JP6255152B2 - 検査装置 - Google Patents
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Description
さらに、このような異物の付着はウェハの回転速度の高速化、ウェハの大口径化等によりさらに顕著になることが予想される。従来技術では、この点に関する配慮が十分ではなかった。
102 照明光
103 基板
104 基板搭載装置
105 チャンバシステム
106 スピンドル
107 ステージ
108 散乱光
109、110 検出光学系
111 照明領域
113 処理部
114 表示部
201 チャンバ
202、203、204 気流供給部
205、206、207 気流
208、209、210 気流排気部
211 開口
301 下面
302 上面
Claims (12)
- 基板を回転させる回転部と、
少なくとも基板を覆うチャンバと、
前記基板に光を照射する照明光学系と、
前記基板からの光を検出する検出光学系と、
前記基板の上方より外周部へ供給する第1及び第2の供給部と、
供給された前記媒体を前記基板の外側で排気する第1及び第2の排気部と、を有し、
前記第1及び第2の供給部は、該第1及び第2の供給部のそれぞれから供給される媒体が、それぞれ螺旋状に下降する独立した層流となり、且つ基板上方から見たときに前記基板の回転方向に向かって前記媒体を供給するように構成され、
前記第1の排気部は、前記第1の供給部から供給された媒体によって形成される層流の到達位置に、前記第2の排気部は、前記第2の供給部から供給された媒体によって形成される層流の到達位置に設置され、
前記媒体の供給により前記チャンバの圧力は前記チャンバの下部に向かうに従い低くなり、該圧力の最小値は前記チャンバ外部の圧力より高くなることを特徴とする光学検査装置。 - 請求項1に記載の光学検査装置において、
前記チャンバの上面には開口が形成されており、
前記照明光学系は前記開口を経由して前記基板に前記光を照射し、
前記検出光学系は前記開口を経由した前記基板からの光を検出することを特徴とする光学検査装置。 - 請求項2に記載の光学検査装置において、
前記チャンバの高さは前記光を前記基板にブリュースター角で照明できることが可能な高さであることを特徴とする光学検査装置。 - 請求項2に記載の光学検査装置において、
前記第1及び第2の供給部は、前記上面において、前記開口より外側に配置されることを特徴とする光学検査装置。 - 請求項4に記載の光学検査装置において、
前記第1及び第2の供給部は、前記上面から所定の角度を持って前記媒体を供給することを特徴とする光学検査装置。 - 請求項4に記載の光学検査装置において、
前記第1及び第2の排気部は、前記基板が配置される場所よりも外側に配置されることを特徴とする光学検査装置。 - 請求項6に記載の光学検査装置において、
前記第1及び第2の排気部は、前記基板が配置される面に対して所定の角度を持って前記媒体を排気することを特徴とする光学検査装置。 - 請求項2に記載の光学検査装置において、
前記第1及び第2の供給部は、前記チャンバの側面に配置されることを特徴とする光学検査装置。 - 請求項8に記載の光学検査装置において、
前記第1及び第2の排気部は、前記チャンバの側面、かつ前記第1及び第2の供給部より前記基板に近い位置に配置されることを特徴とする光学検査装置。 - 請求項1に記載の光学検査装置において、
前記供給される媒体の向きは前記基板の回転と同じであることを特徴とする光学検査装置。 - 請求項1に記載の光学検査装置において、
前記チャンバの内面には、前記媒体の摩擦を低減する凹凸があることを特徴とする光学検査装置。 - 請求項1に記載の光学検査装置において、
前記第1及び第2の供給部の内部にガイドを有し、
前記第1及び第2の排気部の内部に凹凸を有することを特徴とする光学検査装置。
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