TWI581353B

TWI581353B - 基板收納狀態檢查裝置及具有該裝置之基板收納設備

Info

Publication number: TWI581353B
Application number: TW102115276A
Authority: TW
Inventors: 安部健史; 藤原浩二
Original assignee: 大福股份有限公司
Priority date: 2012-05-07
Filing date: 2013-04-29
Publication date: 2017-05-01
Also published as: CN103390571A; US9142013B2; CN103390571B; JP2013235892A; JP5880265B2; TW201403732A; KR20130124890A; KR102061181B1; US20130314531A1

Description

基板收納狀態檢查裝置及具有該裝置之基板收納設備

發明領域

本發明係有關於一種基板收納狀態檢查裝置、及具有該裝置之基板收納設備，該基板收納狀態檢查裝置把如下述之搬送容器作為檢查對象：前述搬送容器在收納形成為圓板狀之半導體基板的收納空間，以在上下方向上為分開的狀態排列設置有複數段的支持半導體基板之外周部的支持體，並且，前述搬送容器設有可在收納空間與外部之間將半導體基板取出置入的開口部。

發明背景

日本發明公開公報特開2005-64515號公報(專利文獻1)中，揭示了如上述般的基板收納狀態檢查裝置之一例。在專利文獻1的構成中，以拍攝裝置拍攝收納於搬送容器內部的半導體基板，根據拍攝出的圖像來算出半導體基板相對於水平方向的傾斜角度，來判別半導體基板是否是以在左右方向上呈傾斜態勢的狀態下被收納等等的異常收納狀態。

專利文獻1之基板收納狀態檢查裝置必須對複數之半導體基板全部進行如下的煩雜的分析：從拍攝出的半導體基板的圖像，將半導體基板之外周部中排列於圓周方向的複數處的邊緣抽出，求出各半導體基板之連結複數邊緣的直線，再從該直線相對於水平方向的傾斜角度求出半導體基板的傾斜度。因此，判別在搬送容器內半導體基板是否為異常收納狀態的構成會變得很複雜。

發明概要

有鑑於上述背景，宜實現一種基板收納狀態檢查裝置、及具有該基板收納狀態檢查裝置之基板收納設備，可以簡單的構成，來判別在搬送容器內半導體基板是否為異常收納狀態。

本發明之基板收納狀態檢查裝置，把如下述之搬送容器作為檢查對象：前述搬送容器在收納形成為圓板狀之半導體基板的收納空間，以在上下方向上為分開的狀態排列設置有複數段的支持前述半導體基板之外周部的支持體，並且，前述搬送容器設有可在前述收納空間與外部之間將前述半導體基板取出置入的開口部，且前述基板收納狀態檢查裝置具備有：照明裝置，透過前述開口部，把光照射在位於檢查用位置之前述搬送容器中所收納的前述半導體基板；拍攝裝置，拍攝被前述照明裝置照射光的前述半導體基板；基板收納狀態判別部，根據以前述拍攝裝置所拍攝出的圖像，來執行判別前述半導體基板之收納態勢是否正常的基板收納狀態判別處理，又，前述基板收納狀態檢查裝置係構成為：前述照明裝置具備有第一照明部與第二照明部，該等第一照明部與第二照明部在位於前述檢查用位置的前述搬送容器之開口部前面側，在與前述開口部之上下方向直交的寬度方向上分開設置，前述基板收納狀態判別部執行亮點檢測處理，在藉由前述拍攝裝置所拍攝出的檢查對象圖像中，把藉由前述第一照明部及前述第二照明部照射的光而在前述半導體基板周緣部中之圓周方向上分開之處產生的一對高亮度部分進行檢測，並且，執行態勢判別處理，根據藉由前述亮點檢測處理於前述檢查對象圖像上所檢測的前述一對高亮度部分的上下方向之位置對應關係，來判別前述半導體基板之收納態勢是否為異常。

亦即，藉由在位於檢查用位置的搬送容器之開口部前面側、在該開口部之寬度方向(開口寬度方向)上分開設置的第一照明部與第二照明部，把光照射於收納在搬送容器的半導體基板。因此，當半導體基板被收納在收納空間內時，在以拍攝裝置所拍攝出的檢查對象圖像上，在半導體基板周緣部中之圓周方向上分開之處會產生一對高亮度部分。

然後，若半導體基板被構成同一段的單個或複數支持體(例如，在上下方向為相同高度的一對支持體)所支持，也就是若為適當的收納狀態，則在檢查對象圖像上，在與該支持體對應的上下方向的位置，會產生一對高亮度部分。另一方面，當半導體基板為傾斜態勢等等、半導體基板沒有被支持體適當地支持住時，一對高亮度部分中之一者不會在與該支持體對應的上下方向的位置產生。

所以，當半導體基板被支持體適當地支持住時，於檢查對象圖像上所檢測出的一對高亮度部分各自在上下方向上的位置會彼此相同，而當半導體基板沒有被支持體適當地支持住時，該等一對高亮度部分各自在上下方向上的位置則會互異。

因此，調查在與檢查對象圖像上所檢測出的高亮度部分為相同高度、且與該高亮度部分在開口寬度方向上不同的位置上，是否有產生其他高亮度部分，藉此，可判別收納態勢的適當與否。如此，將在檢查對象圖像上所檢測出的在開口寬度方向上分開的一對高亮度部分之上下方向的位置進行比較，藉由這樣簡單的方法，可判別半導體基板是否在收納空間內以適當的收納態勢被收納著。

所以，根據上述構成，可得到一種基板收納狀態檢查裝置，可藉由簡單的構成，來判別在搬送容器內半導體基板是否為異常的收納狀態。

以下，說明本發明的適宜的實施形態之例。

在本發明之基板收納狀態檢查裝置之實施形態中，前述第一照明部及前述第二照明部中之各照明部，宜構成為具備有在上下方向上構成為長條狀的光源。

亦即，對於在收納空間之上下方向上具備有複數段之支持體所支持的所有半導體基板，可盡量以均一的條件，透過開口部來照射光。因此，在藉由拍攝裝置所拍攝出的檢查對象圖像上，在由上下方向上任何位置之支持體所支持的半導體基板中，皆可適當地產生高亮度部分。

所以，無論收納空間內的上下方向的位置為何，皆可適當地進行檢測出產生於半導體基板的高亮度部分。

在本發明之基板收納狀態檢查裝置之實施形態中，前述拍攝裝置宜以1台拍攝用攝影機所構成。

亦即，當拍攝在開口寬度方向上分開的一對高亮度部分之際，是以1台拍攝用攝影機來構成拍攝裝置，所以比起例如對於一對高亮度部分之各部分，各別具備拍攝裝置的構成，可使機器構成簡單化。

另外，此時，若事先將1台拍攝用攝影機的視野，設定為可將收納空間中於上下方向複數收納的半導體基板之各一對高亮度部分的全部都拍攝到的區域，則可以1次的拍攝來得到檢查用圖像。

在本發明之基板收納狀態檢查裝置之實施形態中，其中宜設有顯示裝置，來顯示前述基板收納狀態判別部的判別結果，

前述基板收納狀態判別部係構成為：當判別為在如後述之對應部分不存在有其他高亮度部分時，將該對應部分判別為前述半導體基板不存在的異常部分，而執行異常顯示處理，且前述對應部分是被設定在與藉由前述亮點檢測處理於前述檢查對象圖像上所檢測出之高亮度部分相對應的高度上、且與該高亮度部分在前述寬度方向上為不同位置的部分，又，前述異常顯示處理是如下之處理：把表示前述高亮度部分之高亮度符號、及表示前述異常部分之異常符號，與前述檢查對象圖像中之前述高亮度部分及前述異常部分的相對位置關係相對應而顯示於前述顯示裝置。

亦即，當在與開口寬度方向之一側所檢測到的高亮度部分相對應的高度上，不存在有開口寬度方向上另一側的高亮度部分時，將表示高亮度部分不存在之部分的異常符號，顯示於顯示裝置，所以使用者藉由顯示於顯示裝置的符號，可容易知道半導體基板之收納態勢產生異常、以及該收納態勢異常是在收納空間的哪個位置產生的。

所以，知道了半導體基板收納態勢產生異常的使用者，可進行用以將搬送容器內的半導體基板搬送態勢調正，使半導體基板的收納態勢為正確的對應處置。

如此，根據上述構成，可提供一種對使用者而言方便使用的基板收納狀態檢查裝置。

在本發明之基板收納狀態檢查裝置之實施形態中，前述檢查用位置宜設定於搬送前述搬送容器的搬送路徑上，前述第一照明部及前述第二照明部宜設置於在前述搬送路徑中前述搬送容器之移動範圍在前述寬度方向上的兩側部、並且不與前述移動範圍重複的位置，而前述拍攝裝置是設置於前述搬送路徑的上方、並且不與前述移動範圍重複的位置。

亦即，由於在將搬送容器進行搬送的搬送路徑上設置檢查用位置，而在該檢查用位置，拍攝收納於搬送容器的半導體基板，所以當為了進行處理而將搬送容器搬送時，可在其搬送途中，將應取得檢查對象圖像的收納空間內之半導體基板進行拍攝。並且，由於照明裝置及拍攝裝置是設在不與移動於搬送路徑的搬送容器之移動範圍重複的位置，所以照明裝置及拍攝裝置不會干擾移動的搬送容器。

因此，例如，使照明裝置或拍攝裝置，在每次拍攝時，移動至與搬送容器之移動範圍重複的搬送容器前面，而當拍攝終了時，則退避至不與搬送容器之移動範圍重複之處，比起如上述般的構成，可無須設置用以使照明裝置或拍攝裝置移動的構成，因此構成變為簡單。此外，由於無須移動照明裝置或拍攝裝置，在使搬送容器位於檢查用位置後，可迅速地拍攝半導體基板。

本發明之基板收納設備，是具有如上述各構成之基板收納狀態檢查裝置的基板收納設備，具備有以下：具備有複數個用以收納前述搬送容器之收納部的容器收納架；在此，前述基板收納狀態檢查裝置設置於前述容器收納架的入庫口、或者設置於可朝向前述入庫口搬送前述搬送容器的搬送裝置。

亦即，由於基板收納狀態檢查裝置是設在容器收納架的入庫口、或者設在朝向入庫口將搬送容器進行搬送的搬送裝置，所以當收納於搬送容器的半導體基板收納態勢有異常時，使用者可在用於保管至容器收納架的入庫之時，得知半導體基板之收納態勢有異常。

因此，使用者可有效地利用將搬送容器進行保管的時間，而可進行用以半導體基板收納態勢之異常調正的對應處置。

1‧‧‧輸送機

1P‧‧‧檢查用載置台

1Q‧‧‧貯藏庫內載置台

3‧‧‧貯藏庫

4‧‧‧庫內移載裝置

5‧‧‧水泥地板

6‧‧‧柵板

7‧‧‧庫內升降導件

8‧‧‧升降體

9‧‧‧迴旋台

10‧‧‧連桿機構

11‧‧‧庫內移載用載置台

19‧‧‧入庫口

20‧‧‧載置台

22‧‧‧輸送機框

23‧‧‧行進體

50h‧‧‧水平支持體

50v‧‧‧垂直支持體

51‧‧‧拍攝用攝影機

60h‧‧‧水平支持體

60v‧‧‧垂直支持體

61‧‧‧照明裝置

62‧‧‧照明部

C‧‧‧搬送容器

Co‧‧‧開口部

Cs‧‧‧支持體

D‧‧‧顯示裝置

E‧‧‧綜合判定結果顯示

H‧‧‧判別用控制裝置

H1‧‧‧拍攝控制器

H2‧‧‧基板收納狀態判別部

Hv‧‧‧搬送控制裝置

K‧‧‧移動範圍

P‧‧‧作業者用移載處

Q‧‧‧貯藏庫內移載處

S‧‧‧收納空間

W‧‧‧晶圓(半導體基板)

#1~#5‧‧‧步驟

Y1‧‧‧高亮度符號

Y2‧‧‧異常符號

圖1是顯示具有基板收納狀態檢查裝置之基板收納設備的重要部分的圖，圖2是說明將基板收納狀態檢查裝置具備於搬送裝置之構成的圖，圖3是搬送容器的正面圖，圖4是顯示位於檢查用位置的搬送容器、與照明裝置及拍攝用攝影機之間的位置關係的圖，圖5是顯示位於檢查用位置的搬送容器、與照明裝置及拍攝用攝影機之間的位置關係的圖，圖6是控制方塊圖，圖7是態勢判別處理的流程圖，圖8是顯示異常顯示處理時之顯示內容的圖。

用以實施發明之形態

根據圖示，說明本發明之具有基板收納狀態檢查裝置之基板收納設備的實施形態。

如圖1所示，基板收納設備具備有：貯藏庫3、以及將半導體基板收納用之搬送容器C朝向該貯藏庫3之入庫口19搬送、作為搬送裝置的輸送機1。貯藏庫3於其內部具有容器收納架，該容器收納架具有複數個收納搬送容器C的收納部(未圖示)。輸送機1跨在貯藏庫3的內部與外部之間，將搬送容器C搬入及搬出。

在輸送機1中與貯藏庫3為相反側的端部側處是作業者用移載處P，在該作業者用移載處P進行：把從貯藏庫3搬出的搬送容器C在貯藏庫3外部卸下的卸貨移載、或者是把要搬入貯藏庫3的搬送容器C在貯藏庫3外部取起的取貨移載。又，輸送機1位於貯藏庫3內部的端部側處(貯藏庫3側的端部側處)是貯藏庫內移載處Q，在該貯藏庫內移載處Q進行：把要從貯藏庫3搬出的搬送容器C在貯藏庫3內部取起的取貨移載、或者是把搬入貯藏庫3的搬送容器C在貯藏庫3內部卸下的卸貨移載。並且，作業者在作業者用移載處P附近，以站著的姿勢進行如下的移載作業：收取位於輸送機1之作業者用移載處P的搬送容器C，或是將搬送容器C供給至輸送機1之作業者用移載處P。

貯藏庫3及輸送機1是設置在具有空氣淨化裝置的無塵室內。在無塵室的地板側，以與水泥地板5朝上方隔著間隔的狀態設有多孔狀的柵板6，在無塵室的天花板側則與天花板朝下方隔著間隔地設有由HEPA過濾器等所構成的空氣過濾器(未圖示)。空氣淨化裝置具有：形成於柵板6下方側的吸氣室、形成於空氣過濾器上方側的腔室、以及連通吸氣室及腔室的循環路徑，在循環路徑，具有通風扇及預濾器。並且，藉由使空氣淨化裝置之通風扇作動，從天花板側至地板側形成清淨空氣的下降流。

在貯藏庫3的內部，設置有升降式的庫內移載裝置4。庫內移載裝置4具有：沿著直立設置於柵板6的庫內升降導件7自由升降的升降體8、以及透過迴旋台9及連桿機構10安裝於該升降體8的庫內移載用載置台11。

在貯藏庫3的內部，設有載置支持搬送容器C的複數收納台(未圖示)，在各收納台的上部空間，形成有收納搬送容器C的收納部。收納部係朝上下方向呈多段、且以平面視角看來如包圍住庫內移載裝置4般地配列成放射狀。

並且，藉由組合升降體8的升降作動、迴旋台9的迴旋作動、及連桿機構10的伸縮作動，來移動庫內移載用載置台11的位置，並且變更庫內移載用載置台11的平面視角態勢，而進行搬出用持入作業或搬入用持出作業。在此，搬出用持入作業是如下述之作業：把在由收納台載置支持之狀態下收納於收納部的搬送容器C取起，將該搬送容器C載置支持於設在輸送機1之貯藏庫內移載處Q的貯藏庫內載置台1Q。又，搬入用持出作業是如下述之作業：把載置支持於貯藏庫內載置台1Q的搬送容器C取起，將該搬送容器C載置支持於空狀態的收納部中之收納台。

又，如圖6所示，設置有控制輸送機1及庫內移載裝置4之作動的搬送控制裝置Hv。

輸送機1係設置於從柵板6朝上方到配合作業者腰部高度的設定高度處，且構成為：以沿著水平方向之搬送面來回移動的載置台20，將作為搬送對象之搬送容器C在作業者用移載處P及貯藏庫內移載處Q之間載置搬送。

載置台20係具備於行進體23的上端，該行進體23在構成輸送機1的輸送機框22內部沿著其長方向行進。雖未圖示，但行進體23係構成為：在其下端具有行進車輪，可在作業者用移載處P與貯藏庫內移載處Q之間自由行進移動。

並且，在作業者用移載處P或貯藏庫內移載處Q，使載置台20升降於使其上面與搬送面一致的搬送用上升位置、以及較該搬送用上升位置位於下方的移載用下降位置，藉此，在作業者用移載處P，將搬送容器C移載於載置台20與檢查用載置台1P之間，或在貯藏庫內移載處Q，將搬送容器C移載於載置台20與貯藏庫內載置台1Q之間。另外，上述搬送面是位於較輸送機框22之上面更上方的假想面。

如圖1及圖2所示，在輸送機1的作業者用移載處P，檢查用載置台1P係安裝固定於輸送機框22的上面板。檢查用載置台1P係設置成：以使搬送容器C前面的開口部Co與貯藏庫3相對向的狀態，並且，以使開口部Co之開口方向(亦即，基板的取出置入方向)從水平面朝上方傾斜設定角度(在本例中為5度)的狀態，來支持搬送容器C。又，在輸送機1的貯藏庫內移載處Q，貯藏庫內載置台1Q係安裝固定於輸送機框22的上面板。貯藏庫內載置台1Q也與檢查用載置台1P一樣，將搬送容器C支持成使搬送容器C之開口部Co的開口方向為從水平面朝向上方傾斜5度的狀態，而安裝固定於輸送機框22的上面板。

〔搬送容器的構成〕

搬送容器C如圖3所示，具有將形成為圓板狀的晶圓W(半導體基板)收納的收納空間S。在收納空間S，支持晶圓W外周部的支持體Cs(在本例中為一對支持體Cs)係以在上下方向上為分開狀態地排列設有複數段。在搬送容器C的前面側，設有在收納空間S與外部之間將晶圓W取出置入的開口部Co。另外，關於搬送容器C的上下方向，是收納空間S內之晶圓W的積層方向(圖3中之上下方向)。

另外，搬送容器C是依照SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International：國際半導體設備材料產業協會)規格的合成樹脂製之氣密容器，例如稱為FOSB或FOUP者。在該等FOSB或FOUP，通常設有用以將開口部Co閉塞的前面蓋，但在本實施形態中，係以在如上述之無塵室內部進行使用為前提，不以前面蓋閉塞住開口部Co而來進行使用。

搬送容器C在被收納於貯藏庫3之前，也就是，在將搬送容器C朝向貯藏庫3之入庫口19搬送的輸送機1之作業者用移載處P，執行關於該搬送容器C在收納空間S中晶圓W的收納態勢是否正常的檢查。亦即，在本實施形態中，作業者用移載處P相當於本發明的「檢查用位置」。因此，檢查用位置係設定於將搬送容器C進行搬送的搬送路徑上。

〔基板收納狀態檢查裝置〕

對於進行晶圓W之收納態勢是否正常之檢查的基板收納狀態檢查裝置進行說明。

基板收納狀態檢查裝置如圖1、圖2、圖4、及圖5所示，具有：照明裝置61，透過搬送容器C的開口部Co，把光照射於位在作業者用移載處P的搬送容器C所收納的晶圓W；及作為拍攝裝置的拍攝用攝影機51，拍攝以照明裝置61照射了光的收納空間S內之晶圓W。

照明裝置61在搬送容器C的開口部Co之寬度方向上分開地具有一對照明部62，該等照明部62係配置成使複數之紅外線LED在上下方向上排列成長條狀。在此，開口部Co之寬度方向(開口寬度方向)，是與上下方向、以及開口部Co之開口方向雙方直交的方向(圖3中之左右方向、圖4中之上下方向)。一對照明部62中之一者相當於本發明之「第一照明部」，另一者則相當於本發明之「第二照明部」。

一對照明部62之各者在本實施形態中，係藉由垂直支持體60v及水平支持體60h，而固定支持於輸送機框22，該等垂直支持體60v是在檢查用載置台1P中從與輸送機1之長方向直交的寬度方向兩側的側部分別朝垂直方向直立設置，而該等水平支持體60h則是從垂直支持體60v中之上下方向上分開的2處朝水平方向延伸出。

亦即，照明裝置61具有朝上下方向構成為長條狀的光源。並且，照明裝置61在位於作業者用移載處P的搬送容器C之開口部Co前面側，具有在開口寬度方向(左右方向)上分開設置的一對照明部62。

又，一對照明部62中之各照明部，如圖4所示，設置於如下之位置：在搬送路徑中搬送容器C之移動範圍K在開口寬度方向上的兩側部、並且不與該移動範圍K重複的位置。

拍攝用攝影機51係藉由垂直支持體50v、水平支持體50h及支持托架50b，而固定支持於輸送機框22，該垂直支持體50v是從與輸送機1之長方向直交的寬度方向上單側的側部朝垂直方向直立設置，而該水平支持體50h是從垂直支持體50v的上端部朝水平方向延伸出，該支持托架50b則是安裝於水平支持體50h。另外，支持托架50b將拍攝用攝影機51，支持在平面視角看來與輸送機1重複的位置、且在與輸送機1之長方向直交的寬度方向上的中央部。拍攝用攝影機51可拍攝以上述紅外線LED所照射之紅外線所成的像，其視野被設定為可拍攝收納於搬送容器C之收納空間S的全部晶圓W的範圍。

亦即，一對照明部62如圖4所示，被設置在搬送路徑中搬送容器C之移動範圍在開口寬度方向上的兩側部、且不與移動範圍K重複的位置，而拍攝用攝影機51則如圖5所示，被設置在搬送路徑的上方、且不與移動範圍K重複的位置。

基板收納狀態檢查裝置如圖6所示，具有判別用控制裝置H，而該判別用控制裝置H則構成為具有拍攝控制器H1與基板收納狀態判別部H2。判別用控制裝置H例如以具有記憶裝置與演算處理裝置的電腦所構成，而構成拍攝控制器H1之程式程序與構成基板收納狀態判別部H2的程式程序，係由該電腦的演算處理裝置來執行。

又，於判別用控制裝置H，透過控制用介面或資料接收發送用介面而連接有拍攝用攝影機51及照明裝置61。拍攝控制器H1係構成為：在與拍攝用攝影機51之間可自由地指示拍攝指令、以及接收拍攝資料，更可與拍攝指令同步而自由地對照明裝置61下達作動指令(對LED的通電指令)。

並且，拍攝控制器H1進行拍攝處理：對於照明裝置61下達作動指令，並且對於拍攝用攝影機51下達拍攝指令，將由拍攝用攝影機51所拍攝之圖像作為檢查對象圖像而交給基板收納狀態判別部H2。

雖未圖示，但在檢查用載置台1P具有用以檢測已載置有搬送容器C一事的載置檢測感測器，判別用控制裝置H當載置檢測感測器檢測到在檢查用載置台1P載置有搬送容器C，則執行上述拍攝處理。

基板收納狀態判別部H2根據以拍攝用攝影機51所拍攝到的圖像，來判別晶圓W在收納空間S中的收納態勢是否正常。

在判別用控制裝置H，具備有可輸出圖像的顯示裝置D來作為輸出介面，顯示裝置D係構成為可將判別用控制裝置H之處理結果進行顯示。又，在判別用控制裝置H，具有指向裝置(滑鼠等)與文字輸入裝置(鍵盤等)來作為輸入介面。

根據圖7之流程圖來說明基板收納狀態判別部H2執行的處理。

基板收納狀態判別部H2執行亮點檢測處理(步驟# 1)：在上述拍攝處理藉由拍攝用攝影機51所拍攝出之檢查對象圖像中，把藉由照明裝置61(在本例中為一對照明部62)照射的光，在晶圓W之周緣部中在圓周方向上分開之處產生的一對或複數對的高亮度部分進行檢測。另外，當在收納空間S收納有一片晶圓W時，係檢測一對高亮度部分，而當在收納空間S收納有複數片晶圓W時，則檢測複數對的高亮度部分。

亮點檢測處理是如下之處理：在檢查對象圖像上檢測被一對照明部62的光照射而產生的、在晶圓W之開口寬度方向上分開的亮點的處理。

接著，執行態勢判定處理(步驟# 2)：關於藉由亮點檢測處理在檢查對象圖像上所檢測之在開口寬度方向上分開的高亮度部分，判別是在高度與開口寬度方向之一側所檢測到的高亮度部分相對應的另一側存在有高亮度部分的正常狀態、或者是該另一側之高亮度部分不存在的異常狀態，藉此，來判別半導體基板的收納態勢是否為異常。亦即，在態勢判定處理中，當判別為另一高亮度部分不存在於對應部分時，判定為異常狀態，而前述對應部分是：設定於與藉由亮點檢測處理在檢查對象圖像上檢測到的高亮度部分相對應的高度、且與該高亮度部分在開口寬度方向上為不同位置的部分。

當在步驟# 2判別為異常狀態時(步驟# 2：是)，基板收納狀態判別部H2將高亮度部分不存在的部分(上述的對應部分)判別為晶圓W不存在的異常部分，執行異常顯示處理(步驟# 5)。此異常顯示處理如圖8所示，是將顯示高亮度部分的高亮度符號Y1、及顯示異常部分的異常符號Y2，與檢查對象圖像中高亮度部分及異常部分之相對位置關係相對應而顯示於顯示裝置D的處理。在圖8所示之例中，在異常顯示處理中，如圖8的顯示區域右上所示，將綜合判定結果顯示E顯示為「NG」。

另外，在執行異常顯示處理時，基板收納狀態判別部H2對搬送控制裝置Hv下達搬送停止指令。

又，當在步驟# 2判別為正常狀態時(步驟# 2：否)，基板收納狀態判別部H2執行正常顯示處理(步驟# 3)：在顯示裝置D顯示檢查對象圖像，並以重疊於該檢查對象圖像的狀態，僅將表示高亮度部分的高亮度符號Y1之存在位置進行顯示。關於正常顯示處理雖省略圖示，但表示為正常狀態的綜合判定結果顯示E係顯示為「OK」。

又，在正常顯示處理(步驟# 3)之後，基板收納狀態判別部H2對搬送控制裝置Hv下達搬送指令。藉此，輸送機1及庫內移載裝置4進行作動，將搬送容器C收納於貯藏庫3。

在本實施形態中，顯示裝置D相當於顯示基板收納狀態判別部H2之判別結果的「顯示裝置」。

並且，基板收納狀態判別部H2係構成為：根據藉由亮點檢測處理在檢查對象圖像上所檢測的在開口寬度方向上分開的高亮度部分，關於該等高亮度部分的上下方向之位置的對應關係，來執行判別半導體基板之收納態勢是否為異常的態勢判別處理。

〔別的實施形態〕

(1)在上述實施形態中，說明了將基板收納狀態檢查裝置，使用於收納形成為圓板狀之晶圓W的搬送容器C內之晶圓W收納態勢檢查的情形，但晶圓W的形狀並不限定於平面視角為正圓形的圓板狀，例如，亦可在晶圓中設有用以顯示結晶軸方向的缺口或定向平面。

又，在上述實施形態中，說明了不安裝搬送容器C之前面蓋而進行使用的形態，但並不限定於這樣的使用形態，例如亦可以透明的材質形成前面蓋，從前面蓋的外側進行照明裝置之光的照射及拍攝用攝影機之拍攝。

(2)在上述實施形態中，已說明的構成係將拍攝用攝影機51設在搬送路徑的上方、且不與搬送容器C之移動範圍K重複的位置，但並不限定於這樣的構成，例如亦可構成為將拍攝用攝影機設在搬送路徑的下方側、且不與搬送容器C之移動範圍K重複的位置。

又，在上述實施形態中，說明了僅使用1台拍攝用攝影機51的構成，但亦可構成為將2台以上的拍攝用攝影機，設在搬送路徑中不與移動範圍K重複的位置。此時，例如，可將拍攝用攝影機，設在位於搬送容器C之移動範圍K的開口寬度方向兩側部的位置，來作為不與搬送路徑中之移動範圍K重複的位置。

(3)在上述實施形態中，已說明之例係使一對照明部62中之各照明部，為具有朝上下方向構成為長條狀之光源的構成，但一對照明部62之各照明部中的光源的形狀並不限定於如上所述之構成，若為可對於收納空間S內所有的支持於支持體Cs之晶圓W，透過搬送容器C前面的開口部Co來照射光，亦可使用點狀光源或環狀光源等各種形狀的光源。

(4)在上述實施形態中，已舉例顯示了如下構成：將基板收納狀態檢查裝置，設在從作為搬送容器C之搬送來源處的輸送機1之檢查用載置台1P將搬送容器C朝貯藏庫3之入庫口19搬送的輸送機1上；但在沒有設輸送機1的時候，亦可構成為在貯藏庫3之入庫口19設置基板收納狀態檢查裝置。

又，將搬送容器C進行搬送的搬送裝置，並不限定於輸送機，亦可為自走台車等其他的搬送裝置。

(5)在上述實施形態中，如圖8所示之對顯示裝置D的顯示，是異常顯示處理之顯示形態的一例，除了如圖8所示之圖像顯示以外，例如，也可在字元模式畫面僅以文字來顯示高亮度符號與異常符號、將異常符號之存在處周圍的圖像特別放大顯示、或者僅顯示綜合判定結果顯示E等，可採用各種顯示形態。

又，在上述實施形態中，已舉例顯示了將在判別用控制裝置H所具備的顯示裝置D進行顯示，來作為異常顯示處理的構成，但顯示資訊來作為異常顯示處理的對象，亦可為透過判別用控制裝置H與網路而可發送接收資訊的別的電腦之顯示裝置，或是使用者所攜帶之攜帶型無線終端的顯示畫面。

此外，異常顯示處理除了在顯示裝置D顯示資訊以外，也可使用警告燈的點燈或由聲音輸出資訊，又，可將該等分別單獨使用，亦可將任一者或全部複合地使用。

(6)在上述實施形態中，係構成為：將紅外線LED使用作為照明裝置61，使拍攝用攝影機51為可拍攝照明裝置61之紅外線LED的紅外線所成的像的攝影機；但並不限定於這樣的構成，亦可為使用可視光域之光線來作為照明裝置61，而拍攝用攝影機51則使用可拍攝該可視光區域之光所成的像的攝影機。