KR102322677B1 - 약액 토출 장치 - Google Patents

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Abstract

약액 토출 장치는 슬릿 노즐, 갠트리, 약액 공급부를 포함할 수 있다. 상기 슬릿 노즐은 기판 상에 약액을 토출하도록 구비될 수 있다. 상기 갠트리는 상기 슬릿 노즐이 상기 기판 상부에 배치될 수 있게 상기 슬릿 노즐을 지지하도록 구비될 수 있다. 상기 약액 공급부는 상기 슬릿 노즐에 약액을 공급하도록 구비되는 것으로써, 상기 슬릿 노즐 하나에 상기 약액 공급부가 두 개가 구비될 수 있게 상기 슬릿 노즐 또는 상기 갠트리의 일측에 배치되어 상기 슬릿 노즐에 약액을 공급하도록 구비되는 제1 약액 공급부, 및 상기 슬릿 노즐 또는 상기 갠트리의 타측에 배치되어 상기 슬릿 노즐에 약액을 공급하도록 구비되는 제2 약액 공급부로 이루어질 수 있다.

Description

약액 토출 장치{APPARATUS FOR DISCHARGING DROPLET}
본 발명은 약액 토출 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 기판에 약액을 토출하는 노즐, 특히 기판에 포토레지스트 등과 같은 약액을 토출하는 슬릿 노즐을 포함하는 약액 토출 장치에 관한 것이다.
디스플레이 소자의 제조에서는 슬릿 노즐을 구비하는 약액 토출 장치를 사용하여 기판 상에 포토레지스트, 현상액 등과 같은 약액을 토출하는 공정을 수행할 수 있다.
관련 기술들에 따르면, 약액 토출 장치는 슬릿 노즐 하나에 약액 공급부가 한 개가 구비되는 구성을 가질 수 있다.
따라서 종래의 약액 토출 장치는 하나의 약액 공급부에 구비되는 하나의 펌프를 사용하는 펌핑 작동을 통하여 슬릿 노즐로 약액을 공급할 수 있을 것이고, 외부로부터 약액 공급부로 약액이 공급되는 경우에는 펌핑 작동을 중단해야 할 것이다.
이와 같이, 하나의 펌프를 사용하기 때문에 펌핑 작동을 중단하는 시간이 발생할 수 있기 때문에 약액을 토출하는 공정 시간이 길어질 수 있는 문제점이 발생할 수 있다.
또한, 서로 다른 두 개의 약액을 토출하는 공정을 수행할 경우 슬릿 노즐 두 개를 구비하고, 약액의 종류에 따라 어느 하나의 노즐을 선택해서 사용하기 때문에 나머지 하나의 슬릿 노즐은 미사용 상태로 두어야 하는 문제점이 발생할 수 있다.
본 발명의 일 과제는 슬릿 노즐로 약액을 공급하는 펌핑 작동 시에도 외부로부터 약액을 공급받을 수 있기 때문에 약액을 토출하는 공정 시간을 충분하게 단축시킬 수 있을 뿐만 아니라 슬릿 노즐을 하나만 구비함에 불구하고 서로 다른 두 개의 약액을 토출할 수 있는 약액 토출 장치를 제공하는데 있다.
상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 슬릿 노즐, 갠트리, 약액 공급부를 포함할 수 있다. 상기 슬릿 노즐은 기판 상에 약액을 토출하도록 구비될 수 있다. 상기 갠트리는 상기 슬릿 노즐이 상기 기판 상부에 배치될 수 있게 상기 슬릿 노즐을 지지하도록 구비될 수 있다. 상기 약액 공급부는 상기 슬릿 노즐에 약액을 공급하도록 구비되는 것으로써, 상기 슬릿 노즐 하나에 상기 약액 공급부가 두 개가 구비될 수 있게 상기 슬릿 노즐 또는 상기 갠트리의 일측에 배치되어 상기 슬릿 노즐에 약액을 공급하도록 구비되는 제1 약액 공급부, 및 상기 슬릿 노즐 또는 상기 갠트리의 타측에 배치되어 상기 슬릿 노즐에 약액을 공급하도록 구비되는 제2 약액 공급부로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 약액 공급부는 외부로부터 약액을 유입받아 임시 저장하는 제1 임시 저장부, 펌핑 작동에 의해 상기 제1 임시 저장부로부터 상기 슬릿 노즐로 상기 약액을 공급하는 제1 펌프, 및 상기 제1 약액 공급부와 상기 슬릿 노즐 사이에서 상기 약액이 흐를 수 있게 연결하는 제1 연결 라인으로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제2 약액 공급부는 외부로부터 약액을 유입받아 임시 저장하는 제2 임시 저장부, 펌핑 작동에 의해 상기 제2 임시 저장부로부터 상기 슬릿 노즐로 상기 약액을 공급하는 제2 펌프, 및 상기 제2 약액 공급부와 상기 슬릿 노즐 사이에서 상기 약액이 흐를 수 있게 연결하는 제2 연결 라인으로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 연결 라인과 상기 제2 연결 라인은 3방향 밸브(3way valve)를 사용하여 상기 슬릿 노즐에 연결되도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 약액 공급부로부터 상기 슬릿 노즐에 공급되는 약액을 상기 기판 상에 토출할 때 상기 제2 약액 공급부는 외부로부터 약액을 공급받아 저장하도록 구비되거나 또는 상기 제2 약액 공급부로부터 상기 슬릿 노즐에 공급되는 약액을 상기 기판 상에 토출할 때 상기 제1 약액 공급부는 외부로부터 약액을 공급받아 저장하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 약액은 서로 동일한 것일 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 약액은 서로 다른 것일 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 약액 토출에 따른 공정 시간이 길어지는 것을 방지할 수 있기 때문에 디스플레이 소자의 제조에 따른 생산성의 향상을 기대할 수 있을 것이다.
또한, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 슬릿 노즐을 하나만 구비하여도 서로 다른 두 개의 약액을 토출할 수 있는 공정을 수행할 수 있기 때문에 상대적으로 고가인 슬릿 노즐 하나를 구비하지 않아도 될 것이고, 그 결과 장치적 구성에 대한 가격 경쟁력을 충분히 확보할 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 과제 및 효과는 상기 언급한 바에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2는 도 1의 약액 토출 장치에 구비되는 제1 약액 공급부를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 3은 도 1의 약액 토출 장치에 구비되는 제2 약액 공급부를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 4는 도 1의 약액 토출 장치에 구비되는 제1 약액 공급부 및 제2 약액 공급부가 연결되는 구조를 설명하기 위한 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
그리고 첨부한 도면들을 참조하여 예시적인 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 디스플레이 소자의 제조 시 기판 상에 약액을 토출하는 공정에 적용할 수 있는 것으로써, 특히 기판에 포토레지스트, 현상액 등과 같은 약액을 토출하는 공정에 적용할 수 있는 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 기판이 놓이는 스테이지(11)를 구비할 수 있다. 스테이지(11)는 약액 토출 시 기판을 부상시킬 수 있는 부상 스테이지일 수도 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 슬릿 노즐(13), 갠트리(15), 약액 공급부(17) 등을 구비할 수 있다.
슬릿 노즐(13)은 기판 상에 약액을 토출하도록 구비되는 것으로써, 스테이지(11)에 기판에 놓이는 방향과 수직한 방향으로 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 일예로, 스테이지(11)에 기판이 길이 방향으로 놓이면 슬릿 노즐(13)은 기판의 폭 방향을 따라 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 기판 상부에서 기판 상으로 약액이 토출되기 때문에 슬릿 노즐(13)은 기판 상부에 배치되는 구조를 갖도록 구비되어야 할 것이다.
따라서 갠트리(15)는 슬릿 노즐(13)이 기판 상부에 배치될 수 있게 슬릿 노즐(13)을 지지하도록 구비될 수 있다.
약액 공급부(17)는 슬릿 노즐(13)에 약액을 공급하도록 구비될 수 있는 것으로써, 외부에 배치되는 약액 저장부(미도시) 등과 같은 부재로부터 약액을 공급받아 임시 저장하고 있다가 약액 토출의 공정 수행 시 슬릿 노즐(13)에 약액을 공급하도록 구비될 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에는 슬릿 노즐(13) 하나에 약액 공급부(17)가 두 개가 배치되도록 구비될 수 있다. 즉, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에는 두 개의 약액 공급부(17)로부터 하나의 슬릿 노즐(13)에 약액을 공급하도록 구비될 수 있는 것이다. 다시 말해, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 하나의 슬릿 노즐(13) 및 두 개의 약액 공급부(17)가 단일 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.
약액 공급부(17)는 제1 약액 공급부(19) 및 제2 약액 공급부(21)로 이루어질 수 있다.
제1 약액 공급부(19)는 슬릿 노즐(13) 또는 갠트리(15)의 일측에 배치되어 슬릿 노즐(13)에 약액을 공급하도록 구비될 수 있다.
제2 약액 공급부(21)는 슬릿 노즐(13) 또는 갠트리(15)의 타측에 배치되어 슬릿 노즐(13)에 약액을 공급하도록 구비될 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따르면, 슬릿 노즐(13) 또는 갠트리(15)의 일측 및 슬릿 노즐(13) 또는 갠트리(15)의 타측은 서로 다른 위치라는 것을 나타낼 뿐 서로 마주하는 위치인 것에 한정되지는 않는다.
이하, 제1 약액 공급부 및 제2 약액 공급부에 대하여 보다 상세하게 설명하기로 한다.
도 2는 도 1의 약액 토출 장치에 구비되는 제1 약액 공급부를 설명하기 위한 개략적인 도면이고, 도 3은 도 1의 약액 토출 장치에 구비되는 제2 약액 공급부를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
먼저 도 2를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에서의 제1 약액 공급부(19)는 제1 임시 저장부(191), 제1 펌프(193), 제1 연결 라인(197) 등으로 이루어질 수 있다.
제1 임시 저장부(191)는 외부로부터 약액을 유입받아 임시 저장하도록 구비될 수 있다. 즉, 제1 임시 저장부9191)는 외부에 배치되는 약액 저장부 등과 같은 부재로부터 약액을 공급받아 임시 저장하도록 구비될 수 있는 것이다.
외부의 약액 저장부 등과 같은 부재로부터 제1 임시 저장부(191)로의 약액 공급은 외부의 약액 저장부 등과 같은 부재를 질소 가스 등을 사용하여 가압시킴에 의해 달성할 수 있을 것이다. 제1 임시 저장부(191)에는 에어를 배출시킬 수 있는 제1 공기 배출부(195)가 구비될 수도 있다.
제1 펌프(193)는 제1 임시 저장부(191)로부터 슬릿 노즐(13)로 약액을 공급할 수 있게 펌핑 작동하도록 구비될 수 있다. 제1 펌프(193)는 제1 임시 저장부(191)와 슬릿 노즐(13) 사이에 배치되도록 구비되어 약액을 토출하기 위한 공정 수행시 펌핑 작동함에 따라 제1 임시 저장부(191)에 임시 저장되어 있는 약액을 슬릿 노즐(13)로 공급하도록 구비될 수 있다.
제1 연결 라인(197)은 제1 약액 공급부(19)와 슬릿 노즐(13) 사이에서 약액이 흐를 수 있게 구비될 수 있다. 제1 연결 라인(197)은 제1 임시 저장부(191)와 제1 펌프(193) 사이를 연결하는 라인(197b), 제1 펌프(193)와 슬릿 노즐(13)을 연결하는 라인(197c) 및 외부의 약액 저장부 등과 같은 부재와 제1 임시 저장부(191)를 연결하는 라인(197a)으로 이루어질 수 있다.
그리고 도 3을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에서의 제2 약액 공급부(21)는 제2 임시 저장부(211), 제2 펌프(213), 제2 연결 라인(217) 등으로 이루어질 수 있다.
제2 약액 공급부(21)에서의 제2 임시 저장부(211), 제2 펌프(213), 제2 연결 라인(217)은 제1 약액 공급부(19)에서의 제1 임시 저장부(191), 제1 펌프(193), 제1 연결 라인(197)과 배치되는 장소만을 달리할 뿐 그 구조 및 기능은 동일하기 때문에 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.
그리고 제2 임시 저장부(211)에도 제1 공기 배출부(195)와 그 구조 및 기능이 동일한 제2 공기 배출부(215)가 구비될 수 있다. 제2 연결 라인(217) 또한 제2 임시 저장부(211)와 제2 펌프(213) 사이를 연결하는 라인(217b), 제2 펌프(213)와 슬릿 노즐(13)을 연결하는 라인(217c) 및 외부의 약액 저장부 등과 같은 부재와 제2 임시 저장부(211)를 연결하는 라인(217a)으로 이루어질 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 슬릿 노즐(13) 하나에 약액 공급부(17)가 두 개가 구비됨으로써 제1 약액 공급부(19)로부터 슬릿 노즐(13)로 약액을 공급할 때 제2 약액 공급부(21)는 외부로부터 약액을 공급받아 저장할 수 있을 것이고, 그리고 제1 약액 공급부(17)에 임시 저장된 약액이 슬릿 노즐(13)로 다 공급되면 제2 약액 공급부(21)로부터 슬릿 노즐(13)로 약액을 공급함과 아울러 제1 약액 공급부(19)는 외부로부터 약액을 공급받아 저장할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 외부로부터 약액 공급부(17)로 약액을 공급받을 때에도 슬릿 노즐(13)에 약액을 공급할 수 있기 때문에 약액을 토출하는 공정 시간을 충분하게 단축시킬 수 있을 것이다.
또한, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 제1 임시 저장부(191) 및 제2 임시 저장부(211) 두 개를 운용함으로써 외부의 약액 저장부 등과 같은 부재로부터 제1 임시 저장부(191) 또는 제2 임시 저장부(211)로 약액을 공급할 때 질소 가스 등을 사용하는 가압력을 낮출 수 있기 때문에 슬릿 노즐(13)로 공급되는 약액 내에 버블이 발생되는 상황 등을 줄일 수도 있을 것이다.
그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 제1 약액 공급부(19)로부터 슬릿 노즐(13)로 공급되는 약액 및 제2 약액 공급부(21)로부터 슬릿 노즐(13)로 공급되는 약액이 서로 동일하거나 또는 서로 달리할 수 있을 것이다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 두 개의 약액 공급부(17)를 사용하여 하나의 슬릿 노즐(13)로 서로 동일한 약액을 공급할 수 있거나 또는 두 개의 약액 공급부(17)를 사용하여 하나의 슬릿 노즐(13)로 서로 다른 약액을 공급할 수 있을 것이다.
특히, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)가 두 개의 약액 공급부(17)를 사용하여 하나의 슬릿 노즐(13)로 서로 다른 약액을 공급하도록 구비될 경우 하나의 슬릿 노즐(13)만으로도 두 가지의 서로 다른 약액을 토출할 수 있기 때문에 상대적으로 고가인 슬릿 노즐(13) 하나를 장치적 구성에서 제외시킬 수 있을 것이다.
도 4는 도 1의 약액 토출 장치에 구비되는 제1 약액 공급부 및 제2 약액 공급부가 연결되는 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치(100)는 제1 약액 공급부(19) 및 제2 약액 공급부(21)를 3방향 밸브(401)를 사용하여 슬릿 노즐(13)에 연결되도록 구비할 수 있다. 즉, 제1 약액 공급부(19)의 제1 연결 라인(197)에서의 슬릿 노즐(13)과 연결되는 라인(197c) 및 제2 약액 공급부(21)의 제2 연결 라인(217)에서의 슬릿 노즐(13)과 연결되는 라인(217c)을 3방향 밸브(401)를 사용하여 슬릿 노즐(13)에 연결되도록 구비할 수 있는 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 스테이지 13 : 슬릿 노즐
15 : 갠트리 17 : 약액 공급부
19 : 제1 약액 공급부 21 : 제2 약액 공급부
100 : 약액 토출 장치 191 : 제1 임시 저장부
193 : 제1 펌프 195 : 제1 공기 배출부
197 : 제1 연결 라인 211 : 제2 임시 저장부
213 : 제2 펌프 215 : 제2 공기 배출부
217 : 제2 연결 라인 401 : 3방향 밸브

Claims (6)

  1. 기판 상에 약액을 토출하도록 구비되는 슬릿 노즐;
    상기 슬릿 노즐이 상기 기판 상부에 배치될 수 있게 상기 슬릿 노즐을 지지하도록 구비되는 갠트리; 및
    상기 슬릿 노즐에 약액을 공급하도록 구비되는 약액 공급부를 포함하되,
    상기 슬릿 노즐 하나에 상기 약액 공급부가 두 개가 구비될 수 있게 상기 약액 공급부는 상기 슬릿 노즐 또는 상기 갠트리의 일측에 배치되어 상기 슬릿 노즐에 약액을 공급하도록 구비되는 제1 약액 공급부, 및 상기 슬릿 노즐 또는 상기 갠트리의 타측에 배치되어 상기 슬릿 노즐에 약액을 공급하도록 구비되는 제2 약액 공급부로 이루어지고,
    상기 제1 약액 공급부로부터 상기 슬릿 노즐에 공급되는 약액을 상기 기판 상에 토출할 때 상기 제2 약액 공급부는 외부로부터 약액을 공급받아 저장하도록 구비되거나 또는 상기 제2 약액 공급부로부터 상기 슬릿 노즐에 공급되는 약액을 상기 기판 상에 토출할 때 상기 제1 약액 공급부는 외부로부터 약액을 공급받아 저장하도록 구비되되, 상기 제1 약액 공급부에 임시 저장된 약액이 상기 슬릿 노즐로 다 공급되면 상기 제2 약액 공급부로부터 상기 슬릿 노즐로 약액을 공급함과 아울러 상기 제1 약액 공급부는 외부로부터 약액을 공급받아 저장하도록 구비되고, 그리고 상기 제2 약액 공급부에 임시 저장된 약액이 상기 슬릿 노즐로 다 공급되면 상기 제1 약액 공급부로부터 상기 슬릿 노즐로 약액을 공급함과 아울러 상기 제2 약액 공급부는 외부로부터 약액을 공급받아 저장하도록 구비되고,
    상기 제1 약액 공급부는 외부로부터 약액을 유입받아 임시 저장하는 제1 임시 저장부, 펌핑 작동에 의해 상기 제1 임시 저장부로부터 상기 슬릿 노즐로 상기 약액을 공급하는 제1 펌프, 및 상기 제1 약액 공급부와 상기 슬릿 노즐 사이에서 상기 약액이 흐를 수 있게 연결하는 제1 연결 라인으로 이루어지고, 상기 제2 약액 공급부는 외부로부터 약액을 유입받아 임시 저장하는 제2 임시 저장부, 펌핑 작동에 의해 상기 제2 임시 저장부로부터 상기 슬릿 노즐로 상기 약액을 공급하는 제2 펌프, 및 상기 제2 약액 공급부와 상기 슬릿 노즐 사이에서 상기 약액이 흐를 수 있게 연결하는 제2 연결 라인으로 이루어지되, 상기 제1 임시 저장부 및 상기 제2 임시 저장부 두 개를 운용함으로써 외부의 약액 저장부로부터 상기 제1 임시 저장부 또는 상기 제2 임시 저장부로 약액 공급할 때 가해지는 질소 가스의 가압력을 상대적으로 낮출 수 있도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  2. 삭제
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 연결 라인과 상기 제2 연결 라인은 3방향 밸브(3way valve)를 사용하여 상기 슬릿 노즐에 연결되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  4. 삭제
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 약액은 서로 동일한 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 약액은 서로 다른 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
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