JPH11312725A

JPH11312725A - 基板搬入搬出装置

Info

Publication number: JPH11312725A
Application number: JP12127498A
Authority: JP
Inventors: Akihiko Morita; 彰彦森田; Yasuo Imanishi; 保夫今西; Jun Shibukawa; 潤渋川; Kazuhiro Nishimura; 和浩西村
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1998-04-30
Filing date: 1998-04-30
Publication date: 1999-11-09
Anticipated expiration: 2018-04-30
Also published as: JP3963572B2

Abstract

(57)【要約】【課題】基板収納容器の種類によらず基板の収納の有
無を検出することが可能な基板搬入搬出装置を提供する
ことである。【解決手段】載置部２に載置された一体型カセット３
５の斜め上方にＣＣＤカメラ１１を配置し、照明装置１
０から一体型カセット３５内に光を照射した状態で撮像
し、得られた２次元画像データを円柱座標系に変換し、
円柱座標系の各画素値を基板の整列方向に沿って走査し
て１次元画像データを求める。さらに、照明装置１０を
消灯した状態で上記と同様にして消灯時の１次元画像デ
ータを求める。そして、照明点灯時の１次元画像データ
から消灯時の１次元画像データを減算することにより基
板の端縁のみの１次元画像データを求め、この１次元画
像データに基づいて基板収納容器内の各収納棚における
基板の有無を検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板収納容器の各
収納棚における基板の有無を検出して基板収納容器との
間で基板の受け渡しを行う基板搬入搬出装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基
板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用ガラス基
板等の基板に種々の処理を行うために複数の基板処理部
が統合された基板処理装置が用いられている。基板処理
装置はクリーンルーム内に設置され、各基板処理装置間
の基板の搬送は、基板収納容器を用いて行われる。基板
収納容器は複数枚の基板を収納し、基板搬送ロボット等
によってクリーンルーム内を搬送され、基板処理装置に
供給される。

【０００３】基板処理装置は、基板収納容器との間で基
板の受け渡しを行う基板搬入搬出装置を備えている。基
板搬入搬出装置は、基板収納容器から処理前の基板を取
り出し、基板の処理を行うために基板処理部の配置され
た領域に払い出し、一方、基板処理部で処理の終了した
基板を受け取って基板収納容器に搬入するようにしてい
る。さらに、基板搬入搬出装置は、基板検出装置を有し
ており、基板検出装置を用いて基板収納容器の複数段の
基板収納位置に基板があるか否かを検出できるように構
成されている。

【０００４】従来より、基板収納容器の種類に応じて種
々の基板検出装置が提案されている。図７は基板収納容
器の一例を示す斜視図であり、図８は基板収納容器の他
の例を示す斜視図である。図７の基板収納容器３０はオ
ープン型カセットと呼ばれるもので、両側面に開口部を
有している。このオープン型カセット３０に対しては、
一方の開口部側に投光部を配置し、他方の開口部側に透
過型センサからなる受光部を配置し、投光部および受光
部を同時に上下に移動させることにより、投光部から照
射された光が基板により遮光されるタイミングおよび位
置を検出して基板の有無を判定する基板検出装置が提案
されている。

【０００５】また、図８の基板収納容器３５はＦＯＵＰ
（Front Opening Unified Pod ；以下、一体型カセット
と称する）と呼ばれるもので、開口部３６が蓋（図示せ
ず）により閉じられた密閉空間内に基板Ｗが収納され
る。このため、一体型カセット３５では、搬送時に基板
Ｗが外気に晒されて外気中のパーティクルの付着により
汚染されることを防止することができる長所を有してい
る。

【０００６】このような一体型カセット３５に対して
は、オープン型カセット３０に用いられる投光部と受光
部とからなる光透過型の基板検出装置を適用することが
できない。このため、一体型カセット３５に対しては、
反射型光センサを用いた基板検査装置が提案されてい
る。この基板検査装置では、一体型カセット３５の開口
部３６の外方から一体型カセット３５内の基板Ｗに向け
て投光し、その反射光を反射型光センサで受光すること
により一体型カセット３５内の各収納位置における基板
Ｗの有無を検出している。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、反射型
光センサを用いた基板検査装置では、基板Ｗの表面に形
成される膜の種類や膜厚によって光の反射率が異なる。
このため、基板Ｗの表面に形成される膜の状態によって
反射光の光量が変化するため、反射光の光量に基づく基
板の有無の判定が難しく、誤検出を生じるおそれがあ
る。基板の有無に誤検出が生じると、基板搬入搬出動作
に誤りが生じ、基板の処理漏れが発生したり、基板収納
容器へ基板を収納する際に基板の衝突事故が生じるおそ
れがある。

【０００８】本発明の目的は、基板収納容器内の基板の
有無を確実に検出することが可能な基板搬入搬出装置を
提供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段および発明の効果】第１の
発明に係る基板搬入搬出装置は、基板が収納される複数
段の収納棚を有する基板収納容器との間で基板の受け渡
しを行う基板搬入搬出装置であって、基板収納容器が載
置される載置部と、基板収納容器から基板を取り出すこ
とと基板収納容器に基板を収納することが可能な基板受
け渡し手段と、載置部に載置された基板収納容器を照明
する照明手段と、載置部に載置された基板収納容器を撮
像して画像の明るさを示す画像データを出力する撮像手
段と、照明手段の点灯時に撮像手段から出力される画像
データから、照明手段の消灯時に撮像手段から出力され
る画像データを差し引くことによって基板の端縁の画像
データを抽出する抽出手段と、抽出手段により抽出され
た画像データに基づいて基板収納容器内の各収納棚の基
板の有無を判定する判定手段とを備えたものである。

【００１０】第１の発明に係る基板搬入搬出装置におい
ては、照明手段が点灯された際の基板収納容器の画像の
明るさを示す画像データと照明手段が消灯された際の基
板収納容器の画像の明るさを示す画像データとを撮像手
段により作成している。点灯時の画像データには、検出
すべき基板の端縁の画像データと、外乱等による画像デ
ータとが含まれる。また、消灯時の画像データには、外
乱等の画像が含まれる。そこで、抽出手段が照明点灯時
の画像データから照明消灯時の画像データを差し引くこ
とにより検出すべき基板の端縁の画像データを抽出する
ことができる。そして、判定手段が、抽出された画像デ
ータに基づいて基板収納容器内の各収納棚の基板の有無
を判定することにより、基板収納容器内における基板の
収納状態を正確に検出することができる。特に、基板収
納容器の画像の明るさを示す画像データは撮像手段によ
り得られるため、基板収納容器の種類によらず基板の収
納状態を検出することができる。また、消灯時の画像デ
ータを用いて外乱等の影響を排除することにより、基板
収納容器内の各収納棚の基板の有無を正確に判定するこ
とができる。

【００１１】第２の発明に係る基板搬入搬出装置は、第
１の発明に係る基板搬入搬出装置の構成において、撮像
手段が、基板収納容器の斜め上方に設けられ、基板収納
容器を撮像して画像の明るさを示す２次元画像データを
出力し、抽出手段は、照明手段の点灯時および消灯時に
撮像手段から出力される２次元画像データを、基板収納
容器内に収納される複数の基板の整列方向に一致する中
心軸を有する円柱座標系における画像データに変換する
座標変換手段と、円柱座標系における画像データを中心
軸に沿う方向に走査し、各走査位置の画像データが１次
元に配列された照明手段の点灯時および消灯時の１次元
画像データを求める算出手段と、算出手段によって求め
られた照明手段の点灯時の１次元画像データから照明手
段の消灯時の１次元画像データを減算することによって
基板の端縁が抽出された１次元画像データを算出する減
算手段とを備え、判定手段が、基板の端縁が抽出された
１次元画像データに基づいて基板収納容器内の各収納棚
の基板の有無を判定するものである。

【００１２】この場合、撮像手段から出力される２次元
画像データを円柱座標系の画像データに変換することに
より、実際に基板収納容器内に整列された基板に対応し
た座標系に２次元画像データの各画素を変換し、各画素
を基板の整列方向に沿って走査することにより１次元画
像データを得ることができる。１次元画像データでは、
基板の端縁からの反射光が生じた画素の値が大きく示さ
れている。これにより、基板収納容器内の各収納棚に基
板が収納されているか否かを正確に検出することができ
る。

【００１３】第３の発明に係る基板搬入搬出装置は、第
２の発明に係る基板搬入搬出装置の構成において、算出
手段が、各走査位置ごとに円柱座標系における画像デー
タを周方向に沿って所定範囲積分することにより各走査
位置の画像データを求めるものである。

【００１４】この場合には、各走査位置ごとに画像デー
タの積分値が求められることにより、基板収納容器内に
おいて反射光が生じた領域と生じなかった領域との際が
明確となり、それによって基板の有無を正確に判定する
ことができる。

【００１５】第４の発明に係る基板搬入搬出装置は、第
２または第３の発明に係る基板搬入搬出装置の構成にお
いて、判定手段が、基板の端縁が抽出された１次元画像
データの各点の値が所定の閾値を越えるか否かによって
基板収納容器の各収納棚における基板の有無を判定する
ものである。

【００１６】この場合、１次元画像データでは基板が存
在する位置における画素の値が大きく示されている。そ
こで、所定の閾値を設定することにより、閾値を超える
１次元画像データの画素位置に基づいて基板収納容器の
収納棚に基板が収納されているか否かを正確に判定する
ことができる。

【００１７】第５の発明に係る基板搬入搬出装置は、第
２または第３の発明に係る基板搬入搬出装置の構成にお
いて、判定手段が、基板の端縁が抽出された１次元画像
データの変曲点を求め、変曲点の有無によって基板収納
容器の各収納棚における基板の有無を判定するものであ
る。

【００１８】この場合、１次元画像データでは、基板が
存在する位置に対応して画像データの変曲点が存在す
る。このため、変曲点の有無によって基板収納容器の各
収納棚に基板が収納されているか否かを正確に判定する
ことができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】図１は本発明の実施例による基板
搬入搬出装置の側部断面模式図である。基板搬入搬出装
置１は基板処理装置において複数の基板処理部に隣接す
るように配置されている。基板搬入搬出装置１は、載置
部２および基板搬送部３を備える。載置部２の上面に
は、基板収納容器が載置される。なお、以下では、基板
収納容器として図８の一体型カセット３５を例に説明す
る。一体型カセット３５は基板搬送路３側に開口部３６
が向くように載置される。一体型カセット３５の蓋３５
ａは蓋開閉機構（図示せず）により取り外され、基板搬
送部３の下方に保持される。

【００２０】基板搬送部３には基板搬送機構５が配置さ
れている。基板搬送機構５は、基板Ｗを保持する基板保
持アーム６と、基板保持アーム６を水平方向に進退移動
させ、鉛直軸の周りに回動させるアーム駆動機構７と、
基板保持アーム６およびアーム駆動機構７を昇降移動さ
せる昇降駆動部８と、基板保持アーム６、アーム駆動機
構７および昇降駆動部８を水平方向（紙面垂直方向）に
延びるレール９ａに沿って移動させる水平方向移動部９
とから構成される。

【００２１】基板搬送部３の上部には空調ユニット４が
配置されている。空調ユニット４はファン４ａとフィル
タ４ｂとから構成され、基板搬送部３内に清浄な空気を
下降させて基板搬送部３内を清浄な雰囲気に保持する。

【００２２】さらに、基板搬入搬出装置１には、一体型
カセット３５内の基板Ｗの有無を検出する基板検出装置
１００が設けられている。基板検出装置１００は、一体
型カセット３５内を照明する照明装置１０、一体型カセ
ット３５内を撮像するＣＣＤ（電荷結合素子）カメラ１
１およびＣＣＤカメラ１１から出力される画像データに
対して画像処理を行う画像処理部１５とを備える。

【００２３】照明装置１０は基板搬送部３の載置部２側
の内壁面に取り付けられ、一体型カセット３５の内部を
照明する。また、ＣＣＤカメラ１１は、一体型カセット
３５の斜め上方から一体型カセット３５の内部を撮像す
るように載置部２と反対側の基板搬送部３の壁面に固定
されている。ＣＣＤカメラ１１により撮像された一体型
カセット３５内の画像は画像処理部１５に出力される。

【００２４】基板搬入搬出装置１の載置部２に一体型カ
セット３５が載置されると、まず基板検出装置１００が
動作され、一体型カセット３５内の各収納棚に基板Ｗが
収納されているか否かが検出される。基板の検出動作が
終了すると、検出結果に基づいて基板搬送機構５のアー
ム駆動機構７、昇降駆動部８および水平方向移動部９が
動作して基板保持アーム６が一体型カセット３５内に収
納された基板Ｗを一体型カセット３５から取り出して基
板の処理を行うために基板処理部の配置された領域に払
い出し、一方、基板処理部で処理の終了した基板を受け
取って一体型カセット３５内の収納棚に収納する。

【００２５】ここで、本実施例の載置部２が本発明の載
置部に相当し、基板搬送機構５が、基板受け渡し手段に
相当し、照明装置１０が照明手段に相当し、ＣＣＤカメ
ラ１１が撮像手段に相当し、画像処理部１５が抽出手段
および判定手段に相当する。

【００２６】次に、基板検出装置１００の動作について
説明する。図２は基板検出装置１００の動作を示すフロ
ーチャートである。図２において、まず照明装置１０を
点灯し、一体型カセット３５の開口部３６内に光を照射
する。光が照射されると、一体型カセット３５内の基板
Ｗでは開口部３６側の端縁が光を基板搬送部３側に反射
し、主表面は照射された光を一体型カセット３５の奥側
へ反射する。このため、基板搬送部３側から見ると、一
体型カセット３５内で基板Ｗの端縁が明るく見える。ま
た、一体型カセット３５の奥側の壁面が透明な場合や、
周囲に他の光源がある場合などには、それら外乱により
明るい部分が生じる（ステップＳ１）。

【００２７】この状態で、ＣＣＤカメラ１１から一体型
カセット３５内を撮像する。図３はＣＣＤカメラ１１に
より撮像された一体型カセット３５内部の画像データを
示す模式図である。図３において、画像データ２０はＸ
−Ｙ平面の２次元画像データからなり、枡目は画像デー
タ２０の各画素２１を示している。各画素２１は２５６
階調の明るさを示す画素値（濃淡データ）を有する。ま
た、画像データ２０において黒色で塗り潰した画素領域
２２は一体型カセット３５内で明るい領域を示してい
る。なお、図３では、明るい領域として基板Ｗの端縁の
みを図示し、外乱による明るい部分については図示を省
略している。

【００２８】画像データ２０は２次元のＸ−Ｙ平面で規
定される。一方、ＣＣＤカメラ１１は一体型カセット３
５内に収納された基板Ｗの斜め上方から円板状の基板Ｗ
を撮像している。このため、明るく光る基板Ｗの端縁は
画像データ２０のＸ−Ｙ平面で楕円状の領域２２で示さ
れる。したがって、画像データ２０の各画素２１の値に
基づいて明るい部分を抽出したとしても、このままでは
明るい部分が一体型カセット３５内のどの部分に相当す
るかを直接検出することができない（ステップＳ２）。

【００２９】そこで、Ｘ−Ｙ平面の画像データ２０を一
体型カセット３５内の複数の基板Ｗに対応する円柱座標
系の画像データに変換する。図４は基板に対応する円柱
座標系を示す模式図である。円柱座標系２５では中心軸
Ｚと、中心軸Ｚからの半径位置ｒと、中心軸Ｚ周りの角
度θにより３次元空間が定義される。ここでは、中心軸
Ｚを一体型カセット３５内に収納される複数の基板Ｗの
整列方向（上下方向）に一致させており、それによって
基板Ｗの半径と等しい半径位置ｒｗに、一体型カセット
３５内に整列された複数枚の基板Ｗにより構成される仮
想の円柱領域に等しい円柱状の座標領域２６が規定され
る。

【００３０】一体型カセット３５に対するＣＣＤカメラ
１１の取り付け位置は予め検出されている。このため、
ＣＣＤカメラ１１により得られた画像データ２０の各画
素と、円柱座標系２５の円柱状の座標領域２６の各画素
との対応関係は予め求められる。そこで、予め求められ
た対応関係に基づいて画像データ２０の各画素を図４の
円柱座標系に変換する。この変換処理により、例えば図
３の画像データ２０内の明るい領域２２（基板Ｗの端
縁）は図４の円柱座標系２５において黒色で示す領域２
７に変換される（ステップＳ３）。

【００３１】ＣＣＤカメラ１１の画像データ２０が図４
の円柱座標系２５に変換されると、円柱座標系２５にお
ける座標領域２６の各画素を中心軸Ｚに平行な走査方向
Ｐに沿って走査する。各走査位置では、基板Ｗの端縁か
ら光が反射すると想定される領域に対応する画素領域θ
１内の画素値を積分し、各走査位置における代表画素値
とする。このような積分処理を走査方向Ｐに沿って各走
査位置で行うことにより１次元の画像データを得ること
ができる。図５（ａ）は、この積分処理により得られた
１次元画像データを示す図である。図５（ａ）におい
て、横軸は図４の円柱座標系２５の走査方向Ｐに相当
し、横軸の各数字は、図６に示すように、走査方向Ｐの
所定の走査位置が対応する一体型カセット３５内の各基
板Ｗの収納棚の位置を示している。また、図５（ａ）の
縦軸は、各走査位置での画素の濃淡データの積分値Ａ、
すなわち明るさを示している。なお、積分処理を行わ
ず、走査方向Ｐに沿う各画素を走査して１次元画像デー
タを求めてもよい（ステップＳ４）。

【００３２】次に、照明装置１０を消灯した状態での上
記ステップＳ２〜Ｓ４の処理に移行する（ステップＳ
５）。

【００３３】照明装置１０を消灯して（ステップＳ
６）、上記のステップＳ２〜Ｓ４の処理を行うと、基板
Ｗの端縁からの光の反射が生じなくなる。このため、基
板Ｗからの反射光に対応する画像データがなくなり、外
部から一体型カセット３５内に透過する光や散乱光等の
外乱による画像データを得ることができる。図５（ｂ）
は、外乱による１次元画像データを示す図である。

【００３４】照明装置１０を消灯しての処理が終了する
と（ステップＳ５）、照明装置１０を点灯した状態での
１次元画像データ（図５（ａ））から照明装置１０を消
灯した状態での１次元画像データ（図５（ｂ））を減算
することにより、図５（ｃ）に示す基板Ｗの端縁からの
反射光に基づく１次元画像データが得られる（ステップ
Ｓ７）。

【００３５】基板Ｗの端縁からの反射光のみに基づく１
次元画像データが得られると、この１次元画像データに
基づいて一体型カセット３５内の各収納棚における基板
Ｗの有無を判定する。基板の有無の第１の判定方法で
は、まず画素の積分値Ｃに対し閾値Ｖを設定する。そし
て、明るさを示す画素の積分値Ｃが閾値Ｖを越える走査
方向Ｐの位置を求める。そして、求めた位置が一体型カ
セット３５内の収納棚の位置に相当する場合には、その
収納棚に基板Ｗが収納されていると判定し、それ以外の
位置では、基板Ｗが収納されていないと判定する。

【００３６】また、第２の方法では、図５（ｃ）に示す
１次元画像データの分布曲線を微分して変曲点を求め
る。また、この変曲点が一体型カセット３５内の収納棚
の位置に相当する場合には、その位置に基板Ｗが収納さ
れているものと判定する。したがって、一体型カセット
３５の収納棚の位置に相当する変曲点が存在しない場合
には、その収納棚に基板Ｗが収納されていないものと判
定する（ステップＳ８）。

【００３７】以上の処理により、一体型カセット３５内
の基板Ｗの有無を各収納棚ごとに判定することができ
る。

【００３８】このように、上記実施例による基板搬入搬
出装置の基板検出装置１００では、一体型カセット３５
の周囲に外部雰囲気からの外乱が生じた場合でも、基板
Ｗからの反射光のみを抽出して基板Ｗの有無検出を行う
ことができる。このため、基板収納容器の種類によらず
正確に基板収納容器内の基板の有無を検出することがで
きる。

【００３９】なお、上記ステップＳ１〜Ｓ８の処理を複
数回繰り返すことにより、基板Ｗの検出精度をさらに高
めることができる。すなわち、複数回処理を繰り返すこ
とにより、ある処理時に一体型カセット３５の周囲にお
いて強い外乱が発生した場合等における基板Ｗの誤検出
を排除することができる。

【００４０】また、上記実施例において、図３のＸ−Ｙ
平面の画像データ２０を図４の円柱座標系２５に変換す
る際に、基板Ｗの直線状切欠き部（オリエンテーション
フラット部）の形状データを加味して変換することが好
ましい。直線状切欠き部の形状は基板の種類に応じて規
定されている。したがって、ＣＣＤカメラ１１から撮像
した場合の直線状切欠き部の２次元平面での形状を予め
求めることが可能であり、それに基づいて直線状切欠き
部を有する基板Ｗの画像データ２０を円柱座標系２５に
変換することができる。

【００４１】さらに、上記実施例では、一体型カセット
３５に収納された基板Ｗの検出動作について説明した
が、上記の基板検出装置は図７のオープン型カセットに
対しても同様に適用することができる。

【００４２】さらに、照明装置１０は、基板収納容器の
内部を照明できる位置であれば、その取り付け位置は上
記実施例の位置に限定されるものではない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例による基板搬入搬出装置の側部
端面模式図である。

【図２】図１の基板搬入搬出装置における基板検出装置
の動作を示すフローチャートである。

【図３】ＣＣＤカメラにより撮像された一体型カセット
内部の画像データを示す模式図である。

【図４】円柱座標系の模式図である。

【図５】画像処理により得られた１次元画像データを示
す図である。

【図６】基板収納容器と走査方向との対応を示す図であ
る。

【図７】オープン型カセットの斜視図である。

【図８】一体型カセットの斜視図である。

【符号の説明】

１基板搬入搬出装置２載置部１０照明装置１１ＣＣＤカメラ１５画像処理部２０画像データ２５円柱座標系３０オープン型カセット３５一体型カセット３６開口部１００基板検出装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者渋川潤京都市伏見区羽束師古川町322番地大日本スクリーン製造株式会社洛西事業所内 (72)発明者西村和浩京都市伏見区羽束師古川町322番地大日本スクリーン製造株式会社洛西事業所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板が収納される複数段の収納棚を有す
る基板収納容器との間で基板の受け渡しを行う基板搬入
搬出装置であって、前記基板収納容器が載置される載置部と、前記基板収納容器から基板を取り出すことと前記基板収
納容器に基板を収納することが可能な基板受け渡し手段
と、前記載置部に載置された前記基板収納容器を照明する照
明手段と、前記載置部に載置された前記基板収納容器を撮像して画
像の明るさを示す画像データを出力する撮像手段と、前記照明手段の点灯時に前記撮像手段から出力される画
像データから、前記照明手段の消灯時に前記撮像手段か
ら出力される画像データを差し引くことによって基板の
端縁の画像データを抽出する抽出手段と、前記抽出手段により抽出された画像データに基づいて前
記基板収納容器内の各収納棚の基板の有無を判定する判
定手段とを備えたことを特徴とする基板搬入搬出装置。
【請求項２】前記撮像手段は、前記基板収納容器の斜
め上方に設けられ、前記基板収納容器を撮像して画像の
明るさを示す２次元画像データを出力し、前記抽出手段は、前記照明手段の点灯時および消灯時に前記撮像手段から
出力される前記２次元画像データを、前記基板収納容器
内に収納される複数の基板の整列方向に一致する中心軸
を有する円柱座標系における画像データに変換する座標
変換手段と、前記円柱座標系における前記画像データを前記中心軸に
沿う方向に走査し、各走査位置の画像データが１次元に
配列された前記照明手段の点灯時および消灯時の１次元
画像データを求める算出手段と、前記算出手段によって求められた前記照明手段の点灯時
の１次元画像データから前記照明手段の消灯時の１次元
画像データを減算することによって前記基板の端縁が抽
出された１次元画像データを算出する減算手段とを備
え、前記判定手段は、前記基板の端縁が抽出された前記１次
元画像データに基づいて前記基板収納容器内の各収納棚
の基板の有無を判定することを特徴とする請求項１記載
の基板搬入搬出装置。
【請求項３】前記算出手段は、各走査位置ごとに前記
円柱座標系における画像データを周方向に沿って所定範
囲積分することにより各走査位置の画像データを求める
ことを特徴とする請求項２記載の基板搬入搬出装置。
【請求項４】前記判定手段は、前記基板の端縁が抽出
された前記１次元画像データの各点の値が所定の閾値を
越えるか否かによって前記基板収納容器の各収納棚にお
ける基板の有無を判定することを特徴とする請求項２ま
たは３記載の基板搬入搬出装置。
【請求項５】前記判定手段は、前記基板の端縁が抽出
された前記１次元画像データの変曲点を求め、前記変曲
点の有無によって前記基板収納容器の収納棚における基
板の有無を判定することを特徴とする請求項２または３
記載の基板搬入搬出装置。