KR20090059691A - 약액 공급 장치 - Google Patents

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KR20090059691A
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김미승
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Abstract

약액 공급 장치는 감광성 물질을 수용하는 수용 용기와, 수용 용기에 수용된 감광성 물질을 흡입하는 흡입 펌프와, 흡입 펌프와 연결되어 수용 용기로부터 흡입된 감광성 물질을 전달받고, 감광성 물질을 기판으로 토출 가능하도록 기판 상에 위치하는 분사 노즐로 공급하는 토출 펌프, 그리고 흡입 펌프와 토출 펌프 사이에 연결되고, 토출 펌프로 공급되는 감광성 물질에 포함되어 있는 오염원을 제거하기 위한 필터를 포함한다. 따라서, 감광성 물질의 흡입과 토출용 펌프를 개별적으로 구비함에 의해 토출량의 변화를 최소활 할 수 있다.

Description

약액 공급 장치{Apparatus of supplying chemical liquid}
본 발명은 반도체 제조 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 포토리소그래피 공정용 약액을 공급하기 위한 약액 공급 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 장치를 제조하기 위한 공정들 중 하나로 포토리소그래피(Photolithography) 공정을 포함한다.
상기 포토리소그래피 공정은 실리콘 웨이퍼와 같은 반도체 기판 상에 감광성 물질(예컨대 포토레지스트(Photoresist))을 도포한 후, 노광 및 현상 공정을 수행하여 소정의 패턴을 형성하고, 이 패턴을 이후의 식각, 금속 증착 등의 공정에서 마스크(mask)로 사용할 수 있도록 하는 공정이다. 여기서, 상기 감광성 물질과 같은 약액의 공급은 약액 공급 장치에 의해 이루어진다.
도 1은 종래 약액 공급 장치를 나타내는 개략적인 도면이다.
도 1을 참조하면, 종래의 약액 공급 장치(10)는 감광성 물질을 저장하는 저장 용기(11)와, 상기 저장 용기(11)로부터 공급되는 감광성 물질을 수용하는 수용 용기(12)와, 상기 수용 용기(12)에 수용된 감광성 물질을 흡입하고, 이를 노즐(15)을 통해 기판(W)으로 공급되도록 토출시키는 펌프(13)를 포함한다. 또한, 상기 펌 프(13)와 노즐(15) 사이에는 감광성 물질의 필터링을 위한 필터(14)가 구비된다.
이러한 구성에서 상기 펌프(13)는 흡입된 감광성 물질을 그대로 공급하기 때문에 흡입시에 감광성 물질에 유입된 오염원에 의해서 상기 노즐(15)로부터 토출되는 감광성 물질의 토출량 변화를 유발하는 문제점이 있다. 또한, 상기 펌프(13)로부터 공급되는 감광성 물질의 공급관에 필터가 구비되므로 인해서 상기 필터(14)의 수명주기에 따라서 상기 감광성 물질의 토출량 변화를 초래하는 문제점이 되고 있다.
언급한 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치는 감광성 물질 등과 같은 약액을 기판으로 토출함에 있어 상기 약액의 토출량 변화를 최소화 할 수 있는 약액 공급 장치를 제공하는 것이다.
상기 본 발명의 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 약액 공급 장치는 수용 용기, 흡입 펌프, 토출 펌프 및 필터를 포함한다. 상기 수용 용기는 감광성 물질을 수용한다. 상기 흡입 펌프는 상기 수용 용기와 연결되고, 상기 수용 용기에 수용된 감광성 물질을 흡입한다. 상기 토출 펌프는 상기 흡입 펌프와 연결되어 상기 수용 용기로부터 흡입된 감광성 물질을 전달받고, 상기 감광성 물질을 기판으로 토출 가능하도록 상기 기판 상에 위치하는 분사 노즐로 공급한다. 상기 필터는 상기 흡입 펌프와 토출 펌프 사이에 연결되고, 상기 토출 펌프로 공급되는 상기 감광성 물질에 포함되어 있는 오염원을 제거한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 흡입 펌프와 토출 펌프는 다이어프램 펌프(Diaphragm Pump)로 이루어 질 수 있다.
이와 같은 본 발명에 따른 약액 공급 장치는 포토리소그래피 공정용 약액이 수용되는 용기로부터 약액을 흡입하기 위한 펌프와 흡입된 약액의 토출을 위한 펌프를 개별적으로 구비하고, 흡입을 위한 펌프와 토출을 위한 펌프 사이에 필터를 구비함으로써, 약액 흡입시의 압력 변화, 약액에 유입된 오염원, 그리고 필터의 수명주기 등에 따른 토출량의 변화를 최소화 할 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 약액 공급 장치에 대하여 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 발명의 명확성을 기하기 위해 실제보다 확대하거나, 개략적인 구성을 설명하기 위하여 실제보다 축소하여 도시한 것이다. 또한, 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지 다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 공급 장치를 나타내는 개략적인 도면이다.
본 발명에 따른 약액 공급 장치(100)는 기판으로 약액을 공급하기 위하여 사용될 수 있다. 여기서, 상기 기판은 실리콘 웨이퍼와 같은 반도체 장치용 반도체 기판을 포함한다. 하지만, 상기 기판은 반도체 장치용 기판으로 한정되는 것은 아니며, 유리 재질 도는 석영 재질로 이루어진 대면적의 평판형 기판으로써 평면 디스플레이 장치에 구비되는 디스플레이 패널 제조용 기판일 수도 있다.
도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 약액 공급 장치(100)는 약액을 저장하고 있는 저장 용기(110), 상기 저장 용기(110)로부터 공급되는 약액을 수용하는 수용 용기(120), 상기 수용 용기(120)로부터 약액을 흡입하는 흡입 펌프(130), 흡입된 약액을 기판(W)으로 토출시키기 위한 토출 펌프(140), 그리고 약액을 필터링 하기 위한 필터(150)를 포함한다.
상기 저장 용기(110)는 약액을 저장하는 역할을 한다. 상기 저장 용기(110)는 약액의 보관 및 운반을 위하여 약액을 저장하는 용기일 수 있다. 예컨대, 상기 저장 용기(110)는 보틀(bottle, 병) 형태로 이루어질 수 있다. 여기서, 상기 저장 용기(110)에 저장되는 약액으로는 포토리소그래피(Photolithography) 공정을 수행하기 위한 감광성 물질일 수 있다. 상기 감광성 물질의 일 예로는 포토레지스트(Photoresist)를 포함한다. 그러나, 상기 약액은 언급한 포토리소그래피 공정을 위한 감광성 물질로 한정되는 것은 아니며, 반도체 제조 공정에서 사용될 수 있는 다양한 종류의 용액일 수 있다.
한편, 상기 저장 용기(110)는 저장하고 있는 약액 즉, 감광성 물질을 상기 수용 용기로(120)로 공급한다. 이를 위해, 상기 저장 용기(110)는 소정의 압력으로 질소(N2) 가스를 공급하기 위한 가스 공급원(미도시)과 연결될 수 있다. 예컨대, 상기 저장 용기(110)는 밀폐 가능한 구조를 갖고, 상기 가스 공급원(미도시)으로부터 상기 질소(N2) 가스가 이송되는 가스 공급관(110a)이 착탈 가능하게 연결된다. 상기 가스 공급관(110a) 상에는 상기 가스 공급관(110a)을 개폐함에 의해 상기 질소(N2) 가스의 공급 여부를 선택하기 위한 가스 밸브(110b)가 구비될 수 있다. 이때, 상기 가스 공급관(110a)은 상기 저장 용기(110)의 상기 저장 용기(110)의 상측 부위(예 컨대 감광성 물질이 채워지지 않은 용기 상부의 빈 공간)로 질소(N2) 가스를 공급 가능하도록 설치된다.
또한, 상기 저장 용기(110)에는 그 상측 부위를 관통하여 저장된 감광성 물질의 하부 위치까지 연장되도록 제1 공급관(112)이 설치된다. 이에 따라, 상기 저장 용기(110)에 저장되어 있는 감광성 물질은 밀폐된 환경의 용기 상측 부위로 상기 질소(N2) 가스가 공급됨에 의해, 상기 질소(N2) 가스의 공급 압력에 의해 표면 부위가 가압됨에 따라서 상대적으로 상기 제1 공급관(112)으로 감광성 물질이 이동하는 구조를 갖게 된다.
상기 수용 용기(120)는 상기 제1 공급관(112)에 연결됨에 의해 상기 저장 용기(110)로부터 공급되는 감광성 물질을 수용한다. 예컨대, 상기 수용 용기(120)는 제1 공급관(112)을 통해서 공급되는 감광성 물질을 일정량씩 수용하는 역할을 한다. 여기서, 상기 감광성 물질이 상기 수용 용기(120)로 유입이 되면서 수용 용기(120) 내부의 감광성 물질의 높이가 높아지게 되고, 이에 따라 수용 용기(120)의 내부 압력이 증가하게 된다. 따라서, 상기 수용 용기(120)에는 내부의 압력을 제거하기 위한 제1 배출관(120a)이 구비될 수 있다.
상기 제1 배출관(120a)은 일반적으로 상기 수용 용기(120)의 상측 부위에 설치될 수 있다. 또한, 상기 제1 배출관(120a) 상에는 상기 제1 배출관(120a)의 개폐 여부를 제어하기 위한 제1 드레인 밸브(120b)가 구비된다. 예를 들면, 상기 수용 용기(120)는 상기 저장 용기(110)로부터 감광성 물질이 공급될 때, 상기 제1 드레 인 밸브(120b)를 열어준다. 이를 통해서, 감광성 물질이 용기 내에 채워짐에 의해 증가되는 압력을 제거하고, 내부에 충진되는 기포를 제거할 수 있게 된다. 또한, 상기 제1 배출관(120a)은 소량의 감광성 물질을 배출되게 한다. 즉, 상기 수용 용기(120)에 감광성 물질이 가득 채워져 상기 제1 배출관(120a)을 통해서 감광성 물질이 외부로 배출되기 시작하면 상기 제1 드레인 밸브(120b)를 닫고, 상기 저장 용기(110)로부터의 공급을 중단한다.
한편, 상기 수용 용기(120)에 제2 공급관(122)이 연결된다. 상기 제2 공급관(122)은 상기 수용 용기(120)에 수용된 감광성 물질의 이송을 위해 구비된다.
상기 흡입 펌프(130)는 상기 제2 공급관(122)을 통해서 상기 수용 용기(120)와 연결되고, 상기 수용 용기(120)에 수용되어 있는 감광성 물질을 흡입하는 역할을 한다. 상기 흡입 펌프(130)는 예를 들면, 왕복식 펌프 중 하나인 다이어프램 펌프((Diaphragm Pump)로 이루어질 수 있다.
상기 흡입 펌프(130)는 다이어프램 막의 직선 왕복 운동에 의한 압력의 변화를 이용하여 상기 수용 용기(120)에 수용된 감광성 물질을 흡입하게 된다. 예컨대, 상기 흡입 펌프(130)는 다이어프램 막의 이동을 통해 상기 제1 공급관(122)에 연결된 흡입부에 진공을 형성함에 의해 상기 수용 용기(120)에 비하여 상대적으로 낮은 압력을 형성하게 되면서 펌프의 내부로 감광성 물질이 유입되게 된다. 이 때, 감광성 물질이 상기 수용 용기(120)에 수용될 때 상기 제2 공급관(122)을 차단하고, 상기 수용 용기(120)에 수용이 완료된 후 상기 흡입 펌프(130)가 흡입할 때 상기 제2 공급관(122)을 열어주기 위한 밸브(미도시)가 상기 제2 공급관(122) 상에 구비될 수 있다.
한편, 상기 흡입 펌프(130)에는 상기 수용 용기(120)로부터 흡입한 감광성 물질을 상기 토출 펌프(140)로 전달하기 위한 제3 공급관(132)이 연결된다.
상기 토출 펌프(140)는 상기 제3 공급관(132)을 통해서 상기 흡입 펌프(130)와 연결되고, 상기 흡입 펌프(130)로부터 감광성 물질을 전달받아 상기 분사 노즐(160)로 공급한다. 즉, 상기 토출 펌프(140)는 상기 수용 용기(120)로부터 흡입된 감광성 물질을 상기 흡입 펌프(130)로부터 전달받아, 기판(W)으로 토출 가능하도록 상기 분사 노즐(160)로 공급하는 역할을 한다.
상기 토출 펌프(140)는 예를 들면, 상기 흡입 펌프(130)와 같은 다이어프램 펌프로 이루어질 수 있다. 상기 토출 펌프(140)는 상기 흡입 펌프(130)로부터 감광성 물질을 전달받게 되는데, 상기 흡입 펌프(130)가 펌핑 동작으로 감광성 물질을 공급하게 되므로 큰 부하 없이 감광성 물질을 전달받게 된다. 예컨대, 상기 토출 펌프(140)는 상기 감광성 물질을 흡입하기 위하여 필요한 부하를 상기 흡입 펌프(130)가 일부를 부담하게 되므로, 큰 부하 없이 상기 감광성 물질을 펌프 내로 충진할 수 있게 된다.
상기 토출 펌프(140)에 상기 분사 노즐(160)로 감광성 물질을 공급하기 위한 제4 공급관(142)이 연결된다. 상기 토출 펌프(140)는 펌핑 동작하여 펌프 내부에 충진된 감광성 물질을 상기 제4 공급관(142)을 통해서 소정 압력으로 상기 분사 노즐(160)로 공급한다.
한편, 상기 토출 펌프(140)에는 감광성 물질의 토출량을 일정하게 구현하기 위한 일환으로 감광성 물질이 충진될 때 펌프 내부에 쌓이는 기포를 제거하기 위한 제2 배출관(140a)이 구비될 수 있다. 또한, 상기 제2 배출관(140a)에는 토출 펌프(140)의 동작에 따라서 상기 제2 배출관(140a)의 차단 여부를 선택하도록 개폐 동작하는 제2 드레인 밸브(140b)가 구비된다.
상기 필터(150)는 상기 제3 공급관(132)에 설치된다. 즉, 상기 필터(150)는 상기 흡입 펌프(130)로부터 토출 펌프(140)로 공급되는 감광성 물질의 공급관에 설치된다. 상기 필터(150)는 상기 흡입 펌프(130)로부터 상기 토출 펌프(140)로 공급되는 감광성 물질을 필터링 한다. 구체적으로, 상기 필터(150)는 상기 흡입 펌프(130)로부터 토출 펌프(140)로 공급되는 감광성 물질에 포함되어 있는 오염원을 제거하는 역할을 한다. 상기 감광성 물질에 포함되어 있는 오염원은 예를 들면, 불순물이나, 변질된 감광성 물질 찌꺼기 또는 기포 등을 들 수 있다.
또한, 상기 필터(150)에는 감광성 물질로부터 제거되어 필터(150) 내부에 충진되는 기포를 배출할 수 있도록 제3 배출관(150a)이 설치될 수 있다. 상기 제3 배출관(150a)은 일반적으로 필터(150)의 상측 부위에 연결된다.
이처럼, 상기 필터(150)는 토출 펌프(140)로 공급되는 감광성 물질의 필터링을 통해 토출량 변화에 영향을 미치는 오염원을 제거하여 공급한다. 이에 따라, 상기 토출 펌프(140)가 공급함에 의해 상기 분사 노즐(160)로부터 기판(W)으로 토출되는 감광성 물질의 토출량 변화를 최소화 할 수 있게 된다.
상기 분사 노즐(160)은 스핀척 등에 지지되어 일정한 속도로 회전하고 있는 기판(W)의 상부에 위치하고, 상기 제4 공급관(142)에 연결된다. 상기 분사 노 즐(160)은 상기 제4 공급관(142)을 통해 상기 토출 펌프(140)로부터 공급되는 감광성 물질을 기판(W)으로 토출 시킴으로써, 상기 기판(W) 상에 감광성 물질의 도포가 이루어진다.
이와 같이 구성된 상기 약액 공급 장치(100)의 동작에 대하여 간략하게 설명하면, 저장 용기(110)는 가스 공급관(110)을 통해 가스 공급원(미도시)으로부터 질소(N2) 가스가 공급됨에 의해 가압되고, 이러한 가압 압력에 의해 저장하고 있는 감광성 물질이 상기 제1 공급관(112)으로 유동됨으로써, 감광성 물질이 수용 용기(120)로 공급된다. 이에, 상기 수용 용기(120)에는 감광성 물질이 수용된다.
상기 수용 용기(120)에 감광성 물질이 수용된 상태에서 상기 흡입 펌프(130)는 다이어프램 막을 이동시킴에 의해 흡입부에 진공을 형성하여 상기 수용 용기(120)에 수용된 감광성 물질을 흡입한다. 즉, 상기 흡입 펌프(130)는 다이어프램 막의 이동에 다른 흡입부의 진공에 의해 수용 용기(120)에 비해 상대적으로 낮은 압력이 되면서 제2 공급관(122)을 통해서 수용 용기(120)에 수용된 감광성 물질이 흡입 펌프(130)의 흡입부로 유입된다. 이후, 상기 흡입 펌프(130)는 흡입부의 약액 공급로를 막고, 다이어프램 막을 이동시켜 흡입부를 가압함에 의해 흡입부에 유입된 감광성 물질을 제3 공급관(132)으로 유동시킨다. 동시에, 상기 토출 펌프(140)는 다이어프램 막을 이동시켜 흡입부의 면적을 넓혀 줌으로써, 상기 흡입 펌프(130)로부터 큰 부하 없이 감광성 물질을 전달받아 흡입부에 충진하게 된다.
이 때, 상기 흡입 펌프(130)로부터 토출 펌프(140)로 감광성 물질이 전달되 는 과정에서 감광성 물질은 상기 필터(150)를 거치면서 감광성 물질에 포함된 오염원을 제거하게 된다. 즉, 불순물이나, 기포 혹은 파티클 등이 제거됨으로써, 상기 토출 펌프(140)에 유입되는 감광성 물질은 토출 압력에 영향을 미치는 인자를 최소화하여 항상 일정한 상태를 갖게 된다. 따라서, 상기 토출 펌프(140)는 일정한 압력으로 감광성 물질을 공급할 수 있게 된다. 이후, 토출 펌프(140)는 다이어프램 막을 이동시켜 흡입부를 가압함으로써, 감광성 물질을 분사 노즐(160)로 공급하여 상기 분사 노즐(160)을 통해서 기판(W)으로 분사하게 된다.
이처럼, 상기 수용 용기(120)에 수용된 감광성 물질의 흡입을 위한 흡입 펌프(130)와 흡입된 감광성 물질을 전달받아 토출하기 위한 토출 펌프(140)를 분리함으로써, 감광성 물질을 펌프 내부로 흡입할 때 유입되는 기포나 압력 변화에 따른 토출량의 변화를 최소화 할 수 있다. 아울러, 감광성 물질의 필터링을 위한 필터(150)가 토출 펌프(140)의 이전 단계에 구비됨으로써, 토출 펌프(140)로부터 분사 노즐(160)로 공급되는 감광성 물질의 압력 변화에 영향을 미치지 않게 되므로 상기 필터(150)의 수명 주기에 따른 토출량 변화를 방지할 수 있다. 따라서, 상기 분사 노즐(160)을 통해 분사되는 감광성 물질의 토출량 변화를 최소화 할 수 있다.
한편, 앞서 언급한 실시예에서는 상기 저장 용기(110), 수용 용기(120) 등이 하나로 구성된 경우를 설명하였다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 상기 감광성 물질의 공급을 끊김 없이 유지하기 위해서 상기 수용 용기(120)로 감광성 물질을 공급하는 상기 저장 용기(110)를 다수개 구비할 수 있다. 또는, 상기 저장 용기(110)와 수용 용기(120) 그룹을 다수개 구비할 수도 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 약액 공급 장치는 수용 용기로부터 약액을 흡입하기 위한 펌프와, 흡입된 약액을 토출하기 위한 펌프를 구분하여 개별적으로 구비함으로써, 약액을 흡입할 때의 압력 변화 및 약액에 유입된 기포에 따른 토출량 변화를 최소화 할 수 있다.
또한, 약액에 포함된 오염원을 제거하기 위한 필터를 약액을 흡입하기 위한 펌프와 흡입된 약액을 토출하기 위한 펌프 사이에 구비함으로써, 필터에 의해 노즐로 공급되는 약액의 공급 압력 변화를 방지하여 필터의 수명 주기에 따른 토출량 변화를 최소화 할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 종래 약액 공급 장치를 나타내는 개략적인 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 공급 장치를 나타내는 개략적인 도면이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
100: 약액 공급 장치 110: 저장 용기
110a: 가스 공급관 110b: 가스 밸브
112: 제1 공급관 120: 수용 용기
120a: 제1 배출관 120b: 제1 드레인 밸브
122: 제2 공급관 130: 흡입 펌프
132: 제3 공급관 140: 토출 펌프
140a: 제2 배출관 140b: 제2 드레인 밸브
142: 제4 공급관 150: 필터
150a: 제3 배출관 160: 분사 노즐
W: 기판

Claims (2)

  1. 감광성 물질을 수용하는 수용 용기;
    상기 수용 용기와 연결되고, 상기 수용 용기에 수용된 감광성 물질을 흡입하는 흡입 펌프;
    상기 흡입 펌프와 연결되어 상기 수용 용기로부터 흡입된 감광성 물질을 전달받고, 상기 감광성 물질을 기판으로 토출 가능하도록 상기 기판 상에 위치하는 분사 노즐로 공급하는 토출 펌프; 및
    상기 흡입 펌프와 토출 펌프 사이에 연결되고, 상기 토출 펌프로 공급되는 상기 감광성 물질에 포함되어 있는 오염원을 제거하기 위한 필터를 포함하는 약액 공급 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 흡입 펌프와 토출 펌프는 다이어프램 펌프(Diaphragm Pump)로 이루어진 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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