JP6043123B2 - 非接触支持装置及び塗布装置 - Google Patents
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Description
さらに、上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の塗布装置の第1の態様は、被支持物を非接触に支持するための気体が吐出される開口を有する支持面を備える載置手段と、前記被支持物に塗液を塗布するための塗布手段と、前記開口を通る流れを絞るための絞り部材と、前記絞り部材を取り替えるための取替手段と、を備え、前記支持面の前記塗布手段に対する位置を維持した状態で、前記絞り部材が前記取替手段により取り替えられる。
ーラスフィルム(ポリプロピレン樹脂と有機フィラーで構成した多孔質フィルム))を挟持することができる一対の載置手段構成部材である上側定盤構成部材121及び下側定盤構成部材123を有する。上側定盤構成部材121は、多孔質フィルム105に面し配置され、基部110に固定される。下側定盤構成部材123は、多孔質フィルム105を挟んだ状態で上側定盤構成部材121に多孔質フィルム105を介して当接できるとともに上下方向(図3の矢印z方向)に移動可能である。上側定盤構成部材121は、図3に示すように、断面矩形状の中空筒の部材であり、その内部空間に下側定盤構成部材123が配置される。なお、多孔質フィルム105は、定盤103に設けられている後述の開口毎の通気率を均一にするための部材であり、定盤103の開口の径より、小さい平均径(又は開口が多角形の場合には、その開口面積に比べ小さい開口面積)の細孔を有する。
103 定盤
103a 支持面
105 多孔質フィルム
106 ガントリ
107 スリットノズル
120 制御部
121 上側定盤構成部材
125 下側定盤構成部材
129 送出ロール
131 巻取ロール
132 エアシリンダ
Claims (10)
- 被支持物を非接触に支持するために気体が吐出される開口を有する支持面を備える載置手段と、
前記開口を流れる前記気体を絞る絞り部材を取り替えるための取替手段と、を備え、
前記載置手段の支持面の位置を維持した状態で、前記取替手段により前記絞り部材を取り替え可能であることを特徴とする非接触支持装置。 - 前記載置手段は、互いに接離可能な一対の載置手段構成部材を有し、前記一対の載置手段構成部材が互いに接すると、前記絞り部材は前記一対の載置手段構成部材に挟持されることを特徴とする請求項1に記載の非接触支持装置。
- 前記一対の載置手段構成部材を互いに離間させた状態で、前記絞り部材が前記取替手段により取り替えられることを特徴とする請求項2に記載の非接触支持装置。
- 前記一対の載置手段構成部材の一方は、前記一対の載置手段構成部材の他方に対して離接するための駆動手段を有し、前記一対の定盤構成部材が互いに離間した状態で、前記絞り部材が前記取替手段により取り替えられることを特徴とする請求項2又は3に記載の非接触支持装置。
- 前記取替手段は、前記絞り部材が巻回される供給ロールと前記絞り部材を巻き取る巻取りロールとを有し、前記供給ロールと前記巻取りロールとの間に前記載置手段が配置されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一に記載の非接触支持装置。
- 被支持物を非接触に支持するための気体が吐出される開口を有する支持面を備える載置手段と、
前記被支持物に塗液を塗布するための塗布手段と、
前記開口を通る流れを絞るための絞り部材と、
前記絞り部材を取り替えるための取替手段と、を備え、
前記支持面の前記塗布手段に対する位置を維持した状態で、前記絞り部材が前記取替手段により取り替えられることを特徴とする塗布装置。 - 前記載置手段は、互いに接離可能な一対の載置手段構成部材を有し、前記一対の載置手段構成部材が互いに接すると、前記絞り部材は前記一対の載置手段構成部材に挟持されることを特徴とする請求項6に記載の塗布装置。
- 前記一対の載置手段構成部材を互いに離間させた状態で、前記絞り部材が前記取替手段により取り替えられることを特徴とする請求項7に記載の塗布装置。
- 前記一対の載置手段構成部材の一方を前記一対の載置手段構成部材の他方に対して離接するための駆動手段を備えることを特徴とする請求項7又は8に記載の塗布装置。
- 前記取替手段は、前記絞り部材が巻回される供給ロールと前記絞り部材を巻き取る巻取りロールとを有し、前記供給ロールと前記巻取りロールとの間に前記載置手段が配置されることを特徴とする請求項6〜9のいずれか一に記載の塗布装置。
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JP2012182995A JP6043123B2 (ja) | 2012-08-22 | 2012-08-22 | 非接触支持装置及び塗布装置 |
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JP2012182995A Active JP6043123B2 (ja) | 2012-08-22 | 2012-08-22 | 非接触支持装置及び塗布装置 |
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2012
- 2012-08-22 JP JP2012182995A patent/JP6043123B2/ja active Active
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