장치를 구비하고,
   이 노즐 검사 장치가, (a) 흡착 노즐의 선단부의 상태에 관한 선단부 상태 검사를 선단부 상태 검사 위치에서 바로 밑으로부터 행하는 선단부 상태 검사 장치와, (b) 흡착 노즐의 선단부가 부세력에 저항하여 후퇴 가능하게 되어 있는 경우에 있어서의 이 흡착 노즐의 선단부의 후퇴에 필요로 하는 힘에 관한 후퇴 필요력 검사를 후퇴 필요력 검사 위치에서 바로 밑으로부터 행하는 후퇴 필요력 검사 장치와, (c) 흡착 노즐을, 상기 선단부 상태 검사 위치와 상기 후퇴 필요력 검사 위치로 이동 가능한 이동 장치를 구비하고,
   상기 선단부 상태 검사와 상기 후퇴 필요력 검사의 양방을 행하도록 구성된 노즐 관리기.
   

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