KR101264979B1 - 잉크젯 도포 장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 과제는 도포 헤드의 노즐로부터 진공 흡인 수단이 흡인된 UV 경화형 도포재의 UV 광에 의한 경화를 방지하고, 진공 흡인 수단에서의 막힘에 의한 흡인 불량의 발생을 방지하는 것이다.
반송되어 온 필름(1)은, 흡착 테이블(10) 상에 흡착 고정되어 도포 헤드(15)로부터 UV 경화형 도포재(35)가 도포되고, 이 도포된 UV 경화형 도포재(35)는 도포 헤드(15)와 일체의 UV 광원(20)으로부터의 UV 광(36)이 조사되어 경화된다. 이 흡착 테이블(10)의 외측에는, 진공 흡인부(21)가 배치되어 있고, 도포 헤드(15)를 이 진공 흡인부(21)로 이동시킴으로써, 이 진공 흡인부(21)에 의해 도포 헤드(15) 내의 기포 등이 흡인된다. 이러한 도포 헤드(15)의 흡인이 행해지지 않을 때에는, UV 셔터(22)가 에어 실린더(23)에 의해 이동하여, 이 진공 흡인부(21)의 흡인구를 막는다. 이에 의해, 진공 흡인부(21) 내가 UV 광(36)에 대하여 차광된다.

Description

잉크젯 도포 장치 및 방법{INK JET APPLICATION APPARATUS AND METHOD}

본 발명은, 평활한 부재에 대한 잉크젯 방식에 의한 재료의 도포에 관한 것으로, 특히, 자외선 경화(이하, UV 경화라고도 함) 작용을 갖는 재료의 도포를 안정적으로 행하는 잉크젯 도포하는 장치 및 방법에 관한 것이다.

잉크젯 방식이라 함은, 도포 헤드로서의 기포 또는 압전 소자를 이용한 잉크젯 도포 헤드로부터 소량의 잉크 액적을 고정밀도로 토출하는 방식이다. 이 잉크 액적의 고정밀도의 토출에 의해 대상으로 하는 부재에 잉크 액적을 도포하는 처리를 장치화한 것이, 잉크젯 도포 장치이다. 잉크의 고정세(高精細)한 도포를 실현할 수 있는 장치로서 최근 주목받아 오고 있어, 종이에의 인쇄에 한하지 않고, 모든 산업 분야에서 그 적용 가능성을 찾고 있고, 이미, 실용화되어 있는 것도 있다.

노즐 진공 흡인 수단에 대해서는, 도포 헤드를 덮고, 흡인 수단에 의해 도포 헤드의 내부를 적당한 부압으로 설정함으로써, 도포 헤드의 내부의 기포를 제거하고, 잉크를 안정적으로 토출할 수 있는 상태로 하는 기술이 제안되어 있다(예를 들어, 특허 문헌 1 참조).

UV 경화 작용을 갖는 잉크액 종류(UV 경화형 도포 재료의 잉크액. 이하, UV 경화형 도포재라 함)에의 대응으로서는, 잉크액을 착탄 전에 경화시키지 않고, 착탄 후에 신속하게 경화시키기 위해, 주주사 방향으로 이동하는 캐리지에 설치된 도포 헤드와 UV 광원과 각 UV 광원에 덮인 커버를 구비한 기술이 알려져 있다(예를 들어, 특허 문헌 2 참조).

이 커버의 측면은, 도포 헤드의 하면보다, 더욱, 하방으로 연장되어 도포 헤드와 UV 광원의 사이에 배치되고, 이 커버 측면의 하단부에는, 탄도를 향해 연장되는 차양이 설치되어 있다.

이러한 구성에 따르면, UV 광원으로부터의 자외선이 커버의 측면에 의해 차폐되고, 이에 의해, 도포 헤드 및 도포 헤드로부터 토출된 UV 경화형 도포재의 잉크 방울의 궤도에 자외선이 이르지 않고, 또한, 기록 매체에 의해 반사된 자외선이 차양으로 차폐되어, 이 반사된 자외선이 헤드 및 탄도에 이르지 않는 것이다.

이에 의해, 헤드에 의해 토출되고 나서 기록 매체에 착탄할 때까지의 UV 경화형 도포재의 잉크 방울의 탄도에의 활성 광선의 입사를 차폐 부재에 의해 저감할 수 있으므로, 헤드로부터 토출된 이 잉크 방울이, 기록 매체에 착탄하기 전에, 활성 광선에 폭로되어 경화될 우려를 경감할 수 있어, 고화질의 화상을 기록할 수 있다고 하는 것이다.

또한, 이와 같은 차폐 부재가 설치되어 있으므로, 활성 광선원을 가일층 헤드에 근접하여 설치할 수 있어, UV 경화형 도포재의 잉크 방울은 기록 매체에 착탄되고 나서 신속하게 활성 광선원으로부터 발한 활성 광선에 폭로되도록 할 수 있고, 따라서, 이러한 잉크 방울은, 기록 매체에 착탄 후, 신속하게 경화된다. 이로 인해, 이러한 잉크 방울은 기록 매체 상에서 필요 이상으로 확산되지 않아, 번지지 않도록 하는 것이 가능해지는 것이다.

또한, 활성 광선원으로부터 발한 활성 광선이 UV 경화형 도포재의 잉크 방울의 탄도의 기점에 입사하는 것이 차폐 부재에 의해 방지 가능해지므로, 도포 헤드의 잉크 토출구에 존재하는 UV 경화형 도포재의 잉크액이 증점되거나, 경화되거나 하는 것을 억제할 수 있어, 장기에 걸쳐 이러한 잉크액의 토출 불량을 방지할 수 있는 것이다.

일본 특허 출원 공개 제2008-272996호 공보 일본 특허 출원 공개 제2004-314304호 공보

지금까지, 잉크젯 도포에 사용하는 UV 경화형 도포재의 도포에 있어서는, 경화의 가부를 고려하는 상태로서, 도포 헤드 내에 축적되어 있는 토출 전의 단계와, 도포 헤드로부터 토출되어 대상 기판에 도달하기 전의 토출 중의 단계(상기 특허 문헌 2에서의 「탄도」를 따라 이동하는 것에 상당하는 단계)와, 토출된 UV 경화형 도포재가 대상 기판에 도달한 후의 단계의 3개의 단계를 들고 있다. 전자의 2개의 단계에서는, UV 경화형 도포재가 경화되지 않는 쪽이 좋고, 최후의 UV 경화형 도포재의 방울이 기판에 도달한 단계에서는, 즉 경화된 쪽이 좋은 것이다.

그러나, UV 경화형 도포재가 경화되지 않는 것을 원하는 것은, 도포 헤드의 내부와 도포 헤드로부터의 토출 중만이 아니다. 도포 헤드의 내부에는, UV 경화형 도포재가 충전되어 있지만, 연속하여 도포를 반복함으로써, 시간의 경과와 함께, 점차 도포 헤드의 내부에 기포가 혼입되어 버리는 문제가 발생하므로, 이러한 문제에의 대처도 필요하다.

일단 도포 헤드의 내부에 기포가 발생하면, UV 경화형 도포재를 토출시키기 위해, 각 노즐 내에서 피에조 등에 의해 이 UV 경화형 도포재를 압출했다고 생각하지만, 기포만을 압축한 것이 된다. UV 경화형 도포재의 안정된 토출을 할 수 없게 되는 것을 방지하기 위해서는, 도포 헤드 내로부터의 기포의 제거가 필요해진다. 또한, 도포 헤드 내의 UV 경화형 도포재를 모두 소비한 경우, 혹은 절차 변경 등에 의해 도포 헤드 내를 다른 도포재로 교환할 필요가 있는 경우에도, 기포의 혼입을 없애면서, 도포재를 충전시킬 필요가 있다.

이미 혼입된 기포를 제거할 때, 혹은 기포의 혼입을 억제하면서 도포 헤드 내에 도포재를 충전할 때에는, 노즐 진공 흡인 수단을 사용하여 진공 흡인함으로써, 노즐 토출구로부터 흡인하는 방법을 사용하고 있다.

이 흡인 작업에서는, 통상, UV 경화형 도포재의 일부가 비산되어, 노즐의 진공 흡인 수단의 내부의 벽면이나 진공 배관 내에 부착된다. 한편, 도포 헤드에는, UV 광원이 구비되어 있어, 그 UV 광이 이 내부의 벽면이나 진공 배관 내에 부착된 UV 경화형 도포재를 경화시켜 버린다. 또한, 노즐의 진공 흡인 수단, 도포 처리 시간의 저하를 방지하기 위해, 도포 대상으로 하는 필름 등을 고정하는 테이블에 가까운 위치에 설치되어 있으면, UV 광원이 조사 상태에서 근방을 통과할 때마다, UV 광이 노즐의 진공 흡인 수단의 내부 벽면이나 진공 배관 내에 부착된 UV 경화형 도포재를 경화시켜 버린다. 이로 인해, 노즐의 진공 흡인 수단의 배관에 막힘이 발생하여, UV 경화형 도포재의 도포 헤드로의 흡인 불량이 발생한다. 나아가서는, 도포 헤드 내에의 기포의 혼입을 초래하여, 토출 불량의 발생에 의해 제조하는 제품의 품질을 저하시킨다는 문제가 있다.

본 발명의 목적은, 이러한 문제를 해소하고, 도포 처리 시간을 저하시키는 일 없이, 잉크젯 도포 헤드의 노즐 구멍으로부터 확실하게 UV 경화형 도포재를 사출(도포)함으로써, 도포 대상에의 도포 품질을 높일 수 있도록 한 잉크젯 도포 장치 및 방법을 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 롤 형상의 필름을 권출하여 반송하는 상류측의 가이드 롤과, 권출된 필름을 흡착 유지하는 흡착 테이블과, 흡착 테이블에 흡착 유지된 필름 표면에 액상의 UV 경화형 도포재를 도포하는 도포 헤드와, 도포 헤드를 필름의 상방 위치에서 XY축의 평면 내를 이동 가능하게 하는 갠트리 구조체와, 도포 헤드의 상하 이동을 가능하게 하는 Z축 구동 수단과, 도포 헤드와 일체로 XYZ축 방향으로 이동 가능한 자외선 광원으로 이루어지는 잉크젯 도포 장치이며, 필름을 반송하는 범위의 외측의 위치에 있어서, 이 위치로 이동한 도포 헤드가 하강하여 접촉하는 흡입구를 갖고, 흡입구로부터 도포 헤드의 노즐을 흡인하는 진공 흡인 수단과, 진공 흡인 수단의 내부에의 자외선 광원으로부터 자외선 광의 입사를 차폐하는 차광 수단을 구비하고, 진공 흡인 수단에서의 자외선 광의 차폐와 차폐의 해제를 선택 가능하게 구성한 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은, 상류측의 가이드 롤에 의해 롤 형상의 필름을 권출하여 반송하고, 흡착 테이블에 의해 권출된 필름을 흡착 유지하고, 도포 헤드에 의해 흡착 테이블에 흡착 유지된 필름의 표면에 액상의 UV 경화형 도포재를 도포하고, 갠트리 구조체에 의해 도포 헤드를 필름의 상방 위치에서 XY축의 평면 내를 이동 가능하게 하고, Z축 구동 수단에 의해 도포 헤드의 상하 이동을 가능하게 하고, 자외선 광원은 도포 헤드와 일체로 XYZ축 방향으로 이동 가능하게 한 잉크젯 도포 방법이며, 진공 흡인 수단은, 필름을 반송하는 범위의 외측의 위치에 배치되어, 이 위치로 이동한 도포 헤드를 하강시킴으로써 흡인구에 접촉시켜 도포 헤드의 노즐로부터 흡인하고, 차광 수단은, 진공 흡인 수단의 내부에의 자외선 광원으로부터 자외선 광의 입사를 차폐하고, 자외선 광의 차폐와 차폐의 해제를 선택할 수 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 노즐의 진공 흡인 수단의 내부에 부착된 UV 경화형 도포재의 경화를 방지할 수 있어, 노즐로부터의 UV 경화형 도포재가 안정된 진공 흡인이 가능해져, 도포 품질이 향상한다.

도 1은 본 발명에 의한 잉크젯 도포 장치 및 방법의 제1 실시 형태의 개략 구성을 도시하는 사시도.
도 2는 도 1에 도시하는 제1 실시 형태의 개략 구성을 도시하는 상면도.
도 3은 도 1, 도 2에서의 1개의 도포 헤드의 부분을 확대하여 도시하는 사시도.
도 4는 도 1에 있어서의 진공 흡인부의 UV 차광의 기능을 갖는 잉크젯 도포의 제어부의 구성을 도시하는 블록도.
도 5는 도 3에 도시하는 진공 흡인부의 진공 흡인의 동작의 일 구체예를 도시하는 흐름도.
도 6은 본 발명에 의한 잉크젯 도포 장치 및 방법의 제2 실시 형태의 주요부의 개략 구성을 도시하는 사시도.

이하, 본 발명의 실시 형태에 대해 도면을 사용하여 설명한다.

또한, 이하에 설명하는 실시 형태에서는, 도포 대상의 일례로서, 비실리콘계의 반도체 재료(예를 들어, CIGS 박막)가 실시된 태양 전지 필름 상에, 잉크젯 방식의 도포 헤드로 전극재나 절연재를 도포함으로써, 전극이나 절연막 등의 막 형성을 행하는 것으로 한다. 또한, CIGS 박막은, Cu(구리), In(인듐), Ga(갈륨), Se(셀렌)로 이루어지는 반도체 재료의 박막이며, 「CIGS」는 이들 소재의 이니셜을 배열한 것이다.

절연막의 막 형성에서는, 도포 재료로서 UV 경화 수지의 액(UV 경화형 도포재)을 도포 헤드 내에 충전하고, 이것을 토출하여 도포한다. UV 경화 수지는, 일반적으로, 모노머나 올리고머, 광 경화 개시제와 첨가제에 의해 구성되어 있다. UV 광의 조사를 받으면, 광 중합 반응에 의해, 이 광 경화 개시제가 모노머(액체) 상태로부터 폴리머(고체) 상태로 단시간에 전환되어 간다.

도 1은 본 발명에 의한 잉크젯 도포 장치 및 방법의 제1 실시 형태에서의 개략 구성을 도시하는 사시도이다. 1은 태양 전지용 적층 필름(이하, 단순히 필름이라 함), 2는 권출측 필름 롤, 3은 권취측 필름 롤, 4, 5는 가이드 롤, 6, 7은 승강 가이드 롤, 8, 9는 흡착 바, 10은 흡착 테이블, 11은 권출측 축 모터, 12는 권취측 축 모터, 13, 14는 필름 압박 바, 15는 도포 헤드, 16은 권출부, 17은 도포부, 18은 권취부, 19는 촬상 카메라, 20은 UV 광원, 21은 진공 흡인부, 22는 UV 셔터, 23은 에어 실린더이다.

동 도면에 있어서, 필름(1)의 길이 방향(이동 방향)을 따른 X축 방향의 공간이 권출부(16)와 도포부(17)와 권취부(18)로 구분되어 있고, 권출부(16)에는, 권출측 축 모터(11)에 의해 회전 구동되는 권출측 필름 롤(2)이나 상류측의 가이드 롤(4), 승강 가이드 롤(6), 흡착 바(8)가 X축 방향으로 순차 배열되어 설치되고, 권취부(18)에는, 하류측의 흡착 바(9)나 승강 가이드 롤(7), 가이드 롤(5), 권취측 필름롤(3)이 X축 방향으로 순차 배열되어 설치되어 있다. 또한, 도포부(17)에는, 흡착 테이블(10)이나 도포 헤드(15), 필름 압박 바(13, 14)가 설치되어 있다. 흡착 바(8, 9)나 흡착 테이블(10)에서는, 도시하지 않지만, 진공 펌프를 진공원으로 하여, 진공 밸브에 의해 필름(1)의 흡착 고정이나 고정 해제가 행해진다.

권출부(16)에서는, 권출측 필름 롤(2)에 도포부(17)에서 전극재나 절연재의 도포 대상으로 되는 필름(1)이 롤 형상으로 감아져 있다. 또한, 이 필름(1)은, 이 권출측 필름 롤(2)로부터 권출되어 도포부(17)를 통과하고, 권취부(18)에서 권취측 필름 롤(3)에 권취되어 있다. 여기서, 필름(1)의 길이 방향(이동 방향)을 X축 방향, 그 폭 방향을 Y축 방향, 그 면에 수직인 방향을 Z축 방향으로 한다.

도포부(17)에서는, 필름(1)이, 흡착 테이블(10) 상에 진공 흡착에 의해, 위치 고정된다. 또한, 잉크젯식의 도포 헤드(15)가 복수(여기서는, 4개) 설치되어 있다. 각각의 도포 헤드(15)는, 도시하지 않은 Z축 구동 수단에 의해 그 높이를 개별로 바꿀 수 있다. 또한, 도포 헤드(15)는, 촬상 카메라(19)나 UV 광원(20)과 일체로 구성되어, 도시하지 않은 X축 구동 수단에 의해 X축 방향으로 이동할 수 있는 구성을 이루고 있다.

또한, 촬상 카메라(19)나 UV 광원(20)과 일체의 도포 헤드(15)는, 여기서는, 4개 설치하고 있지만, 1개이어도 되고, 또한, 4개 이외의 복수개이어도 된다. 이 이유는, 처리 속도를 향상시키기 위해, 복수개 설치되어 있는 것이다.

테이블(10)의 외측에는, 도포 헤드(15)마다 그 노즐 내를 흡인하는 진공 흡인부(21)를 설치하고 있다. 또한, 각각의 진공 흡인부(21)에는, 에어 실린더(23)에 의해 왕복 이동(슬라이드) 가능한 UV 셔터(22)를 설치하고 있다. 이 UV 셔터(22)는, 진공 흡인부(21)의 흡인구의 덮개 형상으로 되는 것이며, 도포 헤드(15)의 노즐 내를 진공 흡인할 때에는, 에어 실린더(23)에 의해 UV 셔터(22)가 진공 흡인부(21)의 흡인구로부터 벗어나서 이 흡인구를 개방하고, 도포 헤드(15)의 노즐 내를 진공 흡인하지 않을 때에는, 에어 실린더(23)에 의해 UV 셔터(22)가 이동하여 진공 흡인부(21)의 흡인구에 덮여, 이 흡인구를 폐쇄한다.

도 2는 도 1에 도시하는 제1 실시 형태의 개략 구성을 도시하는 상면도이다. 24는 X축 구동 수단, 25는 Z축 구동 수단, 26은 Y축 구동 수단, 27은 갠트리, 28a, 28b는 Y축 스테이지, 29는 진공 펌프, 30은 진공 밸브, 31은 가압 에어원, 32는 밸브 유닛, 33은 진공 배관, 34는 배관이며, 도 1에 대응하는 부분에는 동일 부호를 부여하여 중복하는 설명을 생략한다.

동 도면에 있어서, 4개의 도포 헤드(15)는 X축 방향, 즉, 필름(1)의 길이 방향을 따라 배열되어 있고, 이들 도포 헤드(15)의 배열 전체를 사이에 끼우고, 또한 필름(1)을 타고 걸친 상태에서, 2개의 Y축 스테이지(28a, 28b)가 Y축 방향으로 서로 평행하게 설치되어 있다. 이들 Y축 스테이지(28a, 28b) 사이를 타고 걸쳐 갠트리(27)를 X축에 평행하게 설치하고 있다. 이 갠트리(27)의 그 길이 방향의 측면에 4개의 도포 헤드(15)가 설치되어 있다. 갠트리(27)는, 서보 모터나 리니어 모터 등에 의한 도시하지 않은 구동 수단에 의해, Y축 스테이지(28a, 28b) 상을 Y축 방향으로 이동 가능하며, 이에 의해, 이들 Y축 스테이지(28a, 28b)와 갠트리(27)는, 도포 헤드(15)를 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 구동 수단(26)을 이루고 있다.

또한, 각 도포 헤드(15)에는, 그것을 갠트리(27)를 따라 X축 방향으로 이동시키는 X축 구동 수단(24)과, 갠트리(27)의 상기 측면을 따라 상하 방향(종이면에 수직인 Z축 방향)으로 이동시키는 Z축 구동 수단(25)을 설치하고 있다.

이와 같이, 각 도포 헤드(15)는, X축 구동 수단(24)과 Y축 구동 수단(26)에 의해 필름(1)의 면에 평행한 X, Y축 방향으로 이동하고, Z축 구동 수단(25)에 의해 필름(1)의 면에 수직인 Z축 방향으로 이동한다.

각 진공 흡인부(21)는 진공 배관(33)이 접속되어 있고, 이들 진공 배관(33)은 진공 밸브(30)를 통해 진공 펌프(29)에 접속되어 있다. 진공 펌프(29)가 작동하고, 이러한 상태에서 진공 밸브(30)가 개방되면, 각 진공 흡인부(21)에서 흡인이 행해진다.

또한, 각 에어 실린더(23)에는 배관(34)을 접속되어 있고, 이들 배관(34)은 밸브 유닛(32)을 통해 실린더 구동부로서의 가압 에어원(31)에 접속되어 있다. 통상, UV 셔터(22)는, 스프링 등에 의해 이 진공 흡인부(21)의 흡인구를 막도록, 진공 흡인부(21) 상에 위치되어 있다. 도포 헤드(15)의 노즐의 내부를 흡인할 때에는, 가압 에어원(31)이 동작하는 동시에 밸브 유닛(32)이 개방된다. 이에 의해 에어 실린더(23)가 동작하여 UV 셔터(22)가 이동하여 진공 흡인부(21)로부터 벗어난다. 그리고, 이 진공 흡인부(21)의 흡인구는 개방된다. 이와 함께, 진공 펌프(29)가 작동하여 진공 밸브(30)를 개방하여, 진공 흡인부(21)에서 흡인이 행해진다. 이 흡인을 종료하고, 밸브 유닛(32)을 폐쇄하여 가압 에어원(31)의 동작을 정지하면, 에어 실린더(23)의 동작도 정지하고, 스프링 등의 작용에 의해 UV 셔터(22)가 진공 흡인부(21) 상으로 이동하여, 진공 흡인부(21)의 흡인구가 폐쇄된다.

이상과 같이, X축 구동 수단(24)이나 Y축 구동 수단(26)에 의해 잉크젯식의 도포 헤드(15)를 필름(1) 상의 X, Y축 방향으로 이동하여, 이 헤드(15)에 설치한 노즐로부터 액상의 전극재나 절연재 등(이하, 이들을 정리하여 「도포재」라고 함)을 토출함으로써, 도포재가 필름(1) 상에 도포되어 전극이나 절연막을 형성해 간다.

이 실시 형태에서는, 도포재로서, UV 경화형의 도포재, 즉, UV 경화형 도포재를 사용하는 것으로, 다음에, UV 경화형의 도포재의 취급에 대해 설명한다.

도 1, 도 2에 있어서, 도포부(17)에서 필름(1)의 소정의 도포 대상 에어리어에서의 도포재의 도포를 종료하면, 권출측 필름 롤(2)로부터 필름(1)을 권출한다. 또한, 권취측 필름 롤(3)에 이 필름(1)이 권취되어, 도포부(17)에서 차례차례로 연속된 필름(1)에 도포재의 도포를 반복한다. 이 필름(1)의 다음 도포 대상 에어리어가 도포부(17)에서 도포재의 도포를 할 수 있는 위치로 되도록, 필름(1)이 권출측 필름 롤(2)측으로부터 권취측 필름 롤(3)측으로 반송된다. 이때에는, 권출부(16)에 있어서, 권출측 축 모터(11)에 의해 회전 구동되는 권출측 필름 롤(2)로부터 권출된 필름(1)은, 가이드 롤러(4)와 승강 가이드 롤러(6)에 의해 지지된다. 승강 가이드 롤러(6)가 흡착 테이블(10)의 흡착면보다도 높은 위치로 상승되어 있고, 또한, 권취부(18)에서는, 필름(1)이 승강 가이드 롤러(7)와 가이드 롤러(5)로 지지되어 권취측 필름 롤(3)에 권취된다. 이때, 승강 가이드 롤러(7)가 흡착 테이블(10)의 흡착면보다도 높은 위치로 상승되어 있다. 이에 의해, 도포부(17)에서는, 필름(1)은 들어올려져, 흡착 바(8, 9)나 흡착 테이블(10)에 접촉하는 일 없이, X축 방향으로 이동한다.

이와 같이 하여, 필름(1)을 권출부(16)측으로부터 권취부(18)측으로 이송할 때에는, 승강 가이드 롤러(6, 7)에 의해 필름(1)을 들어올리게 된다. 필름(1)은 흡착 테이블(10)에 접촉하는 일 없이 반송되므로, 필름(1)의 이면에 긁힘 등의 손상이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

이와 같이, 필름(1)을 승강 가이드 롤러(6, 7)에 의해 흡착 바(8, 9)나 흡착 테이블(10)에 접촉하지 않는 상태로 반송하고, 필름(1)의 다음 도포 대상 에어리어가 도포부(17)에 도달하면, 필름(1)의 반송이 종료된다. 이 도포 대상 에어리어의 도포부(17)의 X축 방향의 위치 결정이 행해져(이 위치 결정은, 우선, 권취측 필름 롤(3)의 권취량을 감시하여 행해짐), 초벌 위치 조정한다.

이때, 권취측 축 모터(12)에 브레이크를 걸어, 필름(1)의 권취부(18)측은 고정된 상태로 한다. 이와 함께, 권출측 축 모터(11)를 필름(1)의 권출 회전 방향과는 역회전 방향으로 토크를 부하한 상태로 해, 필름(1)에 일정한 장력을 부가한 상태로 한다.

이에 의해, 필름(1)의 반송을 종료해도, 이 필름(1)은, 그 길이 방향(즉, 그것이 반송되는 X축 방향)으로 텐션이 걸린 상태로 유지되게 되어, 필름(1)에 느슨함이 발생하지 않는다. 이러한 상태에서, 도포부(17)에서는, 필름(1)의 하면을 흡착 유지하는 흡착 바(8, 9)에 의해, 필름(1)은 흡착 테이블(10)에 흡착 유지된다.

도 3은 도 1, 도 2에서의 1개의 도포 헤드(15)의 부분을 확대하여 도시하는 사시도이며, 35는 UV 경화형 도포재, 36은 UV 광으로, 도 1, 도 2에 대응하는 부분에는 동일 부호를 부여하여 중복하는 설명을 생략한다.

동 도면에 있어서, 도포 헤드(15)의 하면에는, 필름(1)을 향한 노즐 구멍(도시하지 않음)을 250개 정도 설치하고 있다. 각 노즐 구멍 내에서 피에조 구동에 의해 도포재(35)의 액적이 압출되어 필름(1) 상에 점 형상으로 사출된다. 도포 헤드(15)의 전후(Y축 방향)에는, UV 광원(20)을 설치하고 있어, 각각의 UV 광원(20)의 하면으로부터 필름(1) 상에 UV 광(36)을 조사한다.

도포 헤드(15)는, 촬상 카메라(19)와 자외선의 광원인 UV 광원(20)과 함께, Z축 구동 수단(25)에 의해 Z축 방향(높이 방향)의 이동 동작이 가능하다. Z축 방향의 이동 동작이 가능한 구성 수단의 모두는, X축 구동 수단(24)에 설치하고 있다. 또한, 공통인 갠트리 구조체를 이루는 Y축 구동 수단(26)의 갠트리(27)에, 복수의 X축 구동 수단(24)을 설치하고 있다. XY축 평면 내에 있어서, 모든 도포 헤드(15)를 이동 가능하게 하고 있다. 이에 의해, 도 2에서도 설명한 바와 같이, 도포 헤드(15)의 노즐이 XY축 평면 내를 이동하고, 또한, Z축 방향의 이동 동작을 하고, 개별로 도포재(35)를 사출함으로써, 필름(1)의 도포면에 모든 패턴으로 도포재(35)를 정밀하게 도포하는 것이 가능해진다.

여기서, 도포 헤드(15)의 내부에 기포가 혼입되면, 도포 재료의 사출 도포 불량으로 되므로, 큰 문제로 된다. 이로 인해, 최대한 도포 헤드(15)의 내부에의 기포의 혼입을 피할 필요가 있다. 도포 헤드(15)의 내부에 기포가 혼입될 가능성이 있는 현상으로서는, 대략 2개의 현상이 있다. 우선 제1은, 도포 재료의 소모에 의해 도포 헤드(15)에 새롭게 UV 경화형 도포재를 충전하는 경우이다. 제2는, 장시간의 연속 도포에 의해 도포 헤드(15)의 내부에 미소한 기포가 발생하는 경우이다.

이 도포 헤드(15)의 내부에의 기포 혼입을 방지하기 위해서는, 도포 헤드(15) 내를 노즐측으로부터 진공 흡인하는 것이 유효하다. 단시간에 진공 흡인을 행하기 위해, 각 도포 헤드(15)의 배치는 해당하는 진공 흡인부(21)의 배치와 합치시키고 있고, X축 구동 수단(24), Y축 구동 수단(26)(도 2)에 의해 각각의 도포 헤드(15)를 그 노즐이 해당하는 진공 흡인부(21)의 상부에 위치할 때까지 동시에 이동시킨다. 계속하여, Z축 구동 수단(25)에 의해 각각 도포 헤드(15)를 강하시켜, 그 노즐의 선단이 진공 흡인부(21)의 흡인구 내에 들어가도록 한다. 이러한 상태에서, 진공 흡인부(21)에 있어서 노즐의 토출구로부터 동시에 각각의 도포 헤드(15)의 진공 흡인을 행한다.

도포부(17)에서 필름(1)의 소정의 도포 대상 에어리어에서의 도포재(35)의 도포가 종료되면, 권출측 필름 롤(2)(도 1, 도 2)로부터의 필름(1)의 권출과 권취측 필름 롤(3)(도 1, 도 2)의 필름(1)의 권취를 행하여, 차례차례로 연속된 필름(1)에 대하여, 도포 헤드(15)에 의해, 도포부(17)에서 도포 동작이 반복된다.

진공 흡인부(21)에서 도포 헤드(15)의 노즐로부터의 도포 헤드(15)의 진공 흡인을 한 경우에는, 도포 헤드(15)의 내부의 UV 경화형 도포재의 일부가 비산할 경우가 있어, 진공 흡인부(21)의 내벽면이나 진공 배관(33)의 내면에 서서히 UV 경화형 도포재의 부착물의 양도 많아져 간다. 한편으로, 통상의 도포 후에는, 도포 헤드(15)의 옆에서 UV 광원(20)으로부터 UV 광(36)을 조사하므로, 그대로는, 진공 흡인부(21) 내에 부착된 UV 경화형 도포재가 경화되기 시작한다. 이로 인해, 진공 배관(33) 등의 진공 흡인의 통로를 막아버린다는 문제가 발생한다.

이 대책으로서는, 진공 흡인부를 UV 광원으로부터 멀리 이격된 위치에 설치하는 방법이 과거에 제안되어 있지만, 도포 헤드의 진공 흡인부에의 이동 시간이 많이 걸리는 것으로부터, 처리 택트의 저하를 초래해 버린다는 다른 문제가 있다. 또한, 다른 제안으로서, 진공 흡인이 아니고, 도포 헤드의 재료 공급 계통에 가압 계통을 추가하는 가압 충전법도 제안되어 있지만, 이것으로는, 여분인 공간이 필요해지고, 전환 밸브에 의한 압력의 변동이 발생하므로, 정밀도가 요구되는 사출 상태에 악영향이 미쳐 고품질의 도포가 곤란해져 버린다.

상기와 같은 문제점을 해소하기 위해, 이 제1 실시 형태는, 도포재(35)의 경화에 의한 진공 흡인 기능의 저하를 방지하는 목적으로, 진공 흡인부(21)에 UV 셔터(22)를 부가한 것이다.

즉, 도 3에 있어서, 반송된 필름(1)은 흡착 테이블(10)에 의해 위치 결정 고정되지만, 흡착 테이블(10)의 근방이며, 반송 방향과는 직각 방향으로 닿는 외측 위치에 진공 흡인부(21)를 설치하고 있다. 진공 흡인부(21)의 상면에서는, 진공 펌프(29)에 연결된 진공 배관(33)을 통하여 필름(1)을 진공 흡인한다. 이 개방 가능한 진공 흡인부(21)의 상면에서, 진공 흡인부(21)보다도 더욱 외측으로부터 필름(1)의 반송 방향과는 직각 방향으로 셔터 구동용의 에어 실린더(23)에 의해 구동되어 UV 셔터(22)가 슬라이드 이동할 수 있다. 여기서, UV 셔터(22)의 구동원을 에어 실린더로 했지만, 다른 모터나 솔레노이드 등의 직선 연동에 의한 이동을 가능하게 하는 것이어도 된다.

도 4는 도 1에 있어서의 진공 흡인부(21)의 UV 차광의 기능을 갖는 잉크젯 도포의 제어부의 구성을 도시하는 블록도이며, 24hx는 X축 드라이버, 24hy는 Y축 드라이버, 24hz는 Z축 드라이버, 37은 제어 유닛, 37a는 마이크로컴퓨터, 37b는 외부 인터페이스, 37c는 도포 헤드 컨트롤러, 37d는 화상 처리 컨트롤러, 37e는 모터 컨트롤러, 37f는 데이터 통신 버스, 38은 USB 메모리, 39는 하드 디스크, 40은 모니터, 41은 키보드, 42는 레귤레이터이다.

동 도면에 있어서, 제어 유닛(37)은, 마이크로컴퓨터(37a)와, 이것에 데이터 통신 버스(37f)를 통해 접속된 외부 인터페이스(37b)와 도포 헤드 컨트롤러(37c)와 화상 처리 컨트롤러(37d)와 모터 컨트롤러(37e)로 구성되어 있다. 이 제어 유닛(37)의 각 구성품은, 마이크로컴퓨터(37a)의 제어 하에 제어된다. 또한, 마이크로컴퓨터(37a)의 외부 메모리로서의 USB 메모리(38)나 하드 디스크(39), 데이터 출력부로서의 모니터(40), 조작부로서의 키보드(41)가 외부 인터페이스(37b)에 접속되어 있다.

또한, 외부 인터페이스(37b)는, 에어 실린더(23) 등의 에어 구동 기기, 권출측 축 모터(11)나 권취측 축 모터(12), 다른 롤용 모터와 마이크로컴퓨터(37a)를 접속하고 있어, 마이크로컴퓨터(37a)의 제어 하에, 이들을 구동 제어하고, 흡착 바(8, 9)나 흡착 테이블(10)에 의해 필름(1)을 진공 흡착할 때의 진공원으로 되는 진공 펌프(29)나 이로부터의 전환을 행하는 진공 밸브부(30)가 접속되어, 마이크로컴퓨터(37a)의 제어 하에, 이들을 구동 제어한다. 또한, 가압 에어원(31)이나 밸브 유닛(32)의 온오프, 레귤레이터(42), UV 광원(20) 조사의 온오프에 대해서도, 마찬가지로, 마이크로컴퓨터(37a)의 제어 하에, 이들을 제어한다.

마이크로컴퓨터(37a)의 제어 하에, 도포 헤드 컨트롤러(37c)는 도포 헤드(15)의 각 노즐의 사출구로부터의 도포재(35)(도 3)의 토출의 유무나 타이밍을 제어하고 있다.

화상 처리 컨트롤러(37d)는, 마이크로컴퓨터(37a)의 제어 하에, 필름(1)에 실시된 스크라이브나 위치 결정 마크를 촬상하여 촬상 카메라(19)의 시야 내 위치를 화상 처리에 의해 산출하는 것이다.

모터 컨트롤러(37e)는, 마이크로컴퓨터(37a)의 제어 하에, 도포 헤드(15)를 설치한 X축 구동 수단(24)(도 2)의 X축 구동 모터를 구동하는 X축 드라이버 24hx나 Z축 구동 수단(25)(도 2)의 Z축 구동 모터를 구동하는 Z축 드라이버 25hz를 구동 제어한다. 또한, Y축 구동 수단(26)의 리니어 모터 혹은 구동 모터를 구동하는 Y축 드라이버 26hy를 구동 제어한다.

UV 광원(20)과 일체로 이동하는 도포 헤드(15)의 XY축 방향의 이동 제어는, 모터 컨트롤러(37e)를 통해 마이크로컴퓨터(37a)로 행하고 있어, UV 광원(20)의 현재 위치와 다음 이동처 위치를 파악하고 있다. 또한, 동작 시퀀스의 관리로부터, 마이크로컴퓨터(37a)에서는, UV 광원(20)의 조사, 비조사의 타이밍도 파악하고 있다.

또한, 이 실시 형태에서는, 슬라이드하는 UV 셔터(22)와 그 구동원으로 되는 셔터 구동용의 에어 실린더(23)는, 도포 헤드(15)마다 개별로 설치하고 있지만, 복수의 도포 헤드(15)에 공통으로 1조의 UV 셔터(22)와 셔터 구동용의 에어 실린더(23)를 설치하도록 해도 된다.

진공 흡인부(21)에서 도포 헤드(15)의 진공 흡인이 드문지, 빈번한지의 실행 빈도에 의해, 동작의 방법이 다르다. 진공 흡인부(21)에서 드물게 도포 헤드(15)를 진공 흡인하는 사용 방법에서는, 통상은 UV 셔터(22)는 진공 흡인부(21)의 상부를 덮어 진공 흡인부(21)의 내부를 차광하고 있고, 필요한 타이밍에서만 UV 셔터(22)를 개방하여 진공 흡인부(21)의 흡인구를 개방 상태로 한다. 이 진공 흡인의 동작의 일 구체예를, 이하, 도 5에 도시하는 흐름도에서 설명한다.

모든 도포 에어리어에서의 도포가 완료되어 있지 않은 경우(스텝 110, 120), UV 셔터(22)를 개방하여 도포 헤드(15)의 진공 흡인을 행할 필요가 있는 타이밍은 3종류이다. 제1은, 각각 UV 경화형 도포재 등의 도포 헤드(15)에의 재료 충전시(스텝 130의 "Y")이다. 제2는, 동일한 위치에서 정지하고 있었던 시간이 설정된 시간 이상으로 되었을 때(스텝 140의 "Y")이다. 제3은, 수동 동작으로 도포 헤드(15)를 진공 흡인할 때(스텝 150의 "Y")이다. 이들 중 어느 것도 아닐 때에는, 스텝 110, 120의 "N", 130의 "N", 140의 "N", ]50의 "N"의 동작이 반복되어 UV 경화형 도포재의 도포가 행해지고, 도포 헤드(15)의 진공 흡인은 행해지지 않는다.

이 3종류 중 어느 하나의 조건이 성립하는 경우는, 우선, UV 셔터(22)를 이동시켜 진공 흡인부(21)의 흡인구를 개방하여(스텝 160), 진공 흡인부(21)의 흡인구의 상방에는 아무것도 광학적인 차폐물이 없는 상태로 한다. 다음에, X축 구동 수단(24)이나 Y축 구동 수단(26)(도 2)에 의해 도포 헤드(15)를 진공 흡인부(21)의 상방 위치까지 이동시켜, 진공 흡인부(21)의 흡인구의 개방 완료를 확인한 후에, Z축 구동 수단(25)(도 2)에 의해 도포 헤드(15)를 하강시킨다(스텝 170). 그리고 다음에, 진공 펌프(29)(도 2)를 구동하여, 진공 흡인부(21)의 상면의 흡인구에 갖다 댄 도포 헤드(15)를 그 노즐의 토출구로부터 진공 흡인하고, 도포 헤드(15) 내를 탈포한다(스텝 180). 탈포가 종료되면, Z축 구동 수단(25)(도 2)에 의해 도포 헤드(15)를 상승시켜, 도포 헤드(15)를 흡착 테이블(10)측의 다음 동작 목표 위치로 이동시킨다(스텝 190). 최후에, 도포 헤드(15)의 상승을 확인한 후에, UV 셔터(22)로 진공 흡인부(21)의 흡인구를 폐쇄하여 진공 흡인부(21)의 내부에 UV 광(36)이 조사되지 않도록, 광학적으로 진공 흡인부(21)의 흡인구를 차폐한다(스텝 200).

한편, 빈번하게 진공 흡인부(21)에 의해 도포 헤드(15)를 진공 흡인하는 사용 방법에서는, UV 광원(20)과 일체의 도포 헤드(15)가 진공 흡인부(21)로부터 일정 범위 내로 들어오면, UV 셔터(22)가 슬라이드 이동하여 진공 흡인부(21)의 흡인구를 폐쇄하여, 진공 흡인부(21)의 내부를 광학적으로 차광한다. 반대로, 도포 헤드(15)가 진공 흡인부(21)로부터 일정 범위 밖으로 되면 UV 셔터(22)가 개방하는 동작을 행하도록 하고 있다. 도 5의 스텝 160과 스텝 200의 UV 셔터(22)의 개폐 타이밍과는 다르지만, 다른 개별의 동작은 도 5와 마찬가지이다.

도 6은 본 발명에 의한 잉크젯 도포 장치 및 방법의 제2 실시 형태의 주요부의 개략 구성을 도시하는 사시도이다. 43은 진공 흡인부, 44는 진공 흡인부 구동용의 에어 실린더, 45는 UV 차광판으로, 도 3에 대응하는 부분에는 동일 부호를 부여하여 중복하는 설명을 생략한다.

이 제2 실시 형태도, 도포 헤드(15)의 내부의 기포를 제거하기 위해, 도포 헤드(15)의 내부의 흡인에 의해 진공 흡인부 내로 비산된 UV 경화형 도포재가 UV 광에 노출되는 것을 방지하는 것이다.

제2 실시 형태는, 도 6에 도시하는 바와 같이, 진공 흡인부(43)는 진공 흡인부 구동용의 에어 실린더(44)에 의해 필름(1)의 폭 방향인 Y축 방향으로 왕복 이동(슬라이드) 할 수 있도록 하였다. 또한, 흡착 테이블(10)로부터 Y축 방향으로 소정 간격 이격시켜 UV 차광판(45)이 고정된 위치에 설치되어 있는 것이다. 이 이외의 구성은, 도 3에 도시하는 제1 실시 형태와 마찬가지이다.

이러한 구성에 있어서, 진공 흡인부(43)는, 통상 사용되지 않을 때에는, UV 차광판(45)의 하측에 있어서, 그 흡인구가 UV 차광판(45)에 의해 막힌 상태이다. 도포 헤드(15)에서의 흡인이 필요할 경우에는, 에어 실린더(44)에 의해 진공 흡인부(43)를 UV 차광판(45)의 하측의 위치로부터 슬라이드하여 필름(1)측으로 밀어낸다. 이에 의해, 진공 흡인부(43)의 상면의 흡인구가 개방 상태로 되어, 도포 헤드(15)를 이 진공 흡인부(43)로 이동시켜 이 흡인구에 갖다댐으로써, 도포 헤드(15) 내의 진공 흡인이 가능해진다. 이러한 흡인을 종료하면, 흡인부 구동용의에어 실린더(44)에 의해 진공 흡인부(43)가 흡착 테이블(10)로부터 이격되는 방향으로 슬라이드 되어 끌어당겨지고, UV 차광판(52a)의 하측으로 들어가게 한다. 이에 의해, 진공 흡인부(43)는, UV 광(36)으로부터의 차광 상태로 할 수 있다.

이와 같이 하여, 이 제2 실시 형태에 있어서도, 제1의 실시 형태와 마찬가지로, 진공 흡인부(43)에의 UV 광(36)의 조사에 의한 진공 흡인부(43) 내에 흡인한 UV 경화형 도포재의 경화를 억제할 수 있어, 도포 헤드(15)를 양호한 상태에서 필름(1)에 관계되는 재료의 도포를 행할 수 있다.

여기서, 진공 흡인부 구동용의 에어 실린더(44)에 의해, 진공 흡인부(43)는 UV 차광판(52a)의 하측의 제1 위치와 이것보다 흡착 테이블(10)측의 도포 헤드(15)의 진공 흡인이 가능한 제2 위치의 사이를 왕복 이동하는 것이다. 또한, 필요에 따라(예를 들어, 조작자의 조작에 의해) UV 차광판(45)의 하측의 위치로부터 더욱 흡착 테이블(10)로부터 이격된 제3 위치로 이동시킬 수도 있다. 이 제3 위치에서는, 진공 흡인부(43)는 UV 차광판(45)으로부터 벗어나, 진공 흡인부(43)의 흡인구는 개방된 상태로 된다. 그러나, 도포 헤드(15)와 함께 설치한 UV 광원(20)으로부터 충분히 이격되어 있으므로, 진공 흡인부(43)의 흡인구에 이 UV 광원(20)으로부터 UV 광(36)이 조사될 일이 없다. 이러한 점으로부터, 진공 흡인부(43)를 제3 위치에 위치시킴으로써, UV 광(36)을 수광하는 일도 적고, 도포 작업 중의 가동 상태에서 진공 흡인부(21)의 청소 작업이 가능해져, 제조 택트를 저하시키지 않고 안정된 도포를 실현할 수 있다.

이상과 같이, 상기 각 실시 형태에서는, UV 경화형 도포재를 도포하는 도포 헤드(15) 내부의 기포를 제거하는 데, 진공 흡인부(21)에서 노즐을 흡인하지만, 흡인하지 않을 때는 차광 수단을 사용함으로써, 과거의 흡인에 의해 비산된 UV 경화형 도포재가 UV 광(36)에 노출되는 것이 극단적으로 적어져, 진공 흡인부(21) 내가 폐색되는 일이 없어져, 안정된 도포 동작을 유지할 수 있다.

1 : 태양 전지용 적층 필름(필름)
2 : 권출측 필름 롤
3 : 권취측 필름 롤
4, 5 : 가이드 롤
6, 7 : 승강 가이드 롤
8, 9 : 흡착 바
10 : 흡착 테이블
11 : 권출측 축 모터
12 : 권취측 축 모터
13, 14 : 필름 압박 바
15 : 도포 헤드
16 : 권출부
17 : 도포부
18 : 권취부
19 : 촬상 카메라
20 : UV 광원
21 : 진공 흡인부
22 : UV 셔터
23 : 에어 실린더
24 : X축 구동 수단
25 : Z축 구동 수단
26 : Y축 구동 수단
27 : 갠트리
28a, 28b : Y축 스테이지
29 : 진공 펌프
30 : 진공 밸브
31 : 가압 에어원
32 : 밸브 유닛
33 : 진공 배관
34 : 배관
35 : UV 경화형 도포재
36 : UV 광
43 : 진공 흡인부
44 : 진공 흡인부 구동용의 에어 실린더
45 : UV 차광판

Claims (8)

1. 롤 형상의 필름을 권출하여 반송하는 상류측의 가이드 롤과, 권출된 상기 필름을 흡착 유지하는 흡착 테이블과, 상기 흡착 테이블에 흡착 유지된 상기 필름 표면에 액상의 UV 경화형 도포재를 도포하는 도포 헤드와, 상기 도포 헤드를 상기 필름의 상방 위치에서 XY축의 평면 내를 이동 가능하게 하는 갠트리 구조체와, 상기 도포 헤드의 상하 이동을 가능하게 하는 Z축 구동 수단과, 상기 도포 헤드와 일체로 XYZ축 방향으로 이동 가능한 자외선 광원으로 이루어지는 잉크젯 도포 장치에 있어서,
   상기 필름을 반송하는 범위의 외측의 위치에 배치되고, 상기 위치로 이동된 상기 도포 헤드가 하강하여 접촉하는 흡입구를 갖고, 상기 흡입구로부터 상기 도포 헤드의 노즐을 흡인하는 진공 흡인 수단과,
   상기 진공 흡인 수단의 내부에의 상기 자외선 광원으로부터 자외선 광의 입사를 차폐하는 차광 수단을 구비하고, 상기 진공 흡인 수단에서의 상기 자외선 광의 차폐와 상기 차폐의 해제를 선택 가능하게 구성한 것을 특징으로 하는, 잉크젯 도포 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 도포 헤드는 복수 설치되고,
   상기 도포 헤드마다, 상기 도포 헤드와의 배치 관계를 동일하게 하여 상기 진공 흡인 수단을 설치한 것을 특징으로 하는, 잉크젯 도포 장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 차광 수단은, 직선식 구동 수단에 의해, 상기 진공 흡인 수단의 상면 위치와 상기 진공 흡인 수단의 상면을 벗어난 위치의 사이를 셔터식으로 왕복 이동하는 것을 특징으로 하는, 잉크젯 도포 장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 차광 수단은, 고정된 차광판이고,
   상기 진공 흡인 수단은, 직선식 구동 수단에 의해, 상기 차광판의 하면 위치와 상기 차광판의 하면을 벗어난 위치의 사이를 왕복 이동하는 것을 특징으로 하는, 잉크젯 도포 장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 차광 수단은, 고정된 차광판이고,
   상기 진공 흡인 수단은, 직선식 구동 수단에 의해, 상기 필름측의 상기 차광판의 하면을 벗어난 제1 위치와, 상기 차광판 하면의 하측의 제2 위치와, 상기 필름과는 반대측의 상기 차광판의 하면을 벗어난 제3 위치의 3개의 위치에서 위치 결정 가능한 왕복 이동하는 것을 특징으로 하는, 잉크젯 도포 장치.
6. 제1항에 있어서, 상기 진공 흡인 수단은, 상기 차광 수단에 의해 상기 자외선 광의 입사가 차폐되고, 상기 진공 흡인 수단을 사용해 상기 도포 헤드의 도포재 토출 노즐을 흡인할 때에는, 상기 차광 수단에 의한 차폐를 해제하는 것을 특징으로 하는, 잉크젯 도포 장치.
7. 제1항에 있어서, 상기 진공 흡인 수단은, 상기 차광 수단에 의해 상기 자외선 광의 입사가 차폐되고, 상기 도포 헤드의 현재 위치 정보를 취득하여, 진공 흡인 수단과의 거리가 미리 설정된 범위에 들어갔을 때에, 상기 차광 수단에 의한 상기 자외선 광의 입사의 차폐를 해제하는 것을 특징으로 하는, 잉크젯 도포 장치.
8. 상류측의 가이드 롤에 의해 롤 형상의 필름을 권출하여 반송하고, 흡착 테이블에 의해 권출된 상기 필름을 흡착 유지하고, 도포 헤드에 의해 상기 흡착 테이블에 흡착 유지된 상기 필름의 표면에 액상의 UV 경화형 도포재를 도포하고, 갠트리 구조체에 의해 상기 도포 헤드를 상기 필름의 상방 위치에서 XY축의 평면 내를 이동 가능하게 하고, Z축 구동 수단에 의해 상기 도포 헤드의 상하 이동을 가능하게 하고, 자외선 광원은 상기 도포 헤드와 일체로 XYZ축 방향으로 이동 가능하게 한 잉크젯 도포 방법에 있어서,
   상기 필름을 반송하는 범위의 외측의 위치에 배치되고, 상기 위치로 이동된 상기 도포 헤드가 하강하여 접촉하는 흡인구를 갖고, 상기 흡인구로부터 상기 도포 헤드의 노즐을 진공 흡인 수단으로 흡인하고,
   상기 진공 흡인 수단의 내부에의 상기 자외선 광원으로부터 자외선 광의 입사를 차광 수단으로 차폐하고,
   상기 차광 수단에 의해 상기 진공 흡인 수단의 내부에의 상기 자외선 광의 차폐와 차폐의 해제를 선택하는 것을 특징으로 하는, 잉크젯 도포 방법.

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