JPH09153531A

JPH09153531A - クリーン度の高い検査装置

Info

Publication number: JPH09153531A
Application number: JP33823195A
Authority: JP
Inventors: Kaoru Fujiwara; 馨藤原; Motohiro Kuji; 基弘久慈
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1995-11-30
Filing date: 1995-11-30
Publication date: 1997-06-10

Abstract

(57)【要約】【課題】従来の検査装置の場合には、装置本体内に空
気を送風してもウエハチャックとその上方でプローブカ
ードが固定されたヘッドプレートを含む天板との間の隙
間が狭く、この隙間に気流を十分に通すことができずウ
エハチャックに付着したパーティクルを除去できない。【解決手段】本検査装置は、半導体ウエハ１を収納す
る収納空間２と、この収納空間２の半導体ウエハ１を搬
送するピンセット３と、このピンセット３により搬送さ
れた半導体ウエハ１を載置するウエハチャック５と、こ
のウエハチャック５上の半導体ウエハ１と接触してその
電気的検査を行う接触子とを装置本体７内に備え、ウエ
ハチャック５に、その表面に向けて送風する送風手段５
１を設けたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、クリーン度の高い
検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の検査装置は、通常、カセット単位
で搬入された半導体ウエハ等の被処理体を収納する収納
部と、この収納部の後方に隣接しカセット内の被処理体
を搬送するピンセットと、このピンセットにより搬送さ
れた被処理体を授受する載置台と、この載置台上の被処
理体にプローブ針等の接触子を接触させて電気的検査を
行うプローブカードとを備えて構成されている。そし
て、ピンセットにより被処理体をカセット内から取り出
してプリアライメントする。次いで、ピンセットにより
被処理体を載置台上へ引き渡し、更に載置台をＸ、Ｙ、
及びθ方向へ移動させて被処理体を検査位置へアライメ
ントした後、載置台をＺ方向をオーバードライブしてそ
の被処理体と接触子とを接触させ、テスタからの信号を
受信して所定の電気的検査を行っている。

【０００３】従来から検査装置は上述のように成膜工程
やエッチング工程などの前工程で形成された集積回路の
電気的検査を行う場合に用いられるため、前工程のよう
にパーティクルが問題になることは少ない。しかし、パ
ーティクルが極力発生せず、パーティクルの少ない環境
で被処理体の検査をすることが望ましい。ところが、検
査装置本体内には搬送機構や載置台の駆動機構等が存在
するため、これらの駆動機構等から僅かではあるが塵埃
等のパーティクルを発生する。そのため、従来から検査
装置は排気ファン等を装備し、装置本体内の空気を排気
すると共に装置本体内での蓄熱を防止するようにしてい
る。

【０００４】また、検査装置は一般には上述したように
集積回路が形成された被処理体について検査を行うもの
であるが、検査装置の中には特殊な使い方をするものが
ある。例えば、半導体製造工場を建設し、前工程を立ち
上げて本稼働する前などに、各工程の装置が本来の性能
通りに稼働するか否かを調べるために、前工程で処理さ
れた被処理体をサンプリングし、その被処理体について
検査を行う場合がある。このような場合には、検査後の
被処理体を元の工程へ戻し、引き続きその後の処理を行
うことがある。そのため、処理工程に戻された検査後の
被処理体にパーティクルが付着していることは好ましく
ない。このような場合にはパーティクルに対して特別の
対策が必要である。そこで、例えば装置本体内で空気の
下降流を作り、装置本体内のパーティクルが被処理体に
付着しないようにしたものがある。尚、パーティクルと
はゴミ、金属、有機物、人体から発生する塵埃等の浮遊
粒子の総称である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
検査装置の場合には、空気の下降流によりウエハチャッ
ク等のパーティクルを除去し、そのパーティクルを排気
するようにしてあるが、カセット、ピンセット及び載置
台等が装置本体内の面積の大部分を占め、これらが下降
流の抵抗体となって下降流の乱流を生じ、乱流によりパ
ーティクルが舞い上がってパーティクルを装置本体内か
ら効果的に排出、除去することができず、ひいてはパー
ティクルがウエハチャックに付着し、このパーティクル
が被処理体を汚染するとう課題があった。また、このよ
うに外部から装置本体内に空気を送風してもウエハチャ
ックとその上方でプローブカードが固定されたヘッドプ
レートを含む天板との間の隙間が狭く、この隙間に気流
を十分に通すことができずウエハチャックに付着したパ
ーティクルを除去できないという課題があった。

【０００６】本発明は上記課題を解決するためになされ
たもので、装置本体内で塵埃等のパーティクルが発生し
たり装置本体内にパーティクルが侵入したりすることが
あっても、また、天板と載置台間の隙間が狭くてもパー
ティクルがウエハチャック、サブチャック等の載置台に
付着することがないクリーン度の高い検査装置を提供す
ることを目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、検査装置
内での塵埃等のパーティクルの原因及びその挙動につい
て種々検討した結果、ウエハチャック等の載置台に特定
の防塵対策を講じることにより載置台に対するパーティ
クルの付着を防止できることを知見した。

【０００８】本発明は上記知見に基づいてなされたもの
で、請求項１に記載の検査装置は、被処理体を収納する
収納部と、この収納部の被処理体を搬送する搬送機構
と、この搬送機構により搬送された被処理体を載置する
載置台と、この載置台上の被処理体と接触してその電気
的検査を行う接触子とを装置本体内に備えた検査装置に
おいて、上記載置台に、その表面に向けて送風する送風
手段を設けたことを特徴とするものである。

【０００９】また、本発明の請求項２に記載の検査装置
は、被処理体を収納する収納部と、この収納部の被処理
体を搬送する搬送機構と、この搬送機構により搬送され
た被処理体を載置する載置台と、この載置台上の被処理
体と接触してその電気的検査を行う接触子とを装置本体
内に備えた検査装置において、上記装置本体内の空間を
その一側面からその対向側面に向かって流れる水平空気
流を作る送風手段を上記一側面に設けると共に少なくと
も上記対向側面に上記水平空気流を排出する排気手段を
設け、更に、上記載置台に沿って流れる上記水平気流を
整流する整流部材を上記載置台に設けたことを特徴とす
るものである。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、図１〜図１１に示す実施例
に基づいて本発明を説明する。本実施形態の検査装置
は、図１に示すように、被処理体として例えば２５枚の
半導体ウエハ１が収容されたカセットＫを載置、収納す
る収納空間２と、この収納空間２の後方に配置され且つ
半導体ウエハを搬送機構例えば上下２段のピンセット３
により搬送する搬送空間４と、この搬送空間４内のピン
セット３を介して半導体ウエハ１をウエハチャック５に
おいて授受し且つウエハチャック５上の半導体ウエハ１
にプローブ等の接触子（図示せず）を接触させて電気的
検査を行う検査空間６とを備え、クリーンルーム内に設
置されている。そして、各空間２、４、６により装置本
体７内の空間が形成されている。収納空間２と搬送空間
４は透明アクリル板等からのプラスチック製の仕切板８
により検査空間６から仕切られている。そして、ピンセ
ット３、ウエハチャック５等の駆動機構は図示しない制
御装置の制御下で駆動するようにしてある。

【００１１】上記収納空間２内にはインデクサ（図示せ
ず）が昇降可能に配設され、このインデクサが制御装置
の制御下で所定量昇降した位置でピンセット３によりカ
セットＫ内の半導体ウエハ１を出し入れし、ウエハチャ
ック５との間で半導体ウエハ１を搬送するようにしてあ
る。また、収納空間２の天板には矩形状の開口部２Ａが
形成され、この開口部２Ａの正面（図１の手前）側の１
辺を除く３辺にパーティション９が空気導入部材として
立設され、このパーティション９及び開口部２Ａを介し
て空気の下降流（図１の矢印Ａ）が収納空間２内へ導入
されるようになっている。また、上昇端にあるインデク
サにカセットＫを載置すると、パーティション９がカセ
ットＫの正面以外の三面を囲むようにしてある。

【００１２】上記搬送空間４内のピンセット３は進退動
可能で且つθ方向で回転可能に構成され、カセットＫ内
の半導体ウエハ１を出し入れすると共に、隣接する検査
空間６内のウエハチャック５との間で半導体ウエハ１を
搬送し、ウエハチャック５との間で半導体ウエハ１を授
受するようにしてある。また、図示してないが、搬送空
間４内にはサブチャックが配設され、ピンセット３によ
り取り出した半導体ウエハ１をサブチャック上に載置
し、ここで検査空間６内へ搬送する直前に半導体ウエハ
１をプリアライメントするようにしてある。

【００１３】上記ウエハチャック５は昇降可能で且つθ
方向で回転可能に構成され、図１に示すようにＸテーブ
ル１０上に配設されている。Ｘテーブル１０はＸ方向で
往復移動可能にＹテーブル１１上に配設され、Ｙテーブ
ル１１はＹ方向で往復移動可能に基台１２上に配設され
ている。また、検査空間６内にはアライメント機構を構
成するアライメントブリッジ１３がウエハチャック５の
上方を左右に横断すると共に前後方向で往復移動可能に
配設され、ウエハチャック５上に半導体ウエハ１が載置
された時にアライメントブリッジ１３がウエハチャック
５の上方へ進出し、ウエハチャック５がＸ、Ｙ及びθ方
向で移動する間に図示しないＣＣＤカメラ等を用いて半
導体ウエハ１を所定の検査位置に位置合わせするように
してある。

【００１４】ところで、上記装置本体７の正面には図１
に示すように第１、第２ファンフィルターユニット（以
下、「ＦＦＵ」と称す。）１４、１５が配設され、これ
らのＦＦＵ１４、１５により装置本体７内の空間で正面
側から背面側への水平流を作るようにしてある。尚、第
１、第２ＦＦＵ１４、１５は同一の構成部材によって構
成されている。また、装置本体７の背面及び右側面には
装置本体７内の水平流（図１の矢印Ｂ、矢印Ｃ）を装置
本体７外へ排出する排気手段としての排気ダクト１６が
第１、第２ＦＦＵ１４、１５の高さに略一致させて配設
されている。この排気手段は図示しない排気ファンを有
し、排気ファンにより排気ダクト１６を介して装置本体
７内の水平気流を排出するようにしてある。

【００１５】第１ＦＦＵ１４は、例えば図２に示すよう
に、下方から上方に向けて空気を送風するブロワー１４
Ａと、収納空間２の正面に配設されたフィルター例えば
ＵＬＰＡフィルター１４Ｂと、これらを収納するケーシ
ング１４Ｃとを備え、ブロワー１４Ａから送風された空
気をＵＬＰＡフィルター１４Ｂによって除塵し、除塵後
の空気を同図の矢印で示すように収納空間２の前方から
搬送空間４の後方へ水平に流す、いわゆる空気のサイド
フローを作るように構成されている。また、第２ＦＦＵ
１５は検査空間６を正面側から背面側へ向かう空気のサ
イドフローを作るようにしてある。第１、第２ＦＦＵ１
４、１５による気流の流速は制御装置によってパーティ
クルの除去に適した流速例えば０.３〜０.５ｍ／秒にそ
れぞれ制御されている。尚、図示してないが、収納空間
２正面の壁面には除塵後の空気が流入する開口部が形成
されている。また、図２では内部の構成機器は省略し、
気流のみを図示してある。

【００１６】また、上記排気ダクト１６は、収納空間２
の右側面から搬送空間４及び検査空間６の背面全体に渡
るように略Ｌ字状に形成されている。そして、排気ダク
ト１６と装置本体７との境界面は例えばパンチングプレ
ート１６Ａにより形成され、パンチングプレート１６Ａ
を介して水平気流を図１の矢印Ｄ、Ｅ、Ｆで示すように
排出するようにしてある。即ち、収納空間２内へ送風さ
れた除塵後の空気はカセットＫを通りパーティション９
から流入した空気を随伴し、搬送空間４の右側面のパン
チングプレート（図示せず）から排気ダクト１６を経由
して外部へ排出されるようにしてある。この排気流は検
査空間６からパンチングプレート１６Ａを通過して排気
ダクト１６を流れる排気流と合流し、装置本体７外へ矢
印Ｆで示すように排出されるようになっている。尚、排
気ダクト１６は他の排気ダクトに連結されてクリーンル
ーム外へ排出するようにしても良く、必要に応じて第１
ＦＦＵ１４により空気の除塵を行った後装置本体７内へ
戻し循環利用するようにしても良い。

【００１７】更に、上記ウエハチャック５には図１、図
３及び図４の（ａ）、（ｂ）に示すようにウエハチャッ
ク５の表面に向けて送風する送風手段５１が付設され、
この送風手段５１によりパーティクルがウエハチャック
５に載置された半導体ウエハ１に付着するのを防止する
ようにしてある。この送風手段５１は、例えば両端が閉
じた細長形状の筒体５１Ａと、この筒体５１Ａをウエハ
チャック５の周面に固定する固定脚５１Ｂと、上記筒体
５１Ａの一端に接続された空気配管５１Ｃと、図示しな
い空気供給源とを有している。そして、図４の（ａ）、
（ｂ）で拡大して示すように筒体５１Ａにはスリット５
１Ｄが長手方向に形成され、更にこのスリット５１Ｄに
例えばＵＬＰＡフィルター(Ultra Low Penetoration A
ir-filter)５１Ｅが被覆されている。スリット５１Ｄ
は、図３の（ａ）に示すように、筒体５１Ａの下端より
ウエハチャック５寄りに形成され、図３の（ａ）で示す
ように除塵後の空気をウエハチャック５の表面に向けて
斜め下方に吹き付け、ウエハチャック５の全表面に沿っ
て流れてパーティクルを吹き飛ばすようにしてある。
尚、この筒体５１Ａはウエハチャック５より直径が多少
大きなリング状に形成したものであっても良い。また、
スリット５１Ｄの代わりに長手方向に沿って複数の噴出
孔を設けても良い。また、筒体５１Ａ等はＵＬＰＡフィ
ルター５１Ｅにより全体が被覆されたものであっても良
い。

【００１８】また、図５に示すようにピンセット３の背
面側にはボード１７からピンセット３を隔離する隔離板
１８が配設され、この隔離板１８によって搬送空間４内
の気流をその右側面の排気ダクト１６へ排出し、ボード
１７の発熱に伴う熱対流を隔離すると共にボード１７か
ら半導体ウエハ１へパーティクルが付着しないようにし
てある。

【００１９】また、収納空間２及び搬送空間４と検査空
間６を仕切る仕切板８には、図６に示すように、ピンセ
ット３が半導体ウエハ１をウエハチャック５へ引き渡す
ための、あるいはウエハチャック５上の半導体ウエハ１
を受け取るための開口部８Ａが形成されている。この開
口部８Ａには例えば下側でヒンジ結合された片開きの扉
８Ｂが同図の矢印で示すように開閉可能に取り付けら
れ、ピンセット３がウエハチャック５との間で半導体ウ
エハ１を授受する時にのみ扉８Ｂが制御装置の制御下で
エアシリンダ等の駆動機構により開放するようにしてあ
る。従って、ピンセット３とウエハチャック５との間で
半導体ウエハ１を授受しない時には、扉８Ｂが閉じて収
納空間２及び搬送空間４と検査空間６とを区画し、仕切
８の両側の空間の気流を個別に制御できるようにしてあ
る。

【００２０】上記検査空間６の底面１９の開口部には図
７に示すように薄型（例えば３５ｍｍ）のＨＥＰＡフィ
ルター(High Efficiency Particulate Air-filter)２０
が取り付けられ、このＨＥＰＡフィルター２０によりウ
エハチャック５等の抵抗体で乱れた下降流を除塵した後
外部（クリーンルーム）へ排出するようにしてある。

【００２１】また、検査空間６の４箇所のコーナー部に
は図８に示すように丸み２１が付けてあり、これらの丸
み２１によりサイドフローが検査空間６の内側面に従っ
て円滑に流れ、コーナー部でのパーティクルの溜まりを
防止するようにしてある。尚、図示してないが、このよ
うな丸み２０は収納空間２及び搬送空間４のコーナー部
にも設けられている。

【００２２】更に、図９に示すように検査空間６内のア
ライメントブリッジ１２のガイドレールのような摺動部
１２Ａにカバー１２Ｂが設けられ、このカバー１２Ｂに
より摺動部１２Ａで発生するパーティクルが飛散するの
を防止するようにしてある。その他の摺動部にも同様に
対策を講じることができる。また、ウエハチャック５の
制御用ケーブルが受けるケーブルベア等の摺動部には発
塵し難い四フッ化樹脂等からなるテープを張り付けて発
塵を防止するようにしても良い。

【００２３】次に動作について説明する。まず、例えば
オペレータがカセットＫを収納空間２のインデクサ上に
載置する。その後、第１、第２ＦＦＵ１４、１５のブロ
ワー１４Ａ等を駆動すると、ブロワー１４Ａからクリー
ンルームの空気がハウジング１４Ｃ内に吸引される。こ
の空気はＵＬＰＡフィルター１４Ｂ等により除塵された
後、収納空間２及び検査空間６の開口部からそれぞれの
空間内へ送風される。収納空間２内ではインデクサが昇
降して所定の位置で停止した後、ピンセット３が駆動し
て所定の半導体ウエハ１をカセットＫから取り出す。

【００２４】この時、第１ＦＦＵ１４により収納空間２
内では正面から背面に向かう空気のサイドフローが形成
されている。このサイドフローは収納空間２内のカセッ
トＫを前後方向に横切ると共にパーティション９から導
入されたクリーンルームの空気を随伴して搬送空間４内
のピンセット３を前後方向に横切り、ピンセット３の背
面側の隔離板１８に衝突する。この時、搬送空間４の左
側には仕切板８があるためサイドフローは右側面に向き
を変えてパンチングプレート１６Ａから排気ダクト１６
へ流出する。

【００２５】また、ピンセット３等の駆動機構において
パーティクルが発生しても、このようなパーティクルは
サイドフローにより半導体ウエハ１の下流側へ流れ、し
かも、収納空間２及び搬送空間４のコーナー部には丸み
が付けてあるため、コーナー部では丸みに沿って流れ、
パーティクルが搬送空間４内に滞留することなく円滑に
排気ダクト１６へ排出される。

【００２６】このように収納空間２及び搬送空間４内で
は空気流がサイドフローになっているため、カセットＫ
やピンセット３によるサイドフローの乱れが抑制され、
パーティクルを円滑に排気ダクト１６へ排出することが
できる。また、オペレータに起因する塵埃等のパーティ
クルが開口部２Ａから侵入し、あるいはピンセット３の
駆動等によりパーティクルが発生しても、これらのパー
ティクルは空気のサイドフローに随伴して半導体ウエハ
１に付着する間もなく排気ダクト１６へ排出され、収納
空間２及び搬送空間４内におけるパーティクルの滞留を
防止することができる。このような状態でピンセット３
がカセットＫから検査空間６へ搬送すると、仕切板８の
扉８Ｂが開いて開口部８Ａを開放する。

【００２７】一方、検査空間６ではウエハチャック５が
半導体ウエハ１を受け取る位置で既に待機している。従
って、ピンセット３がθ方向に９０°回転してカセット
Ｋから検査空間６へ向きを変え、仕切板８の開口部８Ａ
から検査空間６へ進出すると、半導体ウエハ１がウエハ
チャック５の真上に来る。ウエハチャック５の昇降ピン
（図示せず）が上昇し、ウエハチャック５により半導体
ウエハ１をピンセット３から受け取る。

【００２８】この間、検査空間６ではウエハチャック５
に送風手段５１により除塵後の空気がウエハチャック５
の上面、あるいは半導体ウエハ１の表面に吹き付けられ
ている。この時第２ＦＦＵ１５により検査空間６内では
正面から背面に向かう空気のサイドフローが形成されて
おり、このサイドフローは半導体ウエハ１を移載する時
のピンセット３及びウエハチャック５を横切り、送風手
段５１からの空気流と合流してパンチングプレート１６
Ａから排気ダクト１６へ流出する。また、検査空間６の
コーナー部には丸み２１が設けてあるため、サイドフロ
ーはコーナー部では丸み２１に沿って流れ、流れが滞留
することなく円滑に排気ダクト１６へ流れる。

【００２９】このように検査空間６内では送風手段５１
からウエハチャック５の上面に除塵後の空気を吹き付け
ているため、送風手段５１による空気流によりウエハチ
ャック５に付着した、あるいは付着しようとするパーテ
ィクルを吹き飛ばし、ウエハチャック５へのパーティク
ルの付着を防止する。また、検査空間６内では空気のサ
イドフローが形成されているため、ウエハチャック５や
ピンセット３による抵抗が比較的小さく、検査空間６内
でのサイドフローの乱れが抑制され、パーティクルは送
風手段５１により吹き飛ばされたパーティクルと共に排
気ダクト１６へ円滑に排出される。また、ウエハチャッ
ク５の駆動等により塵埃などのパーティクルが発生して
も、このようなパーティクルは送風手段５１からの空気
流とサイドフローによりウエハチャック５の下流側へ流
れ、しかも、コーナー部ではパーティクルは丸み２１に
沿って流れ、検査空間６内に滞留することなくサイドフ
ローに随伴して排気ダクト１６へ排出される。更に、ウ
エハチャック５、Ｘ、Ｙテーブル１０、１１による抵抗
でサイドフローが乱れても、その一部は底面１８のＨＥ
ＰＡフィルター１９から外部へ流出するため、乱流の影
響が軽減される。

【００３０】また、ウエハチャック５で半導体ウエハ１
を受け取ると、アライメントブリッジ１２が駆動してウ
エハチャック５上の半導体ウエハ１を所定の検査位置に
位置合わせする。この時、ガイドレールのような摺動部
１２Ａでパーティクルが発生しても、カバー１２Ｂによ
りパーティクルの拡散を防止し、カバー１２Ｂに沿って
流れるサイドフローによりパーティクルを排気ダクト１
６へ排出する。

【００３１】以上説明したように本実施形態によれば、
ウエハチャック５に、その表面に向けて送風する送風手
段５１を設けたため、装置本体７内で塵埃等のパーティ
クルが発生したり装置本体７内にパーティクルが侵入し
たりすることがあっても、また、ヘッドプレートとウエ
ハチャック５間の隙間が狭くても、送風手段５１によっ
て隙間に気流を作ることができ、この気流によりパーテ
ィクルをウエハチャック５から吹き飛ばして除去するこ
とができ、パーティクルがウエハチャック５に付着する
ことがない。従って、検査後の半導体ウエハ１へのパー
ティクルの付着を防止することができ、半導体製造の前
工程の各種装置の性能評価にも有効に利用することがで
きる。

【００３２】また、本発明の他の実施形態では、上記送
風手段５１に代えてウエハチャック５の周囲に図１０に
示すように肉厚の断面形状が外周から内周に向かって漸
増するリング状の整流部材２２を装着することができ
る。この整流部材２２により検査空間６内のサイドフロ
ーの層流状態を極力乱すことなくサイドフローをウエハ
チャック５の表面側に導入し、ウエハチャック５とヘッ
ドプレート間に気流を作って下流側へ円滑に流し、ウエ
ハチャック５上面でのパーティクルの付着を防止すると
共に、検査空間６内でのパーティクルの散乱を抑制する
ことができる。従って、本実施形態においても上記実施
形態に準じた作用効果を期することができる。

【００３３】また、上記各実施形態の検査装置は図１１
に示すように除塵室（以下、「クリーンブース」と称
す。）３０内に配置したクローズドシステムを構成する
ことにより装置本体７内のクリーン度をより効果的に高
めることができる。即ち、このクリーンブース３０は、
同図に示すように、装置本体７を囲む枠体３１と、この
枠体３１の周囲に取り付けられた透明アクリル板等から
なる側板３２と、天面３３に配列された複数のＦＦＵ３
４と、これらのＦＦＵ３４へ送風するブロワー３５とを
備え、例えば清浄度クラス１０のクリーン度を保持する
ようにて構成されている。また、検査装置の排気ダクト
１６はブロワー３５の吸引ダクトに連結され、装置本体
７内から排気された空気を循環使用するようにしてあ
る。

【００３４】また、図示してないが、装置本体７の正面
側の側板３２には開閉扉が設けられており、半導体ウエ
ハ１を装置本体７に対して出し入れする時には開閉扉を
開放し、この部分でカセットＫの搬入搬出を行えるよう
にしてある。また、クリーンブース３０内の圧力はクリ
ーンルームの圧力より多少高く、例えば０.２〜０.３ｍ
ｍＨ₂Ｏだけ高い陽圧に設定できるようにしてある。

【００３５】従って、本実施形態の場合には、クリーン
ブース３０のブロワー３５を駆動すると共に検査装置の
第１、第２ＦＦＵ１４、１５のブロワーを駆動すると、
クリーンブース３０内ではＦＦＵ３４による除塵後の空
気が天面３３から下向きに流れてダウンフローを作る。
この時クリーンブース３０内の空気はＦＦＵ３４により
清浄度クラス１０のクリーン度に調整している。そし
て、クリーンブース３０内はクリーンルームより陽圧に
なっているため、クリーンルームからの空気の流入を防
止することができ、内部のクリーン度をクリーンルーム
のクリーン度に左右されることなく清浄度クラス１０に
保持することができる。

【００３６】尚、本発明は上記実施形態に何等制限され
るものではなく、送風手段及び整流部材は必要に応じて
適宜設計変更することができる。

【００３７】

【発明の効果】本発明の請求項１及び請求項２に記載の
発明によれば、装置本体内で塵埃等のパーティクルが発
生したり装置本体内にパーティクルが侵入したりするこ
とがあっても、また、天板と載置台間の隙間が狭くても
パーティクルがウエハチャック、サブチャック等の載置
台に付着することがないクリーン度の高い検査装置を提
供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の検査装置の一実施形態を示す斜視図で
ある。

【図２】図１に示す検査装置の気流を説明するための断
面図である。

【図３】本発明の検査装置のウエハチャックを取り出し
て示す斜視図である。

【図４】（ａ）は図３に示すウエハチャックの要部断面
図、（ｂ）はその正面図である。

【図５】図１に示す検査装置の搬送空間を示す部分斜視
図である。

【図６】図１に示す検査装置の収納空間及び搬送空間と
検査空間との仕切板を示す斜視図である。

【図７】図１に示す検査装置の検査空間の底面を取り出
して示す斜視図である。

【図８】本発明の検査装置に好適に適用できるアライメ
ント機構を示す正面図である。

【図９】図１に示す検査装置の検査空間の概略を示す上
方からの平面図である。

【図１０】本発明の検査装置のウエハチャックの他の一
例を示す部分断面図である。

【図１１】本発明の検査装置の他の実施形態を示す斜視
図である。

【符号の説明】

１半導体ウエハ３ピンセット（搬送機構）５ウエハチャック（載置台）７装置本体１４第１送風手段１５第２送風手段１６排気ダクト（排気手段）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被処理体を収納する収納部と、この収納
部の被処理体を搬送する搬送機構と、この搬送機構によ
り搬送された被処理体を載置する載置台と、この載置台
上の被処理体と接触してその電気的検査を行う接触子と
を装置本体内に備えた検査装置において、上記載置台
に、その表面に向けて送風する送風手段を設けたことを
特徴とする検査装置。
【請求項２】被処理体を収納する収納部と、この収納
部の被処理体を搬送する搬送機構と、この搬送機構によ
り搬送された被処理体を載置する載置台と、この載置台
上の被処理体と接触してその電気的検査を行う接触子と
を装置本体内に備えた検査装置において、上記装置本体
内の空間をその一側面からその対向側面に向かって流れ
る水平空気流を作る送風手段を上記一側面に設けると共
に少なくとも上記対向側面に上記水平空気流を排出する
排気手段を設け、更に、上記載置台に沿って流れる上記
水平気流を整流する整流部材を上記載置台に設けたこと
を特徴とする検査装置。