JP3092562B2 - 厚膜印刷方法および装置 - Google Patents
厚膜印刷方法および装置Info
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41F—PRINTING MACHINES OR PRESSES
- B41F15/00—Screen printers
- B41F15/08—Machines
- B41F15/0804—Machines for printing sheets
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/12—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
- H05K3/1216—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by screen printing or stencil printing
- H05K3/1233—Methods or means for supplying the conductive material and for forcing it through the screen or stencil
-
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- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41P—INDEXING SCHEME RELATING TO PRINTING, LINING MACHINES, TYPEWRITERS, AND TO STAMPS
- B41P2215/00—Screen printing machines
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-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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- H05K2203/02—Details related to mechanical or acoustic processing, e.g. drilling, punching, cutting, using ultrasound
- H05K2203/0264—Peeling insulating layer, e.g. foil, or separating mask
-
- H—ELECTRICITY
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、たとえばプラズマ
ディスプレイの画素パターンを形成する厚膜印刷方法お
よび装置に関する。
ディスプレイの画素パターンを形成する厚膜印刷方法お
よび装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】金属あるいは高分子化合物繊維のメッシ
ュより成るベースに所定のパターンが感光性樹脂にて形
成されたスクリーン版上にのせたインキもしくはペース
トをスキージと呼ばれるゴム、プラスチックあるいは金
属のブレードを用いてスクリーン版の反対側におかれた
ワークに転写するいわゆる厚膜（スクリーン）印刷法は
比較的大面積でのパターン形成が比較的低コストで実現
することが容易なためにその用途が広がってきている。
ュより成るベースに所定のパターンが感光性樹脂にて形
成されたスクリーン版上にのせたインキもしくはペース
トをスキージと呼ばれるゴム、プラスチックあるいは金
属のブレードを用いてスクリーン版の反対側におかれた
ワークに転写するいわゆる厚膜（スクリーン）印刷法は
比較的大面積でのパターン形成が比較的低コストで実現
することが容易なためにその用途が広がってきている。
【０００３】その特徴的な使われ方の１つとしてプラズ
マディスプレイを代表とする大面積のフラットパネルデ
ィスプレイへの応用が展開されつつある。プラズマディ
スプレイへの応用で特徴的なこととして５０インチ前後
の大面積に百万画素以上ものパターンを形成するため
に、単に大面積なだけではなく高精度な印刷品位が求め
られるようになってきた。
マディスプレイを代表とする大面積のフラットパネルデ
ィスプレイへの応用が展開されつつある。プラズマディ
スプレイへの応用で特徴的なこととして５０インチ前後
の大面積に百万画素以上ものパターンを形成するため
に、単に大面積なだけではなく高精度な印刷品位が求め
られるようになってきた。
【０００４】上記の厚膜印刷法において、スクリーン上
をスキージが印刷しながら移動する際に、印刷完了後の
スクリーン版（以下、「版」という）が被印刷物（以
下、「ワーク」という）から離れる部分がなす角度（以
下、「版離れ角」という）が、スキージが移動するに従
って次第に小さくなっていく。これと使用するペースト
あるいはインキの粘性によってワークと版との離れが悪
くなる現象、いわゆる版離れの悪化が生じることが確認
されている。これによる膜厚むら、線幅むらが発生し、
高精度大面積の厚膜印刷において問題となっていた。
をスキージが印刷しながら移動する際に、印刷完了後の
スクリーン版（以下、「版」という）が被印刷物（以
下、「ワーク」という）から離れる部分がなす角度（以
下、「版離れ角」という）が、スキージが移動するに従
って次第に小さくなっていく。これと使用するペースト
あるいはインキの粘性によってワークと版との離れが悪
くなる現象、いわゆる版離れの悪化が生じることが確認
されている。これによる膜厚むら、線幅むらが発生し、
高精度大面積の厚膜印刷において問題となっていた。
【０００５】これは、版とワークとの間の距離（以下、
「クリアランス」という）が同じであれば任意のスキー
ジ位置において版離れ角が版サイズに反比例して小さく
なることにより顕著になること、版のサイズが大きいた
めに、同じ製版技術レベルでは版のテンションが低くな
りがちなこと等による。
「クリアランス」という）が同じであれば任意のスキー
ジ位置において版離れ角が版サイズに反比例して小さく
なることにより顕著になること、版のサイズが大きいた
めに、同じ製版技術レベルでは版のテンションが低くな
りがちなこと等による。
【０００６】この問題を解決するためにはクリアランス
を十分に大きくとることが有効だが、クリアランスを広
げると版全体の伸びが大きくなり、版の不可逆的な伸び
が発生し易くなり、版の寿命を短くするという問題点が
ある。
を十分に大きくとることが有効だが、クリアランスを広
げると版全体の伸びが大きくなり、版の不可逆的な伸び
が発生し易くなり、版の寿命を短くするという問題点が
ある。
【０００７】また、版のテンションを高くするために製
版の方法等を改善することが試みられているが、高テン
ションにしてもある程度以上の版離れ角度を維持できな
いと版離れの悪化を完全に回避することは困難である。
ところがクリアランスが同じであれば上述したように任
意のスキージ位置において版離れ角が版サイズに反比例
して小さくなるため、テンションを上げていくという製
版方法だけの改善では解決が難しいという課題がある。
版の方法等を改善することが試みられているが、高テン
ションにしてもある程度以上の版離れ角度を維持できな
いと版離れの悪化を完全に回避することは困難である。
ところがクリアランスが同じであれば上述したように任
意のスキージ位置において版離れ角が版サイズに反比例
して小さくなるため、テンションを上げていくという製
版方法だけの改善では解決が難しいという課題がある。
【０００８】そこで、クリアランスをそれほど大きくと
らずに版離れ性を改善する手法として、特開昭６３−３
１３８９５号公報の第１図に示されるような、スキージ
ストロークに連動させて版のクリアランスを増加させて
いくことで版離れ性を改善する印刷（以下、「オフコン
タクト印刷」という）が考えられた。
らずに版離れ性を改善する手法として、特開昭６３−３
１３８９５号公報の第１図に示されるような、スキージ
ストロークに連動させて版のクリアランスを増加させて
いくことで版離れ性を改善する印刷（以下、「オフコン
タクト印刷」という）が考えられた。
【０００９】以下に、この技術について図６を用いて簡
略に説明する。
略に説明する。
【００１０】図６に示すように、スクリーン版１とワー
ク２とをほぼ平行に対向させる。この際、ワーク２は真
空吸着機構を有する平面精度の高いテーブル（図示せ
ず）に固定した。スクリーン版１上にのせたペースト
（図示せず）を所定の圧力でワーク２に接触するように
設定されたスキージ３で押し出しながらワーク２にスク
リーン版１上のパターンを転写する。
ク２とをほぼ平行に対向させる。この際、ワーク２は真
空吸着機構を有する平面精度の高いテーブル（図示せ
ず）に固定した。スクリーン版１上にのせたペースト
（図示せず）を所定の圧力でワーク２に接触するように
設定されたスキージ３で押し出しながらワーク２にスク
リーン版１上のパターンを転写する。
【００１１】ここで、スキージ３のスタート側の１辺
を、図６に示すように、スキージストロークに連動させ
ながら上昇させる。ここでスクリーン版１の上昇はスキ
ージストロークスタートからスキージストロークエンド
までリニアになるように設定する。
を、図６に示すように、スキージストロークに連動させ
ながら上昇させる。ここでスクリーン版１の上昇はスキ
ージストロークスタートからスキージストロークエンド
までリニアになるように設定する。
【００１２】ここでスクリーン版１の上昇をリニアに設
定したのは以下の理由による。図６にハッチングを付し
て示す、版離れ後のスクリーンメッシュがワーク表面と
の隙間とでなす三角形の２辺ＸとＹとが互いにリニアに
変化することになり、三角形の相似が保たれる。これに
よりオフコンタクト量をクリアランスに応じた適切な値
を設定することにより版離れ角度を完全に一定に保った
印刷が可能になり、版離れ性を改善することができる。
定したのは以下の理由による。図６にハッチングを付し
て示す、版離れ後のスクリーンメッシュがワーク表面と
の隙間とでなす三角形の２辺ＸとＹとが互いにリニアに
変化することになり、三角形の相似が保たれる。これに
よりオフコンタクト量をクリアランスに応じた適切な値
を設定することにより版離れ角度を完全に一定に保った
印刷が可能になり、版離れ性を改善することができる。
【００１３】この一例として、図９に、オフコンタクト
量を２０ｍｍに一定としたときにクリアランスを１〜４
ｍｍと変化させていったときのスキージストローク（横
軸）に対する版離れ角度の変化（縦軸）を示す。
量を２０ｍｍに一定としたときにクリアランスを１〜４
ｍｍと変化させていったときのスキージストローク（横
軸）に対する版離れ角度の変化（縦軸）を示す。
【００１４】なお、この図９に示すグラフは、実測値で
はなく、シミュレーションによる計算値である。クリア
ランス量を１ｍｍ、オフコンを２０ｍｍと設定したとき
にスクリーンの版離れ角度が一定になっていることがわ
かる。
はなく、シミュレーションによる計算値である。クリア
ランス量を１ｍｍ、オフコンを２０ｍｍと設定したとき
にスクリーンの版離れ角度が一定になっていることがわ
かる。
【００１５】また、コンタクト印刷の手法ではあるが、
特開平７−３０９００３号公報にみられるような機構も
同様の内容で提案されている。
特開平７−３０９００３号公報にみられるような機構も
同様の内容で提案されている。
【００１６】また、同じ目的で、特開平５−１８５５８
０号公報にみられるようなスキージストローク後もしく
はストロークに連動させてワークを微速で下降させるこ
とにより版離れ性を改善させるという手法が考えられ
た。この技術も、クリアランスを微増させることで版離
れ角を一定以上に保つという点では上記の方法とほぼ同
じ効果を有するものである。
０号公報にみられるようなスキージストローク後もしく
はストロークに連動させてワークを微速で下降させるこ
とにより版離れ性を改善させるという手法が考えられ
た。この技術も、クリアランスを微増させることで版離
れ角を一定以上に保つという点では上記の方法とほぼ同
じ効果を有するものである。
【００１７】また、プラズマディスプレイのような大面
積での印刷を行うためには従来行われていた厚膜印刷に
比べ、どうしても版枠外形サイズに対して印刷エリアが
大きくなってしまうことが多い。これは、従来のように
周辺に余裕を持ったサイズにすると１辺が２．５ｍ前後
の大きなスクリーン版とこのスクリーン版をセットする
ことができる大きな印刷機が必要になり、製版プロセス
上も、印刷装置の製造プロセス上も精度よく造り込むこ
とが困難になっていくためである。
積での印刷を行うためには従来行われていた厚膜印刷に
比べ、どうしても版枠外形サイズに対して印刷エリアが
大きくなってしまうことが多い。これは、従来のように
周辺に余裕を持ったサイズにすると１辺が２．５ｍ前後
の大きなスクリーン版とこのスクリーン版をセットする
ことができる大きな印刷機が必要になり、製版プロセス
上も、印刷装置の製造プロセス上も精度よく造り込むこ
とが困難になっていくためである。
【００１８】版枠外形サイズに対して印刷エリアが大き
くなってしまうと、版中央部付近のテンションの均一性
が高く、スクリーン版の伸び代が十分にある部分だけで
印刷を行うことが困難になる。相対的に版のテンション
が高い周辺部とテンションの低い中央部との間で、スキ
ージがワークを押す圧力、いわゆる印圧が変化してしま
うために、膜厚むらや線幅むらが発生するという問題点
がある。これは、極力クリアランスを小さく抑えるか、
スキージの腰の強いものを用いる、もしくはスキージを
立てる等の対策が打たれることが多い。
くなってしまうと、版中央部付近のテンションの均一性
が高く、スクリーン版の伸び代が十分にある部分だけで
印刷を行うことが困難になる。相対的に版のテンション
が高い周辺部とテンションの低い中央部との間で、スキ
ージがワークを押す圧力、いわゆる印圧が変化してしま
うために、膜厚むらや線幅むらが発生するという問題点
がある。これは、極力クリアランスを小さく抑えるか、
スキージの腰の強いものを用いる、もしくはスキージを
立てる等の対策が打たれることが多い。
【００１９】また、スクリーン版の伸び代が十分ではな
いために、クリアランスをある程度とった印刷性のよい
条件で印刷を行うと、スクリーン版の伸びが大きくな
り、印刷精度の低下や、スクリーン版の不可逆な変形を
引き起こすことによるスクリーン版の短寿命化という問
題が発生し易い。これも極力クリアランスを小さく抑え
る印刷条件にすることで回避されることが多い。
いために、クリアランスをある程度とった印刷性のよい
条件で印刷を行うと、スクリーン版の伸びが大きくな
り、印刷精度の低下や、スクリーン版の不可逆な変形を
引き起こすことによるスクリーン版の短寿命化という問
題が発生し易い。これも極力クリアランスを小さく抑え
る印刷条件にすることで回避されることが多い。
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】以上説明した従来の方
法によれば、版離れ性を大幅に改善することは可能であ
るが、印刷スタート時のクリアランスは小さくできても
版をワークから離すに従ってクリアランスは広がってい
くために、版の不可逆的な伸びが発生することは完全に
は回避できないのみならず、スキージストローク先頭と
最後とでクリアランスが大きく異なることになるため印
刷時のパターンの歪みが不均一に発生するという新たな
問題点が発生した。
法によれば、版離れ性を大幅に改善することは可能であ
るが、印刷スタート時のクリアランスは小さくできても
版をワークから離すに従ってクリアランスは広がってい
くために、版の不可逆的な伸びが発生することは完全に
は回避できないのみならず、スキージストローク先頭と
最後とでクリアランスが大きく異なることになるため印
刷時のパターンの歪みが不均一に発生するという新たな
問題点が発生した。
【００２１】図６に示したオフコンタクト印刷を用いた
ときのスクリーン版の伸び量の変化を図７に示す。図７
は実測値ではなく計算値である。
ときのスクリーン版の伸び量の変化を図７に示す。図７
は実測値ではなく計算値である。
【００２２】計算における前提条件を、 オフコンタクト：スキージストロークに連動動作、スキ
ージを１７００ｍｍストローク時にスキージスタート側
端部を２０ｍｍ持ち上げる、 スクリーン版：内寸１３４０ｍｍ、スクリーン枠とスキ
ージとのあいだのスクリーンメッシュ部分が三角形を描
くような伸びをする、 として、スキージをストロークさせていったときの、ス
クリーン版のスキージストローク方向の伸び量をクリア
ランス値を０、１、２、３、４ｍｍと変化させながら計
算して、横軸にスキージストローク、縦軸にスクリーン
版伸び量をプロットしたものである。
ージを１７００ｍｍストローク時にスキージスタート側
端部を２０ｍｍ持ち上げる、 スクリーン版：内寸１３４０ｍｍ、スクリーン枠とスキ
ージとのあいだのスクリーンメッシュ部分が三角形を描
くような伸びをする、 として、スキージをストロークさせていったときの、ス
クリーン版のスキージストローク方向の伸び量をクリア
ランス値を０、１、２、３、４ｍｍと変化させながら計
算して、横軸にスキージストローク、縦軸にスクリーン
版伸び量をプロットしたものである。
【００２３】これによりわかるように、クリアランスが
小さい領域（０〜１ｍｍ）ではスクリーンの伸び量変化
は比較的小さい。しかしクリアランスが大きくなると
（２ｍｍ〜）スクリーン版の伸びは急激に大きくなり、
特にスキージスタート側とスキージエンド側とでの伸び
の差は歴然としている。
小さい領域（０〜１ｍｍ）ではスクリーンの伸び量変化
は比較的小さい。しかしクリアランスが大きくなると
（２ｍｍ〜）スクリーン版の伸びは急激に大きくなり、
特にスキージスタート側とスキージエンド側とでの伸び
の差は歴然としている。
【００２４】スクリーン版の固体差や仕様、使用ペース
ト、使用パターンにより絶対値が異なるため一概には言
えないが、たとえば、東京プロセスサービス（株）製
の、ポリエステルの印刷用メッシュを周辺部に張りその
内側をステンレス系の印刷用メッシュ（ここではＳＸ３
００メッシュを用いた）を張った、いわゆるコンビネー
ション張りの１５００ｍｍ角（内寸１３４０ｍｍ）のス
クリーンを用いて導体ペースト（ここではノリタケカン
パニー（株）製銀ペーストＮＰ−４０２８を用いた）
を、４０インチサイズの電極パターンでソーダライムガ
ラス基板上に、前記前提条件で印刷を行った際に、十分
な版離れ性を示したのはクリアランスが４ｍｍ以上の場
合であった（スキージストローク速度は２０ｍｍ／
ｓ）。
ト、使用パターンにより絶対値が異なるため一概には言
えないが、たとえば、東京プロセスサービス（株）製
の、ポリエステルの印刷用メッシュを周辺部に張りその
内側をステンレス系の印刷用メッシュ（ここではＳＸ３
００メッシュを用いた）を張った、いわゆるコンビネー
ション張りの１５００ｍｍ角（内寸１３４０ｍｍ）のス
クリーンを用いて導体ペースト（ここではノリタケカン
パニー（株）製銀ペーストＮＰ−４０２８を用いた）
を、４０インチサイズの電極パターンでソーダライムガ
ラス基板上に、前記前提条件で印刷を行った際に、十分
な版離れ性を示したのはクリアランスが４ｍｍ以上の場
合であった（スキージストローク速度は２０ｍｍ／
ｓ）。
【００２５】つまり、この条件では図７で十分な版離れ
性を確保した印刷が可能なのは、図中クリアランス４の
カーブで示される条件からであり、それ以下のクリアラ
ンス量は版離れの悪化による膜厚むらや表面状態の劣化
があり、精度の高い印刷をしようとすると実用に耐えな
い。
性を確保した印刷が可能なのは、図中クリアランス４の
カーブで示される条件からであり、それ以下のクリアラ
ンス量は版離れの悪化による膜厚むらや表面状態の劣化
があり、精度の高い印刷をしようとすると実用に耐えな
い。
【００２６】実用クリアランスを最小値の４とすると図
７になるといえ、このことから、図６に示したオフコン
タクト印刷では不均一なパターン歪みが発生するため大
型のプラズマディスプレイの製造に使用することが困難
である。
７になるといえ、このことから、図６に示したオフコン
タクト印刷では不均一なパターン歪みが発生するため大
型のプラズマディスプレイの製造に使用することが困難
である。
【００２７】また、不均一な伸びを回避するためにスキ
ージストローク完了後に版もしくはワークを、クリアラ
ンスを増加させる方向に動かすことで、スキージ終端側
での版離れ性を改善することも可能だが、スキージスト
ローク中に発生する版離れの悪化によるむらは消えない
ために根本的な改善にはならない。
ージストローク完了後に版もしくはワークを、クリアラ
ンスを増加させる方向に動かすことで、スキージ終端側
での版離れ性を改善することも可能だが、スキージスト
ローク中に発生する版離れの悪化によるむらは消えない
ために根本的な改善にはならない。
【００２８】もちろん、クリアランスを０にしたいわゆ
るコンタクト印刷であれば、版離れの悪化によるむらは
発生しないが、今度はペーストにじみが発生する、版を
どのように均一にワークから引き剥がすか等の問題が発
生してしまうため、これも簡単には解決にならない。そ
のため、図６に示したオフコンタクト厚膜印刷方法で
は、プラズマディスプレイのような大面積での微細加工
を行うためには大きな問題があった。
るコンタクト印刷であれば、版離れの悪化によるむらは
発生しないが、今度はペーストにじみが発生する、版を
どのように均一にワークから引き剥がすか等の問題が発
生してしまうため、これも簡単には解決にならない。そ
のため、図６に示したオフコンタクト厚膜印刷方法で
は、プラズマディスプレイのような大面積での微細加工
を行うためには大きな問題があった。
【００２９】また、パターンサイズが大きい場合のスク
リーン版周辺部での印刷むらの印刷条件による回避方法
では、クリアランス、スキージ硬度、スキージ角度の、
印刷としては主要条件に制限を設けてしまうために作業
マージンが狭くなり歩留まりの低下を招くという問題点
がある。
リーン版周辺部での印刷むらの印刷条件による回避方法
では、クリアランス、スキージ硬度、スキージ角度の、
印刷としては主要条件に制限を設けてしまうために作業
マージンが狭くなり歩留まりの低下を招くという問題点
がある。
【００３０】また、パターンサイズが大きい場合のスク
リーン版周辺部での印刷むらの、印刷条件による回避方
法では、クリアランスを小さく抑えなければならないと
いう制限を設けてしまうために作業マージンが狭くなり
歩留まりの低下を招くという問題点がある。これは上記
オフコンタクト印刷を併用することで初期クリアランス
を極力小さくすることができるため、改善することはで
きるが、スキージストロークエンド側では実質的にクリ
アランスが増加してしまうため、設定によっては印圧ば
らつきによるむらや、スクリーン版の不均一な伸びがか
えって悪化するという問題がある。
リーン版周辺部での印刷むらの、印刷条件による回避方
法では、クリアランスを小さく抑えなければならないと
いう制限を設けてしまうために作業マージンが狭くなり
歩留まりの低下を招くという問題点がある。これは上記
オフコンタクト印刷を併用することで初期クリアランス
を極力小さくすることができるため、改善することはで
きるが、スキージストロークエンド側では実質的にクリ
アランスが増加してしまうため、設定によっては印圧ば
らつきによるむらや、スクリーン版の不均一な伸びがか
えって悪化するという問題がある。
【００３１】
【課題を解決するための手段】本発明の厚膜印刷方法で
は、スキージ移動中のワークとスクリーン版との間隔
を、スキージストロークに連動して、スキージスタート
側のスクリーン版の辺とスキージエンド側のスクリーン
版の辺との２辺を各々独立に変化させる特徴を有する。
は、スキージ移動中のワークとスクリーン版との間隔
を、スキージストロークに連動して、スキージスタート
側のスクリーン版の辺とスキージエンド側のスクリーン
版の辺との２辺を各々独立に変化させる特徴を有する。
【００３２】また、本発明の厚膜印刷方法では、ワーク
とスクリーン版のスキージスタート側の辺との間隔と、
前記ワークと前記スクリーン版のスキージエンド側の辺
との間隔とを、スキージストロークに連動して、互いに
逆方向にリニアに変化させる特徴を有する。
とスクリーン版のスキージスタート側の辺との間隔と、
前記ワークと前記スクリーン版のスキージエンド側の辺
との間隔とを、スキージストロークに連動して、互いに
逆方向にリニアに変化させる特徴を有する。
【００３３】また、本発明の厚膜印刷装置では、スキー
ジ移動中のワークとスクリーン版との間隔を、スキージ
ストロークに連動して、スキージスタート側のスクリー
ン版の辺とスキージエンド側のスクリーン版の辺との２
辺を各々独立に変化させることが可能な機構を有する。
ジ移動中のワークとスクリーン版との間隔を、スキージ
ストロークに連動して、スキージスタート側のスクリー
ン版の辺とスキージエンド側のスクリーン版の辺との２
辺を各々独立に変化させることが可能な機構を有する。
【００３４】また、本発明の厚膜印刷装置では、ワーク
とスクリーン版のスキージスタート側の辺との間隔と、
前記ワークと前記スクリーン版のスキージエンド側の辺
との間隔とを、スキージストロークに連動して、互いに
逆方向にリニアに変化させる特徴を有する。
とスクリーン版のスキージスタート側の辺との間隔と、
前記ワークと前記スクリーン版のスキージエンド側の辺
との間隔とを、スキージストロークに連動して、互いに
逆方向にリニアに変化させる特徴を有する。
【００３５】また、本発明の厚膜印刷装置では、スキー
ジの往路復路ともにワークへの印刷が可能なスキージ機
構を有し、往路復路ともに印刷実施中に、前記スキージ
移動中の前記ワークと前記スクリーン版との間隔を、ス
キージストロークに連動して、スキージスタート側のス
クリーン版の辺とスキージエンド側のスクリーン版の辺
との２辺を各々独立に変化させ、且つ、前記ワークと前
記スクリーン版のスキージスタート側の辺との間隔と、
前記ワークと前記スクリーン版のスキージエンド側の辺
との間隔とを、スキージストロークに連動して、互いに
逆方向にリニアに変化させることが可能な機構を有す
る。
ジの往路復路ともにワークへの印刷が可能なスキージ機
構を有し、往路復路ともに印刷実施中に、前記スキージ
移動中の前記ワークと前記スクリーン版との間隔を、ス
キージストロークに連動して、スキージスタート側のス
クリーン版の辺とスキージエンド側のスクリーン版の辺
との２辺を各々独立に変化させ、且つ、前記ワークと前
記スクリーン版のスキージスタート側の辺との間隔と、
前記ワークと前記スクリーン版のスキージエンド側の辺
との間隔とを、スキージストロークに連動して、互いに
逆方向にリニアに変化させることが可能な機構を有す
る。
【００３６】
【００３７】
【００３８】［作用］印刷時の版離れ性を悪化させるこ
となくスクリーン版のスキージによる伸び量の変化を十
分に小さく抑えた印刷が可能になり、印刷時のパターン
変形や伸縮を軽減させ、歩留まりを向上させることがで
き、且つスクリーン版の長寿命化が図れる。
となくスクリーン版のスキージによる伸び量の変化を十
分に小さく抑えた印刷が可能になり、印刷時のパターン
変形や伸縮を軽減させ、歩留まりを向上させることがで
き、且つスクリーン版の長寿命化が図れる。
【００３９】また、スクリーン版の伸縮をある程度均一
に保ってコントロールできるために、ワーク側の寸法変
化に対して同一のスクリーン版を用いたままで伸縮を合
わせ込むことが可能になる。
に保ってコントロールできるために、ワーク側の寸法変
化に対して同一のスクリーン版を用いたままで伸縮を合
わせ込むことが可能になる。
【００４０】また、紗張りテンションの高いスクリーン
版の先頭部と最後部とでクリアランスを小さく抑えるこ
とができるため、印圧変化による印刷膜厚ばらつきを抑
えることができ、印刷歩留まりを向上させる効果があ
る。
版の先頭部と最後部とでクリアランスを小さく抑えるこ
とができるため、印圧変化による印刷膜厚ばらつきを抑
えることができ、印刷歩留まりを向上させる効果があ
る。
【００４１】また、スクリーン版の伸縮をある程度均一
に保ってコントロールできるために、スクリーン版の不
可逆な伸びの発生を抑えることが可能になり、スクリー
ン版の長寿命化が可能になる。
に保ってコントロールできるために、スクリーン版の不
可逆な伸びの発生を抑えることが可能になり、スクリー
ン版の長寿命化が可能になる。
【００４２】以上より、大面積高精細のパターン印刷に
おいて、歪みの少ない均一なパターン形成が可能にな
り、高コストな薄膜プロセスを用いることなく高精細高
均一なパターン形成が可能になるため、大型高精細パタ
ーンの低コスト、量産化を実現できる。
おいて、歪みの少ない均一なパターン形成が可能にな
り、高コストな薄膜プロセスを用いることなく高精細高
均一なパターン形成が可能になるため、大型高精細パタ
ーンの低コスト、量産化を実現できる。
【００４３】
【発明の実施の形態】以下本発明を図面に基づいて詳し
く説明する。
く説明する。
【００４４】図１は、本発明による厚膜印刷装置の第１
の実施の形態の一部を示した図である。
の実施の形態の一部を示した図である。
【００４５】図１に示すように、スクリーン版１とワー
ク２とをほぼ平行に対向させる。この際、ワーク２は真
空吸着機構を有する平面精度の高いテーブル（図示せ
ず）に固定した。スクリーン版１上にのせたペースト
（図示せず）を、所定の圧力でワーク２に接触するよう
に設定されたスキージ３で押し出しながらワーク２にス
クリーン版１上のパターンを転写する。
ク２とをほぼ平行に対向させる。この際、ワーク２は真
空吸着機構を有する平面精度の高いテーブル（図示せ
ず）に固定した。スクリーン版１上にのせたペースト
（図示せず）を、所定の圧力でワーク２に接触するよう
に設定されたスキージ３で押し出しながらワーク２にス
クリーン版１上のパターンを転写する。
【００４６】ここで、スキージ３のスタート側の１辺
を、図１に示すように、スキージストロークに連動させ
ながら上昇させる。また同時に、スキージ３のエンド側
の１辺をスキージスタート時に所定の高さまで引き上げ
た後、図１に示すようにスキージストロークに連動させ
ながら下降させる。ここでスクリーン版１の上げ下げは
スキージストロークスタートからスキージストロークエ
ンドまでリニアになるように設定する。以降本発明によ
るオフコンタクト印刷を「両側オフコンタクト印刷」と
いい、図６に示した従来のオフコンタクト印刷を「片側
オフコンタクト印刷」という。
を、図１に示すように、スキージストロークに連動させ
ながら上昇させる。また同時に、スキージ３のエンド側
の１辺をスキージスタート時に所定の高さまで引き上げ
た後、図１に示すようにスキージストロークに連動させ
ながら下降させる。ここでスクリーン版１の上げ下げは
スキージストロークスタートからスキージストロークエ
ンドまでリニアになるように設定する。以降本発明によ
るオフコンタクト印刷を「両側オフコンタクト印刷」と
いい、図６に示した従来のオフコンタクト印刷を「片側
オフコンタクト印刷」という。
【００４７】図４は、スキージ移動に連動してスキージ
最大ストローク時にほぼ１回転するように調整されたカ
ム５を用いてオフコンタクトを実現させる機構の概略図
である。
最大ストローク時にほぼ１回転するように調整されたカ
ム５を用いてオフコンタクトを実現させる機構の概略図
である。
【００４８】カム５の回転と可変軸４の固定位置に応じ
てスクリーン版の上昇量が変化する機構である。この図
４中では、スクリーン版の上昇側のみ記載しているが、
下降させる機構も回転方向を逆にすることにより実現さ
れる。
てスクリーン版の上昇量が変化する機構である。この図
４中では、スクリーン版の上昇側のみ記載しているが、
下降させる機構も回転方向を逆にすることにより実現さ
れる。
【００４９】図５は、スキージ移動に連動してリニアに
ストロークするパルスモータを用いてオフコンタクトを
実現させる機構の概略図である。
ストロークするパルスモータを用いてオフコンタクトを
実現させる機構の概略図である。
【００５０】スキージ駆動用の信号系から受け取ったス
キージ移動情報によりパルスモータをリニアに動作さ
せ、スクリーン版突き上げピン８を上昇させることでス
クリーン版を上昇させる機構である。この図５ではスク
リーン版の上昇側のみ記載しているが、下降させる機構
も駆動方向を逆にすることにより実現される。
キージ移動情報によりパルスモータをリニアに動作さ
せ、スクリーン版突き上げピン８を上昇させることでス
クリーン版を上昇させる機構である。この図５ではスク
リーン版の上昇側のみ記載しているが、下降させる機構
も駆動方向を逆にすることにより実現される。
【００５１】なお、図４、図５のいずれもクラッチ機構
等を用いて、ゼロ点あるいは下降開始点を所定のポジシ
ョンに設定することが可能になっている（図示は省
略）。
等を用いて、ゼロ点あるいは下降開始点を所定のポジシ
ョンに設定することが可能になっている（図示は省
略）。
【００５２】この第１の実施の形態による両側オフコン
タクト印刷による版離れ角度の変化を図１０に示す。図
１０は実測値ではなくシミュレーションによる計算値で
ある。
タクト印刷による版離れ角度の変化を図１０に示す。図
１０は実測値ではなくシミュレーションによる計算値で
ある。
【００５３】計算における前提条件を、 オフコンタクト：スキージストロークに連動動作、スキ
ージを１７００ｍｍストローク時にスキージスタート側
端部を２０ｍｍ持ち上げ、スキージエンド側端部を２０
ｍｍ持ちあげた後０まで押し下げる、 スクリーン版：内寸１３４０ｍｍ、スクリーン枠とスキ
ージとの間のスクリーンメッシュ部分が三角形を描くよ
うな伸びをする、 として、最小版離れ角度が０．０１１２８°になるオフ
コンタクト設定量（単位はｍｍ）で、クリアランス値を
０、１、２、３、４ｍｍと変化させながら、スキージを
ストロークさせていったときのスクリーン版のスキージ
ストローク方向の伸び量を計算して横軸にスキージスト
ローク、縦軸にスクリーン版伸び量をプロットしたもの
である。ここで、最小版離れ角度として用いた０．０１
１２８°は、片側オフコンタクトを用いたときに版離れ
性が確保できる最も小さい値の実験値である。
ージを１７００ｍｍストローク時にスキージスタート側
端部を２０ｍｍ持ち上げ、スキージエンド側端部を２０
ｍｍ持ちあげた後０まで押し下げる、 スクリーン版：内寸１３４０ｍｍ、スクリーン枠とスキ
ージとの間のスクリーンメッシュ部分が三角形を描くよ
うな伸びをする、 として、最小版離れ角度が０．０１１２８°になるオフ
コンタクト設定量（単位はｍｍ）で、クリアランス値を
０、１、２、３、４ｍｍと変化させながら、スキージを
ストロークさせていったときのスクリーン版のスキージ
ストローク方向の伸び量を計算して横軸にスキージスト
ローク、縦軸にスクリーン版伸び量をプロットしたもの
である。ここで、最小版離れ角度として用いた０．０１
１２８°は、片側オフコンタクトを用いたときに版離れ
性が確保できる最も小さい値の実験値である。
【００５４】両側オフコンタクト機構を使用することで
クリアランスとオフコンタクト量を最適化することであ
る一定以上の版離れ角を保ちつつ角度変化を少なく抑え
ることが可能なことがわかる。
クリアランスとオフコンタクト量を最適化することであ
る一定以上の版離れ角を保ちつつ角度変化を少なく抑え
ることが可能なことがわかる。
【００５５】また、図１０の印刷条件下でのスクリーン
版の伸び量の変化を図８に示し、片側オフコンタクトで
のスクリーン版の伸び量の変化を図７に示す。
版の伸び量の変化を図８に示し、片側オフコンタクトで
のスクリーン版の伸び量の変化を図７に示す。
【００５６】図８から図７に示す片側オフコンタクトに
比べると両側オフコンタクトにすることで版の伸び変化
が対称な形になり、均一性が上がっていることがわか
る。また、版離れ角度を一定以上に保ったままでクリア
ランスを減少させると版の伸び量の変化が著しく少なく
なり、最もパターン変化が少ない印刷が可能なことがわ
かる。
比べると両側オフコンタクトにすることで版の伸び変化
が対称な形になり、均一性が上がっていることがわか
る。また、版離れ角度を一定以上に保ったままでクリア
ランスを減少させると版の伸び量の変化が著しく少なく
なり、最もパターン変化が少ない印刷が可能なことがわ
かる。
【００５７】図８のクリアランス＝０のグラフより、ス
クリーン版の伸び量は最大で約０．１２８ｍｍ、最小で
約０．１１０ｍｍと約０．０１８ｍｍしか差がない。プ
ラズマディスプレイのセルピッチが現在市場に出ている
もので０．２１〜０．３６ｍｍ程度であることを考える
と、実用上大きな問題のない精度が得られているといえ
る。すなわち、クリアランスを増加させることなく版離
れ性を良好に維持したままで、スクリーンの伸びによる
変形を最小限に抑えることが可能になった。
クリーン版の伸び量は最大で約０．１２８ｍｍ、最小で
約０．１１０ｍｍと約０．０１８ｍｍしか差がない。プ
ラズマディスプレイのセルピッチが現在市場に出ている
もので０．２１〜０．３６ｍｍ程度であることを考える
と、実用上大きな問題のない精度が得られているといえ
る。すなわち、クリアランスを増加させることなく版離
れ性を良好に維持したままで、スクリーンの伸びによる
変形を最小限に抑えることが可能になった。
【００５８】また、片側オフコンタクトに比べると、実
用領域の設定範囲での比較ではテンションが高く、メッ
シュの伸び代が少ないスキージエンド近傍の伸び量が片
側オフコンに比べて少なめに抑えられることがわかり、
不可逆的な変形を起こしにくい、すなわち、版の長寿命
化が図れることがわかる。
用領域の設定範囲での比較ではテンションが高く、メッ
シュの伸び代が少ないスキージエンド近傍の伸び量が片
側オフコンに比べて少なめに抑えられることがわかり、
不可逆的な変形を起こしにくい、すなわち、版の長寿命
化が図れることがわかる。
【００５９】なお、ここで、両側オフコンタクトの先頭
と最後各々のオフコンタクト量は同一とした。これは、
図１１に示すように、上昇する側のオフコンタクト量と
クリアランスを一定にして、下降させる側のオフコンタ
クト量を変化させたときのスクリーン版の伸び変化量
が、両者を同一にしたときに最小の値をとることから決
定した。また、伸び量変化はスキージストローク方向に
平行な方向で算出している。
と最後各々のオフコンタクト量は同一とした。これは、
図１１に示すように、上昇する側のオフコンタクト量と
クリアランスを一定にして、下降させる側のオフコンタ
クト量を変化させたときのスクリーン版の伸び変化量
が、両者を同一にしたときに最小の値をとることから決
定した。また、伸び量変化はスキージストローク方向に
平行な方向で算出している。
【００６０】片側オフコンタクトと同様にスクリーン版
の固体差や仕様、使用ペースト、使用パターンにより絶
対値が異なるため一概には言えないが、東京プロセスサ
ービス（株）製の、ポリエステルの印刷用メッシュを周
辺部に張りその内側をステンレス系の印刷用メッシュ
（ここではＳＸ３００メッシュを用いた）を張った、い
わゆるコンビネーション張りの１５００ｍｍ角（内寸１
３４０ｍｍ）のスクリーンを用いて導体ペースト（ここ
ではノリタケカンパニー（株）製銀ペーストＮＰ−４０
２８を用いた）を、４０インチサイズの電極パターンで
ソーダライムガラス基板上に、前記前提条件で印刷を行
った際に、クリアランス＝０ｍｍ、オフコンタクト＝１
８ｍｍで良好な版離れ性が確認され、上記計算値に比べ
てさらに高精度な条件で実印刷が実施できることが確認
された。
の固体差や仕様、使用ペースト、使用パターンにより絶
対値が異なるため一概には言えないが、東京プロセスサ
ービス（株）製の、ポリエステルの印刷用メッシュを周
辺部に張りその内側をステンレス系の印刷用メッシュ
（ここではＳＸ３００メッシュを用いた）を張った、い
わゆるコンビネーション張りの１５００ｍｍ角（内寸１
３４０ｍｍ）のスクリーンを用いて導体ペースト（ここ
ではノリタケカンパニー（株）製銀ペーストＮＰ−４０
２８を用いた）を、４０インチサイズの電極パターンで
ソーダライムガラス基板上に、前記前提条件で印刷を行
った際に、クリアランス＝０ｍｍ、オフコンタクト＝１
８ｍｍで良好な版離れ性が確認され、上記計算値に比べ
てさらに高精度な条件で実印刷が実施できることが確認
された。
【００６１】また、この際に下記のことも確認された。
【００６２】印刷あがりのパターンがスキージスタート
側が所定の値より縮んでほぼ台形に変形していた場合
は、スキージエンド側を上下させるオフコン量を印刷性
を損なわない範囲で増加させることにより、所定の形状
に近づけることが可能である。スキージエンド側が縮ん
でいた場合は逆にスキージスタート側を上下させるオフ
コン量を増加させることで同様の効果が得られる。
側が所定の値より縮んでほぼ台形に変形していた場合
は、スキージエンド側を上下させるオフコン量を印刷性
を損なわない範囲で増加させることにより、所定の形状
に近づけることが可能である。スキージエンド側が縮ん
でいた場合は逆にスキージスタート側を上下させるオフ
コン量を増加させることで同様の効果が得られる。
【００６３】樽型に変形、すなわちパターン中央部に対
してスキージスタート側、スキージエンド側のいずれも
縮んでいた場合は、クリアランス量を増加させることで
所定の形状に近づけることが可能である。
してスキージスタート側、スキージエンド側のいずれも
縮んでいた場合は、クリアランス量を増加させることで
所定の形状に近づけることが可能である。
【００６４】また、同じ樽型でもスキージスタート側、
スキージエンド側に対してパターン中央部が伸びていた
場合は、両方のオフコンを減らすことで所定の形状に近
づけることが可能である。
スキージエンド側に対してパターン中央部が伸びていた
場合は、両方のオフコンを減らすことで所定の形状に近
づけることが可能である。
【００６５】糸巻き型の変形の場合は、樽型と逆の処方
を講じることで所定の形状に近づけることが可能であ
る。
を講じることで所定の形状に近づけることが可能であ
る。
【００６６】いずれの場合も全体が伸び方向に変形して
しまっている場合は対処が困難であるが、パターンをお
こす際に全体を適切に縮小したパターンにしておくこと
で、かなりのスクリーン版の変形に対して対処が可能に
なり、その効果は大きい。
しまっている場合は対処が困難であるが、パターンをお
こす際に全体を適切に縮小したパターンにしておくこと
で、かなりのスクリーン版の変形に対して対処が可能に
なり、その効果は大きい。
【００６７】これは、オフコンタクトによるパターン変
形を逆にパターン変形補正に利用することも可能なこと
による。この際も片側オフコンタクトでは補正可能なパ
ターンがスキージエンド側が縮んでいる台形パターンの
みに限定されるのに対して、両側オフコンタクトでは、
上述のとおり、多くの変形パターンに対してある程度ま
では対処が可能であるという効果がある。
形を逆にパターン変形補正に利用することも可能なこと
による。この際も片側オフコンタクトでは補正可能なパ
ターンがスキージエンド側が縮んでいる台形パターンの
みに限定されるのに対して、両側オフコンタクトでは、
上述のとおり、多くの変形パターンに対してある程度ま
では対処が可能であるという効果がある。
【００６８】図２は、本発明による厚膜印刷装置の第２
の実施の形態の一部を示した図である。
の実施の形態の一部を示した図である。
【００６９】第１の実施の形態と同様に、スクリーン版
１とワーク２とをほぼ平行に対向させた後、スクリーン
版１上にのせたペースト（図示せず）を、図２に示すよ
うに右から左方向へ所定の圧力でワーク２に接触するよ
うに設定されたスキージ３（往）で押し出しながらワー
ク２にスクリーン版１上のパターンを転写する。
１とワーク２とをほぼ平行に対向させた後、スクリーン
版１上にのせたペースト（図示せず）を、図２に示すよ
うに右から左方向へ所定の圧力でワーク２に接触するよ
うに設定されたスキージ３（往）で押し出しながらワー
ク２にスクリーン版１上のパターンを転写する。
【００７０】ここで、スキージ３のスタート側の１辺
を、図２に示すように、スキージストロークに連動させ
ながら上昇させる。また同時に、スキージ３のエンド側
の１辺をスキージスタート時に所定の高さまで引き上げ
た後、図２に示すようにスキージストロークに連動させ
ながら下降させる。ここでスクリーン版１の上げ下げ
は、第１の実施例と同様に、スキージストロークスター
トからスキージストロークエンドまでリニアになるよう
に設定する。
を、図２に示すように、スキージストロークに連動させ
ながら上昇させる。また同時に、スキージ３のエンド側
の１辺をスキージスタート時に所定の高さまで引き上げ
た後、図２に示すようにスキージストロークに連動させ
ながら下降させる。ここでスクリーン版１の上げ下げ
は、第１の実施例と同様に、スキージストロークスター
トからスキージストロークエンドまでリニアになるよう
に設定する。
【００７１】ワークへの転写が完了したらワーク２を別
のものに入れ替えた後、今度は図２の左から右方向へ、
上記右から左方向の場合のオフコンタクトの完全に逆の
動作をさせながらワーク２へスキージ３（復）で押し出
しながらペーストを転写させる、第１の実施の形態で単
一方向に両側オフコンタクトしていたものを往復両方向
で両側オフコンタクト印刷できるように改善したもので
ある。オフコンタクトで用いる機構そのものは第１の実
施の形態と同様で、各々の機構を上昇専用、下降専用と
せずに、上下両方向ともにコントロールできるようにし
たものである。
のものに入れ替えた後、今度は図２の左から右方向へ、
上記右から左方向の場合のオフコンタクトの完全に逆の
動作をさせながらワーク２へスキージ３（復）で押し出
しながらペーストを転写させる、第１の実施の形態で単
一方向に両側オフコンタクトしていたものを往復両方向
で両側オフコンタクト印刷できるように改善したもので
ある。オフコンタクトで用いる機構そのものは第１の実
施の形態と同様で、各々の機構を上昇専用、下降専用と
せずに、上下両方向ともにコントロールできるようにし
たものである。
【００７２】本実施の形態による厚膜印刷装置では、十
分に良好な版離れ性に加えて、印刷タクトの短縮が可能
になる。また、ペーストの年度が高い、もしくは低い等
の理由によりスクレッパを用いたスクリーン版へのペー
ストコートが困難な場合にペーストコートすることなく
連続印刷を実現できる。また、スクレッパを用いないた
めスクレッパ調整不良による膜厚むらや裏にじみが回避
できる。
分に良好な版離れ性に加えて、印刷タクトの短縮が可能
になる。また、ペーストの年度が高い、もしくは低い等
の理由によりスクレッパを用いたスクリーン版へのペー
ストコートが困難な場合にペーストコートすることなく
連続印刷を実現できる。また、スクレッパを用いないた
めスクレッパ調整不良による膜厚むらや裏にじみが回避
できる。
【００７３】図３は、本発明による厚膜印刷装置の第３
の実施の形態の一部を示した図である。
の実施の形態の一部を示した図である。
【００７４】スクリーン版１を受けるホルダー（図示せ
ず）のスキージストローク方向中央部に回転軸を設け、
ここを軸にしたオフコンタクト動作をさせるものであ
る。これは、図１１に示したように、上昇、下降のオフ
コンタクト量が同一な条件が最も版の伸び量を抑えた印
刷ができることからこのような機構を用いても両側オフ
コンタクト印刷が成立するものである。
ず）のスキージストローク方向中央部に回転軸を設け、
ここを軸にしたオフコンタクト動作をさせるものであ
る。これは、図１１に示したように、上昇、下降のオフ
コンタクト量が同一な条件が最も版の伸び量を抑えた印
刷ができることからこのような機構を用いても両側オフ
コンタクト印刷が成立するものである。
【００７５】本実施の形態による厚膜印刷装置では、オ
フコンタクトの設定が左右同一値でしか行えないが、オ
フコンタクト動作の回転軸が機械的に定まるために、機
械精度が上がり、被印刷物の品質が安定するという効果
がある。
フコンタクトの設定が左右同一値でしか行えないが、オ
フコンタクト動作の回転軸が機械的に定まるために、機
械精度が上がり、被印刷物の品質が安定するという効果
がある。
【００７６】また、オフコンタクト機構をスキージスト
ローク先頭もしくは最後のいずれか１ケ所のみ設置すれ
ば所定の動作が可能になり、装置コストが下がり、複雑
な機構を複数持つ必要がないために印刷機製造歩留まり
が向上するという効果がある。
ローク先頭もしくは最後のいずれか１ケ所のみ設置すれ
ば所定の動作が可能になり、装置コストが下がり、複雑
な機構を複数持つ必要がないために印刷機製造歩留まり
が向上するという効果がある。
【００７７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の厚膜印刷
方法および装置では、スクリーン版のスキージによる伸
び量の変化を十分に小さく抑えた印刷が可能になり、印
刷時のパターン変形や伸縮を軽減させ、歩留まりを向上
させることが可能になり、且つスクリーン版の長寿命化
が図れる。
方法および装置では、スクリーン版のスキージによる伸
び量の変化を十分に小さく抑えた印刷が可能になり、印
刷時のパターン変形や伸縮を軽減させ、歩留まりを向上
させることが可能になり、且つスクリーン版の長寿命化
が図れる。
【００７８】また、ワーク側の寸法変化に対して同一の
スクリーン版を用いたままである範囲内で伸縮を合わせ
込むことが可能になる。
スクリーン版を用いたままである範囲内で伸縮を合わせ
込むことが可能になる。
【図１】本発明による厚膜印刷装置の第１の実施の形態
の一部を示した図である。
の一部を示した図である。
【図２】本発明による厚膜印刷装置の第２の実施の形態
の一部を示した図である。
の一部を示した図である。
【図３】本発明による厚膜印刷装置の第３の実施の形態
の一部を示した図である。
の一部を示した図である。
【図４】スキージ移動に連動してスキージ最大ストロー
ク時にほぼ１回転するように調整されたカム５を用いて
オフコンタクトを実現させる機構の概略図である。
ク時にほぼ１回転するように調整されたカム５を用いて
オフコンタクトを実現させる機構の概略図である。
【図５】スキージ移動に連動してリニアにストロークす
るパルスモータを用いてオフコンタクトを実現させる機
構の概略図である。
るパルスモータを用いてオフコンタクトを実現させる機
構の概略図である。
【図６】特開昭６３−３１３８９５号公報に開示される
従来例を示す図である。
従来例を示す図である。
【図７】図６に示した従来例でのスクリーン版の伸び量
の変化を示す図である。
の変化を示す図である。
【図８】図１０の印刷条件下でのスクリーン版の伸び量
の変化を示す図である。
の変化を示す図である。
【図９】図６に示した従来例での版離れ角度の変化を示
す図である。
す図である。
【図１０】図１に示した実施の形態での版離れ角度の変
化を示す図である。
化を示す図である。
【図１１】オフコンタクト量を片方だけ変化させたとき
の版伸び量変化を示す図である。
の版伸び量変化を示す図である。
１ スクリーン版 ２ ワーク ３ スキージ、スキージＡおよびＢ ４ 可変軸 ５ カム ６ パルスモータ（含ウォームギア） ７ オフコンタクト軸 ８ 突き上げピン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｈ０５Ｋ 3/34 ５０５ Ｈ０５Ｋ 3/34 ５０５Ｄ (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41F 15/40 - 15/42 B41F 15/08 H05K 3/12 H05K 3/34
Claims (5)
- 【請求項１】 金属あるいは高分子化合物繊維のメッシ
ュより成るベースに所定のパターンが感光性樹脂にて形
成されたスクリーン版と、該スクリーン版の上にのせた
インクあるいはペーストとを、前記スクリーン版のイン
クあるいはペーストがのっていない側に置かれたワーク
に、スキージを用いて転写する厚膜印刷方法において、前記スキージ移動中の前記ワークと前記スクリーン版と
の間隔を、スキージストロークに連動して、スキージス
タート側のスクリーン版の辺とスキージエンド側のスク
リーン版の辺との２辺を各々独立に変化させるようにし
た ことを特徴とする厚膜印刷方法。 - 【請求項２】 前記ワークと前記スクリーン版のスキー
ジスタート側の辺との間隔と、前記ワークと前記スクリ
ーン版のスキージエンド側の辺との間隔とを、スキージ
ストロークに連動して、互いに逆方向にリニアに変化さ
せることを特徴とする請求項１に記載の厚膜印刷方法。 - 【請求項３】 金属あるいは高分子化合物繊維のメッシ
ュより成るベースに所定のパターンが感光性樹脂にて形
成されたスクリーン版と、該スクリーン版の上にのせた
インクあるいはペーストとを、前記スクリーン版のイン
クあるいはペーストがのっていない側に置かれたワーク
に、スキージを用いて転写する厚膜印刷装置において、 前記スキージ移動中の前記ワークと前記スクリーン版と
の間隔を、スキージストロークに連動して、スキージス
タート側のスクリーン版の辺とスキージエンド側のスク
リーン版の辺との２辺を各々独立に変化させることが可
能な機構を有することを特徴とする厚膜印刷装置。 - 【請求項４】 前記ワークと前記スクリーン版のスキー
ジスタート側の辺との間隔と、前記ワークと前記スクリ
ーン版のスキージエンド側の辺との間隔とを、スキージ
ストロークに連動して、互いに逆方向にリニアに変化さ
せることを特徴とする請求項３に記載の厚膜印刷装置。 - 【請求項５】 前記スキージの往路復路ともに前記ワー
クへの印刷が可能なスキージ機構を有し、 往路復路ともに印刷実施中に、 前記スキージ移動中の前記ワークと前記スクリーン版と
の間隔を、スキージストロークに連動して、スキージス
タート側のスクリーン版の辺とスキージエンド側のスク
リーン版の辺との２辺を各々独立に変化させ、且つ、 前記ワークと前記スクリーン版のスキージスタート側の
辺との間隔と、前記ワークと前記スクリーン版のスキー
ジエンド側の辺との間隔とを、スキージストロークに連
動して、互いに逆方向にリニアに変化させることが可能
な機構を有することを特徴とする請求項３に記載の 厚膜
印刷装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09301473A JP3092562B2 (ja) | 1997-11-04 | 1997-11-04 | 厚膜印刷方法および装置 |
| US09/185,619 US6065398A (en) | 1997-11-04 | 1998-11-04 | Screen printing method and apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09301473A JP3092562B2 (ja) | 1997-11-04 | 1997-11-04 | 厚膜印刷方法および装置 |
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| JP3092562B2 true JP3092562B2 (ja) | 2000-09-25 |
Family
ID=17897329
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09301473A Expired - Fee Related JP3092562B2 (ja) | 1997-11-04 | 1997-11-04 | 厚膜印刷方法および装置 |
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|---|---|
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| JP (1) | JP3092562B2 (ja) |
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| DE102007026978A1 (de) * | 2007-06-06 | 2008-12-11 | Thieme Gmbh & Co. Kg | Verfahren und Vorrichtung zum Bedrucken von Solarzellen mittels Siebdruck |
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-
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-
1998
- 1998-11-04 US US09/185,619 patent/US6065398A/en not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Publication date |
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| JPH11129446A (ja) | 1999-05-18 |
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