JP4846638B2 - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4846638B2 JP4846638B2 JP2007080010A JP2007080010A JP4846638B2 JP 4846638 B2 JP4846638 B2 JP 4846638B2 JP 2007080010 A JP2007080010 A JP 2007080010A JP 2007080010 A JP2007080010 A JP 2007080010A JP 4846638 B2 JP4846638 B2 JP 4846638B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- unit
- surface inspection
- fan
- drive
- inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
2 ウェーハ
3 検査テーブル
4 モータ
13 制御部
15 筐体
24 検査部基板
25 仕切板
26 表面検査部収納空間
27 駆動部基板
28 格納部
35 クリーンユニット
36 検査部ファン
37 駆動部ファン
41 外面パネル
42 採気口
43 インナパネル
44 空間
45 下降流
Claims (6)
- 基板に検査光を照射して基板表面の検査を行う表面検査部と、前記基板を回転させるモータを含む駆動部と、前記表面検査部及び前記駆動部を制御する制御部と、前記表面検査部、前記駆動部、表面検査装置を動作させる為の駆動関連部と、前記表面検査部、前記駆動部、前記制御部、前記駆動関連部を収納する筐体とを具備し、該筐体内部は仕切板によって上方の表面検査部収納空間と下方の格納部とに仕切られ、前記表面検査部収納空間に前記表面検査部が収納され、前記格納部に前記駆動部、前記制御部、前記駆動関連部が収納され、前記筐体の天板にクリーンユニットが設けられ、前記仕切板に検査部ファンが設けられ、前記クリーンユニットは前記表面検査部収納空間にクリーンエアの下降流を送出し、前記検査部ファンは前記表面検査部収納空間の雰囲気を吸引して前記格納部に吐出し、前記表面検査部収納空間にクリーンエアの下降一様流れが形成される様構成したことを特徴とする表面検査装置。
- 前記筐体の前記表面検査部収納空間を囲繞する側壁を2重壁構造とし、該2重壁構造は中空であり、2重壁の下端は前記検査部ファンに近接して開口され、前記検査部ファンによって2重壁内部が吸引され、内部に下降流が形成される請求項1の表面検査装置。
- 前記仕切板の下方に駆動部基板を設け、該駆動部基板と前記仕切板間に駆動部収納部を形成し、該駆動部収納部に前記駆動部を収納し、前記駆動部基板に駆動部ファンを設け、該駆動部ファンにより前記駆動部収納部の雰囲気を吸引して下方に吐出する様構成した請求項1又は請求項2の表面検査装置。
- 前記筐体側壁の前記駆動部収納部に対峙する部分の所要箇所に採気口を設けた請求項3の表面検査装置。
- 前記筐体の底板に排気ファンを設け、前記クリーンユニット、前記検査部ファン、前記駆動部ファン、前記排気ファンの送風方向を上方から下方とした請求項3の表面検査装置。
- 前記検査部ファンは、前記筐体の側壁に沿って設けられ、前記駆動部基板は前記側壁との間に空間が形成される様に設けられ、前記検査部ファンによる下降流と、前記駆動部ファンによる下降流が併存する様構成された請求項3の表面検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007080010A JP4846638B2 (ja) | 2007-03-26 | 2007-03-26 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007080010A JP4846638B2 (ja) | 2007-03-26 | 2007-03-26 | 表面検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008241360A JP2008241360A (ja) | 2008-10-09 |
JP4846638B2 true JP4846638B2 (ja) | 2011-12-28 |
Family
ID=39912905
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007080010A Expired - Fee Related JP4846638B2 (ja) | 2007-03-26 | 2007-03-26 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4846638B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5314369B2 (ja) * | 2008-09-12 | 2013-10-16 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥検査装置 |
JP5452152B2 (ja) * | 2009-09-30 | 2014-03-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 検査装置 |
JP5894854B2 (ja) * | 2012-05-11 | 2016-03-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 検査装置 |
WO2016153051A1 (ja) * | 2015-03-25 | 2016-09-29 | 大日本印刷株式会社 | 検査装置 |
JP2022043361A (ja) * | 2018-11-07 | 2022-03-16 | 株式会社日立ハイテク | 検査装置 |
CN115312480B (zh) * | 2022-10-11 | 2023-01-24 | 合肥中恒微半导体有限公司 | 一种用于igbt功率模块的dbc基板 |
CN116593497B (zh) * | 2023-07-17 | 2023-09-22 | 合肥派拓智能科技有限公司 | 一种高精度oled金属掩膜板视觉缺陷检测设备 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0273141A (ja) * | 1988-09-09 | 1990-03-13 | Hitachi Ltd | レーザ検査装置 |
JPH0666730A (ja) * | 1992-08-24 | 1994-03-11 | Fujitsu Ltd | 無塵室内ウェーハ表面検査装置 |
JP2001135691A (ja) * | 1999-11-02 | 2001-05-18 | Sony Corp | 検査装置 |
DE102004062592B3 (de) * | 2004-12-24 | 2006-06-08 | Leica Microsystems Jena Gmbh | System zur Untersuchung eines scheibenförmigen Substrats |
JP2006352099A (ja) * | 2005-05-17 | 2006-12-28 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
-
2007
- 2007-03-26 JP JP2007080010A patent/JP4846638B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008241360A (ja) | 2008-10-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4846638B2 (ja) | 表面検査装置 | |
JP4344593B2 (ja) | ミニエンバイロメント装置、薄板状物製造システム及び清浄容器の雰囲気置換方法 | |
JP2011517134A (ja) | クリーン移送ロボット | |
KR100686762B1 (ko) | 기판 처리 시스템 | |
JP2006352099A (ja) | 基板検査装置 | |
JP6374878B2 (ja) | 大気圧において半導体基板を搬送し格納する輸送キャリアの粒子汚染を測定するためのステーションおよび方法 | |
KR20120016946A (ko) | 레이저 가공용 스테이지 | |
JP4598124B2 (ja) | ワーク自動作業装置 | |
EP1515100A1 (en) | Clean assembling module device, production system formed with the module, industrial robot, and pollution spred prevention system | |
US7426024B2 (en) | System for inspecting a disk-shaped object | |
JP2022162002A (ja) | Efem、及び、efemにおけるガス置換方法 | |
KR100687008B1 (ko) | 파티클을 효과적으로 흡입 배출할 수 있는 기판 반송 장치 | |
JP2008296069A (ja) | 薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置 | |
JP5352315B2 (ja) | 表面検査装置及び表面検査方法 | |
JP6321671B2 (ja) | 大気圧において半導体基板を搬送し格納する輸送キャリアにおける粒子汚染を測定するための測定ステーションおよび測定方法 | |
JP5314369B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
JP2009032756A (ja) | 半導体製造装置 | |
JP2015109355A (ja) | 局所クリーン化搬送装置 | |
JP2007109759A (ja) | 半導体検査装置及び半導体検査方法 | |
JP2007171730A (ja) | レチクルクリーニング装置 | |
WO2023112464A1 (ja) | 切断装置、及び切断品の製造方法 | |
WO2016153051A1 (ja) | 検査装置 | |
JP5075458B2 (ja) | 表面検査装置 | |
JP2010142839A (ja) | レーザ加工状態検査方法及び装置並びにソーラパネル製造方法 | |
JP4154816B2 (ja) | 検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100217 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111004 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111005 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111012 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141021 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |