JP2008241360A - 表面検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光照射による表面検査部1と、基板回転用モータ4を含む駆動部と、表面検査部及び駆動部用の制御部13と、表面検査部、駆動部、表面検査装置の駆動関連部30と、表面検査部、駆動部、制御部、駆動関連部を収納する筐体15を具備し、筐体は仕切板25で表面検査部収納空間26と格納部28とに仕切り、表面検査部収納空間に表面検査部を収納し、格納部に駆動部、制御部、駆動関連部を収納し、天板17にクリーンユニット35を設け、仕切板に検査部ファン36を設け、クリーンユニットは表面検査部収納空間にクリーンエアの下降流を送出し、検査部ファンは表面検査部収納空間の雰囲気を吸引して格納部に吐出し、表面検査部収納空間にクリーンエアの下降一様流を形成する。
【選択図】図3
Description
2 ウェーハ
3 検査テーブル
4 モータ
13 制御部
15 筐体
24 検査部基板
25 仕切板
26 表面検査部収納空間
27 駆動部基板
28 格納部
35 クリーンユニット
36 検査部ファン
37 駆動部ファン
41 外面パネル
42 採気口
43 インナパネル
44 空間
45 下降流
Claims (6)
- 基板に検査光を照射して基板表面の検査を行う表面検査部と、前記基板を回転させるモータを含む駆動部と、前記表面検査部及び前記駆動部を制御する制御部と、前記表面検査部、前記駆動部、表面検査装置を動作させる為の駆動関連部と、前記表面検査部、前記駆動部、前記制御部、前記駆動関連部を収納する筐体とを具備し、該筐体内部は仕切板によって上方の表面検査部収納空間と下方の格納部とに仕切られ、前記表面検査部収納空間に前記表面検査部が収納され、前記格納部に前記駆動部、前記制御部、前記駆動関連部が収納され、前記筐体の天板にクリーンユニットが設けられ、前記仕切板に検査部ファンが設けられ、前記クリーンユニットは前記表面検査部収納空間にクリーンエアの下降流を送出し、前記検査部ファンは前記表面検査部収納空間の雰囲気を吸引して前記格納部に吐出し、前記表面検査部収納空間にクリーンエアの下降一様流れが形成される様構成したことを特徴とする表面検査装置。
- 前記筐体の前記表面検査部収納空間を囲繞する側壁を2重壁構造とし、該2重壁構造は中空であり、2重壁の下端は前記検査部ファンに近接して開口され、前記検査部ファンによって2重壁内部が吸引され、内部に下降流が形成される請求項1の表面検査装置。
- 前記仕切板の下方に駆動部基板を設け、該駆動部基板と前記仕切板間に駆動部収納部を形成し、該駆動部収納部に前記駆動部を収納し、前記駆動部基板に駆動部ファンを設け、該駆動部ファンにより前記駆動部収納部の雰囲気を吸引して下方に吐出する様構成した請求項1又は請求項2の表面検査装置。
- 前記筐体側壁の前記駆動部収納部に対峙する部分の所要箇所に採気口を設けた請求項3の表面検査装置。
- 前記筐体の底板に排気ファンを設け、前記クリーンユニット、前記検査部ファン、前記駆動部ファン、前記排気ファンの送風方向を上方から下方とした請求項3の表面検査装置。
- 前記検査部ファンは、前記筐体の側壁に沿って設けられ、前記駆動部基板は前記側壁との間に空間が形成される様に設けられ、前記検査部ファンによる下降流と、前記駆動部ファンによる下降流が併存する様構成された請求項3の表面検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007080010A JP4846638B2 (ja) | 2007-03-26 | 2007-03-26 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2007080010A JP4846638B2 (ja) | 2007-03-26 | 2007-03-26 | 表面検査装置 |
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JP2008241360A true JP2008241360A (ja) | 2008-10-09 |
JP4846638B2 JP4846638B2 (ja) | 2011-12-28 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010066240A (ja) * | 2008-09-12 | 2010-03-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査装置 |
WO2011039945A1 (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-07 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 検査装置およびその方法 |
JP2013234969A (ja) * | 2012-05-11 | 2013-11-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 検査装置 |
WO2016153051A1 (ja) * | 2015-03-25 | 2016-09-29 | 大日本印刷株式会社 | 検査装置 |
CN112868093A (zh) * | 2018-11-07 | 2021-05-28 | 株式会社日立高新技术 | 检查装置 |
CN115312480A (zh) * | 2022-10-11 | 2022-11-08 | 合肥中恒微半导体有限公司 | 一种用于igbt功率模块的dbc基板 |
CN116593497A (zh) * | 2023-07-17 | 2023-08-15 | 合肥派拓智能科技有限公司 | 一种高精度oled金属掩膜板视觉缺陷检测设备 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0273141A (ja) * | 1988-09-09 | 1990-03-13 | Hitachi Ltd | レーザ検査装置 |
JPH0666730A (ja) * | 1992-08-24 | 1994-03-11 | Fujitsu Ltd | 無塵室内ウェーハ表面検査装置 |
JP2001135691A (ja) * | 1999-11-02 | 2001-05-18 | Sony Corp | 検査装置 |
JP2006184283A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-13 | Leica Microsystems Jena Gmbh | ディスク状対象物を検査するシステム |
JP2006352099A (ja) * | 2005-05-17 | 2006-12-28 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
-
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0273141A (ja) * | 1988-09-09 | 1990-03-13 | Hitachi Ltd | レーザ検査装置 |
JPH0666730A (ja) * | 1992-08-24 | 1994-03-11 | Fujitsu Ltd | 無塵室内ウェーハ表面検査装置 |
JP2001135691A (ja) * | 1999-11-02 | 2001-05-18 | Sony Corp | 検査装置 |
JP2006184283A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-13 | Leica Microsystems Jena Gmbh | ディスク状対象物を検査するシステム |
JP2006352099A (ja) * | 2005-05-17 | 2006-12-28 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010066240A (ja) * | 2008-09-12 | 2010-03-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査装置 |
WO2011039945A1 (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-07 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 検査装置およびその方法 |
JP2013234969A (ja) * | 2012-05-11 | 2013-11-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 検査装置 |
WO2016153051A1 (ja) * | 2015-03-25 | 2016-09-29 | 大日本印刷株式会社 | 検査装置 |
JPWO2016153051A1 (ja) * | 2015-03-25 | 2018-02-15 | 大日本印刷株式会社 | 検査装置 |
CN112868093A (zh) * | 2018-11-07 | 2021-05-28 | 株式会社日立高新技术 | 检查装置 |
CN112868093B (zh) * | 2018-11-07 | 2024-03-15 | 株式会社日立高新技术 | 检查装置 |
CN115312480A (zh) * | 2022-10-11 | 2022-11-08 | 合肥中恒微半导体有限公司 | 一种用于igbt功率模块的dbc基板 |
CN116593497A (zh) * | 2023-07-17 | 2023-08-15 | 合肥派拓智能科技有限公司 | 一种高精度oled金属掩膜板视觉缺陷检测设备 |
CN116593497B (zh) * | 2023-07-17 | 2023-09-22 | 合肥派拓智能科技有限公司 | 一种高精度oled金属掩膜板视觉缺陷检测设备 |
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