JPWO2016153051A1

JPWO2016153051A1 - 検査装置

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Publication number: JPWO2016153051A1
Application number: JP2017508473A
Authority: JP
Inventors: 映美子秦; 田昌平成; 部靖人安
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2015-03-25
Filing date: 2016-03-25
Publication date: 2018-02-15
Anticipated expiration: 2036-03-25
Also published as: WO2016153051A1; JP6977557B2

Abstract

検査装置（１）では、フォトマスク（１０）の側辺を保持するホルダー（６５）と、ホルダーに配置したフォトマスクの検査面を下から撮影するカメラ（６４）と、フォトマスクの撮影位置を定めるためのＸステージ（６１）、Ｙステージ（６２）、θステージ（６３）が検査室内に配置される。検査室の天井には、ダウンフローを発生させるＦＦＵが設けられる。Ｘステージ、Ｙステージ、θステージは、上面に開口を有するカバー（６０）で覆われ、少なくとも一部で、カバーの開口縁（６０ａ）がホルダーの外縁（６５ａ）の内側に位置する。

Description

本発明は、フォトマスク等の検査装置に関する。

フォトマスクに異物等の欠陥があると露光を行う際の妨げとなるので、フォトマスクでは予め異物等の欠陥がないか外観検査が行われる。外観検査ではフォトマスクの撮影画像に基づく検査を行うが、通常の検査装置では、フォトマスクをＳＭＩＦ（Standard Mechanical Interface）ポッドで輸送する際にフォトマスクのパターン形成面を上にしていることもあり、フォトマスクの上からパターン形成面（以下、検査面ということがある）をカメラで撮影する仕様になっている。

しかしながら、この仕様では上部に位置するカメラ等からフォトマスクの検査面への降塵の問題が生じる。また検査装置内では清浄度維持のためダウンフローによる空調を行っているが、フォトマスクの検査面に上部からダウンフローのエアーが当たるため静電気が発生し、粉塵を静電吸着する恐れがあった。

これに対し、フォトマスクの側辺をホルダーで保持して検査面を下向きにして配置し、カメラで下から撮影する例がある（ＪＰ２０１２−２０８１８５）。この場合、フォトマスクの検査面へのカメラ等からの降塵を防げると共に、検査面に直接エアーが当たらないため粉塵の静電吸着も抑制できる。

図２５はフォトマスクの検査面を下から撮影する検査装置１００の例である。この検査装置１００では、フォトマスク搬送用のロボット５００を設けたロボット室３００と、フォトマスクの検査機６００を設けた検査室４００が隣接して配置される。検査装置１００はクリーンルーム８００内に設けられる。

検査機６００は除振台７００上に配置される。検査機６００ではフォトマスク（不図示）の側辺をホルダー６０１で保持して検査面を下向きにして配置し、下方のカメラ６０２によって検査面の撮影を行う。

ロボット室３００と検査室４００は開口部（通過口）３０２により通じており、検査室４００は開口部４０２を介してクリーンルーム８００へと通じている。ロボット室３００、検査室４００の天井にはＦＦＵ（Fan Filter Unit）からなる送風部３０１、４０１が設けられ、これによりダウンフローを形成するエアーが送出される。また除電を行うため、ロボット室３００の上部の壁際にはイオナイザー３０３、３０４が、検査室４００の上部の壁際にはイオナイザー４０３、４０４が設けられる。

検査室４００内に送出されるダウンフローを形成するエアーは、ホルダー６０１の外縁の下方に気流を巻き込む回転流を発生させる。このためフォトマスクの検査面の近傍に粉塵が滞留し、検査面が汚染される恐れがある。（ＪＰ２０１２−２０８１８５）ではフォトマスクの検査面を透明性の保護部材で覆った状態で撮影しているが、この場合でも、保護部材に粉塵が付着することで撮影時に不具合が生じる恐れがある。

また、図２５の検査装置１００ではロボット室３００と検査室４００内で矢印に示すようなエアーの流れが発生する。この例ではロボット室３００の下部等から粉塵を含んだ清浄度の低いエアーが開口部（通過口）３０２を通って検査室４００へと移動し、フォトマスクの検査面の汚染原因になりうる。さらに検査室４００では開口部４２側のイオナイザー４０４付近に滞留する気流も発生し、イオナイザー４０４付近の清浄度が低下しやすい状況である。

本発明は、以上の点を考慮してなされたものであり、検査対象の汚染を効果的に回避することができる検査装置を提供することを目的とする。

また、本発明は、カメラ等からの降塵や静電吸着による検査対象の汚染を回避し、かつ検査面近傍での粉塵の滞留を防止する検査装置を提供することを他の目的とする。

前述した課題を解決するための本発明は、検査対象を下から撮影するカメラと、前記検査対象の撮影位置を定めるための移動ステージと、前記移動ステージの上方に設けられ、前記検査対象の側辺を保持するホルダーと、を有する検査機が配置された検査室を備え、前記検査室の上部に、下方への気流を送出する送風部が設けられ、前記移動ステージが、上面に開口を有するカバーで覆われ、少なくとも一部で、前記カバーの開口縁が前記ホルダーの外縁の内側に位置することを特徴とする検査装置である。

本発明では、上記の構成により、検査対象の検査面をカメラで下から撮影してカメラからの降塵や粉塵の静電吸着による汚染を防止できるうえ、ホルダーの外縁付近からカバー内へと向かう気流によって、ホルダーの外縁の下方の粉塵を巻き込んでカバー内へと流すことができ、検査対象の検査面近傍での粉塵の滞留を防止できる。加えて、移動ステージの移動時に発生する粉塵が検査室内に飛散するのも防ぐことができる。

前記カバー内の排気が行われることが望ましい。加えて、前記カバー内の排気により、前記カバー内の粉塵が、前記検査装置が配置されたクリーンルームの外に排出されることが望ましい。これにより、上記の気流を確実に発生させることができる。またカバー内の粉塵もクリーンルームの外へ好適に排出できる。検査機の駆動部や配線等から発生しうる粉塵は他の部位から発生する粉塵より清浄度が低いため、クリーンルーム内に放出すると、フォトマスク等の検査対象を間接的に汚染することになるので、上記のようにして別途クリーンルーム外に直接排出することが望ましい。

前記検査室と開口部（通過口）を介して通じ、前記検査対象を搬送するロボットが配置されたロボット室を更に備え、前記ロボット室の下部に開口が設けられることが望ましい。これにより、ロボット室の下部等から検査室へ粉塵を含んだエアーが移動するのを防ぐことができる。

前記開口部の下縁の高さ位置が前記ホルダーより下であることが望ましい。これにより、ダウンフローの気流を検査機近辺でも確保でき、ホルダーの外縁付近からカバー内へと向かう気流を確実に発生させることができる。

前記ロボットのステージが、上面に開口を有するカバーで覆われることが望ましい。これにより、ロボットから発生しうる粉塵の拡散を好適に防止することができる。

本発明により、カメラ等からの降塵や静電吸着による検査対象の汚染を回避し、かつ検査面近傍での粉塵の滞留を防止する検査装置を提供することができる。

本発明による第２の検査装置は、
検査機と、
前記検査機の上方に配置され、下方への気流を形成する送風部と、を備え、
前記検査機は、
検査対象を保持するホルダーと、
前記検査対象を撮影するカメラと、
前記ホルダー及び前記カメラの一方と接続し、且つ、前記ホルダー及び前記カメラの前記一方とともに前記ホルダー及び前記カメラの他方に対して相対移動する移動ステージと、
前記移動ステージを前記ホルダーから区画するカバーと、を有する。

本発明による第２の検査装置によれば、可動部である移動ステージから発生する粉塵の拡散を、カバーによって防止することができる。これにより、ホルダーに保持された検査対象に粉塵が付着してしまうことを効果的に防止することができる。

本発明による第２の検査装置において、前記カバーの前記ホルダーまたは前記ホルダーによって保持された前記検査対象に対面する位置に開口が形成されていてもよい。

本発明による第２の検査装置において、
前記移動ステージ及び前記カバーは、前記ホルダーの下方に配置され、
前記カバーの前記ホルダーまたは前記ホルダーによって保持された前記検査対象に下方から対面する位置に開口が形成され、
少なくとも一部で、前記カバーの開口縁が前記ホルダーの外縁の内側に位置していてもよい。
このような検査装置によれば、ホルダーの外縁付近からカバー内へと向かう気流によって、ホルダーの外縁の下方の粉塵を巻き込んでカバー内へと流すことができ、検査対象の検査面近傍での粉塵の滞留を効果的に防止することができる。

本発明による第２の検査装置において、前記カバー内の排気が行われるようにしてもよい。このような検査装置によれば、可動部である移動ステージから発生する粉塵の拡散を、より確実に防止することができる。

本発明による第２の検査装置において、前記カバー内の排気により、前記カバー内の粉塵が、前記検査装置が収容されているクリーンルームの外に排出されるようにしてもよい。このような検査装置によれば、クリーンルーム外に排出されることで、粉塵が検査対象に付着することをより確実に防止することができる。

本発明による第２の検査装置が、前記検査機を収容する検査室内に設けられたイオナイザーを、さらに備えるようにしてもよい。このような検査装置によれば、検査室内の除電を行うことができ、粉塵が静電気によって検査対象に付着することを効果的に防止することができる。

本発明による第２の検査装置が、前記検査機を収容する検査室内に設けられ前記送風部の吹き出し口に接続した整流板を、さらに備えるようにしてもよい。このような検査装置によれば、検査室内での空気の滞留を効果的に防止することができ、検査室内での局所的な清浄度の低下を効果的に回避することができる。

本発明による第２の検査装置において、前記検査機を収容する検査室を区画する壁に、前記検査室の外に通じる検査室排気口が設けられており、前記検査室排気口の下縁の高さ位置は、前記ホルダー以下であるようにしてもよい。このような検査装置によれば、検査室内での粉塵の滞留や検査対象への粉塵の付着を効果的に防止することができる。

本発明による第２の検査装置において、前記検査室開口は、吸引手段に通じていてもよい。このような検査装置によれば、検査室内での粉塵の滞留や検査対象への粉塵の付着を効果的に防止することができる。

本発明による第２の検査装置において、前記検査機を収容する検査室を区画する壁に、前記検査室内の前記検査機へ前記検査対象を搬送するための通過口が設けられており、前記通過口の下縁の高さ位置は、前記ホルダー以下であるようにしてもよい。このような検査装置によれば、検査室内での粉塵の滞留や検査対象への粉塵の付着を効果的に防止することができる。また、ロボット室から検査室への粉塵の流入を防止することができる。

本発明による第２の検査装置が、
前記検査機に前記検査対象を搬送するロボットを、さらに備え、
前記検査機は、検査室内に収容され、
前記ロボットは、前記検査室に通過口を介して通じたロボット室内に設けられ、
前記ロボット室を区画する壁に、前記ロボット室の外に通じるロボット室排気口が設けられており、
前記ロボット室排気口の下縁の高さ位置は、前記ホルダー以下であるようにしてもよい。
このような検査装置によれば、ロボット室内での粉塵の滞留や検査対象への粉塵の付着を効果的に防止することができる。

本発明による第２の検査装置において、前記ロボット室排気口は、吸引手段に通じていてもよい。ロボット室内での粉塵の滞留や検査対象への粉塵の付着を効果的に防止することができる。

本発明による第２の検査装置が、前記検査機に前記検査対象を搬送するロボットを、さらに備え、
前記検査機は、検査室内に収容され、
前記ロボットは、前記検査室に通過口を介して通じたロボット室内に設けられ、
前記ロボット室を区画する壁に、前記ロボット室の外に通じるロボット室排気口が設けられており、
前記ロボット室排気口は、前記通過口に対面する位置からずれた位置に設けられていてもよい。
このような検査装置によれば、ロボット室排気口および通過口の両方を通過して流れる気流の発生を効果的に防止することができる。したがって、検査装置の稼働中だけでなく、メンテナンス等の検査装置の非稼働中も含め、検査装置外の粉塵がロボット室を通過して検査室内に流れ込むことを効果的に防止することができる。

本発明による第２の検査装置が、
前記検査機に前記検査対象を搬送するロボットを、さらに備え、
前記ロボットは、
前記検査対象を保持するアームと、
前記アームと接続し前記アームを駆動する駆動ステージと、
前記駆動ステージを前記アームから区画するロボットカバーと、を有するようにしてもよい。
このような検査装置によれば、可動部である駆動ステージから発生する粉塵の拡散を、ロボットカバーによって防止することができる。これにより、アームに保持された検査対象に粉塵が付着してしまうことを効果的に防止することができる。

本発明による第２の検査装置において、
前記駆動ステージ及び前記ロボットカバーは、前記アームの下方に配置され、
前記ロボットカバーの前記アームに対面する上面に開口が形成され、
少なくとも一部で、前記ロボットカバーの開口縁が前記アームの外縁の内側に位置するようにしてもよい。
このような検査装置によれば、アームの外縁付近からロボットカバー内へと向かう気流によって、アームの外縁の下方の粉塵を巻き込んでロボットカバー内へと流すことができ、検査対象の検査面近傍での粉塵の滞留を防止できる。

本発明による第２の検査装置において、前記ロボットカバー内の排気が行われるようにしてもよい。このような検査装置によれば、可動部である駆動ステージから発生する粉塵の拡散を、より確実に防止することができる。

本発明による第２の検査装置において、前記ロボットカバー内の排気により、前記ロボットカバー内の粉塵が、前記検査装置が収容されているクリーンルームの外に排出されるようにしてもよい。このような検査装置によれば、クリーンルーム外に排出されることで、粉塵が検査対象に付着することをより確実に防止することができる。

本発明による第２の検査装置が、前記ロボットを収容するロボット室内に設けられたイオナイザーを、さらに備えるようにしてもよい。このような検査装置によれば、ロボット室内の除電を行うことができ、粉塵が静電気によって検査対象に付着することを効果的に防止することができる。

本発明による第２の検査装置が、前記ロボットを収容するロボット室内に設けられ前記送風部の吹き出し口に接続した整流板を、さらに備えるようにしてもよい。このような検査装置によれば、ロボット室内での空気の滞留を効果的に防止することができ、ロボット室内での局所的な清浄度の低下を効果的に回避することができる。

本発明による第２の検査装置において、前記ホルダーは、前記検査対象の前記カメラによって撮影される検査面が下方を向くようにして、前記検査対象を保持するようにしてもよい。このような検査装置によれば、降塵や粉塵の静電吸着による汚染を効果的に防止することができる。

本発明による第２の検査装置において、前記ホルダーは、前記検査対象の前記カメラによって撮影される検査面が側方を向くようにして、前記検査対象を保持するようにしてもよい。このような検査装置によれば、降塵や粉塵の静電吸着による汚染を効果的に防止することができる。

本発明による第３の検査装置は、
検査対象を検査する検査機を収容した検査室と、
前記検査機に前記検査対象を搬送するロボットを収容したロボット室と、を備える、検査装置であって、
前記検査室と前記ロボット室とを区画する壁に、前記ロボットによって前記検査機へ搬送される前記検査対象が通過する通過口が設けられ、
前記ロボット室を区画する壁に、前記ロボット室の外に通じるロボット室排気口が設けられ、
前記ロボット室排気口は、前記通過口に対面する位置からずれた位置に設けられている。

本発明による第３の検査装置によれば、ロボット室排気口および通気口の両方を通過して流れる気流の発生を効果的に防止することができる。したがって、検査装置の稼働中だけでなく、メンテナンス等の検査装置の非稼働中も含め、検査装置外の粉塵がロボット室を通過して検査室内に入り込むことを効果的に防止することができる。

本発明による第４の検査装置は、
検査対象を検査する検査機と、
前記検査機に前記検査対象を搬送するロボットと、
前記検査機及び前記ロボットの上方に配置され、下方への気流を形成する送風部と、を備え、
前記ロボットは、
前記検査対象を保持するアームと、
前記アームと接続し前記アームを駆動する駆動ステージと、
前記駆動ステージを前記アームから区画するロボットカバーと、を有する。

本発明による第３の検査装置によれば、可動部である駆動ステージから発生する粉塵の拡散を、ロボットカバーによって防止することができる。これにより、アームに保持された検査対象に粉塵が付着してしまうことを効果的に防止することができる。

本発明による一実施の形態を説明するための図であって、検査装置を示す平面図。検査装置を示す側面図。検査機を示す平面図。検査機を示す側面図。検査機を示す側段面図。ロボット室と検査室内の全体のエアーの流れを示す図。図３に対応する図であって、検査機の一変形例を示す平面図。図５に対応する図であって、検査機の一変形例を示す側断面図。図５に対応する図であって、検査機の他の変形例を示す側断面図。図３に対応する図であって、検査機の更に他の変形例を示す平面図。図５に対応する図であって、検査機の更に他の変形例を示す側断面図。図５に対応する図であって、検査機の更に他の変形例を示す側断面図。図５に対応する図であって、検査機の更に他の変形例を示す側断面図。図５に対応する図であって、検査機の更に他の変形例を示す側断面図。図３に対応する図であって、検査機の更に他の変形例を示す平面図。図５に対応する図であって、検査機の更に他の変形例を示す側断面図。図５に対応する図であって、検査機の更に他の変形例を示す側断面図。図５に対応する図であって、検査機の更に他の変形例を示す側断面図。図５に対応する図であって、検査機の更に他の変形例を示す側断面図。図５に対応する図であって、検査機の更に他の変形例を示す側断面図。図５に対応する図であって、検査機の更に他の変形例を示す側断面図。検査機の更に他の変形例を示す側面図。検査機の更に他の変形例を示す側断面図。ロボットのカバーを示す図。検査装置を示す図。

以下、図面に基づいて本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。

（１．検査装置１）
図１は、本発明の一実施形態に係る検査装置１の平面構成を示す図である。図１に示す検査装置１は、ＦＦＵ（不図示）等を備えたクリーンルーム８内に配置され、ＳＭＩＦケース投入部２、ロボット室３、検査室４等を有する。図２は、検査装置１のロボット室３と検査室４を示す図である。

ＳＭＩＦケース投入部２は、検査対象であるフォトマスクを収納した輸送用のＳＭＩＦポッド（不図示）を配置するためのスペースである。ＳＭＩＦポッド内には、１または複数のフォトマスクがパターン形成面を上にして収納される。

ロボット室３は開口部（通過口）３２を介して検査室４と通じている。ロボット室３には、フォトマスクを搬送するためのロボット５が配置される。ロボット５は、ＳＭＩＦケース投入部２からＳＭＩＦポッドを受け取って内部のフォトマスクを１枚取り出し、当該フォトマスクを上下反転して検査対象となるパターン形成面が下を向いた状態で検査室４に搬送し、後述する検査機６のホルダーに配置する。またロボット５は、検査後のフォトマスクをホルダーから取り出し、当該フォトマスクを上下反転させてパターン形成面が上を向いた状態でロボット室３に搬送し、ＳＭＩＦポッドに収納する。

図２に示すように、ロボット室３の上部ではＦＦＵ３１（送風部）が天井に設けられ、これにより清浄なエアーがダウンフロー（下方への気流）として送出される。また除電を行うため、ロボット室３の上部の壁際にはイオナイザー３３、３４が設けられる。加えて本実施形態では、ロボット室３を区画する壁の下部側面に開口部（ロボット室排気口）３５が設けられている。ロボット室排気口３５は、検査室１の外に通じており、この開口部からクリーンルーム８内へと排気が行われるようになっている。なお、ロボット室排気口３５に吸引手段が通じており、或いは、ロボット室排気口３５が吸引手段の吸引開口として形成されており、ロボット室３内の雰囲気を強制的に排気するようにしてもよい。さらに、ロボット室３には、整流板３６が設けられている。整流板３６は、ロボット室３の上方に設けられた送風部３１の吹き出し口３１ａに接続している。整流板３６は、ロボット室３内に空気の滞留を生じさせることなく、ロボット室３内でのダウンフローの形成を促進する。

検査室４では、除振台７の上にフォトマスクの検査機６が配置される。検査機６はフォトマスクのパターン形成面を撮影し、この撮影画像を元にフォトマスクの外観検査を行う。具体的な検査方法は特に限定されず、既知の種々の手法を用いることができる。

検査室４の上部でも、ロボット室３と同様ＦＦＵ４１（送風部）が天井に設けられ、これにより清浄なエアーがダウンフロー（下方への気流）として送出される。検査室４を区画する壁の側面には開口部（検査室排気口）４２が設けられている。検査室排気口４２は、検査装置１の外に通じており、この開口部４２からクリーンルーム８内へと排気が行われる。なお、検査室排気口４２に吸引手段が通じており、或いは、検査室排気口４２が吸引手段の吸引開口として形成されており、検査室４内の雰囲気を強制的に排気するようにしてもよい。また、検査室４の開口部４２側の壁際には、天井から下方に延びる整流板４５，４６が設けられる。整流板４５，４６は、検査室４の上方に設けられた送風部４１の吹き出し口４１ａに接続している。整流板４５，４６は、検査室４内に空気の滞留を生じさせることなく、検査室４内でのダウンフローの形成を促進する。なお、図２の例では、整流板４５の下端が検査室４の開口部３２側の壁面に接しているが、壁面から離れていてもよいし、整流板４６の下端が検査室４の開口部４２側の壁面に接しているが、壁面から離れていてもよい。

検査室４には除電を行うためのイオナイザー４３、４４も設けられる。イオナイザー４３は検査室４の上部の開口部３２側の壁際に配置され、イオナイザー４４は、整流板４４の上部のＦＦＵ４１側に配置される。

（２．検査機６）
図３及び図４は検査機６を示す図である。図３は検査機６を上から見た図であり、図４は検査機６を図３の矢印Ａに示す方向から見た図である。

検査機６は、カバー６０、Ｘステージ６１、Ｙステージ６２、θステージ６３、カメラ６４、ホルダー６５、クランプ６７等を有する。なお、図２〜図４において網掛け部分はカバー６０で覆われている部分であり、図２〜図４では説明のためカバー６０の内部にある構成要素を図示している。なお、網掛け部分の取り扱いは、後に参照する図６、図７、図１０、図１５においても同様とする。

Ｘステージ６１、Ｙステージ６２、θステージ６３は、フォトマスク１０の撮影位置を定めるための移動ステージであり、本実施形態では後述するホルダー６５の位置を移動させる。これらのステージは、図示された例において、Ｘステージ６１、Ｙステージ６２、θステージ６３の順に上に重ねて配置される。

Ｘステージ６１は、図示しない駆動部によって、図３の左右方向に移動可能となっている。

Ｙステージ６２は、図示しない駆動部によって、図３の上下方向に移動可能となっている。

θステージ６３は図示しない駆動部により図３の面内で回転するものである。

カメラ６４は、フォトマスク１０のパターン形成面の撮影を行う撮影装置である。本実施形態では、カメラ６４は、フォトマスク１０のパターン形成面を下方から撮影する。Ｘステージ６１、Ｙステージ６２、θステージ６３においてカメラ６４に対応する位置に孔が設けられており、この孔を用いてカメラ６４が直接除振台７に固定されている（後述する図５参照）。

ホルダー６５は、上記した移動ステージ（Ｘステージ６１、Ｙステージ６２、θステージ６３）の上方に設けられる。ホルダー６５はコ字状の平面を有する板材であり、フォトマスク１０を配置し側辺を保持するものである。ホルダー６５の内側では、コ字状に囲まれた平面内部へと突出する爪６５１が三方に設けられ、これらの爪６５１で矩形板状のフォトマスク１０の三辺を保持する。残りの一辺は、クランプ６７に取付けられた爪６７１によって保持される。なお、ホルダー６５の内側とは、フォトマスク１０に近い側をいうものとする。また本実施形態ではフォトマスク１０のパターン形成面（検査面）、すなわちカメラ６５で撮影される面が下を向いた状態で、フォトマスク１０はホルダー６５に配置される。

ホルダー６５は脚部６６によってθステージ６３上で支持される。すなわち、脚部６６は、ホルダー６５とθステージ６３とを連結している。図３に示すように、脚部６６はホルダー６５においてコの字の両角部と両端部にあたる位置に配置される。

本実施形態では、Ｘステージ６１、Ｙステージ６２、θステージ６３を覆うように函状のカバー６０が設けられ、駆動部等から発生しうる粉塵の拡散が防止される。すなわち、カバー６０は、移動ステージ６１，６２，６３を覆って、移動ステージ６１，６２，６３をホルダー６５から区画している。カバー６０の上面には開口が設けられる。カバー６０の開口は、ホルダー６５によって保持されたフォトマスク１０の検査面への法線方向に沿って、ホルダー６５及びフォトマスクに対面している。図示された例において、カバー６０の開口は、鉛直方向下方からホルダー６５及びフォトマスクに対面している。この開口の開口縁の位置を図３の６０ａで示す。開口の平面形状は、各ステージの移動時に脚部６６等とカバー６０が接触するのを避けるように定められており、図３に示された例では矩形状となっているが、図示された例に限られずＴ字状等、種々の形状を取り得る。

図５は図３の線Ｂ−Ｂに沿った検査機６の鉛直方向断面図である。図５に示すように、本実施形態では、少なくとも一部において、カバー６０の開口縁６０ａがホルダー６５の外縁６５ａの内側に位置している。

図５の例ではカバー６０の開口縁６０ａがホルダー６５の外縁６５ａより距離Ｄだけ内側に位置しており、開口縁６０ａとホルダー６５の外縁６５ａを結ぶ方向が、水平方向に対して傾斜角αで傾斜している。

また、カバー６０内はダクト等の管体６８（図３等参照）を介してクリーンルーム８の外部へと通じており、ポンプなど図示しない排気手段によってカバー６０内のエアーがクリーンルーム８の外部へと直接排気されるようになっている。

このような構成により、本実施形態では、ＦＦＵ４１から送出されたダウンフローのエアーに関し、図５の点線矢印に示すようなホルダー６５の外縁６５ａ付近からカバー６０内へと向かう気流が検査機６近辺で発生することとなり、ホルダー６５の外縁６５ａの下方の粉塵を巻き込んでカバー６０内へと流し、そのままクリーンルーム８の外部へ排出できるようになっている。なお、上記した気流を好適に発生させるためには、装置の設計、設備環境などにもよるが、おおよそ前記した傾斜角αが５０度以上８０度以下となるように定めると好適である。

（３．ロボット室３と検査室４内のエアーの流れ）
図６は、ロボット室３と検査室４内の全体のエアーの流れを矢印で示した図である。

前記したように、本実施形態では、ホルダー６５の外縁６５ａの下方に粉塵が存在しても、この粉塵が図５で説明した気流によりカバー６０内へと流れ、管体６８を介してカバー６０内からクリーンルーム８の外部へと排出される（矢印Ｃ参照）。

これに加えて、本実施形態ではロボット室３の下部側面に開口を有するロボット室排気口３５を設け、ＦＦＵ３１、４１等によるダウンフローの風量やロボット室３、検査室４、クリーンルーム８の気圧を調整することで、前記した図２５のようにロボット室３から検査室４へ向かうのでなく、検査室４からロボット室３へと向かい、ロボット室排気口３５からクリーンルーム８内へと排出される（矢印Ｄ参照）エアーの流れを発生させる。

これにより、ロボット室３の下部等から粉塵を含んだ清浄度の低いエアーが検査室４へと移動してフォトマスク１０の検査面の汚染原因になることがなくなる。このようなエアーの流れを実現するための風量や気圧の調整に関しては、ダウンフローの風量や気圧の大きさを検査室４≧ロボット室３＞クリーンルーム８の順とするとよい。風量等の調整については、検査装置１やクリーンルーム８の適当な箇所に設けた圧力センサー（不図示）を利用してクリーンルーム８の楊圧環境の変化に対応させることも可能である。また開口部（ロボット室排気口）３２及び開口部（検査室排気口）４２の形状等による風量の制御も可能である。

また本実施形態では、検査室４から開口部４２を介してクリーンルーム８に排出される風量が、検査室４から開口部３２を介してロボット室３に流れる風量より大きくなるようにし、検査室４内の粉塵をできるだけクリーンルーム８側に排出して検査装置１の内部全体の清浄度が向上するようにしている。両風量の差は、検査装置１やクリーンルーム８の適当な箇所に設けた差圧計等を利用して気圧差から制御でき、設備環境、運転状況等の外因的要素に応じた制御も可能である。またＦＦＵ３１、４１等の風量から制御を行うこともでき、開口部３２、４２を流れる風量を直接測定して制御に用いてもよい。

なお、本実施形態では整流板３６，４５，４６により図２５で説明したようなイオナイザー３４，４３，４４付近で滞留する気流も無くなっており、イオナイザー３４，４３，４４付近の清浄度も改善されている。

また、本実施形態では開口部（通過口３２，ロボット室排気口３５，検査室排気口４２）の下縁の高さ位置がホルダー６５以下である。これは、開口部３２，３５，４２の下縁がホルダー６５よりも上方にあると、検査機６近辺のダウンフローの流れが弱まりフォトマスク１０の検査面の汚染可能性が高まるほか、開口部３２，３５，４２からの汚染のリスクもあるためである。

さらに、図１に示すように、ロボット室排気口３５は、通過口３２に対面する位置からずれた位置に設けられている。すなわち、ロボット室排気口３５は、通過口３２が形成された壁の法線方向に沿って、通過口３２に対面する位置に配置されていない。図示された例において、ロボット室排気口３５が形成された壁は、通過口３２が形成された壁と垂直に接続している。この例によれば、ロボット室排気口３５および通過口３２の両方を通過して流れる気流の発生を効果的に防止することができる。したがって、検査装置１の稼働中だけでなく、メンテナンス等の検査装置１の非稼働中も含め、外部の粉塵が検査室４内に流れ込むことを効果的に防止することができる。

以上説明したように、本実施形態によれば、カメラ６４によってフォトマスク１０の検査面を下から撮影してカメラからの降塵や粉塵の静電吸着による汚染を防止できるうえ、ホルダー６５の外縁６５ａ付近からカバー６０内へと向かう気流によって、ホルダー６５の外縁６５ａの下方の粉塵を巻き込んでカバー６０内へと流すことができ、フォトマスク１０の検査面近傍での粉塵の滞留を防止できる。このような装置構成により、検査対象の検査面は上記の対策で粉塵を防止でき、検査面の裏面についても、ＦＦＵ４１により清浄に保持されるので検査対象の両面の清浄性が保持されることとなる。このため、本実施形態の装置構成により清浄な状態を保持しつつ透過型の検査も反射型の検査も可能となり検査適応範囲が広がる。

また、カバー６０は、Ｘステージ６１、Ｙステージ６２、θステージ６３の移動時にこれらのステージの駆動部や配線等から発生する粉塵が検査室４内に飛散するのを防ぐ利点もある。

さらに本実施形態では、カバー６０内の排気を行うことで、上記した気流を確実に発生させ、且つカバー６０内の粉塵もクリーンルーム８の外に好適に排出できる。検査機６の駆動部や配線等から発生しうる粉塵は他の部位から発生する粉塵より清浄度が低いため、クリーンルーム８内に放出するとフォトマスク等の検査対象を間接的に汚染することになるので、上記の機構により別途クリーンルーム外に直接排出するようにしている。このような機構を有する事で、クリーンルーム８内に設置された、フォトマスクの検査装置を含む検査装置一般の検査対象を間接的にも汚染することなく検査可能となる。

また本実施形態では、ロボット室３の下部側面に開口を有するロボット室排気口３５を設けることで、前記したようにロボット室３の下部等から検査室４へ粉塵を含んだエアーが移動するのを防ぎ、フォトマスク１０の検査面の汚染を防ぐことができる。

また、本実施形態では開口部３２，３５，４２の下縁の高さ位置をホルダー６５以下とすることで、検査装置１の内部に下方に向けた気流（ダウンフロー）を安定して形成することができる。したがって、ダウンフローの気流を検査機６近辺でも確保でき、ホルダー６５の外縁６５ａ付近からカバー６０内へと向かう気流を確実に発生させることができる。

しかしながら、本発明はこれに限らない。上述した一実施形態に対して様々な変更を加えることが可能である。以下、図面を参照しながら、変形の一例について説明する。以下の説明および以下の説明で用いる図面では、上述した一実施形態と同様に構成され得る部分について、上述の一実施形態における対応する部分に対して用いた符号と同一の符号を用いるとともに、重複する説明を省略する。

例えば、カバー６０の構成について、種々の変更が可能である。上述した一実施形態において、カバー６０に形成された一つの開口を、すべての脚部（四つの脚部）６６、クランプ６７及びカメラ６４が、通過している例を示した。しかしながら、例えば図８に示すように、複数の脚部（四つの脚部）６６、クランプ６７及びカメラ６４が、異なる開口を通過するようにしてもよい。図８に示された例において、カバー６０には、四つの開口が形成されている。各開口６０の開口縁６０ａは、カメラ６４及び移動ステージ６１，６２，６３が相対移動した際に、当該開口内を通過する脚部６６、クランプ６７及びカメラ６４が、通過した開口の外縁６０ａに接触しないように形成されている。ここで、図８は、図７のＥ−Ｅ線に沿った断面図である。このような例によれば、各開口の開口縁６０ａで画成される開口面積を、必要以上に大きくする必要がなく、小面積化することが可能となる。したがって、粉塵等の発生源となり得る移動ステージ６１，６２，６３を有効に覆い、粉塵の検査室３内の拡散を効果的に防止することができる。

また、図９は、図８と同様の断面にて検査機６を示す断面図である。図９に示された例は、図８に示された例を変形したものである。図９に示された例において、カバー６０は、カメラ６４を側方から覆う筒状部６０ｂをさらに有している。図９に示されたカバー６０では、筒状部６０ｂの上方端に開口が形成されている。筒状部６０ｂの上方端は、カメラ６４の上方端よりも上方に位置している。すなわち、カメラ６４が、その全長に亘って、カバー６０により側方から覆われている。カメラ６４は使用中発熱することから、粉塵が吸着しやすい部位となる。このような部位を、カバー６０で覆いホルダー６５から区画することで、検査室３内への粉塵の拡散を効果的に防止することができる。

別の変形例を、図１０〜図１４を用いて説明する。カバー６０は、上述した一実施形態において除振台７上に固定されていたが、この例に限られない。上述した一実施形態では、移動ステージの動作により、ホルダー６５がカバー６０に対して移動した。ただし、例えば図１０〜図１４に示された例では、カバー６０はホルダー６５に対して相対移動しないようになっている。このような変形例によれば、開口の開口縁６０ａで画成される開口面積を、小さくすることが可能となる。また、図１０に示すように、カバー６０の開口縁６０ａを、その全周において、ホルダー６５の外縁６５ａの内側に位置させることも可能となる。これにより、ホルダー６５の外縁６５ａの下方での気体の滞留を効果的に防止することができる。

ここで図１０は、図３に対応する図であって、検査機６を示す平面図である。図１１〜図１４は、図１０のＦ−Ｆ線に沿った断面において検査機６を示す側断面図である。

まず、図１１及び図１２に示された例において、カバー６０は、移動ステージ６１，６２，６３とホルダー６５とを連結する脚部６６に、固定されている。図１３及び図１４に示された例において、カバー６０は、移動ステージ６１，６２，６３、とりわけ、θステージ６３に固定されている。図１１〜図１４に示された例において、カバー６０は、移動ステージの移動にともなって、ホルダー６５とともに、除振台７に対して相対移動する。したがって、カバー６０と除振台７との間に隙間が形成されており、この隙間を通過してカバー６０内に向かう気流Ｇが形成される。また、図１２及び図１４に示された例においては、カバー６０は、図９に示された例と同様の筒状部６０ｂを有しており、図９に示された例と同様の作用効果を筒状部６０ｂが奏することができる。

別の変形例として、移動ステージ６１，６２，６３がカメラ６４を駆動するようにしてもよい。上述した一実施形態では、移動ステージの動作により、ホルダー６５がカメラ６４に対して移動したが、これに限られず、例えば図１５〜図２１に示すように、移動ステージ６１，６２，６３の動作により、カメラ６４がホルダー６５に対して移動するようにしてもよい。このような変形例によれば、開口の開口縁６０ａで画成される開口面積を、小さくすることが可能となる。図１５に示すように、カバー６０の開口縁６０ａを、その全周または大部分において、ホルダー６５の外縁６５ａの内側に位置させることも可能となる。これにより、ホルダー６５の外縁６５ａの下方での気体の滞留を効果的に防止することができる。

ここで図１５は、図３に対応する図であって、検査機６を示す平面図である。図１６〜図２１は、図１５のＨ−Ｈ線に沿った断面において検査機６を示す側断面図である。

まず、図１６及び図１７に示された例において、カバー６０は、除振台７に固定されている。したがって、カバー６０自身の振動を効果的に防止することができ、粉塵の拡散を抑制することができる。次に、図１８〜図２１に示された例において、カバー６０は、移動ステージ６１，６２，６３の駆動によって、カメラ６４とともに、除振台７及びホルダー６５に対して移動する。図１８及び図１９に示された例において、カバー６０は、移動ステージ６１，６２，６３とカメラ６４とを連結する連結部材６４ａに固定されている。図２０及び図２１に示された例において、カバー６０は、移動ステージ６１，６２，６３、とりわけ、θステージ６３に固定されている。図１８〜図２１に示された例において、カバー６０と除振台７との間に隙間が形成されており、この隙間を通過してカバー６０内に向かう気流Ｉが形成される。また、図１７、図１９及び図２１に示された例においては、カバー６０は、図９に示された例と同様の筒状部６０ｂを有しており、図９に示された例と同様の作用効果を筒状部６０ｂが奏することができる。なお、図１９及び図２１に示された例では、カバー６０は、その内部に、カメラ６４、連結部材６４ａまたはステージ６１，６２，６３と接続する接続部材６０ｃを有している。この接続部材６０ｃには孔６０ｄが形成されており、孔６０ｄを通過することで、カバー６０の開口から排気管（管体）６８まで連通している。

別の変形例として、移動ステージ６１，６２，６３とホルダー６５とが鉛直方向以外の方向に対面している検査機６に対しても、カバー６０を適用することが可能である。図２２及び図２３に示された例において、ホルダー６５は、フォトマスク１０の検査面が鉛直方向と非平行な方向を向くように保持する。具体的には、言い換えると、図２２及び図２３に示された例において、ホルダー６５は、フォトマスク１０の検査面が水平方向を向くように保持する。言い換えると、ホルダー６５は、フォトマスク１０の検査面が鉛直方向に沿うように保持する。移動ステージ６１，６２，６３及びカバー６０は、水平方向からホルダー６５に対面する位置に配置されている。ここで、図２２は、検査装置１の検査室３内を水平方向から示す正面図であり、図２３は、図２２のＪ−Ｊ線に沿った側断面図である。図２２及び図２３に示された検査機６によれば、上述した一実施形態と同様に、移動ステージ６１，６２，６３から発生する粉塵の拡散を、カバー６０によって効果的に防止することができる。また、カバー６０の開口からの吸い込みによって、ホルダー６５の外縁６５ａの周囲での気体の滞留を効果的に防止することができる。さらに、送風部４１によって形成されるダウンフロー（下方への気流）により、ホルダー６５の周囲およびフォトマスクの周囲での気体の滞留を効果的に防止することができ、また降塵によるフォトマスク上への粉塵の堆積を効果的に防止することができる。

なお、図２３に示された例において、ホルダー６５は、下方および一側側方からフォトマスクの側縁部に対面するＬ字形の板状部材となっている。クランプ６７が、フォトマスクの他側側方に位置している。クランプ６７の爪６７１およびホルダー６５の爪６５１は、フォトマスクの側縁に係合する凹部６９を有している。

また、検査機６だけでなく、ロボット５について前記のカバー６０と同様のカバーを用いることも可能である。図２４は、カバー（ロボットカバー）５５をロボット５に設けた例であり、ロボット５のアーム５１等を設置したステージ（駆動ステージ）５２、さらにステージ５２の下方の柱部５３と基部５４を覆うように、上面に開口を有するカバー（ロボットカバー）５５が設けられている。カバー５５によってロボット５の駆動部等から発生しうる粉塵の拡散が防止される。またカバー５５内の排気を前記のカバー６０と同様に行ってカバー５５内の粉塵をクリーンルーム８の外に直接排出することも可能であり、前記と同様の効果が得られる。

さらに、本実施形態の検査機６はフォトマスク１０の検査を行うものであるが、検査対象はフォトマスク以外であってもよく、この場合も検査対象の検査面の汚染を防ぐことが可能である。

なお、以上において上述した一実施形態に対するいくつかの変形例を説明してきたが、当然に、複数の変形例を適宜組み合わせて適用することも可能である。

以上、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されない。当業者であれば、本願で開示した技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

Claims

検査対象を下から撮影するカメラと、
前記検査対象の撮影位置を定めるための移動ステージと、
前記移動ステージの上方に設けられ、前記検査対象の側辺を保持するホルダーと、
を有する検査機が配置された検査室を備え、
前記検査室の上部に、下方への気流を送出する送風部が設けられ、
前記移動ステージが、上面に開口を有するカバーで覆われ、
少なくとも一部で、前記カバーの開口縁が前記ホルダーの外縁の内側に位置することを特徴とする検査装置。
前記カバー内の排気が行われることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
前記カバー内の排気により、前記カバー内の粉塵が、前記検査装置が配置されたクリーンルームの外に排出されることを特徴とする請求項２に記載の検査装置。
前記検査室と開口部を介して通じ、前記検査対象を搬送するロボットが配置されたロボット室を更に備え、
前記ロボット室の下部に開口が設けられることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の検査装置。
前記開口部の下縁の高さ位置が前記ホルダーより下であることを特徴とする請求項４に記載の検査装置。
前記ロボットのステージが、上面に開口を有するカバーで覆われることを特徴とする請求項４または請求項５に記載の検査装置。
検査機と、
前記検査機の上方に配置され、下方への気流を形成する送風部と、を備え、
前記検査機は、
検査対象を保持するホルダーと、
前記検査対象を撮影するカメラと、
前記ホルダー及び前記カメラの一方と接続し、且つ、前記ホルダー及び前記カメラの前記一方とともに前記ホルダー及び前記カメラの他方に対して相対移動する移動ステージと、
前記移動ステージを前記ホルダーから区画するカバーと、を有する、検査装置。
前記カバーの前記ホルダーまたは前記ホルダーによって保持された前記検査対象に対面する位置に開口が形成されている、請求項７に記載の検査装置。
前記移動ステージ及び前記カバーは、前記ホルダーの下方に配置され、
前記カバーの前記ホルダーまたは前記ホルダーによって保持された前記検査対象に下方から対面する位置に開口が形成され、
少なくとも一部で、前記カバーの開口縁が前記ホルダーの外縁の内側に位置する、請求項７に記載の検査装置。
前記カバー内の排気が行われる、請求項７に記載の検査装置。
前記カバー内の排気により、前記カバー内の粉塵が、前記検査装置が収容されているクリーンルームの外に排出される、請求項１０に記載の検査装置。
前記検査機を収容する検査室内に設けられたイオナイザーを、さらに備える、請求項７に記載の検査装置。
前記検査機を収容する検査室内に設けられ前記送風部の吹き出し口に接続した整流板を、さらに備える、請求項７に記載の検査装置。
前記検査機を収容する検査室を区画する壁に、前記検査室の外に通じる検査室排気口が設けられており、
前記検査室排気口の下縁の高さ位置は、前記ホルダー以下である、請求項７に記載の検査装置。
前記検査室開口は、吸引手段に通じている、請求項１４に記載の検査装置。
前記検査機を収容する検査室を区画する壁に、前記検査室内の前記検査機へ前記検査対象を搬送するための通過口が設けられており、
前記通過口の下縁の高さ位置は、前記ホルダー以下である、請求項７に記載の検査装置。
前記検査機に前記検査対象を搬送するロボットを、さらに備え、
前記検査機は、検査室内に収容され、
前記ロボットは、前記検査室に通過口を介して通じたロボット室内に設けられ、
前記ロボット室を区画する壁に、前記ロボット室の外に通じるロボット室排気口が設けられており、
前記ロボット室排気口の下縁の高さ位置は、前記ホルダー以下である、請求項７に記載の検査装置。
前記ロボット室排気口は、吸引手段に通じている、請求項１７に記載の検査装置。
前記検査機に前記検査対象を搬送するロボットを、さらに備え、
前記検査機は、検査室内に収容され、
前記ロボットは、前記検査室に通過口を介して通じたロボット室内に設けられ、
前記ロボット室を区画する壁に、前記ロボット室の外に通じるロボット室排気口が設けられており、
前記ロボット室排気口は、前記通過口に対面する位置からずれた位置に設けられている、請求項７に記載の検査装置。
前記検査機に前記検査対象を搬送するロボットを、さらに備え、
前記ロボットは、
前記検査対象を保持するアームと、
前記アームと接続し前記アームを駆動する駆動ステージと、
前記駆動ステージを前記アームから区画するロボットカバーと、を有する、請求項７に記載の検査装置。
前記駆動ステージ及び前記ロボットカバーは、前記アームの下方に配置され、
前記ロボットカバーの前記アームに対面する上面に開口が形成され、
少なくとも一部で、前記ロボットカバーの開口縁が前記アームの外縁の内側に位置する、請求項２０に記載の検査装置。
前記ロボットカバー内の排気が行われる、請求項２１に記載の検査装置。
前記ロボットカバー内の排気により、前記ロボットカバー内の粉塵が、前記検査装置が収容されているクリーンルームの外に排出される、請求項２２に記載の検査装置。
前記ロボットを収容するロボット室内に設けられたイオナイザーを、さらに備える、請求項２０に記載の検査装置。
前記ロボットを収容するロボット室内に設けられ前記送風部の吹き出し口に接続した整流板を、さらに備える、請求項２０に記載の検査装置。
前記ホルダーは、前記検査対象の前記カメラによって撮影される検査面が下方を向くようにして、前記検査対象を保持する、請求項７〜２５のいずれか一項に記載の検査装置。
前記ホルダーは、前記検査対象の前記カメラによって撮影される検査面が側方を向くようにして、前記検査対象を保持する、請求項７〜２５のいずれか一項に記載の検査装置。
検査対象を検査する検査機を収容した検査室と、
前記検査機に前記検査対象を搬送するロボットを収容したロボット室と、を備える、検査装置であって、
前記検査室と前記ロボット室とを区画する壁に、前記ロボットによって前記検査機へ搬送される前記検査対象が通過する通過口が設けられ、
前記ロボット室を区画する壁に、前記ロボット室の外に通じるロボット室排気口が設けられ、
前記ロボット室排気口は、前記通過口に対面する位置からずれた位置に設けられている、検査装置。
検査対象を検査する検査機と、
前記検査機に前記検査対象を搬送するロボットと、
前記検査機及び前記ロボットの上方に配置され、下方への気流を形成する送風部と、を備え、
前記ロボットは、
前記検査対象を保持するアームと、
前記アームと接続し前記アームを駆動する駆動ステージと、
前記駆動ステージを前記アームから区画するロボットカバーと、を有する、検査装置。