JP2010066240A - 欠陥検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査部筐体15の上部にファンフィルタユニット16bが設けられ、除振台20の上には光学系40及びステージ300が配置されている。清浄空気は気流29c→気流29d→気流29eと流れる。光学系筐体408の側壁40aに沿う清浄空気の流れにより光学系40を冷却する効果がある。被検査基板1上への異物付着防止用の清浄空気通路として光学系40を収容する検査部筐体15の内側壁と、光学系筐体408の側壁40a及び底面と、除振動台20の上面とを用いる構成としたので清浄空気通路用部材(仕切り板等)を別個に設けることなく、かつ、光学系冷却手段を別個に設けることなく清浄空気通路を形成して被検査基板への異物付着を抑制でき、光学系40の冷却も行うことができる。
【選択図】図2
Description
(第1の実施形態)
図1〜図7を参照して本発明の第1の実施形態について説明する。
と設定したとする。気流方向とステージ移動方向とが同一方向の場合、相対速度は0.1m/sとなる。一方、気流方向とステージ移動方向が逆方向の場合、相対速度は0.7m/sとなる。
(第2の実施形態)
次に、図8、図9を参照して本発明の第2の実施形態について説明する。
Claims (14)
- 基板上の欠陥を検査する欠陥検査装置において、
被検査基板が配置される基板配置台と、
上記基板配置台に配置された基板上に光を照射し、上記基板からの反射光または散乱光を検出する光学系を覆う光学系筐体と、
上記光学系筐体及び上記基板配置台を覆う検査部筐体と、
上記検査部筐体の内部に外気を導入する外気導入手段と、
上記検査部筐体の内側面と、上記光学系筐体の外側面とにより形成され、上記外気導入手段から導入された外気を上記基板配置台に導入する気流通路と、
を備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1記載の欠陥検査装置において、上記外気導入手段は、外気に含まれる異物を除去する清浄手段を有することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1記載の欠陥検査装置において、上記気流通路は、上記光学系筐体の側面部と上記検査部筐体の内側面部とにより形成される第1気流通路と、この第1気流通路と連通し、上記光学系筐体の底面部と上記配置台の上面部とにより形成される第2気流通路と、この第2気流通路と連通し、上記配置台の側面部と上記検査部筐体の内側面とにより形成される第3の気流通路とから形成されることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項3記載の欠陥検査装置において、上記第1の気流通路の気流通過方向断面積は、上記第2の気流通路の気流通過方向断面積より、大であることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項3記載の欠陥検査装置において、上記第1の気流通路を形成する上記光学系筐体の側面部と、上記検査部筐体の内側面部とは平坦であることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項3記載の欠陥検査装置において、上記光学系筐体と、上記基板配置台との間に配置され、上記第2通路を形成する板状カバーを備えることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項3記載の欠陥検査装置において、上記基板配置台上に設けられ、上記基板を上記光学系から照射される光に対して移動させるステージと、このステージの移動を制御し、上記光学系により検出された上記基板からの反射光または散乱光に基づいて、上記基板上の欠陥を検出する制御系とを備え、この制御系は、上記第3の気流通路に配置されることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項7記載の欠陥検査装置において、上記制御系は、上記基板の検査スキャンを行うときは、上記ステージを、第2気流通路に流す気流方向に対して略垂直な方向に移動させ、次の検査スキャン部位への移動時には、上記ステージを、第2気流通路に流す気流方向に対して略同一な方向に移動させることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1記載の欠陥検査装置において、上記基板配置台と、上記検査部筐体とは、互いに分離していることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項9記載の欠陥検査装置において、上記基板配置台と、上記検査部筐体の内側面との間に弾性体の仕切り板が配置されることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項9記載の欠陥検査装置において、上記光学系筐体と、上記検査部筐体の内側面との間に弾性体の仕切り板が配置されることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項3記載の欠陥検査装置において、上記配置台には、上記第3気流通路から気流を上記検査部筐体から外部に排気する第1排出口が形成されていることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項12記載の欠陥検査装置において、上記第1排出口に、上記検査部筐体から気流を外部に強制的に排出するための外部排出手段が設けられていることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項12記載の欠陥検査装置において、上記検査部筐体の側面部の、上記第2気流通路と第3の気流通路との連通部に対応する部分に気流を外部に排気する第2排気口が形成され、この第2排出口に、上記検査部筐体から気流を外部に強制的に排出するための外部排出手段が設けられていることを特徴とする欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008235653A JP5314369B2 (ja) | 2008-09-12 | 2008-09-12 | 欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2008235653A JP5314369B2 (ja) | 2008-09-12 | 2008-09-12 | 欠陥検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010066240A true JP2010066240A (ja) | 2010-03-25 |
JP5314369B2 JP5314369B2 (ja) | 2013-10-16 |
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ID=42191935
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2008235653A Expired - Fee Related JP5314369B2 (ja) | 2008-09-12 | 2008-09-12 | 欠陥検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5314369B2 (ja) |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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