TW201425052A - 網罩 - Google Patents

網罩 Download PDF

Info

Publication number
TW201425052A
TW201425052A TW102129270A TW102129270A TW201425052A TW 201425052 A TW201425052 A TW 201425052A TW 102129270 A TW102129270 A TW 102129270A TW 102129270 A TW102129270 A TW 102129270A TW 201425052 A TW201425052 A TW 201425052A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
mask
frame
movable
bracket
track
Prior art date
Application number
TW102129270A
Other languages
English (en)
Other versions
TWI616348B (zh
Inventor
Jeong-Won Han
Original Assignee
Samsung Display Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Display Co Ltd filed Critical Samsung Display Co Ltd
Publication of TW201425052A publication Critical patent/TW201425052A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI616348B publication Critical patent/TWI616348B/zh

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/14Details
    • B41F15/34Screens, Frames; Holders therefor
    • B41F15/36Screens, Frames; Holders therefor flat
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/08Machines
    • B41F15/0881Machines for printing on polyhedral articles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/14Details
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/14Details
    • B41F15/16Printing tables
    • B41F15/18Supports for workpieces
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/14Details
    • B41F15/34Screens, Frames; Holders therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41LAPPARATUS OR DEVICES FOR MANIFOLDING, DUPLICATING OR PRINTING FOR OFFICE OR OTHER COMMERCIAL PURPOSES; ADDRESSING MACHINES OR LIKE SERIES-PRINTING MACHINES
    • B41L13/00Stencilling apparatus for office or other commercial use
    • B41L13/02Stencilling apparatus for office or other commercial use with flat stencil carriers
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H05K3/1216Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by screen printing or stencil printing
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H05K3/1216Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by screen printing or stencil printing
    • H05K3/1225Screens or stencils; Holders therefor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Screen Printers (AREA)

Abstract

一種用於網版印刷之網罩包含遮罩、以及架框,配置以利用張力支撐遮罩;架框包含固定框、以及活動框,配置以支撐遮罩,且可活動地裝設於固定框上,其中張力由活動框控制。

Description

網罩
本發明係有關於一種用於網版印刷機的網罩。
製造平板顯示器的一部分包含形成用於以在基板上執行各種功能的功能層。
功能層係由薄膜製程與厚膜製程而製造,且厚膜可由網版印刷製程、噴砂製程、或乾膜製程而製造。
網版印刷製程具有良好的生產效率且低廉的加工費用,因此廣泛使用於不需高精密度的作業。
欲使用網版印刷製程產生精細圖型,具有欲形成在基板上之圖樣的遮罩係配置於基板上,且原料係根據基板上之圖樣而印刷,從而獲得所需的圖樣。
遮罩被初步製造後,必要量的遮罩被切除且將其附接或組裝在罩框上,此罩框被使用於網版印刷製程。
通常,其上附接有遮罩之罩框被製造成高精密度的固定體。
因此,當遮罩被附接在罩框上時,通常不可能增加或減少其施加於遮罩上的張力。假如遮罩被錯誤地附接在罩框上,被使用之遮罩將從罩框上分離並且再次被附接其上,或被使用之遮罩將被丟棄。進一步地,在網版印刷製程之過程中,遮罩開口的大小、一致性、以及位置可被改變,其中,遮罩需要被再次附接於罩框上或被丟棄。
第5圖顯示用於網版印刷之傳統網罩的上視圖。在此處,網罩1包含圖樣形成於其上的遮罩3、以及遮罩3附接於其上並被支撐之架框2,且當遮罩3一被附接到架框2時,施加於遮罩3的張力就通常不會改變。
以上顯示於此先前技術的資訊只係用來增加此發明的背景知識,且因此可能包含不形成先前技術之資訊,其中,該技術早已為此國家之本領域之普通技術人員所熟知。
本發明係致力於提供一種具有精密控制的張力以及在至少兩個方向上控制張力之網罩。
本發明之例示性實施例提供一種用於網版印刷之網罩,網罩包含 遮罩、以及配置以利用張力支撐遮罩的框架,架框包含固定框、以及活動框,其配置以支撐遮罩,且可活動地裝設於固定框上,其中張力由活動框控制。
複數個活動框可支撐遮罩的邊緣。
各複數個活動框可在至少兩個方向上活動。
各複數個活動框可在彼此垂直之兩個方向上且位於與遮罩平行之平面上活動。
遮罩可為矩形,且各複數個活動框可在平行於遮罩之兩相鄰側邊的方向活動。
活動框包含第一軌道,其安裝在固定框上、第一托架,其能沿著第一軌道活動且包含與第一軌道垂直之第二軌道、以及第二托架,其能沿著第二軌道活動,且支撐遮罩的一側邊。
第一托架可裝設於第一軌道上,且第二托架可裝設於第二軌道上,第二軌道位於第一托架的上端。
第一托架與第二托架可利用滾珠螺釘(ball screw)活動。
滾珠螺釘可配置以藉由驅動馬達而驅動。
滾珠螺釘可配置以由手動驅動。
根據本發明之實施例,設置以支撐遮罩之複數個活動框能在至少兩個方向上活動,從而精確地控制遮罩的張力。
用來支撐遮罩的張力係可精確控制的,因此減少或避免了非預期的遮罩之重新安裝且/或替換。發明之另外的態樣及/或特徵將會在下面的說明中提出,並且將明顯的出現在說明中或可藉由實作此發明來了解。
1、10...網罩
20...基板
30...加壓裝置
40...印刷材料
100、2...架框
120...固定框
140...活動框
141...第一軌道
142...第二軌道
143...第一托架
145...第二托架
200、3...遮罩
第1圖顯示根據本發明例示性實施例之網罩透視圖。
第2圖顯示使用根據本發明例示性實施例之網版的印刷製程。
第3圖顯示根據本發明例示性實施例之網罩的上視圖。
第4圖係為顯示於第3圖之IV部分的放大視圖。
第5圖係為傳統網罩的上視圖。
本發明將參考下方之附圖而於後文中更完整地描述,其中顯示發明之例示性實施例。所屬領域具有通常知識者將理解的是,敘述中之實施例係可以不同方式修改,其皆不背離本發明之精神或範疇。
圖式與敘述皆係視為說明性質而非限制性質。在說明書中之相似的參考符號表示相似的元件。圖式中之每一個結構的大小及厚度係為了理解並且易於描述而任意顯示,但本發明則不限於此。
第1圖係顯示根據本發明之例示性實施例之網罩的透視圖。第2圖係顯示使用根據本發明之例示性實施例之網罩之網版印刷製程。第3圖係顯示根據本發明之例示性實施例之網罩之上視圖。第4圖係顯示第3圖中所顯示之IV部分的放大視圖。
參考第1圖,根據本發明之例示性實施例之網罩10係使用於網版印刷製程並且包含遮罩200和架框100。
遮罩200係印刷遮罩,其上形成有將被印刷至顯示裝置之基板20上的圖樣,並且,根據本發明之例示性實施例,遮罩200係可配備有包覆具有特定乳化液之網孔構件(mesh member) (或複數個網孔構件)以及形成對應於將被印刷之圖樣的開口(或複數個開口)。
網孔構件(或複數個網孔構件)可由金屬構成。
遮罩200可由架框100之張力來支撐(例如:預定之張力)。
參考第2圖,其上形成有圖樣且由架框100之張力之稱的遮罩200係提供於基板20上。印刷材料40被放置於(被供給於)遮罩200上,其係使用加壓裝置30(例如:噴嘴),以便使印刷材料40可穿過形成於遮罩200上之開孔(或多個開孔)(未顯示),且圖樣可被印刷在基板20上。
在實施例中、及以如第2圖中所顯示之箭頭,網罩10係可控制支撐遮罩200之張力,因為支撐遮罩200的架框120及架框140係被配置為可活動的。用以(例如:配置以)支撐遮罩200之架框100現將詳細的說明。
如同所描述的,架框100利用張力(預定之張力)支撐遮罩200。
在實施例中,架框100包含了固定框120以及活動框140,以便於控制支撐遮罩200之張力。
固定框120支撐活動框140,且其可形成為四邊形,且可以剛性材料來製作,如金屬。
然而,除了以四邊形、及以金屬材料構成之限制,固定框120係可形成為具有多種形狀且/以多種材料形成。
支撐遮罩200之活動框140可被活動性地安裝(被裝設)於固定框120上。
在實施例中,活動框140可固定並支撐遮罩200之邊緣。
因此,固定於活動框140的遮罩200之張力可藉由活動活動框140來控制(例如:調整)。
遮罩200之邊緣可藉由緊固裝置或方法(例如:預定之緊固裝置或方法)(未顯示)被附接到活動框140。
在此,緊固裝置或方法可為習知之緊固構件,例如螺栓,或係可被焊接(例如:透過焊接配置)。
然而,不以此為限,緊固裝置或方法可被配置以各種方法使得遮罩200之邊緣被附接到活動框140。
可具有多個(例如:複數個)活動框140。
如同第1圖與第3圖所示,複數個架框140可被安裝於(例如:裝設於)固定框120上,以及各複數個活動框140可獨立地活動。
活動框140可在至少兩個方向上活動(例如:兩軸或兩軸向方向)。
如同第3圖所示,活動框140可在兩個方向上活動,兩個方向相交(例如:彼此相交)以及位於(例如:被提供於)平行於遮罩200的平面上。
參考第3圖,固定框120和遮罩200係可為矩形,以及已安裝於(例如:裝設於)固定框120上之活動框140可活動於平行固定框120或遮罩200之兩個鄰近邊的方向上,舉例來說,x軸方向以及y軸方向。
因此,網罩10係獨立地活動活動框140,藉以精確地控制(例如:調整)由架框100所支稱之遮罩200的張力。
當活動框140的數量增加時,張力可被更加精確地控制,以及活動框140的數量係根據遮罩200及/或固定框120之大小及所需控制支撐遮罩200之張力之程度(例如:控制程度)而變化。
舉例說明,遮罩200(例如:矩形遮罩)係可配置以至少一個活動框140來對應遮罩200之每一邊(每一支撐邊)。
個別的活動框140係可活動於至少兩個方向上(例如:兩軸或兩軸向方向),接著將描述用於實現(例如:控制)活動之活動框140的詳細配置。
參考第4圖,各複數個活動框140係安裝於網罩10,並可配置成(例如:配置為)單一單元,以便使其可獨立地活動於兩個方向上(例如:兩軸方向)。
每個活動框140包含第一托架143及第二托架145。每個活動框140係配置以活動於第一軌道141上。
在此,第一軌道141係形成於固定框120之一側邊上,並且其可構成直線(或實質上直線)的引導軌道。
第一軌道141係安裝於(例如:裝設於或形成於)固定框120之x軸方向,參考於第4圖中之x軸方向。
第一軌道141係形成於平行遮罩200(例如:矩形遮罩)之一側邊的方向。
第一托架143係可沿著第一軌道141而活動,對應於第一軌道141之結構(例如:溝槽)係形成於第一托架143之一側邊上,以便於沿著第一軌道141活動(例如:互動),並且第二軌道142可形成於垂直第一軌道141之方向上,其位於第一軌道143之另一側邊上。
第二軌道142可形成為第一托架143之上端上的直線(或實質上直線)的引導軌道,並且其可形成於垂直x軸方向之y軸方向上,如第4圖所示。
第二軌道142係可行成於平行遮罩200(例如:矩形遮罩)之另一邊的方向上,其係相鄰於平行第一軌道141的遮罩200之側邊,如上所述。
第二托架145可沿著形成於第一軌道143上之第二軌道142而活動(例如:互動),並且可支撐遮罩200(例如:矩形遮罩)之一邊緣。
遮罩200之一邊緣係可附接到第二托架145上,其係藉由已知的緊固裝置或藉由已知的緊固方法,例如焊接。
每個活動框140包含第一托架143,其係沿著形成於固定框120上之第一軌道141而活動於x軸方向、以及第二托架145,其係沿著形成於第一托架143上之第二軌道142而活動於y軸方向上,因此其可活動於兩個方向(例如:兩軸或兩軸向方向),並且藉由活動框140支撐的遮罩200之張力係可被精確地控制(例如:調整)。
每個活動框140可包含滾珠螺釘與線型導件。
第一軌道141及第二軌道142係可配備有(例如:包含或被形成為)線型導件,並且第一托架143與第二托架145係可配置以藉由滾珠螺釘而為可活動的。
所敘述之滾珠螺釘及線型導件係可自動地藉由驅動馬達而驅動。
然而,並不以此為限,活動框140之操作配置係可以多種方式而改變,並且,例如:其係可配置為由手動而驅動。
如同第4圖所示,第一軌道141、第一托架143、第二軌道142、以及第二托架145係可依序地由下而上而配置(例如:依序地設置)。
因此,遮罩200的一側邊可藉由簡單的配置而活動於彼此垂直之兩個方向上(例如:軸向方向)。
網罩10係配置以使支撐遮罩200之活動框140可活動於至少兩個方向上(例如:兩軸或兩軸向方向),從而精確地控制其支撐遮罩200之張力。
因此,避免由於缺少張力或位置的控制,遮罩200安裝於架框100之後所產生的不必要之重新組裝或替換的問題以節省時間與成本,並且提升了網版印刷製程之效率。
當此發明被敘述於當前考慮之特定例示性實施例時,其應被理解為此發明並不受限於所揭露之實施例,但是,相反地,其係預期為可涵蓋包含於後附之申請專利範圍之精神與範疇內之各種修改以及與其等效配置。
10...網罩
100...架框
120...固定框
140...活動框
200...遮罩

Claims (10)

  1. 一種用於網版印刷之網罩,該網罩包含:
    一遮罩;以及
    一架框,配置以利用張力支撐該遮罩,該架框包含:
    一固定框;以及
    一活動框,配置以支撐該遮罩,且可活動地裝設於該固定框上,其中張力由該活動框控制。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之網罩,其中複數個該活動框支撐該遮罩的一邊緣。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之網罩,其中各該複數個活動框能在至少兩個方向上活動。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之網罩,其中各該複數個活動框能於彼此垂直的兩個方向上且於與該遮罩平行之平面上活動。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之網罩,其中該遮罩為矩形,且各該複數個活動能框在平行於該遮罩之兩相鄰側邊的方向活動。
  6. 如申請專利範圍第4項所述之網罩,其中該活動框包含:
    一第一軌道,其安裝在該固定框上;
    一第一托架,其能沿著該第一軌道活動,且包含與該第一軌道垂直之一第二軌道;以及
    一第二托架,其能沿著該第二軌道活動,且支撐該遮罩的一側邊。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之網罩,其中該第一托架裝設於該第一軌道上,且該第二托架裝設於該第二軌道上,該第二軌道位於該第一托架的上端。
  8. 如申請專利範圍第6項所述之網罩,其中該第一托架與該第二托架利用一滾珠螺釘而活動。
  9. 如申請專利範圍第8項所述之網罩,其中該滾珠螺釘係配置以藉由一驅動馬達而驅動。
  10. 如申請專利範圍第8項所述之網罩,其中該滾珠螺釘係配置以由手動驅動。
TW102129270A 2012-12-17 2013-08-15 網罩 TWI616348B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
??10-2012-0147541 2012-12-17
KR1020120147541A KR102063832B1 (ko) 2012-12-17 2012-12-17 스크린 마스크

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201425052A true TW201425052A (zh) 2014-07-01
TWI616348B TWI616348B (zh) 2018-03-01

Family

ID=50902138

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW102129270A TWI616348B (zh) 2012-12-17 2013-08-15 網罩

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9193145B2 (zh)
JP (1) JP6385652B2 (zh)
KR (1) KR102063832B1 (zh)
CN (1) CN103862845B (zh)
TW (1) TWI616348B (zh)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104191807B (zh) * 2014-08-04 2017-01-18 深圳劲嘉集团股份有限公司 一种丝网印刷设备
KR102352280B1 (ko) * 2015-04-28 2022-01-18 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체 제조 장치 및 이를 이용한 마스크 프레임 조립체 제조 방법
KR102352279B1 (ko) 2015-05-13 2022-01-18 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체와 그 제조방법
JP2017217874A (ja) * 2016-06-09 2017-12-14 株式会社コベルコ科研 スクリーン印刷用メッシュ部材及びスクリーン印刷版
KR20210107217A (ko) * 2020-02-21 2021-09-01 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치의 제조장치, 마스크 어셈블리의 제조방법, 및 표시 장치의 제조방법
KR102245885B1 (ko) * 2020-07-09 2021-04-29 주식회사 주영지앤에프 섬유 인쇄물 및 이의 제조 방법

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1892268A (en) * 1930-12-13 1932-12-27 Flockhart James Screen stencil frame
DE3042893A1 (de) * 1980-11-13 1982-06-09 Elmar Dipl.-Kfm. Dr. 8000 München Messerschmitt Verfahren und vorrichtung zur behandlung von siebdruckgewebe
JPS6036232U (ja) * 1983-08-22 1985-03-13 有限会社 マイクロシステムズ スクリ−ン紗張り装置
JPH05131332A (ja) * 1991-11-07 1993-05-28 Hitachi Ltd 移動案内装置
JP4059305B2 (ja) 1997-07-04 2008-03-12 株式会社日立プラズマパテントライセンシング スクリーン印刷装置
JPH11240129A (ja) * 1998-02-24 1999-09-07 Sanee Giken Kk スクリーン印刷装置
KR100383042B1 (ko) 2001-02-13 2003-05-09 주식회사 엘지이아이 개선된 형광면 제조용 스크린마스크
KR100402743B1 (ko) 2001-03-13 2003-10-17 삼성에스디아이 주식회사 스크린 인쇄장치와 이를 채용하여 제조된 평판표시장치
US6878208B2 (en) * 2002-04-26 2005-04-12 Tohoku Pioneer Corporation Mask for vacuum deposition and organic EL display manufactured by using the same
JP2004006257A (ja) * 2002-04-26 2004-01-08 Tohoku Pioneer Corp 真空蒸着用マスク及びこれを用いて製造された有機elディスプレイパネル
KR100761766B1 (ko) * 2005-10-17 2007-09-28 삼성전자주식회사 프린팅 장치, 이의 제어방법과 이를 이용한 평판표시장치의제조방법
JP4951960B2 (ja) * 2005-12-22 2012-06-13 大日本印刷株式会社 メタルマスク、メタルマスク位置アラインメント方法及び装置
KR100708323B1 (ko) * 2006-02-09 2007-04-17 엔티엠 주식회사 마스크 장치 및 그 제어 방법
JP2008110533A (ja) * 2006-10-31 2008-05-15 Fujitsu Hitachi Plasma Display Ltd スクリーンマスク
JP5050561B2 (ja) * 2007-02-23 2012-10-17 株式会社ボンマーク 紗張り装置
DE102007060916B3 (de) * 2007-12-14 2009-06-25 Kba-Metronic Ag Vorrichtung und Verfahren zur Messung der Siebspannung des Siebgewebes in einem Siebrahmen
JP5344694B2 (ja) * 2009-07-01 2013-11-20 Nke株式会社 張力付加装置
JP5123970B2 (ja) 2010-03-15 2013-01-23 株式会社ボンマーク スクリーン印刷版の製造方法
JP5381830B2 (ja) * 2010-03-16 2014-01-08 パナソニック株式会社 スクリーン印刷機及びスクリーン印刷機におけるマスク設置方法
CN101979248B (zh) * 2010-09-08 2012-03-07 东莞市凯格精密机械有限公司 平面任意位置调整平台及全自动视觉印刷机
TWM442273U (en) * 2012-05-30 2012-12-01 Der-Mu Wu Screen aluminum frame capable of adjusting transverse tension and vertical horizon

Also Published As

Publication number Publication date
JP6385652B2 (ja) 2018-09-05
JP2014117949A (ja) 2014-06-30
US20140165863A1 (en) 2014-06-19
KR102063832B1 (ko) 2020-01-09
KR20140078310A (ko) 2014-06-25
CN103862845A (zh) 2014-06-18
TWI616348B (zh) 2018-03-01
CN103862845B (zh) 2017-11-17
US9193145B2 (en) 2015-11-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW201425052A (zh) 網罩
JP6274809B2 (ja) 薄膜蒸着用マスク組立体およびその製造方法
US8307778B2 (en) Coating method and coating unit
KR101026426B1 (ko) 디스펜서 및 이를 이용한 실런트 등의 도포 방법
WO2016112638A1 (zh) 基板支撑装置、基板支撑方法以及真空干燥设备
CN109750257B (zh) 掩膜板及其制造方法
JP2008093651A (ja) ペースト塗布装置
JP4679912B2 (ja) パターン形成装置、ヘッドユニット装置、ヘッドユニット制御方法
JP5997409B1 (ja) 両面露光装置及び両面露光装置におけるマスクとワークとの位置合わせ方法
TWI628304B (zh) 利用沈積裝置之遮罩總成之對準方法
JP2017112197A (ja) 基板保持装置、塗布装置、基板保持方法
JP2008197149A (ja) カラーフィルタの製造方法及びその製造用露光装置
TWI531834B (zh) 塗佈機之平台以及控制塗佈機之平台及塗佈頭單元移動之方法
JP2007322806A (ja) 露光装置の基板保持機構
JP6065954B2 (ja) 製造システム
JP3907491B2 (ja) パターン形成装置
JP2008224754A (ja) 分割逐次近接露光方法及び分割逐次近接露光装置
JP2005329361A (ja) ペースト塗布装置及び塗布方法
JP2007079350A (ja) スペーサ形成装置、スペーサ形成方法、カラーフィルタ製造方法、カラーフィルタ、液晶素子
JP6244039B2 (ja) 塗布装置および塗布方法
JP2011011209A (ja) ペースト塗布装置及び塗布方法
CN107339894B (zh) 承载台及烘烤机
JP3851852B2 (ja) トレイ式電子部品供給装置
KR102500583B1 (ko) 기판 처리 시스템에 사용되는 진동 플레이트의 레벨 조절 장치 및 이를 구비한 기판 처리 시스템
JP2005181476A (ja) パターン形成装置