KR20120042608A - 처리 장치 - Google Patents

Abstract

장치의 대형화 및 복잡화나 소비 전력의 증대 등을 회피하면서 검사 등의 처리에 요구되는 환경을 얻는다. FPD 검사 장치(1)는, 워크 W를 반송하는 반송 스테이지(14?16)와, 반송 스테이지(14?16) 상을 이동하는 워크 W에 검사 라인 L15(처리 영역)에서 검사하는 검사 유닛(10)과, 반송 스테이지(14?16)와 검사 유닛(10)을 수용하는 반송부 외장(17, 19) 및 검사부 외장(18)과, 외장(17?19) 내에 크린에어를 송출하는 FFU(101)와, FFU(101)로부터 송출된 크린에어를 검사 유닛(10)으로 유도하는 풍동 C를 구비한다.

Description

처리 장치{PROCESSING DEVICE}

본 발명은, 처리 장치에 관한 것으로, 특히 플랫 패널 디스플레이용의 글래스 기판이나 반도체 기판이나 프린트 기판 등의 처리 대상 기판에서의 처리 장치에 관한 것이다.

통상, 플랫 패널 디스플레이(FPD) 기판이나 반도체 웨이퍼 등의 결함 검사는, 공간 내의 크린도가 높고, 소위 크린룸 내에서 행해진다. 일반적으로, 크린룸은, 입방체를 한 검출 공간의 천장에 대략 등간격으로 배치된 복수의 팬 필터 유닛(Fan Filter Unit:FFU)을 구비한다. 이 FFU가 송출하는 깨끗한 에어에 의해서 검출 공간 내에 다운 플로우가 형성됨으로써, 크린룸 내가 파티클 등의 더스트가 적은 깨끗한 상태로 유지된다. 또한, 예를 들면 이하에 기재하는 특허 문헌 1에는, 마루측에 복수의 기류 조정팬을 설치함으로써, 크린룸 내의 기류를 제어하는 기술이 개시되어 있다.

[특허 문헌 1] 일본 특허 공개 평8-114342호 공보

그러나, 상기한 종래의 크린룸에서는, 검사 등의 처리에 요구되는 환경을 얻기 위해서는, 검출 공간 전체에 다운 플로우를 형성함으로써, 검출 공간 내 전체를 깨끗한 상태로 유지할 필요가 있었다. 이 때문에, 동시에 복수의 FFU를 가동해야만 하여, 결과적으로, 장치의 대형화 및 복잡화나 소비 전력의 증대 등의 문제가 존재하였다.

따라서 본 발명은, 상기의 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 장치의 대형화 및 복잡화나 소비 전력의 증대 등을 회피하면서 검사 등의 처리에 요구되는 환경을 얻는 것이 가능한 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

이러한 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 양태에 의한 처리 장치는, 대상 기판을 반송하는 반송 스테이지와, 그 반송 스테이지 상을 이동하는 상기 대상 기판에 소정의 처리를 실시하는 처리 유닛을 구비한 처리 장치로서, 상기 반송 스테이지와 상기 처리 유닛을 수용하는 외장과, 상기 외장 내에 집진(集塵) 처리 후의 공기를 송출하는 송풍부와, 상기 송풍부로부터 송출된 상기 공기를 상기 처리 유닛으로 유도하는 풍동(風洞)을 구비한 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 송풍부로부터 송출되는 깨끗한 공기를 처리 유닛 근방에 집중하여 흘림으로써 특히 높은 크린도가 요구되는 처리 유닛 근방을 효율적으로 깨끗한 상태로 하는 것이 가능하게 되므로, 장치의 대형화 및 복잡화나 소비 전력의 증대 등을 회피하면서 검사 등의 처리에 요구되는 환경을 얻는 것이 가능한 처리 장치를 실현할 수 있다.

도 1은 실시 형태 1에 의한 플랫 패널 디스플레이(FPD) 검사 장치의 개략 구성을 도시하는 사시도.
도 2는 실시 형태 1에 있어서 반송 경로 상에 워크가 재치되어 있지 않은 경우의 크린룸 내에서의 공기의 흐름을 나타내는 모식도.
도 3은 실시 형태 1에 있어서 반송 경로 상에 워크가 재치되어 있는 경우의 크린룸 내에서의 공기의 흐름을 나타내는 모식도.
도 4는 도 1에 도시한 FPD 검사 장치의 반송부 외장의 천장 부분에 슬라이드함으로써 개폐하는 도어를 설치한 경우의 예를 도시하는 모식도.
도 5는 실시 형태 2에 의한 FPD 검사 장치의 개략 구성을 도시하는 모식 단면도로서, 실시 형태 2에 있어서 상류의 반송 공간으로부터 검사 공간에 걸친 반송 경로 상에 워크가 존재하는 경우의 크린룸 내에서의 공기의 흐름을 나타내는 모식도.
도 6은 실시 형태 2에 의한 FPD 검사 장치의 개략 구성을 도시하는 모식 단면도로서, 본 실시 형태 2에 있어서 검사 공간으로부터 하류의 반송 공간에 걸친 반송 경로 상에 워크가 존재하는 경우의 크린룸 내에서의 공기의 흐름을 나타내는 모식도.
도 7은 실시 형태 3에 의한 FPD 검사 장치의 개략 구성을 도시하는 모식 단면도.
도 8은 실시 형태 4에 의한 FPD 검사 장치의 개략 구성을 도시하는 모식 단면도로서, 본 실시 형태 4에 있어서 상류의 반송 공간으로부터 검사 공간에 걸친 반송 경로 상에 워크가 존재하는 경우의 크린룸 내에서의 공기의 흐름을 나타내는 모식도.
도 9는 실시 형태 4에 의한 FPD 검사 장치의 개략 구성을 도시하는 모식 단면도로서, 실시 형태 4에 있어서 검사 공간으로부터 하류의 반송 공간에 걸친 반송 경로 상에 워크가 존재하는 경우의 크린룸 내에서의 공기의 흐름을 나타내는 모식도.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태를 도면과 함께 상세하게 설명한다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 각 도면은 본 발명의 내용을 이해할 수 있는 정도로 형상, 크기, 및 위치 관계를 개략적으로 나타내고 있는 것에 지나지 않고, 따라서, 본 발명은 각 도면에서 예시된 형상, 크기, 및 위치 관계만으로 한정되는 것은 아니다. 또한, 각 도면에서는, 구성의 명료화를 위해, 단면에서의 해칭의 일부가 생략되어 있다. 또한, 후술에 있어서 예시하는 수치는, 본 발명의 바람직한 예에 지나지 않고, 따라서, 본 발명은 예시된 수치로 한정되는 것은 아니다.

(실시 형태 1)

우선, 본 발명의 실시 형태 1에 의한 처리 장치에 대해서, 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, FPD용의 글래스 기판이나 반도체 기판이나 프린트 기판 등의 처리 대상 기판(이하, 워크라고 함)이 인라인형의 검사 장치를 예로 들어 설명한다. 단, 이것에 한정되지 않고, 오프라인형의 검사 장치이어도 된다.

도 1은, 본 실시 형태 1에 의한 플랫 패널 디스플레이(FPD) 검사 장치의 개략 구성을 도시하는 사시도이다. 도 1에 도시한 바와 같이, FPD 검사 장치(1)는, 워크를 반송하는 반송 스테이지(14?16)와, 반송 스테이지(14?16) 상을 이동하는 워크의 결함을 검출하는 검사 유닛(10)을 구비한다. 또한, 검사 유닛(10)은, 예를 들면 워크의 결함 부분에 대하여 행하는 레이저 조사 수복이나 도포 수정 등의 수복 유닛, 관찰ㆍ화상 보존하는 촬상 유닛, 배선 등의 치수 측정, 막 두께 측정, 색 측정 등을 행하는 측정 유닛 등의 처리를 소정의 위치(처리 영역)에서 실시하는 다른 처리 유닛으로 치환할 수도 있다. 즉, 처리 유닛에는, 검사 유닛, 수복 유닛, 촬상 유닛, 측정 유닛 등이 포함된다.

반송 스테이지(14?16)의 각각은, 예를 들면 직사각형의 복수의 판이 워크의 반송 방향 D와 수직인 방향으로 판끼리의 사이에 간극이 생기도록 등간격으로 배열된 구조를 갖는다. 이 반송 스테이지(14?16)를 반송 방향 D로 배열함으로써, 워크의 반송 경로가 형성된다. 워크의 반송 방법으로서는, 반송 스테이지에 부상 플레이트를 설치하여 기판을 에어 부상시킴과 함께 기판의 단부를 흡착 유지하여 반송시키는 흡착 반송이나, 반송 스테이지에 복수의 롤러를 설치하여 롤러의 회전에 의해 기판을 반송하는 롤러 반송 등이 있다.

검사 유닛(10)은, 반송 스테이지(14?16)가 형성하는 반송 경로 상에 설정된 검사 라인 L15(처리 영역)를 통과하는 워크를 촬상한다. 이 검사 유닛(10)에 의해서 취득된 화상을 해석함으로써, 워크에 결함이 존재하는지의 여부를 검출할 수 있다. 검사 라인 L15는, 예를 들면 반송 스테이지(15)에 설치된다. 검사 유닛(10)은, 검사 라인 L15를 상방으로부터 촬상하도록 설치된다. 본 설명에서는, 검사 유닛(10)이 설치되는 영역을 검사 공간 PR이라고 한다. 또한, 검사 공간 PR 이외의 영역을 반송 공간 TR이라고 한다.

반송 스테이지(14?16) 및 검사 유닛(10)은, 예를 들면 가대(11)에 고정된다. 가대(11)는, 예를 들면 블록 형상의 대리석이나 스틸재를 조합한 프레임 등, 내진성이 높은 부재에 의해서 구성된다. 덧붙여, 가대(11)와 설치면(예를 들면 마루)과의 사이에는, 예를 들면 스프링이나 유압 댐퍼 등으로 구성된 진동 흡수 기구(12)가 설치된다. 이에 의해, 반송 스테이지(14?16) 및 검사 유닛(10)의 진동이 더 저감된다.

또한, FPD 검사 장치(1)는, 검사 공간 PR을 둘러싸는 검사부 외장(18)과, 상류 및 하류의 반송 공간 TR을 각각 둘러싸는 반송부 외장(17, 19)을 구비한다. 검사부 외장(18) 및 반송부 외장(17, 19)은, 조합됨으로써 1개의 공간(크린룸)을 형성한다. 즉, 반송 스테이지와 검사 유닛을 수용하는 외장을 형성한다. 이 크린룸은, 워크의 반입구 및 반출구 및 하부의 덕트 이외에, 밀폐된 공간이다.

상기 구성에서, 반송부 외장(17, 19) 및 검사부 외장(18)의 일부는, FFU(101)로부터 송출된 크린에어를 검사 유닛(10) 근방 및 검사 라인 L15 주변으로 유도하는 풍동 C를 형성한다. 이 풍동 C는, 개구가 검사 유닛(10)을 향하거나, 혹은, 검사 유닛(10)의 일부를 상방으로부터 덮는 형상이면 된다. 본 실시 형태 1에서는, 검사부 외장(18)의 천장을 반송부 외장(17, 19)의 천장에 대하여 돌출시킴으로써, 검사 유닛(10)의 일부를 상방으로부터 덮는 풍동 C가 형성되어 있다. 따라서, 풍동 C는, 반송부 외장(17, 19) 및 검사부 외장(18)이 형성하는 천장에서의 돌출된 부분의 측벽에 의해서 구성된다. 또한, 이 돌출된 부분, 즉 검사부 외장(18)의 천장에는, 파티클 등의 더스트가 제거된 깨끗한 공기(이하, 크린에어라고 함)를 송출하는 FFU(101)가 설치된다. 즉, FFU(101)는, 집진 처리 후의 공기(크린에어)를 송출하는 송풍부로서 기능한다. 따라서, FFU(101)로부터 송출된 크린에어는, 풍동 C에 의해서 흐름이 제한됨으로써, 검사 유닛(10)을 향해 집중하여 흐르고, 그 후, 검사 유닛(10) 근방 및 검사 라인 L15 주변에 집중하여 흐른다. 이 결과, 검사 공간 PR의 특히 검사 유닛(10) 근방 및 검사 라인 L15 주변을, 더스트가 적은 깨끗한 상태로 할 수 있다. 또한, 검사 유닛(10) 근방 및 검사 라인 L15 주변에 집중하여 송출된 깨끗한 공기는, 크린룸 내에서 다운 플로우를 형성한 후, 주로 하부의 배기구로부터 배기된다.

여기서, 검사부 외장(18)과 반송부 외장(17, 19)이 형성하는 크린룸 내에서의 공기의 흐름을, 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 도 2는, 본 실시 형태 1에 있어서 반송 경로 상에 워크가 재치되어 있지 않은 경우의 크린룸 내에서의 공기의 흐름을 나타내는 모식도이다. 도 3은, 본 실시 형태 1에 있어서 반송 경로 상에 워크가 재치되어 있는 경우의 크린룸 내에서의 공기의 흐름을 나타내는 모식도이다.

도 2에 도시한 바와 같이, 반송 스테이지(14?16) 상에 워크 W가 재치되어 있지 않은 경우, FFU(101)로부터 송출된 크린에어는, 우선, 풍동 C에 의해서 집중적으로 검사 유닛(10)에 흐르는 다운 플로우 FL0를 형성한다. 계속해서, 크린에어는, 검사 유닛(10)을 감싸도록 다운 플로우 FL1을 형성한다. 이에 의해, 검사 유닛(10) 근방 및 검사 라인 L15 주변에 크린에어가 널리 퍼지고, 이 영역의 높은 크린도가 얻어진다. 또한, 다운 플로우 FL1을 형성하는 크린에어는, 그 후, 반송 스테이지(15)의 간극을 빠져나가, 크린룸 내의 하측으로 유입된다. 또한, 다운 플로우 FL1을 형성하는 크린에어의 일부는, 검사부 외장(18) 내로부터 반송부 외장(17, 19) 내로 유입된다. 유입된 크린에어는, 동일하게 반송 스테이지(14, 15, 16)의 간극을 빠져나가는 다운 플로우 FL2를 형성하고, 크린룸 내의 하측으로 유입된다. 다운 플로우 FL1 및 FL2에 의해서 크린룸의 하측으로 유입된 크린에어는, 도 2의 다운 플로우 FL3으로 도시한 바와 같이, 그 후, 크린룸, 즉 검사부 외장(18)의 바닥면 및 반송부 외장(17, 19)의 바닥면에 각각 형성된 덕트를 통하여 외부로 배기된다. 단, 크린에어의 일부가 워크 W의 반입구 또는 반출구로부터 배기되는 구성이어도 된다.

한편, 도 3에 도시한 바와 같이, 반송 스테이지(14?16) 상에 워크 W가 재치되어 있는 경우, FFU(101)로부터 송출된 크린에어는, 우선, 풍동 C에 의해서 집중적으로 검사 유닛(10)에 흐르는 다운 플로우 FL0을 형성한다. 계속해서, 크린에어는, 검사 유닛(10)을 감싸도록 다운 플로우 FL4를 형성하고, 반송 스테이지(14?16) 상의 워크 W에 분무된다. 그 후, 워크 W에 의해서 하방으로의 흐름이 차단된 크린에어는, 워크 W의 상면을 따라서 단부까지 향하는 플로우 FL5를 형성한다. 이에 의해, 검사 유닛(10) 근방 및 검사 라인 L15 주변뿐만 아니라, 워크 W의 상면측도, 더스트가 적은 깨끗한 상태로 할 수 있다. 그 후, 워크 W의 상면을 따라서 흐른 크린에어는, 워크 W의 단부에서 워크 W의 하방으로 유입되는 플로우 FL6을 형성한 후, 도 3의 다운 플로우 FL3으로 도시한 바와 같이, 검사부 외장(18)의 바닥면 및 반송부 외장(17, 19)의 바닥면에 각각 형성된 덕트를 통하여 외부로 배기된다.

이상과 같이, 본 실시 형태 1에서는, FFU(101)로부터 송출된 크린에어가 특히 높은 크린도가 요구되는 검사 유닛(10) 근방 및 검사 라인 L15 주변에 집중하여 흐르도록 구성된다. 이 결과, 본 실시 형태 1에서는, 특히 높은 크린도가 요구되는 영역을 적은 FFU(1개의 FFU)를 사용하여 효율적으로 깨끗한 상태로 하는 것이 가능하게 되므로, 장치의 대형화 및 복잡화나 소비 전력의 증대 등을 회피하면서 검사 등에 요구되는 환경을 얻는 것이 가능하게 된다.

또한, 검사 유닛(10)이 설치되어 있지 않은 영역, 즉 반송 공간 TR에서는, 반송 스테이지(14?16) 상의 워크 W의 상면과 반송부 외장(17, 19)의 천장과의 사이의 공간을 좁게 해 둠으로써, 검사 유닛(10) 근방 및 검사 라인 L15 주변에 흐른 크린에어가 효율적으로 워크 W 상면을 타서 워크 W 단부까지 흐른다. 이 결과, 반송 시의 발진(發塵) 등에 의한 워크 W 표면에의 더스트의 부착을 효율적으로 방지하는 것이 가능하게 된다. 즉, 검사 유닛(10) 근방 및 검사 라인 L15 주변뿐만 아니라, 워크 W 상의 공간까지도 효율적으로 깨끗한 상태로 유지하는 것이 가능하게 된다.

또한, 메인터넌스 시에 장치 내부에 들어 가기 위해 외장부에 도어를 설치하여도 된다. 이 도어는, 예를 들면 반송부 외장(17, 19)의 천장 부분을 개폐 가능하게 하는 도어라도 된다. 도 4는, 도 1에 도시한 FPD 검사 장치의 반송부 외장의 천장 부분에 슬라이드함으로써 개폐하는 도어를 설치한 경우의 예를 도시하는 모식도이다. 도 4에 도시한 바와 같이, 반송부 외장(17)의 천장 부분에 설치된 도어는, 시트 형상의 셔터(112)와, 셔터(112)를 권취함으로써 수용하는 권취 기구(111)를 구비한다. 마찬가지로, 반송부 외장(19)의 천장 부분에 설치된 도어는, 시트 형상의 셔터(114)와, 셔터(114)를 권취함으로써 수용하는 권취 기구(113)를 구비한다. 권취 기구(111/113)가 회전함으로써, 셔터(112/114)가 반송부 외장(17/19)의 천장 부분을 화살표 D1/D2 방향으로 이동한다. 이에 의해, 반송부 외장(17/19)의 천장 부분이 개폐된다. 이 밖에, 예를 들면, 외부 구동에 의해 개폐할 수 있는 구조의 도어나, 그 밖에 주름 상자 방식이나, 롤 방식의 도어를 채용하여도 된다. 이와 같은 구성으로 함으로써, 먼지의 제거나 반송 중에 파손된 워크의 처리 등의 메인터넌스가 행하기 쉬워진다.

또한, 외장부의 강도로는, FFU(101)가 부착되는 처리 영역 주변의 외장 부분에만 높은 강도가 요구된다. 그 이외의 외장부에 대해서는, 높은 강도가 필요하게 되지 않는다. 즉, 검사부 외장(18)에 대하여 반송부 외장(17, 19)의 강도는 낮은 것이어도 된다. 반송부 외장(17, 19)에 이용하는 재료로서는, 신축ㆍ탄성 부재이어도 된다. 이와 같은 구성으로 함으로써, 장치의 간이화ㆍ경량화를 도모하는 것이 가능하게 된다.

(실시 형태 2)

다음으로, 본 발명의 실시 형태 2에 의한 검사 장치에 대해서, 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 상술한 실시 형태 1과 마찬가지의 구성에 대해서는, 동일한 부호를 붙이고, 중복되는 설명을 생략한다.

도 5 및 도 6은, 본 실시 형태 2에 의한 FPD 검사 장치의 개략 구성을 도시하는 모식 단면도이다. 또한, 도 5에서는, 본 실시 형태 2에 있어서 상류의 반송 공간으로부터 검사 공간에 걸친 반송 경로 상에 워크가 존재하는 경우의 크린룸 내에서의 공기의 흐름을 나타낸다. 또한, 도 6에서는, 본 실시 형태 2에 있어서 검사 공간으로부터 하류의 반송 공간에 걸친 반송 경로 상에 워크가 존재하는 경우의 크린룸 내에서의 공기의 흐름을 나타낸다.

도 5 및 도 6에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태 2에 의한 FPD 검사 장치(2)는, 도 1?도 3에 도시한 FPD 검사 장치(1)와 마찬가지의 구성에서, 상류의 반송 공간 TR에서의 반송 스테이지(14) 하측에, 크린룸 내의 에어를 능동적으로 외부로 배기하는 배기구로서 예를 들면 배기팬(21a)을 구비함과 함께, 하류의 반송 공간 TR에서의 반송 스테이지(16) 하측에, 크린룸 내의 에어를 능동적으로 외부로 배기하는 배기팬(21b)을 구비한다. 또한, FPD 검사 장치(2)는, 상류의 반송 공간 TR측과 하류의 반송 공간 TR 중의 어느 측에 워크 W가 존재하는지를 검지하는 센서(22a, 22b)를 구비한다.

센서(22a, 22b)는, 예를 들어 광학 센서 또는 적외선 센서에 의해서 구성되고, 자신의 상방에 워크 W가 존재하는지의 여부를 검출한다. 이 센서(22a, 22b)는, 워크 W의 반송 경로 상으로서, 예를 들면 검사 공간 PR 혹은 FFU(101)의 송풍구의 중심을 통해 또한 반송 방향 D와 수직인 면과 반송 경로와의 교점을 중심으로 한 점대칭의 위치에 배치된다. 단, 이것에 한정되지 않고, 상류의 반송 공간 TR측과 하류의 반송 공간 TR 중의 어느 측에 워크 W가 존재하는지를 검지할 수 있으면 된다. 또한, 센서(22a, 22b)의 검출 결과는, 도시되지 않은 제어부에 입력된다. 제어부는, 입력된 검출 결과에 기초하여, 배기팬(21a, 21b)을 제어한다.

예를 들면 센서(22a)에 의해서 상방의 워크 W가 검출된 경우, 즉 상류의 반송 공간 TR측에 워크 W가 존재하는 것이 검출된 경우, 도 5에 도시한 바와 같이, 제어부는, 배기팬(21a)을 구동한다. 이에 의해, FFU(101)로부터 다운 플로우 FL0 및 FL4를 형성하여 검사 유닛(10) 근방에 흐른 크린에어가, 워크 W의 상면을 따르는 플로우 FL5 및 워크 W의 하방으로 유입되는 플로우 FL6을 형성한 후, 배기팬(21a)에 의해서 적극적으로 다운 플로우 FL7을 형성하여 크린룸으로부터 배기된다. 또한, 이 때, 워크 W가 존재하지 않는 하류의 반송 공간 TR측의 배기팬(21b)은, 구동되지 않는다. 이 때문에, FFU(101)로부터 다운 플로우 FL0을 형성하여 검사 유닛(10)에 분무된 크린에어는, 실시 형태 1과 마찬가지로, 반송 스테이지(15, 16) 각각의 간극을 빠져나가는 다운 플로우 FL1 및 FL2를 형성하여 반송 스테이지(14?16)의 하측으로 흐른 후, 덕트를 통하는 다운 플로우 FL3을 형성하여 크린룸으로부터 배기된다.

한편, 센서(22b)에 의해서 상방의 워크 W가 검출된 경우, 즉 하류의 반송 공간 TR측에 워크 W가 존재하는 것이 검출된 경우, 도 6에 도시한 바와 같이, 제어부는, 배기팬(21b)을 구동한다. 이에 의해, FFU(101)로부터 다운 플로우 FL0 및 FL4를 형성하여 검사 유닛(10) 근방 및 검사 라인 L15 주변에 흐른 크린에어가, 워크 W의 상면을 따르는 플로우 FL5 및 워크 W의 하방으로 유입되는 플로우 FL6을 형성한 후, 배기팬(21b)에 의해서 적극적으로 다운 플로우 FL8을 형성하여 크린룸으로부터 배기된다. 이 때, 워크 W가 존재하지 않는 상류의 반송 공간 TR측의 배기팬(21a)은, 구동되지 않기 때문에, FFU(101)로부터 다운 플로우 FL0을 형성하여 검사 유닛(10)에 분무된 크린에어는, 도 5와 마찬가지로, 반송 스테이지(14)의 간극을 빠져나가는 다운 플로우 FL1 및 FL2를 형성하여 반송 스테이지(14?16)의 하측으로 흐른 후, 덕트를 통하는 다운 플로우 FL3을 형성하여 크린룸으로부터 배기된다.

또한, 센서(22a)와 센서(22b)와의 사이의 거리는, 예를 들면 워크 W의 반송 방향 D에서의 길이에 대하여 길거나 짧아도 된다. 2개의 센서(22a, 22b)간의 거리를 워크 W의 반송 방향 D의 길이보다도 길게 한 경우, 제어부는, 예를 들면 2개의 센서(22a, 22b)의 사이에 워크 W가 존재하는 것이라면, 배기팬(21a, 21b)의 쌍방을 구동하도록 하여도 된다. 한편, 2개의 센서(22a, 22b)간의 거리를 워크 W의 반송 방향 D의 길이보다도 짧게 한 경우, 제어부는, 예를 들면 2개의 센서(22a, 22b)의 쌍방에서 워크 W를 검출하고 있는 기간, 배기팬(21a, 21b)의 쌍방을 구동하도록 하여도 된다.

이상과 같이, 본 실시 형태 2는, 배기팬(21a, 21b)을 구동하여 워크 W가 존재하는 측에 많은 크린에어를 흘리는 것이 가능한 구성을 구비한다. 이에 의해, 본 실시 형태 2에서는, 특히 높은 크린도가 요구되는 검사 유닛(10) 근방 및 검사 라인 L15 주변뿐만 아니라, 워크 W의 위치에 따라서 워크 W의 상면에도 효율적으로 크린에어를 흘리는 것이 가능하게 된다. 이 결과, 반송 시의 발진 등에 의한 워크 W 표면에의 더스트의 부착을 정확하면서 효율적으로 방지하는 것이 가능하게 된다. 즉, 검사 유닛(10) 근방 및 검사 라인 L15 주변뿐만 아니라, 워크 W 상의 공간까지도 정확하면서 효율적으로 깨끗한 상태로 유지하는 것이 가능하게 된다.

또한, 상술에서는, 2개의 센서(22a, 22b)를 이용하여 워크 W의 존재를 검출하는 경우를 예로 들었지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들면 도시되지 않은 위치 센서에 의해서 워크 W의 위치를 상시 감시하는 경우, 이 위치 센서에 의해서 검출된 위치에 기초하여 배기팬(21a, 21b)을 구동하도록 구성하여도 된다. 또한, 상술한 센서 이외에도, 워크 반송 구동의 제어부(PLC)로부터 워크 위치를 특정하여도 된다. 또한, 본 실시 형태 2의 검사 유닛(10)은, 예를 들면 워크의 결함 부분에 대하여 행하는 레이저 조사 수복이나 도포 수정 등의 수복 유닛, 관찰ㆍ화상 보존하는 촬상 유닛, 배선 등의 치수 측정, 막 두께 측정, 색 측정 등을 행하는 측정 유닛 등의 처리를 소정의 위치(처리 영역)에서 실시하는 다른 처리 유닛으로 치환할 수도 있다. 즉, 처리 유닛으로서 검사 유닛, 수복 유닛, 촬상 유닛, 측정 유닛 등이 포함된다. 또한, 그 밖에 구성 및 효과는, 상술한 실시 형태 1과 마찬가지이므로, 여기서는 중복되는 설명을 생략한다.

(실시 형태 3)

다음으로, 본 발명의 실시 형태 3에 의한 검사 장치에 대해서, 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 상술한 실시 형태 1과 마찬가지의 구성에 대해서는, 동일한 부호를 붙이고, 중복되는 설명을 생략한다.

도 7은, 본 실시 형태 3에 의한 FPD 검사 장치의 개략 구성을 도시하는 모식 단면도이다. 도 7에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태 3에 의한 FPD 검사 장치(3)는, 도 1?도 3에 도시한 FPD 검사 장치(1)와 마찬가지의 구성에서, 검사 공간 PR을 형성하는 검사부 외장(18)이, 검사부 외장(28)으로 치환되어 있다. 검사부 외장(28)은, 개구가 검사 유닛(10)을 향하거나, 혹은, 검사 유닛(10)의 일부를 상방에서 덮는 풍동 C1이, 크린에어의 송출구에 대하여 몸통부가 잘록해진, 조리개부 CC를 구비한 형상을 구비하고 있다. 풍동 C1에 조리개부 CC를 설치함으로써, 검사 유닛(10) 부근에서의 크린에어의 풍속을 크게 하는 것이 가능하게 된다. 이에 의해, 검사 유닛(10) 근방 및 검사 라인 L15 주변에 있어서 풍속이 큰 다운 플로우 FL9가 형성되기 때문에, 특히 높은 크린도가 요구되는 검사 유닛(10) 근방 및 검사 라인 L15 주변을, 보다 효율적으로 깨끗한 상태로 유지하는 것이 가능하게 된다. 또한, 실시예 3의 검사 유닛(10)은, 예를 들면 워크의 결함 부분에 대하여 행하는 레이저 조사 수복이나 도포 수정 등의 수복 유닛, 관찰ㆍ화상 보존하는 촬상 유닛, 배선 등의 치수 측정, 막 두께 측정, 색 측정 등을 행하는 측정 유닛 등의 처리를 소정의 위치에서 실시하는 다른 처리 유닛으로 치환할 수도 있다. 즉, 처리 유닛으로서 검사 유닛, 수복 유닛, 촬상 유닛, 측정 유닛 등이 포함된다. 또한, 그 밖에 구성 및 효과는, 상술한 실시 형태 1 또는 2와 마찬가지이므로, 여기서는 중복되는 설명을 생략한다.

(실시 형태 4)

다음으로, 본 발명의 실시 형태 4에 의한 검사 장치에 대해서, 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 상술한 실시 형태 1?3의 어느 하나와 마찬가지의 구성에 대해서는, 동일한 부호를 붙이고, 중복되는 설명을 생략한다.

도 8 및 도 9는, 본 실시 형태 4에 의한 FPD 검사 장치의 개략 구성을 도시하는 모식 단면도이다. 또한, 도 8에서는, 본 실시 형태 4에 있어서 상류의 반송 공간으로부터 검사 공간에 걸친 반송 경로 상에 워크가 존재하는 경우의 크린룸 내에서의 공기의 흐름을 나타낸다. 또한, 도 9에서는, 본 실시 형태 4에 있어서 검사 공간으로부터 하류의 반송 공간에 걸친 반송 경로 상에 워크가 존재하는 경우의 크린룸 내에서의 공기의 흐름을 나타낸다.

도 8 및 도 9에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태 4에 의한 FPD 검사 장치(4)는, 도 1?도 3에 도시한 FPD 검사 장치(1)와 마찬가지의 구성에서, FFU(101)로부터 송출된 크린에어가 다운 플로우 FL0을 형성한 후에 흐르는 도풍로를 선택적으로 제한하는 도풍로 제어 밸브(41a, 41b)를 구비한다. 또한, FPD 검사 장치(4)는, 도 5 및 도 6에 도시한 FPD 검사 장치(2)와 마찬가지로, 상류의 반송 공간 TR측과 하류의 반송 공간 TR 중의 어느 측에 워크 W가 존재하는지를 검지하는 센서(22a, 22b)를 구비한다.

이 구성에서, 도풍로 제어 밸브(41a, 41b)는, 통상, 검사부 외장(18)의 풍동 C에서의 내벽 면을 따른 위치에 수용된다. 여기서, 예를 들면 센서(22a)에 의해서 상방의 워크 W가 검출된 경우, 즉 상류의 반송 공간 TR측에 워크 W가 존재하는 것이 검출된 경우, 도 8에 도시한 바와 같이, 제어부는, 도시되지 않은 구동부를 제어함으로써, 하류측의 도풍로 제어 밸브(41a)를 제어한다. 이에 의해, FFU(101)로부터 다운 플로우 FL0을 형성하여 검사 유닛(10)에 분무된 크린에어의 하류에의 유입이 제한된다. 이 결과, FFU(101)로부터 송출된 대부분의 크린에어가, 다운 플로우 FL4 및 플로우 FL5를 형성하여 상류에 위치하는 워크 W의 상면을 흐른 후, 워크 W의 단부에서 워크 W의 하방으로 유입되는 플로우 FL6을 형성하여, 반송 스테이지(14?16)의 하측으로 유입된다. 그 후, 도 8의 다운 플로우 FL3으로 도시한 바와 같이, 검사부 외장(18)의 바닥면 및 반송부 외장(17, 19)의 바닥면에 각각 형성된 덕트를 통하여 외부로 배기된다.

한편, 예를 들면 센서(22b)에 의해서 상방의 워크 W가 검출된 경우, 즉 하류의 반송 공간 TR측에 워크 W가 존재하는 것이 검출된 경우, 도 9에 도시한 바와 같이, 제어부는, 도시되지 않은 구동부를 제어함으로써, 상류측의 도풍로 제어 밸브(41b)를 제어한다. 이에 의해, FFU(101)로부터 다운 플로우 FL0을 형성하여 검사 유닛(10)에 분무된 크린에어의 상류에의 유입이 제한된다. 이 결과, FFU(101)로부터 송출된 대부분의 크린에어가, 다운 플로우 FL4 및 플로우 FL5를 형성하여 하류에 위치하는 워크 W의 상면을 흐른 후, 워크 W의 단부에서 워크 W의 하방으로 유입되는 플로우 FL6을 형성하여, 반송 스테이지(14?16)의 하측으로 유입된다. 그 후, 도 9의 다운 플로우 FL3으로 도시한 바와 같이, 검사부 외장(18)의 바닥면 및 반송부 외장(17, 19)의 바닥면에 각각 형성된 덕트를 통하여 외부로 배기된다.

이상과 같이, 본 실시 형태 4는, 도풍로 제어 밸브(41a, 41b)를 개폐하여 워크 W가 존재하는 측에 많은 크린에어를 흘리는 것이 가능한 구성을 구비한다. 이에 의해, 본 실시 형태 4에서는, 특히 높은 크린도가 요구되는 검사 유닛(10) 근방 및 검사 라인 L15 주변뿐만 아니라, 워크 W의 위치에 따라서 워크 W의 상면에도 효율적으로 크린에어를 흘리는 것이 가능하게 된다. 이 결과, 반송 시의 발진 등에 의한 워크 W 표면에의 더스트의 부착을 정확하면서 효율적으로 방지하는 것이 가능하게 된다. 즉, 검사 유닛(10) 근방 및 검사 라인 L15 주변뿐만 아니라, 워크 W 상의 공간까지도 정확하면서 효율적으로 깨끗한 상태로 유지하는 것이 가능하게 된다. 또한, 실시예 4의 검사 유닛(10)은, 예를 들어 워크의 결함 부분에 대하여 행하는 레이저 조사 수복이나 도포 수정 등의 수복 유닛, 관찰ㆍ화상 보존하는 촬상 유닛, 배선 등의 치수 측정, 막 두께 측정, 색 측정 등을 행하는 측정 유닛 등의 처리를 소정의 위치에서 실시하는 다른 처리 유닛으로 치환할 수도 있다. 즉, 처리 유닛으로서 검사 유닛, 수복 유닛, 촬상 유닛, 측정 유닛 등이 포함된다. 또한, 그 밖에 구성 및 효과는, 상술한 실시 형태 1?3 중 어느 하나와 마찬가지이므로, 여기서는 중복되는 설명을 생략한다.

또한, 상기 실시 형태는 본 발명을 실시하기 위한 예에 지나지 않고, 본 발명은 이들에 한정되는 것이 아니라, 사양 등에 따라서 여러 가지 변형되는 것은 본 발명의 범위 내이며, 또한 본 발명의 범위 내에 있어서, 다른 다양한 실시 형태가 가능한 것은 상기 기재로부터 자명하다. 예를 들면 각 실시 형태에 대하여 적절하게 예시한 변형예는, 다른 실시 형태에 대하여 적용하는 것도 가능한 것은 물론이다.

1, 2, 3, 4 : FPD 검사 장치
10 : 검사 유닛
11 : 가대
12 : 진동 흡수 기구
14?16 : 반송 스테이지
17, 19 : 반송부 외장
18, 28 : 검사부 외장
21a, 21b : 배기팬
22a, 22b : 센서
41a, 41b : 도풍로 제어 밸브
101 : FFU
111, 113 : 권취 기구
112, 114 : 셔터
C, C1 : 풍동
CC : 조리개부
D : 반송 방향
FL0, FL1, FL2, FL3, FL4, FL7, FL8, FL9 : 다운 플로우
FL5, FL6 : 플로우
L15 : 검사 라인
PR : 검사 공간
TR : 반송 공간
W : 워크

Claims (10)

1. 대상 기판을 반송하는 반송 스테이지와, 그 반송 스테이지 상을 이동하는 상기 대상 기판에 소정의 처리를 실시하는 처리 유닛을 구비한 처리 장치로서,
   상기 반송 스테이지와 상기 처리 유닛을 수용하는 외장과,
   상기 외장 내에 집진 처리 후의 공기를 송출하는 송풍부와,
   상기 송풍부로부터 송출된 상기 공기를 상기 처리 유닛으로 유도하는 풍동(風洞)
   을 구비한 것을 특징으로 하는 처리 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 풍동은, 상기 송풍부로부터 송출된 상기 공기를, 상기 처리 유닛에 의해서 처리가 실시되는 처리 영역으로 유도하는 것을 특징으로 하는 처리 장치.
3. 제1항에 있어서,
   상기 풍동은, 상기 공기의 송출구가 상기 처리 유닛을 향하거나, 또는, 상기 처리 유닛의 적어도 일부를 덮는 것을 특징으로 하는 처리 장치.
4. 제1항에 있어서,
   상기 풍동은, 상기 공기의 송출구에 대하여 몸통부가 잘록해져 있는 것을 특징으로 하는 처리 장치.
5. 제1항에 있어서,
   상기 외장은, 일부가 돌출된 천장을 구비하고,
   상기 송풍부는, 상기 천장의 상기 돌출된 부분에 설치되고,
   상기 풍동은, 상기 돌출된 부분의 측벽에 의해서 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 처리 장치.
6. 제5항에 있어서,
   상기 외장의 내부는, 상기 처리 유닛이 배치된 검사 공간과, 그 검사 공간 이외의 반송 공간으로 이루어지고,
   상기 돌출된 부분은, 상기 외장의 상기 천장 중 상기 검사 공간에 위치하는 부분인 것을 특징으로 하는 처리 장치.
7. 제6항에 있어서,
   상기 반송 공간으로부터 상기 공기를 상기 외장 밖으로 배기하는 배기부를 더 구비하고,
   상기 배기부는, 상기 대상 기판의 적어도 일부가 상기 반송 공간 내에 위치하는 경우, 상기 반송 공간으로부터 상기 공기를 배기하는 것을 특징으로 하는 처리 장치.
8. 제6항에 있어서,
   상기 송풍부로부터 송출된 상기 공기가 흐르는 방향을 제어하는 도풍로 제어 밸브를 더 구비하고,
   상기 반송 공간은, 상기 대상 기판을 상기 검출 공간 내에 반입하는 측의 상류 반송 공간과, 상기 검출 공간 내를 통과한 상기 대상 기판을 반출하는 하류 반송 공간을 포함하고,
   상기 도풍로 제어 밸브는, 상기 대상 기판의 적어도 일부가 상기 상류 반송 공간 내에 위치하고 또한 상기 하류 반송 공간 내에 위치하지 않는 경우, 상기 공기가 상기 상류 반송 공간에 흐르도록 상기 공기가 흐르는 방향을 제어하고, 상기 대상 기판의 적어도 일부가 상기 하류 반송 공간 내에 위치하고 또한 상기 상류 반송 공간 내에 위치하지 않는 경우, 상기 공기가 상기 하류 반송 공간에 흐르도록 상기 공기가 흐르는 방향을 제어하는 것을 특징으로 하는 처리 장치.
9. 제1항에 있어서,
   상기 처리 유닛은, 상기 대상 기판의 결함을 검사하는 검사 유닛인 것을 특징으로 하는 처리 장치.
10. 제1항에 있어서,
    상기 외장의 상기 반송 스테이지 상면부에 설치되는 개폐식의 도어를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 처리 장치.

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