JP2006156739A - 半導体ウエハ収納容器の検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】
発送前に容器内に収納された半導体ウエハの状態を容器外部から蓋を開けることなく簡単に確認でき、安全かつ確実に収納不良を検出できる半導体ウエハ収納容器の検査装置を提供する。
【解決手段】
容器１内に収納されている半導体ウエハ１ａの状態を容器に収納したまま検査する半導体ウエハ収納容器の検査装置であって、
検査台４に載置された容器１内の半導体ウエハ１ａに背景光を容器下部から照射する照明器具３と、この背景光により容器内の半導体ウエハの画像を容器外部の上方から捕らえる撮像器具２ａ，２ｂと、得られた画像を処理して半導体ウエハの状態を判断する処理装置１１，１２とを有する半導体ウエハ収納容器の検査装置。

【選択図】 図１

Description

この発明は半導体ウエハを保管したり輸送する場合に使用する半導体ウエハ収納容器に収納された半導体ウエハの状態を容器外部から検査する半導体ウエハ収納容器の検査装置に関する。

集積回路や記憶素子などに使用される半導体ウエハは、シリコン単結晶よりなるインゴットを薄くスライスすることにより製作されており、外力に対して破損しやすい性質を持っている。

この半導体ウエハを保管したり、輸送する場合、保管中や輸送中に破損したり、汚損するのを防止するため、半導体ウエハを容器に収容して取り扱われている。

例えば、特開平１１−３４０３１０号公報（特許文献１）には、このような半導体ウエハの収納容器の一例が示されている。この文献の半導体ウエハの収納容器は、図１１，１２に示すように、透明または半透明のボトムケース２０１、ガスケット２０２、ウエハキャリヤ２０３、クッション部材２０４、透明または半透明なカバー２０５を有する。ボトムケース２０１は透明または半透明の合成樹脂により上面が開口された箱形に成形されていて、開口部２０１ａに、上記ガスケット２０２を収容する凹溝２０１ｂが形成されていると共に、下方へ向けて突設された舌片状の係止片２０１ｃが設けられている。ガスケット２０２は、ボトムケース２０１の凹溝２０１ｂに上方より嵌合自在な角枠状となっていて、ゴムなどの弾性体により成形されている。

ウエハキャリヤ２０３は、左右側板２０３ａと、これら側板２０３ａの一側間を連設する背面板２０３ｂ及び他側のほぼ中央部間を連設する連結杆２０３ｃよりなり、ポリプロピレンなどの合成樹脂により一体成形されており、両側板２０３ａの下部側は収容する半導体ウエハの外周形状に合せて内側へ湾曲されている。

また、上記両側板２０３ａの対向面には、半導体ウエハを収容するための多数のウエハ支持溝２０３ｅが幅方向に等間隔に形成されており、これらウエハ支持溝２０３ｅは連結杆２０３ｃより上側がほぼ垂直に、そして下側は側板３ａの湾曲に沿って半導体ウエハの外周面の曲率と一致するよう湾曲されている。

一方ボトムケース２０１の開口部２０１ａを閉鎖するカバー２０５は透明な樹脂により一体成形されていて、内側上面にクッション部材２０４が嵌合すると共に、カバー２０５の両側には、クランプ部２０５ａが下方へ向けて突設されている。そして、上記ウエハ支持溝２０３ｅに嵌り込むようにして半導体ウエハが収納され保持される。半導体ウエハは、ウエハ支持溝２０３ｅ毎に収納され、個々に離間した状態で保持されるようになっている。

半導体ウエハの収納容器は、上記文献に開示されたもの以外でも、例えば特開２００４−２０７２６０号公報、特開２００４−１５８８０８号公報等種々の文献に開示されている。
このような容器に半導体ウエハが収納され、半導体ウエハの製造拠点から集積回路や記憶素子の製造拠点へと移動されたり、保管されたりする。

しかし、通常半導体ウエハの収納容器に半導体ウエハを収納する作業は人手により行われるため、上記ウエハ支持溝２０３ｅ等の半導体ウエハを収納する位置に半導体ウエハが適正に収納されない場合がある。具体的には、対向するウエハ支持溝２０３ｅに収納されるべき半導体ウエハのエッジの一方が、隣接するウエハ支持溝２０３ｅに入り込んでしまい、斜めに収納されたり、１つのウエハ支持溝２０３ｅに半導体ウエハが複数収納されてしまったり、本来収納されるべきウエハ支持溝２０３ｅに対応する半導体ウエハが収納されないといった欠落が生じることがあった。

通常、容器内に収納されている半導体ウエハは、そのウエハ支持溝２０３ｅ毎に厳格に管理されており、上記のような不具合が生じた容器内の半導体ウエハは、全て不良品として返品扱いとなってしまう。このため、半導体ウエハ製造拠点から発送した集積回路や記憶素子の製造拠点等、半導体ウエハのユーザー側で上記不具合が明らかになると、再度送り返されることとなり、輸送や商品管理の労力を無駄に費やすこととなっていた。特に、製造拠点のグローバル展開が進む現代では、諸外国に半導体ウエハを輸送することも珍しくはなく、輸送に要するコストも高く、上記のような問題は看過できないものであった。

一方、発送前に人手による検査を行うことも考えられるが、わざわざ上蓋を空けて検査しなければならず、半導体ウエハを傷つけたり、汚したりする恐れがある上、人件費による大幅なコスト増招き、検査ミスも完全には無くならないといった問題がある。
特開平１１−３４０３１０号公報

本発明の目的は、発送前に容器内に収納された半導体ウエハの状態を容器外部から蓋を開けることなく簡単に確認でき、安全かつ確実に収納不良を検出できる半導体ウエハ収納容器の検査装置を提供することである。

すなわち上記目的は、以下の本発明の構成により達成される。
（１） 容器内に収納されている半導体ウエハの状態を容器に収納したまま検査する半導体ウエハ収納容器の検査装置であって、
検査台に載置された容器内の半導体ウエハに背景光を容器下部から照射する照明器具と、この背景光により容器内の半導体ウエハの画像を容器外部の上方から捕らえる撮像器具と、得られた画像を処理して半導体ウエハの状態を判断する処理装置とを有する半導体ウエハ収納容器の検査装置。
（２） 前記撮像器具は直立した状態で収納された半導体ウエハの収納面方向から撮像し、かつウエハ中央部から一端方向と他端方向とでそれぞれ別個の撮像器具を用い、それらの画像の状態から半導体ウエハの収納状態を判断する上記（１）の半導体ウエハ収納容器の検査装置。

本発明の半導体ウエハ収納容器の検査装置は、容器に収納された半導体ウエハの状態を、容器の蓋などを開けること無く外部から観察して検査することができるため、半導体ウエハ収納容器を移動する前に迅速確実に半導体ウエハの収納不良を検出することができる。このため、ユーザーが不良品を送り返すと言った無駄がなくなり、製造コストの低減に寄与できる。また、検査に際しては非接触で機械が確実に行うので、半導体ウエハを傷つけたり、汚したりする心配もなく、安全かつ確実に不良品を識別できる。

本発明の半導体ウエハ収納容器の検査装置は、容器内に収納されている半導体ウエハの状態を容器に収納したまま検査する半導体ウエハ収納容器の検査装置であって、検査台に載置された容器内の半導体ウエハの背景光を容器下部から照射する照明器具と、この背景光により容器内の半導体ウエハの画像を容器外部の上方から捕らえる撮像器具と、得られた画像を処理して半導体ウエハの状態を判断する処理装置とを有するものである。前記撮像器具は直立した状態で収納された半導体ウエハの収納面方向から撮像し、かつウエハ中央部から一端方向と他端方向とでそれぞれ別個の装置で撮像し、それらの画像の状態から半導体ウエハの収納状態を判断する。

このように、検査台に載置された容器内の半導体ウエハの背景光を容器上部から照明器具により照射し、この背景光により得られる容器内の半導体ウエハの画像を容器外部上方から撮像器具で捕らえ、得られた画像を解析することで、容器内に収納されている半導体ウエハの状態を容器に収納したまま検査することができる。このため、人手によりわざわざ容器の蓋（上部ケース）を開けたりする必要もなく、簡単かつ確実に発送前に半導体ウエハの収納不良を見つけだすことができる。

また、好ましくは前記撮像器具は直立した状態で収納された半導体ウエハの収納面方向から撮像し、かつウエハ中央部から一端方向と他端方向とでそれぞれ別個の装置で撮像して、それらの画像の状態から半導体ウエハの収納状態を判断する。このように、ウエハ中央部から一端方向と他端方向とでそれぞれ別個の装置で撮像することで、換言すれば容器の中央部を避けるように容器両側部に近い部位で撮像することで、ケース内に収納されている半導体ウエハの状態を、ケースの形状に阻害されることなく、確実に把握することができ、ウエハの傾きなどの不具合も容易に検出できるようになる。

次に、本発明の装置のより具体的な構成を図を参照しつつ説明する。図１は本発明の半導体ウエハ収納容器の検査装置の概略構成を示すブロック図である。図において本発明の装置は、半導体ウエハ１ａが収納されている半導体ウエハ収納容器１を載置する検査台４と、検査台４に載置された半導体ウエハ収納容器１の上方から背景光を照射する照明器具（ＬＥＤ）３と、背景光が照射された半導体ウエハ収納容器１内の半導体ウエハ１ａの画像を上方から撮影する撮像器具２ａ，２ｂを有する。また、これら検査台４、照明器具（ＬＥＤ）３、撮像器具２ａ，２ｂ等を制御し、得られた画像処理による半導体ウエハの状態を判断し処理する処理装置１２を有する。

検査台４は、ローダー側で載置された半導体ウエハ収納容器１を検査ステージに搬送し、さらに検査工程では、半導体ウエハ１枚毎に撮像エリアに移動させ、最後に半導体ウエハ収納容器１をアンローダーに移動して取り出せるようにする。検査台４は、半導体ウエハ収納容器１を直接載置する検査テーブル４ａと、この検査テーブル４ａを所定の距離だけ移動させる移動装置４ｂとを有する。

検査台４ａは、半導体ウエハ収納容器１を載置し、固定するための形状、構造を有し、治具、アタッチメントなどを取り替えたり、移動させたりすることで、種々の半導体ウエハ収納容器１に対応できることが望ましい。

移動装置４ｂは、所定の精度で検査テーブルをローダー側からアンローダー側に移動させる。そして、検査ステージにおいて、半導体ウエハ１枚毎に撮像エリアに移動させ、各半導体ウエハを適正な位置で撮像できるようにする。移動装置４ｂは、容器内の各半導体ウエハを、検査位置で正確に位置決めできるような精度が求められる。移動装置４ｂは、例えばリニアテーブル等、高精度の直線移動機構と、サーボモータ、パルスモータなどの高精度の駆動装置を組み合わせることで構成することができる。移動装置４ｂは、後述する処理装置１２等の主制御装置からの指令により、例えば単軸ロボットコントローラ７等の公知の駆動制御装置により制御される。

照明器具３は、半導体ウエハ収納容器１内に収納されている半導体ウエハを撮像するための背景光を照射する。この背景光は、本装置では半導体ウエハを容器上方より撮像するため、容器下方から照射される。このため、照明器具３は、装置の検査ステージ下部に配置される。また、少なくとも撮像エリアを照射すればよいので、半導体ウエハ１枚分およびその周囲を照光できるような形状とすればよい。具体的には、撮像エリアに対応した位置に、半導体ウエハの投影形状と同じような直線状に発光する形状とすることが望ましい。また、半導体ウエハが丁度撮像エリアに来たときに発光するか輝度を高めるようにしてもよい。このような、照明器具３は、白熱灯、蛍光灯、ＬＥＤ等の半導体光源、ＥＬ等の化学発光部材など公知の照明器具により構成することができるが、ＬＥＤ等の半導体光源を用いることが望ましい。図示例の照明器具３は、ＬＥＤで構成され、画像処理ユニット１１と接続される輝度コントローラ６により駆動される。

撮像器具２ａ，２ｂは、検査ステージの撮像エリアにおいて、背景光により得られる半導体ウエハの画像を捕らえ、画像信号に変換する。本発明の態様では撮像器具２ａ，２ｂは容器の上方より画像を捕らえるので、撮像エリアの上部に配置される。

撮像器具２ａ，２ｂは、半導体ウエハ１枚分を画像として取り込むことができればよく、１つの撮像器具で構成することも可能であるが、容器１の形状によっては凹凸や、半導体ウエハ保持のための形状ないし構造により、半導体ウエハ全体を撮像することが困難な場合がある。このため、半導体ウエハの中央部から一端側と他端側とで撮像エリアを分けて、それぞれのエリアに対応した撮像器具で画像を得ることが望ましい。つまり、２つの撮像器具により、容器中央部を除き容器両端のウエハ保持部材（例えば、上記ウエハ支持溝２０３ｅなど）に保持される半導体ウエハのエッジ近傍付近の画像を捕らえ、２つの画像から収納されている半導体ウエハの状態を識別することが望ましい。また、このように両端部付近で画像を捕らえることで、ウエハの傾きなども検出しやすくなる。なお、撮像領域は、半導体ウエハ収納容器の形状に則して変更することができる。また、撮像器具２ａ，２ｂは、位置調整機構５に取り付けられていて、それぞれの縦方向と横方向の位置を調整することができるようになっている。

撮像器具２ａ，２ｂは、ＣＣＤカメラやこれと同等な半導体撮像装置、電子管などを備え、入力された画像に対応した画像信号を出力することのできる撮像装置により構成することができる。また、半導体ウエハの画像を得る際には、特定の波長を選択することで、より外光の影響を受けにくく、容器材料を透過しやすくなり、良好な画像を得ることができる。具体的には赤色から赤外光の光を選択することが望ましい。波長の選択は、フィルターを用いることで容易に行うことができる。この場合、照明器具もそのような波長に則した発光を行えるものを選択することが望ましい。撮像器具２ａ，２ｂの出力信号は、画像処理ユニット１１に入力され、所定の画像処理がなされた後、後述するような手法で半導体ウエハの収納状態が判断され、判定が行われる。そして、そのデータが処理装置１２に入力されて、さらに必要な処理が行われる。

画像処理ユニット１１は、撮像器具２ａ，２ｂからの画像データを公知の画像処理手法により処理し、半導体ウエハの収納状態を判定できる画像処理データを作成する。画像処理ユニット１１は、専用電源１７からＤＣ電源を供給されると共に、シッパーを検出するための光センサー８ａとトリガー用の光センサー８ｂと接続され、丁度撮像領域に目的とする半導体ウエハ１ａが来たときに画像処理を行えるようになっている。また、照度コントローラ６とも接続されていて、画像処理に最適な背光照度となるように調整することができるようになっている。

処理装置１２は、検査台４、照明器具（ＬＥＤ）３、撮像器具２ａ，２ｂと接続するためのインターフェースを備え、これらを制御したり、画像処理ユニット１１からの画像処理データにより半導体ウエハの状態を判断し、その結果を処理したりする。すなわち、画像処理ユニット１１とは、ＬＡＮ２ポート１２ｄにより接続され、互いにデータの授受を行えるようになっている。画像処理ユニット１１からＬＡＮ２ポート１２ｄを介して得られた画像処理データは、画像処理：検査部１２ａにより、所定の処理が行われ、容器内の半導体ウエハの状態が判断される。

また、単軸ロボットコントローラ７とはシリアルポート１２ｅを介して接続され、メカ制御部１２ｂにより移動装置４ｂの移動、停止、復帰等の制御を行える様になっている。さらに、ＬＡＮ１ポート１２ｃを介してより上位のホストコンピュータとも接続できるようになっていて、本発明装置を複数稼働させたり、他の装置との連動も可能なようになっている。なお、これらＬＡＮ１ポート１２ｃ、ＬＡＮ２ポート１２ｄ、シリアルポート１２ｅ等の通信手段は、それぞれ公知の他の無線または有線の通信手段で置き換えることも可能である。

処理装置１２は、通常パソコンなど、プロセッサを備えたコンピュータシステムにより構成することができる。また、画像処理：検査部１２ａやメカ制御部１２ｂは、このプロセッサにより実行されるソフトウエアで構成することができ、さらにシステムを制御するためのＯＳなど、必要なソフトウエアも備えている。

処理装置１２は、ＲＧＢ切替部１６を介してモニター部１３と接続され、検査結果、処理データ、制御データ等、必要なデータを表示することができる。この、ＲＧＢ切替部１６は、画像処理ユニット１１とも接続されていて、画像処理ユニット１１からの画像処理のデータをモニター部１３に表示させることもできるようになっている。モニター部１３は、ＬＣＤパネル等のフラットパネルディスプレイで構成することができるが、場合によってはＣＲＴ等の公知のディスプレイを用いてもよい。

さらに、処理装置１２にはキーボード１４、マウス１５等のデータ入力機器が接続されていて、必要なデータを入力することができる。また、シリアルポート１２ｅを介してバーコードリーダー９とも接続され、半導体ウエハ収納容器１に付されたバーコードを読みとることもできるようになっている。このバーコードは、半導体ウエハ収納容器１の管理を行う為に用いられているものであり、半導体ウエハ収納容器１を管理する上で必要な情報、例えば送り先、収納されている半導体ウエハの枚数、容器内の収納状態、収納されている半導体ウエハのデータ等と対応する。

これらの管理データは、通常特定の管理テーブルとして、複数の半導体ウエハ収納容器１を管理できるようになっている。そして、バーコードは、この管理テーブル内の特定の半導体ウエハ収納容器のデータを特定するために用いられる。なお、この例ではバーコードを用いたが、他のコードシステムを用いてもよいし、ＩＣタグ等の管理情報システムを用いてもよい。

本発明装置の主電源制御回路１８は、ブレーカー２２を介してＡＣ電源２３と接続属され、さらに装置にＤＣ電源を供給するＤＣ電源２４、ブレーカー２５を介して処理装置１２の電源部１２ｆ、およびブレーカー２６を介して装置内のＡＣ電源入力に接続されている。この主電源制御回路にはＯＮスイッチ１０，ＯＦＦスイッチ２１が接続されていて、装置のＯＮ／ＯＦＦ操作を行えると共に、非常停止スイッチ１９が接続され、緊急停止操作も行えるようになっている。

次に、半導体ウエハの収納状態を判定するための具体的な手法について説明する。
先ず、撮像器具２ａ，２ｂで撮影された画像データは、画像処理ユニット１１に入力され、半導体ウエハ１ａとそれ以外の部分（背景など）とが区別され、半導体ウエハの画像処理データが作成される。このとき、フィルター等を用いることで、半導体ウエハのエッジを明確にすることができ、より正確な画像処理データを得ることができる。

得られた画像処理データは、処理装置１２の画像処理：検査部１２ａにより、図２に示すようなウエハエッジＥｗの検出のための検出線ＤＬの検出処理が行われる。そして、この検出線が検出された場合には、ウエハが存在し、検出できないときにはウエハが存在しないと判断される。

さらに、画像内で直線が検出された場合には、図３に示すようにその角度θ１が測定される。そして、θ１が所定の値以下であれば正常挿入、所定の値以上となったときに、斜め挿入と判断される。

さらに、画像内で直線が検出された場合には、図４に示すようにその厚み（幅）ｔ１が測定される。そして、厚みｔ１が所定の値以下であれば正常挿入、それ値以上であれば複数枚（２枚等）が挿入されていると判断される。

以上の様にして、容器内に収納されている半導体ウエハの状態が判断される。なお、上記態様は半導体ウエハの状態を判断するための手法を例示したものにすぎず、必要により種々の処理、操作を行うことができる。また、容器の形状などに応じて検出エリアを変えたり、２つの撮像器具２ａ，２ｂのうち一方のみを用いたり、２つの結果から総合的に判断したり、一方のみの検出位置を変更したりして判断することもできる。具体的には、図５に示すように、２つの撮像器具２ａ，２ｂの検出領域Ｄａにおいて、ウエハｗ１，ｗ２は正常に挿入されているため一方のみでも検出することができるが、ウエハｗｎは斜めになっていてしかも一方の検出角度θ１が小さいときには、両方のデータから総合的に判断される。

次に本発明のより具体的な実施例について、説明する。
図６〜図１０は、本発明の実施例である半導体ウエハ容器の検査装置の具体例を示したもので、図６は正面図、図７は側面図、図８は平面図、図９は断面Ｂ−Ｂ矢視図、図１０は断面Ａ−Ａ矢視図である。

各図において、本発明の検査装置は、筐体１００と、この筐体１００上部に直立した支持柱１１１ａ，１１１ｂに支持された上部撮影室とを有する。筐体１００内部には、処理装置１２であるパソコンと、主電源制御回路１８、図示しない単軸ロボットコントローラ７，および画像処理ユニット１１等が格納されている。

上部撮影室１１０には、位置調整機構５に保持された撮像器具であるＣＣＤカメラ４ａ、４ｂが上記支持柱１１１ａ，１１１ｂに取り付けられている。位置調整機構５は、所謂手動式のＸＹテーブルであり、Ｘ軸調整ノブ５ｘおよびＹ軸調整ノブ５ｙを回転させることで、ＣＣＤカメラ４ａ、４ｂの位置を上下左右に調整することができる。

筐体１００の天板１３０上には、検査台４の検査テーブル４ａがあり、この検査台４は、中板１３１に支持される移動装置である１軸テーブル４ｂにより駆動される。検査テーブル４ａには、治具４１が植設されていて、この治具４１により容器１が保持されると共に、治具４１の取り付け位置を変更することで、形状の異なる容器１にも対応できるようになっている。

筐体１００前部にはパソコン１２に接続されるキーボード１４が配置されると共に、前記支持柱１１１ａにはＬＣＤディスプレイが取り付けられて、これらにより本装置を運転制御できるようになっている。また、筐体１００下部には、装置を移動するために必要なキャスター１２２と、固定するための足１２１が備え付けられている。

測定に際しては、正面図左端のローダー位置に検査テーブル４ａがある時に半導体ウエハ収納容器１を載置すると１軸テーブル４ｂにより駆動され、上部撮影室１１０下部に搬送される。上部撮影室１１０下部では、容器１内の各半導体ウエハ１ａ毎に撮像作業が行われ、画像処理ユニット１１により画像処理が行われたデータがパソコン１２に入力されて、収納状態が判断される。得られたデータはさらにパソコンで処理され、各容器１毎の検査データテーブルが作成される。得られた検査データテーブルは、予め読み込まれている収納容器１毎の半導体ウエハデータテーブルからバーコードにより取り出された各容器のデータと照合され、比較され、その結果が出力、保存される。

ＬＣＤディスプレイ１３にはこのような検査結果や、データテーブルの内容、画像処理の状態、画像処理に必要な各種設定などの種々のデータを表示して必要な処理操作を行うことができるようになっている。

測定が終了した容器１は、さらに正面図右端のアンローダーにまで搬送され、取り出される。その後、検査テーブル４ａは、次の容器を測定するために、ローダー位置にまで復帰する。

以上のようにして、容器１の蓋を開けることなく非接触で収納されている半導体ウエハの状態を自動的に検査することができる。

本発明装置の基本構成を示すブロック図である。 本発明装置の画像処理の手法の一例を示す概略図である。 本発明装置の画像処理の手法の一例を示す概略図である。 本発明装置の画像処理の手法の一例を示す概略図である。 本発明装置の画像処理の手法の一例を示す概略図である。 本発明装置の具体的構成例を示す正面図である。 本発明装置の具体的構成例を示す左側面図である。 本発明装置の具体的構成例を示す平面図である。 本発明装置の具体的構成例を示すＢ−Ｂ断面矢視図である。 本発明装置の具体的構成例を示すＡ−Ａ断面矢視図である。 半導体ウエハの収納容器の一例を示す分解斜視図である。 半導体ウエハの収納容器の一例を示す断面図である。

符号の説明

１ 半導体ウエハ収納容器
１ａ 半導体ウエハ
２ａ，２ｂ 撮像器具
３ 照明器具
４ 検査台
５ 位置調整機構
６ 輝度コントローラ
７ 単軸ロボットコントローラ
８ａ，８ｂ センサー
９ バーコードリーダー
１１ 画像処理ユニット
１２ 処理装置
１３ モニター部
１４ キーボード
１５ マウス

Claims (2)

1. 容器内に収納されている半導体ウエハの状態を容器に収納したまま検査する半導体ウエハ収納容器の検査装置であって、
   検査台に載置された容器内の半導体ウエハに背景光を容器下部から照射する照明器具と、この背景光により容器内の半導体ウエハの画像を容器外部の上方から捕らえる撮像器具と、得られた画像を処理して半導体ウエハの状態を判断する処理装置とを有する半導体ウエハ収納容器の検査装置。
2. 前記撮像器具は直立した状態で収納された半導体ウエハの収納面方向から撮像し、かつウエハ中央部から一端方向と他端方向とでそれぞれ別個の撮像器具を用い、それらの画像の状態から半導体ウエハの収納状態を判断する請求項１の半導体ウエハ収納容器の検査装置。

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