KR100761766B1

KR100761766B1 - 프린팅 장치, 이의 제어방법과 이를 이용한 평판표시장치의제조방법

Info

Publication number: KR100761766B1
Application number: KR1020050097762A
Authority: KR
Inventors: 김훈; 최정미
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2005-10-17
Filing date: 2005-10-17
Publication date: 2007-09-28
Also published as: CN100548679C; CN1951691A; US20070084362A1; KR20070042019A; TW200719755A; JP2007118603A

Abstract

본 발명은 프린팅 장치, 이의 제어방법과 이를 이용한 평판표시장치의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 프린팅 장치는, 기판이 안착되는 테이블과; 테이블 상에 위치하는 스크린 프린팅용 마스크와; 마스크의 적어도 일측을 승강시키는 승강부; 및 승강부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여 기판 상의 박막과 마스크 간의 분리를 용이하게 할 수 있는 프린팅 장치가 제공된다.

Description

프린팅 장치, 이의 제어방법과 이를 이용한 평판표시장치의 제조방법{ PRINTING APPARATUS, CONTROLLING METHOD THEREOF AND MANUFACTURING METHOD OF FLAT PANEL DISPLAY}

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 스크린 프린팅 장치의 평면도이고,

도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ를 따른 스크린 프린팅 장치의 단면도이며,

도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ을 따른 스크린 프린팅 장치의 단면도이고,

도 4는 메쉬부가 박막으로부터 이격된 상태를 나타내는 단면도이며,

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 스크린 프린팅 장치의 제어 블록도이고,

도 6는 본 발명의 일실시예에 따른 스크린 프린팅 장치의 제어방법을 설명하기 위한 흐름도이며,

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 스크린 프린팅 장치의 제어방법을 설명하기 위한 흐름도이고,

도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 스크린 프린팅 장치에 의하여 제조된 OLED의 단면도이다.

* 도면의 주요부분의 부호에 대한 설명 *

1 : 스크린 프린팅 장치 5 : OLED

10 : 테이블 11 : 안착핀

20 : 마스크 21 : 메쉬부

23 : 마스킹부 25 : 마스크 프레임

30 : 마스크 고정부 40 : 스퀴지

41 : 구동축 43 : 베어링

51 : 제1구동모터부 52 : 회전축

53 : 모터 54 : 벨트

55 : 제2구동모터부 60 : 승강부

61 : 구동부 63 : 지지축

70 : 제어부 100 : 기판

105 : 막물질 110 : 박막

본 발명은, 프린팅 장치, 이의 제어방법과 이를 이용한 평판표시장치의 제조방법에 관한 것으로서, 더 자세하게는, 기판 상의 박막과 마스크 간의 분리를 용이하게 할 수 있는 프린팅 장치, 이의 제어방법과 이를 이용한 평판표시장치의 제조방법에 관한 것이다.

평판표시장치(flat panel display) 중 저전압 구동, 경량 박형, 광시야각 그리고 고속응답 등의 장점으로 인하여, 최근 OLED(organic light emitting diode)가 각광 받고 있다.

이와 같은 OLED는 기판 상에 유기발광층, 정공주입층 및 정공전달층 등의 유기소자가 마련된 유기소자기판과, 상기 유기소자기판과 대향 접합되어 유기발광층으로 유입될 수 있는 수분 또는 산소를 제거하는 밀봉기판을 포함한다. 그리고, 밀봉기판과 유기소자기판 사이에는 양 기판을 접합시키고 외부로부터의 수분 또는 산소의 유입을 방지하기 위해 박막이 개재되는데, 이런 박막은 기판의 전면에 도포된다. 그리고, 박막은 유기막일 수 있으며 스크린 프린팅 방법을 통하여 형성될 수 있다.

여기서, 스크린 프린팅 방법은 기판에 대응하는 메쉬(mesh)부와 상기 메쉬부를 둘러싸고 있는 마스킹부 및 마스킹부의 적어도 일측에 마련되어 메쉬부의 텐션을 유지하는 마스크 프레임를 포함하는 마스크를 상기 기판에 정렬 배치하고, 스퀴지를 기판쪽으로 가압하면서 기판 상을 스캔작동시켜 상기 메쉬부에 막물질을 채움으로서 균일한 박막을 기판 상에 형성한다. 스퀴지의 가압시 메쉬부는 그 형상이 변형되어 기판 상의 박막에 접합되며 스퀴지가 지나감에 따라 박막으로부터 이격된다.

그러나, 박막의 면적이 커짐에 따라 기판 상에 형성되는 박막의 면적도 커지게 되고, 박막에 접합되는 메쉬부의 접촉면적도 커진다. 이 경우 메쉬부와 마스크 프레임 사이의 장력이 박막의 점성으로 인한 메쉬부와 박막 사이의 점성력보다 약하여 메쉬부가 박막으로부터 이격되는 시간이 오래 걸리거나 심지어 분리되지 않는 이격불량이 발생하는 문제점이 있다.

따라서 본 발명의 목적은 기판 상의 박막과 마스크 간의 분리를 용이하게 할 수 있는 프린팅 장치, 이의 제어방법과 이를 이용한 평판표시장치의 제조방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 목적은, 기판이 안착되는 테이블과; 테이블 상에 위치하는 스크린 프린팅용 마스크와; 마스크의 적어도 일측을 승강시키는 승강부; 및 승강부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 프린팅 장치에 의하여 달성된다.

여기서, 마스크의 적어도 일측을 파지하고 있는 파지부를 더 포함하며, 승강부는 파지부를 지지하여 마스크를 승강시킬 수 있다.

그리고, 마스크는 기판에 대응하는 메쉬부, 메쉬부를 둘러싸고 있는 마스킹부, 및 마스킹부의 적어도 일측에 마련되어 메쉬부의 텐션을 유지하는 마스크 프레임을 포함하며, 파지부는 마스크 프레임의 적어도 일측을 지지할 수 있다.

또한, 마스크 상의 일측 마스킹부에서 일측 마스킹부와 마주하는 타측 마스킹부까지 스캔작동하며 기판 상에 박막을 형성하는 스퀴지를 더 포함하며, 제어부는 스퀴지의 스캔작동시 마스크가 상승하도록 승강부를 제어할 수 있다.

여기서, 마스크의 상승과 스퀴지의 구동은 동기화되어 있을 수 있다.

그리고, 제어부는 스퀴지가 소정 거리를 진행한 후에 마스크가 상승하도록 상기 승강부를 제어할 수 있다.

또한, 제어부는 스퀴지가 작동하는 동안 마스크의 상승운동이 멈추도록 승강 부를 제어할 수 있다.

여기서, 제어부는 마스크가 등속도로 상승하도록 승강부를 제어할 수 있다.

그리고, 제어부는 스퀴지가 진행함에 따라 마스크의 상승속도가 줄어들도록 승강부를 제어할 수 있다.

또한, 제어부는 스퀴지가 진행함에 따라 마스크의 상승속도가 빨라지도록 승강부를 제어할 수 있다.

여기서, 제어부는 마스크의 상승 폭이 스퀴지의 이동거리에 비례하도록 승강부를 제어할 수 있다.

그리고, 일측 마스킹부의 인접한 마스크 프레임은 고정되어 있으며, 타측 마스킹부에 인접한 마스크 프레임은 파지부에 파지되어 승강운동할 수 있다.

또한, 승강부는 구동부와, 구동의 구동에 의하여 승강하며 파지부를 지지하고 있는 지지축을 포함할 수 있다.

여기서, 테이블을 기준으로 서로 마주보는 양측에 각각 마련되어 있으며, 마스크 프레임의 적어도 일부가 지지되는 마스크 고정부를 더 포함하며, 마스크 고정부는 마스크 프레임의 변을 따라 연장되어 있으며,"ㄴ"자형 단면을 가질 수 있다.

그리고, 타측 마스킹부에 인접한 마스크 고정부는 2층 구조이며, 마스크 프레임의 적어도 일부를 지지하며 마스크와 함께 승강하는 파지부와 파지부의 하부에 파지부를 지지하며 마스크를 테이블로부터 이격시켜 지지하는 지지부를 포함할 수 있다.

여기서, 스퀴지는 스퀴지의 연장방향의 수직방향과 스퀴지의 진행방향이 소 정 각도를 이루면서 마스크 상을 스캔작동할 수 있다.

그리고, 마스크는 테이블로부터 소정 간격 이격되어 있으며, 스퀴지는 일측 지지부 상에 적층된 막물질을 메쉬부에 채우면서 스캔작동하면서, 기판을 향하여 메쉬부를 가압할 수 있다.

본 발명의 목적은, 기판 상에 기판에 대응하는 메쉬부와 메쉬부를 둘러싸고 있는 마스킹부 및 마스킹부의 적어도 일측에 마련되어 메쉬부의 텐션을 유지하는 마스크 프레임을 포함하는 마스크를 정렬 배치하는 단계와; 일측 마스킹부에 막물질을 적층하는 단계와; 마스크 상을 스캔작동하는 스퀴지를 일측 마스킹부에 위치시키는 단계; 및 메쉬부를 상기 기판 쪽으로 가압하면서 일측 마스킹부에서 일측 마스킹부에 마주하는 타측 마스킹부를 향하여 마스크 상을 진행하도록 스퀴지를 스캔작동시키면서 마스크의 타측을 상승시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크린 프린팅 장치의 제어방법에 의하여 달성된다.

여기서, 스퀴지의 스캔작동시 마스크의 타측을 상승시킬 수 있다.

그리고, 스퀴지가 소정 거리를 진행한 후에 마스크의 타측을 상승시킬 수 있다.

또한, 마스크 타측의 상승과 스퀴지의 구동은 동기화되어 있을 수 있다.

여기서, 스퀴지가 구동하는 동안 마스크 타측의 상승운동을 정지시킬 수 있다.

그리고, 마스크의 타측은 등속도로 상승할 수 있다.

또한, 마스크 타측의 상승속도는 스퀴지가 진행함에 따라 줄어들 수 있다.

여기서, 마스크 타측의 상승속도는 스퀴지가 진행함에 따라 빨라질 수 있다.

그리고, 마스크 타측의 상승 폭은 스퀴지의 이동거리에 비례할 수 있다.

본 발명의 목적은, 기판을 마련하는 단계와; 기판에 대응하는 메쉬부와 메쉬부를 둘러싸는 마스킹부 및 마스킹부의 적어도 일측에 마련되어 메쉬부의 텐션을 유지하는 마스크 프레임을 포함하는 마스크를 기판 상에 정렬 배치하는 단계와; 마스크 상의 일측 마스킹부에 스퀴지를 준비시키고, 스퀴지를 일측 마스킹부에서 일측 마스킹부와 마주하는 타측 마스킹부를 향하여 스캔작동시키면서 마스크의 타측을 상승시켜 기판 상에 메쉬부에 대응하는 박막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 제조방법에 의하여 달성된다.

여기서, 기판은 유기발광층을 포함하는 유기소자기판 및 유기소자기판과 대향 접합되어 유기발광층으로 이물질의 유입을 방지하는 밀봉기판 중 어느 하나일 수 있다.

그리고, 유기소자기판 및 상기 밀봉기판 중 적어도 어느 하나에 박막을 균일하게 코팅한 후, 유기소자기판과 밀봉기판을 상호 대향 접합시키고 박막을 경화시키는 단계를 더 포함할 수 있다.

여기서, 유기소자기판에 형성된 박막에 경화단계 및 반경화 단계 중 어느 하나를 진행시킨 후, 유기소자기판과 박막이 형성된 밀봉기판을 상호 대향 접합시킬 수 있다.

그리고, 박막은 열 및 광 중 적어도 어느 하나에 의하여 경화될 수 있다.

또한, 박막은 유기막 및 무기막 중 어느 하나일 수 있다.

이하 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명에 따른 일실시예에 대하여 더욱 상세히 설명하도록 한다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 스크린 프린팅 장치의 평면도이고, 도 2는 도1의 Ⅱ-Ⅱ를 따른 스크린 프린팅 장치의 단면도이며, 도3은 도1의 Ⅲ-Ⅲ을 따른 스크린 프린팅 장치의 단면도이다.

본 발명의 일시예에 따른 스크린 프린팅 장치(1)는 기판(100)이 안착되는 테이블(10)과, 상기 테이블(10) 상에 위치하는 마스크(20)와, 상기 마스크(20)의 적어도 일측을 지지하며 테이블(10)로부터 마스크(20)를 이격시키는 마스크 고정부(30)와, 마스크(20) 상을 스캔작동하는 스퀴지(40)와, 스퀴지(40)를 일측 마스크(20)로부터 타측 마스크(20)까지 직선운동시키는 제1구동모터부(51)와 스퀴지(40)를 승강운동시키는 제2구동모터부(55)를 포함하는 스퀴지 구동부(51, 55)와, 상기 마스크(20)의 적어도 일측을 승강시키는 승강부(60) 및 상기 스퀴지 구동부(51, 55)와 승강부(60)를 제어하는 제어부(70)를 포함한다.

테이블(10)은 처리 대상인 기판(100)이 안착되는 곳으로, 테이블(10) 내에는 적어도 하나의 안착핀(11)이 마련되어 있다. 로봇에 의하여 기판(100)이 테이블(10) 상으로 이송되면, 테이블(10) 내의 안착핀(11)이 상승하여 안정적으로 기판(100)을 지지한다. 기판(100)은 안착핀(11)의 하강운동과 함께 하강하여 테이블(10) 상에 안착되게 된다.

테이블(10) 위에는 마스크(20)가 위치한다. 마스크(20)는 기판(100)에 대응하는 메쉬부(mesh part, 21)와, 메쉬부(21)를 둘러싸는 마스킹부(23) 및 마스킹부(23)의 적어도 일측 가장자리에 마련되어 있으며 메쉬부(21)의 텐션을 유지하는 마스크 프레임(25)을 포함한다. 메쉬부(21)는 사각형 또는 마름모 형상의 개구를 가지는 그물망으로, 메쉬부(21)의 크기는 기판(100)보다 작거나 같을 수 있으며, 사각형상으로 마련될 수 있다. 마스킹부(23)는 플라스틱을 포함하는 유연성이 있는 재질로 마련되며, 메쉬부(21)의 가장자리와 접착되어 메쉬부(21)가 쳐지지 않도록 잡아당겨 준다. 그리고, 마스킹부(23)는 스퀴지(40)의 가압에 의해 메쉬부(20)와 함께 상하로 움직인다. 마스크 프레임(25)은 후술할 마스크 고정부(30)에 안착되어 스퀴지(40)의 구동시 마스크(20)가 움직이지 않도록 고정 지지한다. 그리고, 마스크 프레임(25)에는 마스킹부(23)와 메쉬부(21)가 결합되어 있으며, 마스크 프레임(25)은 마스크(20)의 형상을 유지하며 메쉬부(21)를 잡아당겨 메쉬부(21)의 텐션을 유지시킨다. 또한, 스퀴지(40)는 일측 마스킹부(23a)로부터 타측 마스킹부(23b)를 향하여 스캔작동하는데, 타측 마스킹부(23b)에 결합된 마스크 프레임(25)은 후술할 마스크 고정부(30)에 지지되어 승강운동하며, 일측 마스킹부(23a)에 결합된 마스크 프레임(30)은 고정되어 있어 타측 마스크 프레임(25)이 승강함에 따라 약간 움직일 뿐 승강운동하지 않는다.

테이블(10)을 기준으로 서로 마주보는 양측에는 마스크 고정부(30)가 마련되어 있다. 마스크 고정부(30)에는 마스크 프레임(25)의 적어도 일부가 지지되며, 스퀴지(40)의 구동시 마스크(20)가 움직이지 않도록 고정한다. 그리고, 마스크(20)를 기판(100)으로부터 소정간격 이격시켜 지지하는 역할을 한다. 마스크 고정부(30)는 마스크 프레임(25)의 변을 따라 연장되어 있으며, 연장방향에 수직으로 자른 단면 이 "ㄴ"자형을 이루고 있다. 마스크 고정부(30)는 연장방향이 스퀴지(40)의 이동방향과 나란하도록 배치되며, "ㄴ"의 안쪽에 마스크 프레임(25)가 수용 지지되어 있다. 타측 마스킹부(23b)에 인접한 마스크 고정부(30)는 2층구조를 이루고 있으며, 지지부(30a)는 고정되어 마스크(20)를 고정 및 이격시키는 역할을 하고, 파지부(把持部,30b)는 마스크 프레임(25)을 지지하여 후술할 승강부(60)에 의해 마스크(20)와 함께 승강운동을 한다. 마스크(20)와 기판(100) 사이의 간격(d1)은 기판(100) 사이즈에 따라 변화될 수 있으나, 대략 5cm 내지 30cm 범위 정도 이격되어 있다. 730mm * 920mm의 기판(100)의 경우에 마스크(20)로부터 약 10cm 이격되어 있다.

스퀴지(40)는 마스크(20) 상을 스캔작동하면서, 메쉬부(21)에 막물질(105)을 채워 기판(100) 상에 박막(110)을 형성한다. 더욱 자세하게, 스퀴지(40)는 마스크(20) 상의 일측 마스킹부(23a)에서 상기 일측 마스킹부(23a)와 마주하는 타측 마스킹부(23b)를 향하여 직선운동을 하며 일측 마스킹부(23a)에 적층된 막물질(105)을 메쉬부(21)에 채운다. 이와 동시에 기판(100)을 향하여 메쉬부(21)를 가압하면서 기판(100) 상에 소정의 두께를 갖는 박막(110)을 형성한다. 스퀴지(40)에 의하여 가압된 메쉬부(21)는 형상이 변형되어 가압시 박막(110)에 접합되며 스퀴지(40)가 지나감에 따라 박막(110)으로부터 이격된다.

그러나, 박막(110)의 면적이 커짐에 따라 기판(100) 상에 형성되는 박막(110)의 면적도 커지게 되고, 박막(110)에 접합되는 메쉬부(21)의 접촉면적도 커진다. 특히, 메쉬부(21)가 박막으로부터 이격되는 속도가 스퀴지(40)의 이동속도보다 느려서 스크린 프린팅이 진행됨에 따라 박막(110)에 접합되는 메쉬부(21)의 접촉면 적은 더욱 커지게 된다. 이 경우 메쉬부(21)와 마스크 프레임(25) 사이의 장력이 박막(110)의 점성으로 인한 메쉬부(21)와 박막(110) 사이의 점성력보다 약하여 메쉬부(21)가 박막(110)으로부터 이격되는 시간이 오래 걸리거나 심지어 분리되지 않는 이격불량이 발생하는 문제점이 있다.

이와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 메쉬부(21)와 마스크 프레임(25) 사이의 장력을 더 크게 할 필요가 있다. 그러나, 스퀴지(40)가 메쉬부(21)를 가압하면서 스캔작동하여 기판(100) 상에 박막(110)을 형성하는 스크린 프린팅의 구동 특성상 메쉬부(21)와 마스크 프레임(25) 사이의 장력을 강화시키는 것에는 한계가 있다. 이에 본 발명에서는 적어도 일측의 마스크(20)를 들어올려 메쉬부(21)와 마스크 프레임(25) 사이의 장력을 강화시켜 준다. 즉, 스크린 프린팅이 진행됨에 따라 박막(110)에 접촉되는 메쉬부(21)의 면적이 커짐으로 인하여 커진 점성력을 마스크(20)의 일측을 들어올려 줌으로써 감소시켜 스퀴지(40)의 진행방향 및 위치에 따라 박막(110)과 메쉬부(21) 간의 이격되는 힘이 균일하게 적용될 수 있도록 한다.

메쉬부(21)와 맞닿는 스퀴지(40) 부분은 스퀴지(40)의 연장방향의 수직방향과 스퀴지(40)의 진행방향이 소정 각도를 유지하면서 마스크(20) 상을 스캔작동한다. 이는 막물질(105)이 메쉬부(21)에 균일하게 채워져 균일한 막이 형성되도록 하기 위함이며, 메쉬부(21)의 디자인패턴에 따라 각도(a)도 다르게 설정할 수 있다. 한 실시예로 각도(a)는 약 5 내지 50도 일 수 있다. 스퀴지(40)는 긴 막대형상으로 메쉬부(21)과 맞닿는 부분은 고무 등의 연질로 도포되어 있을 수 있다. 스퀴지(40)의 길이는 메쉬부(21)의 폭과 같거나 작으며, 구동축(41)이 스퀴지(40)를 관통하고 있으며, 구동축(41)의 양 단에 베어링(43)이 마련되어 있다.

스퀴지 구동부(51, 55)는 상기 스퀴지(40)를 일측 마스크(20)로부터 타측 마스크(20)까지 직선운동시키는 제1구동모터부(51)와 스퀴지(40)를 승강운동시키는 제2구동모터부(55)를 포함한다.

제1구동모터부(51)은 도 1에 도시된 바와 같이, 스파이럴(spinal)한 스크류가 형성된 긴 회전축(52)이 마스크(20)의 양 측에 소정간격 이격되어 배치되어 있으며, 하나의 회전축(52)에는 모터(53)가 연결되어 회전축(52)을 회전시킨다. 그리고, 모터(53)에 연결되지 않은 다른 회전축(52)은 벨트(54)에 의하여 모터(53)와 연결되어 있어 양 회전축(52)은 동시에 동일한 속도로 회전하게 된다. 회전축(52)은 베이링(43)에 삽입되어 있으며, 스크류와 베어링(43) 내에 마련된 형상이 상호 맞물려 스퀴지(40)를 직선운동 시킨다. 실시예와 달리 양 회전축(52) 각각을 구동시키는 모터(53)가 연결될 수도 있다. 또한, 회전축(52)은 래크(rack)으로 마련될 수 있으며 스퀴지(40)의 축(41)의 양 단에 마련된 피니언과 맞물려 스퀴지(40)를 직선운동시킬 수도 있다.

제2구동모터부(55)는 스퀴지(40)를 관통하는 구동축(41) 상에 위치하며, 스퀴지(40)와 연결되어 스퀴지(40)의 상하운동을 제어한다. 제2구동모터부(55)가 구동축(41)을 소정 각도 회전시켜 스퀴지(40)를 상하로 운동시킨다. 즉, 판 또는 막대 형상의 스퀴지(40)을 소정 각도 회전시켜 스퀴지(40)의 밑면이 메쉬부(21)와 맞닿도록 한 후, 제1구동모터부(51)의 작동에 의하여 직선운동을 한다. 이와 달리, 모터, 기어, 베어링 등을 용하여 회전에 의하지 않고 스퀴지(40)를 상하 직선운동 하도록 구성할 수도 있다. 제2구동모터부(55)는 도시된 바와 같이 양 측에 마련될 수도 있고, 일측에만 마련될 수도 있다. 제2구동모터부(55)는 메쉬부(21) 상의 막물질(105)을 기판(100)으로 가압하여 기판(100) 상에 박막(110)을 형성한다.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 타측 마스킹부(23b)의 하부에는 승강부(60)가 마련되어 있다. 승강부(60)는 마스크(20)의 일측을 들어올리는 역할을 하는 구성요소로, 마스크(20)의 일측을 승강운동시키는 구동부(61)와 상기 구동부(61)의 구동에 의하여 승강하며 마스크(20) 일측을 지지하고 있는 지지축(63)을 포함한다. 지지축(63)의 단부는 타측 마스킹부(23b)의 일측에 마련된 마스크 프레임(25)을 지지하고 있을 수 있으며, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 마스크 프레임(25)의 적어도 일부를 지지하고 있는 파지부(把持部,30b)를 지지하여 마스크(20)를 승강시킨다.

도 5에 도시된 바와 같이, 스크린 프린팅 장치(1)의 일측 일영역에는 스퀴지 구동부(51, 55)와 승강부(60)를 제어하는 제어부(70)가 마련되어 있다. 제어부(70)는 스퀴지 구동부(51, 55)를 제어하여 스퀴지(40)의 직선운동 및 상하운동을 조절하며, 승강부(60)를 제어하여 마스크(20)의 일측을 들어올린다. 제어부(70)는 스퀴지(40)의 스캔작동시 마스크(20)의 일측, 더욱 자세하게는 타측 마스킹부(23b)에 결합된 마스크 프레임(25)이 상승하도록 승강부(60)를 제어한다. 이에 의하여 메쉬부(21)와 마스크 프레임(25) 사이의 장력이 강화되어 스퀴지(40)의 진행방향 및 위치에 따라 박막(110)과 메쉬부(21) 간의 이격되는 힘이 균일하게 적용된다. 그러므로, 박막(110)과 마스크(20) 간의 분리가 용이해 지며 기판(100) 상에 균일한 박막 (110)이 형성된다.

여기서, 제어부(70)는 마스크(20)의 상승과 스퀴지(40)의 구동을 동기화 시켜 제어할 수 있으며, 제어부(70)는 스퀴지(40)가 소정 거리를 진행한 후에 마스크(20)의 일측이 상승하도록 승강부(60)를 제어할 수도 있다. 그리고, 제어부(60)는 스퀴지(40)가 멈춤과 동시에 마스크(20)의 상승을 멈추도록 승강부(60)를 제어할 수 있으며, 스퀴지(40)가 구동하는 동안 마스크(20)의 상승운동을 멈추도록 승강부(60)를 제어할 수도 있다. 또한, 제어부(70)는 마스크(20)의 일측이 등속도로 상승하도록 승강부(60)를 제어할 수 있으며, 스퀴지(40)의 진행에 따라 마스크(20)의 상승속도가 점차적으로 줄어들도록 또는 빨라지도록 승강부(60)를 제어할 수도 있다. 그리고, 제어부(70)는 마스크(20)의 상승 폭이 스퀴지(40)의 이동거리에 비례하도록 승강부(60)을 제어할 수도 있다. 이와 같은 다양한 제어방법은 형성될 박막(110)의 크기, 메쉬부(21)와 박막(110) 사이의 점성력 및 메쉬부(21)와 마스크 프레임(25) 사이의 장력을 고려하여 스퀴지(40)의 진행방향 및 위치에 따라 박막(110)과 메쉬부(21) 간의 이격되는 힘이 균일하게 적용될 수 있도록 하기 위한 것이다. 상기의 다양한 제어방법은 동시에 또는 별도로 적용될 수 있으며, 여러 번의 시도와 계산을 통하여 각 환경에 최적인 제어방법을 찾아낼 수 있다.

이와 같은 구성을 가지는 스크린 프린팅 장치(1)를 이용하여 박막과 마스크 간의 분리를 용이하게 할 수 있는 작용 및 원리에 대하여 설명한다. 도6은 본 발명의 일실시예에 따른 스크린 프린팅 장치의 제어방법을 설명하기 위한 흐름도이고, 도7은 다른 실시예에 따른 스크린 프린팅 장치의 제어방법을 설명하기 위한 흐름도 이다. 도7의 설명에서는 도6의 설명과 구별되는 특징적인 부분만 발췌하여 설명하기로 한다.

타측 마스킹부(23b)를 향하여 기판(100) 상을 스캔작동시키면서 승강부(60)를 제어하여 마스크(20)의 일측을 상승 시킨다(S200). 일측 마스킹부(23a)에 결합된 마스크 프레임(23a)는 고정되어 있고, 타측 마스킹부(23b)에 결합된 마스크 프레임(25)은 승강부(60)에 의하여 상승운동한다. 이 때, 스퀴지(40)는 메쉬부(21)를 기판(100) 방향으로 가압하면서 기판(100)에 박막(110)을 형성한다. 여기서, 타측 마스크(20)의 상승속도는 등속도일 수 있으며, 스퀴지(40)가 진행함에 따라 빨라지거나 줄어들 수도 있다.

이어, 제어부(70)는 메쉬부(21)가 박막(110)으로부터 이격 되었는지 여부를 판독한다(S300). 메쉬부(21)가 박막(110)으로부터 완전히 이격되지 못하였으면 마스크(20)의 일측을 더욱 상승시켜 메쉬부(21)와 마스크 프레임(25) 사이의 장력을 더욱 강화시켜 마스크(20)가 박막으로부터 용이하게 이격되도록 한다. 여기서, 스퀴지(40)의 진행방향 및 위치에 따라 박막(110)과 메쉬부(21) 간의 이격되는 힘이 균일하게 적용될 수 있도록 마스크(20)의 상승속도를 적절히 제어할 필요가 있다.

이어, 메쉬부(21)가 박막(110)으로부터 모두 이격되거나, 현재 메쉬부(21)와 박막(110) 사이의 장력이 메쉬부(21)의 이격에 충분한 경우에 제어부(60)는 승강부(60)를 제어하여 마스크(20)의 상승운동을 정지시키고, 스퀴지 구동부(51, 55)를 제어하여 스퀴지(40)를 정지시킨다(S400). 한편, 실시예와 달리 스퀴지(40)를 먼저 정지시킨 후 마스크(20)의 상승운동을 정지시킬 수 있으며, 이와 반대의 구동방법 도 가능하다.

다른 실시예로, 도7에 도시된 바와 같이, 제어부(70)는 스퀴지 구동부(51, 55)를 제어하여 스퀴지(40)를 스캔작동시킨다(S210).

이어, 제어부(70)는 스퀴지(40)가 소정거리 이동하였는지 여부를 판독한다(S310). 이는 스퀴지(40)의 소정거리 이동 후에 마스크(20)의 일측을 상승시키기 위한 것으로, 환경에 따라 스퀴지(40)의 소정거리 이동 후에 적당한 속도로 마스크(20)를 상승시키는 것이 스퀴지(40)의 진행방향 및 위치에 따라 박막(110)과 메쉬부(21) 간의 이격되는 힘이 균일하게 적용될 수 있어, 박막(110)과 마스크(20) 간의 분리가 용이해 지며 기판(100) 상에 균일한 박막(110)이 형성될 수 있다. 스퀴지(40)의 이동거리는 모터(53)의 회전수 및 센서를 통하여 계산할 수 있다.

스퀴지(40)가 소정거리에 위치하지 못하면 더욱 구동시키며, 소정거리에 위치하면 제어부(70)는 승강부(60)를 제어하여 마스크(20)의 일측을 상승시킨다(S410). 소정거리는 기판(100)에 형성될 박막(110)의 면적, 점도, 메쉬부(21)와 마스크 프레임(25) 사이의 장력(텐션) 등을 고려하여 스퀴지(40)의 진행방향 및 위치에 따라 박막(110)과 메쉬부(21) 간의 이격되는 힘이 균일하게 적용될 수 있도록 계산된 거리이다. 여기서, 타측 마스크(20)의 상승속도는 등속도일 수 있으며, 스퀴지(40)가 진행함에 따라 빨라지거나 줄어들 수도 있다.

이어, 이어, 제어부(70)는 메쉬부(21)가 박막(110)으로부터 이격 되었는지 여부를 판독한다(S510).

그리고, 메쉬부(21)가 박막(110)으로부터 모두 이격되거나, 현재 메쉬부(21) 와 박막(110) 사이의 장력이 메쉬부(21)의 이격에 충분한 경우에 제어부(60)는 승강부(60)를 제어하여 마스크(20)의 상승운동을 정지시키고, 스퀴지 구동부(51, 55)를 제어하여 스퀴지(40)를 정지시킨다(S610).

이하에서는 상술한 스크린 프린팅 장치(1)를 이용하여 평판표시장치를 제작하는 방법에 대하여 설명한다. 실시예에서는 여러 가지의 평판표시장치 중에서 OLED를 한 예로 하여 설명하나, 이에 한정되지 않고 액정표시장치와 PDP 등의 다른 평판표시장치에도 적용될 수 있음은 당연하다. 그리고, 어떤 막(층)이 다른 막(층)의 '상에' 형성되어(위치하고) 있다는 것은, 두 막(층)이 접해 있는 경우뿐만 아니라 두 막(층) 사이에 다른 막(층)이 존재하는 경우도 포함한다.

도 8은 본 발명에 따른 스크린 프린팅 장치(1)에 의하여 제조된 OLED(5)의 단면도이다. OLED(5)는 전기적인 신호를 받아 발광하는 유기물을 이용한 자발광형 소자로, 이와 같은 유기물의 성능과 수명은 습기(수분)와 산소에 취약하다. 그래서 유기물(유기발광층)로 침투되는 산소와 수분을 효과적으로 방지하는 밀봉방법이 중요하다.

본 발명에 따른 OLED(5)는, 도8에 도시된 바와 같이, 영상을 표시하기 위한 유기소자(120)가 마련된 유기소자기판(100a)과, 유기소자기판(100a)과 대향 접합되어 유기소자(120)로의 산소 또는 수분의 유입을 방지하는 밀봉기판(100b) 및 유기소자기판(100a)과 밀봉기판(100b) 사이에 개재되는 박막(110a, 110b)을 포함한다.

유기소자기판(100a)은 투명한 기판으로 유기기판 또는 플라스틱 기판일 수 있다. 그리고, 도시되지 않았으나, 유기소자기판(100a)의 상면, 즉 유기소자(120)와 유기소자기판(100a) 사이에는 차단층이 형성될 수 있다. 차단층은 유기소자기판(100a)을 통하여 유기소자(120)로 유입될 수 있는 산소 또는 수분을 차단하며, SiON, SiO2, SiNx, Al2O3 등을 포함하여 이루어 진다. 차단층은 스퍼터링에 의하여 형성될 수 있다.

유기소자(120)는 공지에 방법에 의하여 마련되며, 유기발광층, 정공주입층 및 정공전달층 등을 포함한다. 그리고 유기소자(120)는 정보처리장치로부터 입력된 영상신호에 대응하는 영상을 표시한다.

밀봉기판(100b)은 유기소자기판(100a)과 동일한 재질로 마련될 수 있으며, 또는 소다라임 유리기판(soda-lime glass substrate), 보로 실리케이트 유리기판(boro-silicate glass substrate), 실리케이트 유리기판(silicate glass substrate) 및 납 유기기판(lead glass substrate) 등이 사용될 수 있다. 밀봉기판(100b)의 두께는 수분 또는 산소가 밀봉기판(100b)을 통하여 유기소자(120)로 침투되는 것을 방지하기 위해 0.1mm 내지 10mm의 두께일 수 있으며, 바람직하게는 1mm 내지 10mm의 두께를 가질 수 있다.

유기소자기판(100a)과 밀봉기판(100b) 사이에는 박막(110a, 110b)이 개재되어 있다. 박막(110a, 110b)은 유기소자기판(100a)과 밀봉기판(100b)에 의하여 형성된 사이공간을 통하여 산소 또는 수분이 유입되는 것을 방지하는 밀봉재이다. 박막(110a, 110b)은 양 기판(100a, 100b)을 상호 접합시키는 역할도 한다. 이와 같은 박막(110a, 110b)은 유기막 또는 무기막일 수 있으며, 유기물과 무기물로 이루어진 복합막일 수 있다. 예를 들어, 유기막으로는 폴리아세틸렌(polyacetylene), 폴리이 미드(polyimide) 및 에폭시 수지 등일 수 있으며, 무기막으로는 산화실리콘, 질화실리콘, 산화마그네슘. 산화알루미늄, 질화알루미늄, 산화티타늄 등이 사용될 수 있다. 또한, 박막(110a, 110b)은 유레아 수지계, 멜라민 수지계, 페놀 수지계, 레조르시놀 수지계, 에폭시 수지계, 불포화 폴리에스테르 수지계, 폴리우레탄 수지계, 아크릴 수지계 등의 열경화성 수지계와 아세트산 비닐 수지계, 에틸렌아세트산비닐 공중합체 수지계, 아크릴 수지계, 시아노아크릴레이트 수지계, 폴리비닐 알코올 수지계, 폴리아미드 수지계, 폴리올레핀 수지계, 열가소성 폴리우레탄 수지계, 폴리아미드 수지계, 폴리올레핀 수지계, 열가소성 폴리우레탄 수지계, 포화폴리에스테르 수지계, 셀룰로스계 등의 열가소성 수지계, 에스테르아크릴레이트, 우레탄아크릴레이트, 에폭시아크릴레이트, 멜라민아크릴레이트, 아크릴수지아크릴레이트 등의 각종 아크릴레이트, 우레탄폴리에스테르 등의 수지를 이용한 라디칼계 화형 접착제, 에폭시, 비닐에티르 등의 수지를 이용한 양이온계 화형 접착제, 티올/엔 부가형 수지계 접착제, 클로로플렌고무계, 니트릴고무계, 스티렌부타디엔 고무계, 천연고무계, 부틸고무계, 실리콘계 등의 고무계, 비닐페놀릭, 클로로플렌페놀릭, 니트릴페놀릭, 니트릴페놀릭, 나이론페놀릭, 에폭시페놀릭 등의 복합계의 합성 고분자 접착제를 사용할 수 있지만, 이것에만 한정되는 것은 아니다. 이런 박막(110a, 110b)을 이루는 물질에는 필러(filler)를 첨가해도, 필러로서, 예를 들면 SiOx, SiON, SiN 등의 무기재료나, Ag, Ni, Al 등의 금속재료를 이용해도 되지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 박막(110a, 110b)의 경화방법으로는, UV경화형, 가시경화형, UV+경화형, 열경화형, 후경화형 UV 물질 등이어도 된다.

일실시예를 나타내는 도8에서는, 양 기판(100a, 100b)에 유기물질로 이루어진 박막(110a, 110b)이 마련되고, 유기소자기판(100a) 상에 마련된 박막(110a) 상에 무기물질로 이루어진 보호층(130)이 마련되어 있다. 이와 같은 밀봉재의 조합은 도면에 도시된 실시예에 한정되지 않고 다양하게 제작될 수 있다. 다양한 실시예에 대하여는 밀봉방법을 설명하는 단락에서 구체적으로 설명하기로 한다. 한편, 박막(110a, 110b)은 열 또는 광경화 물질을 포함할 수 있다.

이하에서는 스크린 프린팅 방법을 이용한 OLED의 밀봉방법에 대하여 설명한다. 우선, 도 8에 도시된 실시예를 기준으로 설명한다. 우선, 유기소자(120)가 마련된 유기소자기판(100a)을 테이블(10)에 안착시키고, 마스크(20) 상에 스퀴지(40)를 스캔작동시켜 유기소자(120)를 덮는 유기물질로 이루어진 박막(110a)을 형성한다. 여기서 박막(110a, 110b)은 상술한 스크린 프린팅 장치의 제어방법을 이용하는 것이 이격불량을 최소화 하고, 균일한 박막(110a, 110b)을 형성하기에 바람직하다.

그리고 박막(110a)에 열 또는 광을 가하여 반경화 또는 경화 시킨다. 박막(110a)을 미리 반경화 또는 경화 시키는 이유는 다음과 같다. 박막(110a)의 경화시 발생하는 기체 또는 유해물질이 유기소자(120)로 침투되어 열화될 수 있으며, OLED(5)의 구동시 발생된 기체로 인하여 생성된 기포가 화면에서 시인되는 화상불량이 발생될 수 있다. 그러나 양 기판(100a, 100b)이 접합되지 않은 상태에서 경화되므로 경화시에 발생하는 기체 등이 공기중으로 방출될 수 있다. 따라서 경화시 발생하는 기체 등에 의하여 유기소자(120)가 열화되는 것과, OLED(5)의 구동시 나타날 수 있는 화상불량을 최소화 할 수 있다. 여기서, 반경화하는 것이 더 바람직 한데, 그 이유는 양 기판(100a, 100b)의 접합성능이 좋으며 반경화만으로도 경화시 발생하는 기체 등을 공기 중으로 충분히 방출할 수 있기 때문이다. 그리고, 유기소자기판(100a)의 박막(110a) 상에 무기물질로 이루어진 보호층(130)을 형성한다. 이와 달리, 보호층(130)은 수분 및/또는 산소와 화학적으로 반응하는 물질, 예를 들면, 칼슘, 바륨, 산화칼슘 및 산화바륨 등을 포함할 수 있다. 또한, 다른 실시예로 박막(110a)은 흡습제를 더 포함할 수 있다.

유기소자기판(100a)에 박막(110a)을 형성함과 동시에 또는 별도로, 스크린 프린팅 장치(1)를 이용하여 밀봉기판(100b) 상에 박막(110b)을 형성한다. 여기서 박막(110b)은 유기막일 수 있으며, 아직 경화되지 않은 상태이다.

양 기판(100a, 100b)이 준비되면, 양 기판(100a, 100b)을 상호 대향 접합 시킨 후, 가압하면서 열 또는 광을 가하여 박막(110a, 110b)을 경화시킨다. 상기 방법은 진공챔버 안에서 진행되는 것이 바람직하며, 가압되는 압력은 약 760torr가 적당하다. 이에 의하여, 유기소자(120)를 수분과 산소로부터 효과적으로 보호할 수 있으며, 이와 같은 밀봉공정은 간단하며 양산화에 적용이 용이하다.

다른 실시예로, 양 기판(100a, 100b)에 유기물질로 이루어진 박막(110a, 110b)을 각각 형성한 후, 양 기판(100a, 100b)을 대향 접합시킨 상태에서 경화단계를 진행할 수 도 있다. 한편, 유기소자기판(100a)에 마련된 박막(110a)을 반 경화 또는 완전경화 한 후에 양 기판(100a, 100b)을 대향 접합시킨 상태에서 경화단계를 진행할 수도 있다.

또 다른 실시예로, 양 기판(100a, 100b)에 유기물질로 이루어진 박막(110a, 110b)을 각각 형성한 후, 유기소자기판(100a)의 박막(110a) 상에 무기막을 더 형성하고 양 기판(100a, 100b)을 대향 접합시킨 상태에서 경화단계를 진행할 수 도 있다. 이 실시예는 도8에서 설명한 유기소자기판(100a)의 박막(110a)의 반경화 또는 완전경화단계가 생략된 것이다.

또 다른 실시예로, 유기소자기판(100a)에 차례로 유기막, 무기막, 유기막을 적층한 후에, 밀봉기판(100b)과 대향 접합 시킨 후에 경화단계를 진행할 수 있으며, 유기소자기판(100a) 상의 유기막을 반경화 또는 완전경화한 후에 밀봉기판(100b)과 대향 접합 시킨 후에 경화단계를 진행하여 OLED(5)를 완성할 수도 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 기판 상의 박막과 마스크 간의 분리를 용이하게 할 수 있는 스크린 프린팅 장치, 이의 제어방법과 이를 이용한 평판표시장치의 제조방법이 제공된다.

Claims

기판이 안착되는 테이블과;

상기 테이블 상에 위치하는 스크린 프린팅용 마스크와;

상기 마스크의 적어도 일측을 승강시키는 승강부;

상기 마스크 상에서 스캔작동하며 상기 기판 상에 박막을 형성하는 스퀴지; 및

상기 스퀴지의 스캔작동시 상기 마스크가 상승하도록 상기 승강부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 프린팅 장치.
제 1항에 있어서,

상기 마스크의 적어도 일측을 파지하고 있는 파지부를 더 포함하며,

상기 승강부는 상기 파지부를 지지하여 상기 마스크를 승강시키는 것을 특징으로 하는 프린팅 장치.
제 2항에 있어서,

상기 마스크는 상기 기판에 대응하는 메쉬부, 상기 메쉬부를 둘러싸고 있는 마스킹부, 및 상기 마스킹부의 일측에 마련되어 상기 메쉬부의 텐션을 유지하는 마스크 프레임을 포함하며,

상기 파지부는 상기 마스크 프레임의 적어도 일측을 지지하고 있는 것을 특징으로 하는 프린팅 장치.
삭제
제 1항에 있어서,

상기 마스크의 상승과 상기 스퀴지의 구동은 동기화되어 있는 것을 특징으로하는 프린팅 장치.
제 1항에 있어서,

상기 제어부는 상기 스퀴지가 소정 거리를 진행한 후에 상기 마스크가 상승하도록 상기 승강부를 제어하는 것을 특징으로 하는 프린팅 장치.
제 1항에 있어서,

상기 제어부는 상기 마스크의 상승운동이 상기 스퀴지가 작동하는 도중에 정지되도록 상기 승강부를 제어하는 것을 특징으로 하는 프린팅 장치.
제 1항에 있어서,

상기 제어부는 상기 마스크가 등속도로 상승하도록 상기 승강부를 제어하는 것을 특징으로 하는 프린팅 장치.
제 1항에 있어서,

상기 제어부는 상기 스퀴지가 진행함에 따라 상기 마스크의 상승속도가 줄어들도록 상기 승강부를 제어하는 것을 특징으로 하는 프린팅 장치.
제 1항에 있어서,

상기 제어부는 상기 스퀴지가 진행함에 따라 상기 마스크의 상승속도가 빨라지도록 상기 승강부를 제어하는 것을 특징으로 하는 프린팅 장치.
제 1항에 있어서,

상기 제어부는 상기 마스크의 상승 폭이 상기 스퀴지의 이동거리에 비례하도록 상기 승강부를 제어하는 것을 특징으로 하는 프린팅 장치.
제 3항에 있어서,

상기 일측 마스킹부의 인접한 상기 마스크 프레임은 고정되어 있으며, 상기 타측 마스킹부에 인접한 상기 마스크 프레임은 파지부에 파지되어 승강운동하는 것을 특징으로 하는 프린팅 장치.
제 2항에 있어서,

상기 승강부는 구동부와, 상기 구동부의 구동에 의하여 승강하며 상기 파지부를 지지하고 있는 지지축을 포함하는 것을 특징으로 하는 프린팅 장치.
제 3항에 있어서,

상기 테이블을 기준으로 서로 마주보는 양측에 각각 마련되어 있으며, 상기 마스크 프레임의 적어도 일부가 지지되는 마스크 고정부를 더 포함하며,

상기 마스크 고정부는 상기 마스크 프레임의 변을 따라 연장되어 있으며, "ㄴ"자형 단면을 가지는 것을 특징으로 하는 프린팅 장치.
제 14항에 있어서,

상기 마스킹부의 타측에 인접한 상기 마스크 고정부는 2층 구조이며,

상기 마스크 프레임의 적어도 일부를 지지하며 상기 마스크와 함께 승강하는 상기 파지부와, 상기 파지부의 하부에 상기 파지부를 지지하며 상기 마스크를 상기 테이블로부터 이격시켜 지지하는 지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 프린팅 장치.
제1항에 있어서,

상기 스퀴지는 상기 스퀴지의 연장방향의 수직방향과 상기 스퀴지의 진행방향이 소정 각도를 이루면서 상기 마스크 상을 스캔작동 하는 것을 특징으로 하는 프린팅 장치.
제15항에 있어서,

상기 마스크는 상기 테이블로부터 소정 간격 이격되어 있으며,

상기 스퀴지는 상기 지지부 상에 적층된 막물질을 상기 메쉬부에 채우면서 스캔작동하면서, 상기 기판을 향하여 상기 메쉬부를 가압하는 것을 특징으로 하는 프린팅 장치.
기판 상에 상기 기판에 대응하는 메쉬부와 상기 메쉬부를 둘러싸고 있는 마스킹부 및 상기 마스킹부의 적어도 일측에 마련되어 상기 메쉬부의 텐션을 유지하는 마스크 프레임을 포함하는 마스크를 정렬 배치하는 단계와;

상기 일측 마스킹부에 막물질을 적층하는 단계와;

상기 마스크 상을 스캔작동하는 스퀴지를 상기 일측 마스킹부에 위치시키는 단계; 및

상기 메쉬부를 상기 기판 쪽으로 가압하면서 상기 일측 마스킹부에서 상기 일측 마스킹부에 마주하는 타측 마스킹부를 향하여 상기 마스크 상을 진행하도록 상기 스퀴지를 스캔작동시키면서 상기 마스크의 타측을 상승시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 프린팅 장치의 제어방법.
제 18항에 있어서,

상기 스퀴지의 스캔작동시 상기 마스크의 타측을 상승시키는 것을 특징으로 하는 프린팅 장치의 제어방법.
제 18항에 있어서,

상기 스퀴지가 소정 거리를 진행한 후에 상기 마스크의 타측을 상승시키는 것을 특징으로 하는 프린팅장치의 제어방법.
제 18항에 있어서,

상기 마스크 타측의 상승과 상기 스퀴지의 구동은 동기화되어 있는 것을 특징으로 하는 프린팅 장치의 제어방법.
제 18항에 있어서,

상기 마스크 타측의 상승운동은 상기 스퀴지가 구동하는 도중에 정지되는 것을 특징으로 하는 프린팅 장치의 제어방법.
제 18항에 있어서,

상기 마스크 타측은 등속도로 상승하는 것을 특징으로 하는 프린팅 장치의 제어방법.
제 18항에 있어서,

상기 마스크 타측의 상승속도는 상기 스퀴지가 진행함에 따라 줄어드는 것을 특징으로 하는 프린팅 장치의 제어방법.
제 18항에 있어서,

상기 마스크 타측의 상승속도는 상기 스퀴지가 진행함에 따라 빨라지는 것을 특징으로 하는 프린팅 장치의 제어방법.
제 18항에 있어서,

상기 마스크 타측의 상승 폭은 상기 스퀴지의 이동거리에 비례하는 것을 특징으로 하는 프린팅 장치의 제어방법.
기판을 마련하는 단계와;

상기 기판에 대응하는 메쉬부와 상기 메쉬부를 둘러싸는 마스킹부 및 상기 마스킹부의 적어도 일측에 마련되어 상기 메쉬부의 텐션을 유지하는 마스크 프레임을 포함하는 마스크를 상기 기판 상에 정렬 배치하는 단계와;

상기 마스크 상의 일측 마스킹부에 스퀴지를 준비시키고, 상기 스퀴지를 상기 일측 마스킹부에서 상기 일측 마스킹부와 마주하는 타측 마스킹부를 향하여 스캔작동시키면서 상기 마스크의 타측을 상승시켜 상기 기판 상에 상기 메쉬부에 대 응하는 박막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 제조방법.
제 27항에 있어서,

상기 기판은 유기발광층을 포함하는 유기소자기판 및 상기 유기소자기판과 대향 접합되어 상기 유기발광층으로 이물질의 유입을 방지하는 밀봉기판 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 제조방법.
제 28항에 있어서,

상기 유기소자기판 및 상기 밀봉기판 중 적어도 어느 하나에 상기 박막을 균일하게 코팅한 후, 상기 유기소자기판과 상기 밀봉기판을 상호 대향 접합시키고 상기 박막을 경화시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 제조방법.
제 28항에 있어서,

상기 유기소자기판에 형성된 상기 박막에 경화단계 및 반경화 단계 중 어느 하나를 진행시킨 후, 상기 유기소자기판과 상기 박막이 형성된 상기 밀봉기판을 상호 대향 접합시키는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 제조방법.
제 27항에 있어서,

상기 박막은 열 및 광 중 적어도 어느 하나에 의하여 경화되는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 제조방법.
제 28항에 있어서

상기 박막은 유기막 및 무기막 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 제조방법.