JP6782094B2 - スクリーン印刷方法およびスクリーン印刷装置 - Google Patents

Description

本発明は、スクリーン印刷方法およびスクリーン印刷装置に関する。

スクリーン印刷技術は、高精細な印刷を高速で行うことができるため、電子回路基板の製造、および電池の電極の製造など、幅広い分野で使用されている。

通常、スクリーン印刷技術により被印刷物に印刷を行う場合、まず、被印刷物上に、パターンを有するスクリーン版が配置される。次に、スクリーン版の表面（被印刷物とは反対側の表面）に、ペースト（印刷インク）が設置される。次に、スキージを、スクリーン版に押し付けながら水平方向に移動させることにより、ペーストが被印刷物の側にパターン状に押し出される。その結果、スクリーン版のパターンを被印刷物に印刷することができる（例えば特許文献１、２）。

特開２００１−２１２９３５号公報 特開平９−３１４８０２号公報

スクリーン印刷方法の一方式として、スクリーン版を、該スクリーン版と被印刷物との間に所定のクリアランスを有するようにして配置する方式、いわゆる「非密着方式」が知られている。

この非密着方式では、メッシュを有するスクリーン版が使用される。また、そのようなスクリーン版が、被印刷物の上にクリアランスを設けて設置される。

印刷の際には、スキージがスクリーン版に押し付けられる。この押し付け力により、スキージの直下では、スクリーン版のメッシュが変形し、被印刷物と接触する。次に、ペーストを同伴させながら、スキージが水平方向に移動される。このスキージの動きにより、ペーストが、スクリーン版のメッシュを介して、被印刷物の表面に連続的に押し出される。これにより、被印刷物の表面に、ペーストのパターンを印刷することができる。

しかしながら、このような非密着方式では、印刷位置、すなわちスキージがスクリーン版と接触する位置において、スクリーン版のメッシュを変形させる必要があり、これにより、スクリーン版に形成されたパターンが幾分歪むおそれがある。スクリーン版のパターンにそのような歪みが生じた場合、被印刷物に転写されるパターンも、同様に変形してしまうおそれがある。

特に、近年は、より微細なパターンをスクリーン印刷することに対する要望が高まっており、そのような微細なパターンを印刷する場合、スクリーン版および被印刷物におけるパターンの歪みの問題は、より顕著になることが予想される。

本発明は、このような背景に鑑みなされたものであり、本発明では、従来に比べて、より所望の形状に近い印刷パターンを得ることの可能なスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。また、本発明では、従来に比べて、より所望の形状に近いパターンを得ることの可能なスクリーン印刷装置を提供することを目的とする。

本発明では、
パターンを有するスクリーン版上でスキージを移動させて、被印刷物に前記パターンを印刷するスクリーン印刷方法であって、
前記スクリーン版は、周囲の枠部材によって囲まれたメッシュを有し、
前記枠部材は、第１の外周部分および第２の外周部分を有し、前記第１の外周部分は、第１の方向に向かって第２の外周部分と対向し、
当該スクリーン印刷方法は、
（１）前記メッシュが被印刷物に密着するようにして配置された前記スクリーン版上に、ペーストを設置する工程と、
（２）スキージを、前記メッシュ上の第１の位置で、前記メッシュに接触させる工程と、
（３）前記スキージを、前記第１の位置から第２の位置まで、移動方向に沿って移動させ、前記被印刷物に前記ペーストを転写させる工程であって、前記移動方向は、前記第１の方向と実質的に一致する工程と、
（４）前記第１の方向と垂直な水平方向から見たとき、前記被印刷物の上面または下面に対応する直線を、前記スクリーン版の前記第２の外周部分よりも外側まで外挿した外挿線上のいずれかの点を支点として、前記枠部材の前記第１の外周部分を、前記被印刷物から遠ざかるように移動させる工程
を有する、スクリーン印刷方法が提供される。

また、本発明では、
パターンを有するスクリーン版上でスキージを移動させて、被印刷物に前記パターンを印刷するスクリーン印刷装置であって、
前記スクリーン版は、周囲の枠部材によって囲まれたメッシュを有し、
前記枠部材は、第１の外周部分および第２の外周部分を有し、前記第１の外周部分は、第１の方向に向かって第２の外周部分と対向し、
前記スキージは、前記スクリーン版にペーストが載置された状態で、前記スクリーン版上の第１の位置から第２の位置まで、移動方向に沿って移動することができ、
前記移動方向は、前記第１の方向と実質的に一致し、
印刷の際には、前記スクリーン版は、前記メッシュが被印刷物と密着するように、該被印刷物上に配置され、
当該スクリーン印刷装置は、さらに、
前記第１の方向と垂直な水平方向から見たとき、前記被印刷物の上面または下面に対応する直線を、前記スクリーン版の前記第２の外周部分よりも外側まで外挿した外挿線上のいずれかの点を支点として、前記枠部材の前記第１の外周部分を、前記被印刷物から遠ざかるように移動させる分離手段
を有する、スクリーン印刷装置が提供される。

本発明では、従来に比べて、より所望の形状に近い印刷パターンを得ることの可能なスクリーン印刷方法を提供することができる。また、本発明では、従来に比べて、より所望の形状に近い印刷パターンを得ることの可能なスクリーン印刷装置を提供することができる。

従来のスクリーン印刷方法に使用されるスクリーン印刷装置を概略的に示した図である。 図１に示した従来のスクリーン印刷装置を用いて、被印刷物にパターンを印刷する際の様子を模式的に示した図である。 本発明の一実施形態によるスクリーン印刷装置の一例を模式的に示した図である。 本発明の一実施形態によるスクリーン印刷装置に使用されるスクリーン版の一例を模式的に示した上面図である。 本発明の一実施形態によるスクリーン印刷方法のフローの一例を概略的に示した図である。 図５に示したスクリーン印刷方法における一工程の様子を模式的に示した図である。

（従来のスクリーン印刷方法）
本発明の構成および特徴についてより良く理解するため、まず、図１および図２を参照して、従来のスクリーン印刷方法について簡単に説明する。

図１には、従来のスクリーン印刷方法に使用されるスクリーン印刷装置を概略的に示す。また、図２には、図１に示した従来のスクリーン印刷装置を用いて、被印刷物にパターンを印刷する際の様子を示す。

図１に示すように、従来のスクリーン印刷装置１は、スクリーン版１０と、被印刷物（図示されていない）が載置されるテーブル３０と、スキージ４０とを有する。

スクリーン版１０は、外周に配置された枠部材１２と、この枠部材１２で取り囲まれた領域に配置されたメッシュ１４で構成される。メッシュ１４には、予め所定のパターンが形成されている。

なお、実際に図１に示す方向（Ｙ方向）から視認した場合、スクリーン版１０のメッシュ１４は、手前側の枠部材１２の底面と一致するため、視認することはできないことに留意する必要がある。図１に示した例では、説明の明確化のため、スクリーン版１０は、紙面に平行な方向における断面として示されている。以降の図においても、スクリーン版は、同様の形態で表す。

また、図１には示されていないが、スキージ４０は、通常スキージヘッドの先端に取り付けられ、上下方向（図１の±Ｚ方向）および左右方向（図１の±Ｘ方向）に移動することができる。

このような構成を有する従来のスクリーン印刷装置１を用いて被印刷物にパターンを印刷する場合、まず、図２（ａ）に示すように、テーブル３０の上に、被印刷物９０が載置される。また、被印刷物９０の上方に、スクリーン版１０が配置される。

ここで、スクリーン版１０は、メッシュ１４の下面と被印刷物９０との間に、所定のクリアランスｄを有するように配置される。

次に、スクリーン版１０の所定の位置に、ペースト（印刷インク）９２が配置される。

次に、図２（ｂ）に示すように、スキージ４０をペースト９２の近傍に配置した後、スキージ４０をスクリーン版１０に押し付ける。この押し付け力により、スキージ４０の直下では、スクリーン版１０のメッシュ１４が変形し、メッシュ１４が被印刷物９０と接触する。

次に、この状態から、図２（ｃ）に示すように、ペースト９２を同伴させながら、スキージ４０を水平（Ｘ）方向に移動させる。このスキージ４０の動きにより、ペースト９２が、スクリーン版１０のメッシュ１４を介して、被印刷物９０の表面に連続的に押し出される。その結果、被印刷物９０の表面に、ペースト９２のパターン９５を印刷することができる。

このようなスクリーン印刷方法は、スクリーン版１０がメッシュ１４と被印刷物９０との間に所定のクリアランスｄを有するようにして配置されるため、「非密着方式」とも呼ばれる。

非密着方式では、スクリーン版１０のメッシュ１４は、スキージ４０の通過後に、テンションによって自動的に元の位置に復帰する。このため、非密着方式では、印刷完了後に、スクリーン版１０と被印刷物９０とを分離するための分離工程を、別途設ける必要がない。

しかしながら、非密着方式では、印刷位置、すなわちスキージ４０がスクリーン版１０と接触する位置において、スクリーン版１０のメッシュ１４を変形させる必要があり、これにより、スクリーン版１０に形成されたパターンが幾分歪むおそれがある。そして、スクリーン版１０のパターンにそのような歪みが生じた場合、被印刷物９０に転写されるペースト９２のパターン９５も同様に変形してしまうおそれがある。

特に、近年は、より微細なパターンをスクリーン印刷することに対する要望が高まっており、そのような微細なパターンを印刷する場合、スクリーン版１０および被印刷物９０におけるパターンの歪みの問題は、より顕著になることが予想される。

一方、非密着方式とは別の印刷方式として、「密着方式」によるスクリーン印刷方法がある。

この密着方式では、スクリーン版は、被印刷物と密着するように配置される。また、スクリーン版として、メッシュの代わりに、貫通開口がパターン状に形成された板状部材が使用される。

この密着方式では、スクリーン版と被印刷物は、印刷の間、相互に密着している。このため、印刷中にスクリーン版のパターンに歪みが生じることが少なく、より所望の形状に近いパターンを被印刷物に印刷することができる可能性がある。

しかしながら、密着方式では、印刷後に、スクリーン版と被印刷物とを分離するための分離工程が別途必要になる。

分離工程では、通常の場合、スクリーン版の位置が固定された状態で、被印刷物が載置されたテーブルが下方に移動され、これによりスクリーン版と被印刷物とが分離される。

しかしながら、このような分離工程では、印刷品質に影響を及ぼさないようにして、被印刷物をスクリーン版から分離することは容易ではない。

例えば、上記方法では、被印刷物をスクリーン版から分離する際に、被印刷物上のペーストの一部が、スクリーン版に同伴されてしまい、被印刷物に残留するパターンの形状が変化することが、しばしば認められている。特に、被印刷物の略中央部分は、外周部分に比べて、スクリーン版から分離し難い傾向にあり、分離工程後の被印刷物において、パターンの略中央部分において、局部的に印刷品質が低下するという問題が生じ得る。

従って、微細なパターンを印刷する場合には、密着方式においても、印刷品質の低下の問題は依然として残る。

これに対して、本発明の一実施形態によるスクリーン印刷方法およびスクリーン印刷装置では、後述するように、従来のスクリーン印刷方法に比べて、より所望の形状に近い印刷パターンを得ることができる。

（本発明の一実施形態によるスクリーン印刷装置）
次に、図３〜図４を参照して、本発明の一実施形態によるスクリーン印刷装置について説明する。

図３には、本発明の一実施形態によるスクリーン印刷装置（以下、「第１のスクリーン印刷装置」と称する）の構成を概略的に示す。

図３に示すように、第１のスクリーン印刷装置１００は、スクリーン版１１０と、テーブル１３０と、スキージヘッド１４０と、分離手段１５０と、支持手段１５５とを有する。

テーブル１３０は、スクリーン版１１０の下方に配置され、被印刷物（図３には示されていない）およびスクリーン版１１０を支持する役割を有する。

スキージヘッド１４０は、スキージ１４２と、アーム１４４とを有し、スキージ１４２は、アーム１４４の先端に設けられた先端部材１４６に取り付けられる。スキージヘッド１４０は、アーム１４４および先端部材１４６の動作により、スキージ１４２をスクリーン版１１０の所定の位置に、所定のアタック角度で配置したり、スクリーン版１１０上の所定の方向に移動させたりすることができる。

分離手段１５０は、印刷後に、被印刷物からスクリーン版１１０を分離させる役割を有する。

図４には、スクリーン版１１０の上面図を示す。図４に示すように、スクリーン版１１０は、スクリーン版１１０の外周に枠状に配置された枠部材１１２と、この枠部材１１２に取り囲まれて配置されたメッシュ１１４とで構成される。

メッシュ１１４には、予め所定のパターン１１９が形成されている。換言すれば、メッシュ１１４の一部は目封じされており、メッシュ１１４の目封じされていない部分がパターン１１９を構成する。

枠部材１１２は、第１の外周部分１１２ａ〜第４の外周部分１１２ｄを有する。第１の外周部分１１２ａと第２の外周部分１１２ｂは、第１の方向（Ｘ方向）において相互に対向しており、第３の外周部分１１２ｃと第４の外周部分１１２ｄは、第２の方向（Ｙ方向）において相互に対向している。

なお、図２に示した例では、スクリーン版１１０は、略矩形状の形態を有し、従って、枠部材１１２は、略直線状の４つの外周部分１１２ａ〜１１２ｄを有する。しかしながら、これは単なる一例であって、スクリーン版１１０の形状、および枠部材１１２を構成する外周部分の数は、特に限られない。

再度図３を参照すると、分離手段１５０は、アーム１５１と、該アーム１５１の先端に取り付けられた把持部材１５２とを有する。

分離手段１５０の把持部材１５２は、スクリーン版１１０の一つの外周部分（例えば第１の外周部分１１２ａ）を任意の機構で把持することができる。この把持の機構としては、これに限られるものではないが、例えば、機械的方法および電磁的方法などが利用できる。また、アーム１５１は、把持部材１５２を上下（Ｚ）方向および左右（Ｘ）方向に、自在に移動させることができる。

また、支持手段１５５は、支持部材１５６と、該支持部材１５６に連結された把持部材１５７とを有する。支持手段１５５の把持部材１５７は、スクリーン版１１０の一つの外周部分（例えば第２の外周部分１１２ｂ）を任意の機構で把持することができる。この把持の機構としては、これに限られるものではないが、例えば、機械的方法および電磁的方法などが利用できる。また、支持部材１５６は、スクリーン版１１０の外周部分（図３の例では、第２の外周部分１１２ｂ）の外側近傍に配置される。支持部材１５６は、図示しない別の支持部材によって、支持されている。

分離手段１５０は、アーム１５１および把持部材１５２により、印刷後に、スクリーン版１１０の第１の外周部分１１２ａを、被印刷物から遠ざけるように移動させることができる。

より具体的には、印刷後に、分離手段１５０は、図３の方向（Ｙ方向）から見たとき、
スクリーン版１１０の底面に対応する直線を、第２の外周部分１１２ｂよりも外側まで外挿した外挿線上の任意の点を支点として、または
テーブル１３０の上表面１３１に対応する直線を、スクリーン版１１０の第２の外周部分１１２ｂよりも外側まで外挿した外挿線上の任意の点を支点として、
第１の外周部分１１２ａを徐々に上方に移動（回転移動および平行移動のどちらでも良い）させることができる。

例えば、移動の支点は、支持手段１５５の支持部材１５６の内部にあっても良い。

また、支持手段１５５は、この移動の際に、支点がずれないように、スクリーン版１１０の第２の外周部分１１２ｂを支持することができる。

従って、分離手段１５０のこのような機能により、支持手段１５５によりスクリーン版１１０の意図しない位置ずれを抑制した状態で、スクリーン版１１０のメッシュ１１４を、水平（Ｘ）方向に沿って、徐々に被印刷物１９０から分離することができる。

なお、図３に示した分離手段１５０は、単なる一例であって、分離手段１５０は、スクリーン版１１０の一つの外周部分（例えば第１の外周部分１１２ａ）を所定の方向に移動することができる限り、いかなる構成を有しても良い。

同様に、支持手段１５５は、分離手段１５０によるスクリーン版１１０の一つの外周部分（例えば第１の外周部分１１２ａ）の移動中に、この外周部分と対向する外周部分（例えば第２の外周部分１１２ｂ）を把持して、前記支点のずれを抑制することができる限り、いかなる構成を有しても良い。

第１のスクリーン印刷装置１００は、さらに、スクリーン版１１０の固定手段（以下、「第１の固定手段」ともいう）および／または被印刷物の固定手段（以下、「第２の固定手段」ともいう）を有しても良い。

第１の固定手段は、スクリーン版１１０をテーブル１３０上に固定する役割を有する。また、第２の固定手段は、被印刷物（図示されていない）をテーブル１３０上に固定する役割を有する。なお、第１および／または第２の固定手段は、上記役割を発揮することができる限り、その構成は、特に限られない。

例えば、図３に示した例では、第１の固定手段は、吸引方式で、テーブル１３０上にスクリーン版１１０を固定することができ、第２の固定手段は、吸引方式で、テーブル１３０上に被印刷物（図示されていない）を固定することができる。

より具体的には、これらの固定手段は、テーブル１３０内に設けられた第１の吸引路１６０および第２の吸引路１７０を備える。

このうち第１の吸引路１６０は、テーブル１３０上にスクリーン版１１０を固定するために設けられる。第１の吸引路１６０は、複数の管状路１６１で構成される。管状路１６１のいくつかは、テーブル１３０の上表面１３１に開口１６５を有する。また、各管状路１６１は、テーブル１３０の側面に設けられた接続開口１６８と気体連通するように配置される。

一方、第２の吸引路１７０は、テーブル１３０上に被印刷物を固定するために設けられる。第２の吸引路１７０は、複数の管状路１７１で構成される。管状路１７１のいくつかは、テーブル１３０の上表面１３１に開口１７５を有する。また、各管状路１７１は、テーブル１３０の側面に設けられた接続開口１７８と気体連通するように配置される。

なお、図３に示した第１の吸引路１６０、第２の吸引路１７０の構成および配置は、単なる一例であって、これらは別の構成および配置を有しても良い。

例えば、示された例では、接続開口１６８、１７８は、いずれも、テーブル１３０の側面に形成されている。しかしながら、接続開口１６８、１７８は、テーブル１３０の底面など、いかなる位置に設けられても良い。また、テーブル１３０の上表面１３１に設けられる開口１６５、１７５の数、形状、および寸法は、特に限られず、開口１６５、１７５として、実際の使用に適した、いかなる数、形状、および寸法を採用しても良い。

第１のスクリーン印刷装置１００の詳細な動作は後述するが、第１のスクリーン印刷装置１００を使用して、スクリーン印刷を行った場合、従来のスクリーン印刷方法に比べて、印刷品質の低下を有意に抑制することが可能となり、より所望の形状に近い印刷パターンを得ることができる。

（本発明の一実施形態によるスクリーン印刷方法）
次に、図５〜図６を参照して、本発明の一実施形態によるスクリーン印刷方法について説明する。

図５には、本発明の一実施形態によるスクリーン印刷方法（以下、「第１のスクリーン印刷方法」と称する）のフローの一例を概略的に示す。また、図６には、第１のスクリーン印刷方法における一工程の様子を模式的に示す。

なお、ここでは、説明の明確化のため、一例として、前述のような構成の第１のスクリーン印刷装置１００を用いて、被印刷物にスクリーン印刷を行う方法について説明する。ただし、第１のスクリーン印刷方法は、必ずしも第１のスクリーン印刷装置１００を使用して実施する必要はないことに留意する必要がある。

図５に示すように、第１のスクリーン印刷方法は、
（１）テーブル上の被印刷物に密着するように配置されたスクリーン版上に、ペーストを設置する、ペースト設置工程（工程Ｓ１１０）と、
（２）スキージを、スクリーン版上の第１の位置で、スクリーン版に接触させる、スキージ設置工程（工程Ｓ１２０）と、
（３）スキージを、第１の位置から第２の位置まで、移動方向に沿って移動させ、被印刷物にペーストを転写させる、印刷工程（工程Ｓ１３０）と、
（４）スクリーン版を被印刷物から分離する、分離工程（工程Ｓ１４０）と、
を有する。

以下、図６を参照しながら、各工程について説明する。なお、ここでは、明確化のため、各部材を説明する際には、図３および図４に示された参照符号を使用する。

（工程Ｓ１１０）
まず、図６（ａ）に示すように、テーブル１３０の上に被印刷物１９０が載置される。また、被印刷物１９０の上に、該被印刷物１９０と密着するようにして、スクリーン版１１０が設置される。

被印刷物１９０は、板、箔、フィルム、およびブロックなど、いかなる形態であっても良い。また、被印刷物１９０は、紙、金属、半導体、およびセラミックスなど、いかなる材料であっても良い。

なお、通常の場合、被印刷物１９０は、スクリーン版１１０の高さに比べて十分に薄い。このため、図６では、被印刷物１９０は、スクリーン版１１０の底面（およびメッシュ１１４）と実質的に一致するように示されている。

スクリーン版１１０は、前述の図４に示したような、略矩形状の形状を有しても良い。

ここで、説明の便宜上、スクリーン版１１０において、第１の外周部分１１２ａから第２の外周部分１１２ｂに向かう方向を正のＸ方向とし、第３の外周部分１１２ｃから第４の外周部分１１２ｄに向かう方向を正のＹ方向とする（図４参照）。この規定によれば、図６（ａ）において視認されるスクリーン版１１０の左端は、枠部材１１２の第１の外周部分１１２ａに対応し、スクリーン版１１０の右端は、枠部材１１２の第２の外周部分１１２ｂに対応する。

なお、前述のように、説明の明確化のため、スクリーン版１１０は、紙面に平行な方向における断面として示されていることに留意する必要がある。

スクリーン版１１０の寸法は、特に限られない。例えば、スクリーン版１１０が矩形状の場合、一辺の長さは、２００ｍｍ以上、４０００ｍｍ以下であっても良い。

被印刷物１９０は、テーブル１３０に固定されることが好ましい。また、スクリーン版１１０も、テーブル１３０に対して、位置が固定されることが好ましい。この場合、後の印刷工程（工程Ｓ１３０）において、スクリーン版１１０から被印刷物１９０に転写されるパターンのずれを、有意に回避することができる。

ここでは、被印刷物１９０およびスクリーン版１１０をテーブル１３０に固定する一例として、前述の吸引方式、すなわち第１の吸引路１６０および第２の吸引路１７０を使用する場合について説明する。

この場合、第１の吸引路１６０は、テーブル１３０の接続開口１６８を介して、第１の吸引装置（例えば真空ポンプ）に接続され、第２の吸引路１７０は、テーブル１３０の接続開口１７８を介して、第２の吸引装置（例えば真空ポンプ）に接続される。

この状態で、第１の吸引装置を作動させると、第１の吸引路１６０を構成する各管状路１６１が減圧される。これにより、テーブル１３０の上表面１３１に設けられた開口１６５を介して、スクリーン版１１０が、テーブル１３０の上表面１３１に引きつけられ、スクリーン版１１０の位置が固定される。

同様に、第２の吸引装置を作動させると、第２の吸引路１７０を構成する各管状路１７１が減圧される。これにより、テーブル１３０の上表面１３１に設けられた開口１７５を介して、被印刷物１９０が、テーブル１３０の上表面１３１に引きつけられ、被印刷物１９０の位置が固定される。

これにより、スクリーン版１１０および被印刷物１９０が、テーブル１３０に固定される。換言すれば、スクリーン版１１０または被印刷物１９０の位置が、他方に対して固定される。

ただし、このような固定手段の構成は、単なる一例であって、被印刷物１９０およびスクリーン版１１０は、その他の方法で、テーブル１３０に固定されても良い。

例えば、磁石などを用いた電磁的な方法、またはクランプなどを用いた機械的な方法で、被印刷物１９０およびスクリーン版１１０がテーブル１３０に固定されても良い。

また、被印刷物１９０が高重量である場合など、特定の場合には、固定手段による被印刷物１９０の固定が省略されても良い。同様に、特定の場合には、固定手段によるスクリーン版１１０の固定が省略されても良い。

次に、分離手段１５０の把持部材１５２によって、スクリーン版１１０の第１の外周部分１１２ａが把持される。

また、支持手段１５５の把持部材１５７によって、スクリーン版１１０の第２の外周部分１１２ｂが把持される。

ただし、これらの把持工程の少なくとも一つは、必ずしもこの時点で行う必要はない。例えば、分離手段１５０の把持部材１５２による、スクリーン版１１０の第１の外周部分１１２ａの把持は、後述の分離工程（工程Ｓ１４０）を実施する前までに、実施されれば良い。同様に、支持手段１５５の把持部材１５７による、スクリーン版１１０の第２の外周部分１１２ｂの把持は、後述の分離工程（工程Ｓ１４０）を実施する前までに、実施されれば良い。

次に、図６（ａ）に示すように、スクリーン版１１０のメッシュ１１４上の所定の位置に、ペースト１９２が設置される。

なお、明確化のため、図６（ａ）には、分離手段１５０および支持手段１５５は示されていないことに留意する必要がある（図６（ｂ）、（ｃ）においても同じ）。

（工程Ｓ１２０）
次に、スキージヘッド１４０の動作により、スキージ１４２が、スクリーン版１１０上の第１の位置（「印刷開始位置」とも称する）に設置される。

図６（ｂ）には、スキージ１４２が第１の位置に配置された状態を示す。なお、明確化のため、この図では、スキージ１４２を除くスキージヘッド１４０の部分は、省略されている（図６の他の部分においても同じ）。

図６（ｂ）に示すように、スキージ１４２は、スクリーン版１１０のメッシュ１１４と接触するように配置される。なお、図６（ｂ）からは明確ではないが、スキージ１４２は、紙面に垂直な方向（Ｙ方向）に沿って、メッシュ１１４と線接触するように配置される。

また、第１の位置は、ペースト１９２の近傍であって、ペースト１９２よりもスクリーン版１１０の第１の外周部分１１２ａに近い位置であることが好ましい。

（工程Ｓ１３０）
次に、図６（ｃ）に示すように、スキージ１４２が、スクリーン版１１０と接触した状態で、矢印で示す方向Ｆ（「移動方向Ｆ」と称する）に沿って、第１の位置から第２の位置（「印刷完了位置」とも称する）まで移動する。

スキージ１４２の第１の位置から第２の位置までの移動方向Ｆは、実質的に、スクリーン版１１０の第１の外周部分１１２ａから第２の外周部分１１２ｂに向かう方向（前述の正のＸ方向）に対応する。

このスキージ１４２の動作によって、スクリーン版１１０上のペースト１９２が被印刷物１９０の側に押し付けられ、スクリーン版１１０のパターン１１９が被印刷物１９０上に転写される。

その後、スキージ１４２は、スキージヘッド１４０により、次の分離工程（工程Ｓ１４０）を妨害しない場所まで動かされても良い。

あるいは、スキージ１４２は、第２の位置に留まっても良い。すなわち、スキージ１４２を第２の位置に固定したまま、次の分離工程（工程１４０）が実施されても良い。この場合、スキージ１４２によって、メッシュ１１４を被印刷物１９０の方に固定する力が強まり、次の分離工程（工程Ｓ１４０）において、被印刷物１９０に対するメッシュ１１４のずれを有意に抑制することができる。

（工程Ｓ１４０）
次に、分離手段１５０によりスクリーン版１１０が被印刷物１９０から分離される。

これに先立ち、第１の固定手段により、スクリーン版１１０がテーブル１３０に固定されている場合、そのような固定状態が解除される。

例えば、前述の吸引方式でスクリーン版１１０がテーブル１３０に固定されている場合、第２の吸引装置〜第２の吸引路１７０による被印刷物１９０の吸引を維持したまま、第１の吸引装置の作動が停止される。これにより、第１の吸引路１６０の減圧状態が排除され、スクリーン版１１０のテーブル１３０に対する固定が解除される。

次に、分離手段１５０により、スクリーン版１１０の第１の外周部分１１２ａが、被印刷物１９０から遠ざかるように移動される。

例えば、図６（ｄ）に示すように、分離手段１５０のアーム１５１の駆動により、把持部材１５２が上部に上昇する。これに伴い、把持部材１５２によって把持されているスクリーン版１１０の第１の外周部分１１２ａが上方に移動する。

このスクリーン版１１０の第１の外周部分１１２ａの移動は、支点をＰとして実施される。

支点Ｐは、図６の方向（Ｙ方向）から見たとき、被印刷物１９０の上面（もしくは水平に配置されたスクリーン版１１０の底面）または下面（もしくはテーブル１３０の上表面１３１）に対応する直線を、スクリーン版１１０の第２の外周部分１１２ｂよりも外側まで外挿した外挿線上の任意の位置にある。

例えば、図６（ｄ）に示した例では、被印刷物１９０が薄いため、あまり明確ではないが、支点Ｐは、被印刷物１９０の下面に対応する直線（水平線）を、スクリーン版１１０の第２の外周部分１１２ｂよりも外側まで外挿した外挿線Ｌ_１上にある。

あるいは、被印刷物１９０が厚い場合など、特定の場合には、支点Ｐは、被印刷物１９０の上面に対応する直線（水平線）を、スクリーン版１１０の第２の外周部分１１２ｂよりも外側まで外挿した外挿線上にあっても良い。

なお、分離手段１５０の動作中、スクリーン版１１０の第２の外周部分１１２ｂは、支持手段１５５によって支持されており、このため、スクリーン版１１０の位置ずれは有意に抑制される。

図６（ｄ）に示すように、分離手段１５０によってスクリーン版１１０の第１の外周部分１１２ａが持ち上げられると、メッシュ１１４は、第１の外周部分１１２ａの上昇のタイミングからある遅れ時間をもって、第１の外周部分１１２ａの側から、徐々に上方に持ち上げられる。

その後、図６（ｅ）に示すように、分離手段１５０による第１の外周部分１１２ａの上昇をさらに継続すると、メッシュ１１４は、前述の移動方向Ｆ（正のＸ方向）に沿って、被印刷物１９０から徐々に引き離される。従って、これを継続することにより、最終的に、メッシュ１１４、さらにはスクリーン版１１０を、被印刷物１９０から完全に分離することができる。

なお、分離手段１５０によるスクリーン版１１０の第１の外周部分１１２ａの上昇の態様として、以下に示すような、少なくとも２つの態様が想定される：
第１の態様（回転による移動）：
第１の態様では、図６（ｄ）および（ｅ）に示したように、スクリーン版１１０の第１の外周部分１１２ａは、支点Ｐを回転軸として、回転するように上昇する。

第２の態様（鉛直方向の移動）：
第２の態様では、スクリーン版１１０の第１の外周部分１１２ａは、支点Ｐに拘束されながら、実質的に鉛直方向に沿って上昇する。この場合、スクリーン版１１０の第１の外周部分１１２ａのスムーズな上昇を可能にするため、分離手段１５０の把持部材１５２とアーム１５１とは、相互の位置関係を適宜調整するように作動される。例えば、第１の外周部分１１２ａの上昇量の増加にともない、分離手段１５０の把持部材１５２は、アーム１５１から徐々に遠ざかるように（すなわちＸ軸の正方向に）移動しても良い。

なお、第１の外周部分１１２ａの上昇の態様は、これらの２種類に限られるものではなく、その他の態様も考えられる。

ここで、分離工程におけるスクリーン版１１０の第１の外周部分１１２ａの「上昇速度」は、最大１０００ｍｍ／ｓｅｃ以下であることが好ましい。上昇速度をこの範囲に抑制することにより、より品質低下の少ない状態で、スクリーン版１１０を、被印刷物１９０から分離させることが可能になる。

なお、前述のように、第１の外周部分１１２ａの上昇方法には、いくつかの態様がある。そのため、ここでは、第１の外周部分１１２ａの「上昇速度」を、鉛直方向の上向きの速度で表すものとする。

例えば、スクリーン版１１０の第１の外周部分１１２ａの上昇速度は、少なくとも３段階で変化させても良い。例えば、第１の段階では、上昇速度ｖ_１は、０ｍｍ／ｓｅｃ〜１０００ｍｍ／ｓｅｃの範囲で変化し、次の第２の段階では、上昇速度ｖ_２は、０．０１ｍｍ／ｓｅｃ〜５００ｍｍ／ｓｅｃの範囲で変化し、次の第３の段階では、上昇速度ｖ_３は、５００ｍｍ／ｓｅｃ〜０ｍｍ／ｓｅｃの範囲で変化しても良い。

以上のように、第１のスクリーン印刷方法では、スクリーン版１１０を被印刷物１９０に実質的に密着させた状態で、印刷工程（工程Ｓ１３０）が実施される。このため、従来の非密着方式によるスクリーン印刷において生じるような、スクリーン版１１０のメッシュ１１４の歪みを最小限に抑制することができ、あるいは実質的に歪みが生じないようにすることができる。その結果、印刷工程（工程Ｓ１３０）の直後に生じ得る、被印刷物１９０上のパターンの変形も、最小限に抑制される。

また、第１のスクリーン印刷方法では、印刷後の分離工程（工程Ｓ１４０）において、スクリーン版１１０は、前述のように定められる支点Ｐを用いて、第１の外周部分１１２ａを徐々に上昇させることにより実施される。この場合、スクリーン版１１０は、一方の外周部から対向する外周部まで、１方向（前述の移動方向Ｆ）に沿って、徐々に被印刷物１９０から分離することができる。

従って、このような方法では、従来の密着方式によるスクリーン印刷方法とは異なり、被印刷物１９０をスクリーン版１１０から分離する際に、印刷品質に与える影響を最小限に抑制することができる。

以上の効果により、第１のスクリーン印刷方法および第１のスクリーン印刷装置では、従来のスクリーン印刷方法に比べて、印刷品質の低下を有意に抑制することが可能となり、より所望の形状に近い印刷パターンを得ることができる。

また、第１のスクリーン印刷方法および第１のスクリーン印刷装置では、将来、印刷されるパターンがより微細になっても、高精細な状態での印刷に十分に対応することが可能となる。

以上、第１のスクリーン印刷装置１００および第１のスクリーン印刷方法を例に、本発明の一実施形態について説明した。ただし、本発明は、これらの態様に限られるものではなく、当業者には、示された態様以外の各種構成が想定され得ることは明らかである。

１ 従来のスクリーン印刷装置
１０ スクリーン版
１２ 枠部材
１４ メッシュ
３０ テーブル
４０ スキージ
９０ 被印刷物
９２ ペースト
９５ パターン
１００ 第１のスクリーン印刷装置
１１０ スクリーン版
１１２ 枠部材
１１２ａ〜１１２ｄ 外周部分
１１４ メッシュ
１１９ パターン
１３０ テーブル
１３１ 上表面
１４０ スキージヘッド
１４２ スキージ
１４４ アーム
１４６ 先端部材
１５０ 分離手段
１５１ アーム
１５２ 把持部材
１５５ 支持手段
１５６ 支持部材
１５７ 把持部材
１６０ 第１の吸引路
１６１ 管状路
１６５ 開口
１６８ 接続開口
１７０ 第２の吸引路
１７１ 管状路
１７５ 開口
１７８ 接続開口
１９０ 被印刷物
１９２ ペースト

Claims (12)

1. パターンを有するスクリーン版上でスキージを移動させて、被印刷物に前記パターンを印刷するスクリーン印刷方法であって、
   前記スクリーン版は、周囲の枠部材によって囲まれたメッシュを有し、
   前記枠部材は、第１の外周部分および第２の外周部分を有し、前記第１の外周部分は、第１の方向に向かって第２の外周部分と対向し、
   当該スクリーン印刷方法は、
   （１）前記メッシュが被印刷物に密着するようにして配置された前記スクリーン版上に、ペーストを設置する工程と、
   （２）スキージを、前記メッシュ上の第１の位置で、前記メッシュに接触させる工程と、
   （３）前記スキージを、前記第１の位置から第２の位置まで、移動方向に沿って移動させ、前記被印刷物に前記ペーストを転写させる工程であって、前記移動方向は、前記第１の方向と実質的に一致する工程と、
   （４）前記第１の方向と垂直な水平方向から見たとき、前記被印刷物の上面または下面に対応する直線を、前記スクリーン版の前記第２の外周部分よりも外側まで外挿した外挿線上のいずれかの点を支点として、前記枠部材の前記第１の外周部分を、前記被印刷物から遠ざかるように移動させる工程
   を有し、
   前記（３）の工程後に、前記スキージが前記第２の位置に留まったまま、前記（４）の工程が開始される、スクリーン印刷方法。
2. 前記（４）の工程では、
   前記枠部材の前記第１の外周部分は、前記支点を軸として回転される、請求項１に記載のスクリーン印刷方法。
3. 当該スクリーン印刷方法は、前記（１）の工程の前に、
   （ａ）前記被印刷物をテーブルに固定する工程と、
   （ｂ）前記スクリーン版を前記テーブルに固定する工程と、
   を有し、
   前記（４）の工程の前に、前記被印刷物を前記テーブル上に固定したまま、前記スクリーン版と前記テーブルとの固定が解除される、請求項１または２に記載のスクリーン印刷方法。
4. 前記（ａ）の工程は、前記被印刷物を前記テーブルに吸引する工程を有し、および／または
   前記（ｂ）の工程は、前記スクリーン版を前記テーブルに吸引する工程を有する、請求項３に記載のスクリーン印刷方法。
5. 前記（４）の工程では、前記枠部材の前記第１の外周部分は、最大１０００ｍｍ／ｓｅｃ以下の速度で移動される、請求項１乃至４のいずれか一つに記載のスクリーン印刷方法。
6. パターンを有するスクリーン版上でスキージを移動させて、被印刷物に前記パターンを印刷するスクリーン印刷装置であって、
   前記スクリーン版は、周囲の枠部材によって囲まれたメッシュを有し、
   前記枠部材は、第１の外周部分および第２の外周部分を有し、前記第１の外周部分は、第１の方向に向かって第２の外周部分と対向し、
   前記スキージは、前記スクリーン版にペーストが載置された状態で、前記スクリーン版上の第１の位置から第２の位置まで、移動方向に沿って移動することができ、
   前記移動方向は、前記第１の方向と実質的に一致し、
   印刷の際には、前記スクリーン版は、前記メッシュが被印刷物と密着するように、該被印刷物上に配置され、
   当該スクリーン印刷装置は、さらに、
   前記第１の方向と垂直な水平方向から見たとき、前記被印刷物の上面または下面に対応する直線を、前記スクリーン版の前記第２の外周部分よりも外側まで外挿した外挿線上のいずれかの点を支点として、前記枠部材の前記第１の外周部分を、前記被印刷物から遠ざかるように移動させる分離手段
   を有し、
   前記分離手段は、前記スキージが前記スクリーン版上の前記第２の位置に留まった状態で、前記枠部材の前記第１の外周部分の移動を開始する、スクリーン印刷装置。
7. さらに、前記スクリーン版の下側に、被印刷物を載置するためのテーブルと、
   前記スクリーン版を前記テーブルに固定する第１の固定手段と、
   を有する、請求項６に記載のスクリーン印刷装置。
8. 前記第１の固定手段は、前記スクリーン版を前記テーブルに吸引固定する機能を有する、請求項７に記載のスクリーン印刷装置。
9. さらに、
   前記被印刷物を前記テーブルに固定する第２の固定手段、
   を有する、請求項７または８に記載のスクリーン印刷装置。
10. 前記第２の固定手段は、前記被印刷物を前記テーブルに吸引固定する機能を有する、請求項９に記載のスクリーン印刷装置。
11. 前記分離手段は、前記第２の固定手段により、前記被印刷物が前記テーブル上に固定された状態で、前記枠部材の前記第１の外周部分を、前記被印刷物から遠ざかるように移動させる、請求項９または１０に記載のスクリーン印刷装置。
12. 前記分離手段は、前記支点を軸として、前記枠部材の前記第１の外周部分を回転させる機能を有する、請求項６乃至１１のいずれか一つに記載のスクリーン印刷装置。
    

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