CN105319219B - 不良检查系统及其方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种能够降低费用的不良检查系统及其方法。所述不良检查方法包括：第一不良检查步骤，其在向第一方向移送第一基板的同时检查所述第一基板的一部分；以及第二不良检查步骤，其在向第二方向移送所述第一基板的同时检查所述第一基板的其他部分。其中所述第一方向与所述第二方向不同。本发明的不良检查系统及其方法可利用两个摄像头检查向第一方向移送的第一基板的边缘中的一部分，并利用两个摄像头检查向第二方向移送的第一基板的其他边缘。即，所述不良检查系统用四个摄像头即可检查基板上的所有边缘的不良，设置的摄像头数量比现有的不良检查系统少。因此能够大幅降低上述不良检查系统的费用。

Description

不良检查系统及其方法

技术领域

本发明涉及一种不良检查系统及其方法。

背景技术

通过检查基板不良来预先检测出现不良的基板是非常重要的。通常如图1所示地进行基板的边缘不良检查。

图1为显示通常的基板边缘不良检查的示意图。

如图1所示，基板的横切方向设置有摄像头102，摄像头102检查基板的边缘不良。此时基板的四个边缘均需要检查，因此需要多个摄像头。

尤其，用于不良检查的摄像头价格高，因此不良检查系统的费用相当高。

现有技术文献

专利文献：韩国授权专利公报第1251852(授权日期：2013年4月1日)。

发明内容

技术问题

本发明的目的为提供一种能够降低费用的不良检查系统及其方法。

技术方案

为达成上述目的，根据本发明一个实施例的基板不良检查方法包括：第一不良检查步骤，其在向第一方向移送第一基板的同时检查所述第一基板的一部分；以及第二不良检查步骤，其在向第二方向移送所述第一基板的同时检查所述第一基板的其他部分。其中所述第一方向与所述第二方向不同。

根据本发明另一实施例的基板不良检查系统包括：支撑结构体(Profilestructure)，其包括支撑件(Profile)；第一图像获取装置，其设置于所述支撑结构体的一部分；以及第二图像获取装置，其设置于所述支撑结构体的其他部分。其中所述第一图像获取装置在第一基板向第一方向移送时检查所述第一基板的一部分，所述第二图像获取装置在所述第一基板向不同于所述第一方向的第二方向移送时检查所述第一基板的其他部分。

根据本发明一个实施例的基板不良检查系统包括作为机械手移动空间的移送通道部、转台及清洗机。其中，在被所述清洗机清洗的第一基板从所述清洗机向所述转台移送期间接受第一次不良检查，在所述第二基板从所述转台移送到所述移送通道部期间接受第二次不良检查。

根据本发明一个实施例的支撑结构体包括：支撑件，其形成有槽；支架，其支撑用于检查不良的图像获取装置；螺母，其插入到所述支撑件的槽内；以及结合构件，其贯通所述支架结合到所述螺母，将所述图像获取装置固定在所述支撑件。

技术效果

本发明的不良检查系统及其方法可利用两个摄像头检查向第一方向移送的第一基板的边缘中的一部分，并利用两个摄像头检查向第二方向移送的第一基板的其他边缘。即，所述不良检查系统用四个摄像头即可检查基板上的所有边缘的不良，设置的摄像头数量比现有的不良检查系统少。因此能够大幅降低上述不良检查系统的费用。

附图说明

图1为显示一般的基板的边缘不良检查的示意图；

图2为显示本发明第一实施例的不良检查系统的示意图；

图3为显示本发明第二实施例的不良检查系统的示意图；

图4为显示本发明一个实施例的处理工序的框图；

图5为显示本发明一个实施例的第二不良检查工序的立体图；

图6及图7为显示本发明一个实施例的第一不良检查工序的示意图；

图8至图15为显示本发明一个实施例的不良检查方法的示意图；

图16为显示本发明一个实施例的摄像头设置结构的示意图。

附图标记说明

200:基板 202:图像获取装置(摄像头)

300:封装盒(Cassette) 302:移送通道部(Index)

304:转台(Turn table) 306:清洗机

308:腔室 310:移送腔室

312:工程腔室 500:第一基板

502:第二基板 504:支撑结构体(Profile structure)

510:支撑件 600:光源

800:升降构件 802:移送构件

810:支撑结构体 1000:机械手的第一臂

1002:机械手的第二臂 1600:摄像头支架

1610:支撑件(Profile) 1612:螺母

1614:结合构件

具体实施方式

以下参照附图说明本发明的实施例。

本发明涉及一种不良检查系统，尤其涉及边缘不良检查系统，可包括检查基板的边缘中的一部分的第一不良检查工序及检查基板的其他边缘的第二不良检查工序。

例如，所述不良检查系统可包括在把清洗后的基板从清洗机移送到转台(TurnTable)的过程中进行的第一不良检查工序，以及在从转台移送到移送通道部(Index)的过程中进行的第二不良检查工序。

通常，为检查基板四个边缘的不良，必须向横切基板的方向设置多个摄像头。但是，本发明的不良检查系统分为第一不良检查工序及第二不良检查工序检查基板的边缘不良，因此只需下述的四个摄像头即可检查基板的所有边缘。即，与现有技术相比，能够减少用于检查基板的边缘不良的摄像头数量，从而能够降低不良检查系统的费用。

并且，不同于一个基板的处理工序(例如，清洗工序及沉积工序)结束后执行另一基板的处理工序的现有方法，其利用机械手的两个臂同时交换清洗后的第一基板与待清洗的第二基板的方式同时对多个基板进行处理，因此能够缩短基板的处理工序时间。

以下参照附图详细说明本发明的不良检查系统的多种实施例。

图2为显示本发明第一实施例的不良检查系统的示意图。

如图2所示，本实施例的不良检查系统可包括第一不良检查工序及第二不良检查工序。

例如，可以在基板200向第一方向移送期间对基板200的边缘A、B、C及D中一部分，尤其对位于移送方向的边缘A及B进行第一不良检查，在基板200向垂直于第一方向的第二方向移送期间对基板200的剩余边缘，尤其对位于移送方向的边缘C、D进行第二不良检查。

此时，在将用于不良检查的图像获取装置，例如摄像头设置在基板200的移送方向的状态下，移送基板200的同时进行检查，因此在第一不良检查工序中只需两个摄像头202a、202b即可检查基板200的边缘A、B的不良，在第二不良检查工序中只需两个摄像头202c及202d即可检查基板200的边缘C、D的不良。例如如图2所示,当摄像头202c设置得对应于边缘C的状态下将基板200从右侧移送至左侧时，摄像头202c可以拍摄到基板200的整个边缘C。即，所述不良检查系统只需一个摄像头202c即可检查基板200的整个边缘C的不良。

综上，本发明的不良检查系统通过多个不良检查工序检查基板200的边缘A、B、C及D，因此不同于只通过一次不良检查工序检查基板的边缘不良的现有技术，只需四个摄像头202a、202b、202c及202d即可检查基板200的整个边缘A、B、C及D的不良。

图3为显示本发明第二实施例的不良检查系统的示意图，图4为显示本发明一个实施例的处理工序的框图。图5为显示本发明一个实施例的第二不良检查工序的立体图，图6及图7为显示本发明一个实施例的第一不良检查工序的示意图。

如图3所示，本实施例的不良检查系统可包括封装盒(Cassette)300、移送通道部(Index)302、转台(Turn table)304、清洗机306及腔室308。

封装盒300装载有基板，基板由机械手搬入。具体来讲，机械手可以从封装盒300移出待清洗的基板，或可以向封装盒300输入沉积有特定层的基板。

移送通道部302是机械手的移动空间。

转台304是待清洗基板与清洗后的基板交叉的地点。

清洗机306的作用是清洗基板。

腔室308是进行沉积等工序的装置，可以包括用于移送基板的移送腔室(Transferchamber,TC)310及用于向基板上沉积特定物质等的工程腔室(Process chamber,PC)312。

以下说明具有这种结构的不良检查系统处理基板的过程。

如图4至图7所示，机械手将第一基板500从封装盒300送至移送通道部302，之后将第一基板500移送到转台304。

之后第一基板500从转台304移送到清洗机306，之后第一基板500得到清洗。

接着，清洗后的第一基板500从清洗机306移送到转台304，其中可以在移送过程中对第一基板500进行第一不良检查。

根据一个实施例，第一基板500可以如图6所示地以穿梭(shuttle)方式从清洗机306移送到转台304，此时可利用摄像头202a、202b及光源600a、600b对第一基板500进行不良检查。

根据另一实施例，第一基板500可以如图7所示地利用传输机(Conveyor)从清洗机306移送到转台304，此时可利用摄像头202a、202b及光源600a、600b对第一基板500进行不良检查。

接着，机械手将清洗后的第一基板500从转台304移送到移送通道部302。此时，机械手可将清洗前的第二基板502从移送通道部302移送到转台304。即，机械手可以在利用第一臂将清洗后的第一基板500从转台304移送到移送通道部302期间，利用第二臂把待清洗的第二基板502从移送通道部302移送到转台304。这种基板500、502的移送过程可同时进行。

根据一个实施例，如图4的虚线框所示，可以在机械手将清洗后的第一基板500从转台304移送到移送通道部302期间，对第一基板500进行第二不良检查。例如如图5所示，摄像头202c、202d可以在第一基板500位于第二基板502的上部且第一基板500从转台304移送到移送通道部302时，检查第一基板500的边缘不良。另外，摄像头202c或202d可设置在由支撑件510构成的支撑结构体504上。

接着，机器人将清洗后的第一基板500从移送通道部302移送到腔室308。此时，第二基板502可从转台304移送到清洗机306。

之后，可以在腔室308内对第一基板500进行特定处理工序，例如沉积工序。

沉积工序结束时机械手将沉积有特定物质的第一基板从腔室308移送到移送通道部302，之后将经过沉积的第一基板500装载到封装盒300上。

综上，本实施例的不良检查系统可以在移送清洗后的基板的同时进行多个不良检查。尤其，机械手在将清洗后的第一基板500引入到移送通道部302的同时把待清洗的第二基板502移送到转台304，因此能够缩短处理工序时间。

以下参照附图详细说明不良检查方法。

图8至图15为显示本发明一个实施例的不良检查方法的示意图。为便于视觉观察，图8至图15显示了从移送通道部302的视角观察转台304时转台304的结构。并且，图8至图15只显示了用于不良检查工序中的第二不良检查工序的构件。

如图8所示，转台304的内部或转台304与移送通道部302之间设置有由支撑件构成的支撑结构体810，可以在特定支撑件上设置摄像头202c、202d及光源600c、600d。

光源600c及600d分别设置在能够向摄像头202c及202d提供光的位置，例如可以是发光二极管(LED)。附图中摄像头202c、202d位于光源600c、600d的上部，但也可以设置在光源600c、600d的下部。

另外转台304内还可以存在升降构件800(例如，顶杆(Lift pin))及移送构件802(例如传送轴(conveyor shaft))。

升降构件800的作用是使第一基板500或第二基板502上升，移送构件802可以起到移送第一基板500或第二基板502的作用。

以下说明具有这种转台304结构的不良检查系统的不良检查过程。

如图8所示，经过清洗并经过第一次不良检查的第一基板500从清洗机306移送到转台304。此时第一基板500位于光源600c及600d的下部。

接着，控制部(未示出)使升降构件800上升，其结果如图9所示，第一基板500通过升降构件800上升。此时，第一基板离开移送构件802。

接着，如图10所示，机械手将位于移送通道部302上的待清洗的第二基板放置在第二臂1002上的状态下，为了放置清洗后的第一基板500，将第一臂1000伸展到转台304。即，机械手包括用于移送第一基板500的第一臂1000及用于移送第二基板502的第二臂1002。

在确保机械手利用多个臂1000、1002移送基板500、502的前提下，机械手可随意变形实施。

之后，在第一基板500放置在第一臂1000上，第二基板502放置在第二臂1002的状态下，臂1000、1002如图11所示地上升。此时第一基板500位于摄像头202c、202d光源600c、600d之间。

接着，放置有第一基板500的第一臂1000如图12所示地从转台304移动到移送通道部302，设置有第二基板502的第二臂1002从移送通道部302移动到转台304。即，第一基板500及第二基板502的位置互换，所述互换可同时进行。

根据一个实施例，在将第一基板500移送到移送通道部302期间，摄像头202c、202d拍摄第一基板500的边缘。拍摄到的所述图像发送到控制部，所述控制部可通过分析拍摄到的所述图像来检查第一基板500的边缘不良。即，第二次不良检查工序在第一基板500从转台304移送到移送通道部302时进行。

之后如图13所示，机械手的臂1000、1002下降。此时，第一基板500位于移送通道部302的内部，第二基板502可以位于转台304的内部。

之后如图14所示，第二基板502为了清洗而移送到清洗机306，机械手的第二臂1002移送到移送通道部302。

之后如图15所示，升降构件800下降。

之后虽未图示，但是第一基板500移送到腔室308内，在进行特定工序后移送到封装盒300，第二基板502得到清洗。

综上，本发明的不良检查系统可以在清洗机306内或清洗机306与转台304之间对第一基板500的不良进行第一次检查，在转台304内或转台304与移送通道部302之间对第二基板502的不良做第二次检查。

并且，清洗后的第一基板500与待清洗的第二基板502可以在移送通道部302与转台304之间进行位置交换。即，由于同时对两个基板进行处理工序，因此能够在短时间内检查大量基板的不良。

图16为显示本发明一个实施例的摄像头设置结构的示意图。

如图16所示，支撑件1610上形成腰部，腰部内插入形成有槽或孔1620的螺母1612。

支撑摄像头200的摄像头支架1600受到支撑件1610支撑的状态下，结合构件1614，例如螺杆贯通摄像头支架1600的孔并插入到螺母1612的槽或孔1620内。从而摄像头200固定到支撑件1610。

尤其，能够将小螺母1612随意地设置在支撑件的槽内，因此不仅便于设置摄像头200，还能够随意确定摄像头200的设置位置，即，用户可利用支撑件1610将摄像头200设置在所需位置。

产业上的可应用性

以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明权利要求书的范围。

Claims (5)

1.一种基板不良检查方法，其特征在于，包括：

第一不良检查步骤，其在向第一方向移送第一基板的同时检查所述第一基板的一部分；以及

第二不良检查步骤，其在向第二方向移送所述第一基板的同时检查所述第一基板的其他部分，

其中，所述第一方向与所述第二方向相互垂直，

所述第一不良检查步骤通过设置在包含于清洗机与转台之间的第一支撑结构体的第一支撑件上的两个第一摄像头检查所述第一基板的边缘中的一部分，所述第二不良检查步骤通过设置在包含于所述转台与移动通信部之间的第二支撑结构体的第二支撑件上的两个第二摄像头检查所述第一基板的其他边缘，

对应于所述第二摄像头的光源设置在所述第二支撑件上，所述第一支撑件与所述第二支撑件是不同的支撑件，将清洗后的第一基板放置在机械手的第一臂使其位于所述第二摄像头与对应的光源之间，将清洗前的第二基板放置在机械手的第二臂，所述第一基板及所述第二基板放置在所述机械手的第一臂及第二臂的状态下，所述第一臂从所述转台移送至所述移送通信部，所述第二臂从所述移送通信部移送至所述转台，通过同时移送所述第一臂及所述第二臂的过程中同时移送所述第一基板及所述第二基板，所述同时移送的期间通过所述第二摄像头检查所述第一基板的边缘。

2.根据权利要求1所述的基板不良检查方法，其特征在于：

所述第一基板从所述移送通道部移送到腔室接受特定工序，所述特定工序结束后从所述腔室移送到封装盒。

3.一种基板不良检查系统，其特征在于，包括：

支撑结构体，其包括支撑件；

第一图像获取装置，其设置于所述支撑结构体的一部分；以及

第二图像获取装置，其设置于所述支撑结构体的其他部分，

其中，所述第一图像获取装置在第一基板向第一方向移送时检查所述第一基板的边缘中的一部分，所述第二图像获取装置在所述第一基板向不同于所述第一方向的第二方向移送时检查所述第一基板的其他边缘，

机械手利用第一臂将清洗后的第一基板从转台移送至移送通信部，利用第二臂将清洗前的第二基板从所述移送通信部移送至所述转台，交换所述第一基板与所述第二基板的位置，所述第二图像获取装置在所述第一基板与所述第二基板的位置交换期间检查所述第一基板的其他边缘。

4.根据权利要求3所述的基板不良检查系统，其特征在于：

所述第一图像获取装置设置于清洗机的内部或所述清洗机与转台之间，所述第二图像获取装置设置于所述转台的内部或所述转台与移送通道部之间，

其中，清洗后的第一基板在所述清洗机的内部或所述清洗机与所述转台之间移送期间接受第一次检查，检查所述第一基板的边缘中的一部分的不良，所述第一基板在所述转台的内部或所述转台与所述移送通道部之间移送期间接受第二次检查，检查所述第一基板的其他边缘的不良。

5.根据权利要求3所述的基板不良检查系统，其特征在于，还包括：

移送构件及升降构件，

其中，所述升降构件使位于所述移送构件上的所述第一基板上升，将上升的所述第一基板放置在所述机械手的第一臂上，在所述第一基板放置于所述第一臂状态下所述第一臂移动期间，检查所述第一基板的其他边缘的不良。