JP2018113383A - 検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
10:撮像手段
12:表示手段
24:テーブル
44:ウエーハ
48:デバイス
56:光源
64:ランダムアクセスメモリ(RAM)
64a:画像記憶部(画像記憶手段)
64b:位置記憶部(位置記憶手段)
Claims (3)
- 検査装置であって、
複数のデバイスが形成されたウエーハが載置されるテーブルと、該テーブルの外周に配設されウエーハの外周からウエーハに対して透過性を有する波長の光を照射する光源と、該テーブルに対面して配設されウエーハを撮像する撮像手段と、該撮像手段が撮像した画像を表示する表示手段と、
から、少なくとも構成される検査装置。 - 該撮像手段が撮像した画像を記憶する画像記憶手段と、欠陥の位置を記憶する位置記憶手段と、を含み構成される請求項1記載の検査装置。
- ウエーハを構成する基板はSiであり、ウエーハを透過する波長は1064〜3000nmである請求項1記載の検査装置。
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