JP3907491B2 - パターン形成装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板上にパターンを形成する技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
基板上に微細なパターンを形成する際には、従来より、フォトリソグラフィが利用されている。例えば、プラズマ表示装置に用いられるパネルを製造する際の隔壁形成では隔壁材料を基板の全面に塗布した後、レジスト塗布、乾燥、露光、現像、エッチング、剥離等の工程を経て不要部分の除去が行われる。基板上に厚いパターンを形成する際には、フォトリソグラフィが一般的に利用されるが、多数の装置を用いた複雑な工程が必要となるため、製造コストが高くなるという問題を有している。さらに、パターンの種類を変更する際には、関連するマスクを交換したり、各装置の設定を全て変更しなければならない。
【0003】
一方、スクリーン印刷を用いて基板上に厚いパターンを形成する場合、複数回の印刷が必要になるとともに複数回の印刷に使用されるスクリーンのメッシュの細かさやパターン(開口の大きさ)を僅かに変更する必要があり、メッシュ交換に伴うスループットの低下およびコストアップが生じてしまう。
【0004】
そこで、近年ではノズルから材料を吐出することにより基板上にパターンを形成する技術が提案されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、基板上の広い領域に効率よくパターンを形成するためには、多数の吐出口からパターン形成用の材料が同時に吐出されることが好ましい。また、例えば、平面表示装置用のパネルには様々なサイズがあり、基板ごとに様々なピッチにてパターンの形成が行われることやメンテナンスの容易さ等を考慮すると、複数の吐出口を有する複数のノズルが着脱可能に設けられることが好ましいといえる。
【0006】
一方、形成されるパターンの精度を向上させるには、ノズルをできるだけ基板に接近させる必要がある。ところが、形成されるパターンの高さより低い位置まで複数のノズルを基板に接近させると、複数のノズルの配置状態によっては一方のノズルにより形成されたパターンと他方のノズルとが干渉してしまう(すなわち、パターンを潰してしまう)という問題が生じる。
【0007】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、複数の吐出口を有する複数のノズルを使用しつつ基板上に適切なパターンを形成することを主たる目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の発明は、基板上にパターンを形成するパターン形成装置であって、パターンを形成するための所定の材料を基板に向けて吐出する吐出部と、基板の主面に沿う第1の方向へと前記吐出部を前記基板に対して相対的に移動させる移動機構とを備え、前記吐出部が、前記第1の方向に垂直かつ前記主面に平行な第2の方向に関して所定のピッチにて配列された複数の吐出口を有する第1ブロックおよび第2ブロックを有し、前記吐出部の相対的移動方向に関して前記第1ブロックが前記第2ブロックの後側に配置されるとともに前記第1ブロックの前記第2ブロック側の吐出口と前記第2ブロックの前記第1ブロック側の吐出口とが前記第2の方向に関して前記所定のピッチだけ離れており、前記第1ブロックが、前記第2ブロックの前記第1ブロック側の吐出口から吐出された材料との干渉を避けるための凹部を有する。
【0009】
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のパターン形成装置であって、前記吐出部が、前記第1ブロックの対称面を中心として前記第2ブロックと対称な第3ブロックを有し、前記第1ブロックが、前記第3ブロックの前記第1ブロック側の吐出口から吐出された材料との干渉を避けるための凹部をさらに有する。
【0010】
請求項3に記載の発明は、請求項1または2に記載のパターン形成装置であって、前記複数の吐出口が、基板に向かう方向から前記吐出部の相対的移動方向に関して後側に傾斜して開口している。
【0011】
請求項4に記載の発明は、請求項1ないし3のいずれかに記載のパターン形成装置であって、前記吐出部とともに移動し、基板上に吐出された前記所定の材料に光を照射して硬化させる硬化部をさらに備え、前記吐出部が、前記硬化部からの光を前記吐出部の吐出口に対して遮光する遮光部を有する。
【0013】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の一の実施の形態に係るパターン形成装置1の概略構成を示す図である。パターン形成装置1は、プラズマ表示装置のガラス基板(以下、「基板」という。)9上に隔壁91のパターンを形成する装置であり、隔壁91が形成された基板9は他の工程を介してプラズマ表示装置の組立部品であるパネル(通常、リアパネル)となる。
【0014】
パターン形成装置1では、基台11上にステージ移動機構2が設けられ、ステージ移動機構2により基板9を保持するステージ3が図1中に示すX方向に移動可能とされる。基台11にはステージ3を跨ぐようにしてフレーム12が固定され、フレーム12には基板9に向けて隔壁材料の吐出を行うヘッド部5が取り付けられる。
【0015】
ステージ移動機構2は、モータ21にボールねじ22が接続され、さらに、ステージ3に固定されたナット23がボールねじ22に取り付けられた構造となっている。ボールねじ22の上方にはガイドレール24が固定され、モータ21が回転すると、ナット23とともにステージ3がガイドレール24に沿ってX方向に滑らかに移動する。
【0016】
ヘッド部5は、支持部52および基板9上に隔壁材料を吐出しながら硬化させる複数のノズルユニット53を有し、支持部52はフレーム12に固定されたベース51の下面に取り付けられ、複数のノズルユニット53は支持部52の下部に取り付けられる。支持部52には逆止弁521を介して隔壁材料を供給する供給管522、および、光ファイバ526を介して紫外線を発生する光源ユニット527が接続され、支持部52内を経由して各ノズルユニット53に隔壁材料や紫外線が導かれる。供給管522は分岐しており、一方がポンプ523に接続され、他方が制御弁524を介して隔壁材料を貯留するタンク525に接続される。
【0017】
ステージ移動機構2のモータ21、ポンプ523、制御弁524および光源ユニット527は制御部6に接続され、これらの構成が制御部6により制御されることにより、パターン形成装置1による基板9上への隔壁パターンの形成が行われる。
【0018】
図2は支持部52に取り付けられたノズルユニット53を(−Z)側から(+Z)方向を向いて見たときの様子を示す図である。複数のノズルユニット53は(+X)方向および(−X)方向(すなわち、基板9に対するヘッド部5の相対的移動方向)に交互にずれながらY方向に2列になるように支持部52に取り付けられる。ノズルユニット53は支持部52に形成された挿入口528に挿入され、ノズルユニット53側の基準となる複数の部位と挿入口528内の基準となる複数の部位とが当接することによりノズルユニット53がX,YおよびZ方向に精度よく位置決めされる。なお、図2(および後述の図3)では、挿入口528とノズルユニット53との間の隙間に存在する位置決め用の突起等の図示を省略している。
【0019】
ノズルユニット53は支持部52を貫通する固定ねじ(図示省略)等に付勢されることにより、支持部52に固定される。したがって、ノズルユニット53の交換は、固定ねじをゆるめる等してノズルユニット53を取り出し、新たなノズルユニット53を挿入口528の内部に当接させて固定するだけで簡単に行うことができる。
【0020】
図3は支持部52に取り付けられたノズルユニット53を(+Y)側から(−Y)方向を向いて見たときの様子を示す図であり、図4は(−X)側から(+X)方向を向いて見たときの様子を示す図である。以下、ノズルユニット53の構成について、図2ないし図4を参照しながら説明を行う。
【0021】
ノズルユニット53では、先端にY方向に並ぶ複数の吐出口721が設けられたノズルブロック72がユニット本体71の下部に取り付けられ、先端が加工された光ファイバである光照射部73も吐出口721のおよそ上方に位置するようにユニット本体71に取り付けられる。なお、吐出口721に至るユニット本体71およびノズルブロック72内の流路は、パッキン等を介して支持部52内の隔壁材料の流路と接続され、光照射部73も支持部52内の光ファイバ(図1に示す光ファイバ526に接続された光ファイバ)とカップリングを介して光学的に接続される。これらの接続はノズルユニット53を支持部52に取り付けるのみで実現される。
【0022】
図3に示すように、ノズルブロック72は(−Z)方向(すなわち、基板9に向かう方向)から(−X)側(すなわち、ヘッド部5の基板9に対する相対的移動方向に関して後側)に傾斜してユニット本体71に取り付けられ、吐出口721への流路が(−Z)方向から(−X)側に傾斜した状態とされる。ノズルブロック72の先端部の(−Z)側の角はXY平面に平行な面722に加工され、(+Z)側の角は光照射部73側である(−X)方向に突出した形状(例えば、大きな面取り加工が意図的に行われていない形状)とされる。(+Z)側の角は、後述のように光照射部73からの紫外線を吐出口721に対して遮光する役割を果たすことから、以下、遮光部723と呼ぶ。
【0023】
ノズルユニット53において、複数の吐出口721は図4に示すように所定ピッチL1にてY方向に形成されている。また、ノズルユニット53間における隔壁材料の吐出間隙もY方向に関して吐出口721のピッチL1と等しくされる。すなわち、1つのノズルブロック72(以下、「注目ノズルブロック」という。)と隣接するノズルブロック72(以下、「隣接ノズルブロック」という。)とにおいて、注目ノズルブロック72の隣接ノズルブロック72側の吐出口721と、隣接ノズルブロック72の注目ノズルブロック72側の吐出口721とのY方向に関する距離がピッチL1とされる。
【0024】
そして、各ノズルブロック72に対してY方向に隣接する2つのノズルブロック72が、ZX面に平行であって各ノズルブロック72の中心を通る対称面を中心として対称に配置される。これにより、全ての吐出口721がY方向(すなわち、ヘッド部5の相対的移動方向に垂直かつ基板9の主面に平行な方向)に関してピッチL1にて配列され、広い範囲で一定のピッチL1にて隔壁材料の吐出が行われる。
【0025】
また、図2ないし図4に示すように、(−X)側に設けられるノズルユニット53のノズルブロック72(ヘッド部5の相対的進行方向に関して後側のノズルブロックを、以下、「後側ノズルブロック」という。)のY方向に関する両端部には切欠部724が設けられる。図4に示すように(−X)側から(+X)方向を向いて見たときに、切欠部724は、後側ノズルブロック72が(+X)側のノズルブロック72(以下、「前側ノズルブロック」という。)の吐出口721に重ならない大きさとされる。
【0026】
具体的には、図4において後側ノズルブロック72の最も端の吐出口721の中心から切欠部724の端面までの距離をL2とし、吐出口721のY方向の幅(または、形成される隔壁の幅)をL3とした場合、(L2<L1−L3/2)が満たされるように切欠部724が形成される。さらに、切欠部724のZ方向の高さは形成される隔壁の高さよりも高くされる。これにより、後述するように前側ノズルブロック72により形成された隔壁91が後側ノズルブロック72と干渉してしまうことが避けられる。
【0027】
図5は基板9上に隔壁材料が吐出される様子を(+Y)側から(−Y)方向を向いて見たときの様子を示す図であり、図6は隔壁材料の吐出途上の基板9上の様子を示す平面図である。これらの図において前側ノズルブロックに符号72aを付し、後側ノズルブロックに符号72bを付している。以下、パターン形成装置1による隔壁形成の基本動作について説明する。
【0028】
吐出口721からの隔壁材料の吐出は、図1に示す逆止弁521、ポンプ523および制御弁524により行われる。まず、制御部6の制御により制御弁524が開放された状態でポンプ523が吸引動作を行う。このとき、逆止弁521により隔壁材料の逆流が阻止されるため、タンク525からポンプ523へと隔壁材料が引き込まれる。次に、制御部6の制御により制御弁524が閉じられ、ポンプ523が押出動作を行う。これにより、吐出口721から連続的に隔壁材料が吐出される。
【0029】
このとき、制御部6がステージ移動機構2のモータ21を駆動制御し、吐出口721の下方にて基板9の表面が(−X)方向(図1中の矢印31の方向)に移動するように制御を行う。これにより、ヘッド部5が基板9の主面に沿う方向に相対的に移動し、図5および図6に示すようにX方向に関して前側ノズルブロック72aが先行して基板9に隔壁材料を付与して隔壁91を形成し、後側ノズルブロック72bが前側ノズルブロック72aの間において後続するようにして隔壁91を形成する。そして、後側ノズルブロック72bが通過した後の基板9上の領域は、図6に示すように所定のピッチにて多数の隔壁91が形成された状態となる。
【0030】
図5に示すように隔壁材料が吐出される吐出口721はノズルブロック72の面722と基板9との距離が10μm程度になるまで近接し、隔壁材料は吐出口721の形状に対応した形状で基板9上に吐出される。これにより、吐出口721から基板9に向けて隔壁材料を正確かつ安定して吐出することができる。なお、面722と基板9との距離は材料の粘度に応じて適宜変更されてよく、基板9が損傷しないのであればノズルブロック72と基板9とが接触してもよい。
【0031】
既述のように複数のノズルブロック72の吐出口721はY方向に関して一定のピッチにて配列されるため、図5および図6に示すように後側ノズルブロック72bの両端部は前側ノズルブロック72aが形成した隔壁91と重なってしまう。ところが、パターン形成装置1では、後側ノズルブロック72bに切欠部724が設けられるため、両側に隣接する2つの前側ノズルブロック72aが形成する隔壁91のうち後側ノズルブロック72b側のものは切欠部724の下方を通過することとなる。その結果、前側ノズルブロック72aによる隔壁91と後側ノズルブロック72bとの干渉を避けることができ、所定のピッチにて多数の隔壁91を形成することができる。
【0032】
一方、図5および図6に示すように、基板9上に吐出された隔壁91には、光照射部73から紫外線が照射される。隔壁材料はガラスやセラミックスの粉末に紫外線硬化樹脂を含む樹脂を混入したものであり、紫外線が照射されることにより隔壁91の硬化が行われ、隔壁91の形状が時間とともに崩れて(ダレて)広がってしまうことが防止される。
【0033】
これにより、隔壁91の基板9に接する部分の長さ(W)に対する高さ(H)の比(H/W)を大きくすることが可能となる。また、吐出口721と基板9とが近接することから、極めて形状精度の高い隔壁91を形成することが実現される。例えば、幅50μm、高さ400μmの隔壁であっても適切に形成することが実現される。
【0034】
なお、パターン形成装置1により形成された隔壁は別途焼成され、有機物が除去される。
【0035】
ところで、ノズルブロック72では、吐出口721を基板9に近接させるために、基板9に向かう方向からヘッド部5の相対的移動方向に関して後側に傾斜するように吐出口721が開口している(すなわち、開口領域の法線方向または流路が傾斜している)が、この場合、ノズルブロック72の先端の角が小さかったり、角に面取りを行うと吐出口721に直接紫外線が入射する可能性が高くなる。紫外線が吐出口721に直接照射された場合、吐出口721の周囲に僅かに付着した隔壁材料が硬化してしまい、適切な吐出が損なわれる(あるいは、詰まる)恐れがある。ノズルユニット53では、図5に示すようにノズルブロック72の吐出口721の上部が(−X)側(光照射部73側)に突出する遮光部723とされることから、紫外線が吐出口721に直接照射されることが防止され、適切な吐出が維持される。
【0036】
以上に説明してきたように、パターン形成装置1では後側ノズルブロック72bの両端部に切欠部724を設けることにより、2列に配列されたノズルユニット53間の干渉を防ぐことができる。さらに、遮光部723を設けることにより、光照射部73からの光を吐出口721に対して遮光しつつ基板9上に吐出された隔壁材料を硬化することができる。その結果、吐出口721を傾斜させるとともに基板9に接近させることで、吐出口721の形状に対応した適切な形状の隔壁91を基板9上形成することができる。
【0037】
ところで、切欠部724を設けずにノズルブロック72の端部の厚み(最も端の吐出口721からノズルブロック72の側面までの距離)を隣接するノズルブロック72が形成する隔壁91と干渉しない程度まで薄くするという手法も考えられる。しかしながら、この場合、ノズルブロック72のY方向側の側面の全体において強度が低くなり、ノズルユニット53の交換等の取り扱いの際に必要な強度が得られなくなってしまう。特に、加工精度と加工コストとの関係上、ノズルブロック72の材料としてはセラミックスを用いることが好ましく、切欠部724を設けないとノズルブロック72のY方向側の側面が僅かな衝撃で破損してしまうこととなる。以上のように、切欠部724はノズルブロック72の強度および製作コストに鑑みて重要な役割を果たしている。
【0038】
図7はノズルブロック72および光照射部73の他の例を示す図である。図7では、光照射部73の先端が(−Z)方向から(+X)側に傾斜して設けられ、ノズルブロック72の先端上面には光照射部73からの光が吐出口721に照射されることを防止する遮光部材723aが取り付けられる。これにより、光照射部73からの光が吐出口721近傍の隔壁材料を硬化させることはなく、基板9上に吐出された隔壁材料を吐出直後に硬化させることができる。
【0039】
ここで、遮光部材723aのノズルブロック72に対する相対的位置は調整可能とされており、遮光部材723aの先端がノズルブロック72の先端からはみ出す長さが適宜変更される。これにより、光照射部73の位置や姿勢の変更に応じて、あるいは、吐出される材料の特性の変更に応じて吐出口721から吐出された材料の適切な位置に紫外線を照射することが容易に可能となる。
【0040】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。
【0041】
ノズルユニット53の配列は2列に限定されるものではなく、3列以上であってもよい。また、隣接するとともに先行する(すなわち、前側の)ノズルブロック72が1つの場合には切欠部724は1つだけ形成されるのみでよい。
【0042】
切欠部724の形状は上記実施の形態に示したものに限定されず、他のノズルユニット53が形成する隔壁91との干渉を避けることができる形状であればどのような形状であってもよい。ノズルブロック72がセラミックスにより形成される場合には、切欠部724は研削や切削等により切り欠くようにして形成されるが、他の材料の場合には、他の手法(例えば、溶解や放電加工等)により形成されてもよい。すなわち、前側のノズルブロック72からの隔壁91を避ける凹部として任意の形状に形成されてよい。
【0043】
遮光部723や遮光部材723aの形状は、上記実施の形態に限定されず、吐出口721を光照射部73からの光から遮光することができるならば、どのような形状でもよい。
【0044】
パターン形成装置1は隔壁材料のみならず、導電性の配線材料やその他の材料による複数の線状のパターンを形成する際に利用することができ、このようなパターンが多数形成される平面表示装置(プラズマ表示装置、有機EL表示装置、液晶表示装置等のFPD)用のパネル製造に特に適している。また、半導体基板や通常の配線基板に導電性材料を用いて配線を形成する技術にも適用することができ、パターン形成装置1は様々なパターン形成技術に応用することができる。
【0045】
隔壁材料(配線材料等の他の材料であってもよい。)の硬化も他の種類の光(電磁波)により行われてよい。例えば、赤外線による加熱により硬化が行われてもよい。
【0046】
パターン形成装置1では、ヘッド部5に対してステージ3が移動するが、ステージ3に対してヘッド部5が移動してもよい。ヘッド部5のステージ3に対する移動は相対的なものでよい。
【0047】
【発明の効果】
請求項1ないし3の発明では、吐出口を基板に近接させることができる。
【0048】
また、請求項2の発明では複数のブロックを2列に配列することができる。
【0049】
請求項4の発明では、形状精度の高いパターンを形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】パターン形成装置の概略構成を示す図である。
【図2】ノズルユニットを示す底面図である。
【図3】ノズルユニットを示す側面図である。
【図4】ヘッド部の下部を示す正面図である。
【図5】基板上に隔壁材料が吐出される様子を示す図である。
【図6】隔壁材料の吐出途上の基板の様子を示す図である。
【図7】ノズルユニットの下部の他の例を示す図である。
【符号の説明】
1 パターン形成装置
2 ステージ移動機構
5 ヘッド部
9 基板
53 ノズルユニット
72 ノズルブロック
91 隔壁
73 光照射部
721 吐出口
723 遮光部
723a 遮光部材
724 切欠部
L1 ピッチ
Claims (4)
- 基板上にパターンを形成するパターン形成装置であって、
パターンを形成するための所定の材料を基板に向けて吐出する吐出部と、
基板の主面に沿う第1の方向へと前記吐出部を前記基板に対して相対的に移動させる移動機構と、
を備え、
前記吐出部が、前記第1の方向に垂直かつ前記主面に平行な第2の方向に関して所定のピッチにて配列された複数の吐出口を有する第1ブロックおよび第2ブロックを有し、
前記吐出部の相対的移動方向に関して前記第1ブロックが前記第2ブロックの後側に配置されるとともに前記第1ブロックの前記第2ブロック側の吐出口と前記第2ブロックの前記第1ブロック側の吐出口とが前記第2の方向に関して前記所定のピッチだけ離れており、
前記第1ブロックが、前記第2ブロックの前記第1ブロック側の吐出口から吐出された材料との干渉を避けるための凹部を有することを特徴とするパターン形成装置。 - 請求項1に記載のパターン形成装置であって、
前記吐出部が、前記第1ブロックの対称面を中心として前記第2ブロックと対称な第3ブロックを有し、
前記第1ブロックが、前記第3ブロックの前記第1ブロック側の吐出口から吐出された材料との干渉を避けるための凹部をさらに有することを特徴とするパターン形成装置。 - 請求項1または2に記載のパターン形成装置であって、
前記複数の吐出口が、基板に向かう方向から前記吐出部の相対的移動方向に関して後側に傾斜して開口していることを特徴とするパターン形成装置。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載のパターン形成装置であって、
前記吐出部とともに移動し、基板上に吐出された前記所定の材料に光を照射して硬化させる硬化部をさらに備え、
前記吐出部が、前記硬化部からの光を前記吐出部の吐出口に対して遮光する遮光部を有することを特徴とするパターン形成装置。
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