KR20090032275A - 기판 처리 설비 및 기판 처리 방법 - Google Patents
기판 처리 설비 및 기판 처리 방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (5)
- 약액을 공급받아서 기판의 배면에 상기 약액을 토출하는 백 노즐을 포함하는 기판 처리부; 및상기 백 노즐로 약액을 공급하는 약액 공급부를 포함하고,상기 약액 공급부는,약액 탱크로부터 상기 백 노즐로 상기 약액을 이송하는 약액 공급라인;상기 약액 공급라인 상에 설치되는 흡입밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.
- 제 1 항에 있어서,상기 흡입밸브는 상기 약액 공급라인에 잔존하는 상기 약액을 흡입하는 석크백 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.
- 제 1 항에 있어서,상기 약액 공급라인은 상기 백 노즐과 상기 흡입밸브를 연결하는 제 1 약액 공급라인과, 상기 약액 탱크와 상기 흡입밸브를 연결하는 제 2 약액 공급라인을 포함하고,상기 흡입밸브는 상기 백 노즐로부터 상기 약액의 토출이 정지되는 시간 동안 상기 제 1 약액 공급라인에 잔존해 있는 상기 약액을 흡입하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.
- 제 3 항에 있어서,상기 약액 공급부는 상기 약액의 배출을 지시하는 제 1 제어 신호 및 상기 액약의 흡입을 지시하는 제 2 제어 신호를 출력하는 제어부를 더 포함하고,상기 흡입 밸브는 상기 제 1 제어 신호에 따라서 상기 제 2 약액 공급라인을 통해 공급된 상기 약액을 상기 제 1 약액 공급라인으로 배출하고, 상기 제 2 제어 신호에 따라서 상기 제 1 약액 공급라인으로 상기 약액의 배출을 정지하고 상기 제 1 약액 공급라인에 잔존하는 상기 약액을 흡입하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.
- 백 노즐로부터 기판의 배면으로 약액을 토출하여 소정이 액처리를 수행하는 기판 처리 방법에 있어서,약액 공급라인 상에 흡입밸브를 설치하여 상기 백 노즐로부터 상기 약액의 토출이 정지되는 시간동안 상기 약액 공급라인에 잔존하는 상기 약액을 흡입하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
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