JP2006212592A - スリットノズル及びスリットノズルの気泡排出方法並びに塗布装置 - Google Patents

Abstract

【課題】スリットノズルに混入し、溜まる気泡の排出を少量の塗布液で短時間に気泡の排出を充分に行うことのできるスリットノズル、スリットノズルの気泡排出方法、塗布装置を提供すること。
【解決手段】スリットノズル内の気泡の排出を行う通気口が、スリットノズルの長手方向の両端部に設けられていること。スリットノズルの溜まり部内の上部は、スリットノズルの中央部から両端部に向けて徐々に高くなるように傾斜していること。両端部に設けられている通気口からの気泡を含む塗布液の排出は、両端部にて各々独立に行われること。
【選択図】図７

Description

本発明は、基板上に塗布液を塗布するスリットコータに関するものであり、特に、スリットコータのスリットノズル内の気泡の排出を円滑に効果的に行うことのできるスリットノズル、スリットノズルの気泡排出方法、塗布装置に関するものである。

液晶表示装置やプラズマディスプレイパネルにおいて、カラー表示、反射率の低減、コントラストの改善、分光特性制御などの目的にカラーフィルタを用いることは有用な手段となっている。
この表示装置に用いるカラーフィルタは、多くの場合、画素として形成されて使用されるものである。表示装置用カラーフィルタの画素を形成する方法として、これまで実用されてきた方法には、フォトリソグラフィー法、印刷法などがあげられる。

例えば、顔料分散法は、このフォトリソグラフィー法の一方法であるが、この顔料分散法において使用するカラーフィルタ形成用のフォトレジストは、ガラス基板上に、例えば、スピンコータを用いて回転塗布され、この塗膜にフォトマスクを介してＵＶ露光、現像処理がおこなわれ表示装置用カラーフィルタの画素として形成される。

従来、液晶表示装置の製造プロセスにおいて、フォトレジストなどの塗布装置としては、ノズルからガラス基板の中央部に塗布液を滴下した後、ガラス基板を回転させ塗布液を延展させる上記スピンコータが多く用いられてきた。
このスピンコータは、膜厚の精度が高いのが長所であるが、ガラス基板が大型化するとモーターなどの機械的制約から装置化するのが困難であり、また、塗布液の９５％以上が無駄に浪費されるといった短所がある。

このため、例えば、５５０ｍｍ×６５０ｍｍ程度の大きさのガラス基板においては、スリット＆スピンコータ（或いは、コート＆スピンコータとも呼ばれる）が使用され始めた。これは、スリットノズルから塗布液をガラス基板に塗布した後、ガラス基板を回転させて膜厚の均一性を高める方法である。
この方法は、塗布液の利用率は３０〜４０％と大幅に改善されたものの、上記モーターなどの機械的制約は同様なので、装置を更に大型化するのは困難なことである。

これらのコータに代わって、精度の高いスリットコータの開発、実用が進んでいる。スリットコータは、ガラス基板を載置した定盤を、或いは塗布ヘッドを水平移動させながらスリットノズルから塗布液をガラス基板に塗布する方法であり、１ｍ×１．３ｍ、或いは１．５ｍ×１．８ｍ程度の大きさのガラス基板にも対応ができるようになった。

図１は、スリットコータの一例の概略を模式的に示す平面図である。また、図２は、図１に示すスリットコータの側面図である。
図１、及び図２に示すように、模式的に示すスリットコータ（１０）は、フレーム（１４）と吸引バキューム付き定盤（１５）からなるステージ（１１）、及びスリットノズル（１３）で構成されている。
スリットノズル（１３）はステージ（１１）右方、フレーム（１４）上方の第一待機位置（Ａ）に設けられ、基板上に塗布液を塗布する際には矢印で示すように、スリットノズル（１３）は左方に移動し、定盤上に載置・固定された基板上に塗布液を塗布するようになっている。

このようなスリットコータ（１０）の動作は、先ず、第一ロボット（図示せず）が前工程から搬送された基板（１２）を白太矢印（１６）で示すように、吸引バキューム付き定盤（１５）上に載置する。基板（１２）は吸引バキュームによって定盤（１５）上に固定される。
次に、ステージ（１１）右方、フレーム（１４）上方の第一待機位置（Ａ）のスリットノズル（１３）は、矢印で示すように、定盤（１５）上に固定された基板（１２）上を右方から左方へと移動しながら基板（１２）上に塗布液を塗布し、第二待機位置（Ｄ）に至る。

塗布液の塗布が終了すると第二ロボット（図示せず）は、白太矢印（１７）で示すように、基板（１２）を次工程へと搬出する。
スリットノズル（１３）内に混入した気泡の排出は、第二待機位置（Ｄ）または第一待機位置（Ａ）で行われる。例えば、この第二待機位置（Ｄ）において行われる際には、気泡の排出などが終了するとスリットノズル（１３）は第一待機位置（Ａ）に戻る。

図３は、このようなスリットコータ（１０）における、スリットノズル（１３）への塗布液の供給、及び気泡の排出を行う機構の一例の概略を示す説明図である。図３は、図１に示すスリットコータ（１０）の、図１中右方からの側面図である。
図３に示すように、この塗布液の供給、及び気泡の排出を行う機構は、塗布液の供給系としての塗布液タンク（２１）、塗布液供給配管（２２）、供給ポンプ（２３）、気泡の排出系としての気泡排出配管（２４）、開閉バルブ（２５）、廃液タンク（２６）、及びスリットノズル（１３）で構成されている。
塗布液タンク（２１）には塗布液（２７）が充填され、廃液タンク（２６）には気泡の排出と共に排出された廃液（気泡と塗布液の混合物）（２８）が溜まっている。

図４は、図３に示す塗布液の供給、及び気泡の排出を行う機構を用いて、基板（１２）上に塗布液を塗布する動作の一例を示す説明図である。図４は、図２と同様に、図１に示すスリットコータの、図１中下方からの側面図である。
第一待機位置（Ａ）にあるスリットノズル（１３）には塗布液が充填され、スリットノズル（１３）は既に気泡の排出は終了している状態である。この際、開閉バルブ（２５）は閉じられており、また供給ポンプ（２３）は作動していない。

スリットノズル（１３）が、図４中左方へ移動し、塗布開始位置（Ｂ）に至ると、供給ポンプ（２３）が作動し塗布液供給配管（２２）を経てスリットノズル（１３）の注入口（４２）から塗布液の供給が開始され、吐出口（４１）から基板（１２）上への塗布が開始される。
スリットノズル（１３）は図４中左方へ移動しながら基板（１２）上へ塗布液を塗布する。塗布開始位置（Ｂ）から塗布終了位置（Ｃ）までの間は、開閉バルブ（２５）は閉じ、供給ポンプ（２３）は作動し続けた状態で塗布が行われる。

スリットノズル（１３）が塗布終了位置（Ｃ）に至ると、供給ポンプ（２３）の作動は停止し、基板（１２）上への塗布液の塗布は終了する。スリットノズル（１３）は更に左方へ移動するが、スリットノズル（１３）が塗布終了位置（Ｃ）から第二待機位置（Ｄ）へと移動する間は、開閉バルブ（２５）は閉じ、加圧ポンプ（２３）は作動を停止したままである。
スリットノズル（１３）が第二待機位置（Ｄ）に至り移動を停止する。この第二待機位置（Ｄ）または第一待機位置（Ａ）にて、スリットノズル（１３）内に混入し、溜まった気泡の排出が行われる。

気泡を排出する際は、気泡の排出系の開閉バルブ（２５）を開とし、加圧ポンプ（２３
）を作動させると、スリットノズル（１３）内の気泡は通気口（４３）から気泡排出配管（２４）を経て廃液タンク（２６）に排出される。この気泡の排出時には、気泡は塗布液と共に混合した状態の廃液（２８）として排出される。
気泡の排出は、上記のように基板（１２）上への塗布液の塗布が終了する度に行われる。気泡の排出が行われている間、塗布液は吐出口（４１）からも吐出されている。

しかしながら、上記のように、図３に示す塗布液の供給、及び気泡の排出を行う機構を用いて、上記のような動作で基板（１２）上に塗布液を塗布し、スリットノズル（１３）内の気泡の排出を行うと、実際の製造においては、安全を見込んで気泡の排出を行うために、どうしても塗布液の供給量が過度になるといった傾向になる。これに伴い、気泡の排出に要する時間も過度になってしまうといった傾向になる。

図５は、図３に示すスリットノズル（１３）の一例における、ＹＺ面での側断面図である。また、図６は、図５に示すスリットノズル（１３）の一例における、ＸＺ面での側断面図である。図５、及び図６に示すように、スリットノズル（１３）内には溜まり部（マニホールド部）（３１）、その下方にスリット（３２）が設けられている。
スリットノズル（１３）の長手方向の中央部のＸ方向には、注入口（４２）が設けられており塗布液供給配管（２２）が接続している。また、中央部のＺ方向には、通気口（４３）が設けられており気泡排出配管（２４）が接続している。

上記のように、基板（１２）上への塗布液の塗布が終了する度に、スリットノズル（１３）内の気泡の排出を安全を見込んで行うが、スリットノズル（１３）の長手方向の距離が大きくなると、例えば、１．５ｍ×１．８ｍ程度の大きさのガラス基板に対応したスリットノズルとなると、中央部から端までの距離は７５ｃｍ程度となる。
このように、スリットノズル（１３）の長手方向の距離が大きくなると、安全を見込んだ気泡の排出を行っても、溜まり部（マニホールド部）（３１）内に気泡が残留してしまうことがある。

排出されずに残留した気泡は、スリットノズル（１３）の注入口（４２）からの塗布液の供給が再開されると、図５中、符号（Ｅ）で示すように、溜まり部（マニホールド部）（３１）内の端に移動し留まる。
スリットノズル（１３）内では、塗布液には圧力が均一に加圧され、塗布液が均一に流れることが求められるが、溜まり部（マニホールド部）（３１）内に気泡が残留していると、塗布液の流れが不均一な状態になり塗布膜の膜厚に悪影響を及ぼすといった問題を引き起こす。

また、気泡は吐出口（４１）から溜まり部（３１）内に入り込むこともあり、吐出口（４１）から入り込んだ気泡は、同様に溜まり部（３１）内の端に溜まる傾向にある。
更には、塗布液中に気泡が混入したままスリット（３２）から基板上に塗布されると、露光、現像処理後のカラーフィルタの画素上には、ピンホール等が発生しカラーフィルタとしてはピンホールと称する欠陥となる。
特開平９−２５３５５６号公報 特開平８−２７４０１４号公報 特開２００２−６６４８７号公報 特開２００２−４５７６０号公報

本発明は、上記問題を解決するためになされたものあり、大型基板上への塗布液の塗布をスリットコータを用いて行う際に、スリットノズルに混入し、溜まる気泡の排出を円滑に効果的に、すなわち、少量の塗布液で短時間に気泡の排出を充分に行うことのできるスリットノズルを提供することを課題とするものである。また、スリットノズル内の気泡を排出する際に、少量の塗布液で短時間に気泡の排出を充分に行うことのできるスリットノズルの気泡排出方法を提供することを課題とする。また、上記スリットノズルを用いた塗布装置を提供することを課題とする。

本発明は、基板上に塗布液を塗布するスリットコータのスリットノズルにおいて、スリットノズル内の気泡の排出を行う通気口が、スリットノズルの長手方向の両端部に設けられていることを特徴とするスリットノズルである。

また、本発明は、上記発明によるスリットノズルにおいて、前記スリットノズルの溜まり部内の上部は、スリットノズルの中央部から両端部に向けて徐々に高くなるように傾斜していることを特徴とするスリットノズルである。

また、本発明は、上記発明によるスリットノズルにおいて、前記両端部に設けられている通気口からの気泡を含む塗布液の排出は、両端部にて各々独立に行われることを特徴とするスリットノズルである。

また、本発明は、基板上に塗布液を塗布するスリットコータのスリットノズル内の気泡を排出する際に、スリットノズルの長手方向の両端部に設けられた通気口から気泡の排出を行うことを特徴とするスリットノズルの気泡排出方法である。

また、本発明は、上記発明によるスリットノズルの気泡排出方法において、前記スリットノズルの溜まり部内の上部は、スリットノズルの中央部から両端部に向けて徐々に高くなるように傾斜していることを特徴とするスリットノズルの気泡排出方法である。

また、本発明は、上記発明によるスリットノズルの気泡排出方法において、前記両端部に設けられている通気口からの気泡を含む塗布液の排出は、両端部にて各々独立に行うことを特徴とするスリットノズルの気泡排出方法である。

また、本発明は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のスリットノズルを用いたことを特徴とする塗布装置である。

本発明は、スリットノズル内の気泡の排出を行う通気口が、スリットノズルの長手方向の両端部に設けられているので、スリットノズルに混入し、溜まる気泡の排出を円滑に効果的に、すなわち、少量の塗布液で短時間に気泡の排出を充分に行うことのできるスリットノズルとなる。
また、本発明は、スリットノズルの溜まり部内の上部は、スリットノズルの中央部から両端部に向けて徐々に高くなるように傾斜しているので、より効果的に、気泡の排出を充分に行うことのできるスリットノズルとなる。また、本発明は、両端部に設けられている通気口からの気泡を含む塗布液の排出は、両端部にて各々独立に行われるので、一層効果的に、気泡の排出を充分に行うことのできるスリットノズルとなる。

また、本発明は、スリットノズルの長手方向の両端部に設けられた通気口から気泡の排
出を行うので、少量の塗布液で短時間に気泡の排出を充分に行うことのできるスリットノズルの気泡排出方法となる。また、スリットノズルの溜まり部内の上部は、スリットノズルの中央部から両端部に向けて徐々に高くなるように傾斜しているので、より効果的なスリットノズルの気泡排出方法となる。また、両端部に設けられている通気口からの気泡を含む塗布液の排出は、両端部にて各々独立に行うので、一層効果的なスリットノズルの気泡排出方法となる。

また、本発明は、上記スリットノズルを用いた塗布装置であるので、少量の塗布液で短時間に気泡の排出を充分に、またはより効果的に、或いは一層効果的に行うことのできる塗布装置となる。

以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。

図７は、本発明によるスリットノズル（３３）の一例の概略を示すＹＺ面での側断面図である。また、図８（ａ）は図７に示す、本発明によるスリットノズル（３３）の一例における、ＸＺ面での側断面図であり、図８（ｂ）は、ＸＺ面に平行な、スリットノズル（３３）の両端におけるＸＦ面での側断面図である。
図７、及び図８（ａ）、（ｂ）に示すように、スリットノズル（３３）内には溜まり部（マニホールド部）（３１）、その下方にスリット（３２）が設けられている。

スリットノズル（３３）の長手方向の中央部のＸ方向には、注入口（４２）が設けられている。また、中央部のＺ方向には通気口が設けられていない。
スリットノズル（３３）の長手方向の両端部のＺ方向には、左右各々に左通気口（４３Ａ）、右通気口（４３Ｂ）が設けられている。

溜まり部（マニホールド部）（３１）内の気泡の排出を行う際には、スリットノズル（３３）の長手方向の中央部の注入口（４２）から塗布液が供給され、供給された塗布液は、両端部の左通気口（４３Ａ）、及び右通気口（４３Ｂ）から気泡と塗布液の混合物の状態となり、各々左気泡排出配管（２４Ａ）、及び右気泡排出配管（２４Ｂ）を経て外部へ排出される。
従って、スリットノズル（３３）の長手方向の距離が大きくなり、溜まり部（マニホールド部）（３１）内に気泡が残留してしまうことがあっても、また、前記図５中、符号（Ｅ）で示すように、溜まり部（マニホールド部）（３１）内の端に移動し留まることがあっても、気泡は両端部の左通気口（４３Ａ）、及び右通気口（４３Ｂ）から容易に排出される。

図９は、本発明によるスリットノズル（３３）を用いた際の、スリットノズル（３３）への塗布液の供給、及び気泡の排出を行う機構の一実施例の概略を示す説明図である。図９のＹＺ面は、図７のＹＺ面に対応している側面図である。
図９に示すように、この塗布液の供給、及び気泡の排出を行う機構は、塗布液の供給系としての塗布液タンク（２１）、塗布液供給配管（２２）、供給ポンプ（２３）、気泡の排出系としての左右排出系（２０Ａ、２０Ｂ）、及びスリットノズル（３３）で構成されている。

左排出系（２０Ａ）は、左気泡排出配管（２４Ａ）、左開閉バルブ（２５Ａ）、左廃液タンク（２６Ａ）で構成され、右排出系（２０Ｂ）は、右気泡排出配管（２４Ｂ）、右開閉バルブ（２５Ｂ）、右廃液タンク（２６Ｂ）で構成されている。
塗布液タンク（２１）には塗布液（２７）が充填され、左右廃液タンク（２６Ａ、２６Ｂ）には気泡の排出と共に排出された左右廃液（気泡と塗布液の混合物）（２８Ａ、２８Ｂ
）が溜まっている。

塗布液を塗布する際は、図９に示す、気泡の排出系の左右開閉バルブ（２５Ａ、２５Ｂ）を閉とした状態にしておき、加圧ポンプ（２３）の作動により塗布液を注入口（４２）から供給し、溜まり部（３１）、スリット（３２）を経て吐出口（４１）から基板上へ塗布する。
気泡を排出する際は、左右開閉バルブ（２５Ａ、２５Ｂ）を開とし、溜まり部（３１）に混入した気泡を左右通気口（４３Ａ、４３Ｂ）から塗布液と共に排出する。

塗布液は、スリットノズル（３３）の長手方向の中央部の注入口（４２）から供給され、長手方向の両端部の左通気口（４３Ａ）、及び右通気口（４３Ｂ）から気泡と共に排出されるので、実際の製造において安全を見込んで気泡の排出を行っても、塗布液の供給量が過度になるといったことはなく、これに伴い、気泡の排出に要する時間も過度にはならない。
すなわち、気泡の排出は少量の塗布液で短時間で、円滑に効果的に充分に行うことができるものとなる。
また、これにより、溜まり部（マニホールド部）（３１）内には気泡が残留せず、スリットノズル（３３）内では、塗布液には圧力が均一に加圧され、塗布液が均一に流れ塗布膜の膜厚に悪影響を及ぼすことはなくなる。

図１０は、請求項２に係わるスリットノズル（５３）の一例の概略を示すＹＺ面での側断面図である。また、図１１（ａ）は図１０に示す、スリットノズル（５３）の一例における、ＸＺ面での側断面図であり、図１１（ｂ）は、ＸＺ面に平行な、スリットノズル（５３）の両端におけるＸＧ面での側断面図である。
図１０、及び図１１（ａ）、（ｂ）に示すように、スリットノズル（５３）内には溜まり部（マニホールド部）（５１）、その下方にスリット（３２）が設けられている。

スリットノズル（５３）の長手方向の中央部のＸ方向には、注入口（４２）が設けられている。また、中央部のＺ方向には通気口が設けられていない。
スリットノズル（５３）の長手方向の両端部のＺ方向には、左右各々に左通気口（４３Ａ）、右通気口（４３Ｂ）が設けられている。

図１０、及び図１１（ａ）、（ｂ）に示すように、溜まり部（５１）内の上部は、スリットノズル（５３）の中央部から両端部に向けて徐々に高くなるように傾斜している。このような傾斜を設けることにより、溜まり部（５１）内に混入した気泡が両端部へと移動し易くしている。溜まり部（５１）内の上部の両端部には、左通気口（４３Ａ）及び右通気口（４３Ｂ）が設けられており気泡の排出に好都合になる。

また、本発明によるスリットノズルは、両端部に設けられている通気口からの気泡を含む塗布液の排出は、両端部にて各々独立に行われることを特徴としている。溜まり部（マニホールド部）内に溜まる気泡の量は、スリットノズル（５３）の中央部を境として左側と右側で均等な気泡量にあるとは限らない。
左側の気泡量と、右側の気泡量との差が小さい場合には、その影響は少ないが、その差が大きい場合には、気泡量の多い側の気泡が充分に排出されるように、多い側の排出に合わせて少ない側の塗布液の排出も行うことになる。

すなわち、気泡を排出する際の注入口（４２）からの塗布液の供給をより少量とし、より短時間で気泡の排出を充分に完了させるには、左端部からの気泡を含む塗布液の排出と、右端部からの気泡を含む塗布液の排出とを各々独立して行うことが好ましい。

塗布液を各々独立して排出するには、例えば、図９における左開閉バルブ（２５Ａ）と右開閉バルブ（２５Ｂ）の開閉に時間差を設ける手法をとることができる。
或いは、図９に点線で示すように、左排出系（２０Ａ）及び右排出系（２０Ｂ）の各々に、左吸引ポンプ（３０Ａ）及び右吸引ポンプ（３０Ｂ）を設け、左側の気泡量と、右側の気泡量の差に対応した作動を行わせることによっても可能である。

すなわち、請求項２に係わるスリットノズルによれば、一層効果的に、少量の塗布液で短時間に気泡の排出を充分に行うことのできるものとなる。

スリットコータの一例の概略を模式的に示す平面図である。 図１に示すスリットコータの側面図である。 スリットコータの、スリットノズルへの塗布液の供給、及び気泡の排出を行う機構の一例の概略を示す側面図である。 図３に示す塗布液の供給、及び気泡の排出を行う機構を用いて、基板上に塗布液を塗布する動作の一例を示す側面図である。 図３に示すスリットノズルの一例における、ＹＺ面での側断面図である。 図３に示すスリットノズルの一例における、ＸＺ面での側断面図である。 本発明によるスリットノズルの一例の概略を示すＹＺ面での側断面図である。 （ａ）は、図７に示すスリットノズルの一例における、ＸＺ面での側断面図である。（ｂ）は、ＸＺ面に平行な、スリットノズルの両端におけるＸＦ面での側断面図である。 本発明によるスリットノズルを用いた際の、スリットノズルへの塗布液の供給、及び気泡の排出を行う機構の一実施例の概略を示す説明図である。 請求項２に係わるスリットノズルの一例の概略を示すＹＺ面での側断面図である。 （ａ）は、図１０に示すスリットノズルの一例における、ＸＺ面での側断面図である。（ｂ）は、ＸＺ面に平行なスリットノズルの両端におけるＸＧ面での側断面図である。

符号の説明

１０・・・スリットコータ
１１・・・ステージ
１２・・・基板
１３、３３、５３・・・スリットノズル
１４・・・フレーム
１５・・・吸引バキューム付き定盤
２０Ａ・・・左排出系
２０Ｂ・・・右排出系
２１・・・塗布液タンク
２２・・・塗布液供給配管
２３・・・供給ポンプ
２４・・・気泡排出配管
２４Ａ・・・左気泡排出配管
２４Ｂ・・・右気泡排出配管
２５・・・開閉バルブ
２５Ａ・・・左開閉バルブ
２５Ｂ・・・右開閉バルブ
２６・・・廃液タンク
２６Ａ・・・左廃液タンク
２６Ｂ・・・右廃液タンク
２７・・・塗布液
２８・・・廃液
２８Ａ・・・左廃液
２８Ｂ・・・右廃液
３０Ａ・・・左吸引ポンプ
３０Ｂ・・・右吸引ポンプ
３１、５１・・・溜まり部（マニホールド部）
３２・・・スリット
４１・・・吐出口
４２・・・注入口
４３・・・通気口
４３Ａ・・・左通気口
４３Ｂ・・・右通気口
Ａ・・・第一待機位置
Ｂ・・・塗布開始位置
Ｃ・・・塗布終了位置
Ｄ・・・第二待機位置
Ｅ・・・残留した気泡が移動し留まる位置

Claims (7)

1. 基板上に塗布液を塗布するスリットコータのスリットノズルにおいて、スリットノズル内の気泡の排出を行う通気口が、スリットノズルの長手方向の両端部に設けられていることを特徴とするスリットノズル。
2. 前記スリットノズルの溜まり部内の上部は、スリットノズルの中央部から両端部に向けて徐々に高くなるように傾斜していることを特徴とする請求項１記載のスリットノズル。
3. 前記両端部に設けられている通気口からの気泡を含む塗布液の排出は、両端部にて各々独立に行われることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のスリットノズル。
4. 基板上に塗布液を塗布するスリットコータのスリットノズル内の気泡を排出する際に、スリットノズルの長手方向の両端部に設けられた通気口から気泡の排出を行うことを特徴とするスリットノズルの気泡排出方法。
5. 前記スリットノズルの溜まり部内の上部は、スリットノズルの中央部から両端部に向けて徐々に高くなるように傾斜していることを特徴とする請求項４記載のスリットノズルの気泡排出方法。
6. 前記両端部に設けられている通気口からの気泡を含む塗布液の排出は、両端部にて各々独立に行うことを特徴とする請求項４又は請求項５記載のスリットノズルの気泡排出方法。
7. 請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のスリットノズルを用いたことを特徴とする塗布装置。

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