JP6469828B2 - 検査装置 - Google Patents
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Description
この発明の第2の局面における検査装置は、リフロー後の基板を所定の検査位置で撮像して画像を取得する撮像部と、撮像された画像に基づいて、基板の検査を行う制御部と、基板上の半田から発生するフラックスを吸引するためのフラックス吸引ファンと、フラックス吸引ファンと水平方向において対向するように配置され、検査位置の基板の表面に沿った方向にフラックス吸引ファンに向かって送風する第1送風ファンと、検査位置に基板を搬送する第1コンベアとを備え、撮像部は、基板の上方に配置され、フラックス吸引ファンは、上下方向において撮像部と基板との間に配置された吸引部から、基板の表面に沿った方向にフラックスを吸引するように構成されており、第1送風ファンは、フラックス吸引ファンにフラックスを送り込むように送風するように構成されており、フラックス吸引ファンと第1送風ファンとは、水平方向において第1コンベアの搬送方向と直交する方向に沿って対向するように配置されており、検査位置よりも基板の搬送方向の上流側の基板待機位置に前記基板を搬送する第2コンベアと、基板待機位置に搬送された基板の上方に向けて送風する第2送風ファンとをさらに備え、フラックス吸引ファンは、第2送風ファンとの間に基板待機位置に搬送された基板を挟み、第2送風ファンと対向するように配置された待機位置フラックス吸引ファンを含む。
この発明の第3の局面における検査装置は、リフロー後の基板を所定の検査位置で撮像して画像を取得する撮像部と、撮像された画像に基づいて、基板の検査を行う制御部と、基板上の半田から発生するフラックスを吸引するためのフラックス吸引ファンと、フラックス吸引ファンと水平方向において対向するように配置され、検査位置の基板の表面に沿った方向にフラックス吸引ファンに向かって送風する第1送風ファンと、検査位置に基板を搬送する第1コンベアとを備え、撮像部は、基板の上方に配置され、フラックス吸引ファンは、上下方向において撮像部と基板との間に配置された吸引部から、基板の表面に沿った方向にフラックスを吸引するように構成されており、第1送風ファンは、フラックス吸引ファンにフラックスを送り込むように送風するように構成されており、フラックス吸引ファンと第1送風ファンとは、水平方向において第1コンベアの搬送方向と直交する方向に沿って対向するように配置されており、制御部は、検査される基板の情報に基づいて、フラックス吸引ファンの回転数を制御するように構成されている。
まず、図1〜図5を参照して、本発明の第1実施形態における検査装置100の構造について説明する。
以下、図7および図8を参照して、本発明の第2実施形態による検査装置200の構成について説明する。
以下、図13を参照して、本発明の第3実施形態による検査装置300の構成について説明する。
11、11c 検出センサ(基板搬出検出センサ)
40 検査ヘッド
41 撮像部
42 照明部
51a〜51c 外部空気吸引ファン
52 送風ファン(第1送風ファン)
53a フラックス吸引ファン(第1フラックス吸引ファン)
53b フラックス吸引ファン
60 CPU(制御部)
100、200、300 検査装置
100a 筺体
110 基板
215 第2コンベア
252b 送風ファン(第2送風ファン)
253a フラックス吸引ファン
253b フラックス吸引ファン(第2ラックス吸引ファン)
Claims (11)
- リフロー後の基板を所定の検査位置で撮像して画像を取得する撮像部と、
撮像された画像に基づいて、前記基板の検査を行う制御部と、
前記基板上の半田から発生するフラックスを吸引するためのフラックス吸引ファンと、
前記フラックス吸引ファンと水平方向において対向するように配置され、前記検査位置の前記基板の表面に沿った方向に前記フラックス吸引ファンに向かって送風する第1送風ファンと、
前記検査位置に前記基板を搬送する第1コンベアとを備え、
前記撮像部は、前記基板の上方に配置され、
前記フラックス吸引ファンは、上下方向において前記撮像部と前記基板との間に配置された吸引部から、前記基板の表面に沿った方向にフラックスを吸引するように構成されており、
前記第1送風ファンは、前記フラックス吸引ファンにフラックスを送り込むように送風するように構成されており、
前記フラックス吸引ファンと前記第1送風ファンとは、水平方向において前記第1コンベアの搬送方向と直交する方向に沿って対向するように配置されており、
前記基板が前記検査位置に搬送されたことを検出する検出センサをさらに備え、
前記制御部は、前記検出センサにより前記基板が検出されたと判断した場合に、前記フラックス吸引ファンを動作させるように構成されている、検査装置。 - リフロー後の基板を所定の検査位置で撮像して画像を取得する撮像部と、
撮像された画像に基づいて、前記基板の検査を行う制御部と、
前記基板上の半田から発生するフラックスを吸引するためのフラックス吸引ファンと、
前記フラックス吸引ファンと水平方向において対向するように配置され、前記検査位置の前記基板の表面に沿った方向に前記フラックス吸引ファンに向かって送風する第1送風ファンと、
前記検査位置に前記基板を搬送する第1コンベアとを備え、
前記撮像部は、前記基板の上方に配置され、
前記フラックス吸引ファンは、上下方向において前記撮像部と前記基板との間に配置された吸引部から、前記基板の表面に沿った方向にフラックスを吸引するように構成されており、
前記第1送風ファンは、前記フラックス吸引ファンにフラックスを送り込むように送風するように構成されており、
前記フラックス吸引ファンと前記第1送風ファンとは、水平方向において前記第1コンベアの搬送方向と直交する方向に沿って対向するように配置されており、
前記検査位置よりも前記基板の搬送方向の上流側の基板待機位置に前記基板を搬送する第2コンベアと、
前記基板待機位置に搬送された前記基板の上方に向けて送風する第2送風ファンとをさらに備え、
前記フラックス吸引ファンは、前記第2送風ファンとの間に前記基板待機位置に搬送された前記基板を挟み、前記第2送風ファンと対向するように配置された待機位置フラックス吸引ファンを含む、検査装置。 - リフロー後の基板を所定の検査位置で撮像して画像を取得する撮像部と、
撮像された画像に基づいて、前記基板の検査を行う制御部と、
前記基板上の半田から発生するフラックスを吸引するためのフラックス吸引ファンと、
前記フラックス吸引ファンと水平方向において対向するように配置され、前記検査位置の前記基板の表面に沿った方向に前記フラックス吸引ファンに向かって送風する第1送風ファンと、
前記検査位置に前記基板を搬送する第1コンベアとを備え、
前記撮像部は、前記基板の上方に配置され、
前記フラックス吸引ファンは、上下方向において前記撮像部と前記基板との間に配置された吸引部から、前記基板の表面に沿った方向にフラックスを吸引するように構成されており、
前記第1送風ファンは、前記フラックス吸引ファンにフラックスを送り込むように送風するように構成されており、
前記フラックス吸引ファンと前記第1送風ファンとは、水平方向において前記第1コンベアの搬送方向と直交する方向に沿って対向するように配置されており、
前記制御部は、検査される前記基板の情報に基づいて、前記フラックス吸引ファンの回転数を制御するように構成されている、検査装置。 - 前記基板が前記検査位置に搬送されたことを検出する検出センサをさらに備え、
前記制御部は、前記検出センサにより前記基板が検出されたと判断した場合に、前記フラックス吸引ファンを動作させるように構成されている、請求項2または3に記載の検査装置。 - 前記検査位置よりも前記基板の搬送方向の上流側の基板待機位置に前記基板を搬送する第2コンベアと、
前記基板待機位置に搬送された前記基板の上方に向けて送風する第2送風ファンとをさらに備え、
前記フラックス吸引ファンは、前記第2送風ファンとの間に前記基板待機位置に搬送された前記基板を挟み、前記第2送風ファンと対向するように配置された待機位置フラックス吸引ファンを含む、請求項1または3に記載の検査装置。 - 前記制御部は、検査される前記基板の情報に基づいて、前記フラックス吸引ファンの回転数を制御するように構成されている、請求項1または2に記載の検査装置。
- 前記第1送風ファンは、前記検査位置に搬送された前記基板の上方に向けて送風するように構成され、
前記フラックス吸引ファンは、前記第1送風ファンとの間に前記検査位置に搬送された前記基板を挟み、前記第1送風ファンと対向するように配置された検査位置フラックス吸引ファンを含む、請求項1〜6のいずれか1項に記載の検査装置。 - 前記撮像部と前記撮像部により撮像が行われる際に光を照射する照明部とを含む検査ヘッドをさらに備え、
前記検査ヘッドは、前記検査位置の上方と、前記基板の上方とは異なる退避位置とに移動可能に構成され、
前記制御部は、前記基板が前記検査位置に搬送されたと判断した場合に、前記フラックス吸引ファンを動作させた後、前記検査ヘッドを前記退避位置から前記検査位置の上方に移動させ、前記撮像部に前記基板を撮像させるように構成されている、請求項1または4に記載の検査装置。 - 前記撮像部を取り囲むように設けられた筺体と、
前記筺体に設けられ、前記筺体の外部から内部に空気を吸引する外部空気吸引ファンとをさらに備える、請求項1〜8のいずれか1項に記載の検査装置。 - 前記制御部は、前記基板を前記基板待機位置に待機させる予め設定された待機時間よりも前記検査位置における前記基板の検査時間の方が長い場合には、前記待機時間経過後も前記基板を前記基板待機位置に待機させて前記第2送風ファンおよび前記待機位置フラックス吸引ファンの動作を継続させるように構成されている、請求項2または5に記載の検査装置。
- 前記基板が前記検査位置から下流側に搬送されたことを検出する基板搬出検出センサをさらに備え、
前記制御部は、前記基板搬出検出センサにより前記基板が搬出されたと判断した場合に、前記フラックス吸引ファンの動作を停止させるように構成されている、請求項1、4または8に記載の検査装置。
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