JP7137047B2 - Efem、及び、efemにおけるガス置換方法 - Google Patents
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Description
まず、EFEM1及びその周辺の概略構成について、図1及び図2を用いて説明する。図1は、本実施形態に係るEFEM1及びその周辺の概略的な平面図である。図2は、EFEM1の電気的構成を示す図である。図1に示すように、EFEM1は、筐体2と、搬送ロボット3と、複数のロードポート4と、制御装置5とを備える。EFEM1の後方には、ウェハW(本発明の基板)に所定の処理を施す基板処理装置6が配置されている。EFEM1は、筐体2内に配置された搬送ロボット3によって、ロードポート4に載置されているFOUP(Front-Opening Unified Pod)100と基板処理装置6との間でウェハWの受渡しを行う。FOUP100は、複数のウェハWを上下方向に並べて収容可能な容器であり、後端部(前後方向における筐体2側の端部)に蓋101が取り付けられている。FOUP100は、例えば、ロードポート4の上方に設けられた不図示のレールに吊り下げられて走行する、不図示のOHT(天井走行式無人搬送車)によって搬送される。OHTとロードポート4との間で、FOUP100の受渡しが行われる。
次に、筐体2及びその内部の構成について、図3~図5を用いて説明する。図3は、筐体2の正面図である。図4は、図3のIV-IV断面図である。図5は、図3のV-V断面図である。なお、図3においては、隔壁の図示を省略している。また、図5においては、搬送ロボット3等の図示を省略している。
次に、搬送ロボット3(本発明の自動装置)の構造について、図6を用いて説明する。図6(a)は、搬送ロボット3の内部構造を示す断面図である。図6(b)は、後述するロボットハンド74の平面図である。上述したように、搬送ロボット3は、基台部60と、アーム機構70(本発明の保持部)とを有する。
搬送ロボット3における窒素の排出経路等について、図7及び図8を用いて説明する。図7は、循環路40への窒素の供給経路及び排出経路を示す模式図である。図8は、搬送ロボット3における窒素の排出口を示す図である。
3 搬送ロボット(自動装置)
12 ファン制御部(制御部)
43 帰還路
44 FFU(ファンフィルタユニット)
54 アライナ(自動装置)
61 ケース部材
61a 開口
62 支柱(支持部)
63 駆動機構
70 アーム機構(保持部)
71、72、73 アーム部材
71a、72a、73a 内部空間
71b、72b、73b 流入口
71c、72c、73c 流出口
74 ロボットハンド
77 可動部(切換部)
82a 接続路
83 ファン
87 エジェクタ
92 ケース部材
93 保持部
94 支持部
95 モータ(駆動機構)
98a 接続路
W ウェハ(基板)
Claims (8)
- パーティクルを除去するファンフィルタユニットによって清浄化された不活性ガスが所定方向に流れる搬送室と、前記搬送室の前記所定方向における下流側から前記ファンフィルタユニットへ前記不活性ガスを戻す帰還路と、を有し、前記不活性ガスが循環するように構成されたEFEMであって、
前記搬送室内に配置され、基板を保持した状態で所定の動作を行う自動装置を備え、
前記自動装置は、
開口が形成されたケース部材と、
前記ケース部材の外側に配置され、前記基板を保持する保持部と、
前記保持部を支持し、前記開口に挿通された支持部と、
前記ケース部材に収容され、前記支持部を駆動する駆動機構と、を有し、
前記ケース部材と前記帰還路とを接続する接続路が設けられ、
前記帰還路には、前記帰還路内のガスを前記所定方向における下流側へ送る第1ファンが設けられ、
前記接続路は、前記所定方向において前記搬送室よりも下流側且つ前記第1ファンよりも上流側において前記帰還路と接続されている ことを特徴とするEFEM。 - 前記ケース部材内の不活性ガスを、前記接続路を介して前記帰還路へ送り出す第2ファンをさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のEFEM。
- 前記第2ファンを回転駆動するファン駆動装置と、
前記ファン駆動装置を制御する制御部と、をさらに備え、
前記制御部は、
前記駆動機構が動作しているときに、前記駆動機構が動作していないときと比べて前記第2ファンの回転速度を速くすることを特徴とする請求項2に記載のEFEM。 - 前記自動装置として、前記基板を搬送する搬送ロボットが設けられ、
前記ケース部材は、前記搬送室内に固定され、
前記保持部として、前記基板を保持して水平方向に搬送するアーム機構が設けられ、
前記支持部として、前記アーム機構を支持する支柱が設けられ、
前記支柱は、前記駆動機構によって上下駆動されることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載のEFEM。 - パーティクルを除去するファンフィルタユニットによって清浄化された不活性ガスが所定方向に流れる搬送室と、前記搬送室の前記所定方向における下流側から前記ファンフィルタユニットへ前記不活性ガスを戻す帰還路と、を有し、前記不活性ガスが循環するように構成されたEFEMであって、
前記搬送室内に配置され、基板を保持した状態で所定の動作を行う自動装置を備え、
前記自動装置は、
開口が形成されたケース部材と、
前記ケース部材の外側に配置され、前記基板を保持する保持部と、
前記保持部を支持し、前記開口に挿通された支持部と、
前記ケース部材に収容され、前記支持部を駆動する駆動機構と、を有し、
前記ケース部材と前記帰還路とを接続する接続路が設けられ、
前記自動装置として、前記基板を搬送する搬送ロボットが設けられ、
前記ケース部材は、前記搬送室内に固定され、
前記保持部として、前記基板を保持して水平方向に搬送するアーム機構が設けられ、
前記支持部として、前記アーム機構を支持する支柱が設けられ、
前記支柱は、前記駆動機構によって上下駆動され、
前記アーム機構は、
前記基板を保持するロボットハンドと、
前記基板を保持する保持状態と、前記保持状態を解除する解除状態との間で前記ロボットハンドの状態を切り換える切換部と、を有し、
前記切換部の動作時に発生するパーティクルを、パーティクル除去用の不活性ガス供給源から供給される前記不活性ガスの流れによって吸引し、さらに、供給された前記不活性ガスをパーティクルと共に前記帰還路に排出するエジェクタ、を備えることを特徴とするEFEM。 - 前記アーム機構は、中空のアーム部材を有し、
前記アーム部材には、パージ用の不活性ガス供給源から供給される前記不活性ガスを前記アーム部材の内部空間に流入させるための流入口と、前記アーム部材の前記内部空間からガスを流出させるための流出口とが形成されていることを特徴とする請求項4又は5に記載のEFEM。 - パーティクルを除去するファンフィルタユニットによって清浄化された不活性ガスが所定方向に流れる搬送室と、前記搬送室の前記所定方向における下流側から前記ファンフィルタユニットへ前記不活性ガスを戻す帰還路と、を有し、前記不活性ガスが循環するように構成されたEFEMにおいて、ガスを置換するガス置換方法であって、
前記EFEMは、
前 記搬送室内に配置され、基板を保持した状態で所定の動作を行う自動装置を備えるものであり、
前記自動装置は、開口が形成されたケース部材と、前記ケース部材に収容される駆動機構と、を有するものであり、
前記ケース部材と前記帰還路とを接続する接続路が設けられており、
前記帰還路には、前記帰還路内のガスを前記所定方向における下流側へ送るファンが設けられており、
前記接続路は、前記所定方向において前記搬送室よりも下流側且つ前記ファンよりも上流側において前記帰還路と接続されており、
前記不活性ガスの供給源から前記ケース部材の内部に前記不活性ガスを供給し、且つ、前記ファンによって前記接続路から前記帰還路へガスを吸引して、前記ケース部材の内部から前記帰還路へガスを送り出すことで前記ケース部材の内部のガスを置換することを特徴とするEFEMにおけるガス置換方法。 - パーティクルを除去するファンフィルタユニットによって清浄化された不活性ガスが所定方向に流れる搬送室と、前記搬送室の前記所定方向における下流側から前記ファンフィルタユニットへ前記不活性ガスを戻す帰還路と、を有し、前記不活性ガスが循環するように構成されたEFEMにおいて、ガスを置換するガス置換方法であって、
前記EFEMは、
前記搬送室内に配置され、基板を保持した状態で所定の動作を行う自動装置を備えるものであり、
前記自動装置は、開口が形成されたケース部材と、前記ケース部材に収容される駆動機構と、を有するものであり、
前記不活性ガスの供給源から前記ケース部材の内部に前記不活性ガスを供給して、前記ケース部材の内部から前記帰還路へガスを送り出すことで前記ケース部材の内部のガスを置換し、
前記搬送室内のガス雰囲気が所定の酸素濃度未満となった後、前記供給源からの前記不活性ガスの供給を停止し、前記搬送室内のガスを前記ケース部材の内部に取り込んで前記帰還路へ送り出すことを特徴とするEFEMにおけるガス置換方法。
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