JP2013235892A - 基板収納状態検査装置及びそれを備えた基板収納設備 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】照明手段61が、検査用位置Pに位置する搬送容器Cの開口の前面側において、開口左右方向に離間して一対設けられ、基板収納状態判別手段が、撮像手段51により撮像された検査対象画像において、一対の照明手段61が照射する光により半導体基板の周縁部における周方向で離間した箇所に生じる高輝度部分を検出し、かつ、輝点検出処理により検査対象画像上に検出される左右に離間した高輝度部分についての上下方向の位置の対応関係に基づいて、半導体基板の収納姿勢が異常であるか否かを判別する。
【選択図】図1
Description
前記撮像手段にて撮像された画像に基づいて、前記半導体基板の前記収納空間における収納姿勢が正常であるか否かを判別する基板収納状態判別処理を実行する基板収納状態判別手段が設けられている基板収納状態検査装置、及び、それを備えた基板収納設備に関する。
前記照明手段が、前記検査用位置に位置する前記搬送容器の開口の前面側において、開口左右方向に離間して一対設けられ、前記基板収納状態判別手段が、前記撮像手段により撮像された検査対象画像において、前記左右一対の照明手段が照射する光により前記半導体基板の周縁部における周方向で離間した箇所に生じる高輝度部分を検出する輝点検出処理を実行し、かつ、前記輝点検出処理により前記検査対象画像上に検出される左右に離間した前記高輝度部分についての上下方向の位置の対応関係に基づいて、前記半導体基板の収納姿勢が異常であるか否かを判別する姿勢判別処理を実行するように構成されている点にある。
そして、半導体基板が収納空間における上下方向で同じ高さの一対の支持体に支持されている適正な収納状態であれば、検査対象画像において、当該一対の支持体に対応する上下方向の位置に左右一対の高輝度部分が生じることになる。ところが、半導体基板が傾斜姿勢となっている等して半導体基板が支持体に適正に支持されていないときには、当該半導体基板についての一対の高輝度部分の一方が、当該一対の支持体に対応する上下方向の位置に生じないことになる。
このため、左右の一方側の高輝度部分と同じ高さの他方側の位置に高輝度部分が生じているか否かを調べることで、収納姿勢の適否を判別することができる。このように、検査対象画像上に検出される左右に離間した高輝度部分の上下方向の位置を比較するという簡素な方法で、半導体基板が収納空間内で適正な収納姿勢で収納されているか否かを判別することができることになる。
したがって、収納空間の上下方向の位置によらず、半導体基板に生じる高輝度部分を適切に検出することができる。
なお、この場合、1台の撮像用カメラの視野を、収納空間において上下方向に複数収納される半導体基板の左右一対の高輝度部分の全てを撮像可能な領域に設定しておけば、1回の撮像で検査用画像を得ることができる。
前記基板収納状態判別手段が、前記輝点検出処理により前記検査対象画像上に検出される左右に離間した前記高輝度部分について、左右方向の一方側で検出されている前記高輝度部分に対応する高さの他方側の高輝度部分が存在しないと判別した場合には、当該高輝度部分が存在しない部分を前記半導体基板が存在しない異常部分と判別して、前記高輝度部分を示す高輝度シンボルと、前記異常部分を示す異常シンボルとを、前記検査対象画像における前記高輝度部分及び前記異常部分の相対位置関係に対応付ける形態で前記表示手段に表示する異常表示処理を実行自在に構成されている点にある。
したがって、半導体基板の収納姿勢に異常が生じていることを知得した使用者は、その搬送容器内の半導体基板の搬送姿勢を是正すべく、半導体基板の収納姿勢を正すための対処を行うことができる。
このように、第4特徴構成によれば、使用者にとって使い勝手のよい基板収納状態検査装置を提供できる。
このため、例えば、左右一対の照明手段又は撮像手段を撮像の都度搬送容器の移動範囲と重複する搬送容器の前面に移動させ、撮像が終了すると搬送容器の移動範囲と重複しない箇所に退避させるような構成に比べ、照明手段や撮像手段を移動させるための構成を設けなくて済むことになるために構成が簡素になり、しかも、照明手段又は撮像手段を移動させずに済むため、搬送容器を検査用位置に位置させた後迅速に撮像することができる。
したがって、使用者は、搬送容器を保管する時間を有効に利用して、半導体基板の収納姿勢の異常を是正するための対処を行うことが可能となる。
図1に示すように、基板収納設備は、半導体基板収納用の搬送容器Cを収納する収納部(図示なし)を複数備えた容器収納棚を内部に備えるストッカー3と、当該ストッカー3の入庫口に向けて搬送容器Cを搬送する搬送装置としてのコンベヤ1とを備えている。コンベヤ1は、ストッカー3の内部と外部との間に亘って搬送容器Cを搬入及び搬出するものである。
また、図5に示すように、コンベヤ1及び庫内移載装置4の作動を制御する搬送制御手段Hvが設けられている。
載置台20は、コンベヤ1を構成するコンベヤフレーム22の内部をその長手方向に沿って走行する走行体23の上端に備えられている。走行体23は、図示はしないが下端に走行車輪を備え、作業者用移載箇所Pとストッカー内移載箇所Qとの間で走行移動自在に構成されている。
そして、作業者用移載箇所Pやストッカー内移載箇所Qにおいて、載置台20を、その上面が搬送面に一致する搬送用上昇位置と、この搬送用上昇位置よりも下方に位置する移載用下降位置とに昇降させることにより、作業者用移載箇所Pにおいて搬送容器Cを載置台20と後述の検査用載置台1Pとの間で移載したり、ストッカー内移載箇所Qにおいて搬送容器Cを載置台20と後述のストッカー内載置台1Qとの間で移載したりすることができるようになっている。
搬送容器Cは、図3に示すように、円板状に形成されたウェハーW(半導体基板)の外周部を支持する一対の支持体Csを上下方向に離間する状態で複数段並べて備える収納空間Sが設けられている。搬送容器Cの前面側には、収納空間Sと外部との間でウェハーWを出し入れする開口Coが設けられている。
上記ウェハーWの収納姿勢が正常であるか否かについての検査を行う基板収納状態検査装置について説明する。
基板状態検査装置は、図1、2及び4に示すように、作業者用移載箇所Pに位置する搬送容器Cに収納されたウェハーWに、搬送容器Cの開口Coから光を照射する照明手段61と、照明手段61にて光を照射された収納空間S内のウェハーWを撮像する撮像手段としての撮像用カメラ51と、を備えている。
一対の照明部62の夫々は、検査用載置台1Pにおけるコンベヤ1の長手方向と直交する一対の側部の夫々から垂直方向に立設された垂直支持体60vと、垂直支持体60vにおける上下方向に離間した2箇所から水平方向に延出する水平支持体60hとによって、コンベヤフレーム22に固定支持されている。
また、左右一対の照明手段61の夫々は、図4に示すように、搬送経路における搬送容器Cの移動範囲Kの両側部で且つ前記移動範囲と重複しない位置に設けられている。
また、判別用制御装置Hには、制御用インタフェース又はデータ送受信用インタフェースを介して撮像用カメラ51及び照明手段61が接続され、撮像コントローラH1は、撮像用カメラ51との間で撮像指令の指令及び撮像データの受け取りが自在に構成されており、さらに、撮像指令と同期させて照明手段61への作動指令(LEDへの通電指令)を指令自在に構成されている。
そして、撮像コントローラH1は、撮像処理として、照明手段61に作動指令を指令するとともに撮像用カメラ51に撮像指令を指令し、撮像用カメラ51にて撮像した画像を検査対象画像として基板収納状態判別部H2に引き渡す。
判別用制御装置Hには、出力インタフェースとして、画像出力が可能なディスプレイ装置Dが備えられ、判別用制御装置Hによる処理結果を表示可能に構成されている。また、判別用制御装置Hには、入力インタフェースとしてポインティングデバイス(マウス等)と文字入力装置(キーボード等)とが備えられている。
基板収納状態判別部H2は、上記撮像処理にて撮像用カメラ51により撮像された検査対象画像において、左右一対の照明手段61が照射する光によりウェハーWの周縁部における周方向で離間した箇所に生じる高輝度部分を検出する輝点検出処理を実行する(#1)。
輝点検出処理は、左右一対の照明手段61の光に照射されて生じるウェハーWの左右に離間する輝点を、検査対象画像上で検出する処理である。
なお、異常表示処理の実行時には、基板収納状態判別部H2は搬送制御手段Hvへの搬送停止指令を指令する。
そして、基板収納状態判別部H2は、輝点検出処理により検査対象画像上に検出される左右に離間した高輝度部分についての上下方向の位置の対応関係に基づいて、半導体基板の収納姿勢が異常であるか否かを判別する姿勢判別処理を実行するように構成されている。
(1)上記実施形態では、基板収納状態検査装置を円板状に形成されたウェハーWを収納する搬送容器C内のウェハーWの収納姿勢の検査に用いる場合を説明したが、ウェハーWの形状は、平面視真円形の円板状に限定されるものではなく、例えば、ウェハーにおける結晶軸の方向を示すためのノッチやオリエンテーションフラットが設けられものであってもよい。
また、上記実施形態では、搬送容器Cの前面蓋を取り付けずに使用する形態を説明したが、このような使用形態に限定されるものではなく、例えば前面蓋を透明な材質で形成し、前面蓋の外方から照明手段による光の照射及び撮像用カメラによる撮像を行う形態としてもよい。
また、上記実施形態では、撮像用カメラ51を1台のみ用いる構成を説明したが、撮像用カメラを搬送経路において移動範囲と重複しない位置に設けるものであれば、撮像用カメラを2台以上設ける構成としてもよい。この場合、例えば、撮像用カメラを、搬送経路において移動範囲と重複しない位置として、搬送容器Cの移動範囲Kの両側部に位置させて設けることが考えられる。
また、搬送容器Cを搬送する搬送装置は、コンベヤに限定されるものではなく、自走台車等他の搬送手段であってもよい。
また、上記実施形態では、異常表示処理として、判別用制御装置Hに備えるディスプレイ装置Dへの表示を行う構成を例示したが、異常表示処理として情報を表示する対象は、判別用制御装置Hとネットワークを介して情報の送受が可能な別のコンピュータのディスプレイ装置や、使用者が携帯する携帯型無線端末の表示画面であってもよい。
さらに、異常表示処理として、ディスプレイ装置Dへの情報の表示以外に、警告灯の点等や音声による情報出力を用いてもよく、また、これらは夫々単独で用いてもよいし、いずれか又は全てを複合的に用いてもよい。
19 入庫口
51 撮像手段
61 照明手段
C 搬送容器
Co 開口
Cs 支持体
D 表示手段
H2 基板収納状態判別手段
K 移動範囲
P 検査用箇所
S 収納空間
W 半導体基板
Y1 高輝度シンボル
Y2 異常シンボル
Claims (6)
- 円板状に形成された半導体基板の外周部を支持する一対の支持体を上下方向に離間する状態で複数段並べて備える収納空間、及び、前記収納空間と外部との間で前記半導体基板を出し入れする開口が設けられた搬送容器と、
検査用位置に位置する前記搬送容器に収納された前記半導体基板に前記開口から光を照射する照明手段と、前記照明手段にて光を照射された前記収納空間内の前記半導体基板を撮像する撮像手段と、が設けられ、
前記撮像手段にて撮像された画像に基づいて、前記半導体基板の前記収納空間における収納姿勢が正常であるか否かを判別する基板収納状態判別処理を実行する基板収納状態判別手段が設けられている基板収納状態検査装置であって、
前記照明手段が、前記検査用位置に位置する前記搬送容器の開口の前面側において、開口左右方向に離間して一対設けられ、
前記基板収納状態判別手段が、前記撮像手段により撮像された検査対象画像において、前記左右一対の照明手段が照射する光により前記半導体基板の周縁部における周方向で離間した箇所に生じる高輝度部分を検出する輝点検出処理を実行し、かつ、
前記輝点検出処理により前記検査対象画像上に検出される左右に離間した前記高輝度部分についての上下方向の位置の対応関係に基づいて、前記半導体基板の収納姿勢が異常であるか否かを判別する姿勢判別処理を実行するように構成されている基板収納状態検査装置。 - 前記左右一対の照明手段の夫々が、上下方向に長尺状に構成された光源を備えて構成されている請求項1に記載の基板収納状態検査装置。
- 前記撮像手段が、1台の撮像用カメラで構成されている請求項1又は2に記載の基板収納状態検査装置。
- 前記基板収納状態判別手段の判別結果を表示する表示手段が設けられ、
前記基板収納状態判別手段が、前記輝点検出処理により前記検査対象画像上に検出される左右に離間した前記高輝度部分について、左右方向の一方側で検出されている前記高輝度部分に対応する高さの他方側の高輝度部分が存在しないと判別した場合には、当該高輝度部分が存在しない部分を前記半導体基板が存在しない異常部分と判別して、前記高輝度部分を示す高輝度シンボルと、前記異常部分を示す異常シンボルとを、前記検査対象画像における前記高輝度部分及び前記異常部分の相対位置関係に対応付ける形態で前記表示手段に表示する異常表示処理を実行自在に構成されている請求項1〜3のいずれか1項に記載の基板収納状態検査装置。 - 前記検査用位置が、前記搬送容器を搬送する搬送経路上に設けられ、前記左右一対の照明手段が、前記搬送経路における前記搬送容器の移動範囲の両側部で且つ前記移動範囲と重複しない位置に設けられ、前記撮像手段が、前記搬送経路の上方で且つ前記移動範囲と重複しない位置に設けられている請求項1〜4のいずれか1項に記載の基板収納状態検査装置。
- 前記搬送容器を収納する収納部を複数備えた容器収納棚が設けられ、
請求項1〜5のいずれか1項に記載の基板収納状態検査装置が、前記容器収納棚の入庫口、又は、搬送元箇所から前記入庫口に向けて前記搬送容器を搬送する搬送装置に設けられている基板収納設備。
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