JP5314369B2 - 欠陥検査装置 - Google Patents
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Description
(第1の実施形態)
図1〜図7を参照して本発明の第1の実施形態について説明する。
と設定したとする。気流方向とステージ移動方向とが同一方向の場合、相対速度は0.1m/sとなる。一方、気流方向とステージ移動方向が逆方向の場合、相対速度は0.7m/sとなる。
(第2の実施形態)
次に、図8、図9を参照して本発明の第2の実施形態について説明する。
Claims (2)
- 基板上の欠陥を検査する欠陥検査装置において、
被検査基板が配置される基板配置台と、
上記基板配置台に配置された基板上に光を照射し、上記基板からの反射光または散乱光を検出する光学系を覆う光学系筐体と、
上記光学系筐体及び上記基板配置台を覆う検査部筐体と、
外気に含まれる異物を除去する清浄手段を有し、上記検査部筐体の内部に外気を導入する外気導入手段と、
上記検査部筐体の内側面と、上記光学系筐体の側面部と上記検査部筐体の内側面部とにより形成される第1気流通路と、この第1気流通路と連通し、上記光学系筐体の底面部と上記配置台の上面部とにより形成される第2気流通路と、この第2気流通路と連通し、上記配置台の側面部と上記検査部筐体の内側面とにより形成される第3の気流通路とから形成され、上記外気導入手段から導入された外気を上記基板配置台に導入する気流通路と、
上記基板配置台上に設けられ、上記基板を上記光学系から照射される光に対して移動させるステージと、
上記第3の気流通路に配置され、上記ステージの移動を制御し、上記光学系により検出された上記基板からの反射光または散乱光に基づいて、上記基板上の欠陥を検出する制御系と、
を備え、上記配置台には、上記第3気流通路から気流を上記検査部筐体から外部に排気する第1排出口が形成され、上記制御系は、上記基板の検査スキャンを行うときは、上記ステージを、第2気流通路に流す気流方向に対して略垂直な方向に移動させ、次の検査スキャン部位への移動時には、上記ステージを、第2気流通路に流す気流方向に対して略同一な方向に移動させることを特徴とする欠陥検査装置。 - 基板上の欠陥を検査する欠陥検査装置において、
被検査基板が配置される基板配置台と、
上記基板配置台に配置された基板上に光を照射し、上記基板からの反射光または散乱光を検出する光学系を覆う光学系筐体と、
上記光学系筐体及び上記基板配置台を覆う検査部筐体と、
外気に含まれる異物を除去する清浄手段を有し、上記検査部筐体の内部に外気を導入する外気導入手段と、
上記検査部筐体の内側面と、上記光学系筐体の側面部と上記検査部筐体の内側面部とにより形成される第1気流通路と、この第1気流通路と連通し、上記光学系筐体の底面部と上記配置台の上面部とにより形成される第2気流通路と、この第2気流通路と連通し、上記配置台の側面部と上記検査部筐体の内側面とにより形成される第3の気流通路とから形成され、上記外気導入手段から導入された外気を上記基板配置台に導入する気流通路と、
を備え、上記配置台には、上記第3気流通路から気流を上記検査部筐体から外部に排気する第1排出口が形成され、上記基板配置台と、上記検査部筐体とは、互いに分離し、上記光学系筐体と、上記検査部筐体の内側面との間に弾性体の仕切り板が配置されることを特徴とする欠陥検査装置。
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