KR20220045627A - 약액 토출 장치 - Google Patents

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KR20220045627A
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chemical
chemical solution
supply
unit
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KR1020200128433A
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정지용
이동윤
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세메스 주식회사
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Abstract

약액 토출 장치는 토출 헤드, 수용부, 제거부, 및 공급부를 포함할 수 있다. 상기 토출 헤드는 기판에 약액을 토출하도록 구비될 수 있다. 상기 수용부는 상기 토출 헤드로부터 토출되는 약액을 수용하도록 구비될 수 있다. 상기 제거부는 상기 수용부에 수용되는 약액 내에 잔류하는 잔류물을 제거하도록 구비될 수 있다. 상기 공급부는 상기 토출 헤드를 사용하는 토출 공정에 재사용할 수 있게 상기 제거부를 사용하여 잔류물을 제거시킨 약액인 재사용 약액을 상기 토출 헤드에 공급하도록 구비될 수 있다.

Description

약액 토출 장치{APPARATUS FOR DISPENSING DROPLET}
본 발명은 약액 토출 장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로 본 발명은 제팅 방식으로 약액을 토출하는 토출 헤드를 포함하는 약액 토출 장치에 관한 것이다.
유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에서는 기판에 형성하는 픽셀들 각각에 약액을 토출하거나 또는 회로 패턴을 봉지하는 봉지막의 형성을 위한 약액을 토출하는 약액 토출 공정을 수행할 수 있다.
언급한 약액 토출 공정은 주로 제팅(jetting) 방식으로 약액을 토출하는 토출 헤드를 포함하는 약액 토출 장치를 사용하고 있다.
그리고 약액 토출 공정의 수행시 토출 헤드에 이상이 있을 경우 기판의 정확한 위치에 약액을 토출하지 못하는 상황이 발생할 수 있기 때문에 토출 헤드에 대한 유지 보수를 수시로 수행하고 있다.
특히. 토출 헤드에 대한 유지 보수는 토출 헤드에 약액이 비어 있는 상태에서 수행해야 하기 때문에 토출 헤드에 남아 있는 약액을 고의로 토출시켜야 한다.
그러나 토출 헤드의 유지 보수를 위하여 토출 헤드로부터 고의로 토출시키는 약액의 경우 외부 노출로 인하여 오염원 등에 접촉될 수 있는 상황이 발생하고 있기 때문에 고가임에도 불구하고 폐기 처리할 수밖에 없는 실정이다.
본 발명의 일 과제는 토출 헤드에 대한 유지 보수의 수행시 토출 헤드로부터 토출되는 약액을 재사용할 수 있는 구성을 갖는 약액 토출 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 토출 헤드, 수용부, 제거부, 및 공급부를 포함할 수 있다. 상기 토출 헤드는 기판에 약액을 토출하도록 구비될 수 있다. 상기 수용부는 상기 토출 헤드로부터 토출되는 약액을 수용하도록 구비될 수 있다. 상기 제거부는 상기 수용부에 수용되는 약액 내에 잔류하는 잔류물을 제거하도록 구비될 수 있다. 상기 공급부는 상기 토출 헤드를 사용하는 토출 공정에 재사용할 수 있게 상기 제거부를 사용하여 잔류물을 제거시킨 약액인 재사용 약액을 상기 토출 헤드에 공급하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 토출 헤드로부터 토출되는 약액은 상기 토출 헤드에 대한 유지 보수의 수행을 위하여 토출하는 것이고, 상기 수용부는 상기 토출 헤드에 대한 유지 보수를 약액이 비어 있는 상태에서 수행할 수 있게 상기 토출 헤드에 남아 있는 고의로 토출시키는 약액을 수용하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 수용부는 상기 토출 헤드로부터 토출되는 약액을 외부에 노출되지 않게 수용하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제거부는 상기 약액 내에 잔류하는 파티클을 제거하기 위한 파티클 필터 또는/및 상기 약액 내에 잔류하는 기포를 제거하기 위한 기포 필터를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 토출 헤드로 공급하기 위한 약액인 신규 약액을 저장하는 레저버, 및 상기 레저버로 공급하기 위한 상기 신규 약액을 저장하는 캐니스터를 더 포함할 때, 상기 공급부는 상기 캐니스터와 상기 레저버 사이를 연결하는 연결 라인에 연결되어 상기 재사용 약액을 상기 토출 헤드에 공급하도록 구비되는 제1 공급부, 상기 레저버에 연결되어 상기 재사용 약액을 상기 토출 헤드에 공급하도록 구비되는 제2 공급부, 및 상기 재사용 약액을 상기 토출 헤드에 직접 공급하도록 구비되는 제3 공급부로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 어느 하나를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 공급부, 상기 제2 공급부, 및 상기 제3 공급부로 구성되는 그룹으로부터 어느 하나를 사용할 것인 가를 선택하도록 구비되는 선택부를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 토출 헤드에 상기 신규 약액만 공급될 수 있게 상기 토출 헤드에 상기 재사용 약액의 공급을 중단시키도록 구비되는 제1 중단부, 및 상기 토출 헤드에 상기 재사용 약액만 공급될 수 있게 상기 토출 헤드에 상기 신규 약액의 공급을 중단시키도록 구비되는 제2 중단부를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제거부를 사용하여 잔류물을 제거시킨 약액인 재사용 약액이 재사용이 가능한 가를 검사하는 검사부, 및 상기 검사부에 의한 검사 결과, 상기 재사용 약액이 재사용 불가할 경우 상기 재사용 불가 약액을 외부로 배출시키는 배출부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 토출 헤드, 레저버, 캐니스터, 수용부, 제거부, 및 공급부를 포함할 수 있다. 상기 토출 헤드는 기판에 약액을 토출하도록 구비될 수 있다. 상기 레저버는 상기 토출 헤드로 공급하기 위한 약액인 신규 약액을 저장하도록 구비될 수 있다. 상기 캐니서터는 상기 레저버로 공급하기 위한 상기 신규 약액을 저장하도록 구비될 수 있다. 상기 수용부는 상기 토출 헤드로부터 토출되는 약액을 수용하도록 구비될 수 있다. 상기 제거부는 상기 수용부에 수용되는 약액 내에 잔류하는 잔류물을 제거하도록 구비될 수 있다. 상기 공급부는 상기 토출 헤드를 사용하는 토출 공정에 재사용할 수 있게 상기 제거부를 사용하여 잔류물을 제거시킨 약액인 재사용 약액을 상기 토출 헤드에 공급하도록 구비되되, 상기 캐니스터와 상기 레저버 사이를 연결하는 연결 라인에 연결되어 상기 재사용 약액을 상기 토출 헤드에 공급하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 토출 헤드로부터 토출되는 약액은 상기 토출 헤드에 대한 유지 보수의 수행을 위하여 토출하는 것이고, 상기 수용부는 상기 토출 헤드에 대한 유지 보수를 약액이 비어 있는 상태에서 수행할 수 있게 상기 토출 헤드에 남아 있는 고의로 토출시키는 약액을 수용하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 수용부는 상기 토출 헤드로부터 토출되는 약액을 외부에 노출되지 않게 수용하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제거부는 상기 약액 내에 잔류하는 파티클을 제거하기 위한 파티클 필터 또는/및 상기 약액 내에 잔류하는 기포를 제거하기 위한 기포 필터를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 토출 헤드에 상기 신규 약액만 공급될 수 있게 상기 토출 헤드에 상기 재사용 약액의 공급을 중단시키도록 구비되는 제1 중단부, 및 상기 토출 헤드에 상기 재사용 약액만 공급될 수 있게 상기 토출 헤드에 상기 신규 약액의 공급을 중단시키도록 구비되는 제2 중단부를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제거부를 사용하여 잔류물을 제거시킨 약액인 재사용 약액이 재사용이 가능한 가를 검사하는 검사부, 및 상기 검사부에 의한 검사 결과, 상기 재사용 약액이 재사용 불가할 경우 상기 재사용 불가 약액을 외부로 배출시키는 배출부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 토출 헤드, 레저버, 캐니스터, 수용부, 제거부, 및 공급부를 포함할 수 있다. 상기 토출 헤드는 기판에 약액을 토출하도록 구비될 수 있다. 상기 레저버는 상기 토출 헤드로 공급하기 위한 약액인 신규 약액을 저장하도록 구비될 수 있다. 상기 캐니스터는 상기 레저버로 공급하기 위한 상기 신규 약액을 저장하도록 구비될 수 있다. 상기 수용부는 상기 토출 헤드로부터 토출되는 약액을 수용하도록 구비될 수 있다. 상기 제거부는 상기 수용부에 수용되는 약액 내에 잔류하는 잔류물을 제거하도록 구비될 수 있다. 상기 공급부는 상기 토출 헤드를 사용하는 토출 공정에 재사용할 수 있게 상기 제거부를 사용하여 잔류물을 제거시킨 약액인 재사용 약액을 상기 토출 헤드에 공급하도록 구비되되, 상기 레저버에 연결되어 상기 재사용 약액을 상기 토출 헤드에 공급하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 토출 헤드로부터 토출되는 약액은 상기 토출 헤드에 대한 유지 보수의 수행을 위하여 토출하는 것이고, 상기 수용부는 상기 토출 헤드에 대한 유지 보수를 약액이 비어 있는 상태에서 수행할 수 있게 상기 토출 헤드에 남아 있는 고의로 토출시키는 약액을 수용하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 수용부는 상기 토출 헤드로부터 토출되는 약액을 외부에 노출되지 않게 수용하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제거부는 상기 약액 내에 잔류하는 파티클을 제거하기 위한 파티클 필터 또는/및 상기 약액 내에 잔류하는 기포를 제거하기 위한 기포 필터를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 토출 헤드에 상기 신규 약액만 공급될 수 있게 상기 토출 헤드에 상기 재사용 약액의 공급을 중단시키도록 구비되는 제1 중단부, 및 상기 토출 헤드에 상기 재사용 약액만 공급될 수 있게 상기 토출 헤드에 상기 신규 약액의 공급을 중단시키도록 구비되는 제2 중단부를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제거부를 사용하여 잔류물을 제거시킨 약액인 재사용 약액이 재사용이 가능한 가를 검사하는 검사부, 및 상기 검사부에 의한 검사 결과, 상기 재사용 약액이 재사용 불가할 경우 상기 재사용 불가 약액을 외부로 배출시키는 배출부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 토출 헤드로부터 토출되는 약액, 특히 토출 헤드에 대한 유지 보수의 수행시 토출 헤드로부터 토출되는 약액을 재사용할 수 있는 구성을 가질 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 토출 헤드의 유지 보수시 토출 헤드에 남아 있는 약액을 폐기 처리하는 것을 사전에 방지할 수 있다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 고가의 약액 소모량을 최소화할 수 있기 때문에 가격 경쟁력 측면에서의 향상된 이점을 기대할 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 나타내는 개략적인 도면이다.
도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 나타내는 개략적인 도면이다.
도 3은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 나타내는 개략적인 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 나타내는 개략적인 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조시 기판에 약액을 토출하기 위한 것으로써, 특히 기판에 형성하는 픽셀들 각각에 약액을 토출하거나 또는 회로 패턴을 봉지하는 봉지막의 형성시 약액을 토출하기 위한 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 제팅 방식으로 약액을 토출하기 위한 토출 헤드(11)를 구비할 수 있다.
특히, 토출 헤드(11)는 일면에 복수개의 노즐이 구비되는 노즐면을 가질 수 있고, 복수개의 노즐은 일정 간격을 가지면서 일렬로 배치될 수 있고, ㎍ 단위의 양으로 약액을 토출할 수 있도록 구비될 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 토출 헤드(11)로 공급하기 위한 약액인 신규 약액(이하, '약액'과 혼용하기로 한다)을 저장하는 레저버(13), 및 레저버(13)로 공급하기 위한 신규 약액을 저장하는 캐니스터(15)를 구비할 수 있다.
레저버(13)는 토출 헤드(11)와 연결되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 양압 및 음압의 조정을 통하여 기판에 약액을 공급하도록 구비될 수 있다.
캐니스터(15)는 연결 라인(21)을 통하여 레저버(13)와 연결되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 상대적으로 높은 가압을 이용하여 레저버(13)에 약액을 공급하도록 구비될 수 있다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 캐니스터(15)에 저장되는 약액을 레저버(13)를 경유하여 토출 헤드(11)까지 공급되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
그리고 도시하지는 않았지만, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 스테이지, 갠트리(gantry), 이송부 등을 구비할 수 있다.
스테이지는 기판이 놓이는 것으로써, 기판이 부상된 상태로 놓이는 부상 스테이지일 수 있다.
갠트리는 기판이 이송되는 방향과 수직 방향을 따라 스테이지를 가로지르게 배치됨과 아울러 토출 헤드(11)가 기판 상부에서 활주할 수 있게 토출 헤드(11)를 지지하도록 구비될 수 있는 것으로써, 스테이지를 가로지르게 스테이지 상부에 구비되는 바(bar) 구조를 갖는 수평 구조물, 및 바 구조의 수평 구조물 양쪽을 지지하는 기둥 구조를 갖는 수직 구조물로 이루어질 수 있다.
이송부는 스테이지를 따라 기판을 이송하기 위한 것으로써, 주로 기판의 측면을 파지하여 이송하도록 구비될 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 스테이지를 따라 기판을 이송시킴과 아울러 갠트리를 따라 활주하는 토출 헤드(11)로부터 기판 상부에서 기판을 향하여 약액을 토출시키는 약액 토출 공정을 수행할 수 있다.
그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)를 사용하는 약액 토출 공정에서는 토출 헤드(11)에 이상, 예를 들면 노즐 막힘 등이 발생할 경우 기판의 정확한 위치에 약액을 토출하지 못하는 상황이 발생할 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)의 사용시에는 토출 헤드(11)에 대한 유지 보수를 수시로 수행해야 할 것이고, 주로 토출 헤드(11)의 노즐면에 대한 세정, 토출 헤드(11)의 토출 유로에 대한 세정 등과 같은 유지 보수를 수시로 수행해야 할 것이다.
특히, 토출 헤드(11)의 유지 보수시 토출 헤드(11)에 약액이 남아 있을 경우 토출 헤드(11)에 대한 유지 보수를 원활하게 수행하지 못하기 때문에 토출 헤드(11)에 대한 유지 보수시에는 토출 헤드(11)에 남아 있는 약액을 고의로 토출시켜야 할 것이다.
그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 토출 헤드(11)에 대한 유지 보수시 토출 헤드(11)에 남아 있는 고의로 토출시키는 약액을 재사용하도록 이루어질 수 있다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 토출 헤드(11)에 대한 유지 보수시 토출 헤드(11)에 남아 있는 고의로 토출시키는 약액을 재사용하기 위한 부재들로써, 수용부(17), 제거부(19), 공급부(31) 등을 구비할 수 있고, 나아가 선택부(41), 제1 중단부(43), 제2 중단부(45), 검사부(47), 배출부(49) 등을 더 구비할 수 있고, 언급한 부재들은 주로 유지 보수 챔버 쪽에 배치될 수 있고, 특히 후술하는 바와 같이 수용부(17)는 외부로부터 밀폐되는 구조를 가져야 하기 때문에 유지 보수 챔버에 배치되는 것이 바람직할 수 있다.
즉, 토출 헤드(11) 등과 같은 약액을 토출하는데 사용되는 부재들은 프린팅 챔버 쪽에 배치되도록 구비될 수 있고, 수용부(17) 등과 같은 유지 보수하는데 사용되는 부재들은 유지 보수 챔버 쪽에 배치되도록 구비될 수 있다.
다만, 갠트리는 프린팅 챔버와 유지 보수 챔버에 걸쳐서 구비될 수 있는 것으로써, 약액 토출시에는 토출 헤드(11)가 프린팅 챔버 쪽에 위치하도록 하고 그리고 유지 보수시에는 유지 보수 챔버 쪽에 위치하도록 구비될 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)를 사용하는 토출 헤드(11)에 대한 유지 보수시에는 토출 헤드(11)를 유지 보수 챔버 쪽에 위치시킬 수 있고, 그리고 토출 헤드(11)를 유지 보수 챔버 쪽에 위치시킨 후, 유지 보수의 수행을 위하여 토출 헤드(11)에 남아 있는 약액을 고의로 토출할 수 있을 것이다.
따라서 수용부(17)는 토출 헤드(11)에 남아 있는 고의로 토출시키는 약액을 수용하도록 구비될 수 있는 것으로써, 주로 배스 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
그리고 토출 헤드(11)로부터 토출되는 약액이 외부로 노출될 경우 오염될 여지가 있기 때문에 수용부(17)는 토출 헤드(11)로부터 토출되는 약액을 외부에 노출되지 않게 수용하도록 구비될 수 있다.
수용부(17)가 유지 보수 챔버 쪽에 배치되는 구성을 가질 경우 유지 보수 챔버가 외부 노출을 차단하는 구성을 가지기 때문에 별다른 문제가 없을 것이고, 또한 토출 헤드(11)와 수용부(17) 사이의 연결을 외부로부터 차단되는 구조를 갖도록 구비할 경우에도 외부 노출의 차단에는 별다른 문제가 없을 것이다.
제거부(19)는 수용부(17)에 수용되는 약액 내에 잔류하는 잔류물을 제거하도록 구비될 수 있는 것으로써, 주로 약액 내에 잔류하는 파티클 등을 제거하기 위한 파티클 필터, 약액 내에 잔류하는 기포 등을 제거하기 위한 기포 필터 등으로 이루어질 수 있고, 파티클 필터, 기포 필터가 각각 구비되거나 또는 함께 구비될 수 있다.
제거부(19)는 수용부(17)로부터 후술하는 공급부(31)로 약액이 플로우되는 경로에 배치되는 구성을 갖도록 구비될 수 있다.
공급부(31)는 제거부(19)를 사용하여 잔류물을 제거시킨 약액, 즉 재사용 약액을 토출 헤드(11)에 공급하도록 구비될 수 있다.
공급부(31)는 제거부(19)로부터의 재사용 약액을 토출 헤드(11) 쪽으로 플로우시킬 수 있는 경로에 배치되는 플로우 라인 구성을 갖도록 구비될 수 있다.
공급부(31)는 신규 약액과 재사용 약액이 혼합되어 토출 헤드(11)로 공급되는 구성을 갖거나, 또는 신규 약액과 재사용 약액 각각이 서로 달리 토출 헤드(11)로 공급되는 구성을 가질 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예에 따른 약액 토출 장치(100)에서의 공급부(31)는 제1 공급부(33), 제2 공급부(35), 제3 공급부(37)를 포함할 수 있고, 이들은 단독으로 구비되거나 또는 둘 이상이 함께 구비될 수 있고, 예를 들면 제1 공급부(33)만이 구비되거나, 제1 공급부(33)와 제3 공급부(37)가 함께 구비되거나, 또는 제1 공급부(33), 제2 공급부(35), 제3 공급부(37)가 함께 구비될 수 있다.
제1 공급부(33)는 캐니스터(15)와 레저버(13) 사이를 연결하는 연결 라인(21), 즉 신규 약액을 공급하는 연결 라인(21)에 연결되어 재사용 약액을 토출 헤드(11)에 공급하도록 구비될 수 있다. 이에, 제1 공급부(33)는 신규 약액과 재사용 약액이 혼합되는 약액을 토출 헤드(11)에 공급할 수 있다.
제2 공급부(35)는 레저버(13)에 연결되어 재사용 약액을 토출 헤드(11)에 공급하도록 구비될 수 있다. 이에, 제2 공급부(35)의 경우에도 제1 공급부(33)와 마찬가지로 신규 약액과 재사용 약액이 혼합되는 약액을 토출 헤드(11)에 공급할 수 있다.
제3 공급부(37)는 토출 헤드(11)에 직접 연결되어 재사용 약액을 토출 헤드(11)에 직접 공급하도록 구비될 수 있다. 이에, 제3 공급부(37)는 제1 공급부(33) 및 제2 공급부(35)와는 달리 신규 약액과 혼합되지 않는 재사용 약액만을 토출 헤드(11)에 공급할 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 제1 공급부(33), 제2 공급부(35), 및 제3 공급부(37) 중 둘 이상이 함께 구비될 경우 어느 하나만을 선택하여 단독으로 사용하거나 또는 둘 이상을 선택하여 함께 사용하도록 구비될 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 선택부(41)를 구비하여 제1 공급부(33), 제2 공급부(35), 제3 공급부(37) 중에서 어느 하나 또는 어느 둘 이상을 사용할 것인 가를 선택할 수 있다.
일예로, 선택부(41)는 주로 제1 공급부(33), 제2 공급부(35), 및 제3 공급부(37)로 구비될 수 있는 플로우 라인을 온/오프(on/off)시키는 밸브 제어가 가능한 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 언급한 공급부(31) 및 선택부(41)에 의해 다양한 경로를 선택하여 토출 헤드(11)에 재사용 약액을 공급할 수 있을 것이고, 이에 약액 토출 장치(100)를 보다 다양한 구조를 갖도록 구비할 수 있는 것으로써, 특히 유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조 현장 상황에 적합한 구조를 갖도록 구비할 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 토출 헤드(11)로 신규 약액만을 단독으로 공급하거나 또는 재사용 약액만을 단독으로 공급하도록 구비될 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 제1 중단부(43), 및 제2 중단부(45)를 구비함으로써, 토출 헤드(11)에 신규 약액만 공급될 수 있게 제1 중단부(43)를 사용하여 토출 헤드(11)에 재사용 약액의 공급을 중단시킬 수 있고, 토출 헤드(11)에 재사용 약액만 공급될 수 있게 제2 중단부(45)를 사용하여 토출 헤드(11)에 신규 약액의 공급을 중단시킬 수 있다.
그리고 공급부(31)가 제1 공급부(33), 제2 공급부(35), 및 제3 공급부(37) 중 둘 이상이 함께 이루어질 경우 제1 중단부(43)는 언급한 공급부(31)로 구비될 수 있는 플로우 라인이 분기되기 이전의 제거부(19) 근방에서의 플로우 라인을 온/오프시키는 밸브 제어가 가능한 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.
또한, 제2 중단부(45)는 캐니스터(15)와 레저버(13)를 연결하는 연결 라인(21)을 온/오프시키는 밸브 제어가 가능한 구조를 갖도록 이루어질 수 있는데, 특히 제1 공급부(33)가 연결되는 위치보다 캐니스터(15)에 더 가까운 연결 라인(21)에 위치하게 구비될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 제1 중단부(43) 및 제2 중단부(45)를 구비함으로써 신규 약액 또는 재사용 약액 중에서 원하는 약액을 선택하여 토출 헤드(11)에 공급할 수 있을 것이고, 이에 약액 토출 공정을 보다 다양한 조건으로 수행할 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)를 사용하여 획득하는 재사용 약액의 경우 신규 약액과는 달리 그 성능이나 품질을 검증할 필요가 있을 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 검사부(47)를 구비함으로써 제거부(19)를 사용하여 잔류물을 제거시킨 약액인 재사용 약액이 재사용이 가능한 가를 검사할 수 있다.
이와 달리, 검사부(47)는 수용부(17)에 수용되는 약액을 대상으로도 재사용이 가능한 가를 검사하도록 구비될 수도 있고, 수용부(17)에 수용되는 약액 및 제거부(19)를 사용하여 잔류물을 제거시킨 약액 모두를 대상으로도 재사용이 가능한 가를 검사하도록 구비될 수도 있다.
그리고 검사부(47)에 의한 검사 결과, 재사용이 가능할 경우 재사용 약액은 공급부(31)로 공급될 수 있을 것이다.
그러나 검사부(47)에 의한 검사 결과, 재사용이 불가할 경우 재사용 불가 약액은 외부로 배출시켜야 할 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 재사용 불가 약액을 외부로 배출시키는 배출부(49)를 더 구비할 수 있다.
검사부(47)가 제거부(19)에 의해 잔류물이 제거되는 재사용 약액을 대상으로 재사용 여부를 검사하도록 구비될 경우 배출부(49)는 제거부(19) 후단 쪽에 연결되도록 구비될 수 있고, 검사부(47)가 수용부(17)에 수용되는 약액을 대상으로 재사용 여부를 검사하도록 구비될 경우 배출부(49)는 수용부(17)에 수용되는 약액을 배출시키도록 구비될 수 있을 것이다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 검사부(47) 및 배출부(49)를 구비함으로써 재사용 약액을 보다 안정적으로 사용할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 토출 헤드(11)의 유지 보수시 토출 헤드(11)에 남아 있는 약액을 폐기 처리하지 않고 재사용할 수 있도록 함으로써 고가의 약액 소모량을 최소화할 수 있을 것이다.
도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 나타내는 개략적인 도면이다.
도 2에서의 약액 토출 장치는 도 1에서의 약액 토출 장치 중에서 공급부(31) 및 선택부(41)에 대한 구성을 달리하는 것을 제외하고는 유사한 구성을 갖기 때문에 동일 부재에 대해서는 동일 부호를 사용하고 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)의 경우에도 토출 헤드(11), 그리고 도시하지는 않았지만 스테이지, 갠트리, 이송부 등을 구비할 수 있다.
아울러, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 토출 헤드(11)에 대한 유지 보수시 토출 헤드(11)에 남아 있는 고의로 토출시키는 약액을 재사용하기 위한 부재들로써, 수용부(17), 제거부(19), 공급부(31), 제1 중단부(43), 제2 중단부(45), 검사부(47), 배출부(49) 등을 구비할 수 있다.
다만, 공급부(31)가 캐니스터(15)와 레저버(13) 사이를 연결하는 연결 라인(21), 즉 신규 약액을 공급하는 연결 라인(21)에 연결되어 재사용 약액을 토출 헤드(11)에 공급하도록 구비될 수 있다.
그리고 제1 중단부(43)가 토출 헤드(11)에 신규 약액만 공급될 수 있게 공급부(31)로부터 토출 헤드(11) 쪽으로 재사용 약액이 공급되는 것을 중단시킬 수 있도록 구비될 수 있고, 제2 중단부(45)가 토출 헤드(11)에 재사용 약액만 공급될 수 있게 토출 헤드(11) 쪽으로 신규 약액이 공급되는 것을 중단시킬 수 있도록 구비될 수 있다.
특히, 공급부(31)가 단일 구성을 갖도록 구비될 수 있기 때문에 도 1에서의 선택부(41)를 생략할 수 있고, 제2 중단부(45)는 공급부(31)가 연결되는 위치보다 캐니스터(15)에 더 가까운 연결 라인(21)에 위치하게 구비될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 캐니스터(15)와 레저버(13) 사이를 연결하는 연결 라인(21)에 단일 구성을 갖는 공급부(31)를 구비할 수 있는 것으로써, 보다 간단한 장치적 구성만으로도 토출 헤드(11)의 유지 보수시 토출 헤드(11)에 남아 있는 약액을 폐기 처리하지 않고 재사용할 수 있도록 할 수 있고, 그 결과 고가의 약액 소모량을 최소화할 수 있을 것이다.
도 3은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 나타내는 개략적인 도면이다.
도 3에서의 약액 토출 장치는 도 1에서의 약액 토출 장치 중에서 공급부(31) 및 선택부(41)에 대한 구성을 달리하는 것을 제외하고는 유사한 구성을 갖기 때문에 동일 부재에 대해서는 동일 부호를 사용하고 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100) 또한 마찬가지로 토출 헤드(11), 그리고 도시하지는 않았지만 스테이지, 갠트리, 이송부 등을 구비할 수 있다.
아울러, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 토출 헤드(11)에 대한 유지 보수시 토출 헤드(11)에 남아 있는 고의로 토출시키는 약액을 재사용하기 위한 부재들로써, 수용부(17), 제거부(19), 공급부(31), 제1 중단부(43), 제2 중단부(45), 검사부(47), 배출부(49) 등을 구비할 수 있다.
다만, 공급부(31)가 레저버(13)에 연결되어 재사용 약액을 토출 헤드(11) 쪽으로 공급하도록 구비될 수 있다.
그리고 제1 중단부(43)가 토출 헤드(11)에 신규 약액만 공급될 수 있게 공급부(31)로부터 토출 헤드(11) 쪽으로 재사용 약액이 공급되는 것을 중단시킬 수 있도록 구비될 수 있고, 제2 중단부(45)가 토출 헤드(11)에 재사용 약액만 공급될 수 있게 토출 헤드(11) 쪽으로 신규 약액이 공급되는 것을 중단시킬 수 있도록 구비될 수 있다.
특히, 공급부(31)가 단일 구성을 갖도록 구비될 수 있기 때문에 도 1에서의 선택부(41)를 생략할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 캐니스터(15)와 레저버(13) 사이를 연결하는 연결 라인(21)에 단일 구성을 갖는 공급부(31)를 구비할 수 있는 것으로써, 보다 간단한 장치적 구성만으로도 토출 헤드(11)의 유지 보수시 토출 헤드(11)에 남아 있는 약액을 폐기 처리하지 않고 재사용할 수 있도록 할 수 있고, 그 결과 고가의 약액 소모량을 최소화할 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 픽셀들에 약액을 토출하거나 또는 봉지막의 형성을 위한 약액을 토출하는 공정에 적용할 수 있기 때문에 유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에 보다 적극적으로 적용할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 토출 헤드 13 : 레저버
15 : 캐니스터 17 : 수용부
19 : 제거부 21 : 연결 라인
31 : 공급부 41 : 선택부
43 : 제1 중단부 45 : 제2 중단부
47 : 검사부 49 : 배출부
100 : 약액 토출 장치

Claims (20)

  1. 토출 헤드;
    상기 토출 헤드로부터 토출되는 약액을 수용하도록 구비되는 수용부;
    상기 수용부에 수용되는 약액 내에 잔류하는 잔류물을 제거하도록 구비되는 제거부; 및
    상기 토출 헤드를 사용하는 토출 공정에 재사용할 수 있게 상기 제거부를 사용하여 잔류물을 제거시킨 약액인 재사용 약액을 상기 토출 헤드에 공급하도록 구비되는 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 토출 헤드로부터 토출되는 약액은 상기 토출 헤드에 대한 유지 보수의 수행을 위하여 토출하는 것이고, 상기 수용부는 상기 토출 헤드에 대한 유지 보수를 약액이 비어 있는 상태에서 수행할 수 있게 상기 토출 헤드에 남아 있는 고의로 토출시키는 약액을 수용하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 수용부는 상기 토출 헤드로부터 토출되는 약액을 외부에 노출되지 않게 수용하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 제거부는 상기 약액 내에 잔류하는 파티클을 제거하기 위한 파티클 필터 또는/및 상기 약액 내에 잔류하는 기포를 제거하기 위한 기포 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 토출 헤드로 공급하기 위한 약액인 신규 약액을 저장하는 레저버, 및 상기 레저버로 공급하기 위한 상기 신규 약액을 저장하는 캐니스터를 더 포함할 때,
    상기 공급부는 상기 캐니스터와 상기 레저버 사이를 연결하는 연결 라인에 연결되어 상기 재사용 약액을 상기 토출 헤드에 공급하도록 구비되는 제1 공급부, 상기 레저버에 연결되어 상기 재사용 약액을 상기 토출 헤드에 공급하도록 구비되는 제2 공급부, 및 상기 재사용 약액을 상기 토출 헤드에 직접 공급하도록 구비되는 제3 공급부로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 제1 공급부, 상기 제2 공급부, 및 상기 제3 공급부로 구성되는 그룹으로부터 어느 하나를 사용할 것인 가를 선택하도록 구비되는 선택부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  7. 제5 항에 있어서,
    상기 토출 헤드에 상기 신규 약액만 공급될 수 있게 상기 토출 헤드에 상기 재사용 약액의 공급을 중단시키도록 구비되는 제1 중단부; 및
    상기 토출 헤드에 상기 재사용 약액만 공급될 수 있게 상기 토출 헤드에 상기 신규 약액의 공급을 중단시키도록 구비되는 제2 중단부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 제거부를 사용하여 잔류물을 제거시킨 약액인 재사용 약액이 재사용이 가능한 가를 검사하는 검사부; 및
    상기 검사부에 의한 검사 결과, 상기 재사용 약액이 재사용 불가할 경우 상기 재사용 불가 약액을 외부로 배출시키는 배출부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  9. 토출 헤드;
    상기 토출 헤드로 공급하기 위한 약액인 신규 약액을 저장하는 레저버;
    상기 레저버로 공급하기 위한 상기 신규 약액을 저장하는 캐니스터;
    상기 토출 헤드로부터 토출되는 약액을 수용하도록 구비되는 수용부;
    상기 수용부에 수용되는 약액 내에 잔류하는 잔류물을 제거하도록 구비되는 제거부; 및
    상기 토출 헤드를 사용하는 토출 공정에 재사용할 수 있게 상기 제거부를 사용하여 잔류물을 제거시킨 약액인 재사용 약액을 상기 토출 헤드에 공급하도록 구비되되, 상기 캐니스터와 상기 레저버 사이를 연결하는 연결 라인에 연결되어 상기 재사용 약액을 상기 토출 헤드에 공급하도록 구비되는 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 토출 헤드로부터 토출되는 약액은 상기 토출 헤드에 대한 유지 보수의 수행을 위하여 토출하는 것이고, 상기 수용부는 상기 토출 헤드에 대한 유지 보수를 약액이 비어 있는 상태에서 수행할 수 있게 상기 토출 헤드에 남아 있는 고의로 토출시키는 약액을 수용하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  11. 제9 항에 있어서,
    상기 수용부는 상기 토출 헤드로부터 토출되는 약액을 외부에 노출되지 않게 수용하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  12. 제9 항에 있어서,
    상기 제거부는 상기 약액 내에 잔류하는 파티클을 제거하기 위한 파티클 필터 또는/및 상기 약액 내에 잔류하는 기포를 제거하기 위한 기포 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  13. 제9 항에 있어서,
    상기 토출 헤드에 상기 신규 약액만 공급될 수 있게 상기 토출 헤드에 상기 재사용 약액의 공급을 중단시키도록 구비되는 제1 중단부; 및
    상기 토출 헤드에 상기 재사용 약액만 공급될 수 있게 상기 토출 헤드에 상기 신규 약액의 공급을 중단시키도록 구비되는 제2 중단부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  14. 제9 항에 있어서,
    상기 제거부를 사용하여 잔류물을 제거시킨 약액인 재사용 약액이 재사용이 가능한 가를 검사하는 검사부; 및
    상기 검사부에 의한 검사 결과, 상기 재사용 약액이 재사용 불가할 경우 상기 재사용 불가 약액을 외부로 배출시키는 배출부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  15. 토출 헤드;
    상기 토출 헤드로 공급하기 위한 약액인 신규 약액을 저장하는 레저버;
    상기 레저버로 공급하기 위한 상기 신규 약액을 저장하는 캐니스터;
    상기 토출 헤드로부터 토출되는 약액을 수용하도록 구비되는 수용부;
    상기 수용부에 수용되는 약액 내에 잔류하는 잔류물을 제거하도록 구비되는 제거부; 및
    상기 토출 헤드를 사용하는 토출 공정에 재사용할 수 있게 상기 제거부를 사용하여 잔류물을 제거시킨 약액인 재사용 약액을 상기 토출 헤드에 공급하도록 구비되되, 상기 레저버에 연결되어 상기 재사용 약액을 상기 토출 헤드에 공급하도록 구비되는 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  16. 제15 항에 있어서,
    상기 토출 헤드로부터 토출되는 약액은 상기 토출 헤드에 대한 유지 보수의 수행을 위하여 토출하는 것이고, 상기 수용부는 상기 토출 헤드에 대한 유지 보수를 약액이 비어 있는 상태에서 수행할 수 있게 상기 토출 헤드에 남아 있는 고의로 토출시키는 약액을 수용하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  17. 제15 항에 있어서,
    상기 수용부는 상기 토출 헤드로부터 토출되는 약액을 외부에 노출되지 않게 수용하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  18. 제15 항에 있어서,
    상기 제거부는 상기 약액 내에 잔류하는 파티클을 제거하기 위한 파티클 필터 또는/및 상기 약액 내에 잔류하는 기포를 제거하기 위한 기포 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  19. 제15 항에 있어서,
    상기 토출 헤드에 상기 신규 약액만 공급될 수 있게 상기 토출 헤드에 상기 재사용 약액의 공급을 중단시키도록 구비되는 제1 중단부; 및
    상기 토출 헤드에 상기 재사용 약액만 공급될 수 있게 상기 토출 헤드에 상기 신규 약액의 공급을 중단시키도록 구비되는 제2 중단부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  20. 제15 항에 있어서,
    상기 제거부를 사용하여 잔류물을 제거시킨 약액인 재사용 약액이 재사용이 가능한 가를 검사하는 검사부; 및
    상기 검사부에 의한 검사 결과, 상기 재사용 약액이 재사용 불가할 경우 상기 재사용 불가 약액을 외부로 배출시키는 배출부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
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