JP6385652B2 - スクリーンマスク - Google Patents

スクリーンマスク Download PDF

Info

Publication number
JP6385652B2
JP6385652B2 JP2013143345A JP2013143345A JP6385652B2 JP 6385652 B2 JP6385652 B2 JP 6385652B2 JP 2013143345 A JP2013143345 A JP 2013143345A JP 2013143345 A JP2013143345 A JP 2013143345A JP 6385652 B2 JP6385652 B2 JP 6385652B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mask
moving
frame
rail
movable
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2013143345A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2014117949A (ja
Inventor
政▲ウォン▼ 韓
政▲ウォン▼ 韓
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Display Co Ltd
Original Assignee
Samsung Display Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Display Co Ltd filed Critical Samsung Display Co Ltd
Publication of JP2014117949A publication Critical patent/JP2014117949A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6385652B2 publication Critical patent/JP6385652B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/14Details
    • B41F15/34Screens, Frames; Holders therefor
    • B41F15/36Screens, Frames; Holders therefor flat
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/08Machines
    • B41F15/0881Machines for printing on polyhedral articles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/14Details
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/14Details
    • B41F15/16Printing tables
    • B41F15/18Supports for workpieces
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/14Details
    • B41F15/34Screens, Frames; Holders therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41LAPPARATUS OR DEVICES FOR MANIFOLDING, DUPLICATING OR PRINTING FOR OFFICE OR OTHER COMMERCIAL PURPOSES; ADDRESSING MACHINES OR LIKE SERIES-PRINTING MACHINES
    • B41L13/00Stencilling apparatus for office or other commercial use
    • B41L13/02Stencilling apparatus for office or other commercial use with flat stencil carriers
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H05K3/1216Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by screen printing or stencil printing
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H05K3/1216Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by screen printing or stencil printing
    • H05K3/1225Screens or stencils; Holders therefor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Screen Printers (AREA)

Description

本発明は、スクリーン印刷機に用いられるスクリーンマスクに関するものであって、より詳細には、張力調整手段が備えられたスクリーンマスクに関するものである。
平板表示装置は、製造工程時に各機能に符合する機能層を基板上に形成する。
機能層は薄膜および厚膜工程で製作され、二重厚膜はスクリーン印刷工程、サンドブラスト工程、ドライフィルム工程などの方法で形成できる。
この時、スクリーン印刷方法は、生産効率が高く、工程費用が安価で、極度の精度が要求されない場合に幅広く利用されている。
このようなスクリーン印刷工程を利用して微細パターンを形成するためには、基板上に形成されるパターンと同一のパターンを有するマスク(mask)を整列し、パターンの原素材を基板上に印刷して所望のパターンを形成することが必要である。
この時、マスクは、最初製作後、必要な量だけ引張してマスクフレーム上に取り付けたり組み立てることでスクリーン印刷工程で使用している。
一方、一般に、マスクが引張後取り付けられるマスクフレームは、高い加工精度を有する、固定された一つの本体として製作されている。
これにより、マスクが引張されて取り付けられた後は、それ以上マスク上に追加的な引張力の加減が不可能になる。
また、このようにマスク上に追加的な引張力の加減が不可能なため、最初にマスクを引張してマスクフレーム上に取り付ける過程を進行する過程で要求される精度を得るために多くの時間と努力が消耗し、仮に、誤ったマスクの引張および取り付け工程が進行した場合、使用されたマスクをマスクフレームから分離した後、再び取り付ける作業を進行したり、マスクを廃棄しなければならない場合が発生する。
さらに、スクリーン印刷工程の進行にマスクおよびマスクフレームが用いられた後、マスク上の開口部の大きさおよび均一度や位置精度の低減などの現象が発生することがあり、この時、従来のマスクは、マスクフレームから分離させた後、再び取り付ける作業を進行したり廃棄されなければならない問題が発生することがあった。
図5は、スクリーン印刷に用いられるスクリーンマスクの平面図である。
この時、スクリーンマスク1は、パターンが形成されたマスク3と、マスク3が取り付け支持されるフレーム2とから構成され、フレーム2に一度取り付けられたマスク3は引張力の加減が不可能である。
韓国公開特許第2002−0072869号公報
本発明の一実施形態は、張力を精密に調整できるスクリーンマスクを提供しようとする。
本発明の一実施形態は、少なくとも2つの軸方向に張力を調整できるスクリーンマスクを提供しようとする。
本発明の一態様によれば、スクリーン印刷に用いられるフレーム付きのスクリーンマスクであって、パターンが形成されたマスクと、前記マスクを所定の張力で支持するフレームと、を含み、前記フレームが、固定フレームと、前記マスクを支持し、前記固定フレームに移動可能に設けられる移動フレームと、を含み、前記移動フレームは複数個からなり、前記複数の移動フレームはそれぞれ少なくとも二つの軸方向に移動が可能であり、前記複数の移動フレームは全ての前記軸方向に個別的に移動が可能であり、前記移動フレームを移動させることによって前記張力を調整する、スクリーンマスクを提供する。
の時、前記複数の移動フレームはそれぞれ、前記マスクと並ぶ平面上に位置した、互いに垂直な2つの軸方向に移動可能である。
また、前記マスクは、長方形状であり、前記複数の移動フレームはそれぞれ、前記マスクの互いに隣接した2つの辺と並ぶ方向に移動可能である。
一方、前記移動フレームは、前記固定フレームに設けられる第1レールと、前記第1レールに沿って移動可能で、前記第1レールと垂直な方向に形成された第2レールを備えた第1移動台車と、前記第2レールに沿って移動可能で、前記マスクの周縁一側を支持する第2移動台車と、を含むことができる。
この時、前記移動フレームは、前記第1レール上に前記第1移動台車が位置し、前記第1移動台車の上部に形成された前記第2レール上に前記第2移動台車が位置することができる。
また、前記第1移動台車および前記第2移動台車は、ボールスクリューによって移動することができる。
この時、前記ボールスクリューは、駆動モータまたは手動で駆動できる。
本発明の一実施形態によれば、マスクを支持する複数の移動フレームが少なくとも2つの軸方向に移動可能であることにより、マスクの張力を精密に調整することができる。
本発明の一実施形態によれば、マスクを支持する張力を精密に調整可能であることにより、無駄なマスクの再設置および入れ替えを防止することができる。
本発明の一実施形態にかかるスクリーンマスクの斜視図である。 本発明の一実施形態にかかるスクリーンマスクを用いたスクリーン印刷の様子を示す図である。 本発明の一実施形態にかかるスクリーンマスクの平面図である。 図3におけるIV部分の拡大図である。 従来のスクリーンマスクの平面図である。
以下、添付した図面を参考にして、本発明の実施形態について、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳細に説明する。本発明は、種々の異なる形態で実現可能であり、ここで説明する実施形態に限定されない。
本発明を明確に説明するために説明上不必要な部分は省略し、明細書全体において、同一または類似の構成要素については同一の図面符号を付す。図面に表示された各構成の大きさおよび厚さは、説明の便宜のために任意に示したものであるため、本発明は図示例に限定されない。
図1は、本発明の一実施形態にかかるスクリーンマスクの斜視図である。図2は、本発明の一実施形態にかかるスクリーンマスクを用いたスクリーン印刷の様子を示す図である。図3は、本発明の一実施形態にかかるスクリーンマスクの平面図である。図4は、図3におけるIV部分の拡大図である。
図1を参照すると、本発明の一実施形態にかかるスクリーンマスク10は、スクリーン印刷工程に用いられる装置であって、マスク200と、フレーム100と、を含むことができる。
この時、マスク200は、印刷対象物、例えば、表示装置の基板に印刷するパターンが形成されている印刷用マスク(mask)であって、本発明の一実施形態によれば、マスク200は、金属などで構成されたマッシュ(mash)材質の部材に特定の乳剤(emulsion)を塗布し、印刷するパターンに対応する開口を形成する方式で構成できる。
この時、マスク200は、所定の張力で後述するフレーム100に支持できる。
図2を参照すると、パターンを印刷する基板20上に、フレーム100によって所定の張力で支持されたマスク200を位置させ、マスク200上に供給される印刷材料40を加圧手段30を用いて加圧し、印刷材料40がマスク200に形成された開口(図示せず)を通過するようにすることにより、基板20上にパターンを印刷することができる。
この時、本発明の一実施形態にかかるスクリーンマスク10は、図2に矢印で示されているように、マスク200を支持するフレーム120、140が移動可能に構成されることにより、マスク200を支持する張力を調整することができるが、以下、マスク200を支持するフレーム100について詳細に説明する。
フレーム100は、前述のように、マスク200を支持する構成であって、マスク200を所定の張力で支持することができる。
この時、本発明の一実施形態によれば、フレーム100は、マスク200を支持する張力を調整できるように、固定フレーム120と、移動フレーム140と、を含むことができる。
固定フレーム120は、後述する移動フレーム140を支持する部材であって、本発明の一実施形態によれば、四角形の枠状に形成され得、金属などのような剛性材質で構成できる。
しかし、固定フレーム120は、四角形状と金属材質に限定されず、多様な形態と材質で構成できる。
移動フレーム140は、マスク200を支持する構成であって、固定フレーム120に移動可能に設置できる。
この時、本発明の一実施形態によれば、移動フレーム140は、マスク200の周縁を固定支持することができる。
これにより、移動フレーム140を移動させることにより、移動フレーム140に固定されているマスク200の張力を調整することができる。
この時、本発明の一実施形態によれば、マスク200の周縁は、所定の締結手段(図示せず)を介して移動フレーム140に取り付け可能である。
この時、締結手段は、ボルトなどの公知の締結部材であり得、溶接方式によって構成されてもよい。
しかし、締結手段は、これに限定されず、マスク200の周縁を移動フレーム140に固定するように取り付け可能であれば、多様な締結方式で構成できる。
一方、本発明の一実施形態によれば、移動フレーム140は、複数個からなり得る。
この時、本発明の一実施形態によれば、図1および図3に示されるように、複数の移動フレーム140は固定フレーム120上に設置され得、複数の移動フレーム140のそれぞれは個別的に移動可能である。
この時、本発明の一実施形態によれば、移動フレーム140は、少なくとも2つの軸方向に移動することができる。
この時、本発明の一実施形態によれば、図3に示されるように、複数の移動フレーム140のそれぞれは、マスク200と並ぶ平面上に位置した、互いに垂直な2つの軸方向に移動することができる。
図3を参照すると、固定フレーム120およびマスク200は、長方形状であり得、この時、本発明の一実施形態によれば、固定フレーム120上に設けられた複数の移動フレーム140は、固定フレーム120またはマスク200の互いに隣接した2つの辺と並ぶ方向、つまり、x軸およびy軸方向に移動することができる。
これにより、本発明の一実施形態にかかるスクリーンマスク10は、複数の移動フレーム140を個別的に移動させることにより、フレーム100に支持されたマスク200の張力を精密に調整することができる。
この時、複数の移動フレーム140の個数が多いほど、張力の調整はより精密になり得るが、本発明の一実施形態によれば、移動フレーム140の個数は、マスク200および固定フレーム120の大きさ、必要な張力調整程度に応じて多様な個数で構成できる。
例えば、長方形状のマスク200の場合、最低限支持されるマスク200の一辺あたり1つ以上の移動フレーム140で構成できる。
前述のように、複数の移動フレーム140はそれぞれ、少なくとも2つの軸方向に移動することができるが、これを実現するための移動フレーム140の詳細な構造を以下に説明する。
図4を参照すると、本発明の一実施形態にかかるスクリーンマスク10において、移動フレーム140は、個別的に2つの軸方向に移動可能に1つのユニット(unit)で構成できる。
本発明の一実施形態によれば、移動フレーム140は、第1レール141と、第1移動台車143と、第2移動台車145と、を含むことができる。
この時、第1レール141は、固定フレーム120の一側に形成され得、直線状のガイドレールを形成することができる。
この時、第1レール141は、固定フレーム120上に設置され得、図4を基準としてx軸方向に形成できる。
この時、本発明の一実施形態によれば、第1レール141は、長方形状のマスク200の一辺と並ぶ方向に形成できる。
一方、第1移動台車143は、第1レール141に沿って移動可能な構成であって、第1移動台車143の一側には、前述した第1レール141に沿って移動可能に第1レール141に対応する手段が形成でき、第1移動台車143の他側には、第1レール141に垂直な方向の第2レール142が形成できる。
この時、本発明の一実施形態によれば、第2レール142は、第1移動台車143の上側に直線状に形成でき、図4を基準としてx軸に垂直なy軸方向に形成できる。
この時、本発明の一実施形態によれば、第2レール142は、長方形状のマスク200において、前述した第1レール141と並ぶ一辺に隣接した他の一辺と並ぶ方向に形成できる。
一方、第2移動台車145は、第1移動台車143に形成された第2レール142に沿って移動可能な構成であって、マスク200の周縁一側を支持することができる。
この時、前述のように、マスク200の周縁一側は、第2移動台車145に公知の締結部材や溶接などの方式によって取り付け可能である。
このように、移動フレーム140は、第1レール141に沿ってx軸方向に移動する第1移動台車143と、第1移動台車143に形成された第2レール142に沿ってy軸方向に移動する第2移動台車145と、を含むことにより、2つの軸方向に移動可能であり、移動フレーム140に支持されたマスク200の張力を精密に調整することができる。
一方、本発明の一実施形態によれば、移動フレーム140は、ボールスクリューおよびリニアガイドなどを含むことができる。
これにより、第1レール141および第2レール142は、リニアガイドで構成でき、第1移動台車143および第2移動台車145は、ボールスクリューによって移動するように構成できる。
この時、前述したボールスクリューおよびリニアガイドは、駆動モータを介して自動方式で作動できる。
しかし、これに限定されず、移動フレーム140の作動構造は多様な方式で構成可能であり、手動で作動するように構成されてもよい。
一方、本発明の一実施形態によれば、移動フレーム140は、図4に示されるように、前述した第1レール141、第1移動台車143、第2レール142および第2移動台車145が下部から上部方向に順次に配置できる。
これにより、簡単な構造だけで互いに垂直な2つの軸方向にマスク200の一側を移動させるように構成することができる。
このように、本発明の一実施形態にかかるスクリーンマスク10は、マスク200を支持する複数の移動フレーム140を少なくとも2つの軸方向に移動可能に構成することにより、マスク200を支持する張力を精密に調整することができる。
これにより、マスク200をフレーム100に設けた後、張力調整、位置調整などの必要に応じて無駄に再設置したり入れ替えなければならない問題を防止できるため、時間と費用を節約することができ、スクリーン印刷作業の効率を向上させることができる。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、特許請求の範囲と発明の詳細な説明および添付した図面の範囲内で多様に変形して実施可能であり、これも本発明の範囲に属することは当然である。
10:スクリーンマスク
100:フレーム
120:固定フレーム
140:移動フレーム
141:第1レール
142:第2レール
143:第1移動台車
145:第2移動台車
200:マスク

Claims (7)

  1. スクリーン印刷に用いられるフレーム付きのスクリーンマスクであって、
    パターンが形成されたマスクと、
    前記マスクを所定の張力で支持するフレームと、
    を含み、
    前記フレームが、
    固定フレームと、
    前記マスクを支持し、前記固定フレームに移動可能に設けられる移動フレームと、
    を含み、
    前記移動フレームは複数個からなり、
    前記複数の移動フレームはそれぞれ少なくとも二つの軸方向に移動が可能であり、
    前記複数の移動フレームは全ての前記軸方向に個別的に移動が可能であり、
    前記移動フレームを移動させることによって前記張力を調整することを特徴とする、ス
    クリーンマスク。
  2. 前記複数の移動フレームはそれぞれ、前記マスクと並ぶ平面上に位置した、互いに垂直な2つの軸方向に移動可能であることを特徴とする、請求項記載のスクリーンマスク。
  3. 前記マスクは、長方形状であり、
    前記複数の移動フレームはそれぞれ、前記マスクの互いに隣接した2つの辺と並ぶ方向に移動可能であることを特徴とする、請求項記載のスクリーンマスク。
  4. 前記移動フレームは、
    前記固定フレームに設けられた第1レールと、
    前記第1レールに沿って移動可能で、前記第1レールと垂直な方向に形成された第2レールを備えた第1移動台車と、
    前記第2レールに沿って移動可能で、前記マスクの周縁一側を支持する第2移動台車と、
    を含むことを特徴とする、請求項記載のスクリーンマスク。
  5. 前記移動フレームは、前記第1レール上に前記第1移動台車が位置し、前記第1移動台車の上部に形成された前記第2レール上に前記第2移動台車が位置することを特徴とする、請求項記載のスクリーンマスク。
  6. 前記第1移動台車および前記第2移動台車は、ボールスクリューによって移動することを特徴とする、請求項記載のスクリーンマスク。
  7. 前記ボールスクリューは、駆動モータまたは手動で駆動されることを特徴とする、請求項記載のスクリーンマスク。
JP2013143345A 2012-12-17 2013-07-09 スクリーンマスク Active JP6385652B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2012-0147541 2012-12-17
KR1020120147541A KR102063832B1 (ko) 2012-12-17 2012-12-17 스크린 마스크

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014117949A JP2014117949A (ja) 2014-06-30
JP6385652B2 true JP6385652B2 (ja) 2018-09-05

Family

ID=50902138

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013143345A Active JP6385652B2 (ja) 2012-12-17 2013-07-09 スクリーンマスク

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9193145B2 (ja)
JP (1) JP6385652B2 (ja)
KR (1) KR102063832B1 (ja)
CN (1) CN103862845B (ja)
TW (1) TWI616348B (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104191807B (zh) * 2014-08-04 2017-01-18 深圳劲嘉集团股份有限公司 一种丝网印刷设备
KR102352280B1 (ko) * 2015-04-28 2022-01-18 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체 제조 장치 및 이를 이용한 마스크 프레임 조립체 제조 방법
KR102352279B1 (ko) 2015-05-13 2022-01-18 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체와 그 제조방법
JP2017217874A (ja) * 2016-06-09 2017-12-14 株式会社コベルコ科研 スクリーン印刷用メッシュ部材及びスクリーン印刷版
KR20210107217A (ko) * 2020-02-21 2021-09-01 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치의 제조장치, 마스크 어셈블리의 제조방법, 및 표시 장치의 제조방법
KR102245885B1 (ko) * 2020-07-09 2021-04-29 주식회사 주영지앤에프 섬유 인쇄물 및 이의 제조 방법

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1892268A (en) * 1930-12-13 1932-12-27 Flockhart James Screen stencil frame
DE3042893A1 (de) * 1980-11-13 1982-06-09 Elmar Dipl.-Kfm. Dr. 8000 München Messerschmitt Verfahren und vorrichtung zur behandlung von siebdruckgewebe
JPS6036232U (ja) * 1983-08-22 1985-03-13 有限会社 マイクロシステムズ スクリ−ン紗張り装置
JPH05131332A (ja) * 1991-11-07 1993-05-28 Hitachi Ltd 移動案内装置
JP4059305B2 (ja) * 1997-07-04 2008-03-12 株式会社日立プラズマパテントライセンシング スクリーン印刷装置
JPH11240129A (ja) * 1998-02-24 1999-09-07 Sanee Giken Kk スクリーン印刷装置
KR100383042B1 (ko) 2001-02-13 2003-05-09 주식회사 엘지이아이 개선된 형광면 제조용 스크린마스크
KR100402743B1 (ko) 2001-03-13 2003-10-17 삼성에스디아이 주식회사 스크린 인쇄장치와 이를 채용하여 제조된 평판표시장치
JP2004006257A (ja) * 2002-04-26 2004-01-08 Tohoku Pioneer Corp 真空蒸着用マスク及びこれを用いて製造された有機elディスプレイパネル
US6878208B2 (en) * 2002-04-26 2005-04-12 Tohoku Pioneer Corporation Mask for vacuum deposition and organic EL display manufactured by using the same
KR100761766B1 (ko) * 2005-10-17 2007-09-28 삼성전자주식회사 프린팅 장치, 이의 제어방법과 이를 이용한 평판표시장치의제조방법
JP4951960B2 (ja) * 2005-12-22 2012-06-13 大日本印刷株式会社 メタルマスク、メタルマスク位置アラインメント方法及び装置
KR100708323B1 (ko) * 2006-02-09 2007-04-17 엔티엠 주식회사 마스크 장치 및 그 제어 방법
JP2008110533A (ja) * 2006-10-31 2008-05-15 Fujitsu Hitachi Plasma Display Ltd スクリーンマスク
JP5050561B2 (ja) * 2007-02-23 2012-10-17 株式会社ボンマーク 紗張り装置
DE102007060916B3 (de) * 2007-12-14 2009-06-25 Kba-Metronic Ag Vorrichtung und Verfahren zur Messung der Siebspannung des Siebgewebes in einem Siebrahmen
JP5344694B2 (ja) * 2009-07-01 2013-11-20 Nke株式会社 張力付加装置
JP5123970B2 (ja) 2010-03-15 2013-01-23 株式会社ボンマーク スクリーン印刷版の製造方法
JP5381830B2 (ja) * 2010-03-16 2014-01-08 パナソニック株式会社 スクリーン印刷機及びスクリーン印刷機におけるマスク設置方法
CN101979248B (zh) * 2010-09-08 2012-03-07 东莞市凯格精密机械有限公司 平面任意位置调整平台及全自动视觉印刷机
TWM442273U (en) * 2012-05-30 2012-12-01 Der-Mu Wu Screen aluminum frame capable of adjusting transverse tension and vertical horizon

Also Published As

Publication number Publication date
KR102063832B1 (ko) 2020-01-09
TWI616348B (zh) 2018-03-01
US9193145B2 (en) 2015-11-24
JP2014117949A (ja) 2014-06-30
US20140165863A1 (en) 2014-06-19
TW201425052A (zh) 2014-07-01
KR20140078310A (ko) 2014-06-25
CN103862845B (zh) 2017-11-17
CN103862845A (zh) 2014-06-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6385652B2 (ja) スクリーンマスク
JP6274809B2 (ja) 薄膜蒸着用マスク組立体およびその製造方法
JP5023904B2 (ja) スクリーン印刷装置
CN104802504B (zh) 丝网印刷装置、电子部件安装系统及丝网印刷方法
US20140047990A1 (en) Screen printing apparatus, printed matter manufacturing method, and substrate manufacturing method
JPWO2006115106A1 (ja) スクリーン印刷装置
WO2012157032A1 (ja) 印刷装置
JP4679912B2 (ja) パターン形成装置、ヘッドユニット装置、ヘッドユニット制御方法
WO2013073426A1 (ja) マスク印刷方法および装置
KR101714398B1 (ko) 메탈마스크 고정장치
JP2016175362A (ja) スクリーン印刷機
JP2010280222A (ja) スクリーン印刷装置
WO2017145280A1 (ja) スクリーン印刷機
JP6159281B2 (ja) 印刷装置
JP5792786B2 (ja) 基板印刷装置
KR101830009B1 (ko) 전사 장치 및 전사 방법
WO2013039080A1 (ja) 基板製造装置
JP2006205004A (ja) パターン形成装置、ヘッドユニット、ヘッドの位置決め方法
WO2017187513A1 (ja) 基板サポート装置、スクリーン印刷装置、塗布装置、表面実装機、及び、バックアップピン段取り方法
JP2007320152A (ja) スクリーン印刷機
JP6824880B2 (ja) 印刷装置
JP3939721B2 (ja) スクリーン印刷方法
TWI783104B (zh) 用於將黏性材料印刷於基板上的模板印刷機,運送系統,及模板印刷機的用來支撐並夾緊基板的方法
JP2006297886A (ja) マグネットによる金属製のスクリーン版の保持
JP2010247545A (ja) スクリーン印刷装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160706

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20170419

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20170608

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20170627

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170926

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180109

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180405

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20180710

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20180808

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6385652

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250