KR100956557B1 - 약액 공급 장치 - Google Patents

Abstract

약액을 재사용 하는 구성의 약액 공급 장치가 개시된다. 약액 공급 장치는 기판의 처리 공정을 위한 약액이 저장되는 공급 탱크와, 약액을 기판으로 공급하여 처리 공정을 수행하는 공급 유닛과, 기판의 처리 공정에 사용된 약액을 회수하기 위한 회수 펌프, 그리고 회수 펌프에 의해 회수되는 약액이 저장되며, 공급 탱크의 상부에 배치됨에 의해 저장되는 회수 약액을 중력에 의해 공급 탱크로 공급하는 회수 탱크를 포함한다. 따라서, 회수된 약액을 중력에 의해 공급함으로써 장치의 구성을 간략화 할 수 있다.

Description

약액 공급 장치{APPARATUS OF SUPPLYING CHEMICAL LIQUID}

본 발명은 기판으로 약액을 공급하기 위한 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 처리 공정에 사용된 약액을 회수하여 재사용 하는 약액 공급 장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 장치는 실리콘웨이퍼와 같은 반도체 기판을 대상으로 전기 소자들을 포함하는 전기적인 회로 패턴을 형성하기 위한 여러 공정들의 반복적인 수행을 통해 제조된다. 상기 반도체 장치의 제조 공정 중에는 다양한 종류의 케미컬(chemical) 및 유기 용액, 그리고 순수(deionized water)를 포함하는 약액을 이용한 습식 처리 공정을 포함한다.

상기 습식 처리 공정은 기판으로 상기 약액을 공급함으로서 기판의 처리 공정이 이루어진다. 예를 들어 세정 또는 식각을 위한 약액을 기판으로 공급하여 기판에 잔류하는 이물질을 제거한다. 이에 상기 습식 처리 공정을 수행하기 위한 장치에는 기판으로 약액을 공급하기 위한 약액 공급 장치가 구비된다.

이러한 약액 공급 장치는 기판의 처리 공정에 사용된 약액을 회수하여 처리 공정에 재사용 하는 구조를 갖기도 한다. 즉, 기판의 처리 공정에 사용된 약액을 회수하여 회수용 탱크에 저장하고, 상기 회수용 탱크에 회수된 약액이 일정량 이상으로 채워지면 상기 약액을 공급용 탱크로 공급하여 기판의 처리 공정에 재사용 된다.

하지만, 약액을 회수하여 재사용 하는 약액 공급 장치는 회수용 탱크에 채워지는 약액을 상기 공급용 탱크로 공급하기 위하여 펌프가 이용됨에 의해 장치의 구성이 복잡해지는 문제점을 갖는다. 또한, 펌프에 의해 약액의 공급이 이루어짐에 따라서 상기 회수용 탱크에는 항상 잔량이 남아 재활용이 불가능하게 되며, 상기 회수용 탱크에 채워진 약액이 일정량 이상이어야만 공급이 가능하므로 상기 공급용 탱크로 공급되는 약액의 농도 및 온도 변화가 심한 문제점을 갖는다.

따라서 본 발명의 실시예를 통해 해결하고자 하는 일 과제는 기판의 처리 공정에 사용된 약액을 회수하여 재사용 하는 약액 공급 장치로서 그 구성을 간략화하고, 회수용 탱크로 회수 후에 재사용하기 위하여 공급용 탱크로 제공되는 약액의 온도 및 농도 변화를 감소시킬 수 있는 약액 공급 장치를 제공하는 것이다.

상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위해 본 발명에 따른 약액 공급 장치는 공급 탱크, 공급 유닛, 회수 펌프 및 회수 탱크를 포함한다. 상기 공급 탱크는 기판의 처리 공정을 위한 약액이 저장된다. 상기 공급 유닛은 상기 약액을 상기 기판으로 공급하여 상기 처리 공정을 수행한다. 상기 회수 펌프는 상기 기판의 처리 공정에 사용된 약액을 회수하기 위하여 구비된다. 상기 회수 탱크는 상기 회수 펌프에 의해 회수되는 약액이 저장되며, 상기 공급 탱크의 상부에 배치됨에 의해 상기 저장되는 회수 약액을 중력에 의해 상기 공급 탱크로 공급한다.

이러한 본 발명의 약액 공급 장치에 있어서 일 실시예에 따르면 상기 회수 탱크로부터 상기 공급 탱크로 공급되는 상기 회수 약액의 공급 유로 상에 배치되며, 상기 회수 탱크에 저장된 상기 회수 약액을 선택적으로 외부로 배출시키기 위한 제어 밸브를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 공급 탱크와 상기 공급 유닛 사이에 배치되고, 상기 공급 유닛을 통해 상기 기판으로 공급되는 상기 약액 내의 이물질을 걸러주기 위한 필터 부재를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 회수 탱크로 회수되는 상기 회수 약액의 회수 유로 상에 배치되고, 상기 회수 약액 내의 이물질을 걸러주기 위한 필터 부재를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 공급 탱크는 하나 또는 다수개가 구비되며, 상기 회수 펌프는 진공을 형성하여 상기 기판의 처리 공정에 사용된 약액이 회수되도록 동작하는 진공 펌프일 수 있다.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 약액 공급 장치는 기판의 처리 공정에 사용된 약액은 회수되어 회수 탱크에 저장되고, 상기 회수 탱크에 저장되는 회수 약액은 상기 회수 탱크가 공급 탱크의 상부에 배치됨으로써 중력에 의해 자연적으로 상기 공급 탱크로 공급하게 된다. 따라서 회수된 약액을 재사용하기 위하여 상기 회수 탱크로부터 상기 공급 탱크로 회수된 약액을 공급하기 위한 별도의 펌프가 생략되므로 장치의 구조를 간략화 할 수 있다. 또한, 중력에 의한 회수 약액의 공급은 미소 유량 단위로 공급하므로 공급되는 약액의 온도 및 농도 변화가 감소할 수 있다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 약액 공급 장치에 대하여 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 발명의 명확성을 기하기 위해 실제보다 확대하거나, 개략적인 구성을 설명하기 위하여 실제보다 축소하여 도시한 것이다. 또한, 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치를 설명하기 위하여 개략적으로 도시한 구성도이고, 도 2는 도 1의 회수 탱크 및 제어 밸브를 개략적으로 나타내는 도면이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치(100)는 공급 탱크(110), 공급 유닛(120), 회수 펌프(130) 및 회수 탱크(140)를 포함한다.

상기 약액 공급 장치(100)는 기판(W)을 대상으로 처리 공정을 수행하는 과정에서 상기 처리 공정을 위한 약액을 상기 기판(W)으로 공급하기 위하여 사용될 수 있다. 여기서, 상기 기판(W)은 실리콘웨이퍼와 같은 반도체 장치를 제조하기 위한 반도체 기판일 수 있다. 하지만 상기 기판(W)이 반도체 기판으로 한정되는 것은 아니며, 상기 기판(W)은 유리 재질 또는 석영 재질로 이루어진 평판형 기판으로써 평면 디스플레이 장치의 주요 구성요소인 평판형 디스플레이 패널을 제조하기 위한 기판일 수도 있다.

상기 공급 탱크(110)에는 상기 기판(W)의 처리 공정을 위한 약액이 채워진다. 즉, 상기 공급 탱크(110)는 약액을 저장하기 위한 저장 용기로서 상기 기판(W) 의 처리 공정을 수행하기 위하여 상기 기판(W)으로 공급할 약액을 저장하는 역할을 한다. 이에 상기 공급 탱크(110)는 외부의 약액 공급원(112)과 연결되어 상기 약액을 공급받는 구조를 갖는다. 상기 공급 탱크(110)에 채워지는 약액은 상기 기판(W)을 대상으로 이루어지는 처리 공정에 따라서 결정되며, 상기 약액의 예로는 세정액 또는 식각액을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 기판(W)을 대상으로 에칭 공정을 진행하는 경우 상기 공급 탱크(110)에는 에칭액이 채워지고, 상기 기판(W)을 대상으로 세정 공정을 진행하는 경우 상기 공급 탱크(110)에는 세정액이 채워진다. 상기 약액의 예로는 다양한 종류의 케미컬(chemical) 또는 순수(deionized water : DIW)일 수 있고, 상기 케미컬과 순수의 혼합물일 수 있다.

상기 공급 탱크(110)는 하나가 구비될 수 있고, 상기 약액의 원활한 공급을 도모하기 위한 일환으로 다수개가 구비될 수 있다. 상기 공급 탱크(110)가 다수개 구비되는 경우 각각의 공급 탱크(110)는 이하에서 설명하게 될 나머지 구성 요소들 예컨대 공급 유닛(120), 회수 펌프(130) 및 회수 탱크(140)와의 연결 관계는 상호 동일하다. 즉, 다수 개가 구비되는 상기 공급 탱크(110) 각각은 동일하게 기능하도록 구성될 수 있다. 결과적으로 상기 공급 탱크(110)가 다수개 구비됨에 따라서 상기 공급 탱크(110) 중에서 어느 하나가 고장 또는 오염 등에 의해 정상적으로 동작하지 못하는 경우 나머지 공급 탱크(110)들에 의해 약액의 공급 공작을 중단하지 않고 계속해서 진행할 수 있게 된다.

상기 공급 유닛(120)은 상기 공급 탱크(110)에 연결된다. 상기 공급 유닛(120)은 상기 기판(W)에 대한 처리 공정이 이루어지도록 상기 공급 탱크(110)로 부터 상기 약액을 제공받아 상기 기판(W)으로 직접적으로 공급하는 역할을 한다. 이를 위해 상기 공급 유닛(120)은 예를 들어 상기 약액을 분사하는 하나 이상의 노즐(nozzle)을 포함할 수 있고, 홀 또는 슬릿 형태를 갖는 분사구를 포함할 수 있다. 상기 공급 유닛(120)은 상기 기판(W)에 대한 처리 공정이 수행되는 공청 챔버(200)의 내부에 배치되며, 더욱 상세하게는 상기 공정 챔버(200)의 내부에 놓여지는 상기 기판(W)의 상부에 배치될 수 있다.

여기서, 상기 공정 챔버(200)는 상기 기판(W)의 처리 공정을 수행하기 위한 공정 공간을 제공하는 역할을 하며, 그 내부에서 상기 기판(W)을 대상으로 실질적인 처리 공정이 수행된다. 상기 공정 챔버(200)의 내부에는 상기 공급 유닛(120)과 함께 처리 공정이 수행될 때 상기 기판(W)을 지지하기 위한 기판 지지부(미도시)가 구비될 수 있다. 상기 기판 지지부(미도시)는 다양한 종류가 적용될 수 있으며, 경우에 따라서 기판(W)에 대한 처리 공정이 수행되는 동안 상기 기판(W)을 회전시킬 수 있다.

일 실시예에서 상기 공급 유닛(120)과 상기 공급 탱크(110) 사이에는 제1 필터 부재(124)가 구비될 수 있다. 상기 제1 필터 부재(124)는 상기 공급 탱크(110)로부터 상기 공급 유닛(120)으로 공급되는 상기 약액의 공급 유로 상에 설치된다. 이러한 상기 제1 필터 부재(124)는 상기 공급 유닛(120)을 통해서 상기 기판(W)으로 공급될 약액 내의 이물질을 걸러주는 역할을 한다.

한편, 상기 약액 공급 장치(100)의 일 실시예에서 상기 공급 유닛(120)과 상기 공급 탱크(110) 사이에 구비되는 공급 펌프(150)를 더 포함할 수 있다. 상기 공 급 펌프(150)는 상기 공급 탱크(110)에 저장되는 상기 약액이 상기 기판(G)으로 분사될 수 있도록 상기 공급 유닛(120)으로 공급하는 역할을 수행한다.

상기 회수 펌프(130)는 상기 기판(W)의 처리 공정에 사용된 약액의 회수를 위하여 구비된다. 즉, 상기 회수 펌프(130)는 상기 기판(W)의 처리 공정에 사용된 약액을 상기 공정 챔버(200)로부터 회수하는 역할을 한다. 상기 회수 펌프(130)는 예를 들어 진공을 이용한 진공 펌프(vacuum pump)일 수 있다. 이와 달리 상기 회수 펌프(130)는 상기 공정 챔버(200)로부터 상기 기판(W)의 처리 공정에 사용된 약액의 회수 동작에 유효한 다양한 종류의 펌프가 적용될 수 있다.

상기 회수 펌프(130)는 상기 회수 탱크(140)와 연결된다. 예를 들어 상기 회수 펌프(130)는 도면에서와 같이 상기 공정 챔버(200)로부터 상기 회수 탱크(140)로 회수되는 약액의 회수 유로 상에 배치될 수 있다. 하지만 상기 회수 펌프(130)로 진공 펌프가 이용되는 경우 상기 회수 펌프(130)는 상기 회수 유로와 별도로 상기 회수 탱크(140)에 직접적으로 연결되는 것이 일반적이다. 이처럼 상기 회수 펌프(130)가 상기 회수 탱크(140)에 직접 연결되는 경우에 상기 회수 펌프(130)는 상기 회수 탱크(140)에 진공을 형성함으로써 상기 회수 탱크(140)와 상기 공정 챔버(200) 사이의 압력 차이로 상기 약액이 상기 회수 탱크(140)로 회수되도록 동작한다.

상기 회수 탱크(140)는 상기 공급 탱크(110)의 상부에 설치되며, 실질적으로 상기 공정 챔버(220)와 연결된다. 상기 회수 탱크(140)는 상기 회수 펌프(130)에 의해 상기 공정 챔버(200)로부터 회수되는 회수 약액(10)이 저장된다. 이 때, 상기 공정 챔버(200)로부터 회수되는 회수 약액(10) 내에는 상기 기판(W)의 처리 공정을 수행하는 과정에서 발생된 이물질이 포함될 수 있다. 따라서, 상기 회수 약액(10) 내의 이물질을 걸러주기 위한 일환으로 제2 필터 부재(142)가 구비될 수 있다. 상기 제2 필터 부재(142)는 상기 공정 챔버(200)와 상기 회수 탱크(140) 사이에 배치되며, 좀 더 상세하게는 상기 공정 챔버(200)로부터 회수되는 회수 약액(10)의 회수 유로 상에 배치된다.

이처럼 상기 회수 탱크(140) 내부에 저장되는 회수 약액(10)은 상기 기판(W)의 처리 공정에 재사용 되도록 다시 상기 공급 탱크(110)로 공급하게 된다. 이 때, 상기 회수 약액(10)의 공급은 중력에 의해 자연적으로 이루어진다. 즉, 언급한 바와 같이 상기 회수 탱크(140)가 상기 공급 탱크(110)의 상부에 위치하게 되므로 상기 회수 탱크(140)에 저장되는 회수 약액(10)은 중력에 의해 자연적으로 상기 공급 탱크(110)로 공급하게 된다. 중력에 의해 상기 회수 약액(10)을 상기 공급 탱크(110)로 공급하게 되므로 상기 회수 약액(10)의 공급 유로는 상기 회수 탱크(140)의 하부면에 연결되는 것이 바람직하다.

이 때, 상기 회수 탱크(140)는 통상 상기 회수 펌프(130)에 의한 진공을 이용하여 상기 공정 챔버(200)로부터 처리에 사용된 약액을 회수하며, 이렇게 회수된 회수 약액(10)이 공급되는 상기 공급 탱크(110)는 대기 압력을 갖게 된다. 따라서 상기 회수 탱크(140)에 형성되는 진공과 상기 공급 탱크(110)의 대기 압력을 격리할 수 있도록 상기 회수 탱크(140)에는 상기 회수 약액(10)이 소정 레벨 이상을 유지되도록 동작하는 것이 바람직하다. 결과적으로 별도의 장치 없이도 소정 레벨 이 상을 유지하는 상기 회수 약액(10)에 의해 상기 회수 탱크(140)와 상기 공급 탱크(110)의 격리를 획득할 수 있게 된다.

이와 같이, 상기 회수 탱크(140)와 상기 공급 탱크(110) 사이의 상기 회수 약액(10)의 공급이 중력에 의해 이루어짐에 따라서 상기 회수 탱크(140)와 상기 공급 탱크(110) 사이에 상기 회수 약액(10)의 공급을 위한 별도의 장치, 예컨대 펌프 등을 생략할 수 있게 된다. 따라서 장치의 구성을 간략화 할 수 있게 되며, 펌프 등의 구비를 위해 소요되는 비용을 절감할 수 있게 된다. 또한, 중력에 의해 상기 회수 약액(10)의 상기 공급 탱크(110)로의 공급이 이루어짐으로써, 상기 공정 챔버(200)로부터 약액의 회수가 이루어지는 상태에서도 상기 공급 탱크(110)로 상기 회수 약액(10)의 공급이 가능하게 된다. 즉, 상기 회수 탱크(140)로부터 상기 공급 탱크(110)로 상기 회수 약액(10)의 공급이 상시적으로 가능하게 되어 상기 회수 탱크(140)의 용량을 작게 구성하는 것이 가능하고, 이를 통해 장치의 구성을 더욱 간략화 할 수 있게 된다. 아울러 펌프를 이용한 공급과 달리 중력에 의한 공급은 상기 회수 약액(10)을 미소 유량씩 공급함으로써 공급량의 변화가 적게 되므로 공급되는 약액의 온도 및 농도의 변화를 감소시킬 수 있다.

한편, 상기 회수 탱크(140)에 저장되는 상기 회수 약액(10)을 경우에 따라서 상기 공급 탱크(110)로 공급하지 않고 폐액 처리해야 할 경우가 있다. 이를 위해 상기 회수 탱크(140)와 상기 공급 탱크(110) 사이에 제어 밸브(144)가 구비된다. 예를 들어 상기 제어 밸브(144)는 3웨이 밸브(3way valve)를 사용할 수 있다. 상기 제어 밸브(142)는 상기 회수 탱크(140)로부터 상기 공급 탱크(110)로 공급되는 상 기 회수 약액(10)의 공급 유로 상에 설치된다. 상기 제어 밸브(142)는 상기 회수 탱크(140)에 저장되는 상기 회수 약액(10)을 폐액 처리하기 위하여 상기 회수 약액(10)을 선택적으로 외부로 배출시키는 역할을 한다. 즉, 상기 제어 밸브(142)는 상기 회수 탱크(140)측 유로를 선택적으로 상기 공급 탱크(110)측 유로와 연결하거나, 선택적으로 외부 배출을 위한 유로와 연결한다.

상술한 바와 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 약액 공급 장치는 기판의 처리 공정에 사용된 약액이 회수 펌프에 의해 회수 탱크에 저장되고, 상기 회수 탱크가 기판으로 공급하기 위한 약액이 저장되는 공급 탱크의 상부에 배치됨으로써 중력에 의해 상기 회수 탱크에 저장된 회수 약액을 상기 공급 탱크로 공급하게 된다. 이로 인하여 별도의 펌프 등을 구비하지 않고도 회수된 약액을 상기 기판의 처리 공정에 재사용하기 위하여 상기 회수 탱크로부터 상기 공급 탱크로 공급하게 되어 장치의 구조를 간략화 할 수 있다.

또한, 상기 회수 탱크에 저장되는 상기 회수 약액의 공급이 중력에 의해 이루어짐에 따라서 상기 회수 약액은 미소 유량 단위로 공급되게 됨으로써 상기 공급 탱크로 공급되는 상기 회수 약액의 온도 및 농도 변화를 감소할 수 있다.

또한, 중력에 의한 상기 회수 약액의 공급은 상기 기판의 처리 공정에 사용된 약액을 상기 회수 탱크로 회수하는 중에도 가능하므로 상기 회수 탱크로 소용량의 탱크 사용이 가능하게 되어 장치의 구조 간략화가 가능하다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치를 설명하기 위하여 개략적으로 도시한 구성도이다.

도 2는 도 1의 회수 탱크 및 제어 밸브를 개략적으로 나타내는 도면이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

100: 약액 공급 장치 110: 공급 탱크

112: 약액 공급원 120: 공급 유닛

122: 제1 필터 부재 130: 회수 펌프

140: 제2 필터 부재 144: 제어 밸브

150: 공급 펌프 200: 공정 챔버

10: 회수 약액 W: 기판

Claims (5)

1. 기판의 처리 공정을 위한 약액이 저장되는 공급 탱크;

   상기 약액을 상기 기판으로 공급하여 상기 처리 공정을 수행하는 공급 유닛;

   상기 기판의 처리 공정에 사용된 약액을 회수하기 위한 회수 펌프;

   상기 회수 펌프에 의해 회수되는 약액이 저장되며, 상기 공급 탱크의 상부에 배치됨에 의해 상기 저장되는 회수 약액을 중력에 의해 상기 공급 탱크로 공급하는 회수 탱크; 및

   상기 회수 탱크로부터 상기 공급 탱크로 공급되는 상기 회수 약액의 공급 유로 상에 배치되며, 상기 회수 탱크에 저장된 상기 회수 약액을 선택적으로 외부로 배출시키기 위한 제어 밸브를 포함하는 약액 공급 장치.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서, 상기 공급 탱크와 상기 공급 유닛 사이에 배치되고, 상기 공급 유닛을 통해 상기 기판으로 공급되는 상기 약액 내의 이물질을 걸러주기 위한 필터 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 회수 탱크로 회수되는 상기 회수 약액의 회수 유로 상에 배치되고, 상기 회수 약액 내의 이물질을 걸러주기 위한 필터 부재를 더 포함하 는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 공급 탱크는 하나 또는 다수개가 구비되며, 상기 회수 펌프는 진공을 형성하여 상기 기판의 처리 공정에 사용된 약액이 회수되도록 동작하는 진공 펌프인 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.

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