CN1619299A - 玻璃基板边缘部分的破损检测装置及方法 - Google Patents

玻璃基板边缘部分的破损检测装置及方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种使用最少限度的光传感器来检测平面显示装置生产线上移动的玻璃基板的边缘部分破损情况的破损检测装置和方法。该装置包括：设置于玻璃基板要移动的位置的下部或上部的至少两个传感器，识别通过的玻璃基板而发出信号；与上述至少两个传感器电连接并分别接收各自信号的控制器，根据接收的信号，确定玻璃基板完全通过各传感器所需的时间，或者是对传感器分别接收的信号的脉冲计数，将这样分别确定的时间或分别计数的脉冲个数与预定的基准值相比较，来判断玻璃基板有无破损。根据本发明，在玻璃基板在各工艺间移动时，不需要额外的测定时间，能够仅用2～3个传感器检测出玻璃基板所有的边缘有无破损。

Description

玻璃基板边缘部分的破损检测装置及方法
技术领域
本发明涉及玻璃基板边缘部分的破损检测装置及方法，更具体地说，涉及在玻璃基板移动的状态下，用最少量的光传感器对移动平面显示装置生产线上的玻璃基板边缘部分易于发生的破损进行检测的装置及方法。
背景技术
玻璃基板是制造如液晶显示装置(LCD)、等离子体显示器(PDP)之类的平面显示装置所必不可少的组成部件。为了制造液晶显示装置等的平面显示装置，在玻璃基板上循环执行洗净工序，涂膜工序，显影工序等处理工序，因此，为了进行这样的处理工序，液晶显示装置等的生产线都是由复杂的装置形成的。最近，开发使用了在玻璃基板上能够自动进行这些处理的自动化生产系统，如流水线(in-line)生产系统和集群式(cluster)生产系统，在这些生产系统的各处理阶段中，玻璃基板的移送和处理是极为重要的。
为了执行上述那样的各种循环处理工序，液晶显示装置或等离子体显示器的生产系统是由复杂的多个装置形成的。玻璃基板必须在这样的多个装置间移动。由于在多个循环处理过程中露出，因而易发生破损，特别是玻璃基板的边缘部分更容易破损。因此，在平面显示装置的生产线中，在一道工序结束之后，在将玻璃基板投入到下一道工序之前，必须检测出由于工序失败或是移送中发生的玻璃基板的破损，特别是四个边缘部分的破损，确认玻璃基板有无异常。如果没有识别这类玻璃基板的破损，将破损了的玻璃基板投入如集群式生产系统那样的自动化系统的工序模块中时，不仅是工序缺陷，还会发生预测不到的系统误操作和故障。
因此，本发明所属的技术领域中，通常，为了达到平稳的工序流程和使由于破损的玻璃基板的玻璃片导致的系统装备的损失最小，在投入工序模块之前，检查玻璃基板有无破损。如果有异常，则采取报警等措施。即，在如平面显示装置的生产系统那样进行长时间的工序处理的装备中，玻璃基板在移送过程或各种复杂的处理工序中有破损的可能。当发生这样的玻璃基板破损时，产生的微细玻璃粉末会造成工序缺陷和系统装备的损失，因此在将玻璃基板投入各工序模块前必须确认玻璃基板有无破损。
但是，在以往的平面显示装置的生产系统中，检测玻璃基板的破损的方法是在将玻璃基板投入各处理工序前使玻璃基板处于停止状态，来检测有无破损，这样就需要额外的检测时间，因此产生各工序间的流程不畅的问题。而且，在以往的方法中，除了必须在将玻璃基板投入各工序模块前将其处于停止状态来检测有无破损这个问题之外，另一问题是，还需要对应玻璃基板的各边缘的传感器。因此需要多个传感器，且仅能在有限的范围进行检测。特别是，平面显示装置的集群式生产系统是由承载玻璃基板的负荷固定装置和具有能够支持多个工序模块(例如，从第1工序模块到第6工序模块)的平面(facet)的输送室构成。在这样的集群式生产系统中，在将玻璃基板投入各工序模块之前，由在承载玻璃基板的支撑台下部设置的光传感器来检测玻璃基板各边缘有无破损。但是，如图7所示，为了检测玻璃基板的边缘部分的破损，这种现有技术的检测方式必须使玻璃基板停止于输送室内，用于检测的光传感器的数量与工序模块的数量成比例增加(例如，在支持六个工序模块的集群式生产系统的情况下，需要14个传感器)，存在需要较多的光传感器的问题。
发明内容
本发明是鉴于上述的问题提出的，其目的在于提供使用最少量的光传感器，在玻璃基板移动的状态下，检测移动平面显示装置的生产线的玻璃基板的边缘部分中易于发生的破损的装置及方法。
而且，本发明的另一目的是提供一种装置及方法，使得玻璃基板在各工序模块间移动时，能够检测出玻璃基板有无破损，因此不需要另外的检测时间，仅用2～3个传感器就能够检测玻璃基板所有的边缘破损。
为了实现上述目的，本发明的玻璃基板边缘部分的破损检测装置包括：至少两个传感器，设置于玻璃基板要移动的位置的下部或上部，在玻璃基板通过时，用于识别玻璃基板而发出信号；以及控制器，与所述至少两个传感器电连接，接收所述至少两个传感器的各自的信号，在玻璃基板通过所述至少两个传感器的上部或下部时，从所述至少两个传感器分别读出接收的信号，确定玻璃基板完全通过各传感器所需的时间，或者是在玻璃基板通过所述至少两个传感器的上部或下部时，对从所述至少两个传感器接收的信号各自的脉冲个数分别进行计数，将这样分别确定的时间或分别计数的脉冲个数与预定的基准值进行比较，从而判断玻璃基板有无破损。
而且，其特征在于，所述控制器将上述分别确定的时间或计算的各脉冲数与预定的基准值进行比较，当该时间或脉冲个数比预定的基准值小的时候，则可以判定玻璃基板有破损，当两者相同时，可判定玻璃基板无破损。
而且，其特征在于，上述至少两个传感器中具有左右对称地设置于玻璃基板的左右边缘部分要移动的位置的下部或上部的边缘传感器，当玻璃基板通过时，可识别玻璃基板而发出信号，和/或位于边缘传感器之间的基准传感器。这种基准传感器产生与各边缘传感器发生的信号对应的同步信号。
所述传感器是光传感器，与反射型传感器相比，优选使用透过型传感器。通常，反射型传感器对于反射角度的反应敏感，根据玻璃基板的弯曲的不同会产生很大的感度的差别。因此，鉴于周边部有较大挠曲的玻璃基板的特性，优选使用容易检测的透过型传感器。
所述光传感器优选使用响应特性优良的，特别是传感器响应时间低于200μs的产品。
而且，所述控制器使用专用的微处理器，为了检测出移动的玻璃基板的边缘部分的破损，优选使用扫描时间短的产品。
所述控制器如上所述，在边缘传感器或基准传感器那样的光传感器开启时，在确定开启时间或脉冲的个数之后，与预定的基准值进行比较，判定玻璃基板有无破损。
而且，检测移动的玻璃基板有无破损所需的分辨率由传感器的响应时间，控制器的扫描时间、玻璃基板的移动速度来决定。如果玻璃基板的移动速度为1000mm/sec，结合传感器的响应时间和控制器的演算时间考虑的控制采样时间为500μs时，最小分辨率为0.5mm/脉冲。此时，来测定移动的玻璃基板有无破损的精度是0.5mm。而且，即使最小检测间隔很短也能检测出小的破损部位，只要传感器和器具构造允许，最好使用小的配置。
而且，本发明的玻璃基板的边缘部分破损检测装置还可具有通过输入输出接口与控制器电连接的主控制器(main controller)，该主控制器是用于控制平面显示装置的流水线生产系统或集群式生产系统的整体的装置，在使用本发明的控制器判定玻璃基板的破损时，所述主控制器控制警报装置发生报警信号，并控制移送玻璃基板的移送装置，使玻璃基板停止移动。
本发明的玻璃基板边缘部分的破损检测方法包括以下步骤：使用设置于玻璃基板要移动的位置的下部或上部的至少两个传感器，在玻璃基板通过时，识别玻璃基板而产生信号；通过与所述至少两个传感器电连接、并从所述至少两个传感器分别接收信号的控制器，在玻璃基板通过所述至少两个传感器的上部或下部时，读出从所述至少两个传感器分别接收的信号，从而确定玻璃基板完全通过各传感器的时间，或是在玻璃基板通过所述至少两个传感器的上部或下部时，对从所述至少两个传感器分别接收的信号的脉冲进行计数；和通过所述控制器将所述分别确定的时间或计数的脉冲个数与预定的基准值进行比较，判定玻璃基板有无破损。
其特征在于，上述判定玻璃基板有无破损的步骤将所述分别确定的时间或分别计数的脉冲个数与预定的基准值进行比较，该时间或脉冲个数小于预定的基准值时，判定玻璃基板有破损；当该时间或脉冲个数与预定的基准值相同时，判定玻璃基板没有破损。
根据本发明，能够在玻璃基板移动的状态下，使用最少量的光传感器检测出平面显示装置生产线上移动的玻璃基板的边缘部分中易发生的破损。特别是，当玻璃基板在各工序间移动时，能够检测出玻璃基板有无破损，从而不需要额外的测定时间，能够仅用2至3个传感器检测出玻璃基板所有的边缘破损。
附图说明
图1显示了根据本发明的玻璃基板边缘部分的破损检测装置的概要构成图；
图2是显示正常的玻璃基板通过根据本发明的检测装置时，光传感器和正常的玻璃基板的位置关系的平面图，以及从位于正常的玻璃基板下部的各光传感器检测出的对应时间轴的信号波形的曲线；
图3显示了破损的玻璃基板通过根据本发明的检测装置的光传感器时，光传感器和破损的玻璃基板的位置关系的平面图，以及从位于破损的玻璃基板下部的各光传感器检测出的对应时间轴的信号波形的曲线；
图4是详细说明根据本发明的玻璃基板边缘部分破损检测方法的流程图；
图5显示了根据本发明的检测装置应用于平面显示装置的流水线生产系统的实施方式的平面图；
图6显示了根据本发明的检测装置适用于平面显示装置的集群式生产系统的实施方式的平面图；
图7显示了现有技术的集群式生产系统中检测玻璃基板边缘部分的破损的光传感器的配置方式。
符号说明
10  玻璃基板                 10a～10e  第1玻璃基板～第5玻璃基板
20  传感器                   22  反射板
20a、20b  边缘传感器         20c  基准传感器
30  控制器                   40  主控制器
50  输送室(transport chamber)LL负载固定器
PM1～PM6  第1工序模块～第6工序模块
实施发明的最佳方式
下面参考附图详细说明本发明的优选实施方式。
图1显示了根据本发明的玻璃基板边缘部分的破损检测装置的概要构成图。该装置由传感器20、反射板22和控制器30构成，所述传感器20设置于玻璃基板10的左右边缘部分要移动的位置的下部。当玻璃基板通过时，识别玻璃基板而产生信号。反射板22将玻璃基板10夹在其间，并位于与上述传感器20相对侧。控制器30与传感器20电连接，用于接收来自各传感器20的信号。
控制器30在玻璃基板通过传感器20的上部时，读出从各传感器20接收的信号，确定玻璃基板10完全通过各传感器20所需要的各时间；或是在玻璃基板通过传感器20的上部时，对从各传感器20接收的信号的脉冲进行计数。
通过控制器30将分别确定的时间或分别计数的脉冲个数与预定的基准值进行比较，判定玻璃基板10有无破损。后面将参考图2至图4描述通过控制器30判定玻璃基板10的破损有无的具体的过程。
最后，所述检测装置还可以有通过外部装置输入输出接口与控制器30电连接的主控制器40。该主控制器40在通过控制器30判定玻璃基板的破损时，控制报警装置(未示出)发生报警信号，并控制移送玻璃基板10的移送装置(未示出)，停止玻璃基板10的移动。
图2是显示在所述检测装置中，正常的玻璃基板10通过位于下部的边缘传感器20a、20b和基准传感器20c时，正常的玻璃基板和这些传感器的位置关系的平面图。
图2的(a)、(b)、(c)中显示了正常的玻璃基板移动时，从位于下部的边缘传感器20a、20b和基准传感器20c检测出的相对于时间轴的信号的波形图。从图2中的曲线(a)看，从正常的玻璃基板10的前端部通过边缘传感器20a的时刻t0到玻璃基板10的后端部通过边缘传感器20a的时刻t3为止，边缘传感器20a识别玻璃基板10，产生一定大小的信号。该信号波形与位于两个边缘传感器20a、20b之间的基准传感器20c所产生的示于图2(c)的同步信号波形相同。而且，从图2的(b)的曲线看，从正常的玻璃基板10的前端部通过边缘传感器20b的时刻t0到玻璃基板10的后端部通过边缘传感器20b的时刻t3为止，边缘传感器20b识别玻璃基板10，从而产生一定大小的信号。该信号波形与位于两个边缘传感器20a、20b之间的基准传感器20c所发生的示于图2的(c)的同步信号波形相同。在这种两个传感器20a、20b的信号波形与基准传感器20c产生的同步信号波形相同的情况下，当玻璃基板10完全通过两个边缘传感器时，所需时间或发生的脉冲的个数与预定的基准值相同，结果控制器可以判定玻璃基板没有破损。
图3显示了所述检测装置中，破损的玻璃基板10通过位于下部的边缘传感器20a、20b和基准传感器20c时，破损的玻璃基板和这些传感器的位置关系的平面图。
而且，图3的(a)、(b)、(c)中显示了破损的玻璃基板移动时，从位于下部的边缘传感器20a、20b和基准传感器20c各检测出的相对于时间轴的信号的波形图。从图3(a)的曲线看，从破损的玻璃基板10的前端部通过边缘传感器20a的时t1到破损的玻璃基板10的后端部通过边缘传感器20a的时刻t3为止，边缘传感器20a识别玻璃基板10，从而产生一定大小的信号，该信号波形与位于两个边缘传感器20a、20b之间的基准传感器20c所发生的示于图3的(c)的同步信号波形不相同。在t0～t1区间没有发生信号。这样的t0～t1区间是检测出通过边缘传感器20a的玻璃基板的前端部的边缘破损的区间。当破损的玻璃基板10完全通过边缘传感器20a时，所需时间或产生的脉冲个数小于预定基准值，结果，控制器判定玻璃基板有破损。
而且，从图3的(b)的曲线看，从破损的玻璃基板10的前端部通过边缘传感器20b的时刻t0到破损的玻璃基板10的后端部通过边缘传感器20b的时刻t2为止，边缘传感器20b识别玻璃基板10，从而产生一定大小的信号。该信号波形与位于两个边缘传感器20a、20b之间的基准传感器20c所发生的示于图3的(c)的同步信号波形不相同。在t2～t3区间没有发生信号。这样的t2～t3区间是检测出通过边缘传感器20b的玻璃基板的后端部的边缘破损的区间。当破损的玻璃基板10完全通过边缘传感器20b时，所需时间或发生的脉冲个数小于预定的基准值，结果，控制器判定玻璃基板有破损。
下面参考图4说明根据本发明的玻璃基板边缘部分的破损检测方法。
首先，在将玻璃基板投入平面显示器制造工序的各工序后，使之移动(S400)。接着，在玻璃基板通过其下方设置的传感器(例如，边缘传感器)时，检测这些传感器发出的信号(S410)。
之后，通过控制器读出检测出的信号，确定玻璃基板完全通过各传感器所需的各时间，或是从检测出的信号中对各脉冲计数(S420)。将上述各时间或各计算的脉冲的个数与预定的基准值进行比较(S430)。根据比较的结果，当从各传感器读出的各时间或脉冲的个数小于预定的基准值时，判定玻璃基板有破损；若两者相同时，判定玻璃基板没有破损(S440)。最后，控制器也可以通过外部装置输入输出接口与主控制器电连接。此时，主控制器在通过控制器判定玻璃基板破损时，控制报警装置发生报警信号，并通过控制移送玻璃基板的移送装置，停止玻璃基板的移动。
图5显示了根据本发明的检测装置应用于平面显示装置的流水线生产系统的实施方式的平面图。参考图5，第1玻璃基板10a处于第1工序模块PM1中，进行处理工序。经过该第1工序模块PM1处理结束的第2玻璃基板10b被移送，处于准备向第2工序模块PM2投入的待机状态。然后，使第3玻璃基板10c处于第2工序模块PM2中，进行第2处理工序。此时，通过位于移送通路下方的所述边缘传感器20a、20b以及基准传感器20c和控制器(图5中未示出)，判定在第1工序模块PM1处理完、向第2工序模块PM2移送中的第2玻璃基板10b有无破损。当检测出玻璃基板的破损时，通过与控制器电连接的主控制器的控制，停止移送装置，并使警报装置报警，阻止第2玻璃基板10b投入到第2工序模块PM2中。
而且，在第1工序模块PM1的处理结束并处于移送中的第2玻璃基板10b通过位于移送通路下方的边缘传感器20a、20b以及基准传感器20c时，关于这些传感器检测出的信号波形，正常的玻璃基板的情况示于图2，破损的玻璃基板的情况示于图3。
另外，根据图4所示的流程，通过由控制器读出这样的信号波形，来进行判定玻璃基板有无破损。在图5的实施方式中，展示了第1工序模块PM1和第2工序模块PM2，然而熟悉本领域的技术人员应该理解，根据本发明的破损检测装置并不仅局限于这样的两个工序模块的场合，也适用于增加的多个工序模块之间，传感器的位置也可根据玻璃基板在各模块的处理前后的移送过程进行变形。
图6显示了根据本发明的检测装置适用于平面显示装置的集群式生产系统的实施方式的平面图。参考图6，第1玻璃基板10a、第2玻璃基板10b、第3玻璃基板10c分别处于第1工序模块PM1、第2工序模块PM2以及第3工序模块PM3中，进行相应的处理工序。在这些工序模块中的处理结束之后被移送到输送室50的第4玻璃基板10d处于将要投入负载固定器(load lock)LL的待机状态。然后，将在工序模块中处理结束而从输送室50移送的第5玻璃基板10e堆放于负载固定器LL的下部，在负载固定器LL的上部，放置为了投入各工序模块而置于输送室50中的待机状态的玻璃基板(图中未示出)。
在第1工序模块PM1中的处理结束的第1玻璃基板10a在向输送室50移送过程中，通过位于输送室50的入口附近的下部的所述边缘传感器20a、20b和控制器(图6中未示出)判定玻璃基板有无破损。然后，在各工序模块中的处理结束之后，移送到输送室50的第4玻璃基板10d在向负载固定器LL的下部移送的同时，通过位于负载固定器LL入口附近的下部的所述边缘传感器20a、20b以及基准传感器20c和控制器(图6中未示出)，来判定玻璃基板有无破损。如果检测出第1玻璃基板10a或是第4玻璃基板10d有破损，通过与控制器电连接的主控制器，阻止从输送室50向增加的后续工序模块或向负载固定器LL的移送。通过报警装置发出报警，能够提前阻止玻璃基板向增加的后续工序模块或负载固定器投入。
另外，图中未示出，从第1工序模块PM1到输送室50的入口附近的下部，在所述边缘传感器20a、20b以外，也可设置基准传感器20c，从第2工序模块PM2到输送室50的入口附近，和从第3工序模块PM3到输送室50的入口附近，也可设置边缘传感器20a、20b和基准传感器20c。
在第1工序模块PM1中处理结束的第1玻璃基板10a通过位于输送室50的入口附近的下方的边缘传感器20a、20b时，图2的(a)和(b)显示了玻璃基板正常情况下这些传感器的信号波形，图3的(a)和(b)显示了玻璃基板破损情况下这些传感器的信号波形。另外，在各工序模块的处理结束之后，移送到输送室50的第4玻璃基板10d通过位于负载固定器LL的入口附近的下方的边缘传感器20a、20b和基准传感器20c时，图2显示了玻璃基板正常情况下这些传感器的信号波形，图3显示了玻璃基板破损情况下这些传感器的信号波形。
根据图4所示的流程，通过控制器读出这样的信号波形，判定玻璃基板有无破损。熟悉本领域的人员应该理解，根据本发明的破损检测装置不仅局限于适用于这样的支持三个工序模块的集群式生产系统，也可适用于支持增加多个工序模块的集群式生产系统，传感器的位置也可根据在各工序模块的处理前后的移送过程进行相应的改变。
图7显示了集群式生产系统中检测玻璃基板边缘部分的破损的光传感器的配置的现有技术的方式。在这样的现有技术的方式中，在玻璃基板投入各工序模块之前，玻璃基板的各边缘有无破损是根据设置于承载玻璃基板的支撑台的下部的光传感器a～n来检测的。然而，在这样的现有技术的检测方式下，为了检测出玻璃基板的边缘部分的破损，必须将玻璃基板停止于输送室内，在支持六个工序模块PM1～PM6的集群式生产系统的情况下，为了进行检测，具有总共需要14个(即a～n)光传感器的问题。
上面根据附图说明了本发明，然而应该理解，本发明不仅局限于所披露的实施方式，熟悉本领域的人员可在不脱离本发明范围的情况下，对本发明进行修改和变更。

Claims (12)

1.玻璃基板边缘部分的破损检测装置，其特征在于，包括：
至少两个传感器，设置于玻璃基板要移动的位置的下部或上部，在玻璃基板通过时，用于识别玻璃基板而发出信号；
控制器，与所述至少两个传感器电连接，接收所述至少两个传感器的各自的信号，在玻璃基板通过所述至少两个传感器的上部或下部时，从所述至少两个传感器分别读出接收的信号，确定玻璃基板完全通过各传感器所需的时间，或者是在玻璃基板通过所述至少两个传感器的上部或下部时，对从所述至少两个传感器接收的信号各自的脉冲个数分别进行计数，将这样分别确定的时间或分别计数的脉冲个数与预定的基准值进行比较，从而判断玻璃基板有无破损。
2.如权利要求1所述的玻璃基板边缘部分的破损检测装置，其特征在于，所述控制器将所述分别确定的时间或计数的脉冲个数与预定的基准值进行比较，当该时间或脉冲个数比预定的基准值小的时候，则判定玻璃基板有破损，当两者相同时，则判定玻璃基板无破损。
3.如权利要求1或2所述的玻璃基板边缘部分的破损检测装置，其特征在于，所述至少两个传感器具有边缘传感器，左右对称地设置于玻璃基板的左右边缘部分要移动的位置的下部或上部，在玻璃基板通过时，识别玻璃基板，产生信号。
4.如权利要求3所述的玻璃基板边缘部分的破损检测装置，其特征在于，所述至少两个传感器还具有位于所述边缘传感器之间的基准传感器，所述基准传感器产生与各边缘传感器产生的信号对应的同步信号。
5.如权利要求1或2所述的玻璃基板边缘部分的破损检测装置，其特征在于，所述至少两个传感器是透过型传感器。
6.如权利要求1或2所述的玻璃基板边缘部分的破损检测装置，其特征在于，进一步包括与所述控制器电连接的主控制器。
7.如权利要求6所述的玻璃基板边缘部分的破损检测装置，其特征在于，所述主控制器在根据所述控制器判定玻璃基板的破损时，控制报警装置发出报警信号，并控制移送玻璃基板的移送装置，从而停止玻璃基板的移动。
8.玻璃基板边缘部分的破损检测方法，其特征在于包括以下步骤：
使用设置于玻璃基板要移动的位置的下部或上部的至少两个传感器，在玻璃基板通过时，识别玻璃基板而产生信号；
通过与所述至少两个传感器电连接、并从所述至少两个传感器分别接收信号的控制器，在玻璃基板通过所述至少两个传感器的上部或下部时，读出从所述至少两个传感器分别接收的信号，从而确定玻璃基板完全通过各传感器的时间，或是在玻璃基板通过所述至少两个传感器的上部或下部时，对从所述至少两个传感器分别接收的信号的脉冲进行计数；和
通过所述控制器将所述分别确定的时间或计数的脉冲个数与预定的基准值进行比较，判定玻璃基板有无破损。
9.如权利要求8所述的玻璃基板边缘部分的破损检测方法，其特征在于，在所述判定玻璃基板有无破损的步骤中，将所述分别确定的时间或分别计数的脉冲个数与预定的基准值进行比较，如果该时间或脉冲个数小于预定的基准值，则判定玻璃基板有破损，如果该时间或脉冲个数与预定的基准值相同，则判定玻璃基板没有破损。
10.如权利要求8或9所述的玻璃基板边缘部分的破损检测方法，其特征在于，在所述至少两个传感器中，通过设置于玻璃基板的左右边缘部分要移动的位置的下部或上部的左右一对传感器，在玻璃基板通过时，识别玻璃基板，从而产生信号。
11.如权利要求10所述的玻璃基板边缘部分的破损检测方法，其特征在于，在所述至少两个传感器中，通过位于所述左右一对的传感器之间的传感器，产生与所述左右一对的各传感器所发生的信号对应的同步信号。
12.如权利要求8或9所述的玻璃基板边缘部分的破损检测方法，其特征在于，还包括以下步骤，在通过所述控制器判定玻璃基板的破损的情况下，与所述控制器电气连接的主控制器控制报警装置产生报警信号，并控制移送玻璃基板的移送装置停止玻璃基板的移动。
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