JP2010237048A - パターン検査装置およびパターン検査方法 - Google Patents
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Abstract
【構成】被検査試料に形成されたパターンを検査するパターン検査装置であって、ダウンフロー機構を有するチャンバと、チャンバ内に設けられる光源と、チャンバ内に設けられ、光源から射出される検査光を被検査試料に照射する照明光学系と、チャンバ内に設けられ、防風カバーで覆われ、被検査試料に照射された検査光を光学像として結像させる結像光学系と、チャンバ内に設けられ、光学像を取得する検出センサを備え、結像光学系内に、光学部品を移動するために、静止時電流を動作時電流より低減可能なステッピングモータを有することを特徴とするパターン検査装置。
【選択図】図1
Description
第1の実施の形態のパターン検査装置は、被検査試料に形成されたパターンを検査するパターン検査装置である。そして、ダウンフロー機構を有するチャンバと、チャンバ内に設けられる光源と、チャンバ内に設けられ、光源から射出される検査光を被検査試料に照射する照明光学系と、チャンバ内に設けられ、防風カバーで覆われ、被検査試料に照射された検査光を光学像として結像させる結像光学系と、チャンバ内に設けられ、光学像を取得する検出センサを備えている。そして、結像光学系内に、光学部品を移動するために、静止時電流を動作時電流より低減可能なステッピングモータを有する。
第2の実施の形態のパターン検査装置は、ステッピングモータの温度をモニタ可能な第1の温度計と、この第1の温度計の温度をモニタし、ステッピングモータの温度を、静止時電流を変化させることで制御する制御機構を有すること以外は第1の実施の形態と同様である。したがって、第1の実施の形態と重複する内容については、記載を省略する。
第3の実施の形態のパターン検査装置は、防風カバー内の雰囲気温度をモニタ可能な温度計と、防風カバー外の雰囲気温度をモニタ可能な別の温度計とを備える。そして、制御機構が、これらの温度計の温度をモニタし、防風カバー外の雰囲気温度と、防風カバー内の雰囲気温度との差が所定の値以下となるよう制御する機能を備えている。この構成以外は、第2の実施の形態と同様である。したがって、第2の実施の形態と重複する記載については記述を省略する。
第4の実施の形態のパターン検査装置は、防風カバー内の雰囲気を減圧雰囲気にすることを可能にする減圧機構を有すること以外は、第2の実施の形態と同様である。したがって、第2の実施の形態と、重複する記載については記述を省略する。
第5の実施の形態のパターン検査装置は、図1の制御機構がステッピングモータを静止状態から動作状態に移行させる際に、電流値が静止時電流の値から動作時電流の値へと移行後にパルスのカウントを行うよう制御する機能を有する。この構成以外は第1の実施の形態と同様である。したがって、第2の実施の形態と重複する記載については記述を省略する。
12 防風カバー
14 倍率切替機構
16 焦点距離調整機構
18 レンズユニット
20 第1のステッピングモータ
22 光軸
24 第1の温度計
26 第2のステッピングモータ
28 第2の温度計
30 制御機構
32 第3の温度計
34 第4の温度計
40 制御機構
50 真空ポンプ
60 光透過窓
100 マスク検査装置
103 光源
104 結像光学系
105 イメージセンサ
150 チャンバ
170 照明光学系
Claims (8)
- 被検査試料に形成されたパターンを検査するパターン検査装置であって、
ダウンフロー機構を有するチャンバと、
前記チャンバ内に設けられる光源と、
前記チャンバ内に設けられ、光源から射出される検査光を前記被検査試料に照射する照明光学系と、
前記チャンバ内に設けられ、防風カバーで覆われ、前記被検査試料に照射された前記検査光を光学像として結像させる結像光学系と、
前記チャンバ内に設けられ、前記光学像を取得する検出センサを備え、
前記結像光学系内に、光学部品を移動するために、静止時電流を動作時電流より低減可能なステッピングモータを有することを特徴とするパターン検査装置。 - 前記ステッピングモータの温度をモニタ可能な第1の温度計と、
前記第1の温度計の温度をモニタし、前記ステッピングモータの温度を前記静止時電流を変化させることで制御する制御機構を有することを特徴とする請求項1記載のパターン検査装置。 - 前記防風カバー内の雰囲気温度をモニタ可能な第2の温度計と、
前記防風カバー外の雰囲気温度をモニタ可能な第3の温度計とを備え、
前記制御機構が、前記第2および第3の温度計の温度をモニタし、前記防風カバー外の雰囲気温度と、前記防風カバー内の雰囲気温度との差が所定の値以下となるよう制御することを特徴とする請求項2記載のパターン検査装置。 - 前記防風カバー内を減圧雰囲気に制御する減圧機構を備えることを特徴とする請求項1ないし請求項3いずれか一項に記載のパターン検査装置。
- 前記制御機構が前記ステッピングモータを静止状態から動作状態に移行させる際に、電流値が静止時電流の値から動作時電流の値へと移行後にパルスのカウントを行うよう制御する機能を有することを特徴とする請求項1ないし請求項4いずれか一項に記載のパターン検査装置。
- 被検査試料に形成されたパターンを検査するパターン検査装置であって、
ダウンフロー機構を有するチャンバと、
前記チャンバ内に設けられる光源と、
前記チャンバ内に設けられ、光源から射出される検査光を前記被検査試料に照射する照明光学系と、
前記チャンバ内に設けられ、防風カバーで覆われ、前記被検査試料に照射された前記検査光を光学像として結像させる結像光学系と、
前記チャンバ内に設けられ、前記光学像を取得する検出センサを備え、
前記結像光学系内に、光学部品を移動するために、静止時電流を動作時電流より低減可能なステッピングモータを有するパターン検査装置を用いた検査方法であって、
前記被検査試料の光学画像の取得中は前記ステッピングモータを静止し、前記ステッピングモータに流す静止時電流を動作時電流よりも低減させることを特徴とするパターン検査方法。 - 前記ステッピングモータを静止状態から動作状態に移行する場合、前記ステッピングモータの電流が動作電流に達した後、パルスのカウントを始めることを特徴とする請求項6記載のパターン検査方法。
- 前記静止時電流を前記動作時電流の25%以下にすることを特徴とする請求項6または請求項7記載のパターン検査方法。
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2009
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