KR102320595B1

KR102320595B1 - 스프레이식 기판 세정장치 및 기판 세정방법

Info

Publication number: KR102320595B1
Application number: KR1020200098747A
Authority: KR
Inventors: 태정훈
Original assignee: (주)디바이스이엔지
Priority date: 2020-08-06
Filing date: 2020-08-06
Publication date: 2021-11-02

Abstract

본 발명은 본 발명은 스프레이식 기판 세정장치 및 기판 세정방법에 관한 것으로, 기판의 세정 처리가 이루어지는 세정 공간을 형성한 세정조; 상기 세정조 내에서 상기 기판을 사이에 두고 양측에 각각 설치되며 상하 방향을 따라 복수 개가 노즐 배관을 통해 서로 연통한 상태로 정렬되는 분사 노즐을 포함하는 스프레이 노즐부; 상기 세정조를 통해 하나의 분사 노즐에 연결되어 세정액을 순환 공급하되 개폐 단속되는 세정액 순환 공급라인; 및 일단은 다른 하나의 분사 노즐에 연결되고 타단은 상기 세정조 내부로 연통하되 개폐 단속되는 세정액 바이패스 라인;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 초기 스프레이 노즐부 내에 잔류하는 에어를 신속하게 제거하는 것과 함께 스프레이 상태로 세정액을 바로 공급하여 상기 분사노즐을 통해 배출되는 세정액이 가늘고 긴 물줄기의 형태로 분사되는 것을 근본적으로 차단시키는 효과가 있다.

Description

스프레이식 기판 세정장치 및 기판 세정방법{Substrate Cleaning Apparatus and Method of Spray Type}

본 발명은 스프레이식 기판 세정장치 및 기판 세정방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 배관 내부를 따라 이동하는 세정액의 이송 압력을 신속하게 높이거나 제거할 수 있도록 함으로써 스프레이 노즐부의 작동 효율성을 크게 향상시킬 수 있는 스프레이식 기판 세정장치 및 기판 세정방법에 관한 것이다.

고도화된 정보화 산업의 급격한 발달과 함께 초고속의 정보전달은 시간과 장소의 제한 없이 문자, 음성, 화상 등의 정보를 주고받을 수 있는 사회에 이르렀다.

이러한 정보전달의 매개체는 CRT를 시발점으로 발전을 거듭하여 왔고 이제는 인간공학적, 고기능화 등에 부합할 수 있는 LCD, PDP, LED, UHD, OLED 등의 대형 평판디스플레이와 초고속 이동통신 단말기, PDA 및 Web Pad 등의 소형디스플레이로 빠르게 바뀌고 있으며 편리함에 따른 수요 폭등에 따라 디스플레이 시장은 끊임없이 발전되고 있다.

평판디스플레이의 고품질, 저전력 소비 등을 기초하여 다양한 어플리케이션 시장이 더욱 활발해지고 있으며, 특히 OLED(Organic Light Emitting Diodes, 유기발광 다이오드)는 LCD, PDP에 이어서 차세대 디스플레이로 각광을 받고 있다.

OLED는 1987년 Eastman Kodak의 Tang이 적층 구조의 유기물질에서 고휘도로 빛을 내는 데 성공한 것을 시작으로 현재까지 많은 기술적인 진보가 이루어졌다.

OLED는 밝기, 명암비, 응답속도, 색 재현율, 시인성 등에서 뛰어난 화질과 제조공정이 단순해 저렴하다는 장점 등을 가지며 소위 ‘꿈의 디스플레이’로 여겨져 왔다.

그러나 짧은 수명, 낮은 수율 등으로 인하여 상용화에 어려움을 겪었으며 LCD 관련 기술의 빠른 진전으로 OLED의 시장 진입을 위한 입지를 상당히 좁게 만들어 상용화가 지연되었다.

최근 전 세계 디스플레이업계에서 상당 부분의 기술적 문제를 해결함에 따라 한국을 비롯한 일본, 대만의 관련업체들이 양산을 시작하고 있다.

OLED는 유기 박막에 양극과 음극을 통하여 주입된 정공(Hole)과 전자(Electron)가 재결합하여 여기자(Exciton)를 형성하고, 여기자가 다시 안정된 상태로 돌아오면서 방출되는 에너지가 빛으로 변하여 발광하는 자체 발광형 디스플레이 소자이다.

가장 간단한 구조의 OLED는 전자를 주입하는 음극, 정공을 주입하는 양극, 발광이 일어나는 유기 박막으로 이루어지며, 캐리어의 재결합 및 발광 특성 향상을 위해 전자 또는 정공의 주입 및 전달을 도와주는 기능층을 추가적으로 포함한다.

유기박막형성 기술은 FMM(Fine Metal Mask)와 같은 마스크를 이용한 증착기술, 레이저를 이용한 패터닝 기술, 액체기반의 잉크화 재료를 이용한 프린팅 기술 등이 있다.

이중, 마스크를 이용한 증착기술에서는 기판을 선택적으로 스크리닝(screening)하는 과정에서 마스크의 표면에도 유기 물질이 증착되기 때문에, 일정한 공정 횟수가 지난 이후에는 마스크를 세정하는 것이 필수적으로 요구되어 진다.

종래의 마스크 세정은 DIW(초순수 증류수, Di-Ionize Water)나 탄화수소용액과 같은 세정액에 침지하는 방법이 대표적이다.

예컨대, 도 1에 도시한 바와 같이, 통상의 침지식 마스크 세정장치는 통상 세정조(10) 내에 수용된 세정액(11)에 마스크(20)를 침지하여 세정하는 것으로, 상기 마스크(20)는 대면적이므로 세정시 마스크를 이동시켜 상기 세정조(10)에 침지시키기 위한 마스크 운송용 지그(30)를 사용하고 있다.

또한, OLED 디스플레이의 제조 과정에서 유기 박막을 증착하기 위해 이용되는 마스크의 세정은 상기 마스크를 세정액이 들어 있는 세정조에 침지한 후에 초음파를 적용하기도 한다.

한편, OLED 디스플레이의 제조 과정에서 유기 박막을 증착하기 위해 이용되는 마스크의 다른 세정 방법으로, 전해액 속에 마스크를 넣고 전해 방식으로 마스크 표면의 오염물과 불순물을 제거하는 방법도 개시되어 있다.

그러나, 이와 같은 세정 방법에 따르면, 세정액과 마스크 사이에 상대적인 동적 거동이 없기 때문에 여전히 마스크 표면에 이물질이 잔류하게 되는 단점이 있었다.

이러한 문제를 해결하기 위해, 스프레이 방식으로 기판에 세정액을 분사하는 세정장치가 사용되고 있으며, 도 2에 그 대표적인 구성이 도시되어 있다.

도시한 바와 같이, 종래기술에 따른 스프레이식 기판 세정장치는, 기판(10)을 내측으로 수용하는 세정조(11)와, 상기 세정조(11)로 세정액을 공급하는 순환 공급부(12)와, 상기 내부 양측에 설치되며 상기 순환 공급부(12)와 연결되는 스프레이 노즐부(13)로 구성된다.

그러나, 이러한 종래기술에 따른 스프레이식 기판 세정장치는 순환 공급부(12)의 개폐밸브(12a)를 기준으로 개폐밸브(12a)와 스프레이 노즐부(13) 사이의 배관 내부가 세정액이 없는 빈 공간(에어로 채워짐)으로 이루어져 있기 때문에 펌프(14)의 작동시 스프레이 노즐부(13)로 향하는 세정액은 잔존하는 에어의 압력에 의해 신속하게 스프레이 노즐부로 압송이 이루어지지 못하는 문제점이 있었다.

또한, 세정액이 스프레이 노즐로 압송되는 과정에서 배관 내에 잔존하던 에어는 스프레이 노즐부(13)를 통해 세정액과 함께 배출된다. 이때 에어와 함께 배출되는 세정액은 스프레이되지 못하고 가늘고 긴 물줄기의 형태로 분사가 이루어지기 때문에 이 물줄기의 압력이 기판(10)을 국부 타격하여 기판의 변형 또는 파손을 일으키는 문제점을 발생시킨다.

또한, 세척적업중 장치의 트러블로 인해 스프레이 동작이 멈추게 되면, 배관 내 잔존하는 에어의 압력에 의해 스프레이 노줄부(13) 내의 세정액은 다시 가늘고 긴 물줄기의 형태로 분사되어 초기 구동과 마찬가지로 기판의 변형 또는 파손을 일으킬 뿐만 아니라 기판이 세정조에 투입된 상태에서 재처리가 불가능하여 장비의 운영 효율성을 크게 저하시키는 문제점이 있다.

선행문헌 1. 한국등록특허공보 제1224904호(2013.01.16)

본 발명은 전술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 배관 내부를 따라 이동하는 세정액의 이송 압력을 신속하게 높이거나 제거할 수 있도록 함으로써 스프레이 노즐부의 작동 효율성을 크게 향상시킬 수 있는 스프레이식 기판 세정장치 및 기판 세정방법을 제공하는데 있다.

또한, 본 발명의 목적은 세정조 내에 기판이 투입된 상태에서 재처리가 가능한 스프레이식 기판 세정장치 및 기판 세정방법을 제공하는데 있다.

전술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 스프레이식 기판 세정장치는, 기판의 세정 처리가 이루어지는 세정 공간을 형성한 세정조; 상기 세정조 내에서 상기 기판을 사이에 두고 양측에 각각 설치되며 상하 방향을 따라 복수 개가 노즐 배관을 통해 서로 연통한 상태로 정렬되는 분사 노즐을 포함하는 스프레이 노즐부; 상기 세정조를 통해 하나의 분사 노즐에 연결되어 세정액을 순환 공급하되 개폐 단속되는 세정액 순환 공급라인; 및 일단은 다른 하나의 분사 노즐에 연결되고 타단은 상기 세정조 내부로 연통하되 개폐 단속되는 세정액 바이패스 라인;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

상기 세정액 순환 공급라인과 세정액 바이패스 라인 사이에 연결되며 개폐 단속되는 보조 바이패스 라인을 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 세정액 순환 공급라인에는 세정액 개폐밸브가 설치되고, 상기 세정액 바이패스 라인에는 바이패스용 개폐밸브가 설치되고, 상기 보조 바이패스 라인에는 보조 개폐밸브가 설치되는 것을 특징으로 한다.

세정액의 유동방향을 기초로, 상기 보조 개폐밸브는 상기 세정액 개폐밸브와 바이패스용 개폐밸브의 하류에 배치되는 것을 특징으로 한다.

상기 세정액 순환 공급라인은 상기 분사 노즐 중 최하단의 분사 노즐에 연결되며, 상기 세정액 바이패스 라인은 분사 노즐 중 최상단의 분사 노즐에 연결되는 것을 특징으로 한다.

상기 분사 노즐에는 제어신호에 의해 노즐구멍을 개폐단속하는 세정액 차폐부가 설치된 것을 특징으로 한다.

상기 세정액 순환 공급라인은 메인 배관; 상기 메인 배관에 설치되는 펌프; 및 상기 메인 배관으로부터 상기 기판을 사이에 두고 양쪽 스프레이 노즐부 쪽으로 각각 분기되는 서브 배관;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 스프레이식 기판 세정장치를 이용한 기판 세정방법은, 보조 개폐밸브를 닫고 세정액 개폐밸브와 바이패스용 개폐밸브를 연 상태에서 펌프를 구동하여 세정액 순환 공급라인과 세정액 바이패스 라인에 세정액을 채우는 단계; 및 상기 세정액 바이패스 라인을 닫아서 스프레이 노즐부를 통해 세정액을 기판에 분사하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

그리고, 스프레이 동작을 정지하는 경우, 상기 세정액 개폐밸브를 닫는 것과 함께 바이패스용 밸브와 보조 개폐밸브를 열어서 노즐 배관 내 잔압을 제거하는 것을 특징으로 한다.

전술한 바와 같은 구성의 본 발명에 따르면, 일단이 상기 스프레이 노즐부와 연결되고 타단이 상기 세정조 안쪽으로 연통하는 세정액 바이패스 라인을 구성함으로써, 초기 스프레이 노즐부 내에 잔류하는 에어를 신속하게 제거하는 것과 함께 스프레이 상태로 세정액을 바로 공급하여 상기 분사노즐을 통해 배출되는 세정액이 가늘고 긴 물줄기의 형태로 분사되는 것을 근본적으로 차단시키는 효과가 있다.

또한, 상기 세정액 바이패스 라인과 세정액 순환 공급부가 상호 연통하는 위치에 보조 개폐밸브를 설치함으로써, 기판의 세척 작업중 장치의 트러블 발생시 세정액을 배관을 통해 신속하게 배출시킬 수 있어 가늘고 긴 물줄기의 형태로 분사되는 것을 방지하는 것에 의해 기판의 변형 또는 파손을 일으키는 것을 예방할 수 있다.

또한, 기판이 세정조 내에 위치한 상태에서도 재처리를 실시할 수 있어 그에 따른 장치의 운영 효율성을 크게 높일 수 있는 효과를 제공한다.

도 1은 종래기술에 따른 기판 세정을 위한 세정액 침지 방법을 나타낸 구성이다.
도 2는 종래기술에 따른 스프레이 노즐부를 이용한 기판 세정장치를 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 스프레이식 기판 세정장치 및 기판 세정방법의 구성을 나타낸 개략도이다.
도 4는 도 3의 분사 노즐의 노즐구멍을 개폐단속하는 세정액 차폐부 구성을 나타낸 부분 확대도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.

도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 스프레이식 기판 세정장치는, 기판(10)의 세정 처리가 이루어지는 세정 공간(101)을 형성한 세정조(100), 상기 세정조(100) 내에서 상기 기판(10)을 사이에 두고 양측에 각각 설치되며 상하 방향을 따라 복수 개가 노즐 배관(210)을 통해 서로 연통한 상태로 정렬되는 분사 노즐(220)을 포함하는 스프레이 노즐부(200), 상기 세정조(100)를 통해 하나의 분사 노즐(220)에 연결되어 세정액을 순환 공급하되 개폐 단속되는 세정액 순환 공급라인(300) 및 일단은 다른 하나의 분사 노즐(220)에 연결되고 타단은 상기 세정조(100) 내부로 연통하되 개폐 단속되는 세정액 바이패스 라인(400)을 포함하여 구성된다.

먼저, 상기 세정조(100)는 기판(10)의 표면에 묻어 있는 이물질(파티클)을 세정하기 위한 세정 공간(101)을 형성한 통형상의 구조물로서, 상기 기판(10)은 후술할 스프레이 노즐부(200)로부터 분사되는 세정액에 의해 세척이 이루어진다.

이러한 세정조(100)는 상부가 개방된 구조이며, 그 개방된 공간으로 세척할 기판(10)을 이송시키는 운송용 지그(미도시)가 출입하게 된다.

또한, 상기 세정조(100)의 양측면 상하방향에는 후술할 세정액 순환 공급라인(300) 및 세정액 바이패스 라인(400)이 관통하는 제1 관통구멍(110)과 한 쌍의 제2 관통구멍(120)이 형성된다.

아울러, 상기 세정조(100)에는 그 내부에 저장된 세정액이 아래쪽 제2 관통구멍(120)의 위쪽으로 수위가 높아지는 것을 감시하는 수위감지센서(미도시)가 설치되고, 세정조의 하부에는 상기 수위감지센서에 의해 작동하는 세정액 배출라인(130)이 형성된다.

즉, 상기 수위감지센서와 세정액 배출라인(130)은 세정조(100) 내에 저장된 세정액이 제2 관통구멍(120)에 결합되는 세정액 바이패스 라인(400)의 배출구 쪽으로 역류하여 유입되는 것을 방지하는 역할을 수행한다.

한편, 상기 스프레이 노즐부(200)는 상기 세정조(100)의 내부 양측면 즉, 상기 기판(10)을 사이에 두고 양측에 각각 설치되는 것으로, 상기 세정조(100) 내부로 진입한 기판(10)의 양측 표면으로 세정액을 스프레이 상태로 분사하여 오염물과 불순물을 제거하는 역할을 수행한다.

이러한 상기 스프레이 노즐부(200)는 소정의 길이로 연장되는 노즐 배관(210)과, 상기 노즐 배관(210)의 상하 방향을 따라 서로 정렬되는 상태로 연통하는 복수 개의 분사 노즐(220)로 구성된다.

또한, 도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 스프레이 노즐부(200)의 분사 노즐(220)에는 제어신호에 의해 노즐구멍을 개폐단속하는 세정액 차폐부(230)를 추가적으로 설치할 수 있다.

즉, 상기 세정액 차폐부(230)는 상기 노즐 배관(210)으로 유입된 세정액이 상기 분사 노즐(220)로 토출되는 것을 임의로 차단한 상태에서 제어신호에 의해 복수의 분사 노즐(220)이 동시에 개방되어 스프레이가 이루어질 수 있도록 한다.

상기 세정액 순환 공급라인(300)은 상기 세정조(100)와 스프레이 노즐부(200)를 상호 연결하는 것으로, 상기 스프레이 노즐부(200)로 세정액을 반복적으로 순환 공급하는 역할을 수행한다.

예컨대, 상기 세정액 순환 공급라인(300)의 일단은 상기 세정조(100)의 바닥면에 연결되고 타단은 상기 스프레이 노즐부(200) 중 어느 하나 즉, 최하단의 분사 노즐(220)과 연결될 수 있다.

구체적으로, 상기 세정액 순환 공급라인(300)은 세정액이 순환 공급되는 메인 배관(310), 상기 메인 배관에 설치되는 펌프(320), 상기 펌프(320)의 배출구쪽 후방 메인 배관(310)에 설치되는 필터(330), 상기 메인 배관(310)으로부터 상기 기판(10)을 사이에 두고 양쪽 스프레이 노즐부(200) 쪽으로 각각 분기되는 서브 배관(340)으로 구성될 수 있다.

여기서, 상기 메인 배관(310)은 세정조(100)의 바닥면에 일단이 연결되는 것으로, 내부 통로를 통해 세정액을 외부로 이송시키는 중공의 파이프 구조물이다.

물론, 상기 메인 배관(310)은 상기 세정조(100)의 측면에 연결될 수도 있다.

상기 펌프(320)는 상기 메인 배관(310)의 일 지점에 설치되는 것으로, 상기 세정조(100)로부터 상기 스프레이 노즐부로(200)로 세정액을 압송시키는 압력을 발생시키는 구성요소이다.

그리고, 펌프(320)의 유입구측 메인 배관(310)에는 세정액의 농도를 체크하는 세정액 감지센서(360)를 추가적으로 설치할 수 있다.

상기 세정액 감지센서(360)는 세정액의 농도를 체크하여 세정액의 반복적인 재사용에 따른 세정액의 상태를 감지하여 세정액의 교체 여부를 쉽게 판단할 수 있도록 하는 역할을 수행한다.

상기 필터(330)는 상기 펌프(320)의 배출구쪽 후방 메인 배관(310)에 설치되는 것으로, 세정액에 포함된 이물질을 걸러내어 정화된 깨끗한 세정액이 상기 세정조(100)로 재공급이 이루어질 수 있도록 정화시키는 역할을 수행한다.

상기 서브 배관(340)은 상기 메인 배관(310)의 단부에 연결되는 것으로, 상기 필터(330)를 거쳐 정화된 세정액을 양방향으로 분기하여 각각의 상기 기판(10)을 중심으로 양측에 배치된 스프레이 노즐부(200)로 각각 공급이 이루어질 수 있도록 안내한다.

그리고, 세정액 순환 공급라인(300)의 분기된 서브 배관(340)에는 세정액 개폐밸브(350)가 각각 설치된다.

본 발명에 따른 세정액 순환 공급라인(400)은 기판(10) 세정에 필요한 세정액을 반복적으로 재사용 및 재사용 여부를 감시할 수 있는 기능을 구현함으로써, 세정액의 소비량을 효과적으로 관리할 수 있는 장점이 있다.

한편, 본 발명에 따른 세정액 바이패스 라인(400)은 일단이 상기 스프레이 노즐부(200)에 연결되고 타단이 상기 세정조(100) 내부로 연통이 이루어지는 것으로, 초기 스프레이 노즐부(200) 내에 잔류하는 에어를 신속하게 제거하여 세정액 공급을 신속하게 하는 것과 아울러 상기 분사 노즐(220)을 통해 배출되는 세정액이 가늘고 긴 물줄기의 형태로 분사되는 것을 근본적으로 차단시키는 역할을 수행한다.

즉, 상기 세정액 바이패스 라인(400)은 초기 펌프(320)의 구동으로 세정액을 공급하는 과정에서 상기 세정액 개폐밸브(350)와 스프레이 노즐부(200) 사이에 존재하는 에어를 세정액 바이패스 라인(400)을 통해 신속하게 세정조(100) 내부로 배출시켜 외부로 제거할 수 있도록 함으로써 그에 따른 초기 세정액 공급을 신속하게 진행할 수 있다.

이러한 상기 세정액 바이패스 라인(400)의 일단은 스프레이 노즐부(200)의 다른 하나 즉, 상기 분사 노즐(220) 중 최상단에 위치하는 분사 노즐과 연결된다.

그리고, 상기 세정액 바이패스 라인(400)에는 세정액을 단속하는 바이패스용 개폐밸브(440)가 설치된다.

상기 바이패스용 개폐밸브(440)는 에어가 배출되고 상기 스프레이 노즐부(200) 내에 세정액으로 채워진 상태에서 더이상 세정액이 배출되지 못하도록 잠금으로써 상기 스프레이 노즐부(200)의 내부압력을 순간적으로 높여 상기 분사 노즐(220)를 통해 배출되는 세정액이 스프레이가 이루어질 수 있도록 한다.

또한, 상기 세정액 순환 공급라인(300)과 세정액 바이패스 라인(400) 사이에 연결되며 개폐 단속하는 보조 바이패스 라인(450)이 추가로 설치된다.

마찬가지로 상기 보조 바이패스 라인(450)에는 보조 개폐밸브(451)가 설치된다.

여기서, 상기 보조 개폐밸브(451)는 세정액의 유동방향을 기초로, 상기 세정액 개폐밸브(350)와 바이패스용 개폐밸브(440)의 하류에 배치되는 것이 바람직하다.

즉, 상기 보조 개폐밸브(451)는 기판(10)의 세척 작업중 장치의 트러블로 인해 세척 동작이 멈추게 되면, 스프레이 노줄부(200) 내에 머무르고 있는 세정액을 빠르게 배출시킬 수 있도록 외기와 연통하여 압력을 낮추는 역할을 수행한다.

따라서, 스프레이 노줄부(200) 내의 세정액 분사압력을 순간적으로 급락시켜서 세정액이 기판(10)을 향해 가늘고 긴 물줄기의 형태로 분사되는 것을 방지함으로써 기판(10)의 변형 또는 파손을 일으키는 것을 예방할 수 있다.

또한, 수리가 완료된 후 기판(10)이 세정조(100) 내에 위치한 상태에서 바로 재처리를 실시할 수 있어 그에 따른 장치의 운영 효율성을 크게 높일 수 있는 효과를 제공한다.

이하, 본 발명에 따른 스프레이식 기판 세정방법에 대하여 설명한다.

먼저, 상기 세정조(100) 내에 세정하고자 하는 기판(10)이 위치하게 되면, 상기 보조 개폐밸브(451)를 닫고 세정액 개폐밸브(350)와 바이패스용 개폐밸브(440)를 연 상태에서 펌프(320)를 구동하여 세정액 순환 공급라인(300)과 세정액 바이패스 라인(400)에 세정액을 채우는 단계를 진행한다.

이후, 상기 세정액 바이패스 라인(400)을 닫아서 스프레이 노즐부(200)를 통해 세정액을 기판(10)에 분사하는 단계를 진행한다.

즉, 외기와 연통하는 상기 세정액 바이패스 라인(400)을 구성함으로써, 초기 스프레이 노즐부(200) 내에 잔류하는 에어를 세정액 공급에 의해 신속하게 제거한 상태에서 바로 세정액을 분사할 수 있다.

이와 같이, 본 발명에 따르면, 초기 상기 분사 노즐(220)을 통해 배출되는 세정액이 가늘고 긴 물줄기의 형태로 분사되는 것을 근본적으로 차단시킬 수 있다.

또한, 상기 스프레이 노즐부(200)의 스프레이 동작을 정지하는 경우, 상기 세정액 개폐밸브(350)를 닫는 것과 함께 바이패스용 밸브(440)와 보조 개폐밸브(451)를 열어서 노즐 배관(210) 내 잔압을 신속하게 제거할 수 있도록 한다.

즉, 스프레이 동작 정지시 스프레이 노줄부(200) 내부 압력이 줄어드는 것에 의해 다시 가늘고 긴 물줄기의 형태로 분사되지 않도록 상기 바이패스용 밸브(440)와 보조 개폐밸브(451)을 동시에 열어서 노즐 배관(210) 내 잔압을 신속하게 제거하여 기판(10)의 변형 또는 파손을 일으키는 긴 물줄기가 발생하는 것을 예방할 수 있다.

또한, 이후 상기 기판(10)이 세정조(100) 내에 위치한 상태에서도 재처리를 실시할 수 있어 그에 따른 장치의 운영 효율성을 크게 높일 수 있는 효과를 제공한다.

본 발명의 실시예는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허청구범위 내에서 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.

100... 세정조
200... 스프레이 노즐부
300... 세정액 순환 공급라인
350... 세정액 개폐밸브
400... 세정액 바이패스 라인
440... 바이패스용 개폐밸브
450... 보조 바이패스 라인
451... 보조 개폐밸브

Claims

기판의 세정 처리가 이루어지는 세정 공간을 형성한 세정조;
상기 세정조 내에서 상기 기판을 사이에 두고 양측에 각각 설치되며 상하 방향을 따라 복수 개가 노즐 배관을 통해 서로 연통한 상태로 정렬되는 분사 노즐을 포함하는 스프레이 노즐부;
상기 세정조를 통해 하나의 분사 노즐에 연결되어 세정액을 순환 공급하되 개폐 단속되는 세정액 순환 공급라인; 및,
일단은 다른 하나의 분사 노즐에 연결되고 타단은 상기 세정조 내부로 연통하되 개폐 단속되는 세정액 바이패스 라인을 포함하며,
상기 세정액 순환 공급라인과 세정액 바이패스 라인 사이에 연결되며 개폐 단속되는 보조 바이패스 라인을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 스프레이식 기판 세정장치.
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제1항에 있어서,
상기 세정액 순환 공급라인에는 세정액 개폐밸브가 설치되고, 상기 세정액 바이패스 라인에는 바이패스용 개폐밸브가 설치되고, 상기 보조 바이패스 라인에는 보조 개폐밸브가 설치되는 것을 특징으로 하는 스프레이식 기판 세정장치.
제3항에 있어서,
세정액의 유동방향을 기초로, 상기 보조 개폐밸브는 상기 세정액 개폐밸브와 바이패스용 개폐밸브의 하류에 배치되는 것을 특징으로 하는 스프레이식 기판 세정장치.
제1항, 제3항, 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 세정액 순환 공급라인은 상기 분사 노즐 중 최하단의 분사 노즐에 연결되며, 상기 세정액 바이패스 라인은 분사 노즐 중 최상단의 분사 노즐에 연결되는 것을 특징으로 하는 스프레이식 기판 세정장치.
제1항, 제3항, 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 분사 노즐에는 제어신호에 의해 노즐구멍을 개폐단속하는 세정액 차폐부가 설치된 것을 특징으로 하는 스프레이식 기판 세정장치.
제1항, 제3항, 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 세정액 순환 공급라인은,
메인 배관;
상기 메인 배관에 설치되는 펌프; 및,
상기 메인 배관으로부터 상기 기판을 사이에 두고 양쪽 스프레이 노즐부 쪽으로 각각 분기되는 서브 배관;
을 포함하는 것을 특징으로 하는 스프레이식 기판 세정장치.
제3항 또는 제4항에 기재된 스프레이식 기판 세정장치를 이용한 기판 세정방법에 있어서,
보조 개폐밸브를 닫고 세정액 개폐밸브와 바이패스용 개폐밸브를 연 상태에서 펌프를 구동하여 세정액 순환 공급라인과 세정액 바이패스 라인에 세정액을 채우는 단계; 및,
상기 세정액 바이패스 라인을 닫아서 스프레이 노즐부를 통해 세정액을 기판에 분사하는 단계;
를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 세정방법.
제8항에 있어서,
스프레이 동작을 정지하는 경우,
상기 세정액 개폐밸브를 닫는 것과 함께 바이패스용 밸브와 보조 개폐밸브를 열어서 노즐 배관 내 잔압을 제거하는 것을 특징으로 하는 기판 세정방법.