JP7193901B2 - ノズル管理機 - Google Patents

Description

本発明は、電気部品装着機において電気部品を保持するために使用される吸着ノズルを管理するためのノズル管理機に関する。

多くの電気部品装着機では、電気部品を回路基板に装着する際に、その電気部品は吸着ノズルによって保持される。そのような電気部品装着機において適切な吸着ノズルを用いることは、電気部品の装着精度を高く維持するために重要なことである。これまでに、例えば、吸着ノズルの洗浄に関しては、下記特許文献１に記載された技術が、吸着ノズルの検査に関しては、下記特許文献２，特許文献３に記載された技術が、それぞれ存在している。

特開２０１２－１１４２３７号公報 特開２０１２－４３０６号公報 特開２０１０－２５８１８５号公報

上記のような特許文献が存在する事実からも解るように、適切な吸着ノズルを使用するためには、吸着ノズルを適切に管理する必要がある。そのため、吸着ノズルの適切な管理を行うことのできるノズル管理機、特に、実用性の高いノズル管理機が望まれている。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、実用性の高いノズル管理機を提供することを課題とする。

上記課題を解決するために、本発明のノズル管理機は、電気部品装着機において電気部品を保持するために使用される吸着ノズルを管理するためのノズル管理機であって、それぞれに複数の吸着ノズルを該ノズル管理機内で移載可能に載置できる複数のパレットと、吸着ノズルの洗浄を行うノズル洗浄装置と、前記パレットを、前記ノズル洗浄装置に移送することで、複数の吸着ノズルを移送するパレット移送装置と、前記ノズル洗浄装置によって洗浄された吸着ノズルの乾燥を行うノズル乾燥装置と、を備えるように構成される。

本発明によれば、複数のパレットとノズル洗浄装置とパレット移送装置とノズル乾燥装置を備えたノズル管理機が実現されるため、そのノズル管理機は、実用性の高いものとなる。

以下に、本願において特許請求が可能と認識されている発明（以下、「請求可能発明」
という場合がある）の態様をいくつか例示し、それらについて説明する。各態様は請求の範囲と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも請求可能発明の理解を容易にするためであり、それらの発明を構成する構成要素の組み合わせを、以下の各項に記載されたものに限定する趣旨ではない。つまり、請求可能発明は、以下の各項に付随する記載，実施形態の記載等を参酌して解釈されるべきであり、その解釈に従う限りにおいて、各項の態様にさらに他の構成要素を付加した態様も、また、各項の態様から何某かの構成要素を削除した態様も、請求可能発明の一態様となり得るのである。そして、請求可能発明のいくつかの態様が請求項に係る発明となり得る。

≪基本的構成≫
（１）電気部品装着機において電気部品を保持するために使用される吸着ノズルを管理するためのノズル管理機であって、
複数の吸着ノズルを収容可能なノズル収容装置を備えたノズル管理機。

本態様は、ノズル管理機（以下、単に「管理機」と言う場合がある）の基本的構成に関する態様である。上記ノズル収容装置（以下、単に「収容装置」と言う場合がある）自体に工夫を凝らすこと、収容装置に収容された吸着ノズル（以下、単に「ノズル」と言う場合がある）に種々の処置を施す手段を設けること等により、実用性の高いノズル管理機が実現される。

≪ノズル収容装置の構造≫
以下のいくつかの態様は、ノズル収容装置の構造に関する態様である。ちなみに、それらいくつかの態様は、管理機をカテゴリとする態様ではなく、単に収容装置をカテゴリとする態様に変更したとしても、つまり、管理機の他の構成要素から独立した収容装置の態様とされても、その態様は、請求可能発明の態様となり得る。

（１１）前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットを備えた(1)項に記載のノズル管理機。

本態様における「パレット」は、ノズル載置器若しくは収容器（コンテナ）と呼ぶことのできるものであり、本態様では、パレット単位で、複数のノズルが収容される。収容装置からの出し入れ，ノズルに対する処置もパレット単位で行えることで、利便性に富んだ管理機が実現される。

（１２）前記複数のパレットの各々が、それぞれに１つの吸着ノズルが載置される複数の載置部を有する(11)項に記載のノズル管理機。

パレットに上記載置部を設けることにより、パレット内にノズルをしっかりと保持することが可能となる。逆に言えば、上記載置部は、ノズルのズレ動きを防止可能な構造とすることが望ましい。

（１３）前記複数のパレットの１以上のものが、複数種の吸着ノズルを載置可能に構成された(11)項または(12)項に記載のノズル管理機。

１つのパレットに１種類のノズルしか載置できないとすれば、ノズルの種類に応じてパレットの種類も豊富化しなければならず、その豊富化には、ある意味での面倒さが伴う。複数種のノズルを載置可能なパレットとすれば、パレットの種類を少なくすることが可能であり、その面倒さを回避若しくは軽減できることになる。つまり、本態様では、パレットの汎用化が実現されているのである。また、収容装置全体で考えれば、１種類のノズルしか載置できないパレットを複数種類準備した場合、全体のパレット数には制限があるため、ノズルの種類ごとのパレット数を少なくせざるを得ないことになる。それに対して、複数種のノズルを載置可能なパレットを採用することにより、ノズルの種類にあまり左右されることなく、収容装置を簡便に運用することが可能となる。なお、上記面倒さの回避，収容装置の簡便なる運用といった観点からすれば、当該管理機が対象とするすべての種類のノズルが載置可能なパレットを採用することが望ましい。

一般的に、ノズルは、後に説明するフランジを有しており、上方から見た場合、円い形状をしている。その円い形状のノズルをパレットに並べて配置した場合、比較的外径の大きなノズルでは、配置効率が悪いものとなる。つまり、パレットの面積に比較してノズル、詳しくは、それのフランジが占める面積が比較的小さくなるのである。そのことに鑑みれば、比較的外径の大きなノズルと比較的外径の小さなノズルとを混在させて配置することにより、つまり、それらを互い違いに配置することにより、載置できるノズルの数を多くすることが可能となる。極端に言えば、大きな外径のノズルの隙間に小さな外径のノズルを配置することで、配置効率は、大きく向上するのである。その観点からすれば、本態様では、互いにサイズの異なる複数種のノズル，特に，フランジの外径の異なる複数種のノズルを載置可能に構成することが望ましい。

（１４）前記複数のパレットの各々が、それぞれに１つの吸着ノズルが載置される複数の載置部を有し、前記複数のパレットのうちの前記１以上のものの有する前記複数の載置部の少なくとも一部が、互いに異なる複数種の吸着ノズルを載置可能に構成された(13)項に記載のノズル管理機。

本態様におけるパレットでは、簡単に言えば、１つの載置部において複数種のノズルが載置可能とされている。１種類のノズルしか載置できない載置部とすれば、１つのパレットに複数種のノズルを載置する場合、そのパレットには、たくさんの種類の載置部を設けなければならない。その場合、多くの載置部にノズルが載置されない事態も起こり得る。つまり、空となっている載置部が多く存在する可能性が高まるのである。本態様のように、複数種のノズルで共用される載置部を設ければ、パレットを汎用化しつつ、そのパレットに効率的にノズルを載置することが可能となる。なお、サイズにおいて互いに異なる複数種のノズルをも１つの載置部に載置可能に構成すれば、より効率的にノズルをパレットに載置することが可能となる。

（１５）吸着ノズルが、フランジを有するとともに、前記複数の載置部の各々が、吸着ノズルの径方向の変位をフランジの外周において規制するように構成されており、
前記複数の載置部の前記少なくとも一部が、互いにフランジの外径において異なる複数種の吸着ノズルを載置可能に構成された(14)項に記載のノズル管理機。

本態様は、簡単に言えば、互いにサイズの異なる複数種のノズルが１つの載置部に載置可能とされた態様である。一般に、上記フランジは、ノズルにおいて最も外径の大きな部分であり、フランジの外周においてノズルの径方向の変位、つまり、ノズルのズレを規制すれば、効果的な規制が可能となる。

（１６）前記複数の載置部の前記少なくとも一部の各々が、吸着ノズルのフランジが嵌
って内周壁においてそのフランジの外周を規制する穴を有しており、その穴の内周壁が深さ方向において内寸法が異なり、互いにフランジの外径において異なる複数種の吸着ノズルのフランジが、互いに異なる深さの位置で前記穴に嵌るように構成された(15)項に記載のノズル管理機。

本態様は、フランジの外径の異なる複数種のノズルを、フランジの外周を規制しつつ載置可能な載置部の構造に関する態様である。具体的には、載置部の上記穴を、例えば、内周壁の内寸法が互いに異なる複数の段を有する段付き穴としてもよく、また、軸線方向において内周壁の内寸法が漸減するようなテーパ穴としてもよい。そのような構造の載置部とすれば、互いにサイズの異なる複数種のノズルの各々を、その各々の径方向の変位をしっかりと規制しつつ、パレットに載置することが可能となる。

（１７）前記ノズル収容装置が、前記複数のパレットを当該ノズル収容装置内において移動させるパレット移動装置を備えた(11)項ないし(16)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

本態様によれば、収容装置の中でパレットが移動可能とされていることで、特定の位置における収容装置からのパレットの搬出，収容装置への搬入を行わせることが可能となる。本態様におけるパレット移動装置は、複数のパレットの各々を単独で移動させるように構成されていてもよく、また、複数のパレットを同時にすなわち一緒に移動させるように構成されていてもよい。

（１８）前記パレット移動装置が、前記複数のパレットを同時に循環移動させるパレット循環装置である(17)項に記載のノズル管理機。

本態様におけるパレット移動装置では、その装置の構造を比較的簡便な構造としつつ、その構造に依拠して、複数のパレットを一緒に同じ経路に沿って移動させることが可能である。

（１９）前記複数のパレットの各々が、吸着ノズルが載置される面が上方を向く姿勢で配置されており、
前記パレット循環装置が、前記複数のパレットを、それらの各々がその姿勢を保ったままで、鉛直な一平面に沿って循環させるように構成された(18)項に記載のノズル管理機。

本態様におけるパレット移動装置は、比較的小さな空間において、複数のパレットを循環させることができるため、本態様によれば、比較的コンパクトな収容装置を実現することが可能となる。本態様におけるパレット循環装置は、例えば、タワー式の立体駐車場のような構造の装置と考えることもできる。

≪対ノズル処置実行装置，ノズル移送装置≫
以下のいくつかの態様は、対ノズル処置実行装置およびノズル移送装置に関する態様である。

（２１）当該ノズル管理機が、
前記ノズル収容装置に収容されている若しくはこれから収容される吸着ノズルに対して、何らかの処置を実行する対ノズル処置実行装置を備えた(1)項ないし(19)項のいずれか
１つに記載のノズル管理機。

本態様における「対ノズル処置実行装置」は、ノズルに対して何らかの処置を実行する装置であり、具体的には、例えば、後に説明するノズル移載装置，ノズル検査装置，ノズ
ル洗浄装置等が含まれる。対ノズル処置実行装置（以下、単に「処置実行装置」と言う場合がある）を備えることで、ノズル管理機に、ノズルの収容という機能以外に、備わる処置実行装置に応じた種々の機能を持たせることが可能である。

（２２）当該ノズル管理機が、
１以上の吸着ノズルを、前記ノズル収容装置から前記対ノズル処置実行装置に移送するノズル移送装置を備えた(21)項に記載のノズル管理機。

本態様における「ノズル移送装置」は、収容装置からの１以上のノズル（以下、「ノズルグループ」と呼ぶ場合もある）の搬出および処置実行装置へのノズルグループの搬入を行う機能を有する装置と考えることができる。このノズル移送装置（以下、単に「移送装置」と言う場合がある）によって、収容装置と処置実行装置との連携が可能となる。

（２３）前記ノズル移送装置が、１以上の吸着ノズルを前記対ノズル処置実行装置から前記ノズル収容装置に移送するように構成された(22)項に記載のノズル管理機。

本態様における移送装置は、上述の収容装置からのノズルグループの搬出および処置実行装置へのノズルグループの搬入に加え、処理実行装置からのノズルグループの搬出および収容装置へのノズルグループの搬入を行う機能をも有している。つまり、本態様における移送装置は、ノズルグループを返送する機能を有していると考えることもできるのである。

（２４）前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットを備えており、
前記ノズル移送装置が、
前記複数のパレットのうちの１つを、前記ノズル収容装置から前記対ノズル処置実行装置に移送することで、複数の吸着ノズルを移送するパレット移送装置である(22)項または(23)項に記載のノズル管理機。

（２５）前記パレット移送装置が、前記複数のパレットのうちの１つを前記対ノズル処置実行装置から前記ノズル収容装置に移送するように構成された(24)項に記載のノズル管理機。

上記２つの態様は、収容装置内においてノズルがパレットに載置されて収容されている場合に有効な態様であり、移送装置が、そのパレットごと、複数のノズルからなるノズルグループを移送するように構成された態様である。それら２つの態様によれば、収容装置と処置実行装置との間のノズルグループの運搬を比較的容易に行うことが可能となる。なお、上記２つの態様におけるパレット移送装置（以下、単に「移送装置」という場合がある）は、収容装置内のどの位置に位置するかに拘わらず任意のパレットを移送するように構成されていてもよく、また、後に説明するように、特定の位置に位置するパレットだけを移送するように構成されていてもよい。前者の構成は、収容装置がパレット移動装置を有していない場合において有効である。

（２６）前記ノズル収容装置が、前記複数のパレットの各々を当該ノズル収容装置内において移動させるパレット移動装置を備えており、
前記パレット移送装置が、前記パレット移動装置によって設定位置に移動させられた前記複数のパレットのうちの１つを前記対ノズル処置実行装置に移送するように構成された(24)項または(25)項に記載のノズル管理機。

（２７）前記パレット移送装置が、前記複数のパレットのうちの１つを前記対ノズル処
置実行装置から前記設定位置に移送するように構成された(26)項に記載のノズル管理機。

上記２つの態様では、移送装置は、収容装置が有する複数のパレットのうち特定の位置に位置する１つのパレットを移送する機能を有し、後者の態様では、移送装置は、さらに、その特定の位置にパレットを返送する機能を有している。言い換えれば、上記２つの態様では、収容装置内においてパレットがパレット移動装置によって特定のステーションに移動させられた場合に、そのステーションと処置実行装置との間でパレットの移送が行われる。上記２つの態様によれば、収容装置内の特定の位置と処置実行装置との間でパレットを移送すればよいことから、移送装置の構造を簡便化することが可能となる。

≪複数の対ノズル処置実行装置≫
以下のいくつかの態様は、上述の処置実行装置を複数備えた場合の態様である。

（３１）当該ノズル管理機が、
それぞれが前記対ノズル処置実行装置として機能する複数の対ノズル処置実行装置を備えた(21)項ないし(27)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

本態様には、複数の処置実行装置として、同じ処置を実行する装置を複数備える態様も含まれ、互いに異なる処置を実行する装置を複数備える態様も含まれる。前者の態様によれば、その処置の実行能力の大きな管理機を実現することができ、また、後者の態様によれば、多機能な管理機を実現することができる。

（３２）当該ノズル管理機が、前記複数の対ノズル処置実行装置の各々の動作が、他のものの動作に対して独立して行われるように構成された(31)項に記載のノズル管理機。

管理機が、互いに異なる処置を実行する複数の処置実行装置を備える場合、例えば、それら複数の処置実行装置をノズルが順次渡って、それら複数の処置実行装置の各々による処置がそのノズルに対して実行されるように構成することも可能である。本態様は、そのような構成とは異なり、例えば、複数の処置実行装置が、それぞれ、別のノズルに対して、並行して処置を実行可能に構成された態様と考えることができる。本態様によれば、複数の処置を実行することが可能な管理機であっても、１つのノズルに対して、比較的短い時間でそれら複数の処置を実行することが可能である。

（３３）当該ノズル管理機が、
前記複数の対ノズル処置実行装置に対応して設けられ、それぞれが、１以上の吸着ノズルを前記ノズル収容装置から前記複数の対ノズル処置実行装置のうちの対応するものに移送するノズル移送装置として機能する複数のノズル移送装置を備えた(31)項または(32)項に記載のノズル管理機。

本態様は、簡単に言えば、処置実行装置ごとに移送装置を備えた態様と考えることができる。先に説明した複数の処置実行装置が互いに独立して動作可能な態様において、特に有効である。

（３４）前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットと、それら複数のパレットを当該ノズル収容装置内において移動させるパレット移動装置を備えており、
前記複数のノズル移送装置の各々が、
前記複数のパレットのうちの１つを、前記ノズル収容装置から前記対ノズル処置実行装置に移送することで、複数の吸着ノズルを移送するパレット移送装置であり、
当該ノズル管理機が、
前記複数のパレット移送装置の各々が、その各々に対応して設定された設定位置に前記パレット移動装置によって移動させられた前記複数のパレットのうちの１つを、前記複数の対ノズル処置実行装置のうちの対応するものに移送するように構成された(33)項に記載のノズル管理機。

本態様は、先の態様において、ノズルをパレットごと移送するように構成された態様である。詳しく言えば、本態様では、収容装置内に複数のステーションが設けられ、特定のステーションに位置するパレットが特定の処置実行装置に移送されると考えることができる。

≪ノズル移載装置≫
電気部品装着機では、回路基板にいくつかの電気部品を装着する際、電気部品のサイズ等に応じて、使用するノズルを交換することがあり、多くの電気部品装着機では、交換可能ないくつかのノズルが、ノズルトレイ（以下、単に「トレイ」と言う場合がある）に載置された状態で、当該電気部品装着機に設けられたノズルステーションに配置される。以下のいくつかの態様は、このトレイ、詳しくは、そのトレイへのノズルの移載，そのトレイからのノズルの移載を行う対ノズル処置実行装置に関連した態様である。

（４１）前記電気部品装着機が、その電気部品装着機において使用される１以上の吸着ノズルがその電気部品装着機に着脱可能に配備されたノズルトレイに載置されるように構成されており、
当該ノズル管理機が、前記対ノズル処置実行装置として、
前記ノズル収容装置に収容されている吸着ノズルを、設定位置に位置するノズルトレイに移載するセッティング移載と、
設定位置に位置するノズルトレイに載置されている吸着ノズルを、前記ノズル収容装置に収容するために、そのノズルトレイから移載する収容移載と
の少なくとも一方を実行するノズル移載装置を備えた(21)項ないし(34)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

上記「セッティング移載」は、例えば、電気部品装着機においてこれから使用されるノズルをトレイにセッティングするための移載であり、セッティング移載により、収容装置に収容されている複数のノズルのうちのいくつかのものがノズルトレイに配置される。一方、上記「収容移載」は、例えば、電気部品装着機において使用されていたノズルを、収容装置に収容するための移載であり、収容移載により、トレイに載置されている複数のノズルのうちの少なくとも一部が、トレイから取り除かれる。本態様によれば、電気部品装着機におけるノズルの準備，片付け等を効果的に支援可能な管理機が実現される。

ちなみに、本態様に係るセッティング移載は、ノズル移載装置（以下、単に「移載装置」と言う場合がある）が、収容装置に収容されているノズルを収容装置から直にトレイに移載することのみを意味するものではなく、例えば、後に説明する移送装置によって収容装置から搬出されたノズルをトレイに移載することを含む概念である。同様に、本態様に係る収容移載は、トレイに載置されていたノズルを収容装置に直に収容することのみを意味するものではなく、移送装置によって収容装置に収容すべく、移載装置がトレイから移載することをも含む概念である。

（４２）前記ノズル移載装置が、前記セッティング移載と前記収容移載との両方を実行するように構成された(41)項に記載のノズル管理機。

本態様によれば、上記セッティング移載と上記収容移載との両方が可能とされていることで、より実用性の高い管理機が実現される。

（４３）当該ノズル管理機が、１以上の吸着ノズルを前記ノズル収容装置から前記対ノズル処置実行装置に移送するノズル移送装置を備えており、
前記ノズル移載装置が、
前記セッティング移載の際には、前記ノズル移送装置によって移送された吸着ノズルについての移載を実行するように構成された(41)項または(42)項に記載のノズル管理機。

（４４）前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットを備えており、かつ、前記ノズル移送装置が、前記複数のパレットのうちの１つを、前記ノズル収容装置から前記対ノズル処置実行装置に移送することで、複数の吸着ノズルを移送するように構成されたパレット移送装置であり、
前記ノズル移載装置が、
前記セッティング移載の際には、前記パレット移送装置によって当該ノズル移載装置による移載が可能な位置まで移送された前記複数のパレットのうちの１つに載置されている吸着ノズルについての移載を実行するように構成された(43)項に記載のノズル管理機。

（４５）当該ノズル管理機が、１以上の吸着ノズルを前記対ノズル処置実行装置から前記ノズル収容装置に移送するノズル移送装置を備えており、
前記ノズル移載装置が、
前記収容移載の際には、前記ノズル移送装置を介して前記ノズル収容装置に収容するための移載を実行するように構成された(41)項ないし(44)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

（４６）前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットを備えており、かつ、前記ノズル移送装置が、前記複数のパレットのうちの１つを、前記対ノズル処置実行装置から前記ノズル収容装置に移送することで、複数の吸着ノズルを移送するように構成されたパレット移送装置であり、
前記ノズル移載装置が、
前記収容移載の際には、前記パレット移送装置によって前記ノズル収容装置から当該ノズル移載装置による移載が可能な位置にまで移送された前記複数のパレットのうちの１つへの移載を実行するように構成された(45)項に記載のノズル管理機。

上記４つの態様は、上述の移送装置に関連する態様であり、それら４つの態様では、移送装置によって収容装置から移送されたノズルのトレイへの移載と、トレイから移載されたノズルのノズル移送装置による収容装置への収容との少なくとも一方が行われる。なお、４つの態様のうちの２つでは、移送装置がパレットを移送することでノズルを移送するパレット移送装置とされており、トレイとパレットとの間で移載が行われる。

（４７）吸着ノズルには、当該吸着ノズルの固有情報を認識するための識別子が付されており、
前記ノズル移載装置が、その識別子を読み取るための識別子読取器を有する(41)項ないし(46)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

本態様おける「固有情報」には、例えば、典型的なものとして、ＩＤが含まれ、その他、品質に関する良否情報，能力の高さに関する情報等が広く含まれる。収容装置に収容されている複数のノズルの収容位置の把握、つまり、どの位置にどのノズルが収容されているかの把握において、ＩＤはきわめて有用な情報である。このＩＤを始めとする本態様によれば、固有情報を読み取り可能とされていることで、その固有情報を用いて、収容されているノズルの十分な管理が可能となる。その意味において、識別子の読取は、上述した収容移載の際に行われることが望ましい。ちなみに「識別子」は、バーコード，２Ｄコー
ド（ＱＲコード（登録商標）等の二次元コード）等を採用することができ、「識別子読取器」は、バーコードリーダ，カメラ等の撮像装置等を採用することが可能である。

（４８）前記ノズル移載装置が、吸着ノズルを保持するノズル保持具と、そのノズル保持具を移動させる保持具移動装置とを有する(41)項ないし(47)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

本態様は、ノズル移載装置の具体的な構造に関する態様である。上記「ノズル保持具」は、チャック，クランプ等の離脱可能にノズルを保持するものを採用することができる。また、「保持具移動装置」は、いわゆるＸＹＺ型ロボットを始めとして、多関節型ロボット等、広く種々の移動装置を採用可能である。

（４９）吸着ノズルには、当該吸着ノズルの固有情報を認識するための識別子が付されており、
前記ノズル移載装置が、その識別子を読み取るための識別子読取器を有し、その識別子読取器が前記ノズル保持具とともに前記保持具移動装置によって移動させられるように構成された(48)項に記載のノズル管理機。

本態様によれば、ノズルの移載の際、そのノズルに付された識別子を容易に読み取ることが可能であり、利便性に優れた管理機が実現されることになる。

≪トレイ収容装置≫
以下のいくつかの態様は、上述したノズルトレイの収容に関する態様である。

（５１）当該ノズル管理機が、
それぞれが前記ノズルトレイである複数のノズルトレイを収容可能なトレイ収容装置と、
前記設定位置と前記トレイ収容装置との間を、１つのノズルトレイを移送するトレイ移送装置と
を備えた(41)項ないし(49)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

本態様の管理機は、上記トレイ収容装置とトレイ移送装置とを備えることで、トレイをも管理可能な管理機となり得る。例えば、上述の載置装置によるノズルの載置に関連して、トレイ移送装置によってトレイをトレイ収容装置に搬入，トレイ収容装置から搬出することで、利便性に優れた管理機が実現することになる。詳しく言えば、上述の収容移載の後、載置されていたノズルが取り除かれたトレイをトレイ収容装置に収容したり、トレイ収容装置に収容されていたトレイにセッティング移載を行ったりすることが可能となるのである。また、例えば、ノズルが載置されているトレイに不具合が発見されたような場合に、上記収容移載および上記セッティング移載を併用して、そのトレイを、不具合のないトレイに交換するといったことも可能である。

（５２）前記トレイ収容装置が、１以上の吸着ノズルが載置されたノズルトレイを収容可能に構成された(51)項に記載のノズル管理機。

本態様によれば、予めノズルがセッティングされたトレイをトレイ収容装置に収容しておくことができるため、電気部品装着機において必要なったとき、迅速に、ノズルがセッティングされたトレイを電気部品装着機に供給できる。

≪ノズル検査装置≫
以下のいくつかの態様は、ノズルの検査を行う対ノズル処置実行装置に関連する態様で
ある。なお、以下のいくつかの態様は、管理機をカテゴリとする態様ではなく、単に検査装置をカテゴリとする態様に変更したとしても、つまり、管理機の他の構成要素から独立した検査装置の態様であっても請求可能発明の態様となり得る。

（６１）当該ノズル管理機が、前記対ノズル処置実行装置として、吸着ノズルの検査を行うノズル検査装置を備えた(21)項ないし(52)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

本態様によれば、例えば、収容装置に収容された若しくは収容されるノズルに対して検査を行うことができるため、便利な管理機が実現されることになる。本態様では、ノズル検査装置（以下、単に「検査装置」と言う場合がある）が行う検査の項目については特に限定されないが、後に列挙する各種検査項目の検査を始め、種々の検査項目の検査を検査装置に行わせることが可能である。

（６２）前記ノズル検査装置が、
それぞれが検査項目において互いに異なる、(a)吸着ノズルを通過するエアの流量に関
する検査である通過流量検査、(b)吸着ノズルに付されてその吸着ノズルの固有情報を認
識するための識別子の読取りに関する検査である識別子読取検査、(c)吸着ノズルの先端
部の状態に関する検査である先端部状態検査、(d)吸着ノズルの先端部が付勢力に抗して
後退可能とされている場合におけるその吸着ノズルの先端部の後退に要する力に関する検査である後退必要力検査の少なくとも１つを行うように構成された(61)項に記載のノズル管理機。

本態様において列挙された４つの検査項目は、ノズルに対する基本的な検査項目である。個々に、詳しく説明すれば、「通過流量検査」は、ノズルを通過する空気の流量がどのぐらい確保されているかを調べる検査であり、主にノズルの詰まりを確認するための検査である。例えば、先端が開放されたノズルに基端側より圧縮空気を連続的に吹き込んだ状態において空気の流量を測定し、その測定された流量が設定された閾流量より小さくなっている場合に、ノズルに詰まりが生じていると判断すればよい。また、そのような手法に代えて、例えば、先端が開放されたノズルに基端側より圧縮空気を連続的に吹き込んだ状態において、その吹き込む空気の圧力を測定し、その圧力が設定された閾圧よりも高くなっている場合に、ノズルに詰まり等が生じていて充分な空気流量が確保されていないと判断してもよい。

「識別子読取検査」は、例えば、先に説明したノズルに設けられた識別子、詳しく言
えば、フランジの上面に設けられた識別子が充分に読み取れるかどうかについて確認するための検査であり、その検査では、例えば、カメラ等の撮像装置等によって実際に識別子を撮像し、その撮像の結果からその識別子が示すべき固有情報が充分には取得できない場合に識別子不良と判断すればよい。

「先端部状態検査」は、簡単に言えば、例えば、ノズルの先端部の曲り、先端の欠け，潰れといった形状的な欠陥の有無や、先端部への異物，汚れの付着等の有無について確認するための検査であり、その検査では、例えば、先端部を先端側からカメラ等の撮像装置によって撮像し、その撮像で得られた画像データを基にそれら曲り，欠け，潰れ，異物等の付着等の有無を判断すればよい。

「後退必要力検査」は、ノズルの動作に関する検査である。ノズルは、一般に、電気部品を回路基板に載置する際のその電気部品に加わる衝撃を緩和するために、電気部品が吸着される先端部が、ノズル保持装置に保持される基端部に対して後退するように構成されている。つまり、ノズルの先端部が、ばね等による付勢力に抗って引っ込むようにされている。後退必要力検査は、例えば、この先端部の後退に要する力（以下、「後退必要力」
と言う場合がある）が、後退必要力が過大である否かについて確認するための検査である。簡単に言えば、ノズルがスムーズに縮むことを確認するための検査と考えることができる。この検査では、例えば、基端部が支持されたノズルの先端部を基端部側に押し込み、ノズルの後退が開始される時点でのその押し込みに要する力を、ロードセル等の荷重センサで測定し、その力が設定された閾力を超えた場合に、そのノズルの動作に異常があると判断すればよい。

後に説明するように、検査装置は、当該管理機に１つだけしか設けられなくてもよく、また、複数設けられてもよい。検査装置が複数設けられる場合に、それら複数の検査装置は、検査項目が同じであってもよく、互いに検査項目が異なっていてもよい。さらに、上記４つの検査項目についてさらに言及すれば、検査装置は、それら４つの検査項目のうちの１つのみを行うように構成されていてもよく。また、それら４つの検査項目のうちの２以上を行うように構成されていてもよい。２以上の検査項目についての検査を行うように構成すれば、当該管理機に設けるべき検査装置の数を少なくすることができる。

（６３）前記ノズル検査装置が、少なくとも前記通過流量検査と前記識別子読取検査との両方を行うように構成された(62)項に記載のノズル管理機。

先に説明したように、通過流量検査および識別子読取検査は、ともに、ノズルの基端部側で行われる。言い換えれば、２つの検査は、同じ方向から行われ、いずれの検査においても、検査を行うための主要構成要素がノズルの基端部側に存在する空間に配置される。したがって、本態様における検査装置は、比較的簡単な構成によって、上記２つの検査項目の検査を行うことが可能である。具体的に言えば、例えば、上記２つの検査にそれぞれ対応した２つの上記主要構成要素を、１つの移動装置によって移動させることで、構成が簡単なものとなるのである。

（６４）前記ノズル検査装置が、少なくとも前記先端部状態検査と前記後退必要力検査との両方を行うように構成された(62)項または(63)項に記載のノズル管理機。

先の態様と異なり、先端部状態検査および後退必要力検査は、検査がノズルの先端部側で行われる。言い換えれば、２つの検査は、同じ方向から行われ、いずれの検査においても、検査を行うための主要構成要素がノズルの先端部側に存在する空間に配置される。したがって、本態様における検査装置は、比較的簡単な構成によって、上記２つの検査項目の検査を行うことが可能である。具体的に言えば、例えば、上記２つの検査にそれぞれ対応した２つの上記主要構成要素を、１つの移動装置によって移動させることで、構成が簡単なものとなるのである。

（６５）前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットを備え、
当該ノズル管理機が、
前記複数のパレットのうちの１つを、前記ノズル収容装置から前記ノズル検査装置に移送することで、複数の吸着ノズルを移送するパレット移送装置を備え、かつ、
前記ノズル検査装置が、前記複数のパレットのうちの１つに載置された複数の吸着ノズルを、その１つのパレットに載置された状態で検査を行うように構成された(61)項ないし(64)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

本態様によれば、検査装置による検査が、パレットにノズルを載置したままで行われる。極端に言えば、ノズルが収容装置内において収容されているのと同じ状態で、ノズルの検査が行われる。したがって、収容装置に収容されているノズルを、簡便に検査することが可能である。

（６６）当該ノズル管理機が、
それぞれが前記ノズル検査装置として機能し、互いに検査項目が異なる複数のノズル検査装置を備えた(61)項ないし(65)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

本項の態様によれば、多くの検査項目の検査が実行可能な管理機、つまり、充分な検査を実行可能な管理機が実現される。

≪検査における基準対象≫
以下のいくつかの態様は、検査の方法に関する限定、詳しくは、検査の基準に関する限定を加えた態様である。

（７１）前記ノズル検査装置による検査において参照される基準対象が設けられた(61)項ないし(65)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

本態様によれば、基準対象を参照して検査を行えるため、その検査の適正化が図れることになる。なお、基準対象の参照は、例えば、検査の実施の都度に行われてもよく、定期的に行われてもよい。検査の実施の都度に行われる場合、実際のノズルの検査の前に行われてもよく、後に行われてもよい。また、何らかの条件が変化した場合にのみ行なわれてもよい。さらに、実際のノズルの検査において不具合のあるノズル（以下、「不良ノズル」と言う場合がある）であると判断されたときにのみ行われてもよい。つまり、基準対象の利用目的等に応じ、参照のタイミングは、適切に設定すればよいのである。なお、本態様では、基準対象の配設場所についても限定されない。後に説明するようにパレットに付設されてよく、検査装置の領域内において管理機の躯体等に、固定的に若しくは着脱可能に付設されてもよい。

（７２）前記参照対象物が、前記ノズル検査装置による検査の基準の設定と、前記ノズル検査装置の校正若しくは検定との少なくとも一方に利用されるものである(71)項に記載のノズル管理機。

本態様は、上記基準対象の利用目的についての限定を加えた態様である。上記「ノズル検査装置による検査の基準の設定」には、例えば、検査されるノズルが不良ノズルであるかどうかの判断の基準を設定することが含まれる。具体的には、例えば、上述した通過流量検査において送り込む圧縮空気の圧力、つまり、コンプレッサの出力圧（以下、「元圧」と言う場合がある）によって、測定する空気の流量（ノズルの基端側の圧力を測定する場合はその圧力）が変化する。不良ノズルであるかどうかの判断がこの元圧の変化に依存しないように、予め基準対象にて、測定する空気の流量に対する閾流量（ノズルの基端側の圧力を測定する場合には、その圧力に対する閾圧）を設定することが望ましい。例えば、この閾流量（閾圧）の設定が、上記検査の基準の設定に該当する。上記「ノズル検査装置の校正」は、例えば、検査装置による検査の検査条件，検査装置の動作等の適正化が含まれる。具体的には、例えば、上述した識別子読取検査若しくは先端部状態検査等においてはカメラ等の撮像装置が使用される。この撮像装置のピント調整を基準対象で行い、そのピントの調整の後、実際のノズルの撮像を行うことが可能である。そのピントの調整が、ノズル検査装置の校正に該当する。上記「ノズル検査装置の検定」には、例えば、検査装置自体が適正であるかどうかを確認することが含まれる。具体的には、例えば、上述した後退必要力検査において、適正な力が測定されるはずの基準対象を検査装置にて検査し、その測定した力が適正な力でなかった場合に、検査装置自体に不具合があると判断することが可能である。この判断が、検査装置の検定に該当する。

（７３）前記基準対象が、それを前記ノズル検査装置によって検査したときに通常良好
な検査結果が得られるように構成された(71)項または(72)項に記載されたノズル管理機。

本態様によれば、基準対象を、上述したノズル検査装置による検査の基準の設定、ノズル検査装置の校正、および、ノズル検査装置の検定に、好適に利用することが可能である。

（７４）前記基準対象が、吸着ノズルの一部分を模した模擬物である(71)項ないし(73)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

本態様における上記「模擬物」は、具体的には、例えば、ノズルの先端部のみ，先端部およびその先端部が後退する機構のみ，フランジに付された識別子のみ等を、模して作成されたもの等が相当する。基準対象として、検査項目に応じて、適正な部分の模擬物を作成すればよく、その模擬物の作成は、比較的簡単に行うことができる。

（７５）前記基準対象が、実際の吸着ノズルである(71)項ないし(73)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

本態様は、簡単に言えば、基準ノズルを基準対象として用いる態様である。本態様によれば、敢えて、なんらの基準対象別途を作成せずして、簡便に基準対象設けることが可能である。

（７６）前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットを備え、
当該ノズル管理機が、
前記複数のパレットのうちの１つを、前記ノズル収容装置から前記ノズル検査装置に移送することで、複数の吸着ノズルを移送するパレット移送装置を備え、
前記ノズル検査装置が、前記複数のパレットのうちの１つに載置された複数の吸着ノズルを、その１つのパレットに載置された状態で検査を行うように構成され、かつ、
前記複数のパレットのうちの少なくとも１つに、前記基準対象が設けられた(71)項ないし(75)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

本態様では、基準対象がパレットに載置されていてもよく、また、パレットに付設されてもよい。前者は、特に、基準対象が実際のノズルである場合に有効であり、後者は、基準対象が上記模擬物である場合に有効である。本態様によれば、検査の対象となるノズルの傍に基準対象が設けられているため、その基準対象を充分に活用することが可能となる。

≪不良ノズルに対する処置≫
以下のいくつかの態様は、上記検査装置による検査の結果、不良ノズルと判断された場合におけるその不良ノズルの処置に関連する態様である。

（８１）当該ノズル管理機が、
前記ノズル検査装置による検査結果に基づいて不良と判断された吸着ノズルである不良ノズルを留置する不良ノズル留置器を備えた(61)項ないし(76)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

検査によって不良ノズルと判断された場合、その不良ノズルは、廃棄，修理等のために当該管理機から取り出されることが望ましい。本態様では、不良ノズルは、上記不良ノズル留置器（以下、単に「留置器」と言う場合がある）に留置される。したがって、本態様によれば、不良ノズルを他の良好なノズルと確実に区別することができるため、間違いな
く当該管理機からの取り出しができることになる。なお、その取り出しの利便性を考慮すれば、留置器は、取り出しに容易な箇所に配設されることが望ましく、また、留置器ごと不良ノズルを出すことができるように、当該管理機から取り外し可能なものとされることが望ましい。

（８２）前記不良ノズル留置器が、
それぞれに、不良と判断された検査項目において互いに異なる不良ノズルを留置するための複数の留置部を有する(81)項に記載のノズル管理機。

本態様によれば、複数の留置部によって、不良ノズルが、不良された検査項目ごとに仕分けされるため、当該管理機のオペレータが、不良ノズルの不良要因を容易に認識でき、後の修理等の利便性の向上に繋がる。

（８３）当該ノズル管理機が、
不良ノズルを前記不良ノズル留置器にまで運搬する不良ノズル運搬装置を有する(81)項または(82)項に記載のノズル管理機。

（８４）前記電気部品装着機は、その電気部品装着機において使用される１以上の吸着ノズルがその電気部品装着機に着脱可能に配備されたノズルトレイに載置されるように構成されており、
当該ノズル管理機が、前記対ノズル処置実行装置として、
前記ノズル収容装置に収容されている吸着ノズルを、設定位置に位置するノズルトレイに移載するセッティング移載を実行するノズル移載装置を備え、
そのノズル移載装置が、前記ノズル収容装置に収容されている前記不良ノズルを前記不良ノズル留置器にまで運ぶように構成されていることで、前記不良ノズル運搬装置として機能する(83)項に記載のノズル管理機。

上記２つの態様は、不良ノズル運搬する装置に関する態様である。後者の態様は、その不良ノズルを、上述した移載装置を利用して不良ノズルを留置器にまで運搬する態様である。後者の態様によれば、不良ノズルを一旦収容装置に収容し、その収容された不良ノズルを、検査装置の作動とは関係なく、留置器に運搬することが可能となる。また、移載装置によるセッティング移載のついでに、不良ノズルの留置器までの運搬を行うようにすれば、わざわざ、当該管理機に対して、不良ノズルの運搬だけのための作業時間を設ける必要がなくなる。なお、移載装置に不良ノズルの運搬をさせる場合には、留置器が、その移載装置の動作の範囲内において配設されることが望ましい。

≪ノズル洗浄装置，ノズル乾燥装置≫
以下のいくつかの態様は、ノズル洗浄装置（以下、単に「洗浄装置」と言う場合がある）に関する態様である。なお、以下のいくつかの態様は、管理機をカテゴリとする態様ではなく、単に洗浄装置をカテゴリとする態様に変更したとしても、つまり、管理機の他の構成要素から独立した洗浄装置の態様であっても請求可能発明の態様となり得る。

（９１）当該ノズル管理機が、前記対ノズル処置実行装置として、吸着ノズルの洗浄を行うノズル洗浄装置を備えた(21)項ないし(84)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

ノズルは、詰まりの解消，汚れの除去等の目的で洗浄されることが望ましい。本態様によれば、ノズルの洗浄までも行うことができるため、相当に実用性の高い管理機が実現されることになる。なお、本態様において、洗浄装置は、それによる洗浄の方法が特に限定されるものではなく、既に公知の種々の洗浄方法を採用することが可能である。

（９２）前記ノズル洗浄装置が、吸着ノズルの先端側と基端側との両方から、その吸着ノズルに向かって水を噴射して洗浄を行うように構成された(91)項に記載のノズル管理機。

電気部品装着機に使用されるノズルに関して言えば、従来の洗浄装置の多くは、ノズル若しくはそれの一部分を水に浸漬することによって行っていた。本態様によれば、洗浄装置は、ノズルを水に浸漬するのではなく、水を噴射させて洗浄を行うようにされており、また、洗浄装置は、ノズルの主要な部分の殆どに水を噴射するように構成されているため、ノズルの洗浄が充分に行えることになる。

（９３）前記ノズル洗浄装置が、高圧の水を吸着ノズルに向かって噴射して洗浄を行うように構成された(91)項または(92)項に記載のノズル管理機。

従来の水を噴射する方法によるノズルの洗浄装置では、いわゆる２流体ノズルを使用して水を噴射するように構成されていた。つまり、圧縮空気の力によって水を細粒化して噴射するように構成されていたのである。本態様における洗浄装置では、水を直接的にノズルに当てるため、本態様によれば、洗浄能力の高い洗浄装置が実現される。本態様の洗浄装置は、例えば、水をポンプ等によって直接加圧し、その加圧された水をノズルに向かって噴射するように構成すればよい。

（９４）前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットを備え、
当該ノズル管理機が、
前記複数のパレットのうちの１つを、前記ノズル収容装置から前記ノズル洗浄装置に移送することで、複数の吸着ノズルを移送するパレット移送装置を備え、かつ、
前記ノズル洗浄装置が、前記複数のパレットのうちの１つに載置された複数の吸着ノズルを、その１つのパレットに載置された状態で洗浄を行うように構成された(91)項ないし(93)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

（９５）当該ノズル管理機が、前記ノズル洗浄装置によって洗浄された吸着ノズルの乾燥を行うノズル乾燥装置を備えた(91)項ないし(94)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

本態様によれば、洗浄装置によって洗浄されたノズルがノズル乾燥装置（以下、単に「乾燥装置」という場合がある）によって乾燥されるため、例えば、乾燥の直後にノズルが収容装置内に収容されたとしても、そのノズルを、ある程度充分に乾燥した状態で収容することが可能となる。また、洗浄後、それほど間を置かずに使用することも可能となる。なお、本態様における乾燥装置は、それが採用する乾燥手段が特に限定されるものではなく、既に公知の種々の乾燥手段を採用することが可能である。

（９６）前記ノズル乾燥装置が、エアブローによって吸着ノズルの乾燥を行うように構成された(95)項に記載のノズル管理機。

本態様のように、乾燥装置が乾燥手段としてエアブローを採用すれば、ノズルに付着した水を、エアの圧力によって吹き飛ばすことができるため、相当に短い時間で、ノズルを乾燥させることが可能となる。なお、ブローされるエアは、冷風であっても温風であってもよいが、乾燥時間を短くするという観点からは、ある程度温度の高いエアであることが望ましい。

（９７）当該ノズル管理機が、
１以上の吸着ノズルを、前記ノズル収容装置から前記ノズル洗浄装置に移送するとともに、そのノズル洗浄装置に移送した１以上の吸着ノズルを前記ノズル収容装置に移送するノズル移送装置を備えており、
前記ノズル乾燥装置が、前記ノズル移送装置によってノズル洗浄装置からノズル収容装置に移送される途中の１以上の吸着ノズルに対して、乾燥を行うように構成された(95)項または(96)項に記載のノズル管理機。

本態様によれば、洗浄装置による洗浄が終了して収容装置に返送されるノズルに対して、乾燥が施されることになる。したがって、洗浄装置による洗浄後、早い時点において、充分に乾燥させられたノズルが収容装置に収容されることになる。移送する時間に乾燥が行えるため、当該管理機の時間的なロスを少なくすることができるのである。なお、本態様における乾燥装置は、移送装置による移送の途中でのみノズルを乾燥するような構成のものに限定されない。例えば、洗浄装置内においても洗浄後に乾燥を施し、洗浄装置外において、移送装置による移送の最中にも乾燥を施すような乾燥装置であってもよい。

≪制御装置による制御≫
以下のいくつかの態様は、当該管理機の制御に関する態様である。言い換えれば、当該管理機の運用方法に関する態様である。

（１０１）当該ノズル管理機が、自身の制御を司る制御装置を備えた(1)項ないし(97)
項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

本態様は、制御に関する基本的態様であり、制御装置は、管理機の運用を主体的に実行する構成要素である。制御装置は、例えば、コンピュータを主要構成要素として構成されるようなものであってもよい。

（１０２）前記制御装置が、
前記ノズル収容装置に収容されている複数の吸着ノズルの各々の固有情報が、その各々の前記ノズル収容装置における収容位置に関連付けて記憶されるノズル情報記憶部を有する(101)項に記載のノズル管理機。

本態様によれば、収容装置内のどの収容位置にどのようなノズルが収容されているかが把握できることから、収容されているノズルを適切に管理することが可能となる。なお、固有情報は、先に説明したようにＩＤ情報を含み、このノズルのＩＤ情報を記憶することにより、個々のノズルについての充分なる管理を行うことが可能である。

（１０３）吸着ノズルには、当該吸着ノズルの固有情報を認識するための識別子が付されており、
当該ノズル管理機が、その識別子を読み取るための識別子読取器を有し、
前記ノズル情報記憶部が、その識別子読取器による読取によって取得された吸着ノズルの固有情報を記憶するように構成された(102)項に記載のノズル管理機。

先に説明したように、識別子読取器によれば、個々のノズルの固有情報を容易に取得することが可能である。したがって、本態様によれば、収容されているノズルの管理を、取得された固有情報に基づいて、容易に行うことが可能である。なお、識別子読取器は、先に説明したように、移載装置に設けられていてもよい。その場合、上述のセッティング移載と収容移載との少なくとも一方を実行する際に、移載されるノズルの固有情報を取得することが可能となる。

（１０４）前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパ
レットを備えるとともに、それら複数のパレットの各々が、それぞれに１つの吸着ノズルが載置される複数の載置部を有しており、
前記ノズル情報記憶部が、前記複数のパレットのうちのいずれのものの前記複数の載置部のいずれに載置されているかを前記収容位置として扱うように構成された(102)項また
は(103)項に記載のノズル管理機。

本態様は、収容装置が上述のパレットを有する場合に好適な態様である。本態様によれば、どのパレットのどの位置にどんなノズルが収容されているかが把握でき、収容されているノズルの管理をより適切に行うことが可能となる。

（１０５）前記電気部品装着機は、その電気部品装着機において使用される１以上の吸着ノズルがその電気部品装着機に着脱可能に配備されたノズルトレイに載置されるように構成されており、
当該ノズル管理機が、
設定位置に位置するノズルトレイに載置されている吸着ノズルを、前記ノズル収容装置に収容するために、そのノズルトレイから移載する収容移載を実行するノズル移載装置を有し、
前記制御装置が、
前記ノズル移載装置を制御することによって、前記設定位置に位置するノズルトレイに載置されている吸着ノズルをそのノズルトレイから移載させるとともに、前記ノズル情報記憶部に、その移載された吸着ノズルの固有情報を、その吸着ノズルの収容位置に関連付けて記憶させるノズル収容制御部を有する(102)項ないし(104)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

本態様によれば、上述した収容移載の際、つまり、ノズルをトレイから移載して収容装置にノズルを収容する際に、そのノズルの固有情報をそのノズルの収容装置内における収容位置に関連付けて記憶される。そのため、本態様によれば、収容装置に収容されているノズルの管理を適切に行うことができる。

（１０６）前記電気部品装着機は、その電気部品装着機において使用される１以上の吸着ノズルがその電気部品装着機に着脱可能に配備されたノズルトレイに載置されるように構成されており、
当該ノズル管理機が、
前記ノズル収容装置に収容されている吸着ノズルを、設定位置に位置するノズルトレイに移載するセッティング移載を実行するノズル移載装置を備え、
前記制御装置が、
前記ノズル移載装置を制御することによって、前記ノズル情報記憶部に記憶された前記複数の吸着ノズルの固有情報に基づいて、前記設定位置に位置するノズルトレイに、そのノズルトレイに載置すべき吸着ノズルを移載させるノズルセッティング制御部を有する(102)項ないし(105)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

本態様によれば、上述したセッティング移載の際、つまり、収容装置に収容されていたノズルをトレイにセッティングする際、記憶されている固有情報を利用して、そのノズルがトレイに配置される。したがって、本態様によれば、トレイに載置すべきノズルについての情報に基づくことにより、確実に適正なノズルをそのトレイに配置することができる。

（１０７）前記ノズル移載装置が、
設定位置に位置するノズルトレイに載置されている吸着ノズルを、前記ノズル収容装置に収容するために、そのノズルトレイから移載する収容移載と、前記ノズル収容装置に収
容されている吸着ノズルを、設定位置に位置するノズルトレイに移載するセッティング移載とを実行するように構成されており、
前記制御装置が、
前記ノズル移載装置を制御することによって、前記設定位置に位置するノズルトレイに載置されている吸着ノズルをそのノズルトレイから移載させるとともに、前記ノズル情報記憶部に記憶された前記複数の吸着ノズルの固有情報に基づいて、その移載させられた吸着ノズルと同じ型式の前記ノズル収容装置に収容されている吸着ノズルを、前記設定位置に位置するノズルトレイに移載させるノズル再セッティング制御部を有する(102)項ない
し(106)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

本態様は、簡単に言えば、固有情報を利用して、上記収容移載と上記セッティング移載とを行うことが可能な態様である。本態様において、収容移載においてノズルが載置されていたトレイと、セッティング移載においてノズルが載置されるトレイとは、同じものであってもよく、同じ形式の別のものであってもよい。また、収容移載において移載されるノズルと、セッティング移載において移載されるノズルとは、同じものであってもよく、同形式の別のものであってもよい。例えば、同じトレイに別のノズルを載置するようにされている態様は、ノズルの交換に好適である。そして固有情報に基づくことにより、ノズルが載置されたトレイを上記設定位置に位置させるだけで、そのトレイ対して、載置されていたノズルを、同じ形式のノズルに自動的に交換することが可能となる。また、例えば、別のトレイに同じノズルを載置するようにされている態様では、トレイの交換に好適である。そしてトレイの固有情報に基づくことにより、ノズルが載置されたトレイを上記設定位置に位置させるだけで、そのトレイとは同形式の別のトレイに、自動的に、載置されていたノズルを再び載置することが可能となる。後者の態様は、先に説明したトレイ収容装置およびトレイ移送装置を備えた管理機に、特に、好適である。

（１０８）前記ノズル再セッティング制御部が、
前記移載させられた吸着ノズルに代えて、別の吸着ノズルを、前記設定位置に位置するノズルトレイに移載させるように構成された(107)項に記載のノズル管理機。

本態様は、先に説明したノズルの交換に好適な態様である。先に説明したように、収容移載およびセッティング移載を、同じトレイに対して行うことで、ノズルだけが交換されることになる。

（１０９）当該ノズル管理機が、
それぞれが前記ノズルトレイである複数のノズルトレイを収容可能なトレイ収容装置と、
設定位置と前記トレイ収容装置との間を、１つのノズルトレイを移送するトレイ移送装置と
を備えており、
前記制御装置が、
ノズルトレイに不具合が生じていると判断された場合に、前記トレイ移送装置を制御することによって、そのノズルトレイを、前記トレイ収容装置に収容されているノズルトレイと交換させるトレイ交換制御部を有する(105)項ないし(108)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

トレイは、例えば、ノズルのトレイからの離脱を防止するため、いわゆるシャッター機構と呼ばれる離脱防止機構が設けられる。また、トレイを個別に管理するため、トレイには、固有情報を認識するための識別子が設けられる場合がある。あるトレイにおいて、離脱防止機構の動作に関する不具合が生じていたり、識別子の読み取りが困難になっている場合には、そのトレイは、不良トレイと認定される。本態様は、その不良トレイを良好な
トレイに交換する場合に好適な態様である。なお、本態様に、先に説明した移載装置による収容移載およびセッティング移載を組み合わせることで、ノズルが載置されているトレイを、同じ若しくは別のノズルが載置された別のトレイに変更することが可能である。

（１１０）当該ノズル管理機が、
吸着ノズルの検査を行うノズル検査装置と、そのノズル検査装置による検査結果に基づいて不良と判断された吸着ノズルである不良ノズルを留置する不良ノズル留置器と、不良ノズルをその不良ノズル留置器にまで運搬する不良ノズル運搬装置とを備え、
前記不良ノズル留置器が、それぞれに、不良と判断された検査項目において互いに異なる不良ノズルを留置するための複数の留置部を有し、
前記制御装置が、
前記不良ノズル運搬装置を制御することによって、不良ノズルを、その不良ノズルについて不良と判断された検査項目に対応する前記複数の留置部のうちの１つにまで運搬させる不良ノズル運搬制御部を有する(101)項ないし(109)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

本態様によれば、先に説明したように、当該管理機に、不良ノズルを、それが不良と判断された査項目ごとに別の個所に留置するための動作を行わせることができる。

（１１１）当該ノズル管理機が、吸着ノズルの検査を行うノズル検査装置を備え、かつ、当該ノズル管理機に、そのノズル検査装置による検査において参照されるとともに通常良好な検査結果が得られるように構成された基準対象が設けられており、
前記制御装置が、
前記ノズル検査装置による吸着ノズルの検査結果が不良となり、かつ、前記基準対象の検査結果が良好であることを条件として、その吸着ノズルを不良ノズルと判断する基準対象参照不良ノズル判断部を有する(101)項ないし(110)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

本態様は、先に説明した基準対象を利用した検査を実行するための制御に関する一態様である。本態様では、先に説明した検査装置の検定が行われると考えてもよい。つまり、本態様では、基準対象の検査が良好である場合に検査装置の機能に問題ないと認定し、その認定を前提として、ノズルの検査を行う若しくは行ったノズルの検査の結果を採用するのである。したがって、本態様によれば、検査装置による検査の信頼性の高いものとなる。例えば、本態様は、あるノズルに対する検査結果が良好ではない場合、上記基準対象の検査を行い、その基準対象の検査において良好な結果が得られたときに、当該検査装置は良好に動作してると認定し、その認定に基づいて、そのノズルが不良ノズルであると判断するような態様であってもよい。なお、本態様では、基準対象の検査において良好な結果が得られなかったときには、検査装置自体に異常があると判断し、そのノズルに対する検査結果を採用しない、若しくは、その後のノズルの検査を実行しないようにすることも可能である。

（１１２）当該ノズル管理機が、吸着ノズルの検査を行うノズル検査装置を備え、かつ、当該ノズル管理機に、そのノズル検査装置による検査において参照される基準対象が設けられており、
前記制御装置が、
吸着ノズルの検査に先立って、前記基準対象を利用して、前記ノズル検査装置による検査の基準の設定と、前記ノズル検査装置の校正との少なくとも一方を、準備処理として行う基準対象依拠検査準備処理部を有する(101)項ないし(111)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

本態様は、先に説明した基準対象を利用した検査を実行するための制御に関する別の一態様である。本態様によれば、検査装置によって、信頼性の高い検査が実行されることになる。

実施例のノズル管理機の管理対象となる吸着ノズルが使用される電気部品装着機を示す斜視図である。 代表的な吸着ノズルを示す斜視図である。 電気部品装着機において吸着ノズルが載置されるノズルトレイを示す図である。 実施例のノズル管理機の外観を示す斜視図である。 ノズル管理機の内部構造を示す斜視図である。 ノズル管理機の内部構造を別の視点で示す斜視図である。 ノズル管理機が備えるノズル移載装置を説明するための斜視図である。 ノズル管理機が備える第１ノズル検査装置を説明するための斜視図である。 ノズル管理機が備える第２ノズル検査装置を説明するための斜視図である。 ノズル管理機が備えるノズル洗浄装置およびノズル乾燥装置を説明するための斜視図である。 図１０に示すノズル洗浄装置およびノズル乾燥装置を、ハウジングを取り除いた状態で示す斜視図である。 ノズル管理機が備えるノズル収容装置において、吸着ノズルが載置されるノズルパレットを示す図である。 ノズル管理機の管理するいくつかの吸着ノズルを示す図である。 載置穴に吸着ノズルが載置された状態、および、採用可能な別の載置穴を示すノズルパレットの一部の断面図である。 ノズル管理機が備える第１ノズル検査装置による先端部状態検査を説明するための模式図である。 ノズル管理機が備える第１ノズル検査装置による後退必要力検査を説明するための模式図である。 ノズル管理機が備える第２ノズル検査装置による通過流量検査および識別子読取検査を説明するための模式図である。 ノズル管理機が備えるノズル洗浄装置およびノズル乾燥装置による吸着ノズルの洗浄および乾燥を説明するための模式図である。 ノズル管理機の制御装置が記憶している収容ノズル情報を模式的に示すテーブルである。 ノズル管理機の制御装置が記憶している収容トレイ情報を模式的に示すテーブルである。 ノズル管理機の制御装置が吸着ノズルのノズルトレイへのセッティングの際に利用するノズルセッティング情報を模式的に示すテーブルである。 ノズル管理機がノズル収容オペレーションを行うために実行されるノズル収容プログラムを示すフローチャートである。 ノズル管理機がノズルセッティングオペレーションを行うために実行されるノズルセッティングプログラムを示すフローチャートである。 ノズル管理機がノズル再セッティングオペレーションを行うために実行されるノズル再セッティングプログラムの前半部分を示すフローチャートである。 ノズル管理機がノズル再セッティングオペレーションを行うために実行されるノズル再セッティングプログラムの後半部分を示すフローチャートである。 ノズル管理機がノズル洗浄オペレーションを行うために実行されるノズル洗浄プログラムを示すフローチャートである。 ノズル管理機が第１ノズル検査オペレーションを行うために実行される第１ノズル検査プログラムを示すフローチャートである。 ノズル管理機が第２ノズル検査オペレーションを行うために実行される第２ノズル検査プログラムを示すフローチャートである。 ノズル管理機が備える制御装置の機能構成を示すブロック図である。

以下、請求可能発明の代表的な実施形態を、実施例として、図を参照しつつ詳しく説明する。なお、請求可能発明は、下記実施例の他、前記〔発明の態様〕の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することができる。また、〔発明の態様〕の各項の説明に記載されている技術的事項を利用して、下記の実施例の変形例を構成することも可能である。

実施例のノズル管理機は、電気部品装着機に使用されている吸着ノズルを管理の対象とする。その吸着ノズルは、回路基板への電気部品の装着において、自身に供給される負圧によって、電気部品を吸着保持する部品保持具である。実施例のノズル管理機の説明を行う前に、電気部品装着機および吸着ノズルについて簡単に説明し、その後に、実施例のノズル管理機について、ノズル管理機の全体構成，ノズル管理機を構成する各装置，ノズル管理機が行ういくつかのオペレーション，それらのオペレーションに関連した制御装置の機能構成を、順次説明する。なお、以下の説明において、「ノズル管理機」，「電気部品装着機」，「吸着ノズル」，「回路基板」，「電気部品」は、それぞれ、単に「管理機」，「装着機」，「ノズル」，「基板」，「部品」と呼ぶ場合があることとする。

［Ａ］電気部品装着機および吸着ノズル
管理機による管理の対象となる吸着ノズルが使用されている電子部品装着機を、図１に、一例として、示す。図では、同じ構造の２台の装着機１０が、ベース１２に並設されている（図では、手前側のものの外装パネルが取り除かれている）。装着機１０は、基板Ｓを搬送するとともに設定位置に固定するコンベア型の基板搬送装置１４と、それぞれが部品Ｐを供給する複数のフィーダ型の部品供給装置１６と、それら部品供給装置１６から供給される部品Ｐを固定された基板Ｓに装着するための装着ヘッド１８と、その装着ヘッド１８を部品供給装置１６と固定された基板Ｓとの間で移動させるヘッド移動装置２０とを含んで構成されている。装着ヘッド１８は、下端部に吸着ノズルＮが取り付けられた動作軸２２と、その動作軸２２を昇降および回転させる動作軸昇降回転装置（図示を省略）とを含んで構成されている。ちなみに、図に示す装着ヘッド１８は、インデックス型の装着ヘッドであり、動作軸２２は、複数のノズルＮを取り付け可能とされている。部品供給装置１６から供給される部品Ｐは、ノズルＮの先端（下端）において吸着保持され、保持された部品Ｐは、装着ヘッド１８が基板Ｓの上方に移動させられた後、ノズルＮによる吸着保持が解除されることで、基板Ｓ上に装着される。ちなみに、部品Ｐを基板Ｓ上の適正位置に適正な姿勢で装着するため、その部品Ｐは、ノズルＮに吸着保持された状態で、当該装着機１０に設けられた部品カメラ２２によって下方から撮像され、撮像によって得られた保持位置および保持姿勢のデータが、装着の際に利用される。

上記ノズルＮが、管理機の管理対象であり、そのノズルＮは、図２に示すようなものである。図２（ａ）は、ノズルＮを、斜め上方から見た図であり，図２（ｂ）は斜め下方から見た図である。それらの図から解るように、ノズルＮは、筒状をなして当該ノズルＮの本体部として機能する胴体筒３０と、胴体筒３０から下方に延び出す吸着管３２と、胴体筒３０の周囲に張り出すようにして同体筒３０に固定されたフランジ３４とを有する。胴体筒３０の上端部が、当該ノズルＮの基端部として機能し、その上端部において、上記動作軸に保持される。吸着管３２は、当該ノズルの先端部として機能し、比較的細いパイプ状のものとされている。胴体筒３０には、２本の掛止ピン３６が延設されおり、それら掛
止ピン３６を利用して、ノズルＮは、動作軸２２に取り付けられる。掛止ピン３６を利用したノズルＮの取付は一般的な手法であり、ここでの説明は省略するともに、他の図において省略する。

吸着管３２には、装着ヘッド１８から、胴体筒３０介して正圧および負圧が選択的に供給される。負圧の供給により、吸着管３２の先端（下端）に部品Ｐが吸着保持され、正圧の供給により、吸着保持された部品Ｐが吸着管３２から離脱させられる。図では内部構造を省略するが、吸着管３２は、胴体筒３０に対して進退可能とされている。詳しく言えば、部品Ｐの基板Ｓへの装着の際に部品Ｐに加わる衝撃を緩和するため、ノズルＮの先端部は、胴体筒３０から進出する方向にばねの力により付勢されており、その付勢力を超えた力が加わった場合に、後退可能に、つまり、胴体筒３０に対して引き込み可能とされている。なお、フランジ３４は、上述した部品カメラ２２による部品Ｐの撮像の際、その撮像が鮮明に行われるための背面形成部材として機能するものであり、ノズルＮの最も外径の大きな部分となっている。フランジ３４の上面には、当該ノズルＮの固有情報を認識するための識別子としての２Ｄコード３８が付されている。この２Ｄコード３８は、固有情報の一種としての当該ノズルＮのＩＤを示すものとなっており、そのＩＤは、ノズルＮの個別管理のために使用される。

図では、一種類のものしか示していないが、ノズルＮは、サイズおよび形状において互いに異なる複数種のものが存在し、本装着機１０でも、サイズにおいて異なるいくつかの種類のノズルＮを動作軸１６に取り付け可能となっており、本装着機１０では、吸着保持する部品Ｐに応じて、それらいくつかの種類のノズルを、自動で交換可能とされている。ちなみに、製造する電気回路（基板Ｓに部品Ｐが装着されたもの）に応じて使用されるノズルＮは異なる。また、装着機１０において使用される複数のノズルＮは、部品供給装置１６の傍らにおいて装着機１０に設けられたノズルステーション５０に、ノズルトレイＮＴに載置された状態で配置されている。

ノズルトレイ（以下、単に「トレイ」と言う場合がある）ＮＴは、ノズルＮを載置させるためのノズル載置器として機能するものであり、図３に示すように、概して板状をなしている。詳しく言えば、トレイＮＴは、ベースプレート６０と、ベースプレート６０の上面を覆うカバープレート６２とを含んで構成されており、カバープレート６２は、ベースプレート６０に対してある程度の範囲で摺動可能とされている。図３（ａ）は、カバープレート６２がベースプレート６０に対してズレた状態を示しており、図３（ｂ）は、カバープレート６２がベースプレート６０にちょうど重なった状態を示している。カバープレート６２はそれら２つの状態の各々における位置の間で摺動可能とされている。

断面図である図３（ｃ）およびノズルＮが載置された状態を示す部分断面図である図３（ｄ）をも参照して説明すれば、ベースプレート６０には、それぞれが載置部を構成する１２の載置穴６４が設けられている。詳しく言えば、本トレイＮＴには、互いにサイズの異なる２種のノズルＮを載置することができ、大きなサイズのノズルＮを載置するための４つの載置穴６４と、小さなサイズのノズルＮを載置するための４つの載置穴６４とが設けられている。載置穴６４は、内周壁の寸法が深さにおいて異なる段付き穴とされており、段差面６６が、ノズルＮのフランジ３４が載置される面とされている。ベースプレート６０の上面における載置穴６４の内径、つまり、最大内径は、フランジの３４の外径よりも僅かに大きくされており、載置穴６４は、ノズルＮの径方向の変位（ズレ）をフランジ３４の外周において規制するように構成されている。また、段差面までの深さは、載置穴６４に載置されたノズルＮのフランジ３４がカバーブレート６２に干渉しない深さとされている。ちなみに、図に示すノズルＮは、段差面までの深さより薄いフランジ３４を有しており、そのノズルＮは、載置穴６４に載置された状態において、フランジ３４の上面が、トレイＮＴのベースプレート６０の上面より突出することはない。図２から解るように
、フランジに３４は外周にノッチ６８が設けられており、そのノッチ６８は、段差面６６に立設された短いピン６９と係合する。それらノッチ６８およびピン６９により、ノズルＮは特定の向きにしか載置できないようになっており、また、トレイＮＴに載置された状態におけるノズルＮの回転が防止されている。

一方、カバープレート６２にも、ベースプレート６０の載置穴６４に対応して、抜穴７０が設けられている。この抜穴７０は、円形をした円穴部７２とその円穴部７２の一方側から延び出すスロット部７４とからなっている。各円穴部７２の内径は、対応する載置穴６４の最大内径と略等しくされている。スロット部７４の幅は、対応する載置穴６４に載置されるノズルＮの胴体筒３０の外径よりもある程度大きくされている。図３（ｂ）に示す状態では、各載置穴６４の中心と対応する抜穴７０の円穴部７２の中心が一致しており、載置穴６４の全体が上方から覗き見れる。一方、図３（ａ）に示す状態では、各載置穴６４の中心と対応する抜穴７０のスロット部７４の先端に存在する円弧の中心とが略一致しており、載置穴６４は、上方からは一部しか覗き見れない。２つの状態は、そのような状態であるため、以下、便宜的に、図３（ｂ）の状態を「載置穴開状態」、図３（ａ）の状態を「載置穴閉状態」と言うことにする。

載置穴開状態では、ノズルＮの載置穴６４への載置、載置穴６４からの離脱を行うことができる。一方、ノズルＮが載置穴６４に載置されている場合に載置穴閉状態とすることで、ノズルＮの胴体筒３０が抜穴７０のスロット部７４を挿通しつつ、フランジ３４の上面の多くの部分が、カバープレート６２によって蓋われる状態となる。この状態において、ノズルＮは、載置穴６４からの離脱が防止される。このノズルＮの離脱防止に関して言えば、トレイＮＴには、カバープレート６２含んで構成される機構、つまり、いわゆるシャッター機構と呼ばれるノズル離脱防止機構が設けられているのである。

カバープレート６２は、図示を省略するスプリングによって、載置穴閉状態となるように付勢されており、そのスプリングの付勢力を超える力でカバープレート６２を摺動させることで、載置穴開状態となる。この摺動は、図示を省略するところの、ノズルステーション５０に配設されたカバー摺動機構によって行われる。装着ヘッド１８の動作軸へのノズルＮの取り付け，動作軸からのノズルＮを取り外し，取り付いているノズルＮの別のノズルＮへの交換は、装着機１０の制御装置によるカバー摺動機構の制御によって載置穴開状態が実現されて、行われる。

トレイＮＴは、ノズルステーション５０に着脱可能とされており、例えば、ある電気回路の製造を開始するにあたって、予めノズルＮが載置されたトレイＮＴをノズルステーション５０にセットすることができ、また、例えば、ある電気回路の製造を終了するにあたって、使用していたノズルＮをトレイＮＴごとノズルステーション５０から外すことができる。したがって、トレイＮＴは、装着機１０の段取り替え等の迅速化に大きく貢献している。なお、本トレイＮＴでは、ベースプレート６０の１つのコーナに、当該トレイＮＴの固有情報を認識するための識別子としての２Ｄコード７６が付されている。この２Ｄコード７６は、固有情報の一種としての当該トレイＮＴのＩＤを示すものとなっており、そのＩＤは、トレイＮＴの個別管理に利用される。

なお、以上説明した吸着ノズルＮおよびトレイＮＴは、上記装着機１０に使用されるものである。以下に示す実施例の管理機は、上記装着機１０に使用されるノズルＮだけを対象とするものではなく、他の装着機に使用されるノズルＮをも対象とする。また、上記トレイＮＴは、装着機１０で使用されるトレイＮＴの一例であり、装着機１０は、種類において異なる他のトレイＮＴをも使用可能である。さらに、装着機によって、使用されるトレイＮＴも異なる。後に説明するが、実施例の管理機は、他のトレイＮＴに載置された若しくは載置されるノズルＮをも管理の対象とする。

［Ｂ］ノズル管理機の全体構成
図４に外観を示すように、実施例の管理機８０は、概して直方体形状をなし、比較的コンパクトなサイズのものとなっている。当該管理機８０の正面（図における左側の面）には、後に詳しく説明する引出８２が設けられている。また、正面上部には、当該管理機８０の制御装置としてのコントローラ８４が付設されている。コントローラ８４は、コンピュータを主要構成要素として構成されるものであり、ディスプレイ８６，操作キー８８，スイッチ９０等の入出力デバイスを有している。外装パネルを外した状態の管理機８０を、図５に、逆方向の視点から見たその管理機８０を、図６に、それぞれ示す。以下に、それらの図を参照しつつ、本管理機８０の内部構造について説明する。ちなみに、図５における左方が当該管理機８０の前方であり、右方が当該管理機８０の後方である。

管理機８０は、いくつかの装置が組み合わされて構成されている。具体的に列挙すれば、後方側に、ノズルパレット（以下、単に「パレット」と言う場合がある）に載置させた状態でノズルＮを収容するノズル収容装置１００が、ノズル収容装置１００の前方左側に、トレイＮＴを収容するトレイ収容装置１０２が、それぞれ配設されている。一方、当該管理機８０の前方側には、それぞれがノズル収容装置１０２に収容されている若しくは収容されるノズルＮに対する何らかの処置（以下、「対ノズル処置」という場合がある）を実行する対ノズル処置実行装置として、上から順に、ノズル移載装置１０４，第１ノズル検査装置１０６，第２ノズル検査装置１０８，ノズル洗浄装置１１０が配設されている。

ここでの説明は簡単に行うが、ノズル移載装置１０４は、トレイＮＴと上記パレットとの間でノズルＮを移載する装置であり、第１ノズル検査装置１０６は、２つの検査項目の検査、具体的には、ノズルＮの先端部の状態に関する検査（先端部状態検査）、および、ノズルＮの先端部の後退に必要な力に関する検査（後退必要力検査）を実行し、第２ノズル検査装置１０８は、２つの検査項目の検査、具体的には、ノズルＮを通過するエアの流量に関する検査（通過流量検査）、および、ノズルＮのフランジ３４に付された識別子としての２Ｄコード３８の読み取りに関する検査（識別子読取検査）を実行する。ノズル洗浄装置１１０は、ノズルＮを高圧水で洗浄する装置である。また、ノズル収容装置１００とノズル洗浄装置１１０との間には、ノズル洗浄装置１１０によって洗浄されたノズルＮを乾燥させるノズル乾燥装置１１２が配設されている。

上記各対ノズル処置実行装置とノズル収容装置１００と間のノズルＮの移送は、各対ノズル処置実行装置に対応した各ノズル移送装置によって行われる。ノズルＮの移送は、上述したパレットに載置した状態で行われるため、各ノズル移送装置は、パレット移送装置とされている。具体的には、ノズル移載装置１０４とノズル収容装置１００との間でパレットを移送する第１パレット移送装置１１４，第１ノズル検査装置１０６とノズル収容装置１００との間でパレットを移送する第２パレット移送装置，第２ノズル検査装置１０８とノズル収容装置１００との間でパレットの移送を行う第３パレット移送装置１１８，ノズル洗浄装置１１０とノズル収容装置１００との間でパレットの移送を行う第４パレット移送装置１２０が、それぞれ配設されている。一方で、ノズル移載装置１０４とトレイ収容装置１０２と間には、それらの間でトレイＮＴを移送するトレイ移送装置１２２が配設されている。また、上述した各装置のための電源，駆動回路，エアコンプレッサ，高圧ポンプ等を内臓した駆動源ユニット１２４が、当該管理機１０の前方側下部に配設されている。

なお、以下の説明において、ノズル収容装置，トレイ収容装置，ノズル移載装置，ノズル検査装置，ノズル洗浄装置，ノズル乾燥装置，パレット移送装置，トレイ移送装置は、それぞれ、単に、「収容装置」，「収容装置」，「移載装置」，「検査装置」，「洗浄装置」，「乾燥装置」，「移送装置」，「移送装置」と言う場合あることとする。また、以
下の説明は、移載装置１０４を中心に示す図７，第１検査装置１０６を中心に示す図８，第２検査装置１０８を中心に示す図９，洗浄装置１１０および乾燥装置１１２を中心として示す図１０および図１１をも参照して行うこととする。

［Ｃ］ノズル収容装置
ノズル収容装置１００は、それぞれに上述のパレットが収容される複数のパレットキャリア（以下、単に「キャリア」と言う場合がある）１３０と、それらキャリア１３０を循環させるキャリア循環機構（以下、単に「循環機構」という場合がある）１３２とを有しており、それら複数のキャリア１３０と循環機構１３２とによって、複数のパレットを当該収容装置１３０内において移動させるパレット移動装置（以下、単に「移動装置」と言う場合がある）１３４が構成されている。以下に、収容装置１００を、パレットと、移動装置１３４とに分けて説明する。

i）ノズルパレット
パレットＮＰは、ノズルＮを載置させるためのノズル載置器として機能するものであり、図１２に示すように、先に説明したトレイＮＴと同様、ベースプレート１４０とベースプレート１４０の上面を覆うカバーレプート１４２とを含んで構成されている。図１２（ａ）は、カバープレート１４２がベースプレート１４０に対してズレた状態を示しており、図１２（ｂ）は、カバープレート１４２がベースプレート１４０にちょうど重なった状態を示している。カバープレート１４２はそれら２つの状態における位置の間で摺動可能とされている。

当該管理機８０は、便宜的に、図１３に示す５種類のノズルＮを管理の対象とするものとして扱うこととすれば、パレットＮＰには、それら５種類のノズルＮのすべてが載置可能とされている。５種類のノズルＮは、形状において互いに異なり、フランジ３４の外径によって３つに分類することができる。図１３は、それらのノズルＮを上方から見た図であり、具体的には、図１３（ａ）に示す小さなサイズのノズルＮａ、図１３（ｂ），（ｃ）にそれぞれ示す中間のサイズのノズルＮｂ，Ｎｃ、図１３（ｄ），（ｅ）にそれぞれ示すサイズの大きなノズルＮｄ，Ｎｅに分類することができる。ベースプレート１４０には、トレイＮＴの場合と同様に、それぞれが載置部を構成する載置穴１４４が設けられている。具体的には、小さなサイズのノズルＮが載置される２４の載置穴１４４ａと、大きなサイズのノズルＮが載置される１５の載置穴１４４ｂが設けられており、載置穴１４４ａには、上記ノズルＮａが、載置穴１１４ｂには、上記ノズルＮｂ，Ｎｃ，Ｎｄ，Ｎｅが載置される。

載置穴１４４ａに関しては、先に説明したトレイＮＴの載置穴６４と同様であり、１つの段差面１４６を有するものであるため、ここでの説明を省略する。ノズルＮが載置された状態を示す図１４を参照しつつ、載置穴１４４ｂについて説明すれば、載置穴１４４ｂは、内周壁の寸法が深さにおいて異なる段付き穴とされており、詳しくは、２つの段差面１４６ａ，１４６ｂを有する段付き穴とされている。図１４（ａ）に示すように、大きなサイズのノズルＮｄ，Ｎｅは、上方に位置する段差面１４６ａに載置され、一方、図１４（ｂ）に示すように、中間サイズのノズルＮｂ，Ｎｃは、下方に位置する段差面１４６ｂに載置される。つまり、いずれの段差面１４６ａ，１４６ｂも、ノズルＮが載置される面とされており、載置穴１４４ｂは、内周壁が深さ方向において内寸法が異なり、互いにフランジ３４の外径において異なる複数種のノズルＮのフランジ３４が、互いに異なる深さの位置において嵌るように構成されているのである。また、載置穴１４４ｂは、いずれのノズルＮに対しても、それらノズルＮの径方向の変位（ズレ）をフランジ３４の外周において規制するように構成されており、いずれの段差面１４６ａ，１４６ｂにも、ノズルＮの回転防止のために、フランジ３４のノッチ６８が係合するピン１４８が立設されている。

なお、上述複数の段差面１４６を有する形状の載置穴１４４ｂに代えて、例えば、図１４（ｃ）に示すように、軸線方向、つまり、深さ方向において、内周壁の内寸法が漸減するようなテーパ穴の載置穴１４４ｃを採用することも可能である。そのような載置穴１４４ｃであっても、互いにフランジ３４の外径において異なる複数種のノズルＮのフランジ３４が、互いに異なる深さの部分で嵌るように構成されることになる。ちなみに、図は、中間サイズのノズルＮｂ，Ｎｃが載置された状態を示しており、大きなサイズのノズルＮｄ，Ｎｅが載置される場合は、ノズルＮｂ，Ｎｃより上方の位置に載置されることになる。

一方、カバープレート１４２には、トレイＮＴと同様、ベースプレート１４０の載置穴１４４ａ，１４４ｂにそれぞれ対応して、それぞれが円穴部抜１５０およびスロット部１５２を有する抜穴１５４ａ，１５４ｂが設けられている。図１３（ｂ）に示す状態では、各載置穴１４４の中心と対応する抜穴１５４の円穴部１５０の中心が一致しており、先に説明した載置穴開状態が実現され、図１３（ａ）に示す状態では、各載置穴１４４の中心と対応する抜穴１５４のスロット部７４の先端に存在する円弧の中心とが略一致しており、載置穴閉状態が実現される。そのような構造から、パレットＮＰにも、ノズルＮの離脱防止に関して、カバープレート１４２含んで構成される機構、つまり、いわゆるシャッター機構と呼ばれるノズル離脱防止機構が設けられているのである。ちなみに、トレイＮＴと同様、カバープレート１４２は、図示を省略するスプリングによって、載置穴閉状態となるように付勢されており、そのスプリングの付勢力を超える力でカバープレート１４２を摺動させることで、載置穴開状態となる。

パレットＮＰには、トレイＮＴと同様、ベースプレート１４０の１つのコーナに、当該パレットＮＰの固有情報を認識するための識別子としての２Ｄコード１５６が付されている。この２Ｄコード１５６は、固有情報の一種としての当該パレットＮＴのＩＤを示すものとなっており、そのＩＤは、トレイＮＴの個別管理に利用される。

本パレットＮＰには、ベースプレート１４０の１つのコーナ部に、基準ノズル１５８が、その基準ノズル１５８の傍らに、基準パイプ１６０が、いずれも、ベースプレート１４０を貫通する状態で固定されている。基準ノズル１５８は、実際のノズルＮ、具体的には、上述のノズルＮｂである。一方、基準パイプ１６０は、ノズルＮの一部、詳しくは、胴体筒３０および吸着管３２を模した模擬物である。それら基準ノズル１５８および基準パイプ１６０は、上述の第１検査装置１０６および第２検査装置１０８による検査において参照される基準対象として機能し、それら検査装置１０６，１０８による検査の基準の設定と、それら検査装置１０６，１０８の校正若しくは検定との少なくとも一方に利用される。具体的な利用に関しては、後に詳しく説明するが、基準ノズル１５８は、第１検査装置１０６による後退必要力検査、および、第２検査装置による識別子読取検査において参照され、一方、基準パイプ１６０は、第１検査装置１０６による先端部状態検査、および、第２検査装置１０８による通過流量検査において参照される。ちなみに、それら基準ノズル１５８，基準パイプ１６０は、いずれも、基準対象として参照される検査において、通常良好な検査結果が得られるように構成されている。なお、本管理機８０では、基準対象が、パレットＮＰに設けられているが、例えば、第１検査装置１０６若しくは第２検査装置１０８によって検査可能な位置において、当該管理機８０の躯体，他の装置等に設けられてもよい。

ii）パレット移動装置
先に説明したように、パレット移動装置１３４は、複数のパレットキャリア１３０とキャリア循環機構１３２とを含んで構成されている。キャリア１３０は、概してチャンネル形状、つまり、断面が“コ”の字状をなす形状の部材とされており、当該チャンネル形状
における開口が下方を向く姿勢で配置されている。キャリア１３０には、下端部に、詳しくは、チャンネル形状における２つのフランジの下端部の内側に、１対のレール１７０が付設されており、上述したパレットＮＰは、その１対のレール１７０によって、前方に向かって抜出可能に、また、前方から挿入可能に、保持される。

キャリア循環機構１３２は、図５，図６から解るように、上下にそれぞれ配設された１対のスプロケット軸１７２を有している。そのスプロケット軸１７２は、前後方向に延びる状態で配設されており、前後の端部の各々に、スプロケット１７４を有している。１対のスプロケット軸１７２各々の前方側のスプロケット１７４の間、および、後方側のスプロケット１７４との間には、それぞれ、チェーン１７６が巻き掛けられている。前方側のチェーン１７６および後方側のチェーン１７６の各々には、複数のブラケット１７８が、その各々に直角な姿勢で外側に向かって延設されており、前方側のブラケット１７８の各々の先端と、後方側のブラケット１７８の対応する各々の先端とによって、１つのキャリア１３０が揺動可能に支持されている。１対のスプロケット軸１７２の一方が駆動軸とされており、その一方を回転させることによって、各ブラケット１７８が、周回させられる。それにより、各ブラケット１７８によって支持された各キャリア１３０が、一斉に周回させられる。ちなみに、パレットＮＰは、ノズルＮが載置される面が上を向く姿勢で、つまり、カーバープレート１４２が上方に位置する姿勢で、キャリア１３０に保持されており、ブラケット１７８によるキャリア１３０の支持構造は、キャリア１３０がいずれの周回位置にある場合でも、パレットＮＰがその姿勢を保つような構造とされている。

キャリア循環機構１３２は、上述のような構造であることから、パレット移動装置１３４は、収容装置１００内において、複数のパレットＮＰを、鉛直な一平面に平行な一定の経路に沿って、同時に、すなわち、一緒に、循環移動させるパレット循環装置とされているのである。なお、移動装置１３４では、各パレットＮＰの停止位置として、上述の各対ノズル処置実行装置１０４～１０８に対応する複数の設定位置、つまり、第１～第４パレット移送装置１１４～１２０に対応する複数の設定位置が設定されている。この設定位置は、パレットＮＰの循環におけるステーションと考えることのできるものであり、本管理機８０は、特定のステーションに移動して停止させられたパレットＮＰが、そのステーションに対応する第１～第４移送装置１１４～１２０によって、対応する対ノズル処置実行装置１０４～１０８に移送されるように構成されている。ちなみに、パレットＮＰを保持していないキャリア１３０が特定のステーションに位置している場合には、そのステーションに対応する第１～第４移送装置１１４～１２０によって、対応する対ノズル処置実行装置１０４～１０８からそのキャリア１３０にまでパレットＮＰを移送することが可能とされている。

上記各対ノズル処置実行装置とノズル収容装置１００と間のノズルＮの移送は、各対ノズル処置実行装置に対応したノズル移送装置によって行われる。ノズルＮの移送は、上述したパレットＮＰに載置した状態で行われるため、ノズル移送装置は、パレット移送装置とされており、具体的には、ノズル移載装置１０４とノズル収容装置１００との間でパレットを移送する第１パレット移送装置１１４，第１ノズル検査装置１０６とノズル収容装置１００との間でパレットを移送する第２パレット移送装置，第２ノズル検査装置１０８とノズル収容装置１００との間でパレットの移送を行う第３パレット移送装置１１８，ノズル洗浄装置１１０とノズル収容装置１００との間でパレットの移送を行う第４パレット移送装置１２０が、それぞれ配設されている。なお、ノズル移載装置は、１以上のノズルＮを、１つのノズルグループとして移送する機能を有していると考えることができ、それぞれが対ノズル処置実行装置であるノズル移載装置１０４，第１ノズル検査装置１０６，第２ノズル検査装置１０８，ノズル洗浄装置１１０は、後に詳しく説明するように、ノズル移送装置によって移送された１つのノズルグループに含まれるノズルＮに対して処置を行うようにされているのである。

［Ｄ］トレイ収容装置
トレイ収容装置１０２は、先に説明したノズルトレイＮＴを収容する装置で、ノズル収容装置１００のパレット移動装置１３４と同様のトレイ移動装置（以下、単に、「移動装置」という場合がある）１９０を備えており、その移動装置１９０を主要構成要素として構成されている。移動装置１９０は、パレット移動装置１３４と同様に、それぞれにトレイＮＴが収容される複数のトレイキャリア（以下、単に「キャリア」と言う場合がある）１９２と、それらキャリア１９２循環させるキャリア循環機構（以下、単に「循環機構」という場合がある）１９４とを備えている。

キャリア１９２は、先に説明したパレットキャリア１３０と同様に、概してチャンネル形状、つまり、断面が“コ”の字状をなす形状の部材とされており、当該チャンネル形状における開口が下方を向く姿勢で配置されている。パレットキャリア１３０と同様に、キャリア１９２には、下端部に、詳しくは、チャンネル形状における２つのフランジの下端部の内側に、１対のレール１９６が付設されており、トレイＮＴは、その１対のレール１９６によって、ノズルＮが載置される面が上方を向く姿勢で、前方に向かって抜出可能に、また、前方から挿入可能に、保持される。

循環機構１９４は、パレット移動装置１３４の循環機構１３２と同様、図５，図６に示すように、それぞれ２つのスプロケットを前後に有する１対のスプロケット軸，１対のチェーン，各チェーンに延設された複数のブラケットを有しており、各ブラケットによって支持された各キャリア１９２を、一斉に周回させるように構成されている。そのような構造の循環機構１９４を有するトレイ移動装置１９０は、先に説明したパレット移動装置１３４と同様、収容装置１０２内において、複数のパレットＮＰを、鉛直な一平面に平行な一定の経路に沿って、同時に、すなわち、一緒に、循環移動させるトレイ循環装置とされているのである。なお、トレイ移動装置１９０では、各トレイＮＴの停止位置として、上述のノズル移載装置１０４に対応する１つの設定位置、つまり、トレイ移送装置１２２に対応する１つの設定位置が設定されている。その設定位置、つまり、そのステーションに移動して停止させられたトレイＮＴが、トレイ移送装置１２２によって、移載装置１０４に移送され、トレイＮＴを保持していないキャリア１９２がそのステーションに位置している場合には、トレイ移送装置１２２によって、移載装置１０４からそのキャリア１９２までトレイＮＴを移送することが可能とされている。

［Ｅ］ノズル移載装置
管理機８０では、収容装置１００に収容されているノズルＮをトレイＮＴへセッティングするために、パレットＮＰからそのトレイＮＴへのそのノズルＮが移載され、また、収容装置１００にノズルＮを収容するために、そのノズルＮがトレイＮＴからパレットＮＰに移載される。前者を「セッティング移載」と、後者を「収容移載」と、それぞれ呼べば、それらセッティング移載および収容移載は、当該管理機８０の前方側上部に位置する上述のノズル移載装置１０４によって行われる。

図７に示すように、管理機８０が備える引出８２（図では、若干引き出された状態である）は、テーブル２００を有しており、上記移載に供されるトレイＮＴは、テーブル２００に設けられた固定ステージ２０２と可動ステージ２０４との一方にセットされる。固定ステージ２０２は、テーブル２００に固定されており、可動ステージ２０４は、テーブル２００設けられたステージスライド機構２０６によって、前後方向にスライド可能にテーブル２００に支持されている。ちなみに、図では、固定ステージ２０２は、トレイＮＴがセットされている状態を、可動ステージ２０４は、トレイＮＴはセットされていない状態を示している。また、図では、可動ステージ２０４が移動範囲における前方端である設定位置、つまり、移載位置に位置している状態を示している。さらに、それぞれのステージ
２０２，２０４のトレイＮＴの保持に関する構造、および、トレイＮＴに載置されているノズルＮは、簡素化のために、図示を省略している。なお、セットされたトレイＮＴを上述の載置穴開状態とするための機構として、カバープレート６２を摺動させるカバー摺動機構（図示を省略）が、固定ステージ２０２および可動ステージ２０４のそれぞれに設けられている。

固定ステージ２０２および可動ステージ２０４のいずれに対しても、引出８２が引き出された状態において、オペレータは、トレイＮＴをセットすることができ、また、セットされていたトレイＮＴを取り外すことができる。さらに、可動ステージ２０４が移動範囲における後端位置に位置させられた状態において、トレイ収容装置１０２との間で、トレイＮＴの移載が可能となっている。詳しく言えば、収容装置１０２内において、上述した設定位置、つまり、移載装置対応ステーションに位置させられているキャリア１９２と、可動ステージ２０４との間で、トレイＮＴの移載が行われる。ちなみに、このトレイＮＴの移載のための機構であるトレイ移載機構については、記載を省略している。なお、可動ステージ２０４，ステージスライド機構２０６，トレイ移載機構を含んで、テーブル２０００上の設定位置と収容装置１０２との間で、端的に言えば、移載装置１０４と収容装置１０２との間でトレイＮＴを移送する前述のトレイ移送装置１２２が構成されているのである。

以上の説明から解るように、本管理機８０では、外部から持ち込まれて固定ステージ２０２若しくは可動ステージ２０４にセットされたトレイＮＴに対してのセッティング移載が可能とされているばかりでなく、収容装置１０２に収容されているトレイＮＴへのセッティング移載も可能とされている。さらに言えば、ノズルＮのセッティングが完了したトレイＮＴや、ノズルＮが載置された状態で外部から持ち込まれたトレイＮＴを、収容装置１０２に収容することも可能とされている。

一方、セッティング移載および収容移載に供されるパレットＮＰは、ノズル収容装置１００内において移載装置１０４に対応する設定位置、つまり、移載装置対応ステーションに位置させられているキャリア１３０から、第１パレット移送装置１１４（構造については後述する）によって、移載装置１０４によるノズルＮの移載が可能な設定位置、つまり、移載位置にまで、移送される。図においてパレットＮＰが位置している位置が、移載位置である。セッティング移載および収容移載に供されるパレットＮＰは、それらの移載が完了した後に、第１移送装置１１４によって、収容装置１００内の移載装置対応ステーションに位置させられているキャリア１３０にまで、移送される。ちなみに、図では、パレットＮＰに載置されているノズルＮについては、簡素化のため、省略している。なお、移載位置に位置するパレットＮＰをその位置において固定するパレット固定機構（図示を省略する）が、第１移送装置１１４に設けられており、また、移載位置に位置するパレットＮＰを上述の載置穴開状態とするための機構として、カバープレート１４２を摺動させるカバー摺動機構（図示を省略）が、テーブル２００上に設けられている。

移載装置１０４は、テーブル２００の上方に配置されており、移載ヘッド２１０と、移載ヘッド２１０を、左右方向，前後方向，上下方向（以下、それぞれ、「Ｘ方向」，「Ｙ方向」，「Ｚ方向」と言う場合がある）に移動させる３つのヘッド移動機構を有するヘッド移動装置２１２とを含んで構成されている。図７に加えて図５および図６をも参照して解るように、それらの図では、移載ヘッド２１０をＸ方向に移動させるＸ方向移動機構おおよびＹ方向に移動させるＹ方向移動機構については省略しており、Ｚ方向移動機構２１４のみが示されている。ちなみに、Ｘ方向移動機構およびＹ方向移動機構は、当該管理機８０の躯体の上部に設置されてスライド２１６をＺ方向に直角な一平面に沿って移動させるＸＹ型移動装置を構成するものとなっており、Ｚ方向移動機構２１４は、そのスライド２１６に設置されている。

移載ヘッド２１０には、下部において、移載されるノズルＮを保持するためのノズル保持具としての保持チャック２１８と、ノズルＮ，トレイＮＴ，パレットＮＰのそれぞれに付された２Ｄコード３８，７６，１５６を読み取るための識別子読取器としてのカメラ２２０とが取り付けられている。また、移載ヘッド２１０は、保持チャック２１８をそれの軸線回りに回転させるチャック回転機構を有している。ちなみに、上記ヘッド移動装置２１２は、ノズル保持具である保持チャック２１８を移動させる保持具移動装置として機能するものとなっている。

移載装置１０４の基本的な動作について簡単に説明すれば、上述のセッティング移載と収容移載との少なくとも一方が行われる際、移載ヘッド２１０がヘッド移動装置２１２によって移動させられ、カメラ２２０によって、トレイＮＴに付された２Ｄコード７６とパレットＮＰに付された２Ｄコード１５６との少なくとも一方が撮像される。そして、移載ヘッド２１０がヘッド移動装置２１２によって移載元となるパレットＮＰまたはトレイＮＴの上方に移動されられて、移載の対象となるノズルＮの２Ｄコード３８がカメラ２２０によって撮像されつつ、そのノズルＮが保持チャック２１８によって保持され、次いで、移載ヘッド２１０がヘッド移動装置２１２によって移載先となるトレイＮＴまたはパレットＮＰの上方に移動させられ、保持されたノズルＮが、保持チャック２１８から離脱させられて、そのトレイＮＴまたはパレットＮＰの特定の若しくは任意の載置穴６４，１４４に載置される。

なお、テーブル２００上には、パレットＮＰのベースプレート１４０のような載置プレート２２０、詳しく言えば、いくつかの載置穴を有する載置プレート２２２が設置されており、この載置プレート２２２は、例えば、ノズルＮのトレイＮＴへのセッティング若しくは収容装置１００への収容の際、ノズルＮの仮置き等に利用される。また、テーブル２００上には、上記各種検査項目の検査の結果に基づいて不良と判断されたノズルＮ、つまり、不良ノズルを留置する不良ノズル留置器として、不良ボックス２２４が、取り外し可能に設置されている。図から解るように、この不良ボックス２２４は、４つの空間２２６に仕切られており、それら４つの空間２２６の各々は、それぞれ、不良ノズルを区別して留置するため留置部とされている。この不良ボックス２２４の利用に関しては、後に詳しく説明するが、不良ボックス２２４への不良ノズルの運搬は、ノズルＮのトレイＮＴへのセッティングのついでに、若しくは、セッティングとは関係なく、上記ノズル移載装置１０４によって行われる。したがって、移載装置１０４は、不良ノズル運搬装置として機能するものとなっている。

［Ｆ］第１ノズル検査装置
第１ノズル検査装置１０６は、ノズル移載装置１０４の下方に位置し、先に説明したように、２つの検査項目の検査、具体的には、先端部状態検査および後退必要力検査を実行する装置である。図８を参照しつつ説明すれば、上述の収容装置１００内の設定位置、つまり、第１検査装置対応ステーションに位置させられたパレットＮＰが、上述の第２パレット移送装置１１６（構造については、後述する）によって検査位置まで移送された後、そのパレットＮＰに載置されているノズルＮについての先端部状態検査および後退必要力検査が、第１検査装置１０６によって、ともにノズルＮの下方から行われる。なお、図に示すパレットＮＰの位置が、上記検査位置であり、第２移送装置１１６には、その検査位置においてパレットＮＰを固定するパレット固定機構（図示を省略）が設けられている。ちなみに、図では、パレットＮＰに載置されているノズルＮは、簡素化のため、省略されている。

第１検査装置１０６は、基台２３０と、その基台２３０上に固定されたカメラ装置２３２および荷重測定装置２３４とを含んで構成された検査ユニット２３５と、その検査ユニ
ット２３５を移動させるユニット移動装置２３６とを含んで構成されており、検査ユニット２３５は、上記検査位置に位置させられているパレットＮＰの下方の空間を移動する。カメラ装置２３２は、カメラ本体２３８と、レンズ２３９と、光源としてそのレンズ２３９を囲むように配置されたリングライト２４０とを含んで構成されたものであり、荷重測定装置２３４は、ロードセル２４２を主要構成要素として構成されたものである。ユニット移動装置２３６は、当該管理機８０の躯体の一部をなす１対のビーム２４４に支持された可動ビーム２４６と、その可動ビーム２４６をＹ方向に移動させるベルト駆動式のＹ方向移動機構２４８と、可動ビーム２４６に支持されたスライド２５０をＸ方向に移動させるＸ方向移動機構２５２と、スライド２５０に固定されて検査ユニット２３５を基台２３０において支持するとともに検査ユニット２３５をＺ方向に移動させるＺ方向移動機構２５４とを含んで構成されている。まとめて言えば、第１検査装置１０６によれば、先端部部状態検査，後退必要力検査は、ともに、ノズルＮの先端部側で行われ、それぞれの検査を行うための主要構成要素であるカメラ装置２３２，荷重測定装置２３４は、ノズルＮの先端部側に存在する空間に配置され、それらを、１つの移動装置であるユニット移動装置２３６によって移動させるように構成されているのである。

第１検査装置１０６による先端部状態検査では、図１５（ａ）に示すように、検査ユニット２３５が、ユニット移動装置２３６によって、カメラ装置２３２のレンズ２３９が検査するノズルＮの真下に位置する位置に移動させられる。詳しく言えば、そのノズルＮの吸着管３２のＺ方向の位置はそのノズルＮの固有情報から認識可能であり、レンズ２３９が吸着管３２の先端から設定距離だけ離れる位置に、検査ユニット２３５が位置させられる。その状態で、ノズルＮの先端部、つまり、吸着管３２が、カメラ装置２３２によって撮像される。

図１５（ａ）に示すノズルＮは、吸着管３２の形状が正常なノズルＮであり、そのノズルＮの吸着管３２のカメラ装置２３２による撮影像は、図１５（ｂ）に示すようなものとなる。一方で、図１５（ｃ）～（ｅ）は、それぞれ、それぞれ、吸着管３２の“曲り”、“先端欠け”，“先端潰れ”があるノズルＮを示しており、それらのノズルＮの吸着管３２の撮影像は、図５（ｆ）～（ｇ）に示すようなものとなる。先端部状態検査では、カメラ装置２３２によるノズルＮの撮像データに基づいて、上記“曲り”，“先端欠け”，“先端潰れ”といった先端部形状異常がノズルＮに生じているか否かが確認され、また、図示は省略するが、先端部への“異物の付着”，“汚れの付着”についても確認される。先端部形状異常が生じているノズルＮ、および、先端部に異物や汚れが付着しているノズルＮは、不良ノズルと判断される。なお、後に詳しく説明するが、上述のパレットＮＰに固定されている基準パイプ１６０は、それの先端部が、いずれかのノズルＮについて先端部の状態についての異常が確認された都度、カメラ装置２３２によって撮像され、その基準パイプ１６０の先端部の撮像データに基づいて、その先端部の状態に異常がないことを確認し、その異常がないことを条件に、先端部の状態に異常が確認されたノズルＮが不良ノズルとして認定される。つまり、基準対象としての基準パイプ１６０は、第１検査装置１０６の検定、詳しく言えば、事後検定に利用されるのである。

一方、第１検査装置１０６による後退必要力検査では、図１６に示すように、検査ユニット２３５が、ユニット移動装置２３６によって、荷重測定装置２３４のロードセル２４２の中心が検査するノズルＮの真下に位置する位置に移動させられる。その位置において、検査ユニット２３５が、そのノズルＮの固有情報に基づく設定距離だけ上昇させられる。詳しく言えば、ノズルＮの吸着管３２が、胴体筒３０に対してある程度の距離だけ後退する位置にまで、荷重測定装置２３４が上昇させられるのである。

先に説明したように、吸着管３２は、スプリングによって胴体筒３０から進出する方向に付勢されており、荷重測定装置２３４を上昇させた場合に、吸着管３２の先端がロード
セル２４２の上面に当接し、その状態において、ロードセル２４２は、スプリングの付勢力に相当する荷重を受けることになる。ロードセル２４２は、その荷重を測定する。スプリングによる付勢力は、ノズルＮの固有情報から認識することが可能であり、その付勢力を超えた荷重をロードセル２４２が検出した場合、吸着管３２の後退に必要な力が大き過ぎることになる。例えば、異物のノズルＮ内の混入、胴体筒３０の破損等によって、吸着管３２が胴体筒３０に引き込み難くなり、その場合に、後退必要力が過大となる。後退必要力が上記固有情報にに基づいて設定された閾力を超えた場合に、後退必要力が過大であると認定され、そのノズルＮが不良ノズルであると判断される。なお、１つのパレットＮＰに載置されているノズルＮについて後退必要力検査を行う場合、その検査に先立って、上述の基準ノズル１５８についての上記荷重を測定し、その測定された荷重に基づいて、ロードセル２４２の校正、すなわち、ロードセル２４２によって測定される荷重の値が、実際の値に等しくなるようにするための調整が行われるのである。つまり、基準対象としての基準ノズル１５８は、第１検査装置１０６による後退必要力検査の準備処理として行われる荷重測定装置２３４の校正、言い換えれば、第１検査装置１０６の校正に利用されるのである。

なお、第１検査装置１０６による上記先端部状態検査および上記後退必要力検査は、１つのパレットＮＰに載置されているすべてのノズルＮに対して行ってもよく、一部のノズルＮに対してだけ行ってもよい。また、それら２つの検査の両方を行ってもよく、いずれか一方のみを行ってもよい。載置されているノズルＮの検査が終了した後、上記検査位置に位置させられていたパレットＮＰは、第２移送装置１１６によって、収容装置１００内において上記第１検査装置対応ステーションに位置させられたキャリア１３０に、移送される。

［Ｇ］第２ノズル検査装置
第２ノズル検査装置１０８は、第１ノズル検査装置１０６の下方に位置し、先に説明したように、２つの検査項目の検査、具体的には、通過流量検査および識別子読取検査を実行する装置である。図９を参照しつつ説明すれば、上述の収容装置１００内の設定位置、つまり、第２検査装置対応ステーションに位置させられたパレットＮＰが、上述の第３パレット移送装置１１８（構造については、後述する）によって検査位置まで移送された後、そのパレットＮＰに載置されているノズルＮについての通過流量検査および識別子読取検査が、第２検査装置１０８によって、ともにノズルＮの上方から行われる。なお、図に示すパレットＮＰの位置が、上記検査位置であり、第３移送装置１１８には、その検査位置においてパレットＮＰを固定するパレット固定機構（図示を省略）が設けられている。ちなみに、図では、パレットＮＰに載置されているノズルＮは、簡素化のため、省略されている。

第２検査装置１０８は、検査ヘッド２７０と、その検査ヘッド２７０をパレットＮＰの上方においてパレットＮＰの上面に平行な一平面に沿って移動させるヘッド移動装置２７２とを含んで構成されている。検査ヘッド２７０には、エア送給装置２７４と、識別子読取器としてのカメラ２７６とが並設されている。エア送給装置２７４は、ノズルＮの基端部である胴体筒３０の上端部に接続されるエアジョイント２７８を有し、そのエアジョイト２７８からノズルＮに圧縮空気が送給される。エアジョイント２７８の上方には、送給される圧縮空気の送給路の空気圧を測定する空気圧センサ２８０が、エアジョイント２７８と一体的に配設されている。また、エア送給装置２７４は、エアジョイント２７８を昇降させるジョイント昇降機構２８２を有し、エアジョイント２７８は、そのジョイント昇降機構２８２によって、検査ヘッド２７０に対して昇降させられる。ヘッド移動装置２７２は、第１検査装置１０６に関連して説明した１対のビーム２４４に支持された可動ビーム２８４と、その可動ビーム２８４をＹ方向に移動させるベルト駆動式のＹ方向移動機構２８６と、可動ビーム２８４に支持されたスライド２８８をＸ方向に移動させるＸ方向移
動機構２９０とを含んで構成されている。まとめて言えば、第２検査装置１０８によれば、通過流量検査，識別子読取検査は、ともに、ノズルＮの基端部側で行われ、それぞれの検査を行うための主要構成要素であるエア送給装置２７４，カメラ２７６は、ノズルＮの基端部側に存在する空間に配置され、それらを、１つの移動装置であるヘッド移動装置２７２によって移動させるように構成されているのである。

第２検査装置１０８による通過流量検査では、検査ヘッド２７０が、ヘッド移動装置２７２によって、検査するノズルの真上にエアジョイント２７８が位置する位置に移動させられる。その状態で、エアジョイント２７８が、ジョイント昇降機構２８２によって、そのノズルＮと接続するように下降させられる。図１７（ａ）に示すように、エアジョイント２７８がノズルＮに接続された状態で、エア送給装置２７４は、圧縮空気をノズルＮに送給する。通常のノズルＮは、あまり抵抗ない空気の通過が許容されて、充分な流量が担保されており、空気圧センサ２８０によって測定される空気圧は、比較的低い値となる。一方で、例えば、ノズルＮに“詰まり”が生じているような場合は、ノズルＮを通過する空気に対する通過抵抗が大きくなり、充分な流量が確保されなくなる。この状況では、空気圧センサ２８０によって測定される空気圧は、比較的高い値となる。そのことを考慮して、通過流量検査では、空気圧センサ２８０によって測定された空気圧が、閾圧より高くなった場合に、そのノズルＮに“詰まり”が生じていると認定され、そのノズルＮが不良ノズルであると判断される。つまり、この通過流量検査では、空気の流量を直接的に測定する代わりに、ノズルＮの基端部側の圧力を測定することによって、ノズルＮの“詰まり”を認定しているのである。なお、空気圧センサ２８０に代えて流量計（流量センサ）を配設し、通過する空気の流量を直接的に測定し、その測定の結果に基づいて“詰まり”の有無を判断してもよい。

なお、ノズルＮに送給される圧縮空気は、上述の駆動源ユニット１２４内に配設されているコンプレッサ（図示を省略）からエア送給装置２７４に供給されるが、例えば、そのコンプレッサの出力圧に依存して、空気圧センサ２８０によって測定される空気圧が変化する。つまり、第２検査装置１０８に関連する環境条件によって、その空気圧が変化することになるのである。このことを考慮すれば、その環境条件に応じて上記閾圧を設定することが望ましい。本管理機８０では、ノズルＮの通過流量検査に先立ち、パレットＮＰに固定されている基準パイプ１６０に、エア送給装置２７４によって圧縮空気を送給し、そのときに空気圧センサ２８０によって測定される空気圧を基に、上記閾圧を設定するようにされている。つまり、基準対象としての基準パイプ１６０は、第２検査装置１０８による通過流量検査についての準備処理として行われるその検査の基準の設定に利用されているのである。

第２検査装置１０８による識別子読取検査では、検査ヘッド２７０が、ヘッド移動装置２７２によって、検査するノズルＮのフランジ３４に付された識別子である２Ｄコード３８の真上にカメラ２７６が位置する位置に移動させられる。その状態で、カメラ２７６によって、その２Ｄコード３８が撮像される。ちなみに、撮像によって得られる画像は、図１７（ｂ）のようなものである。識別子読取検査では、その撮像によって得られた画像データに基づいて、そのノズルＮのＩＤが認識され、ＩＤが認識できない場合に、そのノズルＮが不良ノズルと判断される。カメラ２７６の不調等によってもＩＤが認識できない場合があるため、本管理機８０では、ノズルＮの２Ｄコード３８の読取に先立って、パレットＮＰに固定されている基準ノズル１５８のフランジ３４に付されている２Ｄコード３８が、カメラ２７６によって撮像され、その撮像によって得られた画像データに基づいて、第２検査装置１０８の識別子読取機能が充分であることが確認され、その機能が充分であることを条件に、ノズルＮの識別子読取検査が行われる。つまり、基準対象である基準ノズル１５８は、第２検査装置１０８の検定、つまり、事前検定に利用されるのである。

なお、第２検査装置１０８による上記通過流量検査および上記識別子読取検査は、１つのパレットＮＰに載置されているすべてのノズルＮに対して行ってもよく、一部のノズルＮに対してだけ行ってもよい。また、それら２つの検査の両方を行ってもよく、いずれか一方のみを行ってもよい。載置されているノズルＮの検査が終了した後、上記検査位置に位置させられていたパレットＮＰは、第２移送装置１１６によって、収容装置１００内において上記第２検査装置対応ステーションに位置させられたキャリア１３０に、移送される。

［Ｈ］ノズル洗浄装置およびノズル乾燥装置
ノズル洗浄装置１１０は、第２ノズル検査装置１０８の下方に位置し、また、ノズル乾燥装置１１２は、洗浄装置１１０と上述の収容装置１００との間に位置している。当該管理機８０には、それら洗浄装置１１０および乾燥装置１１２に関連してハウジング３００が設けられている。図１０は、ハウジング３００の存在する状態においてそれら洗浄装置１１０および乾燥装置１１２を示しており、図１１は、ハウジング３００を取り除いてそれら洗浄装置１１０および乾燥装置１１２を示している。それらの図を参照しつつ説明すれば、収容装置１００内の設定位置、つまり、洗浄装置対応ステーションに位置させられたパレットＮＰが、上述の第４パレット移送装置１２０（構造については、後述する）によって洗浄位置まで移送された後、その位置において、そのパレットＮＰに載置されているノズルＮに対して、洗浄装置１１０による洗浄が行われる。そして、洗浄の後、そのパレットＮＰが第４パレット移送装置１２０によって洗浄装置対応ステーションに移送される間に、そのパレットＮＰに載置されて洗浄が終了したノズルＮに対して、乾燥装置１１２による乾燥が行われる。図に示すパレットＮＰの位置が、上記洗浄位置であり、第４移送装置１２０には、その検査位置においてパレットＮＰを固定するパレット固定機構（図示を省略）が設けられている。ちなみに、図では、パレットＮＰに載置されているノズルＮは、簡素化のため、省略されている。

洗浄装置１１０は、ノズルＮを上方から洗浄するための上部洗浄ユニット３０２と、ノズルＮを下方から洗浄するための下部洗浄ユニット３０４とを含んで構成されており、それらは、略同じ構造のものとされている。それらユニット３０２，３０４の各々は、ハウジング３００に付設された支持フレーム３０６と、その支持フレーム３０６に支持された噴射ノズル３０８と、その噴射ノズル３０８をＹ方向に移動させるＹ方向移動機構３１０とを含んで構成されている。噴射ノズル３０８は、パレットＮＰの全幅に亘ってＸ方向に延びるように配置された細長い直方体形状のものであり、パレットＮＰと向かい合う面に、多数の噴射孔３１２が設けられている。Ｙ方向移動機構３１０は、その噴射ノズル３０８を、パレットＮＰの全長に亘ってＹ方向に移動させるように構成されている。この噴射ノズル３０８には、上述の駆動源ユニット１２４内に設置された高圧ポンプ（図示を省略）によって加圧された高圧水が供給され、その高圧水が、噴射孔３１２から、パレットＮＰに載置されたノズルＮに向かって噴射される。

乾燥装置１１２は、ハウジング３００の上部および下部に配設された複数の送風管３１４を含んで構成されている。それら送風管３１４には、ブロアー（図示を省略）から、駆動源ユニット１２４内に配設された加熱器（図示を省略）を介して、温風（熱風）が送り込まれる。複数の送風管３１４の各々には、複数の放出孔が設けられており、温風は、それら放出孔から、パレットＮＰに載置されたノズルＮに向かって放出される。放出された温風によって、ノズルＮが乾燥させられる。

上述のハウジング３００は、洗浄装置１１０によって噴射される高圧水、および、乾燥装置１１２によって放出される温風が他の装置等に与える悪影響を防止するために設置されたものである。ハウジング３００には、前方側に、内部を覗き見るための透明な窓３１６が設けられ、また、後方側に、遮蔽板３１８、および、その遮蔽板３１８をパレットＮ
Ｐが通過するときにだけ開けるための遮蔽板開閉機構３２０が設けられている。

図１８に示すように、上述の洗浄位置において固定されたパレットＮＰに載置されているノズルＮに対して、洗浄装置１１０による洗浄が行われる。詳しく言えば、上部洗浄ユニット３０２は、ノズルＮの上方から、つまり、ノズルＮの基端側から高圧の水を噴射して、主に、胴体筒３０，フランジ３４の上面等を洗浄する。一方、下部洗浄ユニット３０４は、ノズルＮの下方から、つまり、ノズルＮの先端側から高圧水を噴射して、主に、吸着管３２等を洗浄する。高い洗浄効果を得るため、噴射ノズル３０８は、真下あるいは真上にだけでなく種々の方向に高圧水を噴射するように、噴射孔３１２の向きが調整されている。噴射ノズル３０８は、比較的幅の狭いものであり、パレットＮＰ上にＸ方向に並ぶノズル列のうちの一部にしか高圧水を噴射することができないため、噴射ノズル３０８が、Ｙ方向移動機構３１０によって、パレットＮＰのＹ方向における全長に亘って移動させられる。ちなみに、噴射ノズル３０８は、２流体式のノズル、つまり、圧縮空気によって水を分散して噴射するノズルではなく、ポンプによって加圧された水を、その水の圧力によって、直接噴射孔３１２から噴射するように構成されたノズルである。そのため、洗浄装置１１０は、洗浄能力の高いものとされている。

乾燥装置１１２は、ノズルＮの洗浄が終了して検査位置に存在するパレットＮＰを第４移送装置１２０が洗浄装置対応ステーション１３０に移送する際に、温風を利用したエアブローによって行われる。そのため、乾燥に必要な時間の少なくとも一部において、パレットＮＰを収容装置１００に返送することができ、洗浄，乾燥といった一連の作業における時間的ロスが小さいものとなっている。なお、温風は、比較的早い速度の風であり、その温風の圧力によってノズルＮに付着している水滴が吹き飛ばされるとともに、その温風の有する温度によって、ノズルＮに付き残る水分が乾燥させられる。

［Ｉ］パレット移送装置
それぞれがノズル移送装置である第１～第４パレット移送装置１１４～１２０は、先に説明したように収容装置１００と、対応する対ノズル処置実行装置との間で、パレットＮＰを移送する装置である。第１，第２，第３移送装置１１４，１１６，１１８は、略同一の構造を有しており、第４移送装置１２０は、若干、それら第１，第２，第３移送装置１１４，１１６，１１８とは異なる構造を有している。

図５～図７を参照しつつ説明すれば、第１，第２，第３移送装置１１４，１１６，１１８の各々は、収容装置１００から前方に向かって延び出すように配設された１対のレール３３０を有しており、パレットＮＰは、その１対のレール３３０にそれらに跨るように支持され、それら１対のレール３３０上を摺動する。また、第１，第２，第３移送装置１１４，１１６，１１８の各々は、収容装置１００のキャリア１３０と１対のレール３３０の間、および、１対のレール３３０上において、パレットＮＰを移動させる移動機構３３２を備えている。移動機構３３２は、当該管理機８０の右側に前後に延びるようにして配設されたガイド３３４と、そのガイド３３４に支持された搬送ユニット３３６とを含んで構成されている。搬送ユニット３３６は、ガイド３３４に支持された状態において、そのガイド３３４に沿って自走する構造のものとなっている。図示は省略するが、搬送ユニット３３６は、１対のレール３３０の下方において、それら１対のレール３３０の中間まで延び出す延出部を有しており、その延出部の先端には、下方からパレットＮＰの後端部を把持するクランプが設けられている。

収容装置１００の１つのキャリア１３０が、前述の設定位置、つまり、対ノズル処置実行装置に対応したステーションに位置するときには、１対のレール３３０と、そのキャリア１３の１対のレール１７０とが、互いに一致し、また、搬送ユニット３３６は、それの延出部がそのキャリア１３０の下方を通過するようにして、ガイド３３４の後端にまで移
動することが可能となっている。搬送ユニット３３６がその後端に位置する状態で、上述のクランプによって、キャリア１３０に収容されているパレットＮＰの後端部を把持し、その把持した状態において、搬送ユニット３３６がガイド３３４の前端まで移動することにより、そのパレットＮＰは、上述した設定位置にまで移送される。移送後、クランプによる把持が解除される。設定位置に位置するパレットＮＰをキャリア１３０に移送する場合は、上記動作の逆の動作が行われる。ちなみに、設定位置は、先に説明した移載位置，検査位置，洗浄位置を意味する。なお、先に説明したように、第１，第２，第３移送装置１１４，１１６，１１８の各々は、設定位置に位置するパレットＮＰを、１対のレールに固定するための上記パレット固定機構を有している。

第４移送装置１２０は、ガイドおよび搬送ユニットの構造において、第１，第２，第３移送装置１１４，１１６，１１８と異なる。詳しい説明は省略するが、第４移送装置１２０は、先に説明したように、ハウジング３００内においてパレットＮＰを移送するため、その移送に適した構造のガイド３３８および搬送ユニット３４０が採用されている。当該第４移送装置１２０のその他の部分の構造および動作については、第１，第２，第３移送装置１１４，１１６，１１８と同様であり、説明を省略する。なお、図５において、第１，第２，第３移送装置１１４，１１６，１１８の各々は、搬送ユニット３３６を２つ有しているように描かれているが、搬送ユニット３３６がガイドの前端に位置する状態と後端に位置する状態との両方を便宜的示すためであり、実際には、搬送ユニット３３６は１つしか有していない。

［Ｊ］ノズル管理機が行うオペレーション
上記構成の管理機８０は、制御装置であるコントローラ８４の制御によって、種々のオペレーションを行う。詳しく言えば、コントローラ８４が、種々のプログラムを実行することにより、実行されたプログラムに応じたオペレーションを行う。また、それらのオペレーションは、管理情報、つまり、収容されているノズルＮおよびトレイＮＴを管理する中で作成若しくは取得されるそれらノズルＮおよびトレイＮＴについての情報に基づいて行われる。以下に、その管理情報を例示して説明した後、管理機８０が行ういくかのオペレーションを例示して、それらを、順次、説明する。

i）管理情報
コントローラ８４は、収容されているノズルＮについての管理情報として、「収容ノズル情報」を記憶している。収容ノズル情報は、図１９の収容ノズル情報テーブルとして模式的に表すことのできるものであり、簡単に言えば、どのキャリア１３０に収容されているどのパレットＮＰのどの載置穴１４４にどんなノズルＮが収容されているかを示す情報である。言い換えれば、収容されているノズルＮの固有情報が収容装置１００における収容位置に関連付けられた態様の情報である。以下の説明では、収容ノズル情報は、上記テーブルの形式で記憶されているものとして扱い、そのテーブルを基に、収容ノズル情報について具体的に説明する。

図に示す収容ノズル情報テーブルでは、１行１行が、１つのパレットＮＰの１つの載置穴１４４に、つまり、収容されているノズルＮの１つ１つに対応している。また、そのテーブルの各列が、ノズルＮに関する各種情報に対応している。具体的に言えば、〔キャリアＮｏ〕は、ノズルＮが載置されているパレットＮＰが収容されているキャリア１３０の番号であり、“＃１”，“＃２”，・・・といった具合に収容装置１００が有するキャリア１３０の数までの番号が記憶される。〔パレットＩＤ〕は、ノズルＮが載置されているパレットＮＰの固有情報でとしてのそのパレットＮＰのＩＤである。〔載置穴Ｎｏ〕は、ノズルＮが載置されている載置部としての載置穴１４４の番号であり、図１２に示す小さな載置穴１４４ａに対応して、“Ａ０１”～“Ａ２４”の番号が、大きな載置穴１４４ｂに対応して、“Ｂ０１”～“Ｂ１５”の番号が記憶される。ちなみに、〔キャリアＮｏ〕
，〔パレットＩＤ〕の列における“↓”は、上の行と同じ内容が記憶されていることを便宜的に示している。

〔ノズルＩＤ〕およびそれより右の列は、いずれも、ノズルＮの固有情報である。１つずつ説明すれば、〔ノズルＩＤ〕は、ノズルＮのＩＤである。〔ノズルＩＤ〕が“－”とされているのは、ノズルＮのＩＤが認識不能であることを意味し、“？“とされているのは、ノズルＮのＩＤが未認識であることを意味している。〔ノズル型式〕は、ノズルＮの型式、つまり、種類を表わすものである。具体的には、図１３に示すノズルＮａ～Ｎｅのそれぞれの型式が記憶される。“（・・・・）”は、ノズルの形式が推定されたことを意味する。〔洗浄〕は、ノズルＮが洗浄装置１１０による洗浄がなされたものであるか否を示しており、“◎”は、洗浄されていることを、“●”は、未だ洗浄されていないことを、それぞれ表している。

〔不良要因〕は、ノズルＮが不良ノズルと判断されている場合において、その不良の要因、つまり、上述の４つの項目の検査のいずれにおいて不良ノズルと判断されたかを示している。４つの項目の検査のいずれかにおいて不良ノズルであると判断された場合、〔識別子読取〕，〔通過流量〕，〔先端部状態〕，〔後退必要力〕の４つの列のうちの不良ノズルであると判断された項目のに対応する列に、“×”が記憶される。“○”は、各項目の検査において不良ノズルと判断されなかったこをを意味し、各列に、“○”も“×”も記憶されていない場合には、検査が未だ行われていないことを意味する。

なお、〔ノズルＩＤ〕～〔洗浄〕の列に、何らの記載もされていない行は、その行に対応する載置穴１４４、つまり、あるキャリア１３０に収容されているパレットＮＰのその載置穴１４４に、ノズルＮが載置されていないことを示している。

また、コントローラ８４は、収容されているトレイＮＴについての管理情報として、「収容トレイ情報」を記憶している。収容トレイ情報は、図２０の収容トレイ情報テーブルとして模式的に表すことのできるものであり、簡単に言えば、どのキャリア１９２にどんなトレイＮが収容されているかを示す情報である。言い換えれば、収容ノズル情報と同様、収容されているトレイＮＴの固有情報が収容装置１０２における収容位置に関連付けられた態様の情報である。以下の説明では、収容ノズル情報と同様、収容トレイ情報は、上記テーブルの形式で記憶されているものとして扱い、そのテーブルを基に、収容トレイ情報について具体的に説明する。

図に示す収容トレイ情報テーブルでは、１行１行が、収容装置１０２の１つのキャリア１９２、つまり、収容されているトレイＮＴの１つ１つに対応している。また、そのテーブルの各列が、トレイＮＴに関する各種情報に対応している。具体的に言えば、〔キャリアＮｏ〕は、トレイＮＴが収容されているキャリア１９２の番号であり、“＃１”，“＃２”，・・・といった具合に収容装置１０２が有するキャリア１９２の数までの番号が記憶される。〔トレイＩＤ〕は、トレイＮＴの固有情報の１つとしてのそのトレイＮＴのＩＤである。〔トレイ型式〕は、トレイＮＴの型式、つまり、種類を表わすものである。〔不良〕は、トレイＮＴが不良であるか否かを示しており、“×”は、不良トレイであることを意味する。〔ＳＥＴ済〕は、収容されているトレイＮＴにノズルＮがセッティングされているか否か示しており、“◎”は、トレイＮＴにノズルＮがセッティングされていることを、空白は、空のトレイＮＴであることを示している。ちなみに、〔トレイＩＤ〕，〔トレイ型式〕の列に、何らの記載もされていない行は、その行に対応するキャリア１９２には、トレイＮＴが収容されていないことを示している。

さらに、コントローラ８４は、ノズルＮのトレイＮＴへのセッティングに関する管理情報として、「ノズルセッティング情報」を利用する。ノズルセッティング情報は、図２１
のノズルセッティング情報テーブルとして模式的に表すことのできるものであり、簡単に言えば、どのトレイＮＴのどの載置穴６４にどんなノズルＮが載置されているかを示す情報である。〔載置穴Ｎｏ〕は、ノズルＮが載置される載置部としての載置穴６４の番号であり、図には、一例として、図３に示すトレイＮＴに関する情報を示している。具体的には、図３に示す比較的小さな載置穴６４に対応して、“ａ１”～“ａ８”の番号が、比較的大きな載置穴６４に対応して、“ｂ１”～”ｂ４”の番号が付される。

ノズルＮのパレットＮＴへのセッティングは、〔トレイＩＤ〕，〔ノズルＩＤ〕が記載されていない、つまり、〔トレイ型式〕および〔ノズル型式〕だけが示されているノズルセッティング情報に基づいて開始され、セッティングが終了した時点で〔トレイＩＤ〕，〔ノズルＩＤ〕が付されることになる。

上述した管理情報は、以下に説明する当該管理機８０によるいくつかのオペレーションの中で、更新，リセット等される。以下の説明では、オペレーションに関するプログラムのフローチャートに基づいて、それらオペレーションの説明を行うが、そのフローチャートでは、上記更新，削除，追加等に関する処理の表記は省略し、それらの処理の説明は、フローチャートの各ステップの説明に中で行うこととする。

ii）ノズル収容オペレーション
ノズル収容オペレーションは、例えば装着機において使用されたノズルＮの洗浄，検査，保管等を目的として、トレイＮＴに載置されたノズルＮを収容装置１００に収容するためのオペレーションであり、そのオペレーションは、コントローラ８４が図２２にフローチャートを示すノズル収容プログラムを実行することによって、行われる。当該管理機８０のオペレータが、ノズルＮが載置されているトレイＮＴを、上述の引出８２を開けて、上述の固定ステージ２０４または可動ステージ２０４にセットした後、当該オペレーションの開始の指令を、コントローラ８４の操作キー８８によって入力することによって、当該オペレーションが開始する。なお、固定ステージ２０２にトレイＮＴがセットされた場合は、ノズルＮが収容された後にトレイＮＴを残したまま、当該オペレーションが終了する。一方、可動ステージ２０４にトレイＮＴがセットされた場合は、ノズルＮが収容された後にトレイＮＴを収容装置１０２に収容するか否かを、オペレータの操作キー８８を用いた入力操作に基づいて選択可能とされており、その選択に従って、当該オペレーションが終了する。

ノズル収容プログラムに従った処理では、ステップ１（以下、ステップを「Ｓ」と省略する）において、トレイＮＴが固定されて載置穴開状態が実現されているステージ、つまり、トレイＮＴがセットされたステージが固定ステージ２０２であるか可動ステージ２０４であるかが特定される。次いで、Ｓ２において、特定されたステージの上方に移載ヘッド２１０が移動させられ、カメラ２２０によってトレイＮＴに付された２Ｄコード７６が撮像されてそのトレイＮＴのＩＤが取得される。続くＳ３において、取得されたトレイＮＴのＩＤに基づいて、そのトレイＮＴの型式が特定される。ちなみに、ＩＤ情報の中には、トレイＮＴの型式の情報が含まれている。コントローラ８４は、トレイＮＴの載置穴６４の数，位置等の諸元がトレイの型式に関連付けられたデータ（以下、「トレイ諸元データ」と言う場合がある）を記憶しており、型式の特定の後、Ｓ４において、その型式に基づいて把握されたトレイＮＴの諸元に従って、トレイＮＴに載置されている各ノズルＮの２Ｄコード３８がカメラ２２０によって撮像され、各ノズルＮのＩＤが取得される。続くＳ５において、取得されたＩＤに基づいて、各ノズルＮの型式が特定される。トレイＮＴと同様に、ノズルＮのＩＤ情報の中には、ノズルＮの型式の情報が含まれている。なお、２Ｄマーク３８の汚れ等によってノズルＮＴのＩＤが取得できない場合には、先に作成した上述のノズルセッティング情報、つまり、そのＩＤのトレイＮＴにノズルＮのセッティングを行った際のノズルセッティング情報が利用され、その情報に基づき、ＩＤの取得が
できないノズルＮの型式を推定する。

次に、Ｓ６において、ノズルＮの収容装置１００への収容に際してそれらノズルＮが載置される１つのパレットＮＰが、先に説明した収容ノズル情報に基づいて、収容装置１００が有する複数のパレットＮＰの中から選択される。この選択についての詳しいアルゴリズムの説明は省略するが、Ｓ６では、空の載置穴１４４が存在していること，洗浄の終了したノズルＮが、載置されていないこと等の条件を充足したものの中から、当該管理機８０によるいくつかのオペレーションをできるだけ効率よく行えるという観点に基づいて、１のパレットＮＰが選択される。続くＳ７において、パレット移動装置１３４および第１パレット移送装置１１４が作動させられて、その選択されたパレットＮＰが、上述の移載位置に固定され、載置穴開状態が実現される。つまり、そのパレットＮＰがセットされるのである。

パレットＮＰのセット後、ノズルＮのトレイＮＴからパレットＮＰへの載置に先立って、不良ノズルに対する処置が実行される。詳しくは、Ｓ８において、収容ノズル情報に基づいて、セットされたパレットＮＰに不良ノズルが存在するか否かが確認され、不良ノズルが存在する場合には、Ｓ９において、収容ノズル情報に基づいて、１つの不良ノズルに対しての上述の不良要因が特定され、Ｓ１０において、移載装置１０４によって、その不良ノズルが不良ボックス２２４に運搬される。先に説明したように、不良ボックス２２４は、４つの不良要因に対応して、仕切られた４つの空間２２６が設けられており、不良ノズルの運搬の際、その不良ノズルは、特定された不良要因に対応する１つの空間２２６に留置される。そして、運搬が完了したときに、その不良ノズルについての情報が、収容ノズル情報から削除される。なお、１つの不良ノズルに対して２以上の不良要因が存在する場合も考えられるが、その場合には、その不良ノズルは、図１９に示すテーブルにおいて最も左方の列の不良要因に対応する空間２２６に留置される。Ｓ８～Ｓ１０の処理は、セットされたパレットＮＰに不良ノズルが存在しなくまで繰り返し実行され、不良ノズルが存在しなくなった場合、若しくは、セットされた当初から不良ノズルが存在しない場合に、次のＳ１１が実行される。

Ｓ１１では、セットされたトレイＮＴに載置されているノズルＮの中から、セットされたパレットＮＰに移載可能な１つのノズルＮが、設定された規則に従って選択され、Ｓ１２において、移載装置１０４によって、その選択されたノズルＮが、セットされたパレットＮＰにおいて空となっている載置穴１４４の１つに移載される。つまり、上述の収容移載が行われるのである。いずれの載置穴１４４に載置されるかは、上述の収容ノズル情報，載置されるノズルＮのサイズ等に基づいて、設定された規則に従って決定される。この１つのノズルＮについての収容移載の際、Ｓ４において取得されているそのノズルＮについてのＩＤ、および、Ｓ５において特定されているそのノズルについての型式が、収容ノズル情報として記憶される。つまり、収容ノズル情報の更新が行われるのである。具体的には、図１９に示すテーブルの行のうちの１つ、つまり、ノズルＮが載置された載置穴１４４に対応する行に、上記ＩＤ，上記型式が、そのノズルＮが未洗浄である旨とともに、書き込まれる。

１つのノズルＮについての収容移載の後、Ｓ１３において、セットされたトレイＮＴに載置されていたすべてのノズルＮの収容移載が完了したか否かが判断される。すべてのノズルＮの収容移載が完了していない場合は、Ｓ１４において、セットされているパレットＮＰへのノズルＮの移載を継続するか否かが判断される。ノズルＮのそのパレットＮＰへの移載の継続が可能である場合には、Ｓ１１に戻って、次のノズルＮのそのパレットＮＰへの移載が行われる。例えば空の載置穴１４４が存在しない等の理由で、Ｓ１４においてそのパレットＮＰへの移載の継続ができないと判断された場合には、Ｓ１５において、そのパレットＮＰが、第１移送装置１１４によって、収容装置１００に返送され、Ｓ６に戻
って次のパレットＮＰが選択される。そのパレットＮＰのセット，そのパレットＮＰに載置されている不良ノズルに対する処置が実行された後、そのパレットＮＰへのノズルＮの収容移載が開始される。Ｓ１３において、セットされたトレイＮＴに載置されていたすべてのノズルＮの収容移載が完了したと判断された場合には、Ｓ１６において、セットされているパレットＮＰが、第１移送装置１１４によって、収容装置１００に返送される。

すべてのノズルＮの収容移載が完了し、パレットＮＰが返送された後、Ｓ１７において、空になったトレイＮＴを、トレイ収容装置１０２に収容するか否かが判断される。この判断は、先に説明したように、トレイＮＴが、固定ステージ２０２と可動ステージ２０４とのいずれにセットされているかに基づいて行われる。トレイＮＴが収容装置１０２に収容されると判断された場合には、Ｓ１８において、セットされている空のトレイＮＴが、トレイ移送装置１２２によって、収容装置１０２に収容されて、ノズル収容オペレーションが終了する。一方、Ｓ１７において空のトレイＮＴが収容装置１０２に収容されないと判断された場合には、そのトレイＮＴのセットの解除が行われて、ノズル収容オペレーションが終了する。なお、ノズルＮＴの収容移載に先立って、トレイＮＴに付されている２Ｄコード７６が、移載装置１０４に設けられたカメラ２２によって撮像され、そのトレイＮＴのＩＤが取得されており、トレイＮＴの収容装置１０２への収容の際には、そのトレイＮＴのＩＤ、および、そのＩＤに基づいて特定されたそのトレイＮＴの型式が、収容されるキャリア１９２に関係付けられて上述の収容トレイ情報に追加される。

iii）ノズルセッティングオペレーション
ノズルセッティングオペレーションは、装着機におけるノズルＮの使用の準備等を目的として、必要なノズルＮをトレイＮＴにセッティングするためのオペレーションであり、そのオペレーションは、図２３にフローチャートを示すノズルセッティングプログラムをコントローラ８４が実行することによって、行われる。なお、ノズルセッティングオペレーションでは、ノズルＮをセッティングするためのステージを固定ステージ２０２と可動ステージ２０４のいずれにするか、収容装置１０２に収容されているトレイＮＴと当該管理機８０のオペレータがセットしたトレイＮＴとのいずれを使用するか、セッティングが完了したトレイＮＴを収容装置１０２に収容するか否かが、それぞれ選択できるようになっており、それらの選択は、オペレータによるコントローラ８４の操作キー８８を用いた操作に基づいて行われる。

ノズルセッティングプログラムに従った処理では、まず、Ｓ２１において、当該管理機８０に送信若しくは入力されたノズルセッティング情報、または、既に記憶されているノズルセッティング情報に基づいて、セッティングに供されるトレイＮＴの型式および各ノズルＮの型式が特定される。このノズルセッティング情報は、図２１に示すテーブルにおいて、〔トレイＩＤ〕および〔ノズルＩＤ〕が書き込まれていない情報と考えることができる。

次に、Ｓ２２において、セッティングを行うステージが固定ステージ２０２と可動ステージ２０４のいずれであるかが特定され、Ｓ２３においてその特定されたステージが可動ステージ２０４であると判断された場合には、Ｓ２４において、収容装置１０２に収容されているトレイＮＴを使用するのか否かが判断される。収容装置１０２に収容されているトレイＮＴを使用すると判断された場合には、Ｓ２５において、上記ノズルセッティング情報および上述の収容トレイ情報に基づいて、１つのトレイＮＴが選択され、Ｓ２６において、その選択されたトレイＮＴが、トレイ移送装置１２２によって、載置位置に移送され、その移載位置においてセットされる。一方、Ｓ２３においてオペレータがセットしたトレイＮＴを使用すると判断された場合、若しくは、Ｓ２２において可動ステージ２０２でセッティングが行われると判断された場合には、既に、オペレータによってトレイＮＴがセットされているので、トレイＮＴの選択およびセットは行われない。

次に、Ｓ２７において、セットされたトレイＮＴが良好であるか否かが判断される。移載装置１０４に設けられたカメラ２２０によって、セットされたトレイＮＴに付されている２Ｄコード７６が撮像されて、そのトレイＮＴのＩＤが取得されるが、その際、そのＩＤの取得が不可能である場合に、そのトレイＮＴに不具合があると判断される。また、セットされたトレイＮＴは、載置穴開状態を実現すべく上述のカバー摺動機構が駆動されるが、そのその際のカバー摺動機構の動作が円滑でないような場合に、そのトレイＮＴに不具合があると判断される。

当該ノズルセッティングプログラムに従う処理では、セットされたトレイＮＴに不具合が生じている場合にそのトレイＮＴを良好なトレイＮＴに交換する処理が行われる。このトレイ交換処理では、まず、セットされたトレイＮＴに不具合があるとＳ２７において判断された場合には、Ｓ２８において、そのトレイＮＴが固定ステージ２０２と可動ステージ２４とのいずれにセットされているかが判断される。固定ステージ２０２にセットされていると判断された場合には、そのトレイＮＴの使用を禁止すべく、そのトレイＮＴを固定ステージ２０２に残したまま、Ｓ２９において、ステージの変更処理が行われる。つまり、ノズルＮのセッティングに使用するステージを固定ステージ２０２から可動ステージ２０４に変更する処理が行われる。一方、可動ステージ２０４にセットされていると判断された場合には、Ｓ３０において、そのトレイＮＴが、移送装置１２２によって返送され、収容装置１０２に収容される。この際、そのトレイＮＴのＩＤおよび型式が、そのトレイＮＴが不良トレイである事実ともに、そのトレイＮＴが収容されるキャリア１９２に関係付けられて、上述の収容トレイ情報に追加、若しくは、その収容トレイ情報の更新が行われる。ステージの変更若しくはトレイＮＴの収容が行われた後、Ｓ２５に戻って、別のトレイＮＴが、ノズルセッティング情報および収容トレイ情報に基づいて、選択され、Ｓ２６において、その選択された別のトレイＮＴがセットされる。セットされたトレイＮＴが良好であるとＳ２７において判断された場合には、取得されているそのトレイＮＴのＩＤが、ノズルセッティング情報に追加される。

良好なトレイＮＴがステージにセットされている状態において、Ｓ３１において、セッティング情報および上述の収容ノズル情報に基づいて、セッティング移載に供される１つのパレットＮＰが、ノズルセッティング情報および収容ノズル情報に基づいて、収容装置１００が有する複数のパレットＮＰの中から１つ選択される。この選択についての詳しいアルゴリズムの説明は省略するが、Ｓ３１では、セッティング移載されるノズルＮが１以上載置されていること、載置されているすべてのノズルＮについてのすべての項目の検査が終了していること等の条件を充足したものの中から、ノズルＮのセッティングができるだけ効率よく行えるという観点に基づいて、１つのパレットＮＰが選択される。そして、続くＳ３２において、その選択されたパレットＮＰが、第１移送装置１１４によって移送されて上述の移載位置にセットされる。

パレットＮＰのセット後、ノズルＮのそのパレットＮＰからトレイＮＴへの載置に先立って、先に説明したノズル収容オペレーションと同様の不良ノズルに対する処置が、Ｓ３３～Ｓ３５において実行される。この処置についての詳細については、先に説明してあるので、ここでの説明は省略する。Ｓ３４，Ｓ３５が実行されて不良ノズルが存在しなくなった場合、若しくは、パレットＮＰがセットされた当初からそのパレットに不良ノズルが存在しない場合に、次のＳ３６が実行される。

Ｓ３６では、セットされたパレットＮＰに載置されているノズルＮの中から、セットされたトレイＮＴに載置可能な１つのノズルが、収容ノズル情報およびノズルセッティング情報に基づいて選択され、続く、Ｓ３７において、その選択されたノズルＮが、ノズルセッティング情報に基づいて、セットされたトレイＮＴの特定の載置穴６４に移載される。
つまり、上述のセッティング移載が行われるのである。このセッティング移載の際、移載されるノズルＮについての情報が、収容ノズル情報から削除されるとともに、そのノズルＮのＩＤが、ノズルセッティング情報に追加される。なお、このセッティング移載において、移載装置１０４に設けられたカメラ２２０によって、移載されるノズルＮのＩＤを取得し、その取得したＩＤと収容ノズル情報として記憶されているＩＤとに相違がないことを確認する処理を行ってもよく、また、その確認する処理を行わずに、取得されたＩＤをそのままノズルセッティング情報に追加するようにしてもよい。

１つのノズルＮについてのセッティング移載の後、Ｓ３８において、予定されているすべてのノズルＮのセッティング移載が完了したか否かが判断される。すべてのノズルＮのセッティング移載が完了していない場合は、Ｓ３９において、セットされているパレットＮＰからのノズルＮの移載を継続するか否かが判断される。ノズルＮのそのパレットＮＰからの移載の継続が可能である場合には、Ｓ３６に戻って、次のノズルＮのそのパレットＮＰから次のトレイＮＴへの移載が行われる。例えば、移載できるノズルＮがそのパレットＮＰに存在しない等の理由で、Ｓ３９においてそのパレットＮＰからの移載の継続ができないと判断された場合には、Ｓ４０において、そのパレットＮＰが、第１移送装置１１４によって、収容装置１００に返送され、Ｓ３１に戻って次のパレットＮＰが選択される。そのパレットＮＰのセット，そのパレットＮＰに載置されている不良ノズルに対する処置が実行された後、そのパレットＮＰからのノズルＮのセッティング移載が開始される。Ｓ３９において、予定されてたすべてのノズルＮのセッティング移載が完了したと判断された場合には、Ｓ４１において、セットされているパレットＮＰが、第１移送装置１１４によって、収容装置１００に返送される。

すべてのノズルＮのセッティング移載が完了し、パレットＮＰが返送された後、Ｓ４２において、ノズルＮがセッティングされているトレイＮＴを、トレイ収容装置１０２に収容するか否かが判断される。そのトレイＮＴを収容装置１０２に収容すると判断された場合には、Ｓ４３において、セットされていたトレイＮＴが、トレイ移送装置１２２によって、収容装置１０２に収容されて、ノズル収容オペレーションが終了する。一方、Ｓ４２においてそのトレイＮＴが収容装置１０２に収容されないと判断された場合には、そのトレイＮＴのセットの解除が行われて、そのトレイＮＴを固定ステージ１０２若しくは可動ステージ２０４に残したまま、ノズル収容オペレーションが終了する。なお、ノズルＮＴのセッティング移載に先立って、トレイＮＴに付されている２Ｄコード７６が、移載装置１０４に設けられたカメラ２２によって撮像され、そのトレイＮＴのＩＤが取得されており、トレイＮＴの収容装置１０２への収容の際には、そのトレイＮＴのＩＤが、そのトレイＮＴがノズルＮのセッティングが済んだトレイＮＴである事実ともに、収容されるキャリア１９２に関係付けられて上述の収容トレイ情報に追加される。一方、可動ステージ２０４にセッティングの完了したトレイＮＴを残したまま、当該オペレーションが終了する場合には、収容トレイ情報の中に含まれるそのトレイＮＴについての情報が削除される。

iv）ノズル再セッティングオペレーション
ノズル再セッティングオペレーションは、既にノズルＮがセッティングされているトレイＮＴをステージにセットすることにより、それらのノズルＮに代えて、それらのノズルＮと型式を同じくする別のノズルＮを載置させるオペレーションである。言い換えれば、セッティング済みのトレイＮＴを基にノズルセッティング情報を作成し、その情報に基づいて、ノズルを交換するオペレーションである。ノズルセッティングオペレーションは、コントローラ８４が図２４および図２５にフローチャートを示すノズル再セッティングプログラムを実行することによって、行われる。なお、ノズルセッティングオペレーションでは、ノズルＮをセッティングするためのステージを固定ステージ２０２と可動ステージ２０４のいずれにするか、再セッティングが完了したトレイＮＴを収容装置１０２に収容するか否かが、それぞれ選択できるようになっており、それらの選択は、オペレータによ
るコントローラ８４の操作キー８８を用いた操作に基づいて行われる。

ノズル再セッティングオペレーションでは、簡単に言えば、前半にノズル収容オペレーションが行われる。具体的には、図２４にフローチャートを示すノズル再セッティングプログラムの前半部分に従った処理によって、セットされたトレイＮＴに載置されていたノズルＮが収容装置１００に収容される。当該プログラムのＳ５１～Ｓ６６において行われる処理は、前述のノズル収容プログラムのＳ１～Ｓ１６において行われる処理と略同一であるので、それらの処理の説明については省略するが、Ｓ５３，Ｓ５５において特定されたトレイＮＴの型式およびノズルＮの型式に基づいて、ノズルセッティング情報が作成される。なお、このノズル再セッティングオペレーションでも、Ｓ５８～Ｓ６０において、不良ノズルに対する処置が実行される。

トレイＮＴに載置されていたノズルＮＴが収容装置１００に収容された後、図２５にフローチャートを示すノズル再セッティングプログラムの後半部分に従った処理によって、収容装置１００に収容されている別のノズルＮが、原則として、それまでノズルＮが載置されていたトレイＮＴにセッティングされる。当該プログラムのＳ６７から開始されてＳ８５に至るフローにおいて行われる処理は、前述のノズルセッティングプログラムのＳ２７から開始されてＳ４３に至るフローにおいて行われる処理と略同一であるので、それらの処理の説明は省略する。なお、このノズル再セッティングオペレーションでは、Ｓ７５～Ｓ７７においても、不良ノズルに対する処置が実行され、また、当該オペレーションでも、Ｓ６７～Ｓ７２においても、トレイＮＴを交換するための前述の処理が実行される。

v）ノズル洗浄オペレーション
ノズル洗浄オペレーションは、収容装置１００内の１つのパレットＮＰに載置されているノズルＮを、そのパレットＮＰごと洗浄し、乾燥させるオペレーションである。ノズルＮの洗浄および乾燥の詳細については先に説明されているため、ここでは、当該オペレーションの流れを中心に説明する。ちなみに、このオペレーションおよび後に説明する第１，第２検査オペレーションの３つのオペレーションは、いずれも、本実施例で説明する他のオペレーションのいずれに対しても独立して実行される。つまり、他のオペレーションが実行中であるか否かに拘わらず、他のオペレーションの対象となっているパレットＮＰ以外のパレットＮＰに載置されているノズルＮに対して、設定された条件を満たす限り、３つのオペレーションのいずれをも実行することができるのである。

ノズル洗浄オペレーションは、図２６にフローチャートを示すノズル洗浄プログラムが実行されることによって、行われる。このプログラムに従う処理では、まず、Ｓ１０１において、当該オペレーションの対象となるパレットＮＰが特定される。具体的には、洗浄されていないノズルＮが設定数以上載置されていること等の条件を満たすパレットＮＰのうちの１つが、当該オペレーションおよび他のオペレーションの効率が考慮されて、対象パレットとして決定される。続くＳ１０２において、そのパレットＮＰが、第４パレット移送装置１１８によって、上述の洗浄位置まで移送される。そして、Ｓ１０３において、その位置に位置した状態で、そのパレットＮＰに載置されたノズルＮが、そのパレットＮＰごと、ノズル洗浄装置１１０によって洗浄される。

洗浄装置１１０による洗浄の終了後、Ｓ１０４において、第４パレット移送装置１１８によるそのパレットＮＰの返送の速度が決定される。先に説明したように、第４移送装置１１８によるパレットＮＰの返送の最中に、そのパレットＮＰに載置されたノズルＮの乾燥が行われる。そのため、Ｓ１０４では、充分に乾燥させるのに必要な時間を確保すべく、環境温度，温風の温度等に基づいて、返送の速度が決定される。その決定の後、Ｓ１０５において、その決定された返送速度でのパレットＮＰの返送が行われつつ、そのパレットＮＰに載置されているノズルＮが、パレットＮＰごと、ノズル乾燥装置１１２によって
乾燥させられる。なお、乾燥の終了した後、洗浄されたノズルＮについて、上述の収容ノズル情報が更新される。具体的には、図１９に示すテーブルにおいて、そのパレットＮＰに載置されているノズルＮのすべてに関して、洗浄済であることを示す記号である“◎”が付されるとともに、すべての検査が終了していない状態として扱う旨の更新がなされる。

vi）第１ノズル検査オペレーション
第１ノズル検査オペレーションは、収容装置１００内の１つのパレットＮＰに載置されているノズルＮに対して、第１検査装置１０６による先端部状態検査および後退必要力検査を行うオペレーションであり、図２７にフローチャートを示す第１ノズル検査プログラムが実行されることによって、行われる。なお先端部状態検査および後退必要力検査についての詳細は先に説明されているので、ここでは、当該オペレーションの流れを中心に説明する。

第１ノズル検査プログラムに従う処理では、まず、Ｓ１１１において、当該オペレーションの対象となるパレットＮＰが特定される。具体的には、載置されているノズルＮのすべの洗浄が終了していること等の条件を満たすパレットＮＰのうちの１つが、当該オペレーションおよび他のオペレーションの効率が考慮されて、対象パレットとして決定される。対象パレットが決定された後、Ｓ１１２において、そのパレットＮＰが、第２パレット移送装置１１６によって、検査位置に移送される。

検査位置に移送されたパレットＮＰに載置されたノズルＮの各々に対して、先端部状態検査が、後退必要力検査に優先して行われる。その先端部状態検査は、ノズルＮ１個１個について順次行われる。まず、Ｓ１１３において、１つのノズルＮに対する先端部状態検査が実行される。詳しく言えば、先に説明したように、ユニット移動装置２３６によって、カメラ装置２３２のレンズ２３９が検査する１のノズルＮの真下に位置する位置に移動させられ、そのノズルＮの先端部が、カメラ装置２３２によって撮像され、そして、その撮像によって得られた撮像データを基に、先端部の状態が異常であるか否かが確認される。具体的には、“曲り”，“先端欠け”，“先端潰れ”といった先端部形状異常や、“異物や汚れの付着”がノズルＮに生じているか否かが確認される。その確認の結果を基に、Ｓ１１４において判定を行い、先端部の状態が異常であると認識されている場合、Ｓ１１５において、パレットＮＰに固定されている前述の基準パイプ１６０についての先端部状態検査が実行される。詳しく言えば、カメラ装置２３２によって、基準パイプ１６０の先端部が撮像され、その撮像によって得られた先端部の撮像データに基いて、基準パイプ１６０の先端部の状態に異常があるか否かが確認される。その確認の結果、Ｓ１１６において判定を行い、基準パイプ１６０の先端部の状態が正常である場合に、Ｓ１１７において、そのノズルＮが不良ノズルであると判断される。一方、基準パイプ１６０の先端部の状態が異常である場合には、Ｓ１１８において、第１検査装置１０６の当該検査に関する機能に異常があると認定され、その旨がディスプレイ８６に表示されるとともに、そのノズルＮに対する先端部状態の異常に関する判断を行わず、かつ、他のノズルＮに対する以後の先端部状態検査がスキップされる。Ｓ１１４において先端部の状態が正常であると確認された場合、若しくは、Ｓ１１７において不良ノズルであると判断された場合には、Ｓ１１９の処理によって、パレットＮＰに載置されたすべてのノズルＮについての先端部状態検査が完了するまで、Ｓ１１３以降の処理が繰り返される。

上記一連の処理の結果、先端部の状態においてノズルＮが正常であると判断された場合には、図１９に示す収容ノズル情報におけるそのノズルＮの〔先端部状態〕の列に“○”が、先端部の状態に関して不良ノズルであると判断された場合には、その列に“×”が、それぞれ付される。第１検査装置１０６の当該検査に関する機能に異常があると認定された場合には、当該パレットＰに載置されているすべてのノズルＮの〔先端部状態〕の列が
空白とされる。つまり、そのパレットＮＰに載置されているノズルＮは、いずれも先端部状態検査が行われていないものとして扱われるのである。

先端部状態検査の後、後退必要力検査が、パレットＮＰに載置されているノズルＮの１個１個について、順次、行われる。当該プログラムに従う処理では、各ノズルＮの後退必要力検査に先立って、Ｓ１２０において、パレットＮＰに固定されている上述の基準ノズル１５８についての後退必要力が測定される。つまり、基準ノズル１５８の吸着管３２を後退させる際に、荷重測定装置２３４の有するロードセル２４２が受ける荷重を測定する。次いで、Ｓ１２１において、その測定結果を基に、ロードセル２４２によって測定される荷重の値が、実際の値に等しくなるようにするために、荷重測定装置２３４の調整（例えば、ユニット移動装置２３６による荷重測定装置２３４の上昇距離の設定等）が行われる。

荷重測定装置２３４の上記調整の後、まず、Ｓ１２２において、１つのノズルＮに対する後退必要力検査が実行される。詳しく説明すれば、測定を行うノズルＮの下方にロードセル２４２を位置させた後、荷重測定装置２３４を設定距離だけ上昇させ、そのときのロードセル２４２が受ける荷重を測定する。そして、その荷重が、当該ノズルＮについて設定された閾力を超えた場合に、そのノズルＮの後退必要力が過大であると認定される。その認定の結果を基に、Ｓ１２３において判定を行い、後退必要力が過大である場合に、Ｓ１２４において、そのノズルＮが不良ノズルであると判断される。そして、Ｓ１２５の処理によって、パレットＮＰに載置されたすべてのノズルＮについての後退必要力検査が完了するまで、Ｓ１２２以降の処理が繰り返される。

上記一連の処理の結果、ノズルＮの後退必要力が正常であると判断された場合には、図１９に示す収容ノズル情報におけるそのノズルＮの〔後退必要力〕の列に“○”が、後退必要力に関して不良ノズルであると判断された場合には、その列に“×”が、それぞれ付される。パレットＮＰに載置されているすべてのノズルＮの後退必要力検査が終了した後、Ｓ１２６において、そのパレットＮＰが、第２移送装置１１６によって、収容装置１００に返送される。

vii）第２ノズル検査オペレーション
第２ノズル検査オペレーションは、収容装置１００内の１つのパレットＮＰに載置されているノズルＮに対して、第２検査装置１０８による識別子読取検査および通過流量検査を行うオペレーションであり、図２８にフローチャートを示す第２ノズル検査プログラムが実行されることによって、行われる。なお識別子読取検査および通過流量検査についての詳細は先に説明されているので、ここでは、当該オペレーションの流れを中心に説明する。

第２ノズル検査プログラムに従う処理では、まず、Ｓ１３１において、当該オペレーションの対象となるパレットＮＰが特定される。具体的には、載置されているノズルＮのすべの洗浄が終了していること等の条件を満たすパレットＮＰのうちの１つが、当該オペレーションおよび他のオペレーションの効率が考慮されて、対象パレットとして決定される。対象パレットが決定された後、Ｓ１３２において、そのパレットＮＰが、第３パレット移送装置１１８によって、検査位置に移送される。

検査位置に移送されたパレットＮＰに載置されたノズルＮの各々に対して、識別子読取検査が、通過流量検査に優先して行われる。その識別子読取検査は、第２検査装置１０８が備えるカメラ２７６によって、ノズルＮ１個１個について順次行われるが、各ノズルＮの検査に先立って、Ｓ１３３において、まず、パレットＮＰに固定された基準ノズル１５８のフランジ３４に付されている２Ｄコード３８が、カメラ２７６によって撮像され、そ
の撮像によって得られた画像データに基づいて、第２検査装置１００の識別子読取検査に関する機能が充分であることが確認される。そしてその確認の結果を基に、Ｓ１３４において判定を行い、その機能が充分であることを条件に、Ｓ１３５以下において、各ノズルＮについての当該識別子読取検査が実行される。ちなみに、Ｓ１３４の判定において識別子読取検査に関する機能が不充分であることが確認された場合には、その旨がディスプレイ８６に表示されるとともに、パレットＮＰに載置されたノズルＮの各々に対する識別子読取検査は実行されない。

Ｓ１３５における１つのノズルＮの識別子読取検査は、まず、検査ヘッド２７０が、ヘッド移動装置２７２によって、そのノズルＮのフランジ３４に付された２Ｄコード３８の真上にカメラ２７６が位置する位置に移動させられ、その状態で、カメラ２７６によって、その２Ｄコード３８が撮像される。そして、その撮像によって得られた画像データに基づいて、そのノズルＮのＩＤが充分に認識可能であるか否かが確認される。その確認の結果を基に、Ｓ１３６において判定を行い、撮像された２Ｄコード３８からはＩＤが充分には読取りできない場合、つまり、２Ｄコード３８の読取りが困難である場合には、Ｓ１３７において、そのノズルＮが不良ノズルであると判断される。そして、Ｓ１３８の処理によって、パレットＮＰに載置されたすべてのノズルＮについての識別子読取検査が完了するまで、Ｓ１３５以降の処理が繰り返される。

上記一連の処理の結果、２Ｄコード３８の読取が充分にできる場合、つまり、識別子読取に関してノズルＮが正常である場合には、図１９に示す収容ノズル情報におけるそのノズルＮの〔識別子読取〕の列に“○”が、識別子読取に関して不良ノズルであると判断された場合には、その列に“×”が、それぞれ付される。第２検査装置１０８の当該検査に関する機能が不充分と認定されて各ノズルＮについての識別子読取検査が行われなかった場合には、その事実を収容ノズル情報に反映させるべく、当該パレットＰに載置されているすべてのノズルＮの〔識別子読取〕の列が空白とされる。なお、ノズルＮの収容移載において２Ｄコード３８の読取りできずに、〔ノズルＩＤ〕の列に“？”が付され、〔ノズル型式〕の列に“（・・・・）”が付されているノズルＮのＩＤが、識別子読取検査によって充分に認識可能であると判断された場合には、その検査において読み取られたＩＤが、〔ノズルＩＤ〕の列に書き込まれ、そのＩＤに基づいて特定されるノズル型式が、〔ノズル型式〕の列に書き込まれる。

識別子読取検査の後、通過流量検査が、パレットＮＰに載置されているノズルＮの１個１個について、順次、行われるのであるが、当該プログラムに従う処理では、各ノズルＮの通過流量検査に先立って、Ｓ１３９において、パレットＮＰに固定されている上述の基準パイプ１６０に、エア送給装置２７４によって圧縮空気を供給し、その状態において、空気圧センサ２８０による空気圧の測定が行われる。次いで、Ｓ１４０において、測定された空気圧に基づいて、ノズルＮの通過流量検査の際に参照される上記閾圧が設定される。

閾圧の設定の後、まず、Ｓ１４１において、１つのノズルＮに対する通過流量検査が実行される。詳しく説明すれば、検査を行うノズルＮにエア送給装置２７４によって圧縮空気を供給し、その状態において、空気圧センサ２８０による空気圧の測定が行われる。そして、その測定された空気圧が上記設定された閾値より高い場合に、そのノズルＮの空気の通過流量が不充分であると認定される。その認定の結果を基に、Ｓ１４２において判定を行い、通過流量が不充分である場合に、Ｓ１４３において、そのノズルＮが不良ノズルであると判断される。そして、Ｓ１４４の処理によって、パレットＮＰに載置されたすべてのノズルＮについての通過流量検査が完了するまで、Ｓ１４１以降の処理が繰り返される。

上記一連の処理の結果、ノズルＮの通過流量が正常であると判断された場合には、図１９に示す収容ノズル情報におけるそのノズルＮの〔通過流量〕の列に“○”が、通過流量に関して不良ノズルであると判断された場合には、その列に“×”が、それぞれ付される。パレットＮＰに載置されているすべてのノズルＮの通過流量検査が終了した後、Ｓ１４５において、そのパレットＮＰが、第３移送装置１１８によって、収容装置１００に返送される。

［Ｋ］制御装置の機能構成
先に述べたように、実施例の管理機８０の制御は、制御装置であるコントローラ８４が司っている。詳しく言えば、図２９に示すように、ノズル収容装置１００～トレイ移送装置１２２の各々の動作は、それらとの間で信号，情報をやり取りしつつ、コントローラ８４によって制御される。そして、コントローラ８４の制御の下、管理機８０は、上述した各種のオペレーションを行う。そのオペレーションに鑑みれば、コントローラ８４は、図２９に示すような複数の機能部、つまり、各種のプログラムの実行によって実現される複数の機能部を有していると考えることができる。

複数の機能部の各々について詳しく説明すれば、コントローラ８４は、それぞれがノズルＮに関係する管理情報である上述の収容ノズル情報，ノズルセッティング情報，収容トレイ情報を記憶する機能部として、ノズル情報記憶部４００を有している。具体的には、コントローラ８４の主要構成要素であるコンピュータが有するハードディスク等の記憶媒体が、そのノズル情報記憶部４００の役割を担っている。そして、管理機８０は、その記憶されている管理情報に基づいて、上述のオペレーションを行う。

また、コントローラ８４は、上述の各オペレーションを制御する機能部として６つの機能部を有している。具体的には、ノズル収容オペレーションの制御を行うノズル収容制御部４０２，ノズルセッティングオペレーションの制御を行うノズルセッティング制御部４０４，ノズル再セッティングオペレーションの制御を行うノズル再セッティング制御部４０６，ノズル洗浄オペレーションの制御を行うノズル洗浄制御部４０８，第１ノズル検査オペレーションの制御を行う第１ノズル検査制御部４１０，第２ノズル検査オペレーションの制御を行う第２ノズル検査制御部４１２を、それぞれ有している。そして、それら制御部４０２～４１２は、それぞれ、上述のノズル収容プログラム，ノズルセッティングプログラム，ノズル再セッティングプログラム，ノズル洗浄プログラム，第１ノズル検査プログラム，第２ノズル検査プログラムの実行によって実現される機能部である。

さらに、ノズル収容制御部４０２，ノズルセッティング制御部４０４，ノズル再セッティング制御部４０６に関して、詳しく説明すれば、それら制御部４０４，４０６，４０８の各々は、パレットＮＰに載置されている不良ノズルの処置、つまり、不良ノズルを、それが不良と判断された検査項目に応じて、不良ボックス２２４において仕切られた対応する空間２２６に留置するために、その不良ノズルを運搬する処置を制御する機能部として、不良ノズル運搬制御部４１４を有している。この不良ノズル運搬制御部４１４は、Ｓ８～Ｓ１０，Ｓ３３～Ｓ３５，Ｓ５８～Ｓ６０，Ｓ７５～Ｓ７７のいずれかの実行によって実現される機能部である。また、ノズルセッティング制御部４０４，ノズル再セッティング制御部４０６の各々は、トレイＮＴに不具合が生じていると判断された場合に、トレイ移送装置１２２を制御することによって、そのトレイＮＴを、トレイ収容装置１０２に収容されているトレイＮＴと交換させる機能部として、トレイ交換制御部４１６を有している。このトレイ交換制御部４１６は、Ｓ２７～Ｓ３０およびそれに続くＳ２５～Ｓ２６，，Ｓ６７～Ｓ７２のいずれかの実行によって実現される機能部である。

さらに、第１ノズル検査制御部４１０，第２ノズル検査制御部４１２に関して、詳しく説明すれば、それら制御部４１０，４１２は、ノズル検査装置１０６，１０８によるノズ
ルＮの検査結果が不良となり、かつ、基準対象である基準ノズル１５８若しくは基準パイプ１６０の検査結果が良好であることを条件として、そのノズルＮを不良ノズルと判断する機能部として、基準対象参照不良ノズル判断部４１８を有している。この基準対象参照不良ノズル判断部４１８は、Ｓ１１４～Ｓ１１７，Ｓ１３４～Ｓ１３８のいずれかの実行によって実現される機能部である。また、それら制御部４１０，４１２の各々は、ノズルＮの検査に先立って、基準対象である基準ノズル１５８若しくは基準パイプ１６０を利用して、ノズル検査装置１０６，１０８による検査の基準の設定、若しくは、ノズル検査装置１０６，１０８の校正を、準備処理として行う機能部として、基準対象依拠検査準備処理部４２０を有している。この基準対象依拠検査準備処理部４２０は、Ｓ１２０およびＳ１２１，Ｓ１３９およびＳ１４０のいずれかの実行によって実現される機能部である。

１０：電気部品装着機 １８：装着ヘッド Ｎ：吸着ノズル ３０：胴体筒〔後端部〕 ３２：吸着管〔先端部〕 ３４：フランジ ３６：掛止ピン ３８：２Ｄコード〔識別子〕 ５０：ノズルステーション ＮＴ：ノズルトレイ ６０：ベースプレート ６２：カバープレート ６４：載置穴〔載置部〕 ６６：段差面
７６：２Ｄコード〔識別子〕 ８０：ノズル管理機 ８４：コントローラ〔制御装置〕 １００：ノズル収容装置 １０２：トレイ収容装置 １０４：ノズル移載装置〔対ノズル処置実行装置〕〔不良ノズル運搬装置〕 １０６：第１ノズル検査装置〔対ノズル処置実行装置〕 １０８：第２ノズル検査装置〔対ノズル処置実行装置〕 １１０：ノズル洗浄装置〔対ノズル処置実行装置〕 １１２：ノズル乾燥装置 １１４：第１パレット移送装置〔ノズル移送装置〕 １１６：第２パレット移送装置〔ノズル移送装置〕 １１８：第３パレット移送装置〔ノズル移送装置〕 １２０：第４パレット移送装置〔ノズル移送装置〕 １２２：トレイ移送装置 １３４：パレット移動装置〔パレット循環装置〕 ＮＰ：ノズルパレット １４０：ベースプレート １４２：カバープレート １４４：載置穴〔載置部〕 １４６：段差面 １５６：２Ｄコード〔識別子〕 １５８：基準ノズル〔基準対象〕 １６０：基準パイプ〔基準対象〕〔模擬物〕 １９０：トレイ移動装置〔トレイ循環装置〕 ２０２：固定ステージ ２０４：可動ステージ ２１０：移載ヘッド ２１２：ヘッド移動装置〔保持具移動装置〕 ２１８：保持チャック〔ノズル保持具〕 ２２０：カメラ〔識別子読取器〕 ２２４：不良ボックス〔不良ノズル留置器〕 ２２６：空間〔留置部〕
２３２：カメラ装置 ２３４：荷重測定装置 ２３５：検査ユニット ２３６：ユニット移動装置 ２７０：検査ヘッド ２７２：ヘッド移動装置 ２７４：エア送給装置 ２７６：カメラ ３０２：上部洗浄ユニット ３０４：下部洗浄ユニット ３１０：Ｙ方向移動機構 ３１２：噴射孔 ３１４：送風管 ３３０：レール ３３２：移動機構 ３３４：ガイド ３３６：搬送ユニット ３３８：ガイド ３４０：搬送ユニット ４００：ノズル情報記憶部 ４０２：ノズル収容制御部 ４０４：ノズルセッティング制御部 ４０６：ノズル再セッティング制御部
４０８：ノズル洗浄制御部 ４１０：第１ノズル検査制御部 ４１２：第２ノズル検査制御部 ４１４：不良ノズル運搬制御部 ４１６：トレイ交換制御部 ４１８：基準対象参照不良ノズル判断部 ４２０：基準対象依拠準備処理部

Claims (1)

1. 電気部品装着機において電気部品を保持するために使用される吸着ノズルを管理するためのノズル管理機であって、
   それぞれに複数の吸着ノズルを該ノズル管理機内で移載可能に載置できる複数のパレットと、
   吸着ノズルの洗浄を行うノズル洗浄装置と、
   前記パレットを、前記ノズル洗浄装置に移送することで、複数の吸着ノズルを移送するパレット移送装置と、
   前記ノズル洗浄装置によって洗浄された吸着ノズルの乾燥を行うノズル乾燥装置と、を備えたノズル管理機。
   

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