JP2007083234A - パターン形成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の吐出口721を有するノズルブロック72、および、吐出された隔壁材料に紫外線を照射して硬化させる複数の光照射部73がノズルユニット53に設けられる。ノズルブロック72には光照射部73側に突出する遮光部723が設けられ、吐出口721に光照射部73からの紫外線が直接照射されることが阻止される。これにより、光照射部73からの光が吐出口721近傍の隔壁材料を硬化させることはなく、基板9上に吐出された隔壁材料を吐出直後に硬化させることができる。
【選択図】図3
Description
2 ステージ移動機構
9 基板
72 ノズルブロック
91 隔壁
73 光照射部
721 吐出口
723 遮光部
723a 遮光部材
Claims (4)
- 基板上にパターンを形成するパターン形成装置であって、
パターンを形成するための所定の材料を基板に向けて吐出する吐出部と、
基板の主面に沿う第1の方向へと前記吐出部を前記基板に対して相対的に移動させる移動機構と、
前記吐出部とともに移動し、基板上に吐出された前記所定の材料に光を照射して硬化させる硬化部と、
を備え、
前記吐出部が、前記硬化部からの光を前記吐出部の吐出口に対して遮光する遮光部を有することを特徴とするパターン形成装置。 - 請求項1に記載のパターン形成装置であって、
前記吐出部の吐出口が、基板に向かう方向から前記吐出部の相対的移動方向に関して後側に傾斜して開口していることを特徴とするパターン形成装置。 - 請求項2に記載のパターン形成装置であって、
前記遮光部が、前記吐出部の前記吐出口の上側において前記光照射部側に突出する部位であることを特徴とするパターン形成装置。 - 請求項1または2に記載のパターン形成装置であって、
前記遮光部が、前記吐出部の先端からはみだす長さが変更可能な部材であることを特徴とするパターン形成装置。
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