JP2016103499A - ノズルメンテナンス装置 - Google Patents

Abstract

【課題】作業者の作業工数が削減されて作業効率を向上させることができるノズルメンテナンス装置を提供することを目的とする。【解決手段】ノズル２を保持した複数のホルダ３をパレット２１に収容し、そのパレット２１をパレット保持部２２に取り付けて（保持させ）ホルダ３を供給する。供給したホルダ３によって保持されたノズル２は、ノズル洗浄部２６に受け渡されて洗浄され、ノズル検査部２７に受け渡されて検査されるノズルメンテナンス装置１において、パレット２１がパレット保持部２２に着脱自在な構成となっている。【選択図】図１

Description

本発明は、部品実装装置に用いられるノズルの洗浄及び検査を行うノズルメンテナンス装置に関するものである。

従来、部品実装装置に用いられるノズルのメンテナンスを行う装置として、ノズルを洗浄する機能と、洗浄したノズルを検査する機能とを備えたものが知られている（例えば、特許文献１）。

国際公開第２０１４／０６８６７３号

しかしながら、上記従来のメンテナンス装置にはまだ改善の余地があり、より実用性の高いメンテナンス装置が望まれている。

そこで本発明は、作業者の作業工数が削減されて作業効率を向上させることができるノズルメンテナンス装置を提供することを目的とする。

本発明のノズルメンテナンス装置は、部品実装装置に用いられるノズルの洗浄及び検査を行うノズルメンテナンス装置であって、前記ノズルを保持したホルダが投入されるホルダ投入部と、前記ホルダ投入部に投入された前記ホルダが移送され、前記移送されたホルダに保持された前記ノズルの洗浄を行うノズル洗浄部と、前記ホルダ投入部に投入された前記ホルダが移送され、前記移送されたホルダに保持された前記ノズルの検査を行うノズル検査部とを備え、前記ホルダ投入部は、複数の前記ホルダを収容可能なホルダ収容部材及びこのホルダ収容部材を保持する収容部材保持部を有し、前記ホルダ収容部材は前記収容部材保持部に対して着脱自在である。

本発明によれば、作業者の作業工数が削減されて作業効率を向上させることができる。

本発明の一実施の形態におけるノズルメンテナンス装置の（ａ）正面図（ｂ）平面図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるノズルメンテナンス装置の側面図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるノズルメンテナンス装置に取り付けられるホルダをノズルとともに示す斜視図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるノズルメンテナンス装置に取り付けられるホルダをノズルとともに示す斜視図 本発明の一実施の形態におけるノズルメンテナンス装置の要部斜視図 本発明の一実施の形態におけるノズルメンテナンス装置が備えるホルダ保持テーブルの斜視図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるノズルメンテナンス装置が備えるホルダタイプ検出センサとホルダが備えるタイプ検出用突起との位置関係を説明する図 本発明の一実施の形態におけるノズルメンテナンス装置が備えるノズル洗浄部の側面図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるノズルメンテナンス装置が備えるノズル洗浄部の平面図 本発明の一実施の形態におけるノズルメンテナンス装置が備える洗浄液噴射部とホルダとの関係を示す平面図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるノズルメンテナンス装置が備えるノズル洗浄部の側面図 本発明の一実施の形態におけるノズルメンテナンス装置が備えるノズル洗浄部によりノズルを洗浄している状態を示す図 本発明の一実施の形態におけるノズルメンテナンス装置が備えるノズル検査部の側面図 本発明の一実施の形態におけるノズルメンテナンス装置が備えるノズル検査部の平面図 本発明の一実施の形態におけるノズルメンテナンス装置が備えるノズル検査部によりノズルを検査している状態を示す図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるノズルメンテナンス装置が備えるノズル検査部により得られたノズルの画像の例を示す図 （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるノズルメンテナンスが備えるパレット移動部及びホルダ移送部の動作説明図 （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるノズルメンテナンスが備えるノズル洗浄部の動作説明図 （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるノズルメンテナンスが備えるノズル検査部の動作説明図 本発明の一実施の形態におけるノズルメンテナンス装置によるノズルメンテナンス作業の手順を示すフローチャート

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１（ａ），（ｂ）及び図２（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態におけるノズルメンテナンス装置１を示している。ノズルメンテナンス装置１は、基板に部品を実装して部品実装基板を生産する部品実装装置（図示せず）に用いられる部品のピックアップ用の吸着ノズル（以下、ノズル２と称する）の洗浄及び検査を行う装置である。

ノズル２はホルダ３に保持された状態でノズルメンテナンス装置１の内部に投入される（図１（ｂ）中に示す矢印Ａ）。図３（ａ），（ｂ）において、ホルダ３は、矩形のブロック状の本体部１１とその上面に配置された板状部材１２を備える。本体部１１には上下方向（本体部１１の厚さ方向）に貫通して延びて上面及び下面にそれぞれ開口を有する複数のノズル挿入孔１１ｈがマトリックス状に設けられている。

板状部材１２は本体部１１の上面を横方向にスライド自在（図３（ａ）中に示す矢印Ｂ）に設けられている。板状部材１２は、本体部１１の上面に形成されている各ノズル挿入孔１１ｈの端部開口を露出させる複数の溝部１２ａを有しており、各溝部１２ａの中間部にはその溝部１２ａの内方に突出した複数のシャッター爪１２ｂが形成されている。

図３（ａ）において、ノズル２は上端に部品実装装置の側に取り付けられる基部２ａを有し、中間部に円盤部２ｂを有している。円盤部２ｂの下面は光の反射面となっており、円盤部２ｂの上面には、そのノズル２の個体情報が記録された二次元コードマーク等の識別マーク２Ｍが設けられている。ノズル２の下端は部品実装装置で使用される際に部品を吸着する部品吸着端２ｃとなっている。

板状部材１２は、各シャッター爪１２ｂが横方向に隣接するノズル挿入孔１１ｈ同士の中間部に位置して各ノズル挿入孔１１ｈを開放状態にする図３（ａ）の開放位置と、各シャッター爪１２ｂが各ノズル挿入孔１１ｈの一部にかかるように位置してそのノズル挿入孔１１ｈを非開放状態にする図３（ｂ）の非開放位置との間でスライドする。板状部材１２が開放位置に位置した状態では、ノズル２をノズル挿入孔１１ｈの上端側（すなわち本体部１１の上面側）から挿入し、円盤部２ｂの下面が本体部１１の上面に当接するようにしてそのノズル２をノズル挿入孔１１ｈ内に取り付けることができる（図３（ａ））。このようにノズル２がノズル挿入孔１１ｈ内に取り付けられた状態では、ノズル２の部品吸着端２ｃはノズル挿入孔１１ｈの下端（本体部１１の下面）から下方に突出した状態となる。

上記のようにノズル挿入孔１１ｈ内にノズル２を取り付けた状態から板状部材１２をスライドさせて（図３（ｂ）中に示す矢印Ｂ１）、板状部材１２を非開放位置に位置させると（図３（ｂ））、各ノズル２の円盤部２ｂはその上方に移動したシャッター爪１２ｂと本体部１１との間に挟まれて、本体部１１内に保持される。このため板状部材１２が非開放位置に位置した状態では、ホルダ３を上下反転させても各ノズル２はノズル挿入孔１１ｈから脱落しない。なお、板状部材１２の開放位置と非開放位置との間の切り替えは、通常、ホルダ３が部品実装装置に装着された状態で実行される。例えば、部品実装装置が備える装着ヘッドがホルダ３にアクセスし、装着ヘッドのノズル取り付け部にノズル２を着脱する際に板状部材１２の位置切り換えがなされる。

本実施の形態において、ホルダ３は、横方向に４、縦方向に４のノズル挿入孔１１ｈの列を備えて計１６本のノズル２を保持できる１６本保持タイプのものと、横方向に８、縦方向に４のノズル挿入孔１１ｈの列を備えて計３２本のノズル２を保持できる３２本保持タイプのものとがある。図３（ａ），（ｂ）は１６本保持タイプのホルダ３を示している。図４（ａ）は１６本ノズル保持タイプのホルダ３を上下反転させた状態を示しており、図４（ｂ）は３２本ノズル保持タイプのホルダ３を上下反転させた状態を示している。図４（ａ），（ｂ）において、１６本保持タイプのホルダ３のノズル挿入孔１１ｈの横方向のピッチｄ１は、３２本保持タイプのホルダ３のノズル挿入孔１１ｈの横方向のピッチｄ２の２倍となっている。

１６本保持タイプのホルダ３（図３（ａ），（ｂ）及び図４（ａ））と３２本保持タイプのホルダ３（図４（ｂ））それぞれの本体部１１の上面の一対の隅部にはタイプ検出用突起３Ｔが設けられている。これらタイプ検出用突起３Ｔは、１６本保持タイプと３２本保持タイプでは本体部１１に対する取り付け位置が異なっており、１６本保持タイプでは３２本タイプよりも本体部１１の隅部に近い側に設けられている。（図４（ａ），（ｂ））。なお、ホルダ３の上面は、図４（ａ），（ｂ）では本体部１１の下側の面に相当する。

次に、ノズルメンテナンス装置１について説明する。図１（ａ），（ｂ）及び図２（ａ），（ｂ）において、ノズルメンテナンス装置１は、筐体２０内にパレット２１及びパレット保持部２２から成るホルダ投入部２３、パレット移動部２４、ホルダ移送部２５、ノズル洗浄部２６及びノズル検査部２７を備えている。ホルダ投入部２３は、筐体２０内を作業者から見た場合の手前側の領域に設けられている。パレット移動部２４とホルダ移送部２５はホルダ投入部２３の奥側の領域に設けられており、ノズル洗浄部２６とノズル検査部２７はその更に奥側の領域に設けられている。また、筐体２０の下部には、パレット移動部２４、ホルダ移送部２５、ノズル洗浄部２６及びノズル検査部２７の作動制御をはじめ、ノズルメンテナンス装置１の全体の制御を行う制御装置２８を備えている。

筐体２０の前面には作業者が手動で開閉（図２（ａ）中に示す矢印Ｃ１及び図２（ｂ）中に示す矢印Ｃ２）できるアクセス扉２０ａが設けられており、作業者はアクセス扉２０ａを開けることによりホルダ投入部２３にアクセスすることができる。筐体２０の前面の各所には、作業者が種々の操作を行うための操作パネル２０ｂが備えられている。ノズル洗浄部２６は作業者から見た左側の領域に設けられており、ノズル検査部２７は作業者から見た右側の領域に設けられている。このように本実施の形態では、ノズル洗浄部２６とノズル検査部２７は作業者から見た左右方向、すなわち横方向（Ｘ軸方向とする）に並んで設けられている。

図１（ｂ）及び図５において、パレット２１はホルダ収容部材であり、平板状の部材から成る。パレット２１には複数個（ここでは５つ）のホルダ３を横方向に並べて収容することができる。このとき作業者は、ホルダ３を上下反転させた状態（図４（ａ）又は図４（ｂ）に示す状態）でパレット２１に取り付ける。

パレット２１は収容部材保持部であるパレット保持部２２に対して着脱自在である。このため作業者は、パレット２１に複数のホルダ３を収容させた後、アクセス扉２０ａを開いて（図２（ａ）中に示す矢印Ｃ１）、パレット保持部２２に取り付ける（保持させる）ことができる（図２（ａ）中に示す矢印Ａ及び図２（ｂ））。パレット２１をパレット保持部２２に保持させた状態では、パレット２１に収容された複数のホルダ３の並び方向は、ノズル洗浄部２６とノズル検査部２７の並び方向、すなわちＸ軸方向（第１軸方向）に一致しており、各ホルダ３に保持された各ノズル２は部品吸着端２ｃを上方に向けた姿勢となっている。

図２（ａ），（ｂ）及び図５において、パレット移動部２４は、パレット２１を保持したパレット保持部２２を作業者から見た前後方向（Ｙ軸方向とする）に移動させる（図５中に示す矢印Ｄ）。ホルダ移送部２５は、パレット２１がパレット保持部２２に取り付けられることによってホルダ投入部２３に投入されたホルダ３をパレット２１から取り出したうえで、そのホルダ３をノズル洗浄部２６とノズル検査部２７に移送する機構である。本実施の形態では、ホルダ移送部２５は、上面においてホルダ３を保持する平板状のホルダ保持テーブル２５ａ（第１のホルダ保持部）と、このホルダ保持テーブル２５ａを移動させるホルダ保持テーブル移動機構２５ｂ（第１のホルダ保持部移動手段）から構成される。ホルダ保持テーブル移動機構２５ｂは、ホルダ保持テーブル２５ａをＸ軸方向に移動（図５中に示す矢印Ｅ）させるＸ軸方向移動部２５ｃと、ホルダ保持テーブル２５ａを上下方向（Ｚ軸方向とする）に移動（図５中に示す矢印Ｆ）させる昇降部２５ｄを有する。

図６において、ホルダ保持テーブル２５ａの上面には、上下反転された１６本保持タイプのホルダ３を保持したときに、その本体部１１に設けられた２つのタイプ検出用突起３Ｔが嵌入する一対の第１の嵌入穴Ｒ１と、上下反転された３２本保持タイプのホルダ３を保持したときに、その本体部１１に設けられた２つのタイプ検出用突起３Ｔが嵌入するする一対の第２の嵌入穴Ｒ２が設けられている（図７（ａ），（ｂ）も参照）。第１の嵌入穴Ｒ１は、第２の嵌入穴Ｒ２よりもホルダ保持テーブル２５ａの隅部に近い側に設けられている。（図６及び図７（ａ），（ｂ））。

図６及び図７（ａ），（ｂ）において、ホルダ保持テーブル２５ａには、ホルダ保持テーブル２５ａが保持したホルダ３のタイプを検出するホルダタイプ検出センサ３０（ホルダタイプ検出手段）が設けられている。ホルダタイプ検出センサ３０は、第１の嵌入穴Ｒ１内に設けられた第１センサ３１と第２の嵌入穴Ｒ２内に設けられた第２センサ３２から成る。第１センサ３１は第１の嵌入穴Ｒ１に嵌入した１６本タイプのホルダ３のタイプ検出用突起３Ｔにより押圧されて検出信号を出力する。一方、第２センサ３２は、第２の嵌入穴Ｒ２に嵌入した３２本保持タイプのホルダ３のタイプ検出用突起３Ｔにより押圧されて検出信号を出力する。これら第１センサ３１が出力する検出信号と第２センサ３２が出力する検出信号は制御装置２８に出力される。このため制御装置２８では、ホルダ保持テーブル２５ａにホルダ３が保持されたとき、そのホルダ３が１６本保持タイプであるのか３２本保持タイプであるのかを検知することができる。

図５、図８及び図９（ａ），（ｂ）において、ノズル洗浄部２６は、洗浄室４０と、洗浄室４０内に設けられた洗浄部アーム４１（第２のホルダ保持部）と、洗浄部アーム４１の移動機構である洗浄部アーム移動機構４２と、洗浄液噴射部４３を備えている。洗浄部アーム４１はパレット２１の側面を保持できる構造となっている。洗浄部アーム移動機構４２は洗浄部アーム４１をＹ軸方向（すなわちノズル洗浄部２６とノズル検査部２７の並び方向であるＸ軸方向（第１軸方向）と水平面内で直交する方向であり、第３軸方向）に移動させることができる（図５、図８及び図９（ａ）中に示す矢印Ｇ）。洗浄室４０は前方に開口部４０ａを有しており、洗浄部アーム移動機構４２は開口部４０ａを超えて洗浄部アーム４１をＹ軸方向に移動させる（図９（ａ）→図９（ｂ）。図８中に一点鎖線で示す洗浄部アーム４１も参照）。

洗浄部アーム４１は、洗浄室４０の開口部４０ａよりも前方に位置した状態で、後述する手順によりホルダ３を保持する。このときホルダ移送部２５は、後述する手順によりパレット２１から取り出したホルダ３を洗浄部アーム４１に受け渡す。ホルダ３を保持した洗浄部アーム４１は洗浄部アーム移動機構４２によって洗浄室４０内に戻され、ホルダ３は洗浄室４０内の所定の作業位置に位置される（図８中に実線で示す洗浄部アーム４１参照）。

図８及び図９（ａ），（ｂ）において、洗浄液噴射部４３は洗浄室４０に固定して設けられている。洗浄液噴射部４３は下方に噴射口を向けた複数（ここでは２列計８本）の噴射管４３ａを備えており、これら噴射管４３ａからエア入りの洗浄液を下方に噴射する。本実施の形態では、洗浄液噴射部４３の噴射管４３ａは、Ｘ軸方向に並んだ４つの噴射管４３ａから成る前方噴射管列４３Ａと、前方噴射管列４３Ａの後方にＸ軸方向に並んだ４つの噴射管４３ａから成る後方噴射管列４３Ｂを備えている（図１０も参照）。

本実施の形態では、上記作業位置に位置させた１６本保持タイプのホルダ３に対して洗浄液噴射部４３をＹ軸方向に移動させると、ホルダ３が有する１６個のノズル挿入孔１１ｈの上方を、前方噴射管列４３Ａを構成する４つの噴射管４３ａが通過する（図１０）。また、上記作業位置に位置させた３２本保持タイプのホルダに対してＹ軸方向に移動させると、ホルダ３が有する３２個のノズル挿入孔１１ｈの上方を、前方噴射管列４３Ａを構成する４つの噴射管４３ａ又は後方噴射管列４３Ｂを構成する４つの噴射管４３ａが通過する（図１０）。このため、ノズル２を保持したホルダ３を作業位置に位置させたうえで、洗浄部アーム移動機構４２によって洗浄部アーム４１をＹ軸方向に移動させつつ（図１１（ａ），（ｂ）中に示す矢印Ｇ）、噴射管４３ａから洗浄液を噴射させれば、ホルダ３が１６本保持タイプであるか３２本保持タイプであるかを問わず、ホルダ３に保持された全てのノズル２の部品吸着端２ｃに洗浄液を吹き付けて（図１２）、洗浄することができる。

なお、上記ノズル２の洗浄中、ホルダ３が３２本保持タイプのものである場合には、洗浄液噴射部４３が備える８つの噴射管４３ａ全てから洗浄液を噴射させる必要があるが、ホルダ３が１６本保持タイプのものである場合には、前方噴射管列４３Ａの噴射管４３ａからのみ洗浄液を噴射させればよい。このような洗浄液を噴射させる噴射管４３ａの選択切り替えは、制御装置２８が、ホルダタイプ検出センサ３０により検出されたホルダ３のタイプに応じて、ノズル洗浄部２６が使用する噴射管４３ａを選択することによって行う。

図５、図１３及び図１４において、ノズル検査部２７は、検査室５０と、検査室５０内に設けられた検査部アーム５１（第３のホルダ保持部）と、検査部アーム５１の移動機構である検査部アーム移動機構５２のほか、マーク認識カメラ５３、ノズル認識カメラ５４（認識手段）、ノズル載置部５５及びノズル把持ヘッド５６を備えている。検査部アーム５１はパレット２１の側面を保持できる構造となっている。検査部アーム移動機構５２は検査部アーム５１をＹ軸方向（第３軸方向）に移動させることができるとともに（図１３及び図１４中に示す矢印Ｈ）、Ｘ軸方向（第１軸方向）に移動させることができ（図１４中に示す矢印Ｊ）、更にＹ軸回りに回転させることもできる（図１４中に示す矢印Ｋ）。検査室５０は前方に開口部５０ａを有しており、検査部アーム移動機構５２は開口部５０ａを超えて検査部アーム５１を前方に移動させる（図１３中に一点鎖線で示す検査部アーム５１及び図１４中に実線で示す検査部アーム５１参照）。

検査部アーム５１は、検査室５０の開口部５０ａよりも前方に位置した状態で、後述する手順によりホルダ３を保持する。このときホルダ移送部２５は、後述する手順によりパレット２１から取り出したホルダ３を検査部アーム５１に受け渡す。ホルダ３を保持した検査部アーム５１は、検査部アーム移動機構５２によって前後軸回りに１８０度回転された後、検査室５０内に戻される（図１３中に実線で示す検査部アーム５１及び図１４中に実線で示す検査部アーム５１参照）。ホルダ３が検査室５０内に戻された状態では、ホルダ３に保持された各ノズル２は、部品吸着端２ｃを下方に向けた姿勢となっている。

図１３、図１４及び図１５において、マーク認識カメラ５３は撮像視野を下方に向けた状態で検査室５０内に取り付けられており、ノズル認識カメラ５４は撮像視野を上方に向けた状態で検査室５０内に取り付けられている。図１４において、ノズル載置部５５は複数のノズル載置孔５５ｈに交換用のノズル２を備えており、ノズル把持ヘッド５６はノズル２の把持部（図示せず）を有している。ノズル載置部５５は検査室５０内に設けられたＹ軸移動テーブル５５ａに駆動されてＹ軸方向に移動し、ノズル把持ヘッド５６は検査室５０内に設けられたＸ軸移動テーブル５６ａに駆動されてＸ軸方向に移動する。マーク認識カメラ５３の撮像光軸Ｌ１とノズル認識カメラ５４の撮像光軸Ｌ２とは、ノズル２の中心軸から識別マーク２Ｍの中心位置までの距離に相当する距離Ｗだけ離間している（図１５）。

ノズル検査部２７におけるノズル２の検査では、検査部アーム５１に保持されたホルダ３のノズル挿入孔１１ｈに挿入されている複数のノズル２のうち、検査対象とするノズル２が検査部アーム移動機構５２による検査部アーム５１の移動によって検査位置に位置される。ここで「検査位置」とは、図１５に示すように、部品吸着端２ｃを下方に向けたノズル２の中心軸がノズル認識カメラ５４の撮像光軸Ｌ２と一致し、かつ、ノズル２の円盤部２ｂの上面に設けられた識別マーク２Ｍがマーク認識カメラ５３の撮像光軸Ｌ１上に位置する位置である。

ここで、制御装置２８は、ノズル２を検査位置に位置させる際、ホルダタイプ検出センサ３０により検出されたホルダ３のタイプに応じて検査部アーム５１のＸ軸方向の移動ピッチを切り替えることで、認識手段であるノズル認識カメラ５４のホルダ３に対する相対移動ピッチを切り替える。具体的には、制御装置２８は、検出したホルダ３のタイプが１６本保持タイプであった場合には、ホルダ３に保持した検査部アーム５１をピッチｄ１の相対移動ピッチでＸ軸方向に移動させてノズル２を検査位置に位置させ、検出したホルダ３のタイプが３２本保持タイプであった場合には、検査部アーム５１をピッチｄ２の相対移動ピッチでＸ軸方向に移動させてノズル２を検査位置に位置させる。

検査対象のノズル２が検査位置に位置されたら、マーク認識カメラ５３とノズル認識カメラ５４はともに認識（撮像）を行う。これにより、マーク認識カメラ５３によって識別マーク２Ｍの画像が得られ、ノズル認識カメラ５４によって、ノズル２の画像（詳細には部品吸着端２ｃの画像）が得られる。図１６（ａ）はノズル２の部品吸着端２ｃに異物Ｐが付着している場合の例を示しており、図１６（ｂ）はノズル２の内部に異物Ｐが付着している場合の例を示している。

制御装置２８は、上記のようにして得られた識別マーク２Ｍの画像からノズル２の個体情報を取得し、ノズル２の画像から異物Ｐの付着情報を取得する。そして、これら両情報の組合せからホルダ３に保持された各ノズル２についての良否判定を行い、必要があればノズル２の交換を行う。ノズル２の交換は、検査部アーム５１により保持されているホルダ３から不良のノズル２をノズル把持ヘッド５６によって抜き取ってノズル載置部５５のノズル載置孔５５ｈに載置した後、ノズル載置部５５から交換用のノズル２を抜き取ってそのノズル２をホルダ３のノズル挿入孔１１ｈ（それまで不良のノズル２が挿入されていたノズル挿入孔１１ｈ）に挿入することによって行う。なお、ノズル把持ヘッド５６によるホルダ３からのノズル２の抜き取りは、ノズル把持ヘッド５６の移動と検査部アーム５１の移動とを組み合わせて行い、ノズル把持ヘッド５６によるノズル載置部５５からのノズル２の抜き取りは、ノズル把持ヘッド５６とノズル載置部５５の移動とを組み合わせて行う。

次に、作業（洗浄又は検査）対象のホルダ３をノズル洗浄部２６又はノズル検査部２７に移送する手順を、パレット２１からの作業対象のホルダ３の取り出し手順とともに説明する。洗浄対象のホルダ３をパレット２１から取り出す場合には、先ず、ホルダ保持テーブル移動機構２５ｂが昇降部２５ｄによりホルダ保持テーブル２５ａをＺ軸方向（第２軸方向）に移動させて、ホルダ保持テーブル２５ａを最下方位置まで下降させた後（図１７（ａ）中に示す矢印Ｆ１）、Ｘ軸方向移動部２５ｃによりホルダ保持テーブル２５ａをＸ軸方向へ移動させる（図１７（ａ）中に示す矢印Ｅ）。これによりホルダ保持テーブル２５ａが洗浄対象のホルダ３の後下方に位置したら、パレット移動部２４がパレット保持部２２を後方に移動させて、洗浄対象のホルダ３をホルダ保持テーブル２５ａの上方に位置させる（図１７（ｂ）中に示す矢印Ｄ１）。そして、洗浄対象のホルダ３がホルダ保持テーブル２５ａの上方に位置したら、ホルダ保持テーブル移動機構２５ｂがホルダ保持テーブル２５ａを上昇させてホルダ３を持ち上げる（図１７（ｂ）中に示す矢印Ｆ２）。

ホルダ保持テーブル２５ａによってホルダ３が持ち上げられたら、パレット移動部２４はパレット保持部２２を前方へ移動させて（図１７（ｃ）中に示す矢印Ｄ２）、パレット２１を退避させる。そして、ホルダ保持テーブル移動機構２５ｂがホルダ保持テーブル２５ａを最下方位置まで下降させる（図１７（ｃ）中に示す矢印Ｆ１）。これにより、ホルダ移送部２５により、パレット２１から洗浄対象のホルダ３が取り出された状態となる（図１７（ｃ））。

上記のようにして取り出した洗浄対象のホルダ３をノズル洗浄部２６の洗浄室４０内に移送するには、ホルダ保持テーブル移動機構２５ｂがホルダ保持テーブル２５ａをＸ軸方向に移動させることによって（図１８（ａ）中に示す矢印Ｅ）、取り出したホルダ３を洗浄部アーム４１の前下方に位置させる（図１８（ａ））。そして、取り出したホルダ３が洗浄部アーム４１の前下方に位置したら、ホルダ保持テーブル移動機構２５ｂがホルダ保持テーブル２５ａを洗浄部アーム４１の高さまで上昇させ（図１８（ｂ）中に示す矢印Ｆ２）、洗浄部アーム移動機構４２が洗浄部アーム４１を前方へ移動させて（図１８（ｂ）中に示す矢印Ｇ１）、洗浄部アーム４１によりホルダ３を保持する（図１８（ｂ））。洗浄部アーム４１がホルダ３を保持したら、ホルダ保持テーブル移動機構２５ｂがホルダ保持テーブル２５ａを最下方位置まで下降させるのに合わせて（図１８（ｃ）中に示す矢印Ｆ１）、洗浄部アーム移動機構４２が洗浄部アーム４１を後方へ移動させる（図１８（ｃ）中に示す矢印Ｇ２）。これにより洗浄対象のホルダ３が洗浄室４０内に収容された状態となる（図１８（ｃ））。なお、ノズル洗浄部２６においてノズル２の洗浄が終わったホルダ３をパレット２１に返却するときには、上述したホルダ３のノズル洗浄部２６への移送動作と逆の手順の動作を実行する。

検査対象のホルダ３をパレット２１から取り出す場合の手順は、上述した洗浄対象のホルダ３をパレット２１から取り出す場合の手順と同じである。このようにして取り出した検査対象のホルダ３をノズル検査部２７の検査室５０内に移送するには、洗浄対象のホルダ３の場合と同様に、ホルダ保持テーブル移動機構２５ｂがホルダ保持テーブル２５ａをＸ軸方向に移動させることによって、取り出したホルダ３を検査部アーム５１の前下方に位置させた後、ホルダ保持テーブル２５ａを検査部アーム５１の高さまで上昇させる一方（図１９（ａ）中に示す矢印Ｆ２）、検査部アーム移動機構５２が検査部アーム５１を前方へ移動させて（図１９（ａ）中に示す矢印Ｈ１）、検査部アーム５１にパレット２１を保持させる（図１９（ａ））。

検査部アーム５１により検査対象のホルダ３が保持されたら、ホルダ保持テーブル移動機構２５ｂがホルダ保持テーブル２５ａを最下方位置まで下降させるのに合わせて（図１９（ｂ）中に示す矢印Ｆ１）、検査部アーム移動機構５２が検査部アーム５１を前後軸回りに１８０度回転させてホルダ３を上下反転させる（図１９（ｂ）中に示す矢印Ｋ）。そして、検査部アーム移動機構５２が検査部アーム５１を後方へ移動させると（図１９（ｃ）中に示す矢印Ｈ２）、検査対象のホルダ３が検査室５０内に収容された状態となる（図１９（ｃ））。ノズル検査部２７においてノズル２の検査が終わったホルダ３をパレット２１へ返却するときには、上述したホルダ３のノズル検査部２７への移送動作の手順と逆の手順の動作を実行する。

上述の説明から分かるように、本実施の形態におけるノズルメンテナンス装置１では、ホルダ移送部２５によるパレット２１からのホルダ３の取り出し、ホルダ移送部２５から洗浄部アーム４１へのホルダ３の受け渡し及びホルダ移送部２５から検査部アーム５１へのホルダ３の受け渡し並びにその逆の流れのホルダ３の受け渡しは、ホルダ移送部２５が備えるホルダ保持テーブル２５ａのＸ軸方向（第１軸方向）への移動軸上で行われる。

ノズルメンテナンス装置１では、上述のノズル２の洗浄とノズル２の検査を各ホルダ３に対して続けて行うようになっており、以下にその説明を行う。作業者は、ノズルメンテナンス作業を行うときには、初めに、前述の要領でノズル２を保持した複数のホルダ３をパレット２１に取り付け、これをパレット保持部２２に取り付けることによって、ホルダ３をホルダ投入部２３に投入する（図２０に示すステップＳＴ１）。ここでは、作業者は、複数のホルダ３をパレット２１に収容したうえで、そのパレット２１をパレット保持部２２に取り付ける（保持させる）が、これにより複数のホルダ３をまとめてホルダ投入部２３に投入できるので、作業効率がよい。

ホルダ３がホルダ投入部２３に投入されたら、前述のようにホルダ移送部２５とパレット移動部２４が作動してパレット２１から洗浄対象のホルダ３が取り出され（図１７（ｂ）。ステップＳＴ２）、ホルダ３のタイプが検出されたうえで（ステップＳＴ３）、ホルダ３がノズル洗浄部２６の洗浄室４０に移送される（図１８（ｃ）。ステップＳＴ４）。

洗浄対象のホルダ３が洗浄室４０内に移送されたら、前述の要領によって、ホルダ３に保持されたノズル２が洗浄される（図１１（ａ）→図１１（ｂ）。ステップＳＴ５）。このとき制御装置２８は、ステップＳＴ３で検出したホルダ３のタイプに応じて、ノズル洗浄部２６が行うノズル２の洗浄動作を切り替えるので、ホルダ３のタイプに応じた効率のよいノズル２の洗浄が実行される。

ノズル洗浄部２６によりノズル２が洗浄されたら、ホルダ移送部２５とパレット移動部２４が作動して洗浄室４０内のホルダ３がパレットに戻される（ステップＳＴ６）。そして、再びホルダ移送部２５とパレット移動部２４が作動して、ノズル２の洗浄が終了したホルダ３がパレット２１から取り出され（ステップＳＴ７）、ホルダ３のタイプが検出されたうえで（ステップＳＴ８）、ホルダ３がノズル検査部２７の検査室５０に移送される（図１９（ｃ）。ステップＳＴ９）。

検査対象のホルダ３が検査室５０内に移送されたら、ホルダ３に保持されたノズル２が検査される（図１５。ステップＳＴ１０）。このとき制御装置２８は、ステップＳＴ８で検出したホルダ３のタイプに応じて、ノズル検査部２７が行うノズル２の検査動作を切り替える。

ノズル検査部２７によるノズル２の検査が終了したら、ホルダ移送部２５とパレット移動部２４が作動して検査室５０内のホルダ３がパレット２１に戻される（ステップＳＴ１１）。そして、制御装置２８が、洗浄及び検査処理を施していない未処理のホルダ３があるかどうかを判断し（ステップＳＴ１２）、その結果、まだ洗浄及び検査処理を施していない未処理のホルダ３があった場合にはステップＳＴ２に戻る。一方、ステップＳＴ１２の判断で、洗浄及び検査処理を施していないホルダ３がなかった場合には、一連の作業を終了する。

上記ステップＳＴ５のノズル２の洗浄工程とステップＳＴ１０のノズル２の検査工程において、制御装置２８は、ホルダタイプ検出センサ３０により検出されたホルダ３のタイプに応じてノズル洗浄部２６が行うノズル２の洗浄動作及びノズル検査部２７が行うノズル２の検査動作の両方を切り替える切り替え手段として機能している。このため、作業者はノズル２の洗浄動作又はノズル２の検査動作の切り替えを行うために自らホルダ３のタイプを判断して入力等を行う必要がない。なお、検出されたホルダ３のタイプに応じてノズル２の洗浄動作及びノズル２の検査動作の少なくとも一方を切り替えるようになっているのであってもよい。また、ホルダタイプ検出センサ３０は、ホルダ３の移送過程でホルダタイプを検出できる場所としてホルダ移送部２３（詳細にはホルダ保持テーブル２５ａ）に設けられていたが、ホルダ投入部２３に投入されたホルダ３のタイプを検出できるのであれば、ホルダ移送部２５以外の場所に設けられているのであってもよい。

以上説明したように、本実施の形態におけるノズルメンテナンス装置１では、ノズル２を保持したホルダ３が投入されるホルダ投入部２３が、複数のホルダ３を収容可能なパレット２１（ホルダ収容部材）と、このパレット２１を着脱自在に保持するパレット保持部２２（収容部材保持部）を備えた構成となっているので、作業者は、複数のホルダ３をパレット２１に収容したうえで、そのパレット２１をパレット保持部２２に保持させればよく、複数のホルダ３をまとめてホルダ投入部２３に投入できる。このため作業者が行う作業工数が大きく削減され、作業効率を高めることができる。

作業者の作業工数が削減されて作業効率を向上させることができるノズルメンテナンス装置を提供する。

１ ノズルメンテナンス装置
２ ノズル
３ ホルダ
２１ パレット（ホルダ収容部材）
２２ パレット保持部（収容部材保持部）
２３ ホルダ投入部
２５ ホルダ移送部
２５ａ ホルダ保持テーブル（第１のホルダ保持部）
２５ｂ ホルダ保持テーブル移動機構（第１のホルダ保持部移動手段）
２６ ノズル洗浄部
２７ ノズル検査部
４１ 洗浄部アーム（第２のホルダ保持部）
５１ 検査部アーム（第３のホルダ保持部）

Claims (7)

1. 部品実装装置に用いられるノズルの洗浄及び検査を行うノズルメンテナンス装置であって、
   前記ノズルを保持したホルダが投入されるホルダ投入部と、
   前記ホルダ投入部に投入された前記ホルダが移送され、前記移送されたホルダに保持された前記ノズルの洗浄を行うノズル洗浄部と、
   前記ホルダ投入部に投入された前記ホルダが移送され、前記移送されたホルダに保持された前記ノズルの検査を行うノズル検査部とを備え、
   前記ホルダ投入部は、複数の前記ホルダを収容可能なホルダ収容部材及びこのホルダ収容部材を保持する収容部材保持部を有し、前記ホルダ収容部材は前記収容部材保持部に対して着脱自在であることを特徴とするノズルメンテナンス装置。
2. 前記ノズル洗浄部と前記ノズル検査部は横方向に並んで設けられており、前記ホルダ収容部材は複数の前記ホルダを横方向に並べて収容可能であって、前記ホルダ収容部材を前記収容部材保持部に保持させた状態において、前記ホルダ収容部材に収容された複数のホルダの並び方向が、前記ノズル洗浄部と前記ノズル検査部の並び方向に一致することを特徴とする請求項１に記載のノズルメンテナンス装置。
3. 前記ホルダ投入部に投入された前記ホルダを前記ホルダ収容部材から取り出して前記ノズル洗浄部又は前記ノズル検査部に移送するホルダ移送部を備え、前記ホルダ移送部は、前記ホルダを保持する第１のホルダ保持部と、前記第１のホルダ保持部を前記ノズル洗浄部と前記ノズル検査部の並び方向である第１軸方向及び上下方向である第２軸方向に移動させる第１のホルダ保持部移動手段とを有することを特徴とする請求項２に記載のノズルメンテナンス装置。
4. 前記ノズル洗浄部が前記ホルダを保持する第２のホルダ保持部を備えるとともに前記ノズル検査部が前記ホルダを保持する第３のホルダ保持部を備え、前記ホルダ移送部は前記ホルダ収容部材から取り出した前記ホルダを前記第２のホルダ保持部及び前記第３のホルダ保持部の少なくとも一方に受け渡すことを特徴とする請求項３に記載のノズルメンテナンス装置。
5. 前記ホルダ移送部による前記ホルダ収容部材からの前記ホルダの取り出し、前記ホルダ移送部から前記第２のホルダ保持部への前記ホルダの受け渡し及び前記ホルダ移送部から前記第３のホルダ保持部への前記ホルダの受け渡しは、前記ホルダ移送部が備える前記第１のホルダ保持部の前記第１軸方向への移動軸上で行われることを特徴とする請求項４に記載のノズルメンテナンス装置。
6. 前記第２のホルダ保持部及び前記第３のホルダ保持部はそれぞれ前記第１軸方向と水平面内で直交する第３軸方向に移動自在であることを特徴とする請求項５に記載のノズルメンテナンス装置。
7. 前記ホルダは前記部品実装装置に装着可能であることを特徴とする請求項１~６のいずれかに記載のノズルメンテナンス装置。

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