JP2006297886A - マグネットによる金属製のスクリーン版の保持 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】印刷中時はマグネットにより金属製のスクリーン版を被印刷物保持台に吸着すると共に、剥離時においてはマグネットを固定する保持板を支持する2つの駆動手段のうち一方の駆動手段により、マグネットを印刷物保持台の上面より離すと共に、金属製のスクリーン版への吸着の磁力を弱めて、支持体の上昇と共にスキジを支点としてスクリーン版を容易に剥離する磁力発生手段による。
【選択図】図4
Description
この点においては凸版印刷や平板印刷より優れている。
厚い塗膜が得られれば、立体感のある印刷が可能になるだけでなく、半導体製造におけるエッチングレジストやプリント基板の製造にも応用可能であるから、工業的分野においても需要が増しており、広範囲な用途において一層厚い塗膜を形成する技術が求められていた。また、スクリーン版はその強度、寿命の観点から金属製のスクリーン版が好ましい。
本発明の磁力発生手段を用いれば、金属製のスクリーン版の被印刷物への吸着、剥離において、マグネットの磁力の力を任意に変えられる。
この様にすると金属製のスクリーン版の被印刷物保持台へのマグネットの磁力による吸着においても、金属製のスクリーン版のゆがみが生じないので、被印刷物への塗料の印刷のムラ、ズレが生じないばかりでなく、塗料の厚い印刷が可能となる。
金属製のスクリーン版2の下部には、塗料18を印刷される例えばウェハ等の被印刷物6を保持する印刷物保持台7があり、その印刷物保持台7はアライメントテーブル8により被印刷物6の位置を適正な位置に変えられる様になっている。アライメントテーブル8は摺動テーブル9の上に固定され、前記左右の支持体1A、1Bに対して前後の位置に動く様にガイド10A,10Bにて摺動する様になっている。その作動はエア駆動でも、モータでもよい。また、ガイド10A、10B例えばLMガイド等が用いられる。
前記ガイド10A,10B及び前記支持体1A,1Bの上下移動のガイド部11A、11B及びガイド10A、10Bは、架12に直接または他の部品を介して取り付けられている。
前記磁力発生手段17は、前記印刷物保持台7と、前記被印刷物6の被印刷面に当接する位置に支持された保持版14に配置されたマグネット13と、前記保持版14は各々に上下方向に移動可能な2つの駆動手段15、16を具備する事を特徴とするスクリーン印刷装置である。
磁力発生手段17は、印刷物保持台17とマグネット13と保持板14と2つの駆動手段15、16により構成される。被印刷面に当接する位置に支持された保持版14に固着されたマグネット13と前記保持板14は各々で上下移動可能な駆動手段右15、駆動手段左16を具備している。よって、この様な磁力発生手段17の構成部分だけで、磁力発生装置とも言える。またマグネット13の種類は等方性マグネットより、異方向性マグネットの方が金属製のスクリーン版2に「しわ」や「波」が発生しなくてよい。駆動手段右15、駆動手段左16は空圧シリンダ、ソレノイド、サーボモータ、パルスモータ、通常のモータやネジとナットによる1駆動手段でもよい。
まず、手前位置にて被印刷物6であるウエハ等を印刷物保持台7の上に載せ金属製のスクリーン版2の下部に移動させる事ができる様になっている。前記の印刷物保持台7はアライメントテーブル8上に固定されており、被印刷物6のウエハ等を最適な位置に合わせられる様に、X、Y、シータ方向に調整可能になっている。摺動テーブル9の上に固定されたアライメントテーブル8と印刷物保持台7と前記印刷物保持台7に固定された被印刷物6は、金属製のスクリーン版2の下に位置する所で停止できる様になっている。
この時、支持体1A、1Bに支えられた金属製のスクリーン版2の両端は、図面は省略されているが駆動駒と挟み駒により空圧シリンダの駆動により挟み込まれる。また別の空圧シリンダによって、スクリーン版2の両端は左右の部分は引っぱられ、空気圧の適度な設定により、金属製のスクリーン版2に適度な張力を与え、撓ませることなく適度な張力を保てる様になっている。
一方、磁力発生手段において、駆動手段右15,駆動手段左16と共に、保持板14を上方へ移動して、マグネット13を、印刷物保持台17の上面に近づけて、すなわちマグネット13の磁力によって金属製のスクリーン版2を吸着ならしめる様にするものである。
塗料18の排出口4から金属製のスクリーン版2の表面のスキジユニット5の左右移動方向と直角方向の移動により、金属製のスクリーン版の上面に塗料18を塗出し、金属製のスクリーン版2の上に塗料18がやや均一に塗布され、金属製のスクリーン版2とスキジ3Aは一定な高さを保ちながら移動できる様になっている
スキジ3Aはスキジユニット5の動きと共に金属スクリーン版2に接触する事なく、塗料34を金属スクリーン版2に均一な厚さに右から左方向に移動する。スキジ3Aの移動と共に支持体1Aは上方向に移動し、4図に示す様に金属製のスクリーン版2は被印刷体6の右側より剥離して行くものである。
この様にして、金属製のスクリーン版2を印刷物保持台17から剥離すべき部分を磁力による保持力を減少させ、保持すべき部分の金属製のスクリーン版の磁力による保持力は維持できる様になっている。
この様にスキジ3Aの移動と共に、塗料18が金属製のスクリーン版2の塗料通過部を通って、被印刷物6に印刷されると共に、支持体1Aの上昇により、金属製のスクリーン版2から直ちに剥離させる事ができ、塗料18の固まりが少ない粘性が弱い内に剥離が可能とするものである。
本装置は、金属製のスクリーン版上の塗料18の厚さを均一にする為に、スキジユニット5の左右方向の駆動と上下方向の駆動、支持体1A、1Bの上下方向の駆動にサーボモータを用い、そのパラメータの設定後は数値制御により自動的に一連の動きを自動的に運転可能とできる。
異方向性マグネットを用いると、その吸着、剥離はより容易に行われる。以上の様にすると、最良なスクリーン印刷の刷り上がり精度の状態とその形状を均一にでき、印刷の精度が落ちると言う不具合を無くすることができるだけでなく、アスペスト比の高く厚くて、塗装の解像再生性、寸法精度が高い、ムラ印刷が無い印刷された被印刷物を提供する事が可能となる
よって常に塗料18を均一に被印刷物6に印刷する事ができる。
この様な動作の後においては、金属製のスクリーン版2の上の塗料18は、スキジにより右から左方向へ作動することにより塗料18は寄り集まった状態になっている。
よって次工程のスクリ−ン印刷においては、スキジユニット3Aと対称なスキジ3Bによりスキジユニット5は左から右方向へ移動し印刷を行い支持体1Bの上昇の作動にて、金属製のスクリーン版2を被印刷体6から剥離させて用いる。
支持体1A,1Bは本実施例においては上下方向の作動可能として説明したが、いずれか一方のみの上下方向の移動可能の製品でも本発明の請求の範囲が含まれる。
この様にして被印刷物6から金属製スクリーン版2を剥離させるとき、金属製のスクリーン版の剥離角度が常に一定に設定できる様に制御器により制御できる様なっており、容易に剥離が可能となっている。よって、金属製のスクリーン版2の上の塗料18をより厚くて、より均一で厚いスクリーン印刷を行うことが可能となった。
2.金属製のスクリーン版
3A.3Bスキジ
4.排出口
5.スキジユニット
6.被印刷物
7.印刷物保持台
8.アライメントテーブル
9.摺動テーブル
10A,10B ガイド
11A,11B ガイド部
12.架
13.マグネット
14.保持板
15.駆動手段右
16.駆動手段左
17.磁力発生手段
18.塗料
Claims (6)
- 印刷すべき形状をなす塗料通過部を有する平板状の金属製のスクリーン版と、前記の金属製のスクリーン版を支持する支持体と、前記支持体を上下方向に駆動させる駆動手段と、被印刷物を被印刷面に当接する位置に保持するための印刷物保持台と、塗料を前記金属製のスクリーン版に擦り付ける事により前記塗料通過部を通じて塗料を被印刷物に転写するためのスキジユニットのスキジと、前記金属製のスクリーン版を被印刷物へ向けて吸引するための磁力発生手段を具備し、
前記磁力発生手段は、前記印刷物保持台と、前記被印刷物の被印刷面に当接する位置に支持された保持版に配置されたマグネットと、前記保持版は各々に上下方向に移動可能な二つの駆動手段とを具備する事を特徴とするスクリーン印刷装置。 - 被印刷物の被印刷面に当接する位置に支持されたマグネットと、前記マグネットを保持する保持版と、前記保持版を上下移動可能に駆動させる二つの駆動手段とを具備する事を特徴とするスクリーン印刷の磁力発生装置。
- 印刷すべき形状をなす塗料通過部を有する平板状の金属製のスクリーン版と、前記の金属製のスクリーン版を支持する支持体と、前記支持体を上下方向に駆動させる駆動手段と、被印刷物を被印刷面に当接する位置に保持するための印刷物保持台と、塗料を前記金属製のスクリーン版に擦り付ける事により前記塗料通過部を通じて塗料を被印刷物に転写するためのスキジユニットのスキジと、前記金属製のスクリーン版を被印刷物へ向けて吸引するための磁力発生手段を具備し、
磁力発生手段において、マグネットを支持する保持板を駆動手段の二つのうち一方の駆動手段によってマグネットを印刷物保持台の上面より離すと共に、金属製のスクリーン版の支持体の上昇と共にスキジを支点として金属製のスクリーン版を被印刷物から剥離する方法。 - 前記マグネットが異方向性マグネットである請求項1記載のスクリーン印刷器。
- 前記マグネットが異方向性マグネットである請求項2記載の磁力発生装置。
- 前記マグネットが異方向性マグネットである請求項3記載のスクリーン版を被印刷物から剥離する方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005153029A JP2006297886A (ja) | 2005-04-24 | 2005-04-24 | マグネットによる金属製のスクリーン版の保持 |
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KR102191415B1 (ko) * | 2019-07-16 | 2020-12-15 | 주식회사 이에스티 | 섀도우 마스크 제조장치 |
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