JP6845023B2 - 検査装置 - Google Patents
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Description
10:撮像手段
12:表示手段
24:テーブル
44:ウエーハ
48:デバイス
56:光源
64:ランダムアクセスメモリ(RAM)
64a:画像記憶部(画像記憶手段)
64b:位置記憶部(位置記憶手段)
Claims (3)
- 検査装置であって、
複数のデバイスが形成されたウエーハが載置されるテーブルと、該テーブルの外周に配設されウエーハの外周からウエーハに対して透過性を有する波長の光を照射する光源と、該テーブルに対面して配設されウエーハを撮像する撮像手段と、該撮像手段が撮像した画像を表示する表示手段と、
から、少なくとも構成され、
該光源は、ウエーハの直径よりも大きい内径を有する環状板の上面に周方向に間隔をおいて複数配置されている検査装置。 - 該撮像手段が撮像した画像を記憶する画像記憶手段と、欠陥の位置を記憶する位置記憶手段と、を含み構成される請求項1記載の検査装置。
- ウエーハを構成する基板はSiであり、ウエーハを透過する波長は1064〜3000nmである請求項1記載の検査装置。
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