JP2005043229A - 透明板欠陥検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明による透明板欠陥検査装置(1)は、透明板試料(2)の表面で全反射を生じるように、透明板試料(2)の側面から光を導入する側面光導入手段(4、5)と、導入された光が透明板試料(2)の表面又は内部の欠陥又は異物により散乱される散乱光を暗視野で検出する手段(6〜8)と備える。
また、側面光導入手段(4、5)として、ファイバーグレーティング素子を3重に重ねてライン状の光を形成し、これを透明板試料2の側面から導入する。
【選択図】 図1
Description
このように構成すると、試料内部に導入した光を用いて、透明板の欠陥を暗視野で検出できる装置を提供できる。なお、暗視野の形成には側面光導入手段が寄与している。
図1に、第1の実施の形態における透明板欠陥検査装置の構成を示す。1は透明板欠陥検査装置であり、2は透明板からなる欠陥検査用の試料である。透明板は例えば基板などに用いるガラス板、フォトマスクなどに用いる石英板、光学部品に用いるプラスチック板などである。光源3は可干渉性の光L1を発する光源3で、例えば半導体レーザが使用される。ファイバーグレーティング4により、試料2の一側面の前に置かれた拡散板5の表面に、ライン状に並んだ複数のスポット光を形成する。これらのスポット光は、拡散板5を通って、ほぼ等方向照射光となり、試料2の前記一側面から導入される。導入された光は、試料2表面に向かって進む光線を含み、これらの光線は試料の表面で反射される。
このように、本実施の形態における透明板欠陥検査装置1は、導入された光が透明板試料2の表面又は内部の欠陥又は異物により散乱される散乱光を暗視野で検出する手段を備える。散乱光を暗視野で検出する手段は、ビームスプリッタ6、撮像レンズ7、撮像素子8で構成される。また、側面光導入手段が暗視野を形成するのに寄与している。なお、図1において、34はシャッターであるが、第1の実施の形態では必ずしも必要ではない。
このように、本実施の形態における側面光導入手段は、ライン状の光を形成する手段を有する。ライン状の光を形成する手段は、ファイバーグレーティング4により構成される。
なお、ライン状の光はシリンドリカルレンズを用いても形成できる。しかし、ファイバーグレーティング4により形成したライン状の光は拡散板5を通すとほぼ等方向照射光となるのに対し、シリンドリカルレンズにより形成したライン状の光は拡散板を通しても一方向に収束気味になり、偏りを生じ易い。
本実施の形態における透明板欠陥検査装置は、試料内部に導入した光を用いて、透明板の欠陥を暗視野で検出できるので、試料内部の欠陥を検出しやすくなると共に、バックグラウンドノイズが小さくなり、鮮明な画像が得られる。さらに、透明板の表面での全反射を用いているので、検出用の光量を多くでき、さらに鮮明度を向上できる。
このように、本実施の形態における透明板欠陥検査装置では、透明板試料の側面から導入する光と表面から導入する光束のいずれか一方を選択するスイッチング手段を備える。スイッチング手段はシャッター34、35により構成される。
このように、本実施の形態おける透明板欠陥検査装置は、暗視野で検出する手段による検出結果と明視野で検出する手段による検出結果を共に照合して、透明板試料2の表面状態を判定する判定手段を備える。判定手段は、データベース55と判定部56で構成される。
第2の実施の形態では光源32が低コヒーレンス光を発する光源を使用しているのに対して、光源42が白色光を発する光源を使用している点、明視野像を形成する光学系でコリメータレンズ43、集光レンズ44、ピンホール45が追加されている点は異なるが、明視野像を検出する機構は第2の実施の形態と同様であり、明視野と暗視野での検査を切り替えて行うことができる。
2 透明板試料
3 可干渉性の光を発する光源
4 ファイバーグレーティング
5 拡散板
6 ビームスプリッタ
7 撮像レンズ
8 撮像素子
9 スリット
10 投影面
10a ライン状の光
11 光ファイバー
12 第1のFG素子
13 第2のFG素子
14 第3のFG素子
21 試料表面
22 試料内部の欠陥
23 試料表面の欠陥
31 透明板欠陥検査装置における明視野での検査部分
32 低コヒーレンス光を発する光源
33 コリメータレンズ33
34 シャッター
35 シャッター
41 透明板欠陥検査装置における明視野での検査部分
42 白色光を発する光源
43 コリメータレンズ
44 集光レンズ
45 ピンホール
46 コリメータレンズ
51 メモリ
52 中央処理装置(CPU)
53 モニタ
54 制御部
55 データベース
56 判定部
L1 可干渉性の光
L2 試料表面に平行に近い角度で進む光線
L3 試料の欠陥による散乱光
L4 試料の表面に対してほぼ垂直方向に進む光
v1 第1のFG素子の光ファイバーの軸線の方向
v2 第2のFG素子の光ファイバーの軸線の方向
v3 第3のFG素子の光ファイバーの軸線の方向
θ v1又はv2とv3とがなす角度
φ 試料内部を進む光線と表面とがなす角度
Claims (6)
- 透明板試料の表面で全反射を生じるように、前記透明板試料の側面から光を導入する側面光導入手段と;
前記導入された光が前記透明板試料の表面又は内部の欠陥又は異物により散乱される散乱光を暗視野で検出する手段とを備える;
透明板欠陥検査装置。 - 前記側面光導入手段は、
ライン状の光を形成する手段を有する;
請求項1に記載の透明板欠陥検査装置。 - 前記側面光導入手段は、
前記ライン状の光を拡散して前記透明板試料の前記側面に導く拡散板を有する;
請求項1又は請求項2に記載の透明板欠陥検査装置。 - 前記ライン状の光を形成する手段は、
複数の光ファイバーを各光ファイバーの軸線を第1の方向に向けてほぼ平行に且つ平面状に並べた第1のファイバーグレーティング素子と、
複数の光ファイバーを各光ファイバーの軸線を第1の方向と異なる第2の方向に向けてほぼ平行に且つ平面状に並べた第2のファイバーグレーティング素子と、
複数の光ファイバーを各光ファイバーの軸線を第1、第2の方向と異なる第3の方向に向けてほぼ平行に且つ平面状に並べた第3のファイバーグレーティング素子を重ね合わせて構成されるファイバーグレーティングを有し;
前記ファイバーグレーティングは、前記各ファイバーグレーティング素子を構成する光ファイバーの軸線にほぼ垂直方向から可干渉光を入射されたときに、光が入射された側と反対側にある投影面にライン状の光を形成する;
請求項2又は請求項3に記載の透明板欠陥検査装置。 - 前記透明板試料の表面に垂直又は斜め方向からほぼ平行な光束を照射する手段と;
前記照射された光束が前記透明板試料の表面又は内部の欠陥又は異物により散乱される散乱光を明視野で検出する手段と;
前記透明板試料の前記側面から導入する光と前記表面から導入する光束のいずれか一方を選択するスイッチング手段とを備える;
請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の透明板欠陥検査装置。 - 前記暗視野で検出する手段による検出結果と前記明視野で検出する手段による検出結果を共に照合して、前記透明板試料の表面状態を判定する判定手段を備える;
請求項5に記載の透明板欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003277928A JP2005043229A (ja) | 2003-07-22 | 2003-07-22 | 透明板欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003277928A JP2005043229A (ja) | 2003-07-22 | 2003-07-22 | 透明板欠陥検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005043229A true JP2005043229A (ja) | 2005-02-17 |
Family
ID=34264491
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2003277928A Pending JP2005043229A (ja) | 2003-07-22 | 2003-07-22 | 透明板欠陥検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2005043229A (ja) |
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2003
- 2003-07-22 JP JP2003277928A patent/JP2005043229A/ja active Pending
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